JP3374210B2 - オーブン用ラック装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ラック本体と、ラ
ック本体内に互いに上下に間隔をあけて配置された複数
の棚板と、ラック本体内に棚板と同数配置された真空排
気用カプラとを備え、プラズマディスプレイ等のフラッ
トパネルディスプレイ用の表示パネル等を製造する際に
用いられるオーブン用ラック装置に関する。詳しくは、
重ね合わされた２枚のガラス基板がそれぞれ棚板に載置
された状態で加熱オーブン内に入れられ、封着温度まで
加熱された後に、封着されたガラス基板間を真空排気し
て表示パネルを製造するオーブン用ラック装置に関す
る。なお、本明細書において前とは図１の紙面表側を、
裏とは図１の紙面裏側を、左とは図１の左側を、右とは
図１の右側をいうものとする。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のオーブン用ラック装置と
して、真空ポンプ等が収容された箱状の台と、台の上面
に配置されたラック本体と、ラック本体内に互いに上下
に間隔をおいて配置された複数の棚板と、ラック本体内
に棚板と同数配置されているとともにそれぞれ真空ポン
プに接続された真空排気管と、その先端に取り付けられ
た真空排気用カプラとを備え、棚板の左右端部がそれぞ
れ同一垂直面上に位置した状態で、ラック本体に支持さ
れ、真空排気用カプラが上下に隣り合う棚板間にあるも
のが知られている。

【０００３】この装置においては、所定間隔をあけて対
向する２枚のガラス基板を含む板状組立体を各棚板に載
せ、板状組立体上面の隅部付近に取り付けられた排気管
を真空排気用カプラに接続する。そして、オーブン内に
オーブン用ラック装置を入れて、両基板を封着温度以下
の温度で加熱した後に封着温度に加熱して両基板を封着
した後、加熱温度をさげ、両基板間を真空排気しながら
表示パネルを製造する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記、従来のラック装
置では、各真空排気用カプラは、上下に隣り合う棚板間
に配置されるため棚板の上下間隔を真空排気用カプラよ
り小さくすることができず、単位高さあたりの棚板枚数
が少なく、多数の基板を一度に処理するためには、オー
ブン用ラック装置の高さを高くする必要があり、そのた
め、オーブンも大型化しなければならないという問題が
ある。

【０００５】本発明の目的は、上記課題を解決した単位
高さあたりの棚板枚数が多いオーブン用ラック装置を提
供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明によるオーブン用
ラック装置は、直方体状のラック本体と、ラック本体内
に互いに上下に間隔をあけて交互に配置された複数の第
１および第２棚板と、ラック本体内において各棚板の上
方に配置された複数の真空排気用カプラとを備え、それ
ぞれの棚板上に内部空間に連通する排気管を有する板状
組立体が載置され、その排気管にそれぞれ真空排気用カ
プラが接続されて使用されるオーブン用ラック装置であ
って、第１棚板の右端が、第２棚板の右端より左方に位
置し、第２棚板の左端が、第１棚板の左端より右方に位
置し、最も上に位置した真空排気用カプラを除く真空排
気用カプラのうち、第１棚板上方に位置した真空排気用
カプラが、上下に隣り合う第１棚板間で両第１棚板間に
位置した第２棚板の左方に、第２棚板上方に位置した真
空排気用カプラが、上下に隣り合う第２棚板間で両第２
棚板間に位置した第１棚板の右方にそれぞれ位置してい
るものである。

【０００７】上記のオーブン用ラック装置において、各
棚板がラック本体に対して水平な一方向に出し入れ自在
に設けることが望ましい。そうすれば、各棚板に容易に
ガラス基板を載置することができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図５を参照して本発
明の実施形態について説明する。

【０００９】図１に、本発明の１実施形態のオーブン用
ラック装置の正面図が、図２に斜視図が示されている。
オーブン用ラック装置は、板状断熱材(3) と、断熱材
(3) 上面に配置された直方体状のラック本体(2) と、ラ
ック本体(2) 内に互いに上下に間隔をあけて下から順に
交互に配置された複数の第１および第２棚板(23)(24)
と、ラック本体(2) 内において各棚板(23)(24)の上方に
それぞれ配置された真空排気用カプラ(28)とを備えてい
る。図示は省略したが断熱材(3) の下面には、箱状の台
が取り付けられており、台内に真空ポンプ等が収容され
ているとともに、台下面には、キャスターが取り付けら
れている。なお、以下に説明する各部材は、いずれも耐
熱性材料、例えば、セラミックや耐熱鋼からなる。

【００１０】図１に示したように、上下に隣り合う第１
棚板(23)の高さの中央に第２棚板(24)が位置し、上下に
隣り合う第２棚板(24)の高さの中央に第１棚板(23)が位
置するように、第１棚板(23)同士は、互いに距離(L1)を
あけて、第２棚板(24)同士は互いに距離(L1)をあけて、
上下に隣り合う第１棚板(23)と第２棚板(24)とは、距離
(L2)をあけて設けられている。また、第１棚板(23)の右
端は、第２棚板(24)の右端より左方に位置するようにな
され、第２棚板(24)の左端は、第１棚板(23)の左端より
右方に位置するようになされ、真空排気用カプラ(28)の
うち、第１棚板(23)の上方に位置した真空排気用カプラ
(28)が、上下に隣り合う第１棚板(23)間で両第１棚板(2
3)間に位置した第２棚板(24)の左方に、第２棚板(24)の
上方に位置した真空排気用カプラ(28)のうち最も上に位
置した真空排気用カプラ(28)を除く真空排気用カプラ(2
8)が、上下に隣り合う第２棚板(24)間で両第２棚板(24)
間に位置した第１棚板(23)の右方に位置するようになさ
れている。

【００１１】以下、上記ラック本体(2) 内に第１、第２
棚板(23)(24)および真空排気用カプラ(28)を上記のよう
に配置する構成について詳細に説明する。

【００１２】ラック本体(2) は、断熱材(3) 上面に配置
された下枠(14)と、下枠の四隅から上方にのびた左前支
柱(6) 、左後支柱(7) 、右前支柱(8) および右後支柱
(9) と、四隅が各支柱(6)(7)(8)(9)の上面に支持された
上枠(19)とを備えている。下枠(14)は、左右方向にのび
た下前枠部材(36)、左右方向にのびた下後枠部材(37)、
前後方向にのびた下左枠部材(5) および前後方向にのび
た下右枠部材(10)からなる。上枠(19)は、左右方向にの
びた上前枠部材(34)、左右方向にのびた上後枠部材(3
5)、前後方向にのびた上左枠部材(4) および前後方向に
のびた上右枠部材(11)からなる。

【００１３】左の前後支柱(6)(7)間に前後方向にのびる
５本の左桟(12)が互いに上下に前述の距離(L1)をあけて
設けられており、これらの左桟(12)はそれぞれ、各第２
棚板(24)の若干上方に位置している。右の前後支柱(8)
(9)間に前後方向にのびる５本の右桟(13)が互いに上下
に前述の距離(L1)をあけて設けられており、これらの右
桟(13)はそれぞれ、各第１棚板(23)の若干上方に位置し
ている。また、本実施形態のラック装置では、最も下の
左桟(12)上面の左下枠部材(5) 上面からの高さが、最も
下の右桟(13)の上面の右下枠部材(10)上面からの高さの
２倍になっている。また、最も上の右桟(13)の上面と右
上枠部材(11)の下面とは、前述の距離(L1)があけられて
いる。

【００１４】左前後支柱(6)(7)の右面に５本のＬ字状の
左吊り部材(15)が固定されている。左吊り部材(15)は、
右方に向かって所定距離(L3)伸びた水平部(15a) と、水
平部(15a) の右端部から下方に向かってのびた垂直部(1
5b) とからなり、各水平部(15a) が各左桟(12)とそれぞ
れ同一高さにある。同一高さに位置した前後の左吊り部
材(15)の垂直部(15b) 間に、前後方向にのびた左支持部
材(17)がそれぞれ右側に位置した右桟(13)と同一高さに
なるように渡し止められている。

【００１５】一方、右前後支柱(8)(9)の左面に４本のＬ
字状右吊り部材(16)が固定されている。右吊り部材(16)
は、左方に向かって所定距離(L3)伸びた水平部(16a)
と、水平部(16a) の左端部から下方に向かってのびた垂
直部(16b) とからなり、各水平部(16a) が上から順に４
個の右桟(13)とそれぞれ同一高さにある。同一高さに位
置した前後の右吊り部材(16)の垂直部(16b) 間に前後方
向にのびた右支持部材(18)が、それぞれ左側に位置した
左桟(12)と同一高さになるように渡し止められている。

【００１６】このようにして、上から順に、同一高さに
位置した右桟(13)および左支持部材(17)の対が５対、同
一高さに位置した左桟(12)および右支持部材(18)の対が
４対、交互に設けられている。また、右吊り部材(16)の
垂直部(16b) の下方において、前下枠部材(36)と後下枠
部材(37)との間に前後方向にのびた中桟(20)が固定され
ている。そして、各右桟(13)の左面および各左支持部材
(17)の右面、左桟(12)の右面および各右支持部材(18)の
左面ならびに左下枠部材(5) の右面および中桟(20)の左
面に、それぞれ前後方向にのびた断面Ｌ字状の棚板受け
(21)が取り付けられている。

【００１７】図３および図４に示したように、棚板受け
(21)は、左桟(12)の右面および右支持部材(18)の左面、
右面棚板受け(13)の左面、左支持部材(17)の右面、左下
枠部材(5) の右面および中桟(20)の左面にそれぞれ固定
されており、内方へ突出した水平部と、水平部内端から
上方に突出した垂直部とからなる。また、棚板受け(21)
の垂直部前部上端に内方に向かって突出した水平板状体
(21a) が設けられている。各棚板受け(21)の垂直部に前
後に所定の間隔をおいて左右方向の軸線回りに回転する
ローラ(22)が取り付けられている。

【００１８】同一高さに位置した棚板受け(21)の対によ
り、下から順に第１棚板(23)と第２棚板(24)とが交互に
支持されているとともにローラ(22)により棚板(23)(24)
がラック本体(2) から前後方向に出し入れ自在になされ
ている。図３に示したように、第１棚板(23)の左端に対
し、第２棚板(24)の左端は前述の距離(L3)だけ右にずれ
ており、第２棚板(24)の左端とラック本体(2) の左側部
との間に真空排気用カプラ(28)を収容する空間が形成さ
れている。詳細な図示は省略したが、第１棚板(23)の右
端とラック本体(2) の右側部との間にも同様の空間が形
成されている。

【００１９】各棚板(23)(24)の四隅には、円柱状の基板
支持体(23a)(24a)が設けられている。また、棚板(23)(2
4)の左右両側面に、それぞれ外方に突出した水平板状体
(23b)(24b)が設けられ、棚板(23)(24)の左右両側面後端
からそれぞれ外方に突出した垂直板状体(23c)(24c)が設
けられている。

【００２０】同一高さに位置した左吊り部材(15)の水平
部(15a) の左右方向の中ほど間および同一高さに位置し
た右吊り部材(16)の水平部(16a) の左右方向の中ほど間
にそれぞれ前後方向にのびた連結部材(25)が渡し止めら
れている。左の連結部材(25)の下面前部および右の連結
部材(25)の下面後部にそれぞれ前後に間隔をあけて板状
の引掛部材(26)が固定されている。図３に示したよう
に、引掛部材(26)は、上端内側部から左右方向外方に向
かって水平に形成された水平切欠(26a) と、水平切欠(2
6a) の左右方向内端部から下方に向かって垂直に形成さ
れた垂直切欠(26b) とを有している。それぞれの部材(2
6)の各切欠(26a)(26b)に、円筒状の基部を有した真空排
気用カプラ(28)の外周からそれぞれ前後にのびた支持棒
が引っ掛けられるようになっており、真空排気用カプラ
(28)は、水平切欠(26a) に支持棒が引っ掛けられた上方
待機位置および垂直切欠(26b) に支持棒が引っ掛けられ
た下方使用位置の２位置をとるようになされている。

【００２１】また、連結部材(25)の上方において、上前
枠部材(34)と上後枠部材(35)との間に前後方向に伸びた
中桟(30)が渡し止められており、中桟(30)の下方に上記
連結部材(25)の場合と同様にして真空排気用カプラ(28)
が取り付けられており、第１棚板(23)の上方に位置した
真空排気用カプラ(28)が、上下に隣り合う第１棚板(23)
間で両第１棚板(23)間に位置した第２棚板(24)の左方に
位置している。また、第２棚板(24)の上方に位置した真
空排気用カプラ(28)のうち、最も上に位置した真空排気
用カプラ(28)を除き、上下に隣り合う第２棚板(24)間か
つ両第２棚板(24)間に位置した第１棚板(23)の右方に位
置している。

【００２２】図示は省略したが、真空排気用カプラ(28)
は、断熱材(3) に収容された真空ポンプ（図示せず）に
接続されているとともに、外部から冷却水が供給される
ようになされている。

【００２３】上記のラック装置において、以上の手順で
２枚のガラス基板が封着されるとともに封着された両ガ
ラス基板間が真空排気等されて表示パネルが製造され
る。まず、図５に示したように、各棚板(23)(24)を前方
に移動させてラック本体(2) から引き出し、引き出した
棚板(23)(24)上に、所定間隔を隔てて互いに重ね合わさ
れているとともに四方が複数のクリップ(32)でとめられ
た２枚のガラス基板組立体(33)を排気管(33a) 側を上面
にしてそれぞれ載置する。この際、真空排気用カプラ(2
8)は、上方待機位置に位置させておく。この後、棚板(2
3)(24)をラック本体(2) 内に戻す。なお、棚板(23)(24)
を引き出す際に誤って棚板(23)(24)を引き過ぎても、棚
板(23)(24)の垂直板状体(23c)(24c)が棚板受け(21)の水
平板状部(21a) 後端面に当接して棚板(23)(24)が停止す
る。

【００２４】そして、真空排気用カプラ(28)を上方待機
位置から下方使用位置に移動させながら、基板組立体(3
3)の排気管(33a) を真空排気用カプラ(28)に差し込む。
次に、ラック装置を移動させ、オーブン（図示せず）内
に位置させる。なお、移動の際等、ラック装置に振動が
加えられて棚板(23)(24)が持ち上がっても、棚板(23)(2
4)の水平板状部(23b)(24b)上面が棚板受け(21)の水平板
状部(21a) 上面に当接するので棚板(23)(24)が正しく支
持された状態が保たれる。そして、オーブンの温度を上
昇させて両ガラス基板組立体(33)を封着する。この後、
オーブン内の温度を下げて真空ポンプにより両ガラス基
板組立体(33)間すなわち、パネル内部を真空排気する。
そして、必要に応じてパネル内部に放電ガス等を封入し
た後、オーブンからラック装置を取り出し、棚板(23)(2
4)を前方に引き出してパネルを取り出せばよい。

【００２５】

【発明の効果】本発明のラック装置によれば、第１棚板
の右端が、第２棚板の右端より左方に位置し、第２棚板
の左端が、第１棚板の左端より右方に位置し、最も上に
位置した真空排気用カプラを除く真空排気用カプラのう
ち、第１棚板上方に位置した真空排気用カプラが、上下
に隣り合う第１棚板間で両第１棚板間に位置した第２棚
板の左方に、第２棚板上方に位置した真空排気用カプラ
が、上下に隣り合う第２棚板間で両第２棚板間に位置し
た第１棚板の右方にそれぞれ位置しているので、上下に
隣り合う第１棚板と第２棚板との上下間隔が真空排気用
カプラにより定められることがなく、単位高さあたりの
棚板設置枚数を増やすことができ、オーブンを大型化す
ることなく、一度に処理できる基板の枚数を増やすこと
ができ、装置の利用効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施形態のオーブン用ラック装置の
正面図である。

【図２】同ラック装置の斜視図である。

【図３】同ラック装置の棚板部の分解斜視図である。

【図４】同ラック装置の一部の正面図である。

【図５】同棚板部において棚板を引き出した状態の斜視
図である。

【符号の説明】

(2) ラック本体 (23) 第１棚板 (24) 第２棚板 (28) 真空排気用カプラ (33) ガラス基板組立体

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 直方体状のラック本体と、ラック本体内
   に互いに上下に間隔をあけて交互に配置された複数の第
   １および第２棚板と、ラック本体内において各棚板の上
   方に配置された複数の真空排気用カプラとを備え、それ
   ぞれの棚板上に内部空間に連通する排気管を有する板状
   組立体が載置され、その排気管にそれぞれ真空排気用カ
   プラが接続されて使用されるオーブン用ラック装置であ
   って、 第１棚板の右端が、第２棚板の右端より左方に位置し、
   第２棚板の左端が、第１棚板の左端より右方に位置し、 最も上に位置した真空排気用カプラを除く真空排気用カ
   プラのうち、第１棚板上方に位置した真空排気用カプラ
   が、上下に隣り合う第１棚板間で両第１棚板間に位置し
   た第２棚板の左方に、第２棚板上方に位置した真空排気
   用カプラが、上下に隣り合う第２棚板間で両第２棚板間
   に位置した第１棚板の右方にそれぞれ位置しているオー
   ブン用ラック装置。
2. 【請求項２】 各棚板がラック本体に対して水平な一方
   向に出し入れ自在であることを特徴とする請求項１記載
   のオーブン用ラック装置。