JP3370864B2 - 浄化槽 - Google Patents
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- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W10/00—Technologies for wastewater treatment
- Y02W10/10—Biological treatment of water, waste water, or sewage
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Activated Sludge Processes (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、浄化槽に関する
ものである。さらに詳しくは、この発明は、曝気槽に内
装された膜分離装置をより効果的に洗浄し、目詰まりな
どに対するメンテナンスにかかる手間を軽減することの
できる浄化槽にに関するものである。
ものである。さらに詳しくは、この発明は、曝気槽に内
装された膜分離装置をより効果的に洗浄し、目詰まりな
どに対するメンテナンスにかかる手間を軽減することの
できる浄化槽にに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、し尿、並びに、日々の炊事、
洗濯、入浴等により生ずる生活雑排水を浄化処理するこ
とのできる浄化槽が提供されてきている。この浄化槽の
一つに、たとえば図５に示した膜分離式の浄化槽があ
る。膜分離式の浄化槽には、この図５に示すことができ
るように、膜分離装置（５）が、活性汚泥により被処理
水を好気的に生物学的処理する曝気槽（４）に、被処理
水に浸漬可能に内装されている。膜分離装置（５）は、
曝気槽（４）内の被処理水の水頭差を駆動源として被処
理水を固液分離するものであり、この固液分離におい
て、活性汚泥は曝気槽（４）に保持する一方、濾過した
膜透過液を処理水として、連通管（９）を通じて曝気槽
（４）に連通する処理水貯留用の処理水貯留槽（６）に
送る。処理水は、次いで、処理水貯留槽（６）から放流
ポンプ（１２）によって汲み上げられ、放流管（１５）
を通じて消毒槽（８）に送られ、この後に、槽外に放流
される。
洗濯、入浴等により生ずる生活雑排水を浄化処理するこ
とのできる浄化槽が提供されてきている。この浄化槽の
一つに、たとえば図５に示した膜分離式の浄化槽があ
る。膜分離式の浄化槽には、この図５に示すことができ
るように、膜分離装置（５）が、活性汚泥により被処理
水を好気的に生物学的処理する曝気槽（４）に、被処理
水に浸漬可能に内装されている。膜分離装置（５）は、
曝気槽（４）内の被処理水の水頭差を駆動源として被処
理水を固液分離するものであり、この固液分離におい
て、活性汚泥は曝気槽（４）に保持する一方、濾過した
膜透過液を処理水として、連通管（９）を通じて曝気槽
（４）に連通する処理水貯留用の処理水貯留槽（６）に
送る。処理水は、次いで、処理水貯留槽（６）から放流
ポンプ（１２）によって汲み上げられ、放流管（１５）
を通じて消毒槽（８）に送られ、この後に、槽外に放流
される。
【０００３】このような膜分離式の浄化槽では、２つの
流量調整槽（１）（２）が排水流入側に設けられてお
り、ここに流入する排水の流入量を調整した後に、移送
ポンプ（３）で曝気槽（４）に移送するようにしてい
る。符号１４は、汚泥移送のための汚泥移送管である。
曝気槽（４）には、さらに、散気管（７）が設けられて
おり、これに接続したブロアから送気される空気がこの
散気管（７）を通じて曝気槽（４）内に送り込まれ、好
気状態が形成されるようにしている。曝気槽（４）で
は、好気状態において被処理水の活性汚泥処理が行われ
る。
流量調整槽（１）（２）が排水流入側に設けられてお
り、ここに流入する排水の流入量を調整した後に、移送
ポンプ（３）で曝気槽（４）に移送するようにしてい
る。符号１４は、汚泥移送のための汚泥移送管である。
曝気槽（４）には、さらに、散気管（７）が設けられて
おり、これに接続したブロアから送気される空気がこの
散気管（７）を通じて曝気槽（４）内に送り込まれ、好
気状態が形成されるようにしている。曝気槽（４）で
は、好気状態において被処理水の活性汚泥処理が行われ
る。
【０００４】そして、浄化槽では、２つの流量調整槽
（１）（２）及び曝気槽（４）の水位を、各々に設けた
水位検知部（１１）（１３）で検知し、検知された水位
に応じて移送ポンプ（３）及び放流ポンプ（１２）の動
作を制御部（１０）で制御するようにしてもいる。両槽
における検知すべき水位（Ｌ１）（Ｌ２）は、予め設定
されている。
（１）（２）及び曝気槽（４）の水位を、各々に設けた
水位検知部（１１）（１３）で検知し、検知された水位
に応じて移送ポンプ（３）及び放流ポンプ（１２）の動
作を制御部（１０）で制御するようにしてもいる。両槽
における検知すべき水位（Ｌ１）（Ｌ２）は、予め設定
されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、たとえ
ばこの図５に示すことのできる従来の膜分離式の浄化槽
においては、膜分離装置（５）に目詰まりなどが発生す
ることがしばしばあり、この場合には被処理水の固液分
離効率が低下するため、目詰まりなどを解消するための
メンテナンスが必要となっている。
ばこの図５に示すことのできる従来の膜分離式の浄化槽
においては、膜分離装置（５）に目詰まりなどが発生す
ることがしばしばあり、この場合には被処理水の固液分
離効率が低下するため、目詰まりなどを解消するための
メンテナンスが必要となっている。
【０００６】そのための一方策として、散気管（７）を
膜分離装置（５）の下方に配置し、散気管（７）から噴
出する空気で膜分離装置（５）をその下方から曝気し、
これにより被処理水に上昇攪拌流を発生させ、膜分離装
置（５）の濾過膜の膜面に付着したケーキ槽を剥離し、
膜洗浄を行うことが考えられもする。しかしながら、そ
のような洗浄によっても、濾過膜細孔への汚泥の付着等
を完全に解消することはできず、また、洗浄を割合短い
インターバルで行わなければその効果を持続することが
できないという問題が指摘される。
膜分離装置（５）の下方に配置し、散気管（７）から噴
出する空気で膜分離装置（５）をその下方から曝気し、
これにより被処理水に上昇攪拌流を発生させ、膜分離装
置（５）の濾過膜の膜面に付着したケーキ槽を剥離し、
膜洗浄を行うことが考えられもする。しかしながら、そ
のような洗浄によっても、濾過膜細孔への汚泥の付着等
を完全に解消することはできず、また、洗浄を割合短い
インターバルで行わなければその効果を持続することが
できないという問題が指摘される。
【０００７】この発明は、以上の通りの事情に鑑みてな
されたものであり、従来の膜分離式の浄化槽の欠点を解
消し、曝気槽に内装された膜分離装置をより効果的に洗
浄し、目詰まりなどに対するメンテナンスにかかる手間
を軽減することのできる浄化槽を提供することを目的と
している。
されたものであり、従来の膜分離式の浄化槽の欠点を解
消し、曝気槽に内装された膜分離装置をより効果的に洗
浄し、目詰まりなどに対するメンテナンスにかかる手間
を軽減することのできる浄化槽を提供することを目的と
している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、被処理水を活性汚泥により好気
的に生物学的処理する曝気槽に、膜分離装置が被処理水
に浸漬可能に内装され、この膜分離装置を介して処理水
貯留槽が曝気槽と連通して設けられ、膜分離装置は、被
処理水を固液分離し、曝気槽と処理水貯留槽の間の水頭
差を駆動源として膜透過液を処理水貯留槽に送る一方、
活性汚泥は曝気槽に保持する浄化槽において、処理水貯
留槽側の水位を一時的に曝気槽より高くして曝気槽と処
理水貯留槽の間に通常時とは逆の水頭をかけ、これを駆
動源として処理水を処理水貯留槽から逆流させて膜分離
装置に直接供給し、洗浄する逆洗手段が付設されている
ことを特徴とする浄化槽を提供する。
を解決するものとして、被処理水を活性汚泥により好気
的に生物学的処理する曝気槽に、膜分離装置が被処理水
に浸漬可能に内装され、この膜分離装置を介して処理水
貯留槽が曝気槽と連通して設けられ、膜分離装置は、被
処理水を固液分離し、曝気槽と処理水貯留槽の間の水頭
差を駆動源として膜透過液を処理水貯留槽に送る一方、
活性汚泥は曝気槽に保持する浄化槽において、処理水貯
留槽側の水位を一時的に曝気槽より高くして曝気槽と処
理水貯留槽の間に通常時とは逆の水頭をかけ、これを駆
動源として処理水を処理水貯留槽から逆流させて膜分離
装置に直接供給し、洗浄する逆洗手段が付設されている
ことを特徴とする浄化槽を提供する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面に沿って実施例をも示
しつつ、この発明の浄化槽についてさらに詳しく説明す
る。
しつつ、この発明の浄化槽についてさらに詳しく説明す
る。
【００１０】
【実施例】図１は、この発明の浄化槽の一実施例を示し
た要部構成図である。たとえばこの図１に示した例にお
いては、曝気槽（４）には、複数の平膜（１６）を並設
した膜分離装置（５）が内装されている。この膜分離装
置（５）には、曝気槽（４）と処理水貯留槽（６）を連
通する連通管（９）の一端が接続されており、各平膜
（１６）で固液分離した処理水を膜分離装置（５）の上
端部において合流させ、連通管（９）を通じて処理水貯
留槽（６）に導くようにしている。
た要部構成図である。たとえばこの図１に示した例にお
いては、曝気槽（４）には、複数の平膜（１６）を並設
した膜分離装置（５）が内装されている。この膜分離装
置（５）には、曝気槽（４）と処理水貯留槽（６）を連
通する連通管（９）の一端が接続されており、各平膜
（１６）で固液分離した処理水を膜分離装置（５）の上
端部において合流させ、連通管（９）を通じて処理水貯
留槽（６）に導くようにしている。
【００１１】また、曝気槽（４）には、膜分離装置
（５）の下方に散気管（７）が配置されてもいる。この
散気管（７）には、図示されていない曝気用のブロアが
接続されており、ブロアから送気され、散気管（７）か
ら噴出する空気によって、曝気槽（４）内の被処理水に
酸素を供給し、槽内を好気状態として活性汚泥処理を促
進するとともに、膜分離装置（５）に配備した平膜（１
６）の膜面の洗浄をも可能としている。
（５）の下方に散気管（７）が配置されてもいる。この
散気管（７）には、図示されていない曝気用のブロアが
接続されており、ブロアから送気され、散気管（７）か
ら噴出する空気によって、曝気槽（４）内の被処理水に
酸素を供給し、槽内を好気状態として活性汚泥処理を促
進するとともに、膜分離装置（５）に配備した平膜（１
６）の膜面の洗浄をも可能としている。
【００１２】一方、処理水貯留槽（６）には、放流ポン
プ（Ｐ１）が内装されており、この放流ポンプ（Ｐ１）
に一端を接続した放流管（１５）を、処理水貯留槽
（６）に連設した消毒槽（８）に臨ませている。曝気槽
（４）から移送し、処理水貯留槽（６）に貯留した処理
水は、放流ポンプ（Ｐ１）で汲み上げられ、消毒槽
（８）に導かれる。この後に槽外に放流される。
プ（Ｐ１）が内装されており、この放流ポンプ（Ｐ１）
に一端を接続した放流管（１５）を、処理水貯留槽
（６）に連設した消毒槽（８）に臨ませている。曝気槽
（４）から移送し、処理水貯留槽（６）に貯留した処理
水は、放流ポンプ（Ｐ１）で汲み上げられ、消毒槽
（８）に導かれる。この後に槽外に放流される。
【００１３】また、この図１に示した例においては、バ
ルブ（Ｖ１）と吸引ポンプ（Ｐ２）が逆洗手段として設
けられており、これらのバルブ（Ｖ１）及び吸引ポンプ
（Ｐ２）は連通管（９）の途中に並列接続されている。
バルブ（Ｖ１）には、たとえば電磁弁を好ましく適用す
ることができる。吸引ポンプ（Ｐ２）は、停止時には水
の流通が生じないような構造が採用されている。
ルブ（Ｖ１）と吸引ポンプ（Ｐ２）が逆洗手段として設
けられており、これらのバルブ（Ｖ１）及び吸引ポンプ
（Ｐ２）は連通管（９）の途中に並列接続されている。
バルブ（Ｖ１）には、たとえば電磁弁を好ましく適用す
ることができる。吸引ポンプ（Ｐ２）は、停止時には水
の流通が生じないような構造が採用されている。
【００１４】さらに、曝気槽（４）及び処理水貯留槽
（６）には、水位センサ（１３）（１７）が設けられて
もいる。水位センサ（１３）は、曝気槽（４）の水位Ｌ
１を検知する。一方、水位センサ（１７）は、処理水貯
留槽（６）の２つの水位Ｌ２及びＬ３を検知する。これ
らの水位には、Ｌ２ ＜ Ｌ１ ＜ Ｌ３という関係を
持たせている。水位センサ（１３）（１７）には、圧力
センサをはじめとして、フロートスイッチ、電極棒等の
各種のものを採用することができる。その中でも、圧力
センサは、これを一つの槽に対して１台設置するだけで
任意の水位を信号として検出することができるという利
点を有している。
（６）には、水位センサ（１３）（１７）が設けられて
もいる。水位センサ（１３）は、曝気槽（４）の水位Ｌ
１を検知する。一方、水位センサ（１７）は、処理水貯
留槽（６）の２つの水位Ｌ２及びＬ３を検知する。これ
らの水位には、Ｌ２ ＜ Ｌ１ ＜ Ｌ３という関係を
持たせている。水位センサ（１３）（１７）には、圧力
センサをはじめとして、フロートスイッチ、電極棒等の
各種のものを採用することができる。その中でも、圧力
センサは、これを一つの槽に対して１台設置するだけで
任意の水位を信号として検出することができるという利
点を有している。
【００１５】以上のバルブ（Ｖ１）、吸引ポンプ（Ｐ
２）、放流ポンプ（Ｐ１）及び水位センサ（１３）（１
７）は、いずれも、図５に例示した制御部（１０）に電
気的に接続されている。そして、バルブ（Ｖ１）、吸引
ポンプ（Ｐ２）及び放流ポンプ（Ｐ１）の動作は、この
制御部（１０）によって、水位センサ（１３）（１７）
で検知した水位に対応して制御される。
２）、放流ポンプ（Ｐ１）及び水位センサ（１３）（１
７）は、いずれも、図５に例示した制御部（１０）に電
気的に接続されている。そして、バルブ（Ｖ１）、吸引
ポンプ（Ｐ２）及び放流ポンプ（Ｐ１）の動作は、この
制御部（１０）によって、水位センサ（１３）（１７）
で検知した水位に対応して制御される。
【００１６】たとえば以上の構成を有する浄化槽の動作
について説明する。 曝気処理時 バルブ（Ｖ１）は開いており、吸引ポンプ（Ｐ２）は作
動しない。また、処理水貯留槽（６）の水位はＬ２以下
にあり、放流ポンプ（Ｐ１）も作動しない。放流ポンプ
（Ｐ１）が作動するのは、水位がＬ２よりも高くなった
ときと設定されている。
について説明する。 曝気処理時 バルブ（Ｖ１）は開いており、吸引ポンプ（Ｐ２）は作
動しない。また、処理水貯留槽（６）の水位はＬ２以下
にあり、放流ポンプ（Ｐ１）も作動しない。放流ポンプ
（Ｐ１）が作動するのは、水位がＬ２よりも高くなった
ときと設定されている。
【００１７】曝気槽（４）の水位は、Ｌ１よりも上にあ
り、膜分離装置（５）によって固液分離された処理水
は、曝気槽（４）と処理水貯留槽（６）の水頭差によっ
て曝気槽（４）から処理水貯留槽（６）に移送される。 （曝気槽水位）≦Ｌ１、かつ（処理水貯留槽水位）≦
Ｌ２のとき このような状態は、たとえば、夜中等の排水が新たに槽
内に流入しないときに起こる。
り、膜分離装置（５）によって固液分離された処理水
は、曝気槽（４）と処理水貯留槽（６）の水頭差によっ
て曝気槽（４）から処理水貯留槽（６）に移送される。 （曝気槽水位）≦Ｌ１、かつ（処理水貯留槽水位）≦
Ｌ２のとき このような状態は、たとえば、夜中等の排水が新たに槽
内に流入しないときに起こる。
【００１８】水位センサ（１３）（１７）によって、曝
気槽（４）及び処理水貯留槽（６）の水位が、各々、Ｌ
１，Ｌ２と検知されると、バルブ（Ｖ１）は閉じ、吸引
ポンプ（Ｐ２）が稼働する。そして、吸引ポンプ（Ｐ
２）は強制的に吸引し、被処理水を膜分離装置（５）に
通し、固液分離させて、連通管（９）の吸引ポンプ（Ｐ
２）側の流路を通じて処理水貯留槽（６）に移送する。
処理水貯留槽（６）が水位Ｌ３に到達すると、水位セン
サ（１７）によるＬ３の検知を受けて、吸引ポンプ（Ｐ
２）は停止する。水位Ｌ３は、曝気槽（４）に関する水
位Ｌ１に対して、 Ｌ３ ＝ Ｌ１ ＋ α と定められている。αは、たとえば、浄化槽の処理能力
等に応じて適宜な値とすることができ、１０〜６０cmの
範囲が好ましく例示される。通常は３０cm程度とするこ
とができる。
気槽（４）及び処理水貯留槽（６）の水位が、各々、Ｌ
１，Ｌ２と検知されると、バルブ（Ｖ１）は閉じ、吸引
ポンプ（Ｐ２）が稼働する。そして、吸引ポンプ（Ｐ
２）は強制的に吸引し、被処理水を膜分離装置（５）に
通し、固液分離させて、連通管（９）の吸引ポンプ（Ｐ
２）側の流路を通じて処理水貯留槽（６）に移送する。
処理水貯留槽（６）が水位Ｌ３に到達すると、水位セン
サ（１７）によるＬ３の検知を受けて、吸引ポンプ（Ｐ
２）は停止する。水位Ｌ３は、曝気槽（４）に関する水
位Ｌ１に対して、 Ｌ３ ＝ Ｌ１ ＋ α と定められている。αは、たとえば、浄化槽の処理能力
等に応じて適宜な値とすることができ、１０〜６０cmの
範囲が好ましく例示される。通常は３０cm程度とするこ
とができる。
【００１９】なお、水位センサ（１７）による水位Ｌ３
の検知は、水位センサ（１３）の曝気槽（４）の水位検
知に代えることも可能である。すなわち、曝気槽（４）
にＬ１より下方位置の水位Ｌ４を、処理水貯留槽（６）
の水位Ｌ２−Ｌ３間の容量から算出し、これを設定し
て、曝気槽（４）の水位がこの水位Ｌ４以下となること
を水位センサ（１３）で検知させる。この水位センサ
（１３）の水位Ｌ４の検知は、曝気槽（４）、処理水貯
留槽（６）の両槽の水位に関して、水位センサ（１７）
による水位Ｌ３の検知と全く同義である。
の検知は、水位センサ（１３）の曝気槽（４）の水位検
知に代えることも可能である。すなわち、曝気槽（４）
にＬ１より下方位置の水位Ｌ４を、処理水貯留槽（６）
の水位Ｌ２−Ｌ３間の容量から算出し、これを設定し
て、曝気槽（４）の水位がこの水位Ｌ４以下となること
を水位センサ（１３）で検知させる。この水位センサ
（１３）の水位Ｌ４の検知は、曝気槽（４）、処理水貯
留槽（６）の両槽の水位に関して、水位センサ（１７）
による水位Ｌ３の検知と全く同義である。
【００２０】吸引ポンプ（Ｐ２）が停止すると、バルブ
（Ｖ１）が開く。このとき、曝気槽（４）の水位は以上
から明らかなようにＬ１よりも低く、このため、水位Ｌ
３にある処理水貯留槽（６）との間に水頭差が生じてい
る。この水頭差に基づいて、曝気処理時とは逆に、処理
水貯留槽（６）内の処理水が、連通管（９）のバルブ
（Ｖ１）側の流路を通って膜分離装置（５）に流れ込
み、ここに設けられた平膜（１６）を洗浄する。この逆
洗は、曝気槽（４）、処理水貯留槽（６）の両槽の水位
が一致したところで自発的に終了する。
（Ｖ１）が開く。このとき、曝気槽（４）の水位は以上
から明らかなようにＬ１よりも低く、このため、水位Ｌ
３にある処理水貯留槽（６）との間に水頭差が生じてい
る。この水頭差に基づいて、曝気処理時とは逆に、処理
水貯留槽（６）内の処理水が、連通管（９）のバルブ
（Ｖ１）側の流路を通って膜分離装置（５）に流れ込
み、ここに設けられた平膜（１６）を洗浄する。この逆
洗は、曝気槽（４）、処理水貯留槽（６）の両槽の水位
が一致したところで自発的に終了する。
【００２１】一方、浄化槽では、曝気槽（４）の水位が
Ｌ１以下になったときからの経過時間が計測され、これ
が、吸引ポンプ（Ｐ２）の作動から逆洗終了までに十分
として設定された設定時間となったときに、バルブ（Ｖ
１）が閉まり、同時に、放流ポンプ（Ｐ１）が稼働して
処理水貯留槽（６）の水位をＬ２に戻す。バルブ（Ｖ
１）の閉鎖及び放流ポンプ（Ｐ１）の稼働のタイミング
は、このような経過時間に対応させるばかりでなく、曝
気槽（４）、処理水貯留槽（６）の少なくともいずれか
一方の水位検知に対応させることも可能である。この場
合には、逆洗終了時に両槽が平衡する水位を検知側に配
置された水位センサで検知すればよい。
Ｌ１以下になったときからの経過時間が計測され、これ
が、吸引ポンプ（Ｐ２）の作動から逆洗終了までに十分
として設定された設定時間となったときに、バルブ（Ｖ
１）が閉まり、同時に、放流ポンプ（Ｐ１）が稼働して
処理水貯留槽（６）の水位をＬ２に戻す。バルブ（Ｖ
１）の閉鎖及び放流ポンプ（Ｐ１）の稼働のタイミング
は、このような経過時間に対応させるばかりでなく、曝
気槽（４）、処理水貯留槽（６）の少なくともいずれか
一方の水位検知に対応させることも可能である。この場
合には、逆洗終了時に両槽が平衡する水位を検知側に配
置された水位センサで検知すればよい。
【００２２】このように、膜分離装置（５）の洗浄に際
して、曝気槽（４）と処理水貯留槽（６）の間に曝気処
理時とは逆の水頭をかけて処理水を膜分離装置（５）に
直接供給するため、曝気管（７）から噴出する空気で被
処理水に上昇攪拌流を発生させて膜洗浄を行う場合に比
べ、洗浄力は向上し、平膜（１６）の細孔への汚泥の付
着等を十分に解消することができる。その結果、膜洗浄
のインターバルを長くとることが可能となり、目詰まり
などに対するメンテナンスにかかる手間を軽減すること
ができる。
して、曝気槽（４）と処理水貯留槽（６）の間に曝気処
理時とは逆の水頭をかけて処理水を膜分離装置（５）に
直接供給するため、曝気管（７）から噴出する空気で被
処理水に上昇攪拌流を発生させて膜洗浄を行う場合に比
べ、洗浄力は向上し、平膜（１６）の細孔への汚泥の付
着等を十分に解消することができる。その結果、膜洗浄
のインターバルを長くとることが可能となり、目詰まり
などに対するメンテナンスにかかる手間を軽減すること
ができる。
【００２３】なお、以上において、膜分離装置（５）の
洗浄のタイミングを、曝気槽（４）が最低水位に達した
ときに開始されるように設定すると、浄化槽に新たな排
水の流入がない状態で膜分離装置（５）を洗浄すること
ができ、洗浄効果がより高まる。図２は、この発明の浄
化槽の別の例を示した要部構成図である。
洗浄のタイミングを、曝気槽（４）が最低水位に達した
ときに開始されるように設定すると、浄化槽に新たな排
水の流入がない状態で膜分離装置（５）を洗浄すること
ができ、洗浄効果がより高まる。図２は、この発明の浄
化槽の別の例を示した要部構成図である。
【００２４】この図２に示した例においては、逆洗手段
の構成が図１に示した例と相違している。この図２の例
では、逆洗手段は、洗浄水貯留槽（１８）とその下流側
に直列接続されたバルブ（Ｖ２）を備えている。これら
洗浄水貯留槽（１８）及びバルブ（Ｖ２）は、連通管
（９）から分岐し、放流管（１５）に接続された洗浄水
流入管（１９）の途中に接続されている。洗浄水貯留槽
（１８）は、処理水貯留槽（６）とともに、消毒槽
（８）にも連通し、また、曝気槽（４）及び処理水貯留
槽（６）よりも高い位置に配置されている。さらに、洗
浄水貯留槽（１８）には、水位Ｌ３を検知する水位セン
サ（２０）が設けられてもいる。この水位Ｌ３は、洗浄
水流入管（１９）の上部よりも上位に設定されている。
の構成が図１に示した例と相違している。この図２の例
では、逆洗手段は、洗浄水貯留槽（１８）とその下流側
に直列接続されたバルブ（Ｖ２）を備えている。これら
洗浄水貯留槽（１８）及びバルブ（Ｖ２）は、連通管
（９）から分岐し、放流管（１５）に接続された洗浄水
流入管（１９）の途中に接続されている。洗浄水貯留槽
（１８）は、処理水貯留槽（６）とともに、消毒槽
（８）にも連通し、また、曝気槽（４）及び処理水貯留
槽（６）よりも高い位置に配置されている。さらに、洗
浄水貯留槽（１８）には、水位Ｌ３を検知する水位セン
サ（２０）が設けられてもいる。この水位Ｌ３は、洗浄
水流入管（１９）の上部よりも上位に設定されている。
【００２５】バルブ（Ｖ２）にはたとえば電磁弁が好ま
しく適用され、このバルブ（Ｖ２）及び洗浄水貯留槽
（１８）に設けられた水位センサ（２０）は、図５に示
した制御部（１０）に電気的に接続されている。なお、
連通管（９）には、図１に示した例と同様に、その途中
にバルブ（Ｖ１）が設けられている。
しく適用され、このバルブ（Ｖ２）及び洗浄水貯留槽
（１８）に設けられた水位センサ（２０）は、図５に示
した制御部（１０）に電気的に接続されている。なお、
連通管（９）には、図１に示した例と同様に、その途中
にバルブ（Ｖ１）が設けられている。
【００２６】このような構成を有する逆洗手段が付設さ
れた浄化槽は、次のような動作を行う。 曝気処理時 連通管（９）の途中に設けられたバルブ（Ｖ１）は開い
ており、吸引ポンプ（Ｐ２）は作動しない。また、処理
水貯留槽（６）の水位はＬ２以下にあり、放流ポンプ
（Ｐ１）も作動しない。放流ポンプ（Ｐ１）が作動する
のは、水位がＬ２よりも高くなったときと設定されてい
る。
れた浄化槽は、次のような動作を行う。 曝気処理時 連通管（９）の途中に設けられたバルブ（Ｖ１）は開い
ており、吸引ポンプ（Ｐ２）は作動しない。また、処理
水貯留槽（６）の水位はＬ２以下にあり、放流ポンプ
（Ｐ１）も作動しない。放流ポンプ（Ｐ１）が作動する
のは、水位がＬ２よりも高くなったときと設定されてい
る。
【００２７】曝気槽（４）の水位は、Ｌ１よりも上にあ
り、膜分離装置（５）によって固液分離された処理水
は、曝気槽（４）と処理水貯留槽（６）の水頭差を駆動
源として曝気槽（４）から処理水貯留槽（６）に移送さ
れる。処理水貯留槽（６）の水位がＬ２を越え、これを
水位センサ（１７）で検知すると、放流ポンプ（Ｐ２）
が稼働し、処理水を洗浄水貯留槽（１８）に吸い上げ
る。洗浄水貯留槽（１８）には、越流レベルを規定する
越流堰が設けられており、この越流堰以下に洗浄水貯留
槽（１８）は、処理水を所定量貯留するだけの容量を有
している。越流レベルを越えると、処理水は消毒槽
（８）に流下するようになっている。 （曝気槽水位）≦Ｌ１のとき 曝気槽（４）の水位がＬ１以下となると、水位検知セン
サ（１３）の水位検知に基いてバルブ（Ｖ１）が閉じ、
放流ポンプ（Ｐ１）が停止する。同時に、バルブ（Ｖ
２）が開く。洗浄水貯留槽（１８）は、曝気槽（４）及
び処理水貯留槽（６）よりも高い位置に配置されている
ため、曝気槽（４）との間に水頭差を有している。この
ため、貯留されていた所定量の処理水が、その水頭を駆
動源として洗浄水流入管（１９）から連通管（９）を経
て膜分離装置（５）に供給される。平膜（１６）はこの
処理水により洗浄される。 （洗浄水貯留槽水位）＝Ｌ３のとき 水位センサ（２０）によって洗浄水貯留槽（１８）の水
位がＬ３となったことが検知されると、バルブ（Ｖ２）
が閉じる。これは、洗浄水貯留槽（１８）の水位がＬ３
以下となると、洗浄水流入管（１９）を通じて連通管
（９）及び膜分離装置（５）内部に空気が入り込み、サ
イホン効果が失われるからである。
り、膜分離装置（５）によって固液分離された処理水
は、曝気槽（４）と処理水貯留槽（６）の水頭差を駆動
源として曝気槽（４）から処理水貯留槽（６）に移送さ
れる。処理水貯留槽（６）の水位がＬ２を越え、これを
水位センサ（１７）で検知すると、放流ポンプ（Ｐ２）
が稼働し、処理水を洗浄水貯留槽（１８）に吸い上げ
る。洗浄水貯留槽（１８）には、越流レベルを規定する
越流堰が設けられており、この越流堰以下に洗浄水貯留
槽（１８）は、処理水を所定量貯留するだけの容量を有
している。越流レベルを越えると、処理水は消毒槽
（８）に流下するようになっている。 （曝気槽水位）≦Ｌ１のとき 曝気槽（４）の水位がＬ１以下となると、水位検知セン
サ（１３）の水位検知に基いてバルブ（Ｖ１）が閉じ、
放流ポンプ（Ｐ１）が停止する。同時に、バルブ（Ｖ
２）が開く。洗浄水貯留槽（１８）は、曝気槽（４）及
び処理水貯留槽（６）よりも高い位置に配置されている
ため、曝気槽（４）との間に水頭差を有している。この
ため、貯留されていた所定量の処理水が、その水頭を駆
動源として洗浄水流入管（１９）から連通管（９）を経
て膜分離装置（５）に供給される。平膜（１６）はこの
処理水により洗浄される。 （洗浄水貯留槽水位）＝Ｌ３のとき 水位センサ（２０）によって洗浄水貯留槽（１８）の水
位がＬ３となったことが検知されると、バルブ（Ｖ２）
が閉じる。これは、洗浄水貯留槽（１８）の水位がＬ３
以下となると、洗浄水流入管（１９）を通じて連通管
（９）及び膜分離装置（５）内部に空気が入り込み、サ
イホン効果が失われるからである。
【００２８】このバルブ（Ｖ２）の閉鎖タイミングは、
水位がＬ３に到達する以前とすることも可能である。こ
の場合には、所要時間を設定してバルブ（Ｖ２）の開放
時間をタイマによって計測すればよい。水位センサ（２
０）の省略が可能となる。以上の図２に示した浄化槽の
場合にも、図１の例と全く同様に、膜分離装置（５）の
洗浄に際して、曝気槽（４）と処理水貯留槽（６）の間
に曝気処理時とは逆の水頭をかけて処理水を膜分離装置
（５）に直接供給することができる。このため、膜分離
装置（５）の効果的な洗浄が可能となり、平膜（１６）
の細孔への汚泥の付着等を十分に解消することができ
る。膜洗浄のインターバルを長くとることが可能で、目
詰まりなどに対するメンテナンスにかかる手間が軽減さ
れる。
水位がＬ３に到達する以前とすることも可能である。こ
の場合には、所要時間を設定してバルブ（Ｖ２）の開放
時間をタイマによって計測すればよい。水位センサ（２
０）の省略が可能となる。以上の図２に示した浄化槽の
場合にも、図１の例と全く同様に、膜分離装置（５）の
洗浄に際して、曝気槽（４）と処理水貯留槽（６）の間
に曝気処理時とは逆の水頭をかけて処理水を膜分離装置
（５）に直接供給することができる。このため、膜分離
装置（５）の効果的な洗浄が可能となり、平膜（１６）
の細孔への汚泥の付着等を十分に解消することができ
る。膜洗浄のインターバルを長くとることが可能で、目
詰まりなどに対するメンテナンスにかかる手間が軽減さ
れる。
【００２９】図３は、この発明の浄化槽の別の例を示し
た要部構成図である。この図３に示した例においては、
逆洗手段は、伸縮自在なエアバッグ（２１）とこのエア
バッグ（２１）の送排気手段を備えている。エアバッグ
（２１）は曝気槽（４）に内装されている。エアバッグ
（２１）の送排気手段は、図４に示したように、たとえ
ば、浄化槽に設けられた曝気用のブロア（２２）からの
分岐配管（２３）とこの分岐配管（２３）に接続された
バルブ（Ｖ４）（Ｖ５）から構成することができる。こ
の図４に示した例においては、バルブ（Ｖ４）は分岐配
管（２３）の途中に設けられている。バルブ（Ｖ５）は
排気用に設けられたものであり、バルブ（Ｖ４）よりも
ブロア（２２）側に配置され、しかも分岐配管（２３）
に分岐接続されている。このように、エアバック（２
１）の空気源を別途設けるのではなく、浄化槽に設置さ
れているブロア（２２）を利用し、併用することで、逆
洗手段の付設に伴う浄化槽のコスト高騰を抑えることが
でき、また、浄化槽のコンパクト化が図られもする。
た要部構成図である。この図３に示した例においては、
逆洗手段は、伸縮自在なエアバッグ（２１）とこのエア
バッグ（２１）の送排気手段を備えている。エアバッグ
（２１）は曝気槽（４）に内装されている。エアバッグ
（２１）の送排気手段は、図４に示したように、たとえ
ば、浄化槽に設けられた曝気用のブロア（２２）からの
分岐配管（２３）とこの分岐配管（２３）に接続された
バルブ（Ｖ４）（Ｖ５）から構成することができる。こ
の図４に示した例においては、バルブ（Ｖ４）は分岐配
管（２３）の途中に設けられている。バルブ（Ｖ５）は
排気用に設けられたものであり、バルブ（Ｖ４）よりも
ブロア（２２）側に配置され、しかも分岐配管（２３）
に分岐接続されている。このように、エアバック（２
１）の空気源を別途設けるのではなく、浄化槽に設置さ
れているブロア（２２）を利用し、併用することで、逆
洗手段の付設に伴う浄化槽のコスト高騰を抑えることが
でき、また、浄化槽のコンパクト化が図られもする。
【００３０】なお、この図３に示した浄化槽にも、図１
及び図２に示した例と同様に、連通管（９）には、その
途中にバルブ（Ｖ１）が設けられている。以上の構成を
有する逆洗手段が付設された浄化槽は、次のような動作
を行う。 曝気処理時 連通管（９）の途中に設けられたバルブ（Ｖ１）は開い
ており、水位がＬ１よりも上位にある曝気槽（４）から
処理水貯留槽（６）に向かって、膜分離装置（５）によ
って固液分離された処理水が、曝気槽（４）と処理水貯
留槽（６）の水頭差に基づいて移送される。処理水貯留
槽（６）の水位はこの処理水の移送に伴って上昇し、水
位がＬ２よりも高くなった時点で放流ポンプ（Ｐ１）が
稼働する。 （曝気槽水位）≦Ｌ１、かつ（処理水貯留槽水位）≦
Ｌ２のとき 水位Ｌ１及びＬ２が水位センサ（１３）（１７）でそれ
ぞれ検知されると、放流ポンプ（Ｐ１）が停止する。こ
れと同時に、曝気槽（４）内に内装されたエアバック
（２１）に、図４に示したブロア（２２）から空気が送
り込まれる。このとき、バルブ（Ｖ４）は開き、バルブ
（Ｖ５）は閉じている。
及び図２に示した例と同様に、連通管（９）には、その
途中にバルブ（Ｖ１）が設けられている。以上の構成を
有する逆洗手段が付設された浄化槽は、次のような動作
を行う。 曝気処理時 連通管（９）の途中に設けられたバルブ（Ｖ１）は開い
ており、水位がＬ１よりも上位にある曝気槽（４）から
処理水貯留槽（６）に向かって、膜分離装置（５）によ
って固液分離された処理水が、曝気槽（４）と処理水貯
留槽（６）の水頭差に基づいて移送される。処理水貯留
槽（６）の水位はこの処理水の移送に伴って上昇し、水
位がＬ２よりも高くなった時点で放流ポンプ（Ｐ１）が
稼働する。 （曝気槽水位）≦Ｌ１、かつ（処理水貯留槽水位）≦
Ｌ２のとき 水位Ｌ１及びＬ２が水位センサ（１３）（１７）でそれ
ぞれ検知されると、放流ポンプ（Ｐ１）が停止する。こ
れと同時に、曝気槽（４）内に内装されたエアバック
（２１）に、図４に示したブロア（２２）から空気が送
り込まれる。このとき、バルブ（Ｖ４）は開き、バルブ
（Ｖ５）は閉じている。
【００３１】ブロア（２２）から空気が送り込まれるに
従って、エアバック（２１）は次第に膨張し、曝気槽
（４）内の被処理水の見かけの容積が増加する。これに
より、曝気槽（４）内の被処理水は強制的に膜分離装置
（５）に通じ、処理水貯留槽（６）に移送される。その
結果、処理水貯留槽（６）の水位は上昇する。 （処理水貯留槽水位）≧Ｌ３のとき 処理水貯留槽（６）の水位がＬ３に達したことが水位セ
ンサ（１７）で検知されると、ブロア（２２）が停止
し、エアバック（２１）への送気が停止する。同時に、
図４に示したバルブ（Ｖ５）が開き、エアバック（２
１）内の空気が、分岐配管（２３）を通ってこのバルブ
（Ｖ５）から放出され、エアバック（２１）の空気抜き
が行われる。このため、エアバック（２１）は縮み、曝
気槽（４）の水位は、処理水貯留槽（６）の水位Ｌ３よ
りも低くなり、水頭差が生じる。処理水は、曝気時とは
逆の水頭を駆動源として処理水貯留槽（６）から連通管
（９）を通って膜洗浄装置（５）に流入し、膜洗浄装置
（５）を洗浄する。
従って、エアバック（２１）は次第に膨張し、曝気槽
（４）内の被処理水の見かけの容積が増加する。これに
より、曝気槽（４）内の被処理水は強制的に膜分離装置
（５）に通じ、処理水貯留槽（６）に移送される。その
結果、処理水貯留槽（６）の水位は上昇する。 （処理水貯留槽水位）≧Ｌ３のとき 処理水貯留槽（６）の水位がＬ３に達したことが水位セ
ンサ（１７）で検知されると、ブロア（２２）が停止
し、エアバック（２１）への送気が停止する。同時に、
図４に示したバルブ（Ｖ５）が開き、エアバック（２
１）内の空気が、分岐配管（２３）を通ってこのバルブ
（Ｖ５）から放出され、エアバック（２１）の空気抜き
が行われる。このため、エアバック（２１）は縮み、曝
気槽（４）の水位は、処理水貯留槽（６）の水位Ｌ３よ
りも低くなり、水頭差が生じる。処理水は、曝気時とは
逆の水頭を駆動源として処理水貯留槽（６）から連通管
（９）を通って膜洗浄装置（５）に流入し、膜洗浄装置
（５）を洗浄する。
【００３２】この逆洗は、曝気槽（４）、処理水貯留槽
（６）の両槽の水位が一致したところで自発的に終了す
る。一方、浄化槽では、曝気槽（４）の水位がＬ１以下
になったときからの経過時間が計測され、逆洗終了まで
の予め設定された設定時間となったときに、バルブ（Ｖ
１）が閉まり、同時に、放流ポンプ（Ｐ１）が稼働して
処理水貯留槽（６）の水位をＬ２に戻す。このバルブ
（Ｖ１）の閉鎖及び放流ポンプ（Ｐ１）の稼働のタイミ
ングは、図１の例と同様に、経過時間に対応させるばか
りでなく、曝気槽（４）、処理水貯留槽（６）の少なく
ともいずれか一方の水位検知に対応させることも可能で
ある。
（６）の両槽の水位が一致したところで自発的に終了す
る。一方、浄化槽では、曝気槽（４）の水位がＬ１以下
になったときからの経過時間が計測され、逆洗終了まで
の予め設定された設定時間となったときに、バルブ（Ｖ
１）が閉まり、同時に、放流ポンプ（Ｐ１）が稼働して
処理水貯留槽（６）の水位をＬ２に戻す。このバルブ
（Ｖ１）の閉鎖及び放流ポンプ（Ｐ１）の稼働のタイミ
ングは、図１の例と同様に、経過時間に対応させるばか
りでなく、曝気槽（４）、処理水貯留槽（６）の少なく
ともいずれか一方の水位検知に対応させることも可能で
ある。
【００３３】以上からも明らかなように、この図３に示
した浄化槽の場合にも、図１及び図２の例と全く同様の
効果が得られる。もちろんこの発明は、以上の例によっ
て限定されるものではない。膜分離装置をはじめとし
て、バルブ、吸引及び放流ポンプ、水位センサ等の構成
や構造などの細部については様々な態様が可能であるこ
とは言うまでもない。
した浄化槽の場合にも、図１及び図２の例と全く同様の
効果が得られる。もちろんこの発明は、以上の例によっ
て限定されるものではない。膜分離装置をはじめとし
て、バルブ、吸引及び放流ポンプ、水位センサ等の構成
や構造などの細部については様々な態様が可能であるこ
とは言うまでもない。
【００３４】
【発明の効果】以上詳しく説明した通り、この発明によ
って、膜分離装置の洗浄に際して、曝気槽と処理水貯留
槽の間に通常時とは逆の水頭をかけることにより、処理
水貯留槽から処理水を膜分離装置に直接供給することが
できる。この洗浄水の逆流によって、濾過膜々面の洗浄
力が大きくなり、細孔への汚泥の付着等を十分に解消す
ることができる。膜洗浄のインターバルを長くとること
が可能となり、目詰まりなどに対するメンテナンスにか
かる手間が軽減される。
って、膜分離装置の洗浄に際して、曝気槽と処理水貯留
槽の間に通常時とは逆の水頭をかけることにより、処理
水貯留槽から処理水を膜分離装置に直接供給することが
できる。この洗浄水の逆流によって、濾過膜々面の洗浄
力が大きくなり、細孔への汚泥の付着等を十分に解消す
ることができる。膜洗浄のインターバルを長くとること
が可能となり、目詰まりなどに対するメンテナンスにか
かる手間が軽減される。
【図１】この発明の浄化槽の一実施例を示した要部構成
図である。
図である。
【図２】この発明の浄化槽の別の例を示した要部構成図
である。
である。
【図３】この発明の浄化槽の別の例を示した要部構成図
である。
である。
【図４】図３に示した例におけるエアバッグの送排気手
段を示した要部構成図である。
段を示した要部構成図である。
【図５】従来の膜分離式の浄化槽を示した構成図であ
る。
る。
１，２ 流量調整槽
３ 移送ポンプ
４ 曝気槽
５ 膜分離装置
６ 処理水貯留槽
７ 散気管
８ 消毒槽
９ 連通管
１０ 制御部
１１，１３，１７，２０ 水位センサ
１４ 移送管
１５ 放流管
１８ 洗浄水貯留槽
１９ 洗浄水流入管
２１ エアバック
２２ ブロア
２３ 分岐配管
Ｐ１ 放流ポンプ
Ｐ２ 吸引ポンプ
Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５ バルブ
Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３ 水位
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 中岡 敬善
大阪府門真市大字門真1048番地 松下電
工株式会社内
(56)参考文献 特開 平８−89960（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−218237（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−71279（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−151030（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−42018（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−136404（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−24855（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C02F 1/44
B01D 61/00 - 65/10
C02F 3/12
Claims (6)
- 【請求項１】 被処理水を活性汚泥により好気的に生物
学的処理する曝気槽に、膜分離装置が被処理水に浸漬可
能に内装され、この膜分離装置を介して処理水貯留槽が
曝気槽と連通して設けられ、膜分離装置は、被処理水を
固液分離し、曝気槽と処理水貯留槽の間の水頭差を駆動
源として膜透過液を処理水貯留槽に送る一方、活性汚泥
は曝気槽に保持する浄化槽において、処理水貯留槽側の
水位を一時的に曝気槽より高くして曝気槽と処理水貯留
槽の間に通常時とは逆の水頭をかけ、これを駆動源とし
て処理水を処理水貯留槽から逆流させて膜分離装置に直
接供給し、洗浄する逆洗手段が付設されていることを特
徴とする浄化槽。 - 【請求項２】 逆洗手段はバルブと吸引ポンプを並列し
て備え、これらバルブ、吸引ポンプの各々が、曝気槽と
処理水貯留槽を連通する連通管の途中に接続されている
請求項１記載の浄化槽。 - 【請求項３】 曝気槽と処理水貯留槽を連通する連通管
が設けられ、処理水貯留槽には処理水を汲み上げる放流
ポンプと放流管が設けられ、逆洗手段は曝気槽及び処理
水貯留槽よりも高い位置に配置された洗浄水貯留槽とそ
の下流側に直列接続されたバルブを備え、これら洗浄水
貯留槽及びバルブが、連通管から分岐し、放流管に接続
された洗浄水流入管の途中に接続されている請求項１記
載の浄化槽。 - 【請求項４】 逆洗手段は伸縮自在なエアバッグとこの
エアバッグの送排気手段を備え、エアバッグは曝気槽に
内装されている請求項１記載の浄化槽。 - 【請求項５】 エアバッグの送排気手段は、曝気用のブ
ロアからの分岐配管とこの分岐配管に接続されたバルブ
からなる請求項４記載の浄化槽。 - 【請求項６】 膜分離装置の洗浄タイミングが、曝気槽
の水位が設定最低水位に到達したときと設定されている
請求項１乃至５いずれかに記載の浄化槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28440396A JP3370864B2 (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 浄化槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28440396A JP3370864B2 (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 浄化槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10128328A JPH10128328A (ja) | 1998-05-19 |
| JP3370864B2 true JP3370864B2 (ja) | 2003-01-27 |
Family
ID=17678127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28440396A Expired - Fee Related JP3370864B2 (ja) | 1996-10-25 | 1996-10-25 | 浄化槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3370864B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101926857B1 (ko) * | 2018-07-24 | 2019-03-07 | (주)엠비티 | 분리막 자동 세정장치 및 이를 이용한 분리막 고속 자동 세정방법 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100315968B1 (ko) * | 1999-09-27 | 2001-12-12 | 정순착 | 흡입진공압 해제기능을 구비한 침지형 분리막 폐수처리 장치 및 방법 |
| JP2003019481A (ja) * | 2001-07-06 | 2003-01-21 | Asahi Kasei Corp | 膜分離装置の液面管理方法 |
| US6863817B2 (en) | 2002-12-05 | 2005-03-08 | Zenon Environmental Inc. | Membrane bioreactor, process and aerator |
| JP5617009B1 (ja) * | 2013-05-22 | 2014-10-29 | 有限会社環境情報 | 排水処理装置 |
-
1996
- 1996-10-25 JP JP28440396A patent/JP3370864B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101926857B1 (ko) * | 2018-07-24 | 2019-03-07 | (주)엠비티 | 분리막 자동 세정장치 및 이를 이용한 분리막 고속 자동 세정방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10128328A (ja) | 1998-05-19 |
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