JP3370281B2 - 半導体工程データ統合管理方法 - Google Patents

半導体工程データ統合管理方法

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    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体工程データ統
合管理方法に係り、より詳細には、一つの半導体生産ラ
インから発生する工程データに容易に接近するため、ま
たは連関された工程を実行する二つ以上の半導体生産ラ
インから発生する工程データを共有してその工程データ
に容易に接近するため半導体工程データを統合管理する
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】急速に発展している半導体産業は単位面
積当りより増加された半導体素子を集積するため多様な
半導体設備及び製造技術の開発が進行されている。
【０００３】一つの完成された半導体製品を生産するた
めには半導体製品の母材料である純粋シリコンを精製し
てウェハ(wafer)を生産してウェハに半導体素子を集積
するウェハ処理工程を経た後、処理されたウェハに電気
的製品検査(EDS : electrical die sorting)が終了さ
れると、ウェハに形成されたチップ(chip)を切断した印
刷回路基板等に適用できるようにパッケージアセンブリ
(package assemble)工程を実行した後、最終製品検査を
する複雑な一連の過程を経る。
【０００４】このようなウェハの生産工程、ウェハ処理
工程、ウェハの電気的製品検査工程、パッケージアセン
ブリ工程、製品検査工程は各各異なる半導体生産ライン
で工程が進行されて、各各の半導体生産ラインで進行さ
れる一連の半導体製造工程の效率を高めるとともに半導
体工程中発生したエラーに迅速に対処できるように半導
体生産ラインでは半導体の工程流れ制御及び半導体設備
を管理する半導体設備管理システムが適用されている。
【０００５】図４は従来の２個の半導体生産ラインに適
用された半導体設備管理システムを示すブロック図であ
る。図示されるように、従来の半導体設備管理システム
１００は、半導体工程を進行する多数の半導体設備１１
０と、半導体設備１１０が情密に工程を実行できるよう
に半導体設備１１０を制御する設備サーバー１２０と、
半導体設備１１０が半導体製造工程を実行するため必要
な尨大な工程データを設備サーバー(server)１２０にダ
ウンロード(download)するホスト１３０、１３５とを含
んでいる。
【０００６】より詳細に説明すると、多数の半導体に設
備１１０と対応する設備サーバー１２０はSECSプロトコ
ル(semi communication standard protocol)またはRS-2
32Cにより通信して、設備サーバー１２０とホスト１３
０、１３５はTCP/IPプロトコルにより双方通信するよう
になっている。即ち、半導体設備-設備サーバー-ホスト
は一つのネットワーク(network)上にオンライン(onlin
e)で連結されている。
【０００７】また、半導体設備管理システム１００に設
置されたホストは少なくとも二つ以上を必要として、二
つ以上のホストＡ、Ｂ１３０、１３５は各各異なる機能
を実行する。その中でホストＡ１３０は工程制御ホスト
であり、ホストＢ１３５はデータ貯蔵用ホストで、その
データ貯蔵用ホストＢ１３５にはデータサーバー１３７
が設置されている。データサーバー１３７には多様なデ
ータの中で特定データだけを取扱する多数個のデータ管
理モジュール(module)１３７ａ、１３７〜１３７ｎがイ
ンストール(install)されている。
【０００８】データ管理モジュールはハードウェア的な
概念ではなくソフトウェア的な概念でデータ貯蔵用ホス
トＢ１３５にインストールされた応用プログラム(appli
cation program)である。一例で、データ管理モジュー
ルは、多数個の半導体設備１１０がクリニングされた時
点を基準として半導体設備１１０のクリニング時期を点
検してクリニング時期データを発生して設備の履歴を管
理する装備履歴管理モジュール１３７ａと、多数個の半
導体設備１１０で工程が進行された後それを計測した結
果発生する計測データを組合して発生する統計データを
管理する統計管理モジュール１３７ｂと、各各の半導体
設備１１０の現在状態(RUN,DOWN,IDLE)を監視してモニ
タリングデータを発生させる設備監視モジュール１３７
ｎ等がある。ここで、データ管理モジュール１３７ａ、
１３７ｂ、…、１３７ｎの中で１個だけ説明したが必要
によって多数のデータ管理モジュールをデータ貯蔵用ホ
スト１３５のデータサーバー１３７に設置できる。
【０００９】一方、ネットワーク上には多数個のユーザ
ーインタウェース(user interface: 以下、UIと称す
る)コンピュータ１４０ａ、１４０ｂ、…、１４０ｎと
多数個のO/I PC１５０がオンラインで連結されている。
UIコンピュータは分析者または作業者が工程に必要なデ
ータ及び設備異常原因を分析するためのデータをデータ
貯蔵用ホスト１３５からダウンロードを受けるように半
導体設備管理システムとオンラインで連結されている。
【００１０】また、作業者が装備の履歴管理データを得
るためにはデータ貯蔵用ホスト１３５に形成されている
装備履歴管理モジュール１３７ａと接続して装備履歴管
理データに接近できるように作業者のUIコンピュータ１
４０ａまたは別のUIコンピュータに装備履歴管理用プロ
グラムをインストールする必要があり、作業者がデータ
貯蔵用ホストＢ１３５に形成されている統計管理モジュ
ール１３７ｂと接続して統計管理データを得るためには
作業者のUIコンピュータ１４０ｂまたは別のUIコンピュ
ータで統計管理用プログラムをインストールしなければ
ならない。このような過程を反復して作業者はデータ貯
蔵用ホストＢ１３５に形成されている多数のデータ管理
モジュール１３７ａ、１３７ｂ、…、１３７nと接続し
て所望するデータが分析できる。
【００１１】また、半導体設備管理システム１００には
UIコンピュータ１４０ａ、１４０ｂ、…、１４０ｎの以
外にも半導体設備１１０を運営するオペレータ(operato
r)が単純に工程制御ホストＡ１３０からダウンロードさ
れた工程データを確認して半導体設備１１０に工程を進
行させるO/I PC１５０が設置されている。
【００１２】このような半導体設備管理システム１００
が構築されている半導体生産ラインＡは、他の半導体生
産ラインＢと相互データ交換が可能にオンラインで連結
されて各半導体生産ラインＡ、Ｂから発生する多様なデ
ータを相互共有できるようになっている。例えば、ウェ
ハ処理工程を進行する半導体生産ラインからウェハを電
気的で検査する電気的検査工程を進行するEDSラインが
相互オンラインで形成されている時、ウェハ処理工程を
終了したウェハは後属EDSラインに移送されて後属半導
体生産ラインでは移送されたウェハに電気的に検査工程
を実行する。その電気的検査工程を実行することにより
先行工程であるウェハ処理工程により生成された各各の
単位チップの良否が判別されて、不良であると判定され
たチップの中で再活用が可能なチップの再生が可能にな
り、先行工程での不良要因が早期に発見できる。
【００１３】ここで、EDSラインで発見された不良要因
データは、EDSラインホストに設置されて分析モジュー
ルにより処理された後、UIコンピュータを通してEDSラ
インホストに接近した分析者及び作業者により分析され
る。
【００１４】しかし、EDS生産ラインから発見された不
良要因は先行工程であるウェハ処理工程から発生したの
で実際不良要因データを必要とする分析者または作業者
はウェハ処理工程に関与する分析者または作業者であ
る。これによって、ウェハ処理工程を進行する半導体生
産ラインで分析者または作業者はEDSラインの半導体設
備管理システムのデータ貯蔵用ホストに接続した後、不
良要因分析モジュールが提供した応用プログラムを作業
者または分析者のUIコンピュータに設置した後、不良要
因分析モジュールから所望するデータの伝送を受けてこ
れを分析する。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の半導体
管理システムでは、各半導体生産ラインに形成されたデ
ータ貯蔵用ホストには多数のデータ管理モジュールが設
置されて、データ管理モジュールからデータの伝達を受
けるためUIコンピュータには各各のデータ管理モジュー
ルから特定のデータだけの伝送を受けてこれを処理する
ため各データ管理モジュールに対応する応用プログラム
を設置しなければならないためデータを複合的に分析で
きないだけではなくデータ接近しにくい問題点があっ
た。
【００１６】また、半導体生産ラインの半導体設備管理
システムから形成されたUIコンピュータから他の半導体
生産ラインの半導体設備管理システムのデータ貯蔵用ホ
ストに貯蔵されているデータに接近するためには該当デ
ータ貯蔵用ホストに設置されているデータ管理モジュー
ル用応用プログラムを該当UIコンピュータにインストー
ルした後、データに接近しなければならない不便さがあ
った。
【００１７】したがって、本発明はこのような問題点に
着眼して案出されたもので、その目的は、各各の半導体
生産ラインに設置されているデータ貯蔵用ホストに統合
管理モジュールを設置してUIコンピュータから他の半導
体生産ラインのホストに接続すると、接続対象ホストか
ら作業環境データのダウンロードを受けてUIコンピュー
タの作業環境を該当半導体生産ラインのホストと同一に
設定することにより、別の応用プログラムによりインス
トール過程が必要なく統合管理モジュールからデータの
伝送を受けるようにしたことにある。
【００１８】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めの本発明による半導体工程データ統合管理方法は、相
互オンラインで連結された二つ以上の各各の半導体生産
ラインに統合管理システムを構築する段階と、統合管理
システムの中でいずれかの一つに使用者コンピュータを
ログオンさせる段階と、使用者コンピュータの作業環境
をログオンされた統合管理システムの作業環境と同一に
新たに構築する段階と、新たに構築された使用者コンピ
ュータ環境により作業を実行する段階とを含み、前記新
たに構築された使用者コンピュータ環境により作業を実
行する段階は、所望する作業を選択して進行する段階
と、他の作業が存在するかを判断して他の作業が存在す
ると他の作業を選択して進行し、他の作業が全然存在し
ない場合には半導体生産ラインの中で他の一つの統合管
理システムにログオンするかを判断する段階と、ログオ
ンすると判断するとログオンして前記他の統合管理シス
テムの作業環境と使用者コンピュータの作業環境を同一
に構築する段階とを含むことを特徴とする。
【００１９】好ましくは、本発明の目的を達成するため
の各各の統合管理システムには半導体生産ラインから発
生したデータを複合的に処理できる統合管理モジュール
が設置される。
【００２０】好ましくは、ログオン段階は使用者のアイ
ディ（ID）を確認して、使用者の権限を確認して、作業
を実行できる半導体生産ラインを選択する段階を含む。
【００２１】
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、添附図面を参照して本発明
の実施例による半導体工程データ統合管理方法について
詳細に説明する。
【００２３】図１は本発明の一実施例による半導体工程
データ統合管理方法を倶現するための半導体設備管理シ
ステムを示すブロック図である。図１に図示されるよう
に、本発明による半導体設備管理システムは、多数のデ
ータが貯蔵されているホストＡ、Ｂ３１０、３１５と、
ホストＡ、Ｂ３１０、３１５から工程データのダウンロ
ードを受けて半導体工程を実行するための制御命令を発
生させる設備サーバー３２０と、設備サーバー３２０の
工程制御命令によって半導体工程を進行する多数の半導
体設備３３０とを含む。
【００２４】ここで、上述したホストＡ、Ｂ３１０、３
１５-設備サーバー３２０-半導体設備３３０は相互オン
ラインで連結されてネットワークを構成している。この
とき、ホストＡ、Ｂ３１０、３１５と設備サーバー３２
０はTCP/IPプロトコルにより相互通信することにより、
ホストＡ、Ｂ３１０、３１５は設備サーバー３２０に工
程に必要な工程データをダウンロードさせて、設備サー
バー３２０は半導体設備３３０が工程を進行する過程及
び進行率、進行順序等のデータをホストＡ、Ｂ３１０、
３１５にアップロード(upload)してホストＡ、Ｂ３１
０、３１５が後続工程を対備できるようにする。
【００２５】一方、設備サーバー３２０及び半導体設備
３３０は半導体設備通信規約であるSECSプロトコルによ
り通信することによりホストＡ、Ｂ３１０、３１５、設
備サーバー３２０及び半導体設備３３０は相互オンライ
ンで連結される。
【００２６】より具体的に説明すると、本発明による半
導体設備管理システムではホストが二つ以上設置されて
おり、その各各のホストＡ、Ｂ３１０、３１５は異なる
機能を実行する。例えば、ホストＡ３１０は工程に必要
な尨大な制御データを含む工程データベースが構築され
て半導体設備３３０が工程を進行するとき、必要な多数
の工程データをダウンロードして工程制御流れを提供す
る工程制御ホストであり、ホストＢ３１５は半導体設備
３３０が工程を進行しながらまたは工程を進行した後発
生した計測データ、生産情報、ロット情報等多数のデー
タを貯蔵するデータ貯蔵用ホストである。
【００２７】このように、半導体設備管理システムに工
程制御ホストＡ３１０とデータ貯蔵用ホストＢ３１５を
別途で設置した理由は、工程制御ホストＡ３１０がデー
タ貯蔵機能まで持ったたとき、発生する頻繁なデータ入
出力により工程制御ホストＡ３１０に過負荷が発生して
処理能力低下及び工程制御ホストＡ３１０のダウン状態
が発生することを予防するためである。
【００２８】一方、データ貯蔵用ホストＢ３１５にはデ
ータ処理用サーバー３１７が形成されて、データ処理用
サーバー３１７には統合管理モジュール３１７ａが設置
されている。統合管理モジュール３１７ａは一実施例で
該当半導体生産ラインで工程別ロット移動量と、装備別
ロット移動量を日(day)、週(week)、月(month)単位で累
積した累積量データを算出して、現在装備及びロットの
パラメータを登録、修訂するとともに全体工程管理、各
種データから統計データを算出する機能をもつ統合管理
プログラムである。
【００２９】即ち、統合管理モジュール３１７ａは、多
様なフォーマットをもつデータが入力されるとこれらを
分類してデータ貯蔵用ホストＢ３１５の一定領域に貯蔵
するかまたは作業者または分析者の要請によって分類さ
れて貯蔵されている データを複合的に処理して作業者
のUIコンピュータ３４０に伝送する役割をする。作業者
のUIコンピュータ３４０で作業者が所望するデータのダ
ウンロードを受けるためには統合管理モジュール３１７
ａに接続した後所望するデータを要請することにより簡
単に解決される。
【００３０】一方、半導体設備管理システムにはUIコン
ピュータ３４０の他にもO/Iコンピュータ３５０という
オペレータ作業用コンピュータがオンラインで連結され
ている。このO/I PC３５０はホストコンピュータＡ３１
０からダウンロードされた工程データをオペレータが認
識できるようにディスプレイさせることによりオペレー
タによりラン(run)命令または工程中止、簡単なデータ
操作を許容する機能をもつ。
【００３１】このような半導体設備管理システム３００
は、一連の半導体製品を生産するための多数の半導体生
産ラインに全て適用されており、多数の半導体生産ライ
ンに適用されている半導体設備管理システムと半導体設
備管理システムは相互データを共有してデータ接近が容
易にオンラインで連結されている。
【００３２】以下、上述のような半導体設備管理システ
ムによる工程データ統合管理方法について図２を参照し
て説明する。
【００３３】図２及び図３は本発明の一実施例による半
導体工程データ管理方法を示すブロック図である。一つ
の半導体生産ラインまたは一つ以上のオンラインで連結
された半導体生産ラインから発生する多数の工程データ
を統合管理するためには、まず各半導体生産ラインに形
成されている半導体設備管理システムのデータ貯蔵用ホ
ストＢ３１５に統合管理モジュール３１７ａを構築する
(Ｓ１０段階)。
【００３４】このように半導体設備管理システム３００
に統合管理モジュール３１７ａを構築することによって
半導体設備管理システムは工程データ統合管理システム
に転換される。ここで、統合管理モジュール３１７ａが
該当半導体生産ラインに設置されているUIコンピュータ
に提供する環境は各各の半導体生産ラインの特性に合わ
せて構築することが好ましい。例えば、ウェハ処理工程
を進行する半導体生産ラインと、パッケージアセンブリ
工程を実行する半導体生産ラインでは、ウェハ処理工程
を進行する半導体生産ラインと、パッケージアセンブリ
を実行する半導体生産ラインに設置された装備の種類及
び装備の数、工程の種類及び工程数、工程期間等が全て
異なるため各各の半導体生産ラインの特徴に合わせるよ
うに統合管理モジュール３１７ａを構築する。
【００３５】一実施例で、統合管理モジュール３１７ａ
が構築された工程データ統合管理システムＩに作業者UI
コンピュータ３４０を利用してログオンするためには、
工程データ統合管理システムIでは作業者の作業権限及
び作業範囲を確認するため作業者のID、作業者を確認す
るためのパスワード(password)、作業者の作業権限、作
業者が要求する作業選択領域等を確認する段階を経由す
る(Ｓ２０段階)。
【００３６】このような確認段階を経て工程データ統合
管理システムＩは、作業者が選択した該当半導体生産ラ
インに適合に既構築されている作業環境データを作業者
がログオンしたUIコンピュータ３４０にダウンロードさ
せて該当UIコンピュータ３４０に新しい作業環境を構築
する(Ｓ３０段階)。
【００３７】新しい作業環境が構築されると、作業者は
実行する作業を選択した後(Ｓ４０段階)、作業を実行す
る(Ｓ５０段階)。このとき、統合管理モジュール３１７
ａは作業者が選択した作業に適合なデータを作業者がロ
グオンしたUIコンピュータ３４０にダウンロードさせる
かまたは貯蔵されている二つの種類以上ののデータを複
合分析して分析された結果をUIコンピュータ３４０にダ
ウンロードさせる。
【００３８】次に、作業者が選択した作業か判断して作
業を終了することを決定すると(Ｓ６０段階)、該当デー
タ統合管理システムＩで作業するデータがさらにあるか
を判断して(Ｓ７０段階)、判断結果さらに作業が存在す
る場合Ｓ４０段階にフィードバックして作業を継続実行
して、該当データ統合管理システムＩで半導体生産ライ
ンに作業するデータがさらに存在しないと、作業者は該
当データ統合管理システムIの他にも半導体生産ライン
のデータ統合管理システムIIのデータを参照するかをど
うかを決定した後(Ｓ８０段階)、接続すると決定すると
現在半導体生産ラインの工程データ統合管理システムＩ
の接続を断て、接続しようとする半導体生産ラインの工
程データ管理システムIIにログオンする(Ｓ９０段階)。
【００３９】このとき、作業者がログオンしたUIコンピ
ュータ３４０により二番目に接続した半導体生産ライン
の工程データ統合管理システムIIは作業者がログオンし
たUIコンピュータ３４０に作業環境データをダウンロー
ドさせて作業者のUIコンピュータ３４０が新たに作業環
境を構築するようにする(Ｓ１００段階)。
【００４０】新たに作業環境が構築されたUIコンピュー
タ３４０により作業者はデータ統合管理システムIIの中
で所望する作業を選択する(Ｓ１１０段階)。作業が選択
されると統合管理モジュールは作業者が選択したデータ
及び分析されたデータを作業者のUIコンピュータ３４０
にダウンロードさせる(Ｓ１２０段階)。
【００４１】次に、作業者が該当作業を終了するか否か
を判断した後(Ｓ１３０段階)、作業者が選択された作業
を終了すると決定すると接続されている該当工程データ
統合管理システムIIで新たに実行する作業が存在するか
を判断して(Ｓ１４０段階)、新たに実行する作業が存在
しないと他の工程データ統合管理システムIIにログオン
するためのＳ８０段階にフィードバックする。
【００４２】以上、本発明による好ましい実施形態につ
いて詳細に記述したが、本発明が属する技術分野におい
て通常の知識を持つ者であれば、添附された請求範囲に
定義された本発明の精神及び範囲を離脱しなく本発明を
多様に変形または変更して実施できる。
【００４３】
【発明の效果】以上のように本発明による半導体工程デ
ータ統合管理方法によると、多数個の半導体生産ライン
に統合データ管理モジュールを構築して一つの半導体生
産ラインから発生するデータを綜合分析できるようにす
るとともに、一つ以上の半導体生産ラインに接続したと
き、各各異なる設備及び工程流れをもつ他の半導体生産
ラインの作業環境をログオンした該当UIコンピュータに
ダウンロードさせることにより、データの接近性を高め
てデータ共有を容易にして半導体生産環境を改善する效
果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例による半導体設備管理システ
ムを示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施例による半導体工程データ管理
方法を示す流れ図である。
【図３】本発明の一実施例による半導体工程データ管理
方法を示す流れ図である。
【図４】従来の半導体設備管理システムを示すブロック
図である。
【符号の説明】
３００ 半導体設備管理システム ３１０、３１５ ホスト ３１７ データ処理用サーバー ３１７ａ 統合管理モジュール ３２０ 設備サーバー ３３０ 半導体設備 ３４０ UIコンピュータ ３５０ O/I PC

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 相互オンラインで連結された二つ以上の
    各各の半導体生産ラインに統合管理システムを構築する
    段階と、 前記統合管理システムの中でいずれかの一つに使用者コ
    ンピュータをログオンさせる段階と、 前記ログオンされた統合管理システムの作業環境と同一
    に前記使用者コンピュータの作業環境を新たに構築する
    段階と、 前記新たに構築された使用者コンピュータ環境により作
    業を実行する段階と、 を含み、 前記新たに構築された使用者コンピュータ環境により作
    業を実行する段階は、所望する作業を選択して進行する
    段階と、他の作業が存在するかを判断して他の作業が存
    在すると前記他の作業を選択して進行し、他の作業が全
    然存在しない場合には前記半導体生産ラインの中で他の
    一つの統合管理システムにログオンするかを判断する段
    階と、ログオンすると判断すると、ログオンして前記他
    の統合管理システムの作業環境と前記使用者コンピュー
    タの作業環境を同一に構築する段階とを含む ことを特徴
    とする半導体工程データ統合管理方法。
  2. 【請求項２】 前記統合管理システムには、前記各各の
    半導体生産ラインで発生したデータを複合的に処理でき
    る統合管理モジュールが設置されていることを特徴とす
    る請求項１記載の半導体工程データ統合管理方法。
  3. 【請求項３】 前記ログオン段階は、前記使用者のアイ
    ディを確認し、前記使用者の権限を確認して作業を実行
    する半導体生産ラインを選択する段階を含むことを特徴
    とする請求項１記載の半導体工程データ統合管理方法。
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