JP3367797B2 - Manipulator - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明はマニプレータに関
し、特に高温のワークを処理する、例えば鍛造マニプレ
ータとして有用なものである。 【０００２】 【従来の技術】トランスファーマシン等のマニプレータ
のハンドは、ワークを把持するための爪を駆動する油圧
シリンダを有しており、この油圧シリンダの駆動力によ
り平行式やリンク開閉式のハンドの爪を開閉してワーク
をクランプ及びアンクランプするように構成してある。 【０００３】図４は従来技術に係るリンク開閉式のハン
ドの一例を概念的に示す説明図である。同図に示すよう
に、ベース部材１は、図示しないアームの先端部に配設
されており、このベース部材１に油圧シリンダ２及びこ
の油圧シリンダ２に駆動されて開閉するリンク機構で構
成した爪３ａ，３ｂが配設してある。 【０００４】かかるハンドにおいては、油圧シリンダ２
のピストンロッド２ａを伸縮することによりピン４ａ，
４ｂを回動中心として爪３ａ，３ｂが相互に反対方向に
それぞれ回動して開閉する。 【０００５】マニプレータのハンドには、上述の如き爪
３ａ，３ｂの開閉動作とともにハンドの全体が水平軸回
りに回動し得るように構成したものもある。この種の従
来技術に係るハンドは、例えば図４に示すベース部材１
を、油圧ロータリアクチュエータにより油圧シリンダ２
の軸方向である水平軸回りに回動するように構成してあ
る。このとき、油圧ロータリアクチュエータはマニプレ
ータのアームの先端部に配設してある。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】上述の如き従来技術に
係るマニプレータのように、ワークを把持する爪３ａ，
３ｂの近傍に爪３ａ，３ｂを開閉するための油圧シリン
ダ２や、ハンドを回動するための油圧ロータリアクチュ
エータ等を配設すると、ワークが、例えば鍛造品等の高
温部材であった場合、このワークの熱の影響でこれらの
アクチュエータのＯリング、オイルシール等の消耗部品
の寿命が短かくなるという問題を生起する。 【０００７】また、ハンド部分が大嵩化するため、狭い
スペースでの作業に難があるばかりでなく、ハンド部分
に防塵カバーを取付ける等、防塵対策も必要になる場合
がある。 【０００８】本発明は、上記従来技術に鑑み、ハンドを
駆動するためのアクチュエータがワークの熱の影響を受
けず、またハンドの小嵩化及び構造の簡素化を図り、狭
いスペースでの所定の作業を可能とするばかりでなく、
ハンドの衝突等による各部の損傷を最小限度に抑えるこ
とのできるマニプレータを提供することを目的とする。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の構成は、垂直軸を回動中心として水平面内を回動可
能に形成したベース部材と、基端部及びこの基端部に一
端が固着されて前方に突出するとともに基端部に対して
相対的な機械的強度が劣るように形成した先端部を有す
る円筒状の部材であり、しかも基端部が軸受を介してベ
ース部材に支承され、水平軸を回動中心として垂直面内
を回動可能に形成したハンドアームと、ワークを把持す
るために開閉する一対の爪を有してハンドアームの先端
に配設されたハンドと、ハンドアームの内部にその軸方
向に沿って挿入され軸方向に直線移動することによりハ
ンドの爪を開閉するとともにスプラインを介してハンド
アームに結合され、しかも途中にフリージョイントが介
在されてこのフリージョイントよりも先端部が折曲自在
に形成されているテンション軸と、ベース部材に配設さ
れてテンション軸に直線移動の駆動力を供給する直線移
動手段と、ベース部材に配設されてハンドアームに回動
力を供給する回動手段とを有することを特徴とする。 【００１０】上記構成の本発明によれば、爪の開閉は、
この爪に対し遠隔のベース部材に配設された直線移動手
段の駆動によりテンション軸を介して行なわれる。ま
た、ハンドの回転は、このハンドに対し遠隔のベース部
材に配設された回動手段によりハンドアームを介して行
なわれる。 【００１１】さらにハンドに外力が作用した場合、テン
ション軸はフリージョイントの部分で折曲されることに
よりこの外力による衝撃を吸収するとともに、場合によ
ってはハンドアームの先端部が破損する。このため、何
れにしても直線移動手段及び回転手段等のアクチュエー
タには過大な衝撃は作用せず、これらのアクチュエータ
がハンドに作用する衝撃に対し保護される。 【００１２】 【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
基づき詳細に説明する。 【００１３】図１は本形態に係るマニプレータを概念的
に示す説明図である。同図に示すように、このマニプレ
ータは、１軸部材１、２軸アーム２、３軸アーム３、４
軸アーム４、５軸５及びハンド６を有する多関節マニプ
レータである。 【００１４】１軸部材１は垂直軸である１軸７に沿い上
下動する。すなわち、床面に据え付けた基台８に配設す
る１軸モータ９で、１軸となるスクリューシャフトを回
動することにより、このスクリューシャフトに螺合して
いる１軸部材１を上下動するように構成してある。 【００１５】２軸アーム２、３軸アーム３、４軸アーム
４は、それぞれの基端部を１軸部材１、２軸アーム２、
３軸アーム３の先端部に回動可能に取付けてあり、垂直
軸である２軸１１、３軸１２、４軸１３を回動中心とし
て水平面内を回動するように構成してある。このときの
駆動源は、１軸部材１、２軸アーム２、３軸アーム３の
先端部にそれぞれ配設した２軸モータ１４、３軸モータ
１５、４軸モータ１６である。 【００１６】４軸アーム４は、その基端部に配設した５
軸モータ１７で駆動され、ハンド６を、５軸５を回動中
心として垂直面内で回動するように構成してある。 【００１７】かかるマニプレータにおいては、１軸〜５
軸モータ９，１４，１５，１６，１７の駆動によりハン
ド６の位置及び姿勢を制御する。 【００１８】図２は図１の４軸アーム４及びハンド６の
部分を抽出・拡大するとともに一部切欠いて示す平面
図、図３は図２と同一部分の動作を説明するために同部
分を概念的に示す説明図である。 【００１９】両図に示すように、４軸アーム４は、ベー
ス部材１８、このベース部材１８に軸受１９を介して回
動可能に支承されているハンドアーム２０及びこのハン
ドアーム２０の回動力を付与する回動手段であり、５軸
モータとして機能するＡＣサーボモータ２１を有してお
り、ベース部材１８が４軸１３を回動中心として回動す
ることにより他の部分と一体となって水平面内を回動す
るように構成してある。 【００２０】さらに詳言すると、ハンドアーム２０は基
端部２０ａと、この基端部２０ａに一端が固着されて前
方に突出している先端部２０ｂとを有する円筒状の部材
である。基端部２０ａは軸受１９で支承してあり、その
外周に固着したギヤ２２がギヤ２３と噛合することによ
りＡＣサーボモータ２１の回動力が伝達される。すなわ
ち、ギヤ２３はＡＣサーボモータ２１の出力を減速する
減速機２４の出力軸に固着してある。先端部２０ｂは基
端部２０ａに対して相対的な機械的強度が劣るように構
成するとともに、その先端にはハンド６が固着してあ
る。 【００２１】かくして、ハンドアーム２０はハンド６の
支持アームとして機能するばかりでなく、ＡＣサーボモ
ータ２１の駆動によりハンド６を垂直面内で回動する５
軸としても機能する。 【００２２】ハンド６は、ハンド本体２５、テンション
軸２６及び直線移動手段であるエアシリンダ２７を有す
る。 【００２３】さらに詳言すると、ハンド本体２５は、ハ
ンドアーム２０の先端に固着されているフレーム２８と
このフレーム２８に支持されて開閉することによりワー
ク（図示せず）をクランプ及びアンクランプする爪２９
ａ，２９ｂとを有している。 【００２４】テンション軸２６はハンドアーム２０の内
部にその軸方向に沿って挿入されるとともに、先端部に
ラック３１を有しており、このラック３１がピニオン３
２ａ，３２ｂに噛合するとともにこれらピニオン３２
ａ，３２ｂがラック３３ａ，３３ｂにそれぞれ噛合して
いる。このとき、ピニオン３２ａ，３２ｂはフレーム２
８に回動可能に支承されており、またラック３３ａ，３
３ｂは爪２９ａ，２９ｂのフレーム２８側の端面に形成
してある。したがって、テンション軸２６がその軸方向
に直線移動することによりラック３１、ピニオン３２
ａ，３２ｂ及びラック３３ａ，３３ｂを介して爪２９
ａ，２９ｂがテンション軸２６の軸方向と直角方向に直
線移動して開閉される。 【００２５】このときの直線移動の駆動力を付与するの
がエアシリンダ２７である。すなわち、エアシリンダ２
７はベース部材１８に配設してあり、そのピストンロッ
ド２７ａが連結ロッド３４を介してスラストベアリング
３５を支持している。テンション軸２６の一端はスラス
トベアリング３５に支承してある。かくしてエアシリン
ダ２７の駆動により、ピストンロッド２７ａ、連結ロッ
ド３４及びスラストベアリング３５は一体的に移動し、
この結果テンション軸２６が直線移動して爪２９ａ，２
９ｂを開閉する。 【００２６】さらに、本形態におけるテンション軸２６
は基端部２６ａと先端部２６ｂとに分割されており、両
者はフリージョイント３６で連結してある。したがっ
て、先端部２６ｂにその軸方向と直角方向成分を有する
外力が作用した場合、この先端部２６ｂは基端部２６ａ
に対してフリージョイント３６の部分で折れ曲がる。ま
た、基端部２６ａはボールスプライン３７を介してハン
ドアーム２０の基端部２０ａに連結してある。かくし
て、テンション軸２６はハンドアーム２０の回動時には
これと一体的に回動するとともに、直線移動は独立に行
ない得る。ポテンショメータ３８はギヤ３９，４０を介
してハンドアーム２０の基端部２０ａに連結してあり、
このハンドアーム２０の回動量を検出するように構成し
てある。 【００２７】かかる本形態においては、直接ワークを把
持する部分であるハンド本体２５から遠隔に配設してあ
るエアシリンダ２７の駆動によりテンション軸２６、ラ
ック３１、ピニオン３２ａ，３２ｂ及びラック３３ａ，
３３ｂを介して爪２９ａ，２９ｂを開閉する。 【００２８】また、ハンド本体２５が衝突等により、こ
れに大きな外力が作用した場合、テンション軸３０はフ
リージョイント３６の部分で折れ曲がり、またハンドア
ーム２０は外力の大きさによっては先端部２０ｂが破損
する。したがって、何れにしてもこのときの衝撃力はハ
ンド本体２５、ハンドアーム２０の先端部２０ｂ及びテ
ンション軸２６の先端部２６ｂで吸収され、基端部２０
ａ，３０ａ及びこれらの連結部分に過大な衝撃力として
伝わることはない。 【００２９】 【発明の効果】以上実施の形態とともに具体的に説明し
たように本発明によれば、ハンドの爪を開閉するアクチ
ュエータを爪の部分から遠隔に配設したので、爪及びそ
の近傍部分の構造を簡素化し、当該部分の小嵩化を達成
し得るため、狭いスペースであっても迅速に所定のワー
クの処理を行なうことができる。また、ワークが高温部
材であってもアクチュエータ部分に影響を与えることは
なく、また特別な防塵手段を必要とすることもない。 【００３０】さらに、アームに作用する衝突からアクチ
ュエータ及びこれの結合部分を保護することもでき、破
損部分を最小限度に止めることができるので保守も容易
になる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a manipulator, and more particularly to a manipulator for processing a high-temperature work, for example, useful as a forging manipulator. 2. Description of the Related Art A hand of a manipulator such as a transfer machine has a hydraulic cylinder for driving a claw for gripping a work, and a parallel type or link opening / closing type hand is operated by the driving force of the hydraulic cylinder. The work is clamped and unclamped by opening and closing the claw. FIG. 4 is an explanatory view conceptually showing an example of a link opening / closing type hand according to the prior art. As shown in FIG. 1, a base member 1 is disposed at a distal end of an arm (not shown), and a claw constituted by a hydraulic cylinder 2 and a link mechanism driven by the hydraulic cylinder 2 to open and close the base member 1. 3a and 3b are provided. In such a hand, the hydraulic cylinder 2
The pin 4a,
The pawls 3a, 3b rotate in opposite directions about the rotation center 4b to open and close. Some manipulator hands are constructed so that the entire hand can rotate around a horizontal axis with the opening and closing operations of the claws 3a and 3b as described above. This type of prior art hand is, for example, a base member 1 shown in FIG.
To the hydraulic cylinder 2 by the hydraulic rotary actuator.
It is configured to rotate around a horizontal axis, which is the axial direction of. At this time, the hydraulic rotary actuator is disposed at the tip of the arm of the manipulator. [0006] As with the manipulator according to the prior art as described above, the claws 3a,
When a hydraulic cylinder 2 for opening and closing the claws 3a and 3b, a hydraulic rotary actuator for rotating the hand, and the like are provided near the workpiece 3b, if the workpiece is a high-temperature member such as a forged product, The effect of heat of the work causes a problem that the life of the consumable parts such as the O-ring and the oil seal of the actuator is shortened. Further, since the hand portion becomes bulky, not only is it difficult to work in a narrow space, but also dust-proof measures such as attaching a dust-proof cover to the hand portion may be required. In view of the above prior art, the present invention provides an actuator for driving a hand which is not affected by the heat of a workpiece, and which has a reduced size and a simplified structure of the hand, and has a predetermined space in a narrow space. Not only enable work,
An object of the present invention is to provide a manipulator capable of minimizing damage to each part due to a collision of a hand or the like. According to the present invention, there is provided a base member formed to be rotatable in a horizontal plane about a vertical axis as a center of rotation, a base end, and the base end. A cylindrical member having one end fixed to the part and protruding forward and having a distal end formed so as to be inferior in mechanical strength relative to the base end, and the base end is connected via a bearing. A hand arm supported by a base member and formed to be rotatable in a vertical plane about a horizontal axis as a center of rotation, and a pair of claws which are opened and closed to grip a workpiece, are disposed at a tip of the hand arm. The hand and the hand arm are inserted into the hand arm along the axial direction and linearly move in the axial direction to open and close the claws of the hand and are connected to the hand arm via splines. A tension shaft having a distal end formed to be freely bendable than the free joint; linear movement means provided on the base member for supplying a driving force for linear movement to the tension shaft; And a rotating means for supplying rotating power to the hand arm. According to the present invention having the above structure, the opening and closing of the claw is
The claw is moved via a tension shaft by driving a linear moving means provided on a remote base member. The rotation of the hand is performed via a hand arm by rotating means provided on a base member remote from the hand. Further, when an external force acts on the hand, the tension shaft is bent at the free joint to absorb the impact of the external force, and in some cases, the tip of the hand arm is damaged. Therefore, in any case, an excessive impact does not act on the actuators such as the linear moving means and the rotating means, and these actuators are protected against the impact acting on the hand. Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory view conceptually showing a manipulator according to this embodiment. As shown in the figure, this manipulator includes a one-axis member 1, a two-axis arm 2, a three-axis arm 3, 4,
This is a multi-joint manipulator having a shaft arm 4, a shaft 5, and a hand 6. The one-axis member 1 moves up and down along one axis 7 which is a vertical axis. In other words, the one-axis motor 9 disposed on the base 8 installed on the floor rotates the one-axis screw shaft, thereby vertically moving the one-axis member 1 screwed to the screw shaft. It is configured as follows. The base ends of the two-axis arm 2, the three-axis arm 3, and the four-axis arm 4 are respectively the one-axis member 1, the two-axis arm 2,
It is rotatably attached to the distal end of the triaxial arm 3 and is configured to rotate in a horizontal plane around the vertical axes of two axes 11, 3, 12, and 13. The driving sources at this time are a two-axis motor 14, a three-axis motor 15, and a four-axis motor 16, which are respectively disposed at the distal ends of the one-axis member 1, the two-axis arm 2, and the three-axis arm 3. The four-axis arm 4 has a five-axis arm 4
The hand 6 is driven by a shaft motor 17 so as to rotate the hand 6 in a vertical plane around the 5-axis 5 as a rotation center. In such a manipulator, one axis to five axes
The position and posture of the hand 6 are controlled by driving the shaft motors 9, 14, 15, 16, and 17. FIG. 2 is a plan view showing a part of the 4-axis arm 4 and the hand 6 shown in FIG. 1 which are extracted and enlarged and partially cut away, and FIG. 3 is a view showing the same part as that of FIG. It is explanatory drawing shown notionally. As shown in FIGS. 1 and 2, the four-axis arm 4 is provided with a base member 18, a hand arm 20 rotatably supported on the base member 18 via a bearing 19, and a rotating power of the hand arm 20. The rotation means is an AC servo motor 21 functioning as a 5-axis motor. The base member 18 rotates about the 4-axis 13 as a rotation center to be integrated with the other parts in a horizontal plane. It is configured to rotate inside. More specifically, the hand arm 20 is a cylindrical member having a base end 20a and a front end 20b having one end fixed to the base end 20a and protruding forward. The base end portion 20 a is supported by a bearing 19, and the rotational power of the AC servomotor 21 is transmitted when a gear 22 fixed to the outer periphery meshes with a gear 23. That is, the gear 23 is fixed to the output shaft of the speed reducer 24 that reduces the output of the AC servomotor 21. The distal end portion 20b is configured to have a lower mechanical strength relative to the proximal end portion 20a, and the hand 6 is fixed to the distal end. Thus, the hand arm 20 not only functions as a support arm for the hand 6, but also rotates the hand 6 in a vertical plane by driving the AC servomotor 21.
Also functions as an axis. The hand 6 has a hand body 25, a tension shaft 26, and an air cylinder 27 as a linear moving means. More specifically, the hand main body 25 has a frame 28 fixed to the tip of the hand arm 20 and a claw for clamping and unclamping a work (not shown) by opening and closing supported by the frame 28. 29
a, 29b. The tension shaft 26 is inserted into the hand arm 20 along the axial direction thereof, and has a rack 31 at a tip end thereof.
2a, 32b and these pinions 32
a and 32b mesh with the racks 33a and 33b, respectively. At this time, the pinions 32a and 32b
8 and is supported rotatably on the racks 33a, 3a.
3b is formed on the end face of the claws 29a, 29b on the frame 28 side. Therefore, when the tension shaft 26 linearly moves in the axial direction, the rack 31 and the pinion 32 are moved.
a, 32b and the claws 29 through the racks 33a, 33b.
a, 29b are linearly moved in the direction perpendicular to the axial direction of the tension shaft 26 and are opened and closed. The air cylinder 27 applies the driving force for the linear movement at this time. That is, the air cylinder 2
Reference numeral 7 is disposed on the base member 18, and the piston rod 27 a supports a thrust bearing 35 via a connecting rod 34. One end of the tension shaft 26 is supported by a thrust bearing 35. Thus, by driving the air cylinder 27, the piston rod 27a, the connecting rod 34, and the thrust bearing 35 move integrally,
As a result, the tension shaft 26 moves linearly and the claws 29a, 2
9b is opened and closed. Further, the tension shaft 26 in the present embodiment
Is divided into a base end portion 26a and a front end portion 26b, and both are connected by a free joint 36. Therefore, when an external force having a component perpendicular to the axial direction acts on the distal end portion 26b, the distal end portion 26b becomes the proximal end portion 26a.
Is bent at the free joint 36. The base end 26a is connected to the base 20a of the hand arm 20 via a ball spline 37. Thus, the tension shaft 26 rotates integrally with the hand arm 20 when the hand arm 20 rotates, and can perform linear movement independently. The potentiometer 38 is connected to the base end 20a of the hand arm 20 via gears 39 and 40,
The rotation amount of the hand arm 20 is configured to be detected. In this embodiment, the tension shaft 26, the rack 31, the pinions 32a and 32b and the racks 33a and 33a are driven by the air cylinder 27 which is disposed remotely from the hand main body 25, which is a portion for directly gripping the work.
The pawls 29a and 29b are opened and closed via 33b. Further, when a large external force acts on the hand body 25 due to a collision or the like, the tension shaft 30 is bent at the free joint 36, and the tip end 20b of the hand arm 20 is damaged depending on the magnitude of the external force. I do. Therefore, in any case, the impact force at this time is absorbed by the hand main body 25, the distal end portion 20b of the hand arm 20, and the distal end portion 26b of the tension shaft 26, and the base end portion 20b.
a, 30a and their connecting portions are not transmitted as an excessive impact force. According to the present invention, the actuator for opening and closing the claw of the hand is disposed remotely from the claw portion, as described in detail with the above embodiments. Since the structure of (1) can be simplified and the size of the portion can be reduced, a predetermined work can be quickly processed even in a narrow space. Further, even if the workpiece is a high-temperature member, it does not affect the actuator portion, and no special dustproof means is required. Further, the actuator and its coupling portion can be protected from a collision acting on the arm, and the maintenance can be facilitated because the broken portion can be minimized.

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の実施例の形態に係るマニプレータを概
念的に示す説明図。 【図２】図１の４軸アーム及びハンド部分を抽出・拡大
し、一部切欠いて示す平面図。 【図３】図２と同一部分の動作を説明するために同部分
を概念的に示す説明図。 【図４】従来技術に係るマニプレータのハンドの一例を
示す説明図。 【符号の説明】 ４ ４軸アーム ６ ハンド １８ ベース部材 １９ 軸受 ２０ ハンドアーム ２０ａ 基端部 ２０ｂ 先端部 ２１ ＡＣサーボモータ ２６ テンション軸 ２９ａ，２９ｂ 爪 ３０ａ 基端部 ３０ｂ 先端部 ３６ フリージョイントBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an explanatory view conceptually showing a manipulator according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing a four-axis arm and a hand part of FIG. 1 extracted and enlarged and partially cut away. FIG. 3 is an explanatory view conceptually showing the same part as in FIG. 2 for explaining the operation of the same part. FIG. 4 is an explanatory view showing an example of a hand of a manipulator according to the related art. [Description of References] 4 4-axis arm 6 Hand 18 Base member 19 Bearing 20 Hand arm 20a Base end 20b Tip 21 AC servomotor 26 Tension shafts 29a, 29b Claw 30a Base end 30b Tip 36 Free joint

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−151239（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−159396（ＪＰ，Ａ) 実開 平６−31983（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B25J 15/08 B25J 19/06 B21J 13/10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-62-151239 (JP, A) JP-A-61-159396 (JP, A) JP-A-6-31983 (JP, U) (58) Survey Field (Int.Cl. ⁷ , DB name) B25J 15/08 B25J 19/06 B21J 13/10

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 垂直軸を回動中心として水平面内を回動
可能に形成したベース部材と、 基端部及びこの基端部に一端が固着されて前方に突出す
るとともに基端部に対して相対的な機械的強度が劣るよ
うに形成した先端部を有する円筒状の部材であり、しか
も基端部が軸受を介してベース部材に支承され、水平軸
を回動中心として垂直面内を回動可能に形成したハンド
アームと、 ワークを把持するために開閉する一対の爪を有してハン
ドアームの先端に配設されたハンドと、 ハンドアームの内部にその軸方向に沿って挿入され軸方
向に直線移動することによりハンドの爪を開閉するとと
もにスプラインを介してハンドアームに結合され、しか
も途中にフリージョイントが介在されてこのフリージョ
イントよりも先端部が折曲自在に形成されているテンシ
ョン軸と、 ベース部材に配設されてテンション軸に直線移動の駆動
力を供給する直線移動手段と、 ベース部材に配設されてハンドアームに回動力を供給す
る回動手段とを有することを特徴とするマニプレータ。(57) [Claim 1] A base member formed to be rotatable in a horizontal plane about a vertical axis as a center of rotation, a base end portion and one end fixed to the base end portion and forward. It is a cylindrical member having a distal end that protrudes and is formed so that the mechanical strength relative to the proximal end is inferior, and the proximal end is supported by a base member via a bearing, and the horizontal shaft is A hand arm formed to be rotatable in a vertical plane as a center of rotation, a hand disposed at a tip of the hand arm having a pair of claws for opening and closing to grip a workpiece, and an inside of the hand arm. It is inserted along the axial direction and linearly moves in the axial direction to open and close the claw of the hand, and is connected to the hand arm via a spline.Moreover, a free joint is interposed in the middle and the tip of this free joint is A tension shaft formed to be freely bent, a linear moving means provided on the base member for supplying a driving force for linear movement to the tension shaft, and a linear motor provided on the base member for supplying a rotating power to the hand arm. And a moving means.