JP3366760B2 - Method of identifying foreign matter in solution - Google Patents
Method of identifying foreign matter in solutionInfo
- Publication number
- JP3366760B2 JP3366760B2 JP33543294A JP33543294A JP3366760B2 JP 3366760 B2 JP3366760 B2 JP 3366760B2 JP 33543294 A JP33543294 A JP 33543294A JP 33543294 A JP33543294 A JP 33543294A JP 3366760 B2 JP3366760 B2 JP 3366760B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foreign matter
- image
- filter
- foreign
- illumination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Image Input (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、溶液中に含まれる異物
の種類を識別する方法に関し、特に、テレフタル酸に含
まれるアルカリ不溶性異物や、ジメチルテレフタレート
水溶液に含まれる水不溶性異物を検出して、該異物の種
類を識別するための溶液中の異物種類識別方法に係るも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来から、この種のテレフタル酸のアル
カリ水溶液中のアルカリ不溶性異物、またはジメチルテ
レフタレート水溶液中の水不溶性異物の計測に関して
は、例えば、前記前者のテレフタル酸の場合、アルカリ
不溶性異物を容易に識別し得るフィルタ、実質的には白
色フィルタを用い、テレフタル酸のアルカリ水溶液を該
白色フィルタに通して濾過した上で、光学顕微鏡を用
い、該フィルタ上に捕集された異物を拡大し、人手によ
る目視で計測するようにしている。
【0003】ここで、前記テレフタル酸中のアルカリ不
溶性異物には、金属光沢のある異物と金属光沢のない異
物との二種類があり、これらの両者を正確に区分して識
別する必要がある。
【0004】而して、前記異物の目視による計測に際
し、光学顕微鏡の観察光学系における照明方法について
は、前記金属光沢のある異物からの反射光を良好に観察
できる反射照明、いわゆる同軸落射照明とするのが一般
的である。
【0005】一方、前記観察時の処理視野数は、この場
合、異物の検出に用いる白色フィルタの面積と、該異物
の観察に用いる光学顕微鏡の設定倍率とで一義的に決め
られるが、通常では、おおよそ数百視野程度である。
【0006】そして、計測作業者は、前記光学顕微鏡に
よる観察視野の下で、金属光沢のある異物と金属光沢の
ない異物とを区分して識別し、且つ同時に該各異物の大
きさまでも目視によって計測しなければならず、結果的
には、該計測に多くの時間を費やすことから、肉体的及
び精神的な労務負担がかなり大きく、しかも人手に頼る
計測であるために、計測時間の経過に伴って次第に検出
精度が低下する点、及び正確な大きさの判定が困難な点
等の不利のあることが知られている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】前記したように溶液中
に含まれる異物の計測に際して、計測作業者が白色フィ
ルタ面上に捕集された異物を目視によって識別する場
合、金属光沢のない異物については、前記白色フィルタ
とのコントラストが極めて良好で簡単に識別可能であ
り、また、金属光沢のある異物については、全体が白っ
ぽく、且つ部分的に光って観察され、該白色フィルタと
のコントラストが比較的悪いとはいうものの識別自体は
可能である。
【0008】しかしながら、一方において、前記金属光
沢のある異物と金属光沢のない異物との識別を画像処理
によって自動的に行なわせるようにした場合、特に、金
属光沢のある異物の識別処理については、該金属光沢の
ある異物と白色フィルタとのコントラストの悪さから頗
る困難であるという好ましくない問題点があった。
【0009】本発明は、従来のこのような実情に鑑み、
これらの問題点を解消するためになされたもので、その
目的とするところは、金属光沢のある異物と金属光沢の
ない異物との画像処理による識別を自動的且つ容易に行
ない得るようにした、この種の溶液中の異物種類識別方
法を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段及び作用】前記目的を達成
するために、本発明に係る溶液中の異物種類識別方法
は、透過光による照明でフィルタ面の異物を検出し、且
つ異物が検出されたときには、該透過光による照明を反
射光による照明に切り替えて異物を識別するようにした
ものである。
【0011】即ち、本発明は、溶液中に含まれる異物の
種類を識別するために、該異物を識別し得るフィルタを
用い、前記溶液をフィルタで濾過して異物を捕集した
後、前記フィルタ面に捕集された異物を光学顕微鏡によ
って拡大すると共に、拡大された異物の画像を荷電結合
素子で撮像し、且つ該撮像画像を二値化処理して計測す
る方法であって、先ず、前記光学顕微鏡の照明光源を透
過光に設定してから、該透過光による前記フィルタの透
過照明の下に、前記荷電結合素子で該フィルタ面の拡大
された透過画像を撮像して二値化処理し、次いで、前記
荷電結合素子による透過画像内に異物を検出した場合、
前記照明光源を反射光に切り替え設定してから、該反射
光による前記フィルタの反射照明の下に、前記荷電結合
素子で該フィルタ面の拡大された反射画像を撮像して二
値化処理し、さらに、前記照明光源に透過光を用いた透
過画像の処理結果と、前記照明光源に反射光を用いた反
射画像の処理結果とを比較して、前記検出された異物の
種類を金属光沢のある異物と金属光沢のない異物とに識
別することを特徴とする溶液中の異物種類識別方法であ
る。
【0012】
【作用】従って、本発明では、異物を捕集したフィルタ
を透過光で照明し、該フィルタ面の拡大された透過画像
を荷電結合素子で撮像して二値化処理することにより、
該透過画像内の透過照明によって区分された全ての異物
が検出され、また、前記透過画像内に異物を検出したと
きには、反射光に切り替えて、前記フィルタを反射光で
照明し、同様に該フィルタ面の拡大された反射画像を荷
電結合素子で撮像して二値化処理することにより、該反
射画像内における前記検出された各異物の中で反射照明
によって再反射する異物のみが特定され、さらに、前記
照明光源に透過光を用いた透過画像の処理結果と、前記
照明光源に反射光を用いた反射画像の処理結果との比較
により、これらの各検出された異物の種類が金属光沢の
ある異物と金属光沢のない異物とに識別される。
【0013】
【実施例】以下、本発明に係る溶液中の異物種類識別方
法の実施例につき、図1および図2を参照して詳細に説
明する。
【0014】図1は、本発明による溶液中の異物種類識
別方法の一実施例を適用した識別装置の概要構成を示す
ブロック図であり、また、図2は、同上実施例装置にお
ける異物種類の識別過程を順次に説明するフローチャー
トである。
【0015】本図1に示す装置構成において、符号11
は、駆動制御装置12によってX方向、Y方向に作動さ
れる光透過型のXYステージであって、該光透過型XY
ステージ11上には、図示省略した濾過手段によって異
物を含む溶液を白色フィルタ13、本実施例の場合、メ
ンブレンフィルタに通して濾過した後に、該異物を捕集
した白色フィルタ13を上面に載置してセットし、該セ
ットされた白色フィルタ13の全面が自動的に走査され
る。
【0016】また、14は、前記光透過型XYステージ
11の上方位置に配置されて白色フィルタ13面上の異
物に内部の観察光学系を合焦させた簡易偏光型の光学顕
微鏡であり、該光学顕微鏡14は、2種類の照明光源、
本実施例の場合、前記光透過型XYステージ11の下方
位置に配置されて白色フィルタ13を透過する透過光源
15と、本光学顕微鏡14に付設されて白色フィルタ1
3面で反射する反射光源16とを有している。そして、
これらの各光源15、16内には、例えば、一般的なハ
ロゲンランプ、及び該ハロゲンランプの発光を遮断する
シヤッタが組み込まれており、ランプ点灯用の安定化電
源とシヤッタオン・オフ制御機構を有する照明電源装置
17によって発光制御される。
【0017】さらに、18は、前記光学顕微鏡14で拡
大された異物の検出画像を撮像して電気信号に変換する
荷電結合素子(Charge Coupled Device) を内蔵したCC
Dカメラ、ここでは、白黒撮像によるCCDカメラであ
り、該CCDカメラ18によって撮像された検出異物の
画像信号は、画像処理装置19に入力され、該画像処理
装置19によって二値化処理、及び粒子解析処理等が行
なわれると共に、前記透過光源15による透過光を用い
た画像処理結果と、前記反射光源16による反射光を用
いた画像処理結果とが比較されて、検出異物の種類が金
属光沢のある異物であるか、または金属光沢のない異物
であるかの識別、並びに該検出異物の大きさの計測等を
行なうのである。
【0018】従って、本実施例装置においては、溶液
中、この場合、例えば、テレフタル酸のアルカリ水溶液
中に含まれるアルカリ不溶性異物の種類が、金属光沢の
ある異物であるか、または金属光沢のない異物であるか
を識別するために、該異物を識別し得るフィルタ、ここ
では、白色フィルタを用い、前記テレフタル酸のアルカ
リ水溶液を該白色フィルタにより濾過することで異物を
捕集しておき、次のように操作する。
【0019】ここで、本装置の操作における1視野範囲
対応の処理過程を図2のフローチャートに示す。
【0020】即ち、前記異物を捕集した白色フィルタ1
3を光透過型のXYステージ11上に載置してセットす
る。
【0021】この状態において、先ず、ステップS−1
で、照明光源を透過光源15による透過光に設定した
後、駆動制御装置12によって前記XYステージ11を
X方向、Y方向に制御作動させることで、所要の拡大倍
率に設定した光学顕微鏡14により、前記白色フィルタ
13面が走査されると共に、該走査に伴い、該当する1
視野範囲がCCDカメラ18で撮像されて、該視野範囲
内の画像信号が画像処理装置19に入力される。
【0022】ここで、前記検出異物の透過画像のもつ特
長は、背景となるフィルタ地が白色を呈し、しかも検出
異物が照明光を透過させないので、該検出異物が黒色に
映し出される点にある。
【0023】従って、前記画像処理装置19において
は、入力される透過画像内に黒色部分が区分して見出さ
れると、該黒色部分を金属光沢のあるなしに拘らない全
ての異物の存在と見做して検出し、該黒色対応部分を二
値化処理することによって、検出された全ての異物の個
数と大きさとを求めることができ、これを装置内の記憶
部に一旦、記憶した上で、次のステップS−2に進み、
該ステップS−2では、該当視野内での異物数を確認し
て、異物が検出されない場合、本対応する1視野範囲内
での処理を全て終了して次の視野範囲内の処理に移行
し、該視野範囲内に異物が検出された場合には、次のス
テップS−3に進むことになる。
【0024】つまり、このようにして透過光源15から
の透過光による1視野範囲内での異物の検出を終えるの
であるが、以上の検出処理のみでは、検出される異物の
個数と大きさとを明確に特定して計測できても、その種
類までを特定して識別するのは不可能である。
【0025】引続き、前記ステップS−2で異物が検出
された場合には、ステップS−3において、前記照明光
源を透過光源15による透過光から、反射光源16によ
る反射光に切り替えて設定することにより、今度は、前
記検出された異物の反射画像が画像処理装置19に入力
される。
【0026】そして、この場合にも、前記検出異物の反
射画像のもつ特長は、前記した如くに、背景となるフィ
ルタ地が白色を呈しており、これに加えて、該検出異物
の中で、特に金属光沢のある検出異物のみが反射光を再
反射し、且つ金属光沢のない検出異物からの反射光は、
全くないか、あるいは僅かであるので、該金属光沢のあ
る異物のみが顕在化され、これが明るく光って映し出さ
れる点にある。
【0027】従って、このステップS−3でも、前記画
像処理装置19においては、入力される反射画像内に明
るく光った部分が顕在化して見出されると、該明るく光
った部分を検出異物の中の金属光沢のある検出異物の存
在と見做して特定し、該明るく光った対応部分を二値化
処理することによって、該検出された金属光沢のある異
物の2次元的な位置情報を求めることができ、この金属
光沢のある異物の位置情報についても、前記と同様に装
置内の記憶部に一旦、記憶した上で、次のステップS−
4に進むことになる。
【0028】最後に、前記ステップS−4では、前記ス
テップS−1において、照明光源に透過光を用いて得た
透過画像の処理結果の情報と、前記ステップS−3にお
いて、照明光源に反射光を用いて得た反射画像の処理結
果の情報、つまり、前記装置内の記憶部に一旦、記憶さ
れているところの、金属光沢のあるなしに拘らない個々
全ての異物の検出情報と、金属光沢のある個々全ての異
物の特定情報とを該装置内に別に設けられる比較部で比
較すること、ここでは、例えば、両画像情報間の論理積
演算をなすことにより、演算結果がゼロの場合には、検
出されている異物の種類が金属光沢のない異物であるも
のと判定し、また、演算結果がゼロでない場合には、検
出されている異物の種類が金属光沢のある異物であるも
のと判定して、これらの両者を識別し得るもので、この
ようにして本対応する1視野範囲内での処理の全てを終
了し、次の視野範囲内の処理に移行し、以下、同様にし
て各視野範囲内毎の処理を同様に行なうのである。
【0029】
【発明の効果】以上、実施例によって詳述したように、
本発明によれば、溶液中に含まれる異物の種類を識別す
るために、該異物を識別し得るフィルタを用い、溶液を
フィルタで濾過して異物を捕集した後、フィルタ面に捕
集された異物を光学顕微鏡によって拡大すると共に、拡
大された異物の画像を荷電結合素子で撮像し、且つ該撮
像画像を二値化処理して計測する方法において、先ず最
初に、異物を捕集したフィルタを透過光によって透過照
明した状態のまま、該フィルタ面の拡大された透過画像
を荷電結合素子で撮像し、且つこれを二値化処理するこ
とで、透過画像内の透過照明によって区分された全ての
異物を極めて容易に検出できるのであり、また、このよ
うにして透過画像内に異物を検出したときには、透過光
による照明を反射光に切り替えて、フィルタを反射光で
反射照明した状態のまま、該フィルタ面の拡大された反
射画像を荷電結合素子で撮像し、且つこれを二値化処理
することで、該反射画像内での検出された各異物の中で
反射照明によって再反射する異物のみを極めて容易に特
定できるのであり、さらに、このようにして得られる照
明光源に透過光を用いた透過画像の処理結果と、照明光
源に反射光を用いた反射画像の処理結果とを比較するこ
とで、これらの各検出された異物の種類を金属光沢のあ
る異物と金属光沢のない異物とに良好且つ正確に判定し
得るもので、この結果、溶液中に含まれる異物、例え
ば、テレフタル酸に含まれるアルカリ不溶性異物や、ジ
メチルテレフタレート水溶液に含まれる水不溶性異物を
検出して、該各異物の種類を極めて簡単に識別できると
いう優れた特長がある。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for identifying the type of foreign matter contained in a solution, and more particularly to an alkali-insoluble foreign matter contained in terephthalic acid and an aqueous solution of dimethyl terephthalate. The present invention relates to a method for detecting the type of a foreign substance in a solution for detecting a water-insoluble foreign substance contained in a solution and identifying the type of the foreign substance. 2. Description of the Related Art Conventionally, regarding the measurement of this kind of alkali-insoluble foreign matter in an aqueous terephthalic acid solution or water-insoluble foreign matter in a dimethyl terephthalate aqueous solution, for example, in the case of the former terephthalic acid, Using a filter capable of easily distinguishing insoluble foreign matter, substantially a white filter, filtering an alkaline aqueous solution of terephthalic acid through the white filter, and then using an optical microscope to collect foreign matter on the filter Is enlarged and the measurement is performed by hand. Here, there are two types of alkali-insoluble foreign substances in terephthalic acid: foreign substances having a metallic luster and foreign substances having no metallic luster, and it is necessary to accurately distinguish and discriminate both of them. [0004] When the above-mentioned foreign matter is visually measured, the illumination method in the observation optical system of the optical microscope includes a reflection illumination capable of satisfactorily observing the reflected light from the metallic glossy foreign substance, so-called coaxial incident illumination. It is common to do. On the other hand, in this case, the number of visual fields to be processed at the time of the observation is uniquely determined by the area of the white filter used for detecting the foreign matter and the set magnification of the optical microscope used for observing the foreign matter. , About a few hundred fields of view. [0006] Then, the measuring operator distinguishes the foreign substance having a metallic luster from the foreign substance having no metallic luster under the visual field of view by the optical microscope, and at the same time visually observes the size of each foreign substance. Measurement has to be performed and, as a result, a lot of time is spent on the measurement, so that the physical and mental labor burden is quite large and the measurement depends on humans. It is known that there are disadvantages such as a point that the detection accuracy gradually decreases and a point that it is difficult to determine an accurate size. [0007] As described above, when measuring a foreign substance contained in a solution, when the measurement operator visually identifies the foreign substance collected on the white filter surface, the measurement operator has to use a metallic luster. No foreign matter has a very good contrast with the white filter and can be easily identified.For metallic glossy foreign matter, the whole is whitish and partially illuminated, and the foreign matter is observed with the white filter. Although the contrast is relatively poor, the identification itself is possible. On the other hand, on the other hand, in the case where the foreign substance having a metallic luster and the foreign substance having no metallic luster are automatically performed by image processing, in particular, the identification processing of the foreign substance having metallic luster is performed as follows. There is an undesirable problem that it is very difficult due to poor contrast between the metallic luster and the white filter. The present invention has been made in view of such a conventional situation,
The purpose of the present invention is to solve these problems, and the purpose is to automatically and easily identify a foreign substance having a metallic luster and a foreign substance having no metallic luster by image processing. An object of the present invention is to provide a method for identifying the kind of foreign matter in a solution of this kind. In order to achieve the above object, a method for identifying the type of foreign matter in a solution according to the present invention comprises detecting foreign matter on a filter surface by illumination with transmitted light, Is detected, the illumination by the transmitted light is switched to the illumination by the reflected light to identify the foreign matter. That is, in the present invention, in order to identify the type of foreign matter contained in a solution, a filter capable of identifying the foreign matter is used. A method of enlarging foreign matter collected on a surface by an optical microscope, capturing an image of the enlarged foreign matter with a charge-coupled device, and measuring the captured image by binarizing the image. After setting the illumination light source of the optical microscope to transmitted light, under the transmitted illumination of the filter by the transmitted light, the charged coupling element captures an enlarged transmission image of the filter surface, and performs binarization processing. Then, when a foreign substance is detected in the transmission image by the charged coupling element,
After setting the illumination light source to be switched to the reflected light, under the reflected illumination of the filter by the reflected light, the charged coupling element captures an enlarged reflected image of the filter surface and performs a binarization process, Further, the processing result of the transmission image using the transmitted light as the illumination light source is compared with the processing result of the reflection image using the reflected light as the illumination light source, and the type of the detected foreign substance is given a metallic gloss. This is a method for identifying the type of foreign matter in a solution, which comprises distinguishing foreign matter from foreign matter having no metallic luster. Therefore, according to the present invention, a filter capturing foreign matter is illuminated with transmitted light, and an enlarged transmission image of the filter surface is imaged with a charge-coupled device and binarized.
When all the foreign substances classified by the transmitted illumination in the transmitted image are detected, and when foreign substances are detected in the transmitted image, the filter is switched to reflected light, and the filter is illuminated with reflected light. By imaging the reflected image of the enlarged surface with the charge-coupled device and performing binarization processing, only the foreign matter that is re-reflected by the reflected illumination among the detected foreign matters in the reflected image is further specified. By comparing the processing result of the transmitted image using the transmitted light as the illumination light source and the processing result of the reflected image using the reflected light as the illumination light source, the type of each of the detected foreign substances has a metallic luster. Foreign matter and foreign matter without metallic luster are distinguished. An embodiment of the method for identifying the type of foreign matter in a solution according to the present invention will be described below in detail with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of an identification apparatus to which an embodiment of a method for identifying the type of foreign matter in a solution according to the present invention, and FIG. It is a flowchart explaining an identification process sequentially. In the apparatus configuration shown in FIG.
Is a light-transmitting XY stage that is operated in the X and Y directions by the drive control device 12;
On the stage 11, a solution containing foreign matter is filtered through a white filter 13 (in this embodiment, a membrane filter) by a filtering means (not shown), and then the white filter 13 that has collected the foreign matter is placed on the upper surface. The whole surface of the set white filter 13 is automatically scanned. Reference numeral 14 denotes a simple polarization type optical microscope which is arranged above the light transmission type XY stage 11 and focuses an internal observation optical system on a foreign substance on the surface of the white filter 13; The optical microscope 14 has two types of illumination light sources,
In the case of the present embodiment, a transmission light source 15 disposed below the light transmission type XY stage 11 and transmitting through the white filter 13, and a white filter 1 attached to the optical microscope 14
And a reflection light source 16 that reflects light from three surfaces. And
Each of the light sources 15 and 16 incorporates, for example, a general halogen lamp and a shutter that shuts off the emission of the halogen lamp, and has a stabilized power supply for lighting the lamp and a shutter on / off control mechanism. Light emission is controlled by the illumination power supply device 17. Reference numeral 18 denotes a CC having a built-in Charge Coupled Device for capturing an image of a foreign substance detected by the optical microscope 14 and converting the image into an electric signal.
A D camera, here, a CCD camera for monochrome imaging, and an image signal of a detected foreign object imaged by the CCD camera 18 is input to an image processing device 19, which performs binarization processing, particle Analysis processing and the like are performed, and the image processing result using the transmitted light from the transmission light source 15 and the image processing result using the reflected light from the reflection light source 16 are compared. It determines whether the foreign matter is a certain foreign matter or foreign matter having no metallic luster, and measures the size of the detected foreign matter. Therefore, in the apparatus of this embodiment, the kind of the alkali-insoluble foreign matter contained in the solution, in this case, for example, the alkaline aqueous solution of terephthalic acid is a foreign substance having a metallic luster or a substance having no metallic luster. In order to identify the foreign matter, a filter capable of identifying the foreign matter, here, a white filter is used, and the alkaline aqueous solution of terephthalic acid is filtered through the white filter to collect the foreign matter. Operate as follows. FIG. 2 is a flowchart showing a processing procedure corresponding to one visual field range in the operation of the present apparatus. That is, the white filter 1 that has collected the foreign matter
3 is placed and set on a light transmission type XY stage 11. In this state, first, step S-1
Then, after setting the illumination light source to the light transmitted by the transmission light source 15, the drive control device 12 controls the XY stage 11 in the X direction and the Y direction, thereby controlling the XY stage 11 in the X direction and the Y direction. The surface of the white filter 13 is scanned, and the corresponding 1
The field of view is imaged by the CCD camera 18, and an image signal within the field of view is input to the image processing device 19. Here, the feature of the transmitted image of the detected foreign matter is that the background of the filter is white and the detected foreign matter does not transmit the illumination light, so that the detected foreign matter is displayed in black. Therefore, in the image processing apparatus 19, when a black portion is found in the input transmitted image in a divided manner, the black portion is regarded as the presence of all foreign substances with or without metallic luster. Then, by performing a binarization process on the black corresponding portion, the number and size of all the detected foreign substances can be obtained, and this is temporarily stored in a storage unit in the apparatus. Proceed to the next step S-2,
In step S-2, the number of foreign substances in the visual field is checked, and if no foreign substance is detected, the processing in the corresponding one visual field range is completed, and the process proceeds to the processing in the next visual field range. If a foreign object is detected within the visual field range, the process proceeds to the next step S-3. That is, the detection of the foreign matter within one field of view by the transmitted light from the transmission light source 15 is completed in this way. However, the above detection processing alone makes it possible to clarify the number and size of the detected foreign matter. Even if it can be specified and measured, it is impossible to specify and identify the type. Subsequently, if a foreign object is detected in the step S-2, the illumination light source is switched from the light transmitted by the transmission light source 15 to the light reflected by the reflection light source 16 in step S-3. Then, the reflection image of the detected foreign substance is input to the image processing device 19. Also in this case, the characteristic feature of the reflection image of the detected foreign matter is that, as described above, the background filter ground has a white color. In particular, only the detection foreign substance with metallic luster re-reflects the reflected light, and the reflected light from the detection foreign substance without metallic luster is
Since there is no or only a small amount, only the metallic glossy foreign substance is exposed, and this is the point where the foreign substance is projected brightly. Therefore, even in step S-3, in the image processing device 19, when a brightly shined portion is found in the input reflected image, the brightly shined portion is included in the detected foreign matter. To determine two-dimensional position information of the detected foreign substance having a metallic luster by identifying the presence of the foreign substance having a metallic luster and identifying it, and performing a binarization process on the corresponding portion that glows brightly. The position information of the foreign substance having a metallic luster is once stored in the storage unit in the apparatus in the same manner as described above, and then the next step S-
You will go to 4. Finally, in step S-4, information on the processing result of the transmitted image obtained in step S-1 using the transmitted light as the illumination light source, and in step S-3, the reflected light reflected by the illumination light source. Information on the processing result of the reflection image obtained using light, that is, the information once detected in the storage unit in the apparatus, the detection information of all individual foreign substances with or without metallic luster, A comparison unit provided separately in the apparatus compares the specific information of all the glossy foreign substances with a comparison unit. In this case, for example, by performing a logical product operation between the two pieces of image information, the calculation result is zero. Is determined to be a foreign substance having no metallic luster, and if the calculation result is not zero, the detected foreign substance is a foreign substance having metallic luster. Judge The two processes can be distinguished. In this way, all of the processing in the corresponding one visual field range is completed, and the processing shifts to the processing in the next visual field range. Each processing is performed in the same manner. As described above in detail with reference to the embodiments,
According to the present invention, in order to identify the type of foreign matter contained in the solution, using a filter capable of identifying the foreign matter, the solution is filtered by a filter to collect the foreign matter, and then collected on the filter surface. In a method of enlarging a foreign substance by an optical microscope, capturing an image of the enlarged foreign substance with a charge-coupled device, and binarizing the captured image for measurement, first, a filter that collects the foreign substance In the state where is transmitted and illuminated by the transmitted light, the enlarged transmission image of the filter surface is imaged by the charge-coupled device, and the binarization process is performed on the transmission image. When the foreign object is detected in the transmitted image, the illumination by the transmitted light is switched to the reflected light and the filter is illuminated by the reflected light. By imaging the enlarged reflection image of the filter surface with the charge-coupled device and binarizing it, the foreign matter detected in the reflection image is re-reflected by the reflected illumination. Only foreign matter can be identified very easily, and the processing result of a transmission image using transmitted light as the illumination light source obtained in this way is compared with the processing result of a reflection image using reflected light as the illumination light source. By doing so, it is possible to determine the type of each of these detected foreign substances satisfactorily and accurately as foreign substances having metallic luster and foreign substances having no metallic luster. As a result, foreign substances contained in the solution, for example, terephthalic acid There is an excellent feature that the type of each foreign substance can be extremely easily identified by detecting an alkali-insoluble foreign substance contained in an acid and a water-insoluble foreign substance contained in an aqueous dimethyl terephthalate solution.
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による溶液中の異物種類識別方法の一実
施例を適用した識別装置の概要構成を示すブロック図で
ある。
【図2】同上実施例装置における異物種類の識別過程を
順次に説明するフローチャートである。
【符号の説明】
11 XYステージ
12 駆動制御装置
13 白色フィルタ
14 光学顕微鏡
15 透過光源
16 反射光源
17 照明電源装置
18 CCDカメラ
19 画像処理装置BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of an identification device to which an embodiment of a method for identifying the type of foreign matter in a solution according to the present invention is applied. FIG. 2 is a flowchart for sequentially explaining a foreign matter type identification process in the apparatus of the embodiment. [Description of Signs] 11 XY stage 12 Drive controller 13 White filter 14 Optical microscope 15 Transmission light source 16 Reflection light source 17 Illumination power supply device 18 CCD camera 19 Image processing device
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−141461(JP,A) 特開 平7−12690(JP,A) 特開 昭49−31396(JP,A) 特開 昭60−22647(JP,A) 特開 昭62−98579(JP,A) 特開 平7−229855(JP,A) 実開 昭57−61557(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/00 - 21/01 G01N 21/17 - 21/61 G01N 1/00 - 1/34 実用ファイル(PATOLIS) 特許ファイル(PATOLIS)──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-54-141461 (JP, A) JP-A-7-12690 (JP, A) JP-A-49-31396 (JP, A) JP-A-60-1985 22647 (JP, A) JP-A-62-298579 (JP, A) JP-A-7-229855 (JP, A) JP-A-57-61557 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 21/00-21/01 G01N 21/17-21/61 G01N 1/00-1/34 Practical file (PATOLIS) Patent file (PATOLIS)
Claims (1)
ために、該異物を識別し得るフィルタを用い、前記溶液
をフィルタで濾過して異物を捕集した後、前記フィルタ
面に捕集された異物を光学顕微鏡によって拡大すると共
に、拡大された異物の画像を荷電結合素子で撮像し、且
つ該撮像画像を二値化処理して計測する方法であって、 先ず、前記光学顕微鏡の照明光源を透過光に設定してか
ら、該透過光による前記フィルタの透過照明の下に、前
記荷電結合素子で該フィルタ面の拡大された透過画像を
撮像して二値化処理し、次いで、前記荷電結合素子によ
る透過画像内に異物を検出した場合、前記照明光源を反
射光に切り替え設定してから、該反射光による前記フィ
ルタの反射照明の下に、前記荷電結合素子で該フィルタ
面の拡大された反射画像を撮像して二値化処理し、さら
に、前記照明光源に透過光を用いた透過画像の処理結果
と、前記照明光源に反射光を用いた反射画像の処理結果
とを比較して、前記検出された異物の種類を金属光沢の
ある異物と金属光沢のない異物とに識別することを特徴
とする溶液中の異物種類識別方法。(1) Claims 1. In order to identify the type of foreign matter contained in a solution, a filter capable of identifying the foreign matter is used, and the solution is filtered through a filter to collect the foreign matter. Then, the foreign matter collected on the filter surface is enlarged by an optical microscope, an image of the enlarged foreign matter is captured by a charge-coupled device, and the captured image is binarized and measured. First, after setting the illumination light source of the optical microscope to transmitted light, under the transmitted illumination of the filter by the transmitted light, the charged coupling element captures an enlarged transmission image of the filter surface. Binarization processing, and then, when a foreign object is detected in the transmitted image by the charged coupling element, after switching and setting the illumination light source to reflected light, under the reflected illumination of the filter by the reflected light, The charge coupling element The reflection image obtained by enlarging the reflection image of the ruta surface is subjected to binarization processing, and further, a processing result of a transmission image using transmission light as the illumination light source, and a processing result of a reflection image using reflection light as the illumination light source Wherein the type of the detected foreign matter is distinguished into a foreign matter having a metallic luster and a foreign matter having no metallic luster.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33543294A JP3366760B2 (en) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | Method of identifying foreign matter in solution |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33543294A JP3366760B2 (en) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | Method of identifying foreign matter in solution |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08178843A JPH08178843A (en) | 1996-07-12 |
JP3366760B2 true JP3366760B2 (en) | 2003-01-14 |
Family
ID=18288501
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33543294A Expired - Lifetime JP3366760B2 (en) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | Method of identifying foreign matter in solution |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3366760B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2562513A4 (en) * | 2010-04-01 | 2018-01-31 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Particle measuring system and particle measuring method |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2063262B1 (en) | 2006-09-14 | 2013-03-06 | Panasonic Corporation | Metal identifying device and metal identifying method |
JP5434734B2 (en) * | 2010-03-25 | 2014-03-05 | 新日鐵住金株式会社 | Method for identifying brightness of fine particles |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP33543294A patent/JP3366760B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2562513A4 (en) * | 2010-04-01 | 2018-01-31 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Particle measuring system and particle measuring method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08178843A (en) | 1996-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI399534B (en) | And a defect inspection device for performing defect inspection using image analysis | |
CN101014850B (en) | System and method for inspecting electrical circuits utilizing reflective and fluorescent imagery | |
US7660036B2 (en) | Method for particle analysis and particle analysis system | |
US20020186878A1 (en) | System and method for multiple image analysis | |
EP1096249A2 (en) | Nondestructive inspection method and apparatus | |
JPH10187990A (en) | Device and method for picking up and processing image | |
JP3938227B2 (en) | Foreign object inspection method and apparatus | |
JP3366760B2 (en) | Method of identifying foreign matter in solution | |
JP3366761B2 (en) | Method of identifying foreign matter in solution | |
JP3455031B2 (en) | Bump appearance inspection device | |
JPH0357241A (en) | Automatic external-appearance inspection apparatus | |
JP2019158711A (en) | Image processing system, image processing device, and image processing program | |
JP3165429B2 (en) | Aggregation image judgment method | |
JP3523764B2 (en) | Foreign object detection device in nonmetallic inclusion measurement | |
JP2000311924A (en) | Method and apparatus for visual inspection | |
JPH07286954A (en) | Cell automatic classification device | |
JPH11316179A (en) | Method and device for testing crushing of glass plate image pickup method for glass test, and image signal processing method used the method | |
JP2000097867A (en) | Defect detecting device and method for translucent substrate | |
JPH10282014A (en) | Surface defect detector with polarizing plate | |
JPH07248214A (en) | Method for correcting measuring timing, apparatus for correcting measuring timing and automatic appearance-inspection apparatus | |
JP4302028B2 (en) | Inspection apparatus and method for transparent electrode film substrate, and program | |
JP4436523B2 (en) | Board inspection equipment | |
JPS61193007A (en) | Inspecting method for rod type projection body | |
CN211604189U (en) | Image type color identification system | |
JPS63256839A (en) | Method and device for aggregation decision |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081101 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081101 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091101 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101101 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111101 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121101 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131101 Year of fee payment: 11 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |