JP3366630B2 - 平面表示装置用の隔壁形成方法及びその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータのデ
ィスプレイ端末装置や、壁掛けテレビなどに組み込まれ
るプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと称す
る）などの平面表示装置用の隔壁形成方法及びその装置
並びにその方法で製造された平面表示装置用の背面板に
係り、特に隔壁を形成する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の隔壁形成方法として、例
えば、隔壁材料を背面板の全面に塗布し、この上に感光
性フィルムを被着した後、露光、現像を行って隔壁の形
成が必要な部分のみのレジストを残した状態で、ブラス
ト処理を行って不要な隔壁形成材を除去し、レジスト除
去・焼成を行う『サンドブラスト法』や、『スクリーン
印刷法』や、感光性レジストを背面板の全面に塗布し、
隔壁を形成したい部分の感光性レジストのみが除去され
るように露光、現像を行った後、凹部に隔壁材料を埋め
込み、感光性レジストを除去する『リフトオフ法』や、
背面板の全面に隔壁材料を塗布し、隔壁が形成される部
分に凹部が形成された金型を押しつける『プレス法』等
が挙げられる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成を有する従来例の場合には、次のような問題が
ある。すなわち、上述した代表的な『サンドブラスト
法』や『リフトオフ法』は工程数が多く処理に時間がか
かり、材料の利用効率が悪いといった問題がある。ま
た、『スクリーン印刷法』は品質や加工精度が低いとい
う問題がある。

【０００４】また、『プレス法』は、金型を外す際に隔
壁に破損などが生じ、品質や加工精度が低いという問題
がある。

【０００５】なお、ノズルから隔壁材料を吐出してこれ
を隔壁にするという方法（例えば、特開平９−９２１３
４号公報）が提案されてはいるが、この方法ではアスペ
クト比（隔壁の高さとその隔壁の幅との比）が大きな隔
壁は形成不可能であって現実的ではない。

【０００６】また、上述した問題とは別に、次に説明す
るような問題がある。隔壁材料が周辺の気温変化あるい
は機器の温度変化などを受けてその粘度に変化を来たす
ことがあり、隔壁材料の粘度変化によってその吐出状態
が微妙に変化し、背面板に吐出された隔壁の形状にばら
つきが生じる、つまりアスペクト比にばらつきが生じる
という問題がある。例えば、隔壁材料が、アクリルオリ
ゴマーやアクリルモノマーなどの１０万ｍＰａ・ｓ〔ミ
リパスカル秒〕前後の粘度樹脂と、セラミックスパウダ
ー（ガラス粉末）とからなる場合、室温（２３°Ｃ）付
近において温度が１°Ｃ変化すると、粘度が８０００ｍ
Ｐａ・ｓすなわち８％近くも変化する。この粘度変化は
吐出状態を微妙に変え、隔壁形状にばらつきが生じるこ
とになる。

【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、工程を単純化することにより品質や加
工精度を高めつつも、材料の利用効率を高めることによ
り低コストで隔壁を形成することができ、しかも高アス
ペクト比の隔壁も形成可能な平面表示装置用の隔壁形成
方法及びその装置を提供することを第１の目的とする。
また、本発明は、隔壁形状のばらつきを低減した平面表
示装置用の隔壁形成方法及びその装置を提供することを
第２の目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の平面表示装置の隔壁形成方法は、
平面表示装置に用いられる背面板に隔壁を形成する方法
であって、隔壁材料が吐出される吐出口を前記背面板に
向けたノズルと、前記背面板とを相対移動させながら、
前記ノズルから隔壁材料を吐出させる隔壁材料吐出過程
と、前記ノズルから隔壁材料を吐出させながら、前記背
面板上の隔壁材料を硬化させる隔壁材料硬化過程とを備
えたことを特徴とするものである。

【０００９】また、請求項２に記載の平面表示装置の隔
壁形成方法は、平面表示装置に用いられる背面板に隔壁
を形成する方法であって、ノズルと背面板とを相対移動
させながら、前記ノズルから隔壁材料を吐出させる隔壁
材料吐出過程と、前記ノズルから隔壁材料を吐出させな
がら、前記背面板上の隔壁材料を硬化させる隔壁材料硬
化過程とを備え、前記隔壁材料吐出過程では、複数個の
独立した吐出口を備えた前記ノズルの各吐出口から隔壁
材料を同時に吐出させることを特徴とするものである。

【００１０】また、請求項３に記載の平面表示装置の隔
壁形成方法は、請求項１または請求項２に記載の平面表
示装置用の隔壁形成方法において、前記隔壁材料硬化過
程では、光あるいは熱を照射するかまたは熱風を供給す
ることで隔壁材料を硬化させることを特徴とするもので
ある。

【００１１】また、請求項４に記載の平面表示装置の隔
壁形成方法は、請求項１から３のいずれかに記載の平面
表示装置用の隔壁形成方法において、前記隔壁材料硬化
過程では、前記ノズルから背面板に対して吐出された直
後の隔壁材料を硬化させることを特徴とするものであ
る。

【００１２】また、請求項５に記載の平面表示装置の隔
壁形成方法は、請求項１から４のいずれかに記載の平面
表示装置用の隔壁形成方法において、前記ノズルは、複
数個の独立した吐出口を相対移動方向と直交する方向に
並設したものであり、前記隔壁材料吐出過程では、相対
移動方向と直交する方向に複数個の前記ノズルを並設す
るとともに、相対移動方向から見て各ノズルの端部同士
が一部重複するように配備したことを特徴とするもので
ある。

【００１３】また、請求項６に記載の平面表示装置の隔
壁形成方法は、請求項１から５のいずれかに記載の平面
表示装置用の隔壁形成方法において、前記隔壁材料吐出
過程は、前記ノズルと前記背面板とを相対移動させなが
ら、前記ノズルから隔壁材料を恒温に保ちながら吐出さ
せる隔壁材料恒温吐出過程を備えていることを特徴とす
るものである。

【００１４】また、請求項７に記載の平面表示装置の隔
壁形成方法は、請求項６に記載の平面表示装置用の隔壁
形成方法において、前記隔壁材料恒温吐出過程は、供給
されてきた隔壁材料を前記ノズルまたはその近傍で恒温
に保つようにして吐出することを特徴とするものであ
る。

【００１５】また、請求項８に記載の平面表示装置の隔
壁形成方法は、請求項６または７に記載の平面表示装置
用の隔壁形成方法において、前記隔壁材料恒温吐出過程
は、供給されてきた隔壁材料を、前記ノズルまたはその
近傍で、それより上流側での温度よりも低い恒温状態で
吐出することを特徴とするものである。

【００１６】請求項９に記載の平面表示装置の隔壁形成
装置は、平面表示装置に用いられる背面板に隔壁を形成
する装置であって、背面板を載置する載置台と、隔壁材
料が吐出される吐出口を前記背面板に向けたノズルと、
前記ノズルと前記載置台とを相対移動させる移動手段
と、前記背面板上に吐出された隔壁材料を硬化させる硬
化手段とを備え、前記移動手段を作動させて前記ノズル
と前記背面板とを相対移動させながら、前記ノズルから
隔壁材料を吐出させるとともに、前記ノズルから隔壁材
料を吐出させながら、前記背面板上の隔壁材料を前記硬
化手段により硬化させることを特徴とするものである。

【００１７】また、請求項１０に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、平面表示装置に用いられる背面板に隔
壁を形成する装置であって、背面板を載置する載置台
と、隔壁材料を同時に吐出する複数個の独立した吐出口
を有するノズルと、前記ノズルと前記載置台とを相対移
動させる移動手段と、前記背面板上に吐出された隔壁材
料を硬化させる硬化手段とを備え、前記移動手段を作動
させて前記ノズルと前記背面板とを相対移動させなが
ら、前記ノズルから隔壁材料を吐出させるとともに、前
記ノズルから隔壁材料を吐出させながら、前記背面板上
の隔壁材料を前記硬化手段により硬化させることを特徴
とするものである。

【００１８】また、請求項１１に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、請求項９または１０に記載の平面表示
装置用の隔壁形成装置において、前記硬化手段は、隔壁
材料に光あるいは熱を照射するかまたは熱風を供給して
隔壁材料を硬化させることを特徴とするものである。

【００１９】また、請求項１２に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、請求項９から１１のいずれかに記載の
平面表示装置用の隔壁形成装置において、前記硬化手段
は、前記ノズルから背面板に対して吐出された直後の隔
壁材料を硬化させるように、前記ノズルの近傍に配置さ
れていることを特徴とするものである。

【００２０】また、請求項１３に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、請求項９から１２のいずれかに記載の
平面表示装置用の隔壁形成装置において、前記ノズル
は、複数個の独立した吐出口を相対移動方向と直交する
方向に並設したものであり、前記ノズルが複数個備えら
れ、相対移動方向と直交する方向に前記各ノズルを並設
するとともに、相対移動方向から見て各ノズルの端部同
士が一部重複するように配備したことを特徴とするもの
である。

【００２１】また、請求項１４に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、請求項９から１３のいずれかに記載の
平面表示装置用の隔壁形成装置において、隔壁材料を恒
温に保つための恒温手段を備え、前記ノズルと背面板と
を相対移動させながら、前記ノズルから隔壁材料を恒温
に保ちながら吐出させることを特徴とするものである。

【００２２】また、請求項１５に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、請求項１４に記載の平面表示装置用の
隔壁形成装置において、前記恒温手段は、供給されてき
た隔壁材料を恒温に保ちながら吐出させるように、前記
ノズルまたはその近傍に設けられたことを特徴とするも
のである。

【００２３】また、請求項１６に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、請求項１４または１５に記載の平面表
示装置用の隔壁形成装置において、前記恒温手段は、供
給されてきた隔壁材料を、前記ノズルまたはその近傍
で、それより上流側での温度よりも低い恒温状態で吐出
することを特徴とするものである。

【００２４】請求項１７に記載の平面表示装置の隔壁形
成方法は、平面表示装置に用いられる背面板に隔壁を形
成する方法であって、隔壁形成用のレリーフパターンと
なる型材料が吐出される吐出口を前記背面板に向けたノ
ズルと、前記背面板とを相対移動させながら、前記ノズ
ルから隔壁形成用のレリーフパターンとなる型材料を吐
出させる型材料吐出過程と、前記ノズルから型材料を吐
出させながら、前記背面板上の型材料を硬化させる型材
料硬化過程と、前記レリーフパターンの間隙に隔壁材料
を埋め込む埋め込み過程と、前記隔壁材料を硬化させる
隔壁材料用硬化過程と、前記レリーフパターンを除去す
る除去過程と、を順に実施することにより隔壁を形成す
ることを特徴とするものである。

【００２５】また、請求項１８に記載の平面表示装置の
隔壁形成方法は、平面表示装置に用いられる背面板に隔
壁を形成する方法であって、ノズルと背面板とを相対移
動させながら、前記ノズルから隔壁形成用のレリーフパ
ターンとなる型材料を吐出させる型材料吐出過程と、前
記ノズルから型材料を吐出させながら、前記背面板上の
型材料を硬化させる型材料硬化過程と、前記レリーフパ
ターンの間隙に隔壁材料を埋め込む埋め込み過程と、前
記隔壁材料を硬化させる隔壁材料用硬化過程と、前記レ
リーフパターンを除去する除去過程と、を順に実施する
ことにより隔壁を形成し、前記隔壁材料吐出過程では、
複数個の独立した吐出口を備えた前記ノズルの各吐出口
から型材料を同時に吐出させることを特徴とするもので
ある。

【００２６】また、請求項１９に記載の平面表示装置の
隔壁形成方法は、請求項１７または１８に記載の平面表
示装置用の隔壁形成方法において、前記型材料硬化過程
では、光あるいは熱を照射するかまたは熱風を供給する
ことで型材料を硬化させることを特徴とするものであ
る。

【００２７】また、請求項２０に記載の平面表示装置の
隔壁形成方法は、請求項１７から１９のいずれかに記載
の平面表示装置用の隔壁形成方法において、前記型材料
硬化過程では、前記ノズルから背面板に対して吐出され
た直後の型材料を硬化させることを特徴とするものであ
る。

【００２８】また、請求項２１に記載の平面表示装置の
隔壁形成方法は、請求項１７から２０のいずれかに記載
の平面表示装置用の隔壁形成方法において、前記ノズル
は、複数個の独立した吐出口を相対移動方向と直交する
方向に並設したものであり、前記型材料吐出過程では、
相対移動方向と直交する方向に複数個の前記ノズルを並
設するとともに、相対移動方向から見て各ノズルの端部
同士が一部重複するように配備したことを特徴とするも
のである。

【００２９】また、請求項２２に記載の平面表示装置の
隔壁形成方法は、請求項１７または１８に記載の平面表
示装置用の隔壁形成方法において、前記型材料吐出過程
は、ノズルと背面板とを相対移動させながら、前記ノズ
ルから隔壁形成用のレリーフパターンとなる型材料を恒
温に保ちながら吐出させる型材料恒温吐出過程を備えて
いることを特徴とするものである。

【００３０】請求項２３に記載の平面表示装置の隔壁形
成装置は、平面表示装置に用いられる背面板に隔壁を形
成する装置であって、背面板を載置する載置台と、隔壁
形成用のレリーフパターンとなる型材料が吐出される吐
出口を前記背面板に向けたノズルと、前記ノズルと前記
載置台とを相対移動させる移動手段と、前記背面板上に
吐出された型材料を硬化させる硬化手段と、前記レリー
フパターンの間隙に隔壁材料を埋め込む埋め込み手段
と、前記レリーフパターンを除去する除去手段とを備
え、前記移動手段を作動させて前記ノズルと前記背面板
とを相対移動させながら、前記ノズルから型材料を吐出
させるとともに、前記ノズルから型材料を吐出させなが
ら、前記背面板上の型材料を前記硬化手段により硬化さ
せることを特徴とするものである。

【００３１】また、請求項２４に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、平面表示装置に用いられる背面板に隔
壁を形成する装置であって、背面板を載置する載置台
と、隔壁形成用のレリーフパターンとなる型材料を同時
に吐出する複数個の独立した吐出口を有するノズルと、
前記ノズルと前記載置台とを相対移動させる移動手段
と、前記背面板上に吐出された型材料を硬化させる硬化
手段と、前記レリーフパターンの間隙に隔壁材料を埋め
込む埋め込み手段と、前記レリーフパターンを除去する
除去手段とを備え、前記移動手段を作動させて前記ノズ
ルと前記背面板とを相対移動させながら、前記ノズルか
ら型材料を吐出させるとともに、前記ノズルから型材料
を吐出させながら、前記背面板上の型材料を前記硬化手
段により硬化させることを特徴とするものである。

【００３２】また、請求項２５に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、請求項２３または２４に記載の平面表
示装置用の隔壁形成装置において、前記硬化手段は、型
材料に光あるいは熱を照射するかまたは熱風を供給して
型材料を硬化させることを特徴とするものである。

【００３３】また、請求項２６に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、請求項２３から２５のいずれかに記載
の平面表示装置用の隔壁形成装置において、前記硬化手
段は、前記ノズルから背面板に対して吐出された直後の
型材料を硬化させるように、前記ノズルの近傍に配置さ
れていることを特徴とするものである。

【００３４】また、請求項２７に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、請求項２３から２６のいずれかに記載
の平面表示装置用の隔壁形成装置において、前記ノズル
は、複数個の独立した吐出口を相対移動方向と直交する
方向に並設したものであり、前記ノズルが複数個備えら
れ、相対移動方向と直交する方向に前記各ノズルを並設
するとともに、相対移動方向から見て各ノズルの端部同
士が一部重複するように配備したことを特徴とするもの
である。

【００３５】また、請求項２８に記載の平面表示装置の
隔壁形成装置は、請求項２３または２４に記載の平面表
示装置用の隔壁形成装置において、前記ノズルから吐出
される型材料を恒温に保つための恒温手段を備え、前記
移動手段を作動させて前記ノズルと前記背面板とを相対
移動させながら、前記ノズルから型材料を恒温に保ちな
がら吐出させるとともに、前記ノズルから型材料を吐出
させながら、前記背面板上の型材料を前記硬化手段によ
り硬化させることを備えることを特徴とするものであ
る。

【００３６】請求項２９に記載の平面表示装置の隔壁形
成方法は、請求項１、２、１７、１８のいずれかに記載
の平面表示装置用の隔壁形成方法において、前記ノズル
の吐出口は、ノズルと背面板との相対移動方向と直交す
る方向に比べてその相対移動方向に長い形状であること
を特徴とするものである。

【００３７】請求項３０に記載の平面表示装置の隔壁形
成装置は、請求項９、１０、２３、２４のいずれかに記
載の平面表示装置用の隔壁形成装置において、前記ノズ
ルの吐出口は、ノズルと背面板との相対移動方向と直交
する方向に比べてその相対移動方向に長い形状であるこ
とを特徴とするものである。

【００３８】

【００３９】

【作用】請求項１に記載の方法発明の作用は次のとおり
である。隔壁材料吐出過程では、ノズルと背面板とを相
対移動させながら、ノズルから隔壁材料を吐出させる。
隔壁材料硬化過程では、ノズルから隔壁材料を吐出させ
ながら、背面板上の隔壁材料を硬化させる。したがっ
て、背面板上に吐出された隔壁材料がその形状を維持さ
れる。

【００４０】また、請求項２に記載の方法発明による
と、隔壁材料吐出過程では、複数個の吐出口を備えたノ
ズルの各吐出口から隔壁材料を同時に吐出させているの
で、背面板上に線状に吐出されている複数列の隔壁材料
がその形状を維持される。

【００４１】また、請求項３に記載の方法発明による
と、隔壁材料に光あるいは熱を照射するかまたは熱風を
供給することにより、隔壁材料が硬化される。

【００４２】また、請求項４に記載の方法発明による
と、ノズルから隔壁材料を吐出させつつノズルと背面板
とを相対移動させると、ノズルから吐出された隔壁材料
が背面板上に塗布される。隔壁材料硬化過程では、ノズ
ルから背面板に対して吐出された直後の隔壁材料を硬化
させるので、背面板上に線状に吐出されている隔壁材料
がその形状を維持される。

【００４３】また、請求項５に記載の方法発明による
と、複数個のノズルを並設して大面積に同時に隔壁材料
を塗布する場合、機械的に組み立てられたノズルの側壁
部分だけで吐出口のピッチを大きく上回る。そこで、端
部同士が一部重複するように配備することで、隣接する
ノズル間の吐出口ピッチを単一のノズルの吐出口ピッチ
に近づけることができる。

【００４４】また、請求項６に記載の方法発明による
と、隔壁材料吐出過程は、ノズルと背面板とを相対移動
させながら、ノズルから隔壁材料を恒温に保ちながら吐
出させる隔壁材料恒温吐出過程を備えている。したがっ
て、ノズルからの隔壁材料の吐出状態が一定となり、隔
壁形状寸法が安定する。

【００４５】また、請求項７に記載の方法発明による
と、隔壁材料恒温吐出過程では、供給されてきた隔壁材
料をノズルまたはその近傍で恒温に保つようにしてい
る。したがって、ノズルからの隔壁材料の吐出状態を一
定にして隔壁形状寸法を安定させることを、少ないエネ
ルギーで効率的に実現できる。

【００４６】また、請求項８に記載の方法発明による
と、隔壁材料恒温吐出過程では、供給されてきた隔壁材
料を、ノズルまたはその近傍で、それより上流側での温
度よりも低い恒温状態で吐出している。したがって、隔
壁材料をノズル近傍まで輸送するまでは低粘度で供給で
き、ノズルまたはその近傍で隔壁材料を高粘度にでき、
隔壁材料の輸送が容易となる。

【００４７】請求項９に記載の装置発明の作用は次のと
おりである。移動手段を作動させてノズルと背面板とを
相対移動させるとともに、ノズルから隔壁材料を吐出さ
せながらこの隔壁材料を硬化手段により硬化させること
で、背面板上に吐出された隔壁材料がその形状を維持で
きる。

【００４８】また、請求項１０に記載の装置発明による
と、複数個の吐出口を備えたノズルの各吐出口から隔壁
材料を同時に吐出させているので、背面板上に線状に吐
出されている複数列の隔壁材料がその形状を維持され
る。

【００４９】また、請求項１１に記載の装置発明による
と、硬化手段により隔壁材料に光あるいは熱を照射する
かまたは熱風を供給することにより、隔壁材料が硬化さ
れる。

【００５０】また、請求項１２に記載の装置発明による
と、ノズルから隔壁材料を吐出させながら移動手段によ
りノズルと背面板とを相対移動させ、ノズルから背面板
に対して吐出された直後の隔壁材料を硬化手段により硬
化させることで、隔壁材料がその形状を維持できる。

【００５１】また、請求項１３に記載の装置発明による
と、ノズルの端部同士が一部重複するように配備するこ
とで、隣接するノズル間の吐出口ピッチを単一のノズル
の吐出口ピッチに近づけることができる。

【００５２】また、請求項１４に記載の装置発明による
と、恒温手段によりノズルから隔壁材料を恒温に保ちな
がら吐出させるとともに、移動手段によりノズルと背面
板とを相対移動させることにより隔壁を形成する。した
がって、ノズルからの隔壁材料の吐出状態が一定とな
り、隔壁形状寸法が安定する。

【００５３】また、請求項１５に記載の装置発明による
と、恒温手段は、供給されてきた隔壁材料をノズルまた
はその近傍で恒温に保つようにしている。したがって、
ノズルからの隔壁材料の吐出状態を一定にして隔壁形状
寸法を安定させることを、少ないエネルギーで効率的に
実現できる。

【００５４】また、請求項１６に記載の装置発明による
と、恒温手段は、供給されてきた隔壁材料を、ノズルま
たはその近傍で、それより上流側での温度よりも低い恒
温状態で吐出するので、隔壁材料をノズル近傍まで輸送
するまでは低粘度で供給でき、ノズルまたはその近傍で
隔壁材料を高粘度にでき、隔壁材料の輸送が容易とな
る。

【００５５】請求項１７に記載の方法発明の作用は次の
とおりである。まず、レリーフパターンを形成するため
に、型材料吐出過程では、ノズルと背面板とを相対移動
させながら、ノズルからレリーフパターンとなる型材料
を吐出させる。型材料硬化過程では、ノズルから型材料
を吐出させながら、背面板上の型材料を硬化させる。そ
の後、埋め込み過程により、レリーフパターンの間隙に
隔壁材料を埋め込む。隔壁材料用硬化過程により隔壁材
料を硬化させた後、除去過程によりレリーフパターンを
除去すると、背面板に隔壁を形成できる。

【００５６】また、請求項１８に記載の方法発明による
と、複数個の吐出口を備えたノズルの各吐出口から型材
料を同時に吐出させているので、背面板上に線状に吐出
されている複数列の型材料がその形状を維持される。

【００５７】また、請求項１９に記載の方法発明による
と、ノズルから背面板に対して吐出された型材料に、光
あるいは熱を照射するかまたは熱風を供給することで、
型材料を硬化させるので、型材料がその形状を維持でき
る。

【００５８】また、請求項２０に記載の方法発明による
と、ノズルから型材料を吐出させつつノズルと背面板と
を相対移動させると、ノズルから吐出された型材料が背
面板上に塗布される。型材料硬化過程では、ノズルから
背面板に対して吐出された直後の型材料を硬化させるの
で、背面板上に線状に吐出されている型材料がその形状
を維持される。

【００５９】また、請求項２１に記載の方法発明による
と、ノズルの端部同士が一部重複するように配備するこ
とで、隣接するノズル間の吐出口ピッチを単一のノズル
の吐出口ピッチに近づけることができる。

【００６０】また、請求項２２に記載の方法発明による
と、レリーフパターンを形成するために、ノズルと背面
板とを相対移動させながら、ノズルからレリーフパター
ンとなる型材料を恒温に保ちながら吐出させる。ノズル
からの型材料の吐出状態が一定となり、型形状寸法が安
定する。その後、レリーフパターンの間隙に隔壁材料を
埋め込む。隔壁材料を硬化させた後、レリーフパターン
を除去すると、背面板に寸法形状が安定した隔壁を形成
できる。

【００６１】請求項２３に記載の装置発明の作用は次の
とおりである。レリーフパターンを形成するために、移
動手段を作動させてノズルと載置台とを相対移動させな
がら、ノズルから型材料を吐出させるとともに、このノ
ズルから型材料を吐出させながら、背面板上の型材料を
硬化手段により硬化させる。そしてその後、埋め込み手
段を作動させて、背面板上のレリーフパターンの間隙に
隔壁材料を埋め込む。隔壁材料を硬化させた後、除去手
段を作動させて、レリーフパターンを除去すると背面板
に隔壁を形成できる。

【００６２】また、請求項２４に記載の装置発明による
と、ノズルは、型材料を同時に吐出する複数個の吐出口
を備えている。したがって、ノズルから背面板に対して
吐出された直後の複数列の型材料を硬化させるので、背
面板上に線状に吐出されている複数列の型材料がその形
状を維持される。吐出した複数列の型材料を硬化させた
後、埋め込み手段を作動させて、背面板上のレリーフパ
ターンの間隙に隔壁材料を埋め込む。隔壁材料を硬化さ
せた後、除去手段を作動させて、レリーフパターンを除
去すると背面板に隔壁を複数列形成できる。

【００６３】また、請求項２５に記載の装置発明による
と、ノズルから背面板に対して吐出された型材料に、硬
化手段から光あるいは熱を照射するかまたは熱風を供給
して硬化させることにより型材料がその形状を維持され
る。

【００６４】また、請求項２６に記載の装置発明による
と、硬化手段は、ノズルから背面板に対して吐出された
直後の型材料を硬化させるように、ノズルの近傍に配置
されている。したがって、ノズルから背面板に対して吐
出された直後の型材料を硬化させるので、背面板上に線
状に吐出されている型材料がその形状を維持される。

【００６５】また、請求項２７に記載の装置発明による
と、ノズルの端部同士が一部重複するように配備するこ
とで、隣接するノズル間の吐出口ピッチを単一の第１の
ノズルの吐出口ピッチに近づけられる。

【００６６】また、請求項２８に記載の装置発明による
と、レリーフパターンを形成するために、移動手段によ
りノズルと背面板とを相対移動させながら、恒温手段に
よりノズルからレリーフパターンとなる型材料を恒温に
保ちながら吐出させる。ノズルからの型材料の吐出状態
が一定となり、型形状寸法が安定する。その後、埋め込
み手段を作動させて、レリーフパターンの間隙に隔壁材
料を埋め込む。隔壁材料を硬化させた後、除去手段を作
動させて、レリーフパターンを除去すると、背面板に形
状寸法が安定した隔壁を形成できる。

【００６７】請求項２９に記載の方法発明の作用は次の
とおりである。ノズルの吐出口は、ノズルと背面板との
相対移動方向と直交する方向に比べてその相対移動方向
に長い形状としている。したがって、隔壁を高くするよ
うに隔壁材料が背面板に吐出され、アスペクト比の大き
な隔壁が得られる。

【００６８】請求項３０に記載の装置発明の作用は次の
とおりである。ノズルの吐出口は、ノズルと背面板との
相対移動方向と直交する方向に比べてその相対移動方向
に長い形状としている。したがって、隔壁を高くするよ
うに隔壁材料が背面板に吐出され、アスペクト比の大き
な隔壁が得られる。

【００６９】

【００７０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施例を説明する。 ＜第１実施例＞ 図１は、本実施例に係る平面表示装置用の隔壁形成装置
の概略構成を示す図である。

【００７１】平面表示装置用の背面板Ｓは、例えば、ガ
ラス基板であって載置台１に載置されている。ベース３
上には、ガイドレール５が立設されており、これには載
置台１の下面に取り付けられたスライド部材７が摺動自
在に嵌め付けられている。これらの構成により載置台１
は、左右方向に移動可能になっている。

【００７２】また、ベース３上面には、回転軸を横向き
にしてモータ９が取り付けられている。このモータ９の
回転軸には螺軸１１が配設されおり、この螺軸１１には
載置台１の下面に取り付けられた接続片１３が螺合して
いる。したがって、モータ９を作動させることにより、
載置台１が左右方向に移動するようになっている。な
お、モータ９が本発明における移動手段に相当する。

【００７３】載置台１の右端付近で、ベース３の中央部
付近には、隔壁形成材料を吐出するための吐出ユニット
１５が配設されている。この吐出ユニット１５は、ノズ
ル１７と光照射部１９とを備え、載置台１を跨ぐように
ベース３に立設された枠体２０に取り付けられている。
本実施例では、載置台１がノズル１７に対して左方向に
移動する場合に隔壁材料を吐出するように構成されてい
るが、光照射部１９は、吐出された直後の隔壁材料に光
を照射して硬化を促進させるために、移動時におけるノ
ズル１７の後ろ側に相当するノズル１７の左側に付設さ
れている。

【００７４】なお、上記の光照射部１９が本発明におけ
る硬化手段に相当する。

【００７５】ここで図２のノズル１７の下方から見た図
を参照する。このノズル１７は、図１の紙面方向であっ
て、図２の左右方向に一列に並んだ複数個の吐出口１７
ａが形成されている。本実施例における各吐出口１７ａ
は、載置台１の移動方向に長軸を有する楕円形を採用し
ている。その径は約３０μｍであり、吐出口１７ａの配
置ピッチＰ１は、約１５０μｍとなっている。なお、こ
の吐出口１７ａの形状は、所望する隔壁の縦断面形状に
合わせて設定すればよい。

【００７６】ノズル１７には、逆止弁２１が配設された
供給管２３が連通接続されている。この供給管２３は上
部管２３ａがポンプ２５に接続されている一方、逆止弁
２１の上部で上部管２３ａから分岐している分岐管２３
ｂが隔壁材料タンク２７に連通接続されている。また、
分岐管２３ｂには、開閉弁２９が取り付けられている。

【００７７】上述したモータ９、ポンプ２５及び開閉弁
２９は、図示しないＣＰＵ等を含む制御部３１によって
制御される。制御部３１は、モータ９を作動させること
により、載置台１を左方向に移動させ、ノズル１７に対
して背面板Ｓを左方向へ移動させる。そして、このとき
ポンプ２５と開閉弁２９を制御してノズル１７から隔壁
材料を吐出させる。

【００７８】具体的には、まず、開閉弁２９を開放した
状態でポンプ２５を吸引作動させ、上部管２３ａ内に隔
壁材料を吸い込ませる。このときノズル１７内に残って
いる隔壁材料が引き戻されることのないように逆止弁２
１が作用する。次に、開閉弁２９を閉止した状態でポン
プ２５を排出作動させ、上部管２３ａ内に吸い込んだ隔
壁材料を逆止弁２１を通して押し出し、ノズル１７に隔
壁材料を供給する。このような一連の動作を繰り返し行
うことにより、ノズル１７の吐出口１７ａから隔壁材料
が吐出されるようになっている。

【００７９】ここで、背面板Ｓに隔壁材料吐出のメカニ
ズムについて説明する。まず、ノズル１７先端からノズ
ル１７外部に隔壁材料が押し出される。その押し出され
た隔壁材料の背面板Ｓに近い側が速やかに背面板Ｓに接
するように、ノズル１７の一端は背面板Ｓに接触若しく
は近接（間隔は数十μｍ）して設置されているので、隔
壁材料の下端部（＝隔壁下端部の幅）はノズル開口に近
い値になるが、隔壁材料の性状、ノズル１７の先端部の
隔壁材料濡れ性、押し出し速度によって、ノズル開口よ
り若干大きくなったり（ノズル１７が濡れやすい場
合）、小さくなったり（ノズル１７が濡れにくい場合は
縮流となる）する。また、ノズル１７と背面板Ｓとの相
対速度と、隔壁材料押し出し速度との比較で、押し地合
い気味になれば幅は広がり、逆に引き地合い気味になれ
ば狭まる。さらに、背面板Ｓとの濡れ性にも影響される
が、濡れ性は比較的良いので、背面板Ｓに接触してから
硬化を受けるまでに多少広がる傾向はある。しかし実際
には、総じてノズル開口（例えば６０μｍ）＋数μｍの
幅で隔壁底面が形成され、隔壁幅はほぼノズル開口の寸
法（≒６０μｍ）となる。

【００８０】上述した光照射部１９には、光ファイバ３
３で接続された紫外線光源３５から隔壁材料の硬化を促
進させる紫外線が導かれる。この例では紫外線を利用し
ているが、隔壁材料の硬化を促進することができれば、
光の種類は紫外線に限定されるものではない。なお、隔
壁材料は、ノズル１７からの吐出を容易にするために粘
度を若干低めにするとともに、バインダーにＵＶ硬化樹
脂を混合したものである。

【００８１】また、硬化手段としては、上述したように
紫外線を用いる以外に、熱を加えて（熱を照射するかま
たは熱風を供給するなど）隔壁材料を硬化させるように
してもよい。

【００８２】次に、上述した構成の装置による隔壁形成
について、図３を参照しながら説明する。なお、図３
は、隔壁形成過程を示した模式図である。

【００８３】まず、背面板Ｓを載置台１に載置するとと
もに、吸着等により載置台１に対して背面板Ｓを固定す
る。

【００８４】次に、モータ９を一定の速度で回転させな
がら、上述したようにしてポンプ２５と開閉弁２９を制
御して隔壁材料をノズル１７から吐出させる。すると、
載置台１が左方向に一定速度で移動するので、ノズル１
７から吐出された複数本の隔壁材料Ｍ_W が背面板Ｓ上面
に線状の壁を形成するように盛られる。このようにする
ことで、ノズル１７と背面板Ｓとを相対移動させなが
ら、ノズル１７から隔壁材料Ｍ_W を吐出させる隔壁材料
吐出過程が実現されている。しかも、図３中に点線で示
すように、ノズル１７から吐出された直後に光照射部１
９から紫外線が照射されて硬化が促進されているので、
ほとんど隔壁材料Ｍ_W がダレることがなく、吐出口１７
ａの配置ピッチＰ１で隔壁Ｗが形成されることになる。
このようにすることで、ノズル１７から隔壁材料Ｍ_W を
吐出させながら、背面板Ｓ上の隔壁材料Ｍ_W を硬化させ
る隔壁材料硬化過程が実現されている。

【００８５】なお、隔壁材料Ｍ_W の吐出直後からそれを
光照射部１９により硬化されるまでの時間は、ノズル１
７の走査速度や光照射部１９などの硬化手段によって異
なるが、この第１実施例では１秒以内である。

【００８６】そして、最後に、５００〜６００℃の温度
で焼成することによって平面表示装置用の隔壁が完成す
る。

【００８７】上述のように、隔壁材料Ｍ_W を吐出させな
がら紫外線を照射して硬化させる、つまり、吐出された
直後の隔壁材料Ｍ_W に紫外線を照射して硬化を促進する
と、背面板Ｓ上の隔壁材料Ｍ_W がその形状を維持される
ので、工程を単純化することで高品質かつ高精度で隔壁
Ｗを形成することができる。しかも、隔壁材料Ｍ_W の利
用効率が高いので低コスト化が可能である。また、吐出
直後に硬化させているので、高アスペクト比の隔壁Ｗも
形成可能となっている。

【００８８】なお、背面板Ｓの面積が広く、一度で所望
の面積に隔壁Ｗを形成できない場合には、載置台１を初
期位置に戻すとともに、図示しない送り機構によりノズ
ル１７をＹ方向に送ってから再び上述した処理を行えば
よい。また、載置台１を初期位置に戻すことなく往復で
隔壁材料を吐出させるため、ノズル１７の両側に光照射
部１９を付設してもよい。

【００８９】または、複数個のノズル１７を並設しても
よい。この場合、単純に複数個のノズル１７を一直線に
並設すると、ノズル１７の側壁の厚みだけで隔壁Ｗのピ
ッチを決める吐出口１７ａの配置ピッチＰ１を越えるこ
とになり、隔壁Ｗのピッチが乱れることになる。そこ
で、図４に示すように、隣接するノズル１７の端部同士
が一部重複するように並設して、隣接するノズル１７の
吐出口１７ａ同士の間隔が配置ピッチＰ１となるように
することが好ましい。このようにノズル１７を複数個並
設すると、一度に広い面積に隔壁を形成することができ
るので、工数を低減することができる。

【００９０】なお、ノズル１７の吐出口１７ａの形状
は、上述したような楕円形状だけに限定されるものでは
ない。つまり、長穴形状や、図５（ａ）に示すような長
方形状や、図５（ｂ）に示すような台形状であってもよ
い。これらのように吐出口１７ａの形状を工夫すること
により、硬化を促進してもある程度隔壁材料に生じるダ
レによる隔壁の崩れを防止することができる。特に、吐
出口１７ａは、ノズル１７と背面板Ｓとの相対移動方向
と直交する方向に比べてその相対移動方向に長い形状と
しているので、隔壁の高さがで易くなり、高アスペクト
比の隔壁が形成し易くなる。

【００９１】また、背面板Ｓに『うねり』が存在する場
合には、載置台１とノズル１７の間隔を一定に保つた
め、背面板Ｓ上面とノズル１７との間隔を測定する測距
手段と、ノズル１７と載置台１との相対昇降手段とを設
けるようにしてもよい。これにより隔壁Ｗの高さを安定
させることができる。

【００９２】＜第２実施例＞ 図６を参照して第２実施例について説明する。なお、上
述した第１実施例では、隔壁Ｗを直接形成したが、本実
施例ではまずレリーフパターンを形成し、その間隙に隔
壁材料を埋め込んでから隔壁を形成する。また、上述し
た第１実施例と同じ構成には同じ符号を付すことで詳細
な説明については省略する。

【００９３】第２実施例においては、処理ユニット６０
が設けられている。この処理ユニット６０は、３つのユ
ニット、すなわち吐出ユニット６０ａと、埋め込みユニ
ット６０ｂと、除去ユニット６０ｃとから構成される。

【００９４】吐出ユニット６０ａには、ノズル４１と光
照射部１９とが取り付けられている。このノズル４１に
は、逆止弁４３が配設された供給管４５が連通接続され
ているとともに、上部管４５ａがポンプ４７に接続され
ている。さらに、逆止弁４３の上部で上部管４５ａから
分岐している分岐管４５ｂが型材料タンク４９に連通接
続されている。また、分岐管４５ｂには、開閉弁５１が
取り付けられている。

【００９５】ノズル４１は、図７に示すように、複数個
の吐出口４１ａが形成されている。吐出口４１ａの形状
は、種々のものを採用できる。

【００９６】なお、ノズル４１が本発明における型材料
を吐出するノズルに相当する。

【００９７】型材料タンク４９には、紫外線硬化型樹脂
をバインダーに含んだ型材料が貯留されている。この型
材料は、隔壁材料のようにガラス粉末が含まれていない
ので低粘度のものとなっている。

【００９８】埋め込みユニット６０ｂは、スリットノズ
ル６１と、ブレード６３と、赤外線ヒータ６５とから構
成される。スリットノズル６１は、ノズル４１と異な
り、スリット状の吐出口を有しており、隔壁材料タンク
２７からの材料を、背面板Ｓの移動方向に対して垂直方
向に沿うライン状に吐出する。ブレード６３は、型材料
で形成されるレリーフパターンの間隙にのみ隔壁材料を
残し、それ以外の材料を除去するものである。また、赤
外線ヒータ６５は、隔壁材料を仮焼成するものである。

【００９９】なお、スリットノズル６１及びブレード６
３が本発明における埋め込み手段に相当する。

【０１００】除去ユニット６０ｃは、熱風エアナイフ６
７と、吸引機６９とから構成される。熱風エアナイフ６
７は、熱風源７１からの熱風を型材料、すなわちレリー
フパターンに高圧で吹き付けることにより、型材料を溶
融しながら吹き飛ばすものである。そして、吸引機６９
は、吹き飛ばされた型材料を吸引して、所定の場所に排
出する。

【０１０１】なお、熱風エアナイフ６７が本発明におけ
る除去手段に相当する。

【０１０２】次に、上述した装置による隔壁形成につい
て、図８ないし図１０を参照しながら説明する。なお、
これらの図８ないし図１０は、隔壁形成過程を示した模
式図である。

【０１０３】まず、背面板Ｓを載置台１に載置するとと
もに、背面板Ｓを載置台１に固定する。

【０１０４】次に、吐出ユニット６０ａを用い、モータ
９を一定の速度で回転させながら、ポンプ４７と開閉弁
５１を制御して型材料をノズル４１から吐出させる。す
ると、載置台１が左方向に一定速度で移動するので、ノ
ズル４１から吐出された複数本の型材料Ｍ_R が背面板Ｓ
上面に盛られる。こうすることで、ノズル４１と背面板
Ｓとを相対移動させながら、ノズル４１から型材料を吐
出させる型材料吐出過程が実現されている。このとき、
図８中に点線で示すように、ノズル４１から吐出された
直後に光照射部１９から紫外線が照射されて硬化が促進
されている関係上、ほとんど型材料Ｍ_R がだれることが
なく型Ｒ（レリーフパターン）が形成されることにな
る。こうすることで、ノズル４１から型材料を吐出させ
ながら、背面板Ｓ上の型材料を硬化させる型材料硬化過
程が実現されている。

【０１０５】次に、載置台１を元の位置に戻した後、埋
め込みユニット６０ｂを用い、隔壁材料Ｍ_W を供給する
（図９参照）。すなわち、モータ９を一定の速度で回転
させながら、ポンプ２５と開閉弁２９を制御して隔壁材
料Ｍ_W をスリットノズル６１から吐出させる。この際、
隔壁材料Ｍ_W はスリットノズル６１の幅に応じて一面に
吐出されるが、ブレード６３によって不要分は除去さ
れ、間隙部分に回り込み、図９に示すように、型Ｒの間
隙にのみ隔壁材料Ｍ_W が埋め込まれる。型Ｒには多少の
弾力性があるので、ブレード６３でならした後の隔壁端
部の形状は、図９のように、型Ｒの頂部より若干低いと
ころでほぼ平坦になる。このようにして、型Ｒの間隙に
隔壁材料Ｍ_W を埋め込む埋め込み過程が行なわれる。そ
して、隔壁材料Ｍ_W は赤外線ヒータ６５からの熱によっ
て仮焼成される。このようにして、隔壁材料Ｍ_W を硬化
させる隔壁材料用硬化過程が行なわれる。

【０１０６】次に、載置台１を元の位置に戻した後、除
去ユニット６０ｃを用い、型Ｒ、すなわち、型材料Ｍ_R
を除去する（図１０参照）。すなわち、モータ９を一定
の速度で回転させながら、熱風エアナイフ６７及び吸引
機６９を作動させ、型Ｒを形成している型材料Ｍ_R を溶
融しながら吹き飛ばし、装置外に排出する。この際、隔
壁材料Ｍ_W は仮焼成されているので、熱風エアナイフ６
７によって吹き飛ばされることはない。このようにし
て、型材料Ｍ_R を除去する除去過程が行なわれる。

【０１０７】最後に、隔壁材料Ｍ_W を５００〜６００℃
で焼成することにより、隔壁Ｗが完成する。

【０１０８】このように一旦型Ｒを形成した後、型Ｒの
間隙に隔壁材料Ｍ_W を埋め込み、隔壁材料Ｍ_W を仮焼成
させた後に型Ｒを除去することで隔壁Ｗを形成する。型
Ｒを形成する型材料Ｍ_R は、隔壁材料Ｍ_W と違ってガラ
ス材を含まず低粘度化が図れるので、吐出圧を下げるこ
とができるとともに、ノズル４１の吐出口形状をより適
切な形状にすることができる。したがって、工程を複雑
化することなく高品質かつ高精度で型Ｒを形成できるの
で、隔壁Ｗも同様な形状にすることができ、しかも隔壁
材料Ｍ_W の利用効率が高いので低コスト化が可能であ
る。また、高精度のレリーフパターンを形成できるの
で、高アスペクト比の隔壁Ｗが形成可能である。

【０１０９】なお、この第２実施例では、型材料を光に
より硬化させているが、型材料を熱照射や熱風供給など
により硬化させても良い。また、上記の実施例では、型
材料の吐出直後にそれを硬化させているが、必ずしも吐
出直後に硬化処理を行う必要はない。例えば、材料を吐
出した後、別体の硬化装置で硬化処理を施してもよい。

【０１１０】さらにノズル４１については、第１実施例
で示した図４のように並設する際には、端部同士が一部
重複するように取り付けることが好ましい。

【０１１１】また、上記の実施例においては、吐出ユニ
ット６０ａと、埋め込みユニット６０ｂと、除去ユニッ
ト６０ｃとを個別に作動させ、背面板Ｓを移動させる動
作を３回行ったが、それらのユニットを同時に作動させ
ることによって、背面板Ｓの移動動作を１回だけで済ま
せることも可能である。すなわち、局所的にレリーフパ
ターン形成、隔壁材料の埋め込み、仮焼成、レリーフパ
ターン除去を完了させ、背面板Ｓを連続移動させること
で隔壁を形成することができる。この方式によれば、無
論処理時間を短縮することができる。

【０１１２】また、吐出ユニット６０ａ、埋め込みユニ
ット６０ｂ、除去ユニット６０ｃを個別の装置に組み込
み、その三種類の装置を用いて隔壁形成工程を実施する
ことも可能である。

【０１１３】＜第３実施例＞ 図１１，図１２を参照して第３実施例について説明す
る。図１１は、第３実施例に係る平面表示装置の隔壁形
成装置の概略構成を示した側面図である。図１２は、図
１１に示したノズル部分の概略構成を示した縦断面図で
ある。

【０１１４】なお、上述した第１実施例では、ノズル１
７を温調せずに隔壁材料を背面板Ｓに吐出して隔壁Ｗを
直接形成したが、本実施例ではノズル１７から隔壁材料
を恒温に保ちながら吐出して隔壁Ｗを形成する。つま
り、上述の第１実施例の隔壁材料吐出過程に、ノズル１
７と背面板Ｓとを相対移動させながら、ノズル１７から
隔壁材料を恒温に保ちながら吐出させる隔壁材料恒温吐
出過程を備えるようにしているのである。また、上述し
た第１実施例と同じ構成には同じ符号を付すことで詳細
な説明については省略する。

【０１１５】第３実施例においては、吐出ユニット１５
ａが設けられている。この吐出ユニット１５ａは、上述
の第１実施例と同様にノズル１７と光照射部１９とを備
え、さらに、ノズル１７の外周を覆うように取り付けら
れた冷却ジャケット８１を備えている。この冷却ジャケ
ット８１には、恒温水を冷却ジャケット８１に供給する
ための恒温水供給部９１が接続されている。

【０１１６】恒温水供給部９１は、所定温度範囲（例え
ば、０°Ｃ〜室温：２３°Ｃ）内の所望温度に一定に保
たれた恒温水を冷却ジャケット８１に供給することがで
きるものであるが、この第３実施例では、本実施例装置
が設置された部屋の室温（２３°Ｃ）よりも低い温度
（例えば１５°Ｃ）の恒温水を冷却ジャケット８１に供
給するものとして説明する。また、この第３実施例で
は、隔壁材料が、アクリルオリゴマーやアクリルモノマ
ーなどの１０万ｍＰａ・ｓ〔ミリパスカル秒〕前後の粘
度樹脂と、セラミックスパウダー（ガラス粉末）とから
なる場合を一例として説明する。

【０１１７】図１２に示すように、冷却ジャケット８１
は、ノズル１７の外周を覆うように取り付けられた内部
が空洞の容器であって、その空洞部分に恒温水供給部９
１からの恒温水が供給され、この供給された恒温水がノ
ズル１７の外周に接触することで、ノズル１７自体が恒
温に保たれ、ノズル１７内の隔壁材料を恒温に保つよう
になっている。恒温水供給部９１から出力された恒温水
は冷却ジャケット８１の入力口から入力され、冷却ジャ
ケット８１の内部の恒温水は冷却ジャケット８１の出力
口から排出されるようになっており、冷却ジャケット８
１の内部は、所定容量の恒温水で満たされるとともに恒
温水が循環するようになっている。また、冷却ジャケッ
ト８１と恒温水供給部９１とを接続する配管は、恒温水
供給部９１から冷却ジャケット８１に恒温水が供給され
る途中で温度変化することがないように、配管構造を二
重構造にするなどして保温性が確保されている。

【０１１８】また、ノズル１７と冷却ジャケット８１と
の間にはシール部材７３が設けられ、冷却ジャケット８
１内の恒温水がノズル１７と冷却ジャケット８１との間
から漏れ出ることがないようになっている。なお、ノズ
ル１７と冷却ジャケット８１とを一体ものとして製造
し、シール部材７３を用いないようにしても良い。

【０１１９】なお、冷却ジャケット８１と恒温水供給部
９１とが本発明における恒温手段に相当する。

【０１２０】次に、上述した構成の装置による隔壁形成
について、図１１を参照しながら説明する。

【０１２１】まず、背面板Ｓを載置台１に載置するとと
もに、吸着等により載置台１に対して背面板Ｓを固定す
る。

【０１２２】恒温水供給部９１は、所定温度（例えば１
５°Ｃ）の恒温水の冷却ジャケット８１への循環供給を
開始する。なお、本実施例装置が設置された部屋の室温
は、例えば２３°Ｃに設定されている。ノズル１７の外
周部分は、冷却ジャケット８１内の恒温水に接触するこ
とによって一定温度（例えば１５°Ｃ）となり、ノズル
１７内の隔壁材料も一定温度（例えば１５°Ｃ）に保た
れる。したがって、隔壁材料タンク２７からノズル１７
までの間の隔壁材料の粘度は、室温が２３°Ｃとなって
いることから、１０万ｍＰａ・ｓ〔ミリパスカル秒〕程
度であり、ノズル１７における隔壁材料の粘度は、一定
温度（例えば１５°Ｃ）に保たれていることから、１０
万＋０．８万×８°Ｃ＝１６．４万ｍＰａ・ｓ〔ミリパ
スカル秒〕程度に高粘度化している。

【０１２３】次に、モータ９を一定の速度で回転させな
がら、上述の第１実施例と同様にしてポンプ２５と開閉
弁２９とを制御して、ノズル１７から隔壁材料を恒温に
保ちながら吐出させる。微細な隔壁形成に消費される少
量の隔壁材料は、細いノズル１７内で短時間に容易に冷
却され、しかも一定温度（例えば１５°Ｃ）に保たれて
吐出される。すると、載置台１が左方向に一定速度で移
動するので、ノズル１７から吐出された複数本の隔壁材
料Ｍ_W が背面板Ｓ上面に線状の壁を形成するように盛ら
れる。しかも、一定温度（例えば１５°Ｃ）に保たれて
隔壁材料が吐出される、つまり、一定粘度（例えば、１
０万＋０．８万×８°Ｃ＝１６．４万ｍＰａ・ｓ〔ミリ
パスカル秒〕）に保たれて隔壁材料が吐出されるので、
ノズル１７からの隔壁材料の吐出状態が一定となり、隔
壁形状のばらつきが低減されて、隔壁形状が安定する。
さらに、ノズル１７から吐出された直後に光照射部１９
から紫外線が照射されて硬化が促進されているので、上
述の第１実施例に比べてさらに隔壁材料Ｍ_W がダレるこ
とがなく、吐出口１７ａの配置ピッチＰ１で隔壁Ｗが形
成されることになる。なお、隔壁材料の吐出直後からそ
れを光照射部１９により硬化されるまでの時間は、ノズ
ル１７の走査速度や光照射部１９などの硬化手段によっ
て異なるが、この第３実施例では１秒以内である。そし
て、最後に、５００〜６００℃の温度で焼成することに
よって平面表示装置用の隔壁が完成する。

【０１２４】上述のように、隔壁材料が一定温度に保た
れてノズル１７から吐出されるので、特に高アスペクト
比が要求される隔壁形成において、吐出後の未硬化の隔
壁が硬化するまでの時間内に表面張力や重力によって変
形する度合いが一定となり、また、ノズル１７からの隔
壁材料の吐出状態を一定にすることができ、隔壁形状寸
法を安定させることができる。

【０１２５】また、供給されてきた隔壁材料をノズル１
７で恒温に保つようにしているので、ノズル１７からの
隔壁材料の吐出状態を一定にして隔壁形状寸法を安定さ
せることを、少ないエネルギーで効率的に実現できる。
また、この第３実施例では、供給されてきた隔壁材料を
ノズル１７で恒温に保つようにしているが、このノズル
１７の近傍で恒温に保つようにしても前述と同様の効果
を有する。

【０１２６】また、供給されてきた隔壁材料を、ノズル
１７またはその近傍で、それより上流側での温度よりも
低い恒温状態で吐出するので、隔壁材料をノズル１７近
傍まで輸送するまでは低粘度で供給でき、ノズルまたは
その近傍で隔壁材料を高粘度にでき、隔壁材料の輸送が
容易となる。隔壁材料の供給系の耐圧設計やポンプの高
圧化が不要にできる。

【０１２７】また、ノズル１７またはその近傍における
隔壁材料の温度を室温よりも低くすることで、吐出タイ
ミングでの隔壁材料の粘度を上げることができ、隔壁に
要求される高アスペクト比を容易に実現することができ
る。また、ノズル１７またはその近傍において隔壁材料
を低温に保っているので、ノズル１７での隔壁材料の粘
度アップが吐出抵抗の大幅な増加を引き起こすこともな
い。より低粘度の隔壁材料を選択範囲に加えることがで
きる。室温付近状態にて高粘度（例えば数十万ｍＰａ・
ｓ）となる隔壁材料は、この隔壁材料を構成する樹脂の
重合度を上げることで製造することは困難であるが、本
発明によれば１００万ｍＰａ・ｓ程度の高粘度の隔壁材
料を容易に生成できる。

【０１２８】なお、本発明は以下のように変形実施する
ことも可能である。 ＜変形例＞ （１）上述した第１〜第３実施例では、背面板Ｓを載置
した載置台１を移動するように構成しているが、載置台
１を固定にして吐出ユニット１５／処理ユニット６０／
吐出ユニット１５ａを移動するように構成してもよい。

【０１２９】（２）上述した第３実施例では、恒温手段
として水冷式の恒温水供給部９１を採用しているが、例
えば、空冷式またはペルチェ効果を利用したものを採用
しても良い。

【０１３０】（３）上述した第３実施例では、上述の第
１実施例に、ノズル１７から隔壁材料を恒温に保ちなが
ら吐出することを組み合わせているが、図１４に示すよ
うに、上述の第２実施例に、ノズル４１から型材料を恒
温に保ちながら吐出することを組み合わせても良い。こ
うすることで、高アスペクト比で形状が安定したレリー
フパターンが形成できる。

【０１３１】（４）上述した第１〜第３実施例では、ノ
ズル１７，４１を背面板Ｓに対して垂直姿勢にして隔壁
材料や型材料を背面板Ｓに吐出するようにしているが、
図１３に示すように、ノズル１７，４１を背面板Ｓに対
して相対移動方向に傾斜させる、つまり、ノズル１７，
４１を背面板Ｓに対して傾斜姿勢にして隔壁材料や型材
料を背面板Ｓに吐出するようにしてもよい。このノズル
１７，４１の背面板Ｓに対する傾斜角度θは、所望の角
度に設定すれば良いが、例えば４５度〜６０度の範囲内
の角度とすることが好ましい。

【０１３２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１に記載の方法発明によれば、隔壁材料を吐出させなが
ら硬化させると、背面板上に線状に吐出されている隔壁
材料がその形状を維持されるので、工程を単純化するこ
とで高品質かつ高精度で隔壁を形成することができ、し
かも材料の利用効率を高めているので低コスト化が可能
である。また、隔壁材料を吐出させながら硬化させてい
るので、高アスペクト比の隔壁も形成可能である。

【０１３３】また、請求項２に記載の方法発明によれ
ば、複数個の吐出口を備えたノズルの各吐出口から隔壁
材料を同時に吐出させているので、背面板上に線状に吐
出されている複数列の隔壁材料をその形状を維持するよ
うに硬化できる。

【０１３４】また、請求項３に記載の方法発明によれ
ば、隔壁材料に光あるいは熱を照射するかまたは熱風を
供給することにより、隔壁材料を適切に硬化できる。

【０１３５】また、請求項４に記載の方法発明によれ
ば、吐出された直後の隔壁材料に光あるいは熱を照射し
て硬化を促進すると、背面板上に線状に吐出されている
隔壁材料がその形状を維持されるので、工程を単純化す
ることで高品質かつ高精度で隔壁を形成することがで
き、しかも材料の利用効率を高めているので低コスト化
が可能である。また、吐出直後に硬化させているので、
高アスペクト比の隔壁も形成可能である。

【０１３６】また、請求項５に記載の方法発明によれ
ば、隣接するノズル間の吐出口ピッチを単一のノズルの
吐出口ピッチに近づけることができるので、一度に広い
面積に隔壁を形成することができ、工数を低減可能であ
る。

【０１３７】また、請求項６に記載の方法発明によれ
ば、ノズルと背面板とを相対移動させながら、ノズルか
ら隔壁材料を恒温に保ちながら吐出させることにより隔
壁を形成するので、ノズルからの隔壁材料の吐出状態を
一定にでき、隔壁形状寸法を安定させることができる。

【０１３８】また、請求項７に記載の方法発明によれ
ば、供給されてきた隔壁材料をノズルまたはその近傍で
恒温に保つようにしているので、ノズルからの隔壁材料
の吐出状態を一定にして隔壁形状寸法を安定させること
を、少ないエネルギーで効率的に実現できる。

【０１３９】また、請求項８に記載の方法発明によれ
ば、供給されてきた隔壁材料を、ノズルまたはその近傍
で、それより上流側での温度よりも低い恒温状態で吐出
するので、隔壁材料をノズル近傍まで輸送するまでは低
粘度で供給でき、ノズルまたはその近傍で隔壁材料を高
粘度にでき、隔壁材料の輸送が容易となる。

【０１４０】請求項９に記載の装置発明によれば、請求
項１に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１４１】また、請求項１０に記載の装置発明によれ
ば、請求項２に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１４２】また、請求項１１に記載の装置発明によれ
ば、請求項３に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１４３】また、請求項１２に記載の装置発明によれ
ば、請求項４に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１４４】また、請求項１３に記載の装置発明によれ
ば、請求項５に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１４５】また、請求項１４に記載の装置発明によれ
ば、請求項６に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１４６】また、請求項１５に記載の装置発明によれ
ば、請求項７に記載の方法発明を好適にできる。

【０１４７】また、請求項１６に記載の装置発明によれ
ば、請求項８に記載の方法発明を好適にできる。

【０１４８】請求項１７に記載の方法発明によれば、一
旦レリーフパターンを形成した後、隔壁材料を吐出させ
てレリーフパターンに隔壁材料を埋め込み、隔壁材料を
硬化させた後にレリーフパターンを除去することで隔壁
を形成する。レリーフパターンを形成する型材料は、隔
壁材料と違ってガラス材を含まず低粘度化が図れるの
で、吐出圧を下げることができるとともに、ノズルの吐
出口形状をより適切な形状にすることができる。したが
って、工程を複雑化することなく高品質かつ高精度でレ
リーフパターンを形成できるので、隔壁も同様な形状に
することができ、しかも隔壁材料の利用効率が高いので
低コスト化が可能である。また、高精度のレリーフパタ
ーンを形成できるので、高アスペクト比の隔壁が形成可
能である。

【０１４９】また、請求項１８に記載の方法発明によれ
ば、複数個の吐出口を備えたノズルの各吐出口から型材
料を同時に吐出させているので、背面板上に線状に吐出
されている複数列の型材料をその形状を維持するように
硬化できる。

【０１５０】また、請求項１９に記載の方法発明によれ
ば、型材料に光あるいは熱を照射するかまたは熱風を供
給することにより、型材料を適切に硬化できる。

【０１５１】また、請求項２０に記載の方法発明によれ
ば、ノズルから背面板に対して吐出された直後の型材料
を硬化させることにより型材料がその形状を維持できる
ので、高精度のレリーフパターンが形成できる。

【０１５２】また、請求項２１に記載の方法発明によれ
ば、隣接するノズル間の吐出口ピッチを単一のノズルの
吐出口ピッチに近づけることができるので、一度に広い
面積にレリーフパターンを形成することができ、工数低
減が可能である。

【０１５３】また、請求項２２に記載の方法発明によれ
ば、レリーフパターンを形成するために、ノズルと背面
板とを相対移動させながら、ノズルからレリーフパター
ンとなる型材料を恒温に保ちながら吐出させるので、ノ
ズルからの型材料の吐出状態を一定にすることができ、
型形状寸法を安定させることができる。その後、レリー
フパターンの間隙に隔壁材料を埋め込み、隔壁材料を硬
化させた後にレリーフパターンを除去することで、背面
板に形状寸法の安定した隔壁を形成できる。

【０１５４】請求項２３に記載の装置発明によれば、請
求項１７に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１５５】また、請求項２４に記載の装置発明によれ
ば、請求項１８に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１５６】また、請求項２５に記載の装置発明によれ
ば、請求項１９に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１５７】また、請求項２６に記載の装置発明によれ
ば、請求項２０に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１５８】また、請求項２７に記載の装置発明によれ
ば、請求項２１に記載の方法発明を好適に実施できる。

【０１５９】また、請求項２８に記載の装置発明によれ
ば、請求項２２に記載の方法発明を好適にできる。

【０１６０】請求項２９に記載の方法発明によれば、ノ
ズルの吐出口は、ノズルと背面板との相対移動方向と直
交する方向に比べてその相対移動方向に長い形状として
いるので、隔壁を高くするように隔壁材料が背面板に吐
出され、アスペクト比の大きな隔壁を得ることができ
る。

【０１６１】請求項３０に記載の装置発明によれば、請
求項２９に記載の方法発明を好適にできる。

【０１６２】

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例に係る平面表示装置の隔壁形成装置
の概略構成を示した側面図である。

【図２】ノズルを下方から見た図である。

【図３】隔壁形成過程を示した模式図である。

【図４】複数個のノズルを備える場合の好適な配設状態
を示す図である。

【図５】（ａ），（ｂ）は吐出口の変形例を示した図で
ある。

【図６】第２実施例に係る平面表示装置の隔壁形成装置
の概略構成を示した側面図である。

【図７】ノズルを下方から見た図である。

【図８】隔壁形成過程を示し、特にレリーフパターンの
形成過程を示した模式図である。

【図９】隔壁形成過程を示し、特に隔壁形成材料の埋め
込み過程を示した模式図である。

【図１０】隔壁形成過程を示し、特にレリーフパターン
を除去した状態を示す模式図である。

【図１１】第３実施例に係る平面表示装置の隔壁形成装
置の概略構成を示した側面図である。

【図１２】図１１に示したノズル部分の概略構成を示し
た縦断面図である。

【図１３】各実施例に係る平面表示装置の隔壁形成装置
のノズルを傾斜させた場合の概略構成を示す側面図であ
る。

【図１４】本実施例とは別の実施例に係る平面表示装置
の隔壁形成装置の概略構成を示した側面図である。

【符号の説明】

１ … 載置台 ３ … ベース ９ … モータ（移動手段） １７ … ノズル １７ａ … 吐出口 １９ … 光照射部（硬化手段） ３１ … 制御部 ４１ … ノズル ４１ａ … 吐出口 ８１ … 冷却ジャケット（恒温手段） ９１ … 恒温水供給部（恒温手段） Ｍ_W … 隔壁材料 Ｗ … 隔壁 Ｍ_R … 型材料 Ｒ … 型（レリーフパターン） Ｓ … 背面板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−27543（ＪＰ，Ａ) 特開2000−243264（ＪＰ，Ａ) 特開2000−215796（ＪＰ，Ａ) 特開2001−121062（ＪＰ，Ａ) 特開2001−62368（ＪＰ，Ａ) 特開2001−904（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 9/02 H01J 11/02

Claims (30)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面表示装置に用いられる背面板に隔壁
   を形成する方法であって、 隔壁材料が吐出される吐出口を前記背面板に向けたノズ
   ルと、前記背面板とを相対移動させながら、前記ノズル
   から隔壁材料を吐出させる隔壁材料吐出過程と、 前記ノズルから隔壁材料を吐出させながら、前記背面板
   上の隔壁材料を硬化させる隔壁材料硬化過程とを備えた
   ことを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成方法。
2. 【請求項２】 平面表示装置に用いられる背面板に隔壁
   を形成する方法であって、 ノズルと背面板とを相対移動させながら、前記ノズルか
   ら隔壁材料を吐出させる隔壁材料吐出過程と、 前記ノズルから隔壁材料を吐出させながら、前記背面板
   上の隔壁材料を硬化させる隔壁材料硬化過程とを備え、 前記隔壁材料吐出過程では、複数個の独立した吐出口を
   備えた前記ノズルの各吐出口から隔壁材料を同時に吐出
   させることを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成方
   法。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の平面表
   示装置用の隔壁形成方法において、 前記隔壁材料硬化過程では、光あるいは熱を照射するか
   または熱風を供給することで隔壁材料を硬化させること
   を特徴とする平面表示装置用の隔壁形成方法。
4. 【請求項４】 請求項１から３のいずれかに記載の平面
   表示装置用の隔壁形成方法において、 前記隔壁材料硬化過程では、前記ノズルから背面板に対
   して吐出された直後の隔壁材料を硬化させることを特徴
   とする平面表示装置用の隔壁形成方法。
5. 【請求項５】 請求項１から４のいずれかに記載の平面
   表示装置用の隔壁形成方法において、前記ノズルは、複数個の独立した吐出口を相対移動方向
   と直交する方向に並設したものであり、 前記隔壁材料吐出過程では、相対移動方向と直交する方
   向に複数個の前記ノズルを並設するとともに、相対移動
   方向から見て各ノズルの端部同士が一部重複するように
   配備したことを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成方
   法。
6. 【請求項６】 請求項１から５のいずれかに記載の平面
   表示装置用の隔壁形成方法において、 前記隔壁材料吐出過程は、前記ノズルと前記背面板とを
   相対移動させながら、前記ノズルから隔壁材料を恒温に
   保ちながら吐出させる隔壁材料恒温吐出過程を備えてい
   ることを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成方法。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の平面表示装置用の隔壁
   形成方法において、 前記隔壁材料恒温吐出過程は、供給されてきた隔壁材料
   を前記ノズルまたはその近傍で恒温に保つようにして吐
   出することを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成方
   法。
8. 【請求項８】 請求項６または７に記載の平面表示装置
   用の隔壁形成方法において、 前記隔壁材料恒温吐出過程は、供給されてきた隔壁材料
   を、前記ノズルまたはその近傍で、それより上流側での
   温度よりも低い恒温状態で吐出することを特徴とする平
   面表示装置用の隔壁形成方法。
9. 【請求項９】 平面表示装置に用いられる背面板に隔壁
   を形成する装置であって、 背面板を載置する載置台と、 隔壁材料が吐出される吐出口を前記背面板に向けたノズ
   ルと、 前記ノズルと前記載置台とを相対移動させる移動手段
   と、 前記背面板上に吐出された隔壁材料を硬化させる硬化手
   段とを備え、 前記移動手段を作動させて前記ノズルと前記背面板とを
   相対移動させながら、前記ノズルから隔壁材料を吐出さ
   せるとともに、前記ノズルから隔壁材料を吐出させなが
   ら、前記背面板上の隔壁材料を前記硬化手段により硬化
   させることを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成装
   置。
10. 【請求項１０】 平面表示装置に用いられる背面板に隔
    壁を形成する装置であって、 背面板を載置する載置台と、 隔壁材料を同時に吐出する複数個の独立した吐出口を有
    するノズルと、 前記ノズルと前記載置台とを相対移動させる移動手段
    と、 前記背面板上に吐出された隔壁材料を硬化させる硬化手
    段とを備え、 前記移動手段を作動させて前記ノズルと前記背面板とを
    相対移動させながら、前記ノズルから隔壁材料を吐出さ
    せるとともに、前記ノズルから隔壁材料を吐出させなが
    ら、前記背面板上の隔壁材料を前記硬化手段により硬化
    させることを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成装
    置。
11. 【請求項１１】 請求項９または１０に記載の平面表示
    装置用の隔壁形成装置において、 前記硬化手段は、隔壁材料に光あるいは熱を照射するか
    または熱風を供給して隔壁材料を硬化させることを特徴
    とする平面表示装置用の隔壁形成装置。
12. 【請求項１２】 請求項９から１１のいずれかに記載の
    平面表示装置用の隔壁形成装置において、 前記硬化手段は、前記ノズルから背面板に対して吐出さ
    れた直後の隔壁材料を硬化させるように、前記ノズルの
    近傍に配置されていることを特徴とする平面表示装置用
    の隔壁形成装置。
13. 【請求項１３】 請求項９から１２のいずれかに記載の
    平面表示装置用の隔壁形成装置において、前記ノズルは、複数個の独立した吐出口を相対移動方向
    と直交する方向に並設したものであり、 前記ノズルが複数個備えられ、相対移動方向と直交する
    方向に前記各ノズルを並設するとともに、相対移動方向
    から見て各ノズルの端部同士が一部重複するように配備
    したことを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成装置。
14. 【請求項１４】 請求項９から１３のいずれかに記載の
    平面表示装置用の隔壁形成装置において、 隔壁材料を恒温に保つための恒温手段を備え、 前記ノズルと背面板とを相対移動させながら、前記ノズ
    ルから隔壁材料を恒温に保ちながら吐出させることを特
    徴とする平面表示装置用の隔壁形成装置。
15. 【請求項１５】 請求項１４に記載の平面表示装置用の
    隔壁形成装置において、 前記恒温手段は、供給されてきた隔壁材料を恒温に保ち
    ながら吐出させるように、前記ノズルまたはその近傍に
    設けられたことを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成
    装置。
16. 【請求項１６】 請求項１４または１５に記載の平面表
    示装置用の隔壁形成装置において、 前記恒温手段は、供給されてきた隔壁材料を、前記ノズ
    ルまたはその近傍で、それより上流側での温度よりも低
    い恒温状態で吐出することを特徴とする平面表示装置用
    の隔壁形成装置。
17. 【請求項１７】 平面表示装置に用いられる背面板に隔
    壁を形成する方法であって、 隔壁形成用のレリーフパターンとなる型材料が吐出され
    る吐出口を前記背面板に向けたノズルと、前記背面板と
    を相対移動させながら、前記ノズルから型材料を吐出さ
    せる型材料吐出過程と、 前記ノズルから型材料を吐出させながら、前記背面板上
    の型材料を硬化させる型材料硬化過程と、 前記レリーフパターンの間隙に隔壁材料を埋め込む埋め
    込み過程と、 前記隔壁材料を硬化させる隔壁材料用硬化過程と、 前記レリーフパターンを除去する除去過程と、 を順に実施することにより隔壁を形成することを特徴と
    する平面表示装置用の隔壁形成方法。
18. 【請求項１８】 平面表示装置に用いられる背面板に隔
    壁を形成する方法であって、 ノズルと背面板とを相対移動させながら、前記ノズルか
    ら隔壁形成用のレリーフパターンとなる型材料を吐出さ
    せる型材料吐出過程と、 前記ノズルから型材料を吐出させながら、前記背面板上
    の型材料を硬化させる型材料硬化過程と、 前記レリーフパターンの間隙に隔壁材料を埋め込む埋め
    込み過程と、 前記隔壁材料を硬化させる隔壁材料用硬化過程と、 前記レリーフパターンを除去する除去過程と、 を順に実施することにより隔壁を形成し、 前記隔壁材料吐出過程では、複数個の独立した吐出口を
    備えた前記ノズルの各吐出口から型材料を同時に吐出さ
    せることを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成方法。
19. 【請求項１９】 請求項１７または１８に記載の平面表
    示装置用の隔壁形成方法において、 前記型材料硬化過程では、光あるいは熱を照射するかま
    たは熱風を供給することで型材料を硬化させることを特
    徴とする平面表示装置用の隔壁形成方法。
20. 【請求項２０】 請求項１７から１９のいずれかに記載
    の平面表示装置用の隔壁形成方法において、 前記型材料硬化過程では、前記ノズルから背面板に対し
    て吐出された直後の型材料を硬化させることを特徴とす
    る平面表示装置用の隔壁形成方法。
21. 【請求項２１】 請求項１７から２０のいずれかに記載
    の平面表示装置用の隔壁形成方法において、前記ノズルは、複数個の独立した吐出口を相対移動方向
    と直交する方向に並設したものであり、 前記型材料吐出過程では、相対移動方向と直交する方向
    に複数個の前記ノズルを並設するとともに、相対移動方
    向から見て各ノズルの端部同士が一部重複するように配
    備したことを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成方
    法。
22. 【請求項２２】 請求項１７または１８に記載の平面表
    示装置用の隔壁形成方法において、 前記型材料吐出過程は、ノズルと背面板とを相対移動さ
    せながら、前記ノズルから隔壁形成用のレリーフパター
    ンとなる型材料を恒温に保ちながら吐出させる型材料恒
    温吐出過程を備えていることを特徴とする平面表示装置
    用の隔壁形成方法。
23. 【請求項２３】 平面表示装置に用いられる背面板に隔
    壁を形成する装置であって、 背面板を載置する載置台と、 隔壁形成用のレリーフパターンとなる型材料が吐出され
    る吐出口を前記背面板に向けたノズルと、 前記ノズルと前記載置台とを相対移動させる移動手段
    と、 前記背面板上に吐出された型材料を硬化させる硬化手段
    と、 前記レリーフパターンの間隙に隔壁材料を埋め込む埋め
    込み手段と、 前記レリーフパターンを除去する除去手段とを備え、 前記移動手段を作動させて前記ノズルと前記背面板とを
    相対移動させながら、前記ノズルから型材料を吐出させ
    るとともに、前記ノズルから型材料を吐出させながら、
    前記背面板上の型材料を前記硬化手段により硬化させる
    ことを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成装置。
24. 【請求項２４】 平面表示装置に用いられる背面板に隔
    壁を形成する装置であって、 背面板を載置する載置台と、 隔壁形成用のレリーフパターンとなる型材料を同時に吐
    出する複数個の独立した吐出口を有するノズルと、 前記ノズルと前記載置台とを相対移動させる移動手段
    と、 前記背面板上に吐出された型材料を硬化させる硬化手段
    と、 前記レリーフパターンの間隙に隔壁材料を埋め込む埋め
    込み手段と、 前記レリーフパターンを除去する除去手段とを備え、 前記移動手段を作動させて前記ノズルと前記背面板とを
    相対移動させながら、前記ノズルから型材料を吐出させ
    るとともに、前記ノズルから型材料を吐出させながら、
    前記背面板上の型材料を前記硬化手段により硬化させる
    ことを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成装置。
25. 【請求項２５】 請求項２３または２４に記載の平面表
    示装置用の隔壁形成装置において、 前記硬化手段は、型材料に光あるいは熱を照射するかま
    たは熱風を供給して型材料を硬化させることを特徴とす
    る平面表示装置用の隔壁形成装置。
26. 【請求項２６】 請求項２３から２５のいずれかに記載
    の平面表示装置用の隔壁形成装置において、 前記硬化手段は、前記ノズルから背面板に対して吐出さ
    れた直後の型材料を硬化させるように、前記ノズルの近
    傍に配置されていることを特徴とする平面表示装置用の
    隔壁形成装置。
27. 【請求項２７】 請求項２３から２６のいずれかに記載
    の平面表示装置用の隔壁形成装置において、前記ノズルは、複数個の独立した吐出口を相対移動方向
    と直交する方向に並設したものであり、 前記ノズルが複数個備えられ、相対移動方向と直交する
    方向に前記各ノズルを並設するとともに、相対移動方向
    から見て各ノズルの端部同士が一部重複するように配備
    したことを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成装置。
28. 【請求項２８】 請求項２３または２４に記載の平面表
    示装置用の隔壁形成装置において、 前記ノズルから吐出される型材料を恒温に保つための恒
    温手段を備え、 前記移動手段を作動させて前記ノズルと前記背面板とを
    相対移動させながら、前記ノズルから型材料を恒温に保
    ちながら吐出させるとともに、前記ノズルから型材料を
    吐出させながら、前記背面板上の型材料を前記硬化手段
    により硬化させることを特徴とする平面表示装置用の隔
    壁形成装置。
29. 【請求項２９】 請求項１、２、１７、１８のいずれか
    に記載の平面表示装置用の隔壁形成方法において、 前記ノズルの吐出口は、ノズルと背面板との相対移動方
    向と直交する方向に比べてその相対移動方向に長い形状
    であることを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成方
    法。
30. 【請求項３０】 請求項９、１０、２３、２４のいずれ
    かに記載の平面表示装置用の隔壁形成装置において、 前記ノズルの吐出口は、ノズルと背面板との相対移動方
    向と直交する方向に比べてその相対移動方向に長い形状
    であることを特徴とする平面表示装置用の隔壁形成装
    置。