JP3360482B2 - Plasma address display - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶セルとプラズマセ
ルとを誘電体シートを介して積層したプラズマアドレス
表示装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma addressed display device in which a liquid crystal cell and a plasma cell are stacked via a dielectric sheet.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、液晶セルとプラズマセルとが誘電
体シートを介して積層されてなるプラズマアドレス表示
装置が提案されている。図４は、このプラズマアドレス
表示装置の構造の一例を示すものである。2. Description of the Related Art In recent years, there has been proposed a plasma addressed display device in which a liquid crystal cell and a plasma cell are stacked via a dielectric sheet. FIG. 4 shows an example of the structure of the plasma addressed display device.

【０００３】図４のプラズマアドレス表示装置は、液晶
セル２とプラズマセル３とを誘電体シート４を介して積
層したフラットパネル構造を有する。液晶セル２は、カ
ラーフィルター基板２１が液晶シール材２２を介して所
定の間隙を有した状態で誘電体シート４に接合されてい
る。カラーフィルタ基板２１内面側の面には、図示しな
いが行方向に延びる透明導電材料からなるストライプ状
のデータ電極が列方向（図面垂直方向）に並列的に形成
されている。カラーフィルタ基板２１と誘電体シート４
との間隙には液晶が充填されて液晶層２３が形成されて
いる。なお、図４では示していないが液晶層２３には間
隙の寸法を均一にするためにスペーサーが配設されてい
る。[0003] The plasma addressed display device of FIG. 4 has a flat panel structure in which a liquid crystal cell 2 and a plasma cell 3 are stacked via a dielectric sheet 4. The liquid crystal cell 2 is joined to the dielectric sheet 4 in a state where the color filter substrate 21 has a predetermined gap via a liquid crystal sealing material 22. On the inner surface of the color filter substrate 21, stripe-shaped data electrodes (not shown) made of a transparent conductive material extending in the row direction are formed in parallel in the column direction (vertical direction in the drawing). Color filter substrate 21 and dielectric sheet 4
Is filled with a liquid crystal to form a liquid crystal layer 23. Although not shown in FIG. 4, a spacer is provided in the liquid crystal layer 23 to make the size of the gap uniform.

【０００４】プラズマセル３においては、プラズマ基板
ガラス３１が誘電体シート４と所定の間隙をもって対向
している。誘電体シート４側のプラズマ基板ガラス３１
上には、列方向に延び、行方向に所定の間隙を持って並
列的に形成されたニッケル製などのストライプ状の表示
電極３２が形成され、この表示電極３２上に、絶縁性の
セラミックなどからなり、表示電極３２より幅が狭いバ
リヤリブ３３が、表示電極３２と等ピッチで重ね合わさ
れて形成されている。これらの表示電極３２とバリヤリ
ブ３３を介してプラズマ基板ガラス３１が誘電体シート
４と所定の間隙を持って対向している。これら表示電極
３２とバリヤリブ３３とが隔壁５を構成し、この隔壁５
で区画された密閉空間がプラズマ室３４として構成され
ている。このプラズマ室３４は、列方向に延び、行方向
に所定の間隔で形成されている。プラズマ室３４にはイ
オン化可能なガスが封入されている。このガスとして
は、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあるいはこれら
の混合ガスなどが使用される。このように、表示電極３
２とバリヤリブ３３は、各プラズマ室を区分けする隔壁
としての役割を果たすと共に、各プラズマ室のギャップ
スペーサーとしての役割も果たす。なお、表示電極３２
は、交互にアノード表示電極３２Ａとカソード表示電極
３２Ｋとなるようにそれぞれドライバに接続されてい
る。プラズマ基板ガラス３１の周辺部は低融点ガラスな
どを使用したリング状のフリットシール３５が配設さ
れ、このフリットシール３５でプラズマ基板ガラス３１
と誘電体シート４とが気密的に接合されている。In the plasma cell 3, the plasma substrate glass 31 faces the dielectric sheet 4 with a predetermined gap. Plasma substrate glass 31 on dielectric sheet 4 side
A stripe-shaped display electrode 32 made of nickel or the like is formed on the display electrode 32 extending in the column direction and formed in parallel with a predetermined gap in the row direction. The barrier ribs 33 having a width smaller than that of the display electrode 32 are formed on the display electrode 32 at an equal pitch. The plasma substrate glass 31 faces the dielectric sheet 4 with a predetermined gap therebetween via the display electrodes 32 and the barrier ribs 33. The display electrode 32 and the barrier rib 33 constitute the partition 5, and the partition 5
Is defined as a plasma chamber 34. The plasma chambers 34 extend in the column direction and are formed at predetermined intervals in the row direction. An ionizable gas is sealed in the plasma chamber 34. As this gas, for example, helium, neon, argon, or a mixed gas thereof is used. Thus, the display electrode 3
The 2 and the barrier rib 33 play a role as a partition for dividing each plasma chamber, and also play a role as a gap spacer of each plasma chamber. The display electrode 32
Are connected to the driver so that they alternately become the anode display electrode 32A and the cathode display electrode 32K. A ring-shaped frit seal 35 made of low-melting glass or the like is provided around the periphery of the plasma substrate glass 31.
And the dielectric sheet 4 are hermetically bonded.

【０００５】上記プラズマアドレス表示装置は、データ
表示電極とプラズマ室３４は直交し、データ電極が列駆
動単位となり、プラズマ室３４は行駆動単位となり、こ
れらの交差部に画素が規定されるものである。このよう
なプラズマアドレス表示装置において、アノード表示電
極３２Ａとカソード表示電極３２Ｋとの間に所定電圧が
印加されると、そのプラズマ室３４の部分のガスが選択
的にイオン化されてプラズマ放電が発生し、その内部は
略アノード電位に維持される。この状態で、データ電極
にデータ電圧が印加されると、そのプラズマ室３４に対
応して列方向に並ぶ画素の液晶層２３に誘電体シート４
を介してデータ電圧が書き込まれる。プラズマ放電が終
了すると、プラズマ室３４は浮遊電位となり、対応する
画素の液晶層２３に書き込まれた電圧は、次の書き込み
期間（例えば１フレーム後）まで保持される。このと
き、プラズマ室３４はサンプリングスイッチとして機能
し、各画素の液晶層２３はサンプリングキャパシタとし
て機能している。In the above plasma address display device, the data display electrode and the plasma chamber 34 are orthogonal to each other, the data electrode serves as a column drive unit, the plasma chamber 34 serves as a row drive unit, and a pixel is defined at the intersection of these. is there. In such a plasma addressed display device, when a predetermined voltage is applied between the anode display electrode 32A and the cathode display electrode 32K, the gas in the plasma chamber 34 is selectively ionized to generate plasma discharge. , The inside of which is maintained at approximately the anode potential. In this state, when a data voltage is applied to the data electrode, the dielectric sheet 4 is applied to the liquid crystal layer 23 of the pixels arranged in the column direction corresponding to the plasma chamber 34.
The data voltage is written via the. When the plasma discharge ends, the plasma chamber 34 becomes a floating potential, and the voltage written in the liquid crystal layer 23 of the corresponding pixel is held until the next writing period (for example, after one frame). At this time, the plasma chamber 34 functions as a sampling switch, and the liquid crystal layer 23 of each pixel functions as a sampling capacitor.

【０００６】各画素の液晶層２３に対してデータ電極１
５から書き込まれたデータ電圧によって液晶が動作する
ことから画素単位で表示が行われる。従って、プラズマ
放電を発生させて列方向に並ぶ複数の画素の液晶層２３
にデータ電圧を書き込むプラズマ室３４を行方向に順次
走査していくことで、二次元画像の表示を行うことがで
きる。The data electrode 1 is applied to the liquid crystal layer 23 of each pixel.
Since the liquid crystal operates by the data voltage written from 5, the display is performed in pixel units. Therefore, the liquid crystal layer 23 of a plurality of pixels arranged in the column direction by generating a plasma discharge
The two-dimensional image can be displayed by sequentially scanning the plasma chamber 34 in which the data voltage is written in the row direction.

【０００７】このようなプラズマアドレス表示装置の製
造方法について、図５で簡単に説明すると、まず、図５
（Ａ）に示すように、プラズマ基板ガラス３１上に表示
電極パターンを例えばスクリーン印刷法でストライプ状
に印刷した後、乾燥して表示電極３２を形成する。A method of manufacturing such a plasma addressed display device will be briefly described with reference to FIG.
As shown in (A), a display electrode pattern is printed on the plasma substrate glass 31 in a stripe shape by, for example, a screen printing method, and then dried to form the display electrode 32.

【０００８】次に、ストライプ状に形成した表示電極３
２の上にスクリーン印刷でバリヤリブ３３を、図５
（Ｂ）に示すように、同ピッチで積層する。この場合、
バリヤリブ３３は約２００μｍ程度の高さとするため
に、スクリーン印刷を繰り返して重ね塗りを行うことで
この高さを出すようにしている。所定の高さのバリヤリ
ブを印刷した後、焼成を行い、バリヤリブの上部を研磨
し、バリヤリブの高さを所定の高さにそろえる。Next, the display electrodes 3 formed in a stripe shape
The barrier rib 33 is screen-printed on top of FIG.
As shown in (B), the layers are stacked at the same pitch. in this case,
In order to make the barrier rib 33 have a height of about 200 μm, this height is obtained by repeatedly applying screen printing and performing recoating. After printing the barrier ribs of a predetermined height, baking is performed, the upper part of the barrier ribs is polished, and the height of the barrier ribs is adjusted to the predetermined height.

【０００９】そして、図５（Ｃ）に示すように、プラズ
マ基板ガラス３１の周辺にフリットシール３５をディス
ペンサーなどで形成し、このフリットシール３５を介し
てガラス製の誘電体シート４をバリヤリブに乗せた状態
でプラズマ基板ガラスに接合し、形成されたプラズマ室
３４を真空に引いた後、ガスを注入する。Then, as shown in FIG. 5C, a frit seal 35 is formed around the plasma substrate glass 31 with a dispenser or the like, and the dielectric sheet 4 made of glass is placed on the barrier rib via the frit seal 35. In this state, the substrate is bonded to a plasma substrate glass, the formed plasma chamber 34 is evacuated, and then gas is injected.

【００１０】次に、図示しない配向処理を行い、図５
（Ｄ）に示すように、液晶層を均一の厚さにするための
スペーサー２４を散布し、図５（Ｅ）に示すように、液
晶シール材２２を介してカラーフィルタ２１を誘電体シ
ート４に接合して、液晶室を形成し、その後液晶を注入
して図４に示したプラズマアドレス表示装置を得ること
ができる。Next, an orientation process (not shown) is performed, and FIG.
As shown in FIG. 5D, spacers 24 for dispersing the liquid crystal layer to a uniform thickness are scattered, and as shown in FIG. Then, a liquid crystal chamber is formed, and then liquid crystal is injected to obtain the plasma addressed display device shown in FIG.

【００１１】ところで、上記フリットシール３５は、プ
ラズマ基板ガラス３１と誘電体シート４と気密的に接合
するものであるが、このフリットシールを含むプラズマ
アドレス表示装置の概略の平面図を図６に示す。同図に
おいて、フリットシール３５で囲まれた領域は、密封室
３６を構成し、この密封室３６には、多数の並列的に設
けられた表示電極３２とこの表示電極３２上に形成され
たバリヤリブ３３とが上述したように隔壁として形成さ
れている。そして、密封室３６を構成するプラズマ基板
ガラス３１には、通気孔３７が穿設されており、この通
気孔３７を介して密封室３６内は真空に引かれ、その後
ガスが注入された後、表示装置の寿命を長くするため
に、通気孔３７を介して水銀蒸気が密封室３６内に拡散
により充満される。The frit seal 35 hermetically joins the plasma substrate glass 31 and the dielectric sheet 4, and FIG. 6 shows a schematic plan view of a plasma addressed display device including the frit seal. . In the figure, a region surrounded by a frit seal 35 constitutes a sealed chamber 36 in which a large number of display electrodes 32 provided in parallel and barrier ribs formed on the display electrodes 32 are formed. 33 are formed as partition walls as described above. An air hole 37 is formed in the plasma substrate glass 31 constituting the sealed chamber 36. The inside of the sealed chamber 36 is evacuated through the air hole 37, and after the gas is injected, To extend the life of the display device, mercury vapor fills the sealed chamber 36 via diffusion through the vent 37.

【００１２】[0012]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、プラズ
マアドレス表示装置においては、上記誘電体シート４は
約５０μｍ程度の厚さの薄板硝子で構成されている。こ
のような薄板硝子は、約１．８ｍｍ以下のスパンで支え
なければ割れてしまうとされている。このため、バリヤ
リブ３３間の間隔は勿論、バリヤリブ３３とフリットシ
ール３５との間隔は全て１．８ｍｍ以下の間隔である。
バリヤリブ３３の先端縁とフリットシール３５との間隔
は約１ｍｍである。また、通気孔もその径を１．８ｍｍ
以上とすることはできず、現実には１．５ｍｍ程度であ
る。However, in the plasma addressed display device, the dielectric sheet 4 is made of a thin glass having a thickness of about 50 μm. It is said that such a thin glass is broken unless it is supported by a span of about 1.8 mm or less. Therefore, the interval between the barrier ribs 33 and the frit seal 35 as well as the interval between the barrier ribs 33 are all 1.8 mm or less.
The distance between the leading edge of the barrier rib 33 and the frit seal 35 is about 1 mm. The diameter of the vent hole is also 1.8 mm.
This cannot be done, and is actually about 1.5 mm.

【００１３】このような密封室３６を真空にするとき
は、小さな通気孔３７を介して行わなければならず、し
かもバリヤリブ３３の先端縁とフリットシール３５との
狭い間隙を介して内部の空気が引かれるため、この部分
で抵抗が大きく、密封室３６を真空にする時間がかなり
かかるという問題がある。また、水銀蒸気を密封室３６
内に拡散させる場合にも、同じ理由で時間がかかる。こ
のため、製造に要する時間を短縮し、生産効率を向上す
ることが求められていた。When the sealed chamber 36 is evacuated, the air must be supplied through a small air hole 37, and the air inside the air gap passes through a narrow gap between the leading edge of the barrier rib 33 and the frit seal 35. Because of the draw, there is a problem that the resistance is large in this part, and it takes a considerable time to evacuate the sealed chamber 36. Also, the mercury vapor is supplied to the sealed chamber 36.
It takes time for the same reason to spread inside. For this reason, there has been a demand for shortening the time required for manufacturing and improving production efficiency.

【００１４】本発明は、上記要望に鑑みなされたもの
で、誘電体シートの割れを防止しながら、上記密封室内
を真空にする時間及び水銀の拡散時間を短縮できるプラ
ズマアドレス表示装置を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned needs, and provides a plasma addressed display device capable of shortening the time for evacuating the sealed chamber and the time for diffusing mercury while preventing the dielectric sheet from cracking. With the goal.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプラズマアドレス表示装置は、液晶セルと
プラズマセルとが誘電体シートを介して積層された構造
を有し、該プラズマセルを構成するプラズマ基板ガラス
と該誘電体シートとが多数並列的に設けられた隔壁を介
して所定の間隙をもって対向し、該プラズマセル内のプ
ラズマ放電により前記液晶セルの液晶の動作が外部に対
して表示される有効画素領域と該有効画素領域外の液晶
表示に影響がない無効領域とが形成されるプラズマアド
レス表示装置であって、前記無効領域において、前記誘
電体シートと前記プラズマ基板ガラス間に、前記誘電体
シートの割れを防止し得るように支持するスパンで配設
された複数の柱状の独立リブを有し、各独立リブ間の間
隙をガスの流通路として構成したことを特徴とするプラ
ズマアドレス表示装置。In order to achieve the above object, a plasma addressed display device of the present invention has a structure in which a liquid crystal cell and a plasma cell are stacked via a dielectric sheet. The constituent plasma substrate glass and the dielectric sheet face each other with a predetermined gap therebetween through a plurality of parallel-provided partitions, and the operation of the liquid crystal of the liquid crystal cell with respect to the outside is caused by plasma discharge in the plasma cell. A plasma addressed display device in which an effective pixel area to be displayed and an invalid area outside of the effective pixel area that do not affect the liquid crystal display are formed, and in the invalid area, between the dielectric sheet and the plasma substrate glass. , The dielectric
Arranged with span to support to prevent sheet cracking
It has a plurality of pillar-shaped independent ribs between the independent ribs
A plasma addressed display device characterized in that the gap is formed as a gas flow passage .

【００１６】この場合、前記無効領域に存するプラズマ
放電用の電極を被覆する絶縁カバーを設けると共に、こ
の絶縁カバーの上に前記独立リブの一部が配設されてい
ることが好ましい。また、前記独立リブが前記隔壁と同
時に形成されてなることが好ましい。In this case, it is preferable that an insulating cover for covering the electrode for plasma discharge existing in the invalid area is provided, and a part of the independent rib is disposed on the insulating cover. Preferably, the independent rib is formed simultaneously with the partition.

【００１７】[0017]

【作用】本発明者は、フリットシールによって囲まれた
上記密封室内には、プラズマ放電により液晶セルの液晶
の動作が外部に対して表示される有効画素領域とそれ以
外の無効領域とが存することに着目し、この無効領域は
液晶表示に影響を与えないので、リブ形状が自由である
ことから、隔壁の代わりに柱状の独立リブを複数設け、
この独立リブに誘電体シートの支柱として誘電体シート
に割れを生じさせない機能を与えると共に、独立リブ間
の間隙をガスの流通路とすることで、上記目的を達成で
きることを見い出した。The present inventor has determined that an effective pixel region where the operation of the liquid crystal of the liquid crystal cell is displayed to the outside by plasma discharge and an invalid region other than the above exist in the sealed chamber surrounded by the frit seal. Since this invalid area does not affect the liquid crystal display, since the rib shape is free, a plurality of column-shaped independent ribs are provided instead of the partition walls,
It has been found that the object can be achieved by providing the independent ribs with a function of supporting the dielectric sheet as pillars of the dielectric sheet so as not to cause cracks in the dielectric sheet, and making the gap between the independent ribs a gas flow path.

【００１８】また、無効領域に存するプラズマ放電用の
電極は、放電を防止する必要がある。このため、絶縁カ
バーで無効領域に存する表示電極を被覆し、この絶縁カ
バー上に独立リブを設けることが好ましい。更に、独立
リブを隔壁の形成と同時に形成することにより、工程を
短縮できて合理的である。Further, it is necessary to prevent discharge of the electrode for plasma discharge existing in the invalid area. For this reason, it is preferable to cover the display electrodes existing in the invalid area with an insulating cover, and to provide independent ribs on the insulating cover. Further, by forming the independent ribs simultaneously with the formation of the partition walls, the process can be shortened and is rational.

【００１９】[0019]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら具体的に説明する。図１は、本発明のプラズマア
ドレス表示装置のプラズマセル部３の一実施例を示す概
略平面図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic plan view showing one embodiment of a plasma cell section 3 of the plasma addressed display device of the present invention.

【００２０】このプラズマアドレス表示装置１は、プラ
ズマ基板ガラス３１と誘電体シートである薄板硝子４を
四角リング状のリング部材であるフリットシール３５に
よりこれらの周辺部で接合した構造である（図４参
照）。フリットシール３５で囲われた部分は外部と気密
的に隔離された密封室３６となっている。The plasma addressed display device 1 has a structure in which a plasma substrate glass 31 and a thin glass sheet 4 as a dielectric sheet are joined at their peripheral portions by a frit seal 35 as a square ring-shaped ring member (FIG. 4). reference). The portion surrounded by the frit seal 35 is a sealed chamber 36 that is airtightly isolated from the outside.

【００２１】この密封室３６には、表示電極３２が所定
間隔毎にストライプ状にプラズマ基板ガラス３１上に形
成されており、この表示電極３２を外部と接続するため
の取出電極３８がプラズマ基板ガラス３１上に形成さ
れ、フリットシール３５外に延出している。密封室３６
内の表示電極３２上にはバリヤリブ３３が形成され、こ
のバリヤリブ３３と表示電極３２とで密封室３６内を区
画する隔壁５を構成し、これらの隔壁５で区画された領
域は、プラズマ室３４を構成する。密封室３６内の両側
方に存する部分の表示電極３２は絶縁性のカバーガラス
３９で覆われており、このカバーガラス３９は、放電の
防止、及び水銀との反応防止の機能を有している。そし
て、カバーガラス３９で覆われていない表示電極３２の
部分は、放電領域となっていて、有効画素領域ＥＡを構
成する。この有効画素領域ＥＡはフリットシール３５で
囲まれた領域、即ち密封室３６のほぼ中央領域であり、
この有効画素領域ＥＡを図中一点鎖線で示した。密封室
３６内の有効画素領域ＥＡ外の周辺部は、画面表示に影
響を与えない無効領域ＩＶとなっている。In this sealed chamber 36, display electrodes 32 are formed on the plasma substrate glass 31 in stripes at predetermined intervals, and an extraction electrode 38 for connecting the display electrodes 32 to the outside is provided with a plasma substrate glass 31. 31, and extends out of the frit seal 35. Sealed room 36
A barrier rib 33 is formed on the display electrode 32 in the inside, and the barrier rib 33 and the display electrode 32 constitute a partition wall 5 for partitioning the inside of the sealed chamber 36. Is configured. The display electrodes 32 on both sides in the sealed chamber 36 are covered with an insulating cover glass 39. The cover glass 39 has a function of preventing discharge and a reaction with mercury. . The portion of the display electrode 32 that is not covered with the cover glass 39 is a discharge region and forms an effective pixel region EA. The effective pixel area EA is a region surrounded by the frit seal 35, that is, a substantially central region of the sealed chamber 36,
This effective pixel area EA is shown by a dashed line in the figure. The periphery outside the effective pixel area EA in the sealed chamber 36 is an invalid area IV that does not affect the screen display.

【００２２】この無効領域ＩＶにおいて、末端の表示電
極３２とフリットシール３５との間隙のプラズマ基板ガ
ラス３１には、排気管と接続された通気孔３７が設けら
れている。また、円柱状の独立リブ４０がこの無効領域
に多数所定の間隔を持って、誘電体シート４とプラズマ
基板ガラス３１間に挾持された状態で配設されている。
なお、一部の独立リブ４０は、ガラスカバー３９上に形
成されている。独立リブ４０間、独立リブ４０とフリッ
トシール３５間、及び独立リブ４０とバリヤリブ３３間
は、何れをとっても１．８ｍｍ以上とならないように独
立リブ４０が配設されており、誘電体シート４を１．８
ｍｍ以上の長いスパンを与えることなく支えて、誘電体
シート４が割れることがないように構成されている。ま
た、これらの独立リブ４０間の間隙はガスの流通路を構
成する。In the invalid region IV, a ventilation hole 37 connected to an exhaust pipe is provided in the plasma substrate glass 31 in a gap between the terminal display electrode 32 and the frit seal 35. In addition, a large number of column-shaped independent ribs 40 are arranged in the ineffective area at a predetermined interval and sandwiched between the dielectric sheet 4 and the plasma substrate glass 31.
Note that some of the independent ribs 40 are formed on the glass cover 39. The independent ribs 40 are arranged between the independent ribs 40, between the independent ribs 40 and the frit seals 35, and between the independent ribs 40 and the barrier ribs 33 so that the thickness is not more than 1.8 mm. 1.8
The support is provided without giving a long span of not less than mm, so that the dielectric sheet 4 is not broken. The gap between these independent ribs 40 constitutes a gas passage.

【００２３】このような構成のプラズマアドレス表示装
置１によれば、通気孔３７から密封室３６内を真空に引
くときは、独立リブ４０間の間隙を介して内部の空気が
通気孔３７に引かれ、従来例と比較してガスの通路が大
きいので、真空に引く時間は短くなる。また、密封室３
６内を真空にし、更にガスを注入した後に行う水銀拡散
工程においても、拡散の通路が大きいので、拡散に要す
る時間が短くなる。従って、生産効率を向上することが
できる。According to the plasma addressed display device 1 having such a configuration, when the inside of the sealed chamber 36 is evacuated from the vent hole 37, the internal air is drawn into the vent hole 37 through the gap between the independent ribs 40. On the other hand, since the gas passage is larger than that of the conventional example, the time for drawing a vacuum is shortened. In addition, sealed room 3
In the mercury diffusion step performed after the interior of the chamber 6 is evacuated and the gas is further injected, the time required for the diffusion is shortened because the diffusion path is large. Therefore, production efficiency can be improved.

【００２４】次に、このようなプラズマアドレス表示装
置１の製造方法について図１〜図３で説明すると、ま
ず、図２に示すように、プラズマ基板ガラス３１上にス
トライプ状の例えば銀の取出電極３８を例えばスクリー
ン印刷法や蒸着法で形成する。次に、同図の破線で示す
表示電極３２を端部を端子３８と同ピッチで重ねてスク
リーン印刷法などでストライプ状に形成する。Next, a method of manufacturing such a plasma addressed display device 1 will be described with reference to FIGS. 1 to 3. First, as shown in FIG. 38 is formed by, for example, a screen printing method or a vapor deposition method. Next, the display electrodes 32 indicated by the broken lines in the same figure are formed in a stripe shape by the screen printing method or the like with the end portions overlapping the terminals 38 at the same pitch.

【００２５】次いで、図２に示すように、無効領域とな
る部分の表示電極３２をカバーガラス３９で被覆する。
そして、図１に示すように、表示電極３２上にバリヤリ
ブ３３を、プラズマ基板ガラス３１上に又はカバーガラ
ス３９上に独立リブ４０を、それぞれスクリーン印刷法
などで同時に形成する。従って、独立リブ４０の材料は
バリヤリブと同じであり、絶縁性材料のＳｉＯ₂ 、Ｓｉ
₃ Ｎ₄ 等のセラミックを採用することができる。この独
立リブ４０の高さは、薄板硝子４を支持するためにバリ
ヤリブ３３の高さと同じとする。なお、この例では、独
立リブ４０をバリヤリブ３３と同一構造に形成したが、
表示電極３２を独立リブ４０に表示電極形成時に設ける
こともでき、この場合には独立リブ４０の構造は、隔壁
５と同じになる。Next, as shown in FIG. 2, the portion of the display electrode 32 which is to be an ineffective area is covered with a cover glass 39.
Then, as shown in FIG. 1, barrier ribs 33 are formed on the display electrodes 32 and independent ribs 40 are formed on the plasma substrate glass 31 or on the cover glass 39 by a screen printing method or the like. Therefore, the material of the independent rib 40 is the same as the material of the barrier rib, and the insulating materials SiO ₂ and Si
Can be employed ceramic ₃ N ₄ or the like. The height of the independent rib 40 is the same as the height of the barrier rib 33 for supporting the thin glass sheet 4. In this example, the independent ribs 40 are formed to have the same structure as the barrier ribs 33.
The display electrode 32 can be provided on the independent rib 40 when the display electrode is formed. In this case, the structure of the independent rib 40 is the same as that of the partition 5.

【００２６】その後、フリットシール３５をディスペン
サー等で薄板硝子４又はプラズマ基板ガラス３１に塗布
した後、薄板硝子４とプラズマ基板ガラス３１とをフリ
ットシール３５を介して貼り合わせる。次に、通気孔３
７に接続した真空ポンプ（図示せず）でフリットシール
３５で囲まれた密封室３６内を真空にする。更にガスを
注入した後、通気孔３７に接続したガラス配管（図示せ
ず）を封じる。その後、このガラス配管内に設けられて
いる水銀にヒーターなどで熱を加えて通気孔３７を介し
て密封室３６内に拡散させる。かくして、図１に示す本
発明のプラズマアドレス表示装置１を製造することがで
きる。Thereafter, the frit seal 35 is applied to the thin glass 4 or the plasma substrate glass 31 with a dispenser or the like, and then the thin glass 4 and the plasma substrate glass 31 are bonded via the frit seal 35. Next, vent 3
The inside of a sealed chamber 36 surrounded by a frit seal 35 is evacuated by a vacuum pump (not shown) connected to 7. After the gas is further injected, the glass pipe (not shown) connected to the ventilation hole 37 is sealed. Thereafter, heat is applied to the mercury provided in the glass pipe by a heater or the like to diffuse the mercury into the sealed chamber 36 through the vent hole 37. Thus, the plasma addressed display device 1 of the present invention shown in FIG. 1 can be manufactured.

【００２７】その後、図示しない配向処理を行い、図５
（Ｄ）に示したように、液晶層を均一の厚さにするため
のスペーサー２４を散布し、液晶シール材２２を介して
カラーフィルタ２１を誘電体シート４に接合して、液晶
室を形成し、その後液晶を注入して図４に示したプラズ
マアドレス表示装置を得ることができる。After that, an orientation process (not shown) is performed, and FIG.
As shown in (D), spacers 24 for dispersing the liquid crystal layer to have a uniform thickness are scattered, and the color filter 21 is bonded to the dielectric sheet 4 via the liquid crystal sealing material 22 to form a liquid crystal chamber. Thereafter, liquid crystal is injected to obtain the plasma addressed display device shown in FIG.

【００２８】本発明は、上記実施例に限定されるもので
はない。例えば、独立リブの断面形状は円柱状に限られ
ず、楕円でもよく、またその配置や数などは図示の例に
限定されるものではなく、その他本発明の要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更することができる。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the cross-sectional shape of the independent rib is not limited to a columnar shape, may be an ellipse, and the arrangement and number thereof are not limited to the illustrated example, and may be variously changed without departing from the gist of the present invention. Can be.

【００２９】[0029]

【発明の効果】本発明のプラズマアドレス表示装置は、
表示装置内を真空にする時間及び水銀の拡散時間を短縮
でき、生産効率を高めることができるものである。According to the present invention, there is provided a plasma addressed display device comprising:
It is possible to shorten the time for evacuating the inside of the display device and the time for diffusing mercury, thereby improving the production efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明のプラズマアドレス表示装置の一実施例
を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing one embodiment of a plasma addressed display device of the present invention.

【図２】図１のプラズマアドレス表示装置の製造工程を
示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a manufacturing process of the plasma addressed display device of FIG.

【図３】図２に続くプラズマアドレス表示装置の製造工
程を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a manufacturing step of the plasma addressed display device following FIG. 2;

【図４】プラズマアドレス表示装置の一例を示す断面図
である。FIG. 4 is a sectional view showing an example of a plasma addressed display device.

【図５】（Ａ）〜（Ｅ）は、図４のプラズマアドレス表
示装置の製造工程を示すフローチャートである。FIGS. 5A to 5E are flowcharts showing manufacturing steps of the plasma addressed display device of FIG.

【図６】従来のプラズマアドレス表示装置のフリットシ
ールで囲まれた領域を説明する平面図である。FIG. 6 is a plan view illustrating a region surrounded by a frit seal of a conventional plasma addressed display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ プラズマアドレス表示装置 ２ 液晶セル ３ プラズマセル ４ 誘電体シート ５ 隔壁 ２１ カラーフィルタ基板 ２２ 液晶シール材 ２３ 液晶層 ３１ プラズマ基板ガラス ３２ 表示電極 ３３ バリヤリブ ３４ プラズマ室 ３５ フリットシール ３６ 密封室 ３７ 通気孔 ３８ 取出電極 ３９ カバーガラス ４０ 独立リブ ＥＡ 有効画素領域 ＩＶ 無効領域 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Plasma address display device 2 Liquid crystal cell 3 Plasma cell 4 Dielectric sheet 5 Partition wall 21 Color filter substrate 22 Liquid crystal sealing material 23 Liquid crystal layer 31 Plasma substrate glass 32 Display electrode 33 Barrier rib 34 Plasma chamber 35 Frit seal 36 Sealing chamber 37 Vent hole 38 Extraction electrode 39 Cover glass 40 Independent rib EA Effective pixel area IV Invalid area

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】液晶セルとプラズマセルとが誘電体シート
を介して積層された構造を有し、該プラズマセルを構成
するプラズマ基板ガラスと該誘電体シートとが多数並列
的に設けられた隔壁を介して所定の間隙をもって対向
し、該プラズマセル内のプラズマ放電により前記液晶セ
ルの液晶の動作が外部に対して表示される有効画素領域
と該有効画素領域外の液晶表示に影響がない無効領域と
が形成されるプラズマアドレス表示装置であって、 前記無効領域において、前記誘電体シートと前記プラズ
マ基板ガラス間に、前記誘電体シートの割れを防止し得
るように支持するスパンで配設された複数の柱状の独立
リブを有し、各独立リブ間の間隙をガスの流通路として
構成したことを特徴とするプラズマアドレス表示装置。1. A partition having a structure in which a liquid crystal cell and a plasma cell are laminated via a dielectric sheet, and a plurality of plasma substrate glasses constituting the plasma cell and the dielectric sheet are provided in parallel. And an effective pixel area in which the operation of the liquid crystal of the liquid crystal cell is externally displayed by the plasma discharge in the plasma cell and the liquid crystal display outside the effective pixel area is not affected. A plasma addressed display device in which a region is formed, wherein in the invalid region, cracking of the dielectric sheet can be prevented between the dielectric sheet and the plasma substrate glass.
Multiple columnar independence arranged in span to support
Has ribs and the gap between each independent rib is used as a gas flow path
The plasma addressed display device, characterized in that configuration was. 【請求項２】前記無効領域に存するプラズマ放電用の電
極を被覆する絶縁カバーを設けると共に、この絶縁カバ
ーの上に前記独立リブの一部が配設されている請求項１
記載のプラズマアドレス表示装置。2. An insulative cover for covering an electrode for plasma discharge in the ineffective area, and a part of the independent rib is disposed on the insulative cover.
The plasma address display device according to the above. 【請求項３】前記独立リブが前記障壁と同時に形成され
てなる請求項１又は２記載のプラズマアドレス表示装
置。3. The plasma addressed display device according to claim 1, wherein said independent rib is formed simultaneously with said barrier.