JP3357719B2 - Cryogenic refrigerator - Google Patents
Cryogenic refrigeratorInfo
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Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ギホード・マクマホン
サイクルやスターリングサイクルなどによって極低温冷
凍を行うための極低温冷凍機に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cryogenic refrigerator for performing cryogenic refrigeration using a Gilead McMahon cycle or a Stirling cycle.
【０００２】[0002]
【従来の技術】この種の極低温冷凍機として、例えば図
４のような構成のものが周知である。図４の極低温冷凍
機において、電動機１０２はクランク機構１０３を駆動
し、クランク機構１０３は給気弁１０４・排気弁１１１
の開閉動作とスコッチヨーク１の往復動作を所要の行程
位相差をもって往復駆動する。2. Description of the Related Art As a cryogenic refrigerator of this type, for example, a refrigerator having a structure as shown in FIG. 4 is well known. In the cryogenic refrigerator shown in FIG. 4, the electric motor 102 drives a crank mechanism 103, and the crank mechanism 103 includes an intake valve 104 and an exhaust valve 111.
And the reciprocating operation of the scotch yoke 1 are reciprocated with a required stroke phase difference.
【０００３】スコッチヨーク１には、第１ディスプレー
サ１０６と第２ディスプレーサ１０８とが連結してあ
り、第１ディスプレーサ１０６と第２ディスプレーサ１
０８とは、それぞれ、第１シリンダ１０５内と第２シリ
ンダ１０７内を同一の行程位相をもって往復移動する。[0003] A first displacer 106 and a second displacer 108 are connected to the scotch yoke 1, and the first displacer 106 and the second displacer 1 are connected to each other.
08 reciprocates in the first cylinder 105 and the second cylinder 107 with the same stroke phase.
【０００４】第１ディスプレーサ１０６・第２ディスプ
レーサ１０８は、図の下方側に移動する行程の終点近く
から膨張冷却行程を行い、図の上方側に移動する行程に
おいて排気行程を行い、その終点近くから吸気行程を行
う。[0004] The first displacer 106 and the second displacer 108 perform an expansion cooling process near the end point of a stroke moving downward in the figure, and perform an exhaust stroke in a stroke moving upward in the figure. Perform the intake stroke.
【０００５】吸気行程では、冷媒圧縮部（図示せず）で
圧縮したヘリウムなどの加圧冷媒１０１が、吸気弁１０
４を介して、第１シリンダ１０５内に入り、第１ディス
プレーサ１０６の通気穴２０１から銅製網・通気性焼結
金属材などからなる蓄冷材２０２を通って通気穴２０３
を通り、第１膨張室２０５側に入る。第１膨張室２０５
の加圧冷媒は、膨張冷却行程において、上記の吸気圧縮
行程の冷媒の流れと逆に流れ、排気弁１１１を通って排
出されると同時に膨張し、蓄冷材２０２に冷熱を蓄積す
る。In the intake stroke, pressurized refrigerant 101 such as helium compressed by a refrigerant compression section (not shown) is supplied to intake valve 10.
4, enters the first cylinder 105, passes through the vent hole 201 of the first displacer 106, passes through the cold storage material 202 made of a copper mesh, a breathable sintered metal material, or the like, and passes through the vent hole 203.
And enters the first expansion chamber 205 side. First expansion chamber 205
Pressurized refrigerant flows in the expansion and cooling process in a direction opposite to the flow of the refrigerant in the above-described intake and compression process, is discharged through the exhaust valve 111, expands at the same time, and accumulates cold heat in the cold storage material 202.
【０００６】この第１膨張冷却の行程と同行程中に、第
１膨張室２０５の冷媒は、第２ディスプレーサ１０８の
通気穴２０６から粒状鉛などの蓄冷材２０７を通って第
２膨張室２０９に入り、その後、逆に流れて排気弁１１
１より排出されると同時に膨張して、第２膨張冷却を行
い、蓄冷材２０７に冷熱を蓄積する。During the first expansion cooling step, the refrigerant in the first expansion chamber 205 flows from the vent hole 206 of the second displacer 108 through the cold storage material 207 such as granular lead to the second expansion chamber 209. And then flows in reverse to exhaust valve 11
The gas is expanded at the same time as it is discharged from 1, performs the second expansion cooling, and accumulates cold heat in the cold storage material 207.
【０００７】排気行程では、第２膨張室２０９内と第１
膨張室２０５内の膨張冷却を終えて降圧した冷媒は、上
記の膨張冷却動作時とは逆の経路を経て第２ディスプレ
ーサ１０８内と第１ディスプレーサ１０６内とを通り、
排気弁１１１を介して、クランク機構１０３の室内を通
り、降圧冷媒１１２として排出され、冷媒圧縮部（図示
せず）に戻り、再び圧縮して加圧冷媒１０１にすると云
う循環を繰り返すように動作する。In the exhaust stroke, the inside of the second expansion chamber 209 and the first
The refrigerant whose pressure has been reduced after completing the expansion and cooling in the expansion chamber 205 passes through the inside of the second displacer 108 and the inside of the first displacer 106 via a path reverse to that during the expansion and cooling operation described above.
The refrigerant is discharged through the chamber of the crank mechanism 103 through the exhaust valve 111, discharged as a reduced-pressure refrigerant 112, returned to a refrigerant compression unit (not shown), and compressed again to form a pressurized refrigerant 101. I do.
【０００８】以下、第１シリンダ１０５と第２シリンダ
１０７との行程位置において、図の上方側に向かう行程
の終点であって図の下方側に向かう行程の始点に相当す
る位置点を上死点といい、図の下方側に向かう行程の終
点であって図の上方側に向かう行程の始点に相当する位
置点を下死点と云う。内側遮蔽覆１１６は、第１シリン
ダ１０５の上死点側に設けた第１ステージ１１５の部分
から第２シリンダ１０７全体に至る間を覆って冷却室１
１７を形成しており、この冷却室１１７の開口端側か
ら、冷却負荷４００となる装置からの冷却対象流体３０
０を導入する。Hereinafter, in the stroke positions of the first cylinder 105 and the second cylinder 107, a position point corresponding to the end point of the stroke going upward in the drawing and the starting point of the stroke going downward in the drawing is referred to as a top dead center. A position point which is the end point of the stroke toward the lower side of the figure and corresponds to the start point of the stroke toward the upper side of the figure is referred to as a bottom dead center. The inner shielding cover 116 covers the space between the first stage 115 provided on the top dead center side of the first cylinder 105 and the entire second cylinder 107 to cover the cooling chamber 1.
The cooling target fluid 30 from a device serving as a cooling load 400 is formed from the opening end side of the cooling chamber 117.
0 is introduced.
【０００９】冷却室１１７の開口端側には、鎧戸状の通
気路をもつ第１吸熱フィン１２０を配置し、第２シリン
ダ１０７の上死点側に設けた第２ステージ１１８の部分
には鎧戸状の通気路をもつ第２吸熱フィン１１９を配置
してあり、第１ステージ１１５と第２ステージ１１８と
で生ずる冷熱を、第１吸熱フィン１２０の各表面、第２
吸熱フィン１１９の各表面などを介して、冷却対象流体
３００に与えることにより所要の冷却を行うようにして
いる。At the open end of the cooling chamber 117, a first heat absorbing fin 120 having an armor-shaped air passage is disposed, and at the second stage 118 provided at the top dead center side of the second cylinder 107, a door is provided. A second heat absorbing fin 119 having a ventilation path in the shape of a circle is arranged, and the cold generated by the first stage 115 and the second stage 118 is transferred to each surface of the first heat absorbing fin 120 and the second heat absorbing fin 119.
By providing the cooling fluid 300 through the respective surfaces of the heat absorbing fins 119, required cooling is performed.
【００１０】外側遮蔽覆１１３は、第１シリンダ１０５
の下死点側から冷却室１１７の開口端側までの外側を覆
って真空室１１４を形成し、この真空室１１４により、
第１シリンダ１０５の外面と冷却室１１７の外面とを外
部環境から遮断して、冷熱の熱損失を防いでいる。The outer shielding cover 113 is provided on the first cylinder 105
A vacuum chamber 114 is formed so as to cover the outside from the bottom dead center side to the opening end side of the cooling chamber 117.
The outer surface of the first cylinder 105 and the outer surface of the cooling chamber 117 are shielded from the external environment to prevent heat loss of cold heat.
【００１１】そして、スコッチヨーク１と第１ディスプ
レーサ１０６とは、例えば図５に例示したように、すな
わち、第１ディスプレーサ１０６の一端面に形成した凹
陥部２に臨んで、第１ディスプレーサ１０６と中央部が
開口したエンドキャップ３とで形成した係止穴４Ａに、
スコッチヨーク１の一端に環装し、ピン５によって固定
した鋼製などのクロスヘッド６の側面膨出部７Ａを遊嵌
することで連結するように構成したものが多い。The scotch yoke 1 and the first displacer 106 are, for example, as illustrated in FIG. 5, that is, facing the recess 2 formed on one end surface of the first displacer 106, In the locking hole 4A formed by the end cap 3 having the opening,
In many cases, the scotch yoke 1 is mounted around one end and connected by loosely fitting a side swelling portion 7A of a crosshead 6 made of steel or the like fixed by a pin 5.
【００１２】なお、側面膨出部７Ａの厚さと係止穴４Ａ
とは、第１ディスプレーサ１０６の軸心が調整できるよ
うに、通常は略０．１〜０．２ｍｍ程度のクリアランス
をもって形成されている。Incidentally, the thickness of the side bulging portion 7A and the locking hole 4A
Is usually formed with a clearance of about 0.1 to 0.2 mm so that the axis of the first displacer 106 can be adjusted.
【００１３】スコッチヨーク１と第１ディスプレーサ１
０６との間に緩衝材を備えていない上記構成の極低温冷
凍機においては、電動機１０２を起動し、スコッチヨー
ク１によって第１ディスプレーサ１０６・第２ディスプ
レーサ１０８を各シリンダー内で往復動作させると、 （１）電動機の振動が減衰することなくディスプレーサ
に伝達される。 （２）ディスプレーサの摺動によって引き起こされる振
動も減衰し難い。 （３）ディスプレーサの移動の向きが変わる度に、軸心
調整のために設けたクリアランスの分、クロスヘッドが
ディスプレーサ側を叩いたり、エンドキャップ側を叩く
ため、衝撃による振動と騒音が発生する。Scotch yoke 1 and first displacer 1
In the cryogenic refrigerator having the above-described configuration without a cushioning material between the first displacer 106 and the second displacer 108 by the scotch yoke 1, the first displacer 106 and the second displacer 108 are reciprocated in each cylinder. (1) The vibration of the electric motor is transmitted to the displacer without attenuation. (2) Vibration caused by sliding of the displacer is not easily damped. (3) Every time the direction of movement of the displacer changes, the crosshead hits the displacer side or the end cap side by the clearance provided for adjusting the axis, so that vibration and noise due to impact are generated.
【００１４】と云った問題点があった。There has been a problem as described above.
【００１５】[0015]
【発明が解決しようとする課題】したがって、例えばサ
ブミクロンの線幅を実現しなければならない超ＬＳＩな
どを製造する半導体製造装置に搭載する冷凍機としては
使用し難いと云う問題点があった。また、上記の振動は
第２ディスプレーサのピストンリングのシール性を阻害
することから、冷却温度がふらつくと云う問題点もあ
り、これら問題点の解決が課題となっていた。Therefore, there has been a problem that it is difficult to use as a refrigerator mounted on a semiconductor manufacturing apparatus for manufacturing a super LSI or the like which must realize a submicron line width. Further, since the above-mentioned vibration impairs the sealing performance of the piston ring of the second displacer, there is also a problem that the cooling temperature fluctuates, and solving these problems has been a problem.
【００１６】[0016]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
蓄冷材を収納しているディスプレーサの一端面に形成し
た凹陥部と、ディスプレーサの前記一端面に取着する中
央部が開口したエンドキャップとによって前記凹陥部に
臨む係止穴を形成し、この係止穴にスコッチヨークの一
端に取着したクロスヘッドの側面膨出部を遊嵌し、電動
機の回転動作から前記スコッチヨークを介して前記ディ
スプレーサをシリンダ内で往復動作させる駆動力を得る
極低温冷凍機において、SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is directed to a displacer formed on one end face of a displacer accommodating the regenerative material as described above, and an end having an open central portion attached to the one end face of the displacer. A cap is formed with a locking hole facing the concave portion, and a side swelling portion of a crosshead attached to one end of the scotch yoke is loosely fitted into the locking hole, and the rotation of the electric motor is performed through the scotch yoke. A cryogenic refrigerator that obtains a driving force for reciprocating the displacer in a cylinder.
【００１７】前記係止穴を連続する環状溝に形成すると
共に、前記クロスヘッドの側面膨出部を連続するフラン
ジに形成し、且つ、このフランジの外周面に連続する環
状凸部を形成し、この環状凸部の両側にフランジと前記
環状溝形成面との接触を妨げる弾性部材を装着した構成
の第１の装置と、The locking hole is formed in a continuous annular groove, the side bulge of the crosshead is formed in a continuous flange, and a continuous annular projection is formed on the outer peripheral surface of the flange. A first device having a configuration in which elastic members for preventing contact between the flange and the annular groove forming surface are mounted on both sides of the annular convex portion;
【００１８】前記クロスヘッドの側面膨出部を連続する
フランジに形成し、且つ、前記環状溝と前記フランジの
少なくとも何れか一方の側の各面それぞれに連続する環
状凹部を形成し、これら各環状凹部にフランジと前記環
状溝形成面との接触を妨げる弾性部材を装着した構成の
第２の装置と、を提供することにより、上記従来技術の
課題を解決するものである。The side swelling portion of the crosshead is formed in a continuous flange, and the annular groove and the annular concave portion which is continuous on at least one surface of each of the flanges are formed. It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems of the related art by providing a second device having a configuration in which an elastic member that prevents contact between the flange and the annular groove forming surface is mounted in the concave portion.
【００１９】[0019]
【作用】スコッチヨークとディスプレーサとは弾性部材
を介して接しているため、電動機の振動はこの弾性部材
によって吸収され、ディスプレーサに伝わる振動が減少
し、騒音の減少も図られる。Since the scotch yoke and the displacer are in contact with each other via the elastic member, the vibration of the electric motor is absorbed by the elastic member, the vibration transmitted to the displacer is reduced, and the noise is reduced.
【００２０】[0020]
（実施例１）以下、図１に基づいて本発明になる第１の
実施例を説明する。なお、図１において、図４・図５と
同じ符号で示す部分は、これらの図により説明した部分
と同一の機能を示す部分であり、本発明の理解を妨げな
い範囲で説明は省略した。(Embodiment 1) A first embodiment according to the present invention will be described below with reference to FIG. Note that, in FIG. 1, portions denoted by the same reference numerals as those in FIGS. 4 and 5 indicate portions having the same functions as the portions described with reference to these drawings, and a description thereof will be omitted to the extent that the understanding of the present invention is not hindered.
【００２１】図中４は、第１ディスプレーサ１０６とエ
ンドキャップ３とによって、凹陥部２に臨んで形成し
た、連続する環状溝である。そして、７はこの環状溝４
に遊嵌可能な厚さに形成したクロスヘッド６のフランジ
であり、このフランジ７の外周面には連続する環状凸部
７１が形成されている。In the figure, reference numeral 4 denotes a continuous annular groove formed by the first displacer 106 and the end cap 3 so as to face the recess 2. And 7 is this annular groove 4
The flange 7 of the crosshead 6 is formed to have a thickness that allows it to be loosely fitted on the outer peripheral surface of the cross head 6. A continuous annular convex portion 71 is formed on the outer peripheral surface of the flange 7.
【００２２】そして、環状凸部７１の両側に、弾性部材
である例えばテフロンなどからなるエラストマー製のオ
ーリング８を装着している。このオーリング８は、環状
溝４を形成する各壁面とクロスヘッド６との接触を妨げ
ることのできる太さ、例えばフランジ７の平行部の厚さ
をｔ１、環状凸部７１の平行部の厚さをｔ２、環状溝４
の幅をＷ、オーリング８の装着前の直径をφとしたと
き、例えば Ｗ−ｔ１＝０．２〜０．３（ｍｍ） ２φ＋ｔ２−Ｗ＝０．２〜０．５（ｍｍ） を満足する程度の太さに形成している。An O-ring 8 made of an elastic material such as Teflon is mounted on both sides of the annular convex portion 71. The O-ring 8 has a thickness that can prevent contact between each wall forming the annular groove 4 and the crosshead 6, for example, the thickness of the parallel portion of the flange 7 is t1, and the thickness of the parallel portion of the annular convex portion 71 is t1. T2, annular groove 4
Is the width of W and the diameter of the O-ring 8 before mounting is φ, for example, W−t1 = 0.2 to 0.3 (mm) 2φ + t2−W = 0.2 to 0.5 (mm) It is formed so as to be thick enough.
【００２３】上記構成の本発明の極低温冷凍装置は、ス
コッチヨーク１と第１ディスプレーサ１０６とが前記の
ようにエラストマー製のオーリング８を介して連結され
ているので、電動機１０２の回転駆動力をスコッチヨー
ク１を介して直線往復移動に変える際に、電動機１０２
の振動が第１ディスプレーサ１０６の側に伝わり難い
し、第１ディスプレーサ１０６・第２ディスプレーサ１
０８の摺動によって引き起こされる振動も減衰し易い。
また、環状溝４とクロスヘッド６のフランジ７とのクリ
アランスは、エラストマー製のオーリング８によって埋
められているので、クロスヘッド６の第１ディスプレー
サ１０６およびエンドキャップ３との衝突が回避され、
これにより衝撃による振動と騒音の発生がなくなった。In the cryogenic refrigeration system of the present invention having the above-described structure, the scotch yoke 1 and the first displacer 106 are connected via the elastomer O-ring 8 as described above. Is changed to linear reciprocating movement through the scotch yoke 1
Is hardly transmitted to the first displacer 106 side, and the first displacer 106 and the second displacer 1
Vibration caused by the sliding of No. 08 is also easily attenuated.
Further, since the clearance between the annular groove 4 and the flange 7 of the crosshead 6 is filled with the O-ring 8 made of an elastomer, collision of the crosshead 6 with the first displacer 106 and the end cap 3 is avoided,
This eliminated vibration and noise due to impact.
【００２４】なお、二つの太目のオーリング８によっ
て、クロスヘッド６と第１ディスプレーサ１０６または
エンドキャップ３との接触を回避しているが、オーリン
グ８はエラストマー製であるから例えば８％程度の圧縮
は可能であり、軸心の調節は可能である。The contact between the crosshead 6 and the first displacer 106 or the end cap 3 is avoided by the two thick O-rings 8. However, since the O-ring 8 is made of an elastomer, for example, about 8%. Compression is possible and axial adjustment is possible.
【００２５】（実施例２）以下、図２に基づいて本発明
の第２の実施例を説明する。なお、図２において図１・
図４・図５と同じ符号で示す部分は、これらの図により
説明した部分と同一の機能を示す部分であり、この場合
も本発明の理解を妨げない範囲で説明は省略した。(Embodiment 2) Hereinafter, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In FIG. 2, FIG.
Portions indicated by the same reference numerals as those in FIGS. 4 and 5 indicate portions having the same functions as the portions described with reference to these drawings.
【００２６】図中９Ａ・９Ｂ・９Ｃは、環状溝４に臨む
第１ディスプレーサ１０６とエンドキャップ３の各面に
形成した環状凹部であり、ここに環状凹部の深さより太
い直径を有するエラストマー製のオーリング８が装着さ
れ、このオーリング８によってクロスヘッド６と環状溝
４を形成する各壁面、すなわち第１ディスプレーサ１０
６およびエンドキャップ３との接触防止を図っている。9A, 9B and 9C are annular concave portions formed on the respective surfaces of the first displacer 106 and the end cap 3 facing the annular groove 4, and are made of an elastomer having a diameter larger than the depth of the annular concave portion. An O-ring 8 is mounted, and each wall forming the crosshead 6 and the annular groove 4 by the O-ring 8, that is, the first displacer 10
6 and the end cap 3 are prevented from contacting with each other.
【００２７】したがって、この実施例２の場合において
も、前記第１の実施例の場合と同様の振動と騒音を低減
する作用効果が得られる。Therefore, also in the case of the second embodiment, the same effect of reducing vibration and noise as in the case of the first embodiment can be obtained.
【００２８】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではないので、特許請求の範囲に記載の趣旨から逸脱
しない範囲で各種の変形実施が可能である。例えば、環
状溝４を形成する面とフランジ７との接触を妨げるオー
リング８の素材としては、弾性を備えて防振効果のある
ものであれば良いので、ゴム、プラスチック、金属の類
から適宜選択して使用される。Since the present invention is not limited to the above embodiment, various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, the material of the O-ring 8 for preventing contact between the surface forming the annular groove 4 and the flange 7 may be any material having elasticity and a vibration-proof effect. Used to select.
【００２９】また、環状凸部７１は、オーリング８の位
置決めに支障のない範囲で断続的に形成した凸条などに
よって代替することが可能であるし、環状溝４は周回状
段部をエンドキャップ３の側に設けて形成することも可
能である また、環状凹部９Ａ・９Ｂ・９Ｃの一部または全部をク
ロスヘッド６のフランジ７の側に形成することも可能で
ある。環状凹部９Ａ・９Ｂ・９Ｃをフランジ７の側に形
成する場合は、取り扱う部材が軽量小型になることと、
環状凹部を外面側に形成することになるため、作業が容
易になると云ったメリットがある。The annular convex portion 71 can be replaced by a ridge formed intermittently as long as the positioning of the O-ring 8 is not hindered. It is also possible to form them by providing them on the cap 3 side. It is also possible to form some or all of the annular recesses 9A, 9B, 9C on the flange 7 side of the crosshead 6. When the annular concave portions 9A, 9B, and 9C are formed on the side of the flange 7, the members to be handled are reduced in weight and size.
Since the annular concave portion is formed on the outer surface side, there is a merit that the work becomes easy.
【００３０】さらに、図３に示したように実施すること
なども可能である。Further, it is also possible to carry out the embodiment as shown in FIG.
【００３１】[0031]
【発明の効果】上記したように本発明は、構造が簡単で
あるにも拘らず電動機からディスプレーサへの振動の伝
達を大きく減少させることが可能であると共に、ディス
プレーサのシリンダー内での摺動に伴って発生する振動
を減衰させる効果が大きい。また、ディスプレーサの移
動方向を逆転させる際の衝撃力の殆どを吸収することも
可能であるし、弾性部材を装着しているので、０．２ｍ
ｍ程度であればこの弾性部材を変形して軸心の調整を行
うことが可能である。さらに、振動が減少することによ
って第２ディスプレーサのピストンリングのシール性が
向上するので、温度特性が安定し、信頼性が向上すると
云った効果もある。As described above, according to the present invention, it is possible to greatly reduce the transmission of vibration from the electric motor to the displacer in spite of its simple structure, and to reduce the displacement of the displacer in the cylinder. The effect of attenuating the accompanying vibration is great. Also, it is possible to absorb most of the impact force when reversing the displacer's moving direction, and since an elastic member is mounted, 0.2 m
If the length is about m, it is possible to adjust the axis by deforming the elastic member. Further, since the sealing performance of the piston ring of the second displacer is improved by reducing the vibration, there is also an effect that the temperature characteristics are stabilized and the reliability is improved.
【図１】第１の実施例を示す説明図。FIG. 1 is an explanatory diagram showing a first embodiment.
【図２】第２の実施例を示す説明図。FIG. 2 is an explanatory view showing a second embodiment.
【図３】他の実施例を示す説明図。FIG. 3 is an explanatory view showing another embodiment.
【図４】従来技術の説明図FIG. 4 is an explanatory view of a conventional technique.
【図５】従来技術の要部の説明図。FIG. 5 is an explanatory view of a main part of a conventional technique.
１ スコッチヨーク ２ 凹陥部 ３ エンドキャップ ４ 環状溝 ４Ａ 係止穴 ５ ピン ６ クロスヘッド ７ フランジ ７Ａ 側面膨出部 ８ オーリング ９Ａ・９Ｂ・９Ｃ 環状凹部 ７１ 環状凸部 １０２ 電動機 １０６ 第１ディスプレーサ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Scotch yoke 2 Depression 3 End cap 4 Annular groove 4A Locking hole 5 Pin 6 Crosshead 7 Flange 7A Side bulge 8 O-ring 9A, 9B, 9C Annular concave 71 Annular convex 102 Motor 102 First displacer
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F25B 9/14 510 F25B 9/14 530 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) F25B 9/14 510 F25B 9/14 530
Claims (2)
一端面に形成した凹陥部と、ディスプレーサの前記一端
面に取着する中央部が開口したエンドキャップとによっ
て前記凹陥部に臨む係止穴を形成し、この係止穴にスコ
ッチヨークの一端に取着したクロスヘッドの側面膨出部
を遊嵌し、電動機の回転動作から前記スコッチヨークを
介して前記ディスプレーサをシリンダ内で往復動作させ
る駆動力を得る極低温冷凍機において、前記係止穴を連
続する環状溝に形成すると共に、前記クロスヘッドの側
面膨出部を連続するフランジに形成し、且つ、このフラ
ンジの外周面に連続または断続する凸部を形成し、この
凸部の両側にフランジと前記環状溝形成面との接触を妨
げる弾性部材を装着したことを特徴とする極低温冷凍
機。An engaging hole facing the concave portion is formed by a concave portion formed on one end surface of a displacer accommodating a cold storage material and an end cap attached to the one end surface of the displacer and having an open central portion. A driving force for reciprocating the displacer in the cylinder through the scotch yoke through the scotch yoke from the rotating operation of the electric motor by loosely fitting the side swelling portion of the crosshead attached to one end of the scotch yoke to the locking hole. In the cryogenic refrigerator, the locking hole is formed in a continuous annular groove, and the side bulge of the crosshead is formed in a continuous flange, and is continuous or intermittent with the outer peripheral surface of the flange. A cryogenic refrigerator characterized in that a convex portion is formed, and elastic members for preventing contact between the flange and the annular groove forming surface are mounted on both sides of the convex portion.
一端面に形成した凹陥部と、ディスプレーサの前記一端
面に取着する中央部が開口したエンドキャップとによっ
て前記凹陥部に臨む係止穴を形成し、この係止穴にスコ
ッチヨークの一端に取着したクロスヘッドの側面膨出部
を遊嵌し、電動機の回転動作から前記スコッチヨークを
介して前記ディスプレーサをシリンダ内で往復動作させ
る駆動力を得る極低温冷凍機において、前記係止穴を連
続する環状溝に形成すると共に、前記クロスヘッドの側
面膨出部を連続するフランジに形成し、且つ、前記環状
溝と前記フランジの少なくとも何れか一方の側の各面そ
れぞれに連続する環状凹部を形成し、これら各環状凹部
にフランジと前記環状溝形成面との接触を妨げる弾性部
材を装着したことを特徴とする極低温冷凍機。2. A locking hole facing the concave portion formed by a concave portion formed on one end surface of a displacer accommodating cold storage material and an end cap having a central portion opened to be attached to the one end surface of the displacer. A driving force for reciprocating the displacer in the cylinder through the scotch yoke through the scotch yoke from the rotating operation of the electric motor by loosely fitting the side swelling portion of the crosshead attached to one end of the scotch yoke to the locking hole. In the cryogenic refrigerator, the locking hole is formed in a continuous annular groove, and the side bulge of the crosshead is formed in a continuous flange, and at least one of the annular groove and the flange is formed. A continuous annular recess is formed on each surface on one side, and an elastic member that prevents contact between the flange and the annular groove forming surface is attached to each annular recess. Characterized cryogenic refrigerator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21645193A JP3357719B2 (en) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Cryogenic refrigerator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21645193A JP3357719B2 (en) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Cryogenic refrigerator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0771834A JPH0771834A (en) | 1995-03-17 |
| JP3357719B2 true JP3357719B2 (en) | 2002-12-16 |
Family
ID=16688728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21645193A Expired - Fee Related JP3357719B2 (en) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | Cryogenic refrigerator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3357719B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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| CN108645069A (en) * | 2018-06-04 | 2018-10-12 | 中船重工鹏力（南京）超低温技术有限公司 | Shut-off member for regenerator and the Cryo Refrigerator using the shut-off member |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP21645193A patent/JP3357719B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11725854B2 (en) | 2021-03-15 | 2023-08-15 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryocooler |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0771834A (en) | 1995-03-17 |
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