JP3353637B2 - Dryer - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は圧縮されたガスによ
り被乾燥物表面に付着した水分などを吹き飛ばし乾燥さ
せる乾燥機に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dryer for blowing out moisture or the like adhering to the surface of an object to be dried by a compressed gas for drying.

【０００２】[0002]

【従来の技術】半導体メモリやマイクロプロセッサなど
の超ＬＳＩや精密製品の製造はその品質を保つために一
般的に清浄化された雰囲気のクリーンルーム内で作業が
行われる。このようなクリーンルームは作業内容により
作業環境に残留し浮遊する塵埃の最大粒径、単位容積当
たりの塵埃数などが規定され管理されている。そのため
高清浄度が要求されるクリーンルーム内には、高性能フ
ィルタを用い、外気中に含まれる塵埃やかび、バクテリ
アなどの微生物、有害なイオンなどが除去され清浄化さ
れた空気が取り込まれる。このクリーンルームにはエア
シャワー室、手洗い室、更衣室が接続されており、作業
者は更衣室で、無塵衣、無塵帽、無塵マスク、防塵靴を
着け、クリーンルームに入る前に洗剤を用いて手を洗
い、塵埃など異物の再付着を防止するためにフィルタを
通したエアを吹き付けて乾燥させた後、無塵手袋をはめ
て、エアシャワー室に入り外表面に付着した異物を吹き
飛ばし除去することにより、外部からクリーンルーム内
に異物が侵入しないように配慮している。ここで、手洗
い後の乾燥に用いられる乾燥機としては、一般的に加熱
エアにより水分を蒸発させて乾燥させるものと高圧エア
により水分を吹き飛ばし乾燥させるものとがある。前者
は加熱ヒータを通電してエアの温度が十分上昇するまで
の時間がかかり、風量と加熱の調整が難しく、水分を短
時間で除去しようとすると過熱状態となり火傷の虞があ
り、温度が低いと乾燥に時間がかかるだけでなく気化熱
により体温が奪われ体感的に寒く感じるという欠点があ
る他、発塵の原因となる洗剤がすすぎ不十分なため残留
した場合これを十分除去できないという問題もある。ま
た後者は、清浄化されたエアを高圧にし吐出速度２０〜
１００ｍ／ｓの高速で吹き出し手に付着した水分を吹き
飛ばして除去するため、短時間で乾燥でき、高速エアに
よる刺激により体感的にもあまり寒く感じない。一方、
クリーンルームへの作業者の出入りは作業の交代時間に
集中し、短かい時間に多数の作業者が更衣室からエアク
リーナ室に殺到する。そのため残留洗剤の除去も含めて
短時間で確実に乾燥できることが重要で、この点から後
者乾燥機の方が優れている。このような乾燥機の一例が
特開昭６１−１０９５３２号公報に開示されている。こ
の概略を図７に示す。図において、１は縦長の本体ボッ
クスで、上部壁面に吸気口１ａ，１ａが形成され、内部
が矩形穴２ａを開口した隔壁２によって上下に分離さ
れ、この隔壁２より下方位置の前面に被乾燥物を挿入す
る挿入窓１ｂを、両側壁に排気口１ｃ、１ｃをそれぞれ
形成している。３は上下両端が開口したブロアボック
ス、４は上面から空気を取り込み圧縮して下方に送り出
すブロア５を備えた緩衝ボックスで、ブロアボックス３
の上端部に気密に挿入されて固定され、ブロア５によっ
て圧縮された空気が当たる面には吸音材６が貼り付けら
れおり、その側面から押し出された圧縮空気がブロアボ
ックス４の下部開口部から図示矢印で示す下方に送られ
る。７は上下両端が開口し、ブロアボックス３の下端に
連通したフィルタ室、８はブロアボックス３とフィルタ
室７の連通部に配置された気流抵抗板、９はフィルタ室
７に収納された高性能フィルタで、筒状に成形されたフ
ィルタ素子を多数、各軸を互いに平行配置し、各フィル
タ素子の両端の隣り合う部分を交互に閉塞し、各フィル
タ素子の軸を上下方向に配置したものである。気流抵抗
板８を通ってこの高性能フィルタ９に送り込まれた空気
は、フィルタ素子の開口部からその内部に取り込まれる
が下端が閉塞しているため、フィルタ素子壁面を通り、
上端が閉じ下端が開口した隣のフィルタ素子に送り込ま
れフィルタ室７の下端開口部から取り出される。１０は
上面が開口し、フィルタ室７に接続され下面に吹出しノ
ズル１０ａを開口した圧縮空気室を示す。ブロアボック
ス３、フィルタ室７、圧縮空気室１０は連結一体化さ
れ、この一体物は本体ボックス１内に収容され、圧縮空
気室１０の上端外周に形成したフランジ部分で隔壁２に
係合されている。この装置は、本体ボックス１の上部吸
気口１ａから取り込んだ空気をブロア５に送り込み、ブ
ロアボックス３内の空気を圧縮し、フィルタ室７で高性
能フィルタ９により空気中の異物を除去し、さらに圧縮
空気室１０で気圧を高め、吹出しノズル１０ａから吹き
出す高圧空気を、挿入窓１ｂから挿入した被乾燥物、例
えば濡れた手に当てることにより、水分や手に付着した
異物を吹き飛ばし、水分や異物を排気口１ｃから除去す
るもので、高性能フィルタ９によって清浄化された空気
を高圧で吹き付けることができるため、クリーンルーム
に付設される手洗い乾燥機として好ましい。2. Description of the Related Art In order to maintain the quality of ultra LSIs such as semiconductor memories and microprocessors and precision products, work is generally performed in a clean room in a clean atmosphere. In such a clean room, the maximum particle size of dust remaining and floating in the work environment, the number of dust per unit volume, and the like are defined and managed according to the work content. Therefore, in a clean room requiring high cleanliness, high-performance filters are used to remove dust and mold contained in the outside air, remove microorganisms such as bacteria, harmful ions and the like, and take in purified air. The clean room is connected to an air shower room, a hand washing room, and a changing room, where workers wear dust-free clothes, dust-free hats, dust-free masks, and dust-proof shoes, and apply detergent before entering the clean room. Wash your hands using a filter and blow it through a filter to prevent foreign substances such as dust from re-adhering to dry.After that, put on dust-free gloves and enter the air shower room to blow off foreign substances on the outer surface. By removing, care is taken to prevent foreign matter from entering the clean room from outside. Here, as a dryer used for drying after hand washing, there are generally a dryer that evaporates moisture with heated air to dry and a dryer that blows moisture off with high-pressure air to dry. In the former, it takes time until the temperature of the air rises sufficiently by energizing the heating heater, it is difficult to adjust the air volume and heating, and if the water is removed in a short time, there is a risk of overheating and burns, and the temperature is low. It not only takes time to dry, but also has the drawback that the body temperature is deprived by the heat of vaporization and it feels cold, and if the detergent that causes dust is insufficiently rinsed, it cannot be sufficiently removed if it remains. There is also. In the latter, the pressure of the purified air is increased to a high
Since the water adhering to the blowing hand is blown away at a high speed of 100 m / s to remove the water, it can be dried in a short time, and does not feel too cold due to stimulation by high-speed air. on the other hand,
Workers entering and leaving the clean room concentrate on the shift time of work, and a large number of workers flood from the changing room into the air cleaner room in a short time. Therefore, it is important that drying can be performed reliably in a short period of time, including the removal of the residual detergent. In this regard, the latter dryer is superior. One example of such a dryer is disclosed in JP-A-61-109532. This is shown schematically in FIG. In the figure, reference numeral 1 denotes a vertically long main body box, in which intake ports 1a and 1a are formed in an upper wall surface, and the inside is vertically separated by a partition wall 2 having a rectangular hole 2a, and a front surface below the partition wall 2 is dried. An insertion window 1b for inserting an object and exhaust ports 1c, 1c are formed on both side walls. Reference numeral 3 denotes a blower box having open upper and lower ends, and 4 denotes a buffer box provided with a blower 5 which takes in air from the upper surface, compresses the air, and sends the compressed air downward.
The sound-absorbing material 6 is adhered to a surface of the blower 5 where air compressed by the blower 5 hits, and the compressed air pushed out from the side surface of the sound-absorbing material is passed through the lower opening of the blower box 4. It is sent downward shown by the arrow in the figure. 7 is a filter chamber which is open at both upper and lower ends and communicates with the lower end of the blower box 3; 8 is an airflow resistance plate disposed at a communication portion between the blower box 3 and the filter chamber 7; In the filter, a large number of filter elements formed into a cylindrical shape, each axis is arranged in parallel with each other, adjacent portions at both ends of each filter element are alternately closed, and the axis of each filter element is arranged in the vertical direction. is there. The air sent into the high-performance filter 9 through the airflow resistance plate 8 is taken in from the opening of the filter element but is closed at the lower end.
It is fed into the adjacent filter element whose upper end is closed and whose lower end is opened, and is taken out from the lower end opening of the filter chamber 7. Reference numeral 10 denotes a compressed air chamber having an open upper surface, connected to the filter chamber 7, and having an outlet nozzle 10a opened on the lower surface. The blower box 3, the filter chamber 7, and the compressed air chamber 10 are connected and integrated. This integrated body is housed in the main body box 1, and is engaged with the partition 2 at a flange portion formed on the outer periphery of the upper end of the compressed air chamber 10. I have. This device sends air taken in from an upper intake port 1a of a main body box 1 to a blower 5, compresses the air in the blower box 3, removes foreign matter in the air by a high-performance filter 9 in a filter chamber 7, and The air pressure is increased in the compressed air chamber 10, and high-pressure air blown out from the blowing nozzle 10a is applied to an object to be dried, for example, a wet hand inserted from the insertion window 1b, to blow off moisture and foreign matter attached to the hand, thereby removing moisture and foreign matter. Is removed from the exhaust port 1c, and the air cleaned by the high-performance filter 9 can be blown at a high pressure. Therefore, it is preferable as a hand-washing dryer attached to a clean room.

【０００３】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７に
示す装置は、動作開始時にブロア５によって圧縮された
空気の圧力衝撃が高性能フィルタ９にかかると、ブロア
ボックス３側に開口したフィルタ素子と圧縮空気室１０
側に開口したフィルタ素子とで変形が不均一となり、隣
り合う各フィルタ素子の接合部が歪み、繰り返し動作さ
せると破損させる虞があるため、緩衝ボックス４を用
い、圧縮した空気の移動経路を曲げて直接的に高圧空気
が高性能フィルタ９に当たらないようにし、さらに気流
抵抗板８で圧力を緩和させているが、この気流抵抗板８
はブロア５により圧縮された空気の気圧が安定しても抵
抗として作用するため、フィルタ室７にかかる圧力が低
下し、その結果、圧縮空気室１０から吹き出される空気
の圧力も限界があった。一方、被乾燥物は濡れた手のよ
うに面積的な広がりがある場合、全体的に高圧エアを吹
き付けることができれば、乾燥時間をさらに短縮できる
が、供給側の空気の圧力が制限された状態で、吹出しノ
ズル１０ａの数を増やすとさらに圧力が低下し、全面吹
付けによる時間短縮の期待に反して乾燥に時間がかかる
ことからクリーンルームでの作業者の交代時のように、
短時間に多数の作業者が集中する場合には、待ち時間が
必要となり、これを解消するには乾燥機を多数配置する
必要があり、広い設置面積が必要で、騒音も大きくなる
という問題があった。However, when the pressure shock of the air compressed by the blower 5 is applied to the high-performance filter 9 at the start of operation, the device shown in FIG. Compressed air chamber 10
The deformation of the filter element opened to the side becomes uneven, and the joint of each adjacent filter element is distorted and may be damaged when repeatedly operated. Therefore, the movement path of the compressed air is bent using the buffer box 4. The high-pressure air does not directly hit the high-performance filter 9 and the pressure is reduced by the airflow resistance plate 8.
Even if the pressure of the air compressed by the blower 5 stabilizes, it acts as a resistance, so that the pressure applied to the filter chamber 7 is reduced. As a result, the pressure of the air blown out from the compressed air chamber 10 is also limited. . On the other hand, if the material to be dried has an area spread like a wet hand, the drying time can be further reduced if high pressure air can be blown as a whole, but the pressure of the supply side air is limited. Therefore, when the number of the blowing nozzles 10a is increased, the pressure further decreases, and the drying takes a long time, contrary to the expectation of shortening the time by spraying the entire surface.
When a large number of workers are concentrated in a short period of time, waiting time is required.To solve this problem, it is necessary to arrange a large number of dryers, which requires a large installation area and increases noise. there were.

【０００４】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、 ブロア等により与圧
されたガスを取り込むガス取込孔と供給されたガスを取
り出すガス取出孔とを有するフィルタ室と、ガス中に含
まれる異物をろ過するフィルタ素子によって構成され、
フィルタ素子のガス取込面をガス取込孔から離隔させか
つガス取込孔とガス取出孔との間を分離するように挿入
され、ガス取込孔とガス取込面の間及びガス取出面とガ
ス取出孔との間に空間部を形成してフィルタ室内に配置
されたフィルタ部材と、フィルタ部材によって清浄化さ
れたガスを収容し圧縮する圧縮ガス室と、一端が圧縮ガ
ス室に接続され他の面に高圧ガスを吐出するガス吐出口
を開口し、高圧ガスにより被乾燥物表面の付着物を吹き
飛ばし乾燥させるノズルとを備えたことを特徴とする乾
燥機を提供する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed for the purpose of solving the above problems, and has a gas intake hole for taking in gas pressurized by a blower and the like and a gas extraction hole for taking out supplied gas. And a filter element for filtering foreign substances contained in the gas,
The gas intake surface of the filter element is inserted so as to be separated from the gas intake hole and to be separated between the gas intake hole and the gas extraction hole, between the gas intake hole and the gas intake surface, and between the gas intake surface and the gas extraction surface. A filter member formed in the filter chamber with a space formed between the filter member and the gas extraction hole, a compressed gas chamber for containing and compressing gas purified by the filter member, and one end connected to the compressed gas chamber. Provided is a dryer characterized by comprising a gas discharge port for discharging a high-pressure gas on another surface, and a nozzle for blowing off and drying the deposits on the surface of the object to be dried by the high-pressure gas.

【０００５】[0005]

【発明の実施の形態】本発明による乾燥機は、フィルタ
室内にガス取込孔とガス取出孔との間を分離するための
フィルタ部材を配置した後にもフィルタ室内に十分な空
間が形成されるようにして、このフィルタ室に圧縮ガス
室を接続したもので、フィルタ室自体ガスを圧縮する機
能を持たせ、このフィルタ室と圧縮ガス室の間の気圧差
を小さくして、フィルタ部材のフィルタ素子にかかる圧
力衝撃を小さくし、起動後直ちに大量の高圧ガスの発生
を可能とするものであるが、フィルタ室内のガス取込孔
と対向する位置に耐圧部を形成することにより与圧され
たガスの衝撃からフィルタ部材を完全に保護することが
できる。この耐圧部によって供給されたガスの方向をフ
ィルタ室内壁方向に変換することにより、ガスの衝撃か
らフィルタ部材を保護すると同時にフィルタ室内の圧力
上昇をより速やかにして高圧ガスを供給できる。この耐
圧部はフィルタ部材とは別設することの他、フィルタ部
材の一部に直接的に形成することができ、さらにはフィ
ルタ室のガス取込孔と対向する面そのものを耐圧部とし
て利用することができる。フィルタ部材は耐圧部を付設
することにより、そのガス取込面を任意の方向に向ける
ことができるが、フィルタ室のガス取込面をフィルタ室
のガス取込孔の軸とほぼ平行配置することによりガス取
込面の前面に耐圧部を配置しなくても起動時にフィルタ
素子へのガスの直撃が避けられ、フィルタ部材の性能を
最大限発揮させることができ、大量の高圧ガスを供給す
ることができる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In a dryer according to the present invention, a sufficient space is formed in a filter chamber even after a filter member for separating a gas intake hole from a gas exhaust hole is disposed in the filter chamber. In this way, the filter chamber is connected to the compressed gas chamber, and the filter chamber itself has a function of compressing gas, and the pressure difference between the filter chamber and the compressed gas chamber is reduced, so that the filter The pressure shock applied to the element is reduced, and a large amount of high-pressure gas can be generated immediately after startup.However, the pressure is increased by forming a pressure-resistant part at a position facing the gas intake hole in the filter chamber. The filter member can be completely protected from gas impact. By converting the direction of the gas supplied by the pressure-resistant part to the direction of the inner wall of the filter chamber, it is possible to protect the filter member from gas impact and at the same time to increase the pressure in the filter chamber more quickly to supply the high-pressure gas. This pressure-resistant part can be formed directly on a part of the filter member in addition to being provided separately from the filter member. Further, the surface itself of the filter chamber facing the gas intake hole is used as the pressure-resistant part. be able to. By attaching a pressure-resistant part to the filter member, its gas intake surface can be oriented in any direction.However, the gas intake surface of the filter chamber should be arranged almost parallel to the axis of the gas intake hole of the filter chamber. By avoiding direct impact of the gas on the filter element during startup even without a pressure-resistant part in front of the gas intake surface, the performance of the filter member can be maximized and a large amount of high-pressure gas can be supplied. Can be.

【０００６】[0006]

【実施例】以下に本発明の実施例を図１乃至図３から説
明する。図において、１１は本体ボックスで、天板１１
ａに吸気口１１ｂが形成され、背面１１ｃの上下中間部
に作業窓１１ｄが形成されている。天板１１ａの吸気口
１１ｂ部分には格子板１２が着脱自在に取り付けられ、
その内面には図２に示すように格子状支持板１３に支持
された挿入圧力損失が小さいスポンジ状のエアフィルタ
１４が配置されている。１５、１６はそれぞれ天板１１
ａと底板１１ｅの間でかつ作業窓１１ｄの上下位置より
本体ボックス１１内を３つの部屋に仕切る隔壁で、上部
よりブロア室１７、フィルタ室１８、圧縮空気室１９を
形成し、各仕切板１５、１６及び底板１１ｅには貫通孔
が穿設され順次連通している。２０はブロア室１７内に
配置されたブロアで、本体ボックス１１の吸気孔１１ｂ
から取り込んだ空気を圧縮して仕切板１５に形成された
径大の貫通孔（フィルタ室１８の空気取込孔１８ａ）か
ら直接的に圧縮空気をフィルタ室１８に送り込む。２１
は図示例では平板を折り曲げ加工して断面形状を略ひの
字状に成形した仕切板で、凹入部の各面に矩形窓２１
ａ、２１ｂ、２１ｃを形成し、この凹入部を作業窓１１
ｄと対向させ両端を仕切板１５、１６に、両側を本体ボ
ックス１１の内壁に接続し、フィルタ室１８内を空気取
込孔１８ａと仕切板１６に形成された空気取出孔１８ｂ
の間で仕切っている。２２は図４に示す構造のフィルタ
部材で、図示詳細は省略するが、筒状に成形されたフィ
ルタ素子２３を多数、各軸を互いに平行配置し、各フィ
ルタ素子２３の両端の隣り合う部分を交互に閉塞したも
のを枠体２４で囲撓してユニット化したもので、枠体２
４の一端面に発泡性ポリウレタン樹脂などの弾性を有す
る材料からなる環状の緩衝材２５を形成している。この
フィルタ部材２２として例えば、ニッタ株式会社製の超
高性能エアフィルタ（型式３４０１−６Ｘ）を用いるこ
とができ、図示例では３個のユニットを本体ボックス１
１の作業窓１１ｄからフィルタ室１８内に挿入し、それ
ぞれ仕切板２１の凹入部側から緩衝材２５を矩形窓２１
ａ、２１ｂ、２１ｃと対向させて装着し、作業窓１１ｄ
を開閉板２６により気密に閉じている。仕切板２１には
各フィルタ部材２２をガイドし位置決めするガイド板
（符号なし）が配置され、各フィルタ部材２２は互に係
合して位置ずれを防止し、ブロア２０による圧力により
緩衝材２５が仕切板２１に密着し気密性を保つように配
慮されている。 このフィルタ部材２２は空気取込孔１
８ａから離隔し、フィルタ室１８内部にはフィルタ部材
２２を除いた部分に大きな空間部が形成されるため、ブ
ロア２０によって押し込まれた空気はフィルタ室１８内
で圧縮され圧力が上昇する。フィルタ室１８の空気取出
孔１８ｂは圧縮空気室１９に連通し、圧力が上昇した空
気が送り込まれ、さらに圧縮される。２７は圧縮空気室
１９に接続されたノズルで、本体ボックス１１の下端に
接続された脚部２８、２８の間の被乾燥物、例えば濡れ
た手を挿入する挿入部２９内に配置され、このノズル２
７は空気吐出口２７ａを除いてカバー３０で覆われてい
る。このノズル２７は空気吐出口２７ａから高圧空気を
吹出し、被乾燥物に付着した水分や異物を吹き飛ばし、
短時間で乾燥させる。挿入部２９は図示省略するが排気
装置を接続することによって水分や異物を吸引除去する
ことができる。この装置では、フィルタ部材２２（高性
能フィルタ２３）によって清浄化された空気を高圧で吹
き付けることができるため、クリーンルームに付設され
る手洗い乾燥機として最適である。またこの装置では、
フィルタ部材２２の空気取込面が空気取込孔１８ａの軸
と平行に配置され、空気取込孔１８ａがフィルタ室１８
の底面である仕切板１６と対向しているため、ブロア２
０を起動させた際に生じる圧力衝撃は空気取込孔１８ａ
からフィルタ室１８内に送り込まれ、仕切板１６に当た
り、広い空間部に拡散し、圧力が緩和されてフィルタ部
材２２の空気取込面を含む空間部内面にかかるためフィ
ルタ部材２２の損傷が防止される。またフィルタ部材２
２を複数使用して空気の通過断面積を広くしているた
め、大量の空気をろ過して圧縮空気室１９に送り込むこ
とができるから、ノズル２７を増設して空気吐出口２７
ａから大量の空気を吐出させても高圧を維持でき、短時
間で乾燥させることができるからクリーンルームへの入
場時に作業者が集中しても、スムーズに処理できる。こ
のように、起動時間が短く、高圧の空気を連続して大量
に供給できるから、短時間に集中する処理のために装置
を増設する必要がなく、騒音も抑えることができる。ま
たこの実施例ではユニット化されたフィルタ部材２２の
着脱、交換作業が簡単で、保守点検も容易に行うことが
できる。図５は本発明の他の実施例を示す。図におい
て、図１装置と同一物には同一符号を付し重複する説明
を省略する。図中相異するのは、仕切板１５、１６によ
って囲まれたフィルタ室１８と、この内部に配置された
フィルタ部材２２のみである。具体的にはフィルタ室１
８は、空気取込孔１８ａと空気取出孔１８ｂとが同軸配
置されただけの仕切のない空間で、図６に示すように３
個のフィルタ部材２２がそれぞれを三角筒の一側面を構
成するように連結する枠体３１に接続され、この枠体３
１の一端を耐圧板３２で閉塞した組立体３３がフィルタ
室１８に配置され、その耐圧板３２を空気取込孔１８ａ
に対向させ、開放端を空気取出孔１８ｂに接続してい
る。この装置ではブロア２０によりフィルタ室１８内に
取り込まれた空気は、耐圧板３２に当たり、大きな空間
内で圧縮され、フィルタ部材２２を通してエア取出孔１
８ｂから圧縮空気室１９に送り込まれる。この装置も図
１装置と同様にフィルタ部材２２はブロア起動時の圧力
衝撃から保護され、大量の圧縮空気を連続して発生させ
ることができる。尚、図１実施例では、フィルタ部材２
２は左右に３個用いたが、１個でも良いし、多数個筒状
に配置して空気取込面の面積を拡大しフィルタ部材２２
内部から外方に放射方向に空気を通すことによりより大
量の空気を処理することができる。また図５実施例で
は、三角筒状のフィルタ部材２２にて説明したが、筒状
であれば三角筒以外に多角筒、円筒などでもよい。ま
た、その配置方向も、筒状体の軸を空気取込孔１８ａの
軸と同軸配置するだけでなく直交配置してもよく、この
場合には、図示しないが空気取出孔１８ｂにパイプを接
続し、このパイプを筒状フィルタ部材の少なくとも一端
に接続すればよい。また筒状フィルタ部材２２を、その
軸を空気取込孔１８ａの軸と直交させて配置した場合、
筒状体の側壁の一部を耐圧部材で形成し、この耐圧部材
を空気取込孔１８ａと対向させれば良い。また、実施例
では耐圧板３２はフィルタ部材２２と一体形成したが、
フィルタ部材２２とは別に配置することができ、この場
合には耐圧板３２を傾斜させて空気取込孔１８ａから供
給されたガスがフィルタ室１８の内壁に向かうように方
向変換させ、ガスの衝撃をフィルタ室１８内に速やかに
分散させて緩和し、フィルタ部材２２にかかる圧力衝撃
を低減させることができる。さらには、図１、図５実施
例ともエアコンプレッサ、窒素や水素などを加圧充填し
たガスボンベ、あるいはこれらのガスを混合し供給する
ガス供給装置などの与圧ガス供給源とフィルタ室１８の
空気取込孔１８ａとを直接的、間接的に接続可能とすれ
ば、ブロア２０およびブロア室１７は省略できる。ま
た、ブロア室１７、フィルタ室１８、圧縮ガス室１９は
図示例では一体に接続されているが、それぞれをユニッ
ト化し、連接することもでき、この連接体を上下方向に
配置するだけでなく、水平方向に配置したり、各ユニッ
トを上下方向と水平方向に組み合わせ配置することもで
き、さらにはこの連接体を本体ボックス内に収納するこ
ともできる。また本発明をクリーンルームに付属して設
置される手の乾燥機として説明したが、本発明は電子部
品などの洗浄工程で用いられる乾燥機や食器乾燥器など
家庭用電化製品などにも利用できることはいうまでもな
く、それぞれの利用分野で必要とされるフィルタ部材を
選択すれば良い。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. In the figure, reference numeral 11 denotes a main body box,
The air inlet 11b is formed in a, and the working window 11d is formed in the upper and lower middle part of the back surface 11c. A lattice plate 12 is detachably attached to the intake port 11b of the top plate 11a,
As shown in FIG. 2, a sponge-shaped air filter 14 having a small insertion pressure loss and supported by a grid-like support plate 13 is disposed on the inner surface thereof. 15 and 16 respectively indicate the top plate 11
a partition wall which partitions the inside of the main body box 11 into three rooms from the upper and lower positions of the working window 11d between the a and the bottom plate 11e, and a blower chamber 17, a filter chamber 18, and a compressed air chamber 19 are formed from the upper part. , 16 and the bottom plate 11e are provided with through holes and communicate with each other sequentially. Reference numeral 20 denotes a blower arranged in the blower chamber 17, and an intake hole 11 b of the main body box 11.
Compressed air is directly sent from the large-diameter through-hole (the air intake hole 18 a of the filter chamber 18) formed in the partition plate 15 into the filter chamber 18 by compressing the air taken in from the airbag. 21
In the example shown in the figure, a partition plate formed by bending a flat plate to form a cross-sectional shape in a substantially L-shape.
a, 21b, 21c are formed, and these recesses are
d, both ends are connected to partition plates 15 and 16, and both sides are connected to the inner wall of the main body box 11. The inside of the filter chamber 18 is formed with an air intake hole 18 a and an air extraction hole 18 b formed in the partition plate 16.
Is divided between Reference numeral 22 denotes a filter member having the structure shown in FIG. 4. Although not shown in the drawings, a large number of filter elements 23 formed in a cylindrical shape are arranged in parallel with each other, and adjacent portions at both ends of each filter element 23 are formed. The alternately closed ones are unitized by being bent and surrounded by a frame 24.
An annular cushioning member 25 made of an elastic material such as a foamable polyurethane resin is formed on one end surface of the substrate 4. As the filter member 22, for example, an ultra-high performance air filter (model 3401-6X) manufactured by Nitta Corporation can be used.
1 through the working window 11 d into the filter chamber 18, and the cushioning material 25 is inserted into the rectangular window 21 from the recessed portion side of the partition plate 21.
a, 21b, and 21c, and attached to the work window 11d.
Are airtightly closed by an opening / closing plate 26. A guide plate (not shown) for guiding and positioning each filter member 22 is disposed on the partition plate 21. The filter members 22 are engaged with each other to prevent displacement, and the cushioning material 25 is pressed by the blower 20. Care is taken so as to adhere to the partition plate 21 and maintain airtightness. The filter member 22 is provided in the air intake hole 1.
Since a large space is formed in the filter chamber 18 except for the filter member 22, the air pushed in by the blower 20 is compressed in the filter chamber 18 to increase the pressure. The air extraction hole 18b of the filter chamber 18 communicates with the compressed air chamber 19, and the air with increased pressure is sent in and further compressed. Reference numeral 27 denotes a nozzle connected to the compressed air chamber 19, which is disposed in an insertion portion 29 for inserting a dry matter, for example, a wet hand, between the legs 28, 28 connected to the lower end of the main body box 11. Nozzle 2
7 is covered with a cover 30 except for the air discharge port 27a. This nozzle 27 blows out high-pressure air from the air discharge port 27a, and blows off moisture and foreign substances attached to the object to be dried.
Dry in a short time. Although not shown, the insertion portion 29 can suction and remove moisture and foreign matter by connecting an exhaust device. In this apparatus, the air cleaned by the filter member 22 (high-performance filter 23) can be blown at a high pressure, so that it is optimal as a hand-washing and drying machine attached to a clean room. In this device,
The air intake surface of the filter member 22 is disposed parallel to the axis of the air intake hole 18a, and the air intake hole 18a is
Of the blower 2
0 is activated when the pressure shock is generated by the air intake hole 18a.
The filter member 18 is fed into the filter chamber 18, hits the partition plate 16 and diffuses into a wide space, and the pressure is alleviated and applied to the inner surface including the air intake surface of the filter member 22, thereby preventing the filter member 22 from being damaged. You. Filter member 2
2 are used to increase the cross-sectional area of air passage, so that a large amount of air can be filtered and sent to the compressed air chamber 19.
Even if a large amount of air is discharged from a, a high pressure can be maintained and drying can be performed in a short time, so that even if workers concentrate on entering the clean room, processing can be performed smoothly. As described above, since the startup time is short and a large amount of high-pressure air can be continuously supplied, it is not necessary to add an additional device for processing that is concentrated in a short time, and noise can be suppressed. Also, in this embodiment, the attachment / detachment / replacement work of the unitized filter member 22 is simple, and the maintenance and inspection can be easily performed. FIG. 5 shows another embodiment of the present invention. In the figure, the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted. What is different in the figure is only the filter chamber 18 surrounded by the partition plates 15 and 16, and the filter member 22 disposed therein. Specifically, filter chamber 1
Reference numeral 8 denotes an undivided space in which the air intake holes 18a and the air exhaust holes 18b are coaxially arranged. As shown in FIG.
The filter members 22 are connected to a frame 31 that connects the filter members 22 to form one side surface of the triangular cylinder.
An assembly 33 having one end closed by a pressure plate 32 is disposed in the filter chamber 18, and the pressure plate 32 is connected to the air intake hole 18a.
And the open end is connected to the air extraction hole 18b. In this device, the air taken into the filter chamber 18 by the blower 20 hits the pressure-resistant plate 32, is compressed in a large space, and is passed through the filter member 22 to form the air outlet 1.
8b is sent to the compressed air chamber 19. Also in this device, the filter member 22 is protected from the pressure impact at the time of starting the blower similarly to the device in FIG. 1, and a large amount of compressed air can be continuously generated. In the embodiment shown in FIG.
Although two pieces were used on the left and right, one piece may be used, or a large number of pieces may be arranged in a cylindrical shape to increase the area of the air intake surface, and the filter member 22 may be used.
Larger amounts of air can be treated by passing air radially from the inside out. In the embodiment shown in FIG. 5, the filter member 22 is described as having a triangular cylindrical shape. In addition, the arrangement direction may be such that the axis of the cylindrical body is not only coaxially arranged with the axis of the air intake hole 18a but also orthogonally arranged. In this case, although not shown, a pipe is connected to the air extraction hole 18b. Then, this pipe may be connected to at least one end of the cylindrical filter member. When the cylindrical filter member 22 is disposed with its axis orthogonal to the axis of the air intake hole 18a,
Part of the side wall of the cylindrical body may be formed of a pressure-resistant member, and this pressure-resistant member may be opposed to the air intake hole 18a. In the embodiment, the pressure-resistant plate 32 is formed integrally with the filter member 22.
In this case, the pressure plate 32 is inclined so that the gas supplied from the air intake hole 18a is changed in direction toward the inner wall of the filter chamber 18 so that the gas impact is prevented. Can be promptly dispersed and alleviated in the filter chamber 18, and the pressure impact on the filter member 22 can be reduced. 1 and 5, the pressurized gas supply source such as an air compressor, a gas cylinder pressurized and filled with nitrogen or hydrogen, or a gas supply device for mixing and supplying these gases, and the air in the filter chamber 18 are provided. If the intake hole 18a can be connected directly or indirectly, the blower 20 and the blower chamber 17 can be omitted. Further, the blower chamber 17, the filter chamber 18, and the compressed gas chamber 19 are integrally connected in the illustrated example. However, each of them can be unitized and connected. The units can be arranged in the horizontal direction, or the units can be arranged in combination in the up-down direction and the horizontal direction, and further, this connecting body can be stored in the main body box. Although the present invention has been described as a hand dryer attached to a clean room, the present invention can also be used for household appliances such as a dryer and a dish dryer used in a washing process of electronic components and the like. Needless to say, it is only necessary to select a filter member required in each application field.

【０００７】[0007]

【発明の効果】以上のように、本発明による乾燥機は起
動時に圧力衝撃を生じてもフィルタ素子の破損を防止す
ることができ、大量の高圧ガスを供給することができ
る。As described above, the dryer according to the present invention can prevent the filter element from being damaged even when a pressure shock occurs at the time of startup, and can supply a large amount of high-pressure gas.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 本発明の実施例を示す乾燥機の一部破断斜視
図FIG. 1 is a partially cutaway perspective view of a dryer showing an embodiment of the present invention.

【図２】 図１装置の背面からみた断面図FIG. 2 is a cross-sectional view of the apparatus shown in FIG.

【図３】 図１装置のフィルタ室の平断面図FIG. 3 is a plan sectional view of a filter chamber of the apparatus of FIG. 1;

【図４】 フィルタ部材の平断面図FIG. 4 is a plan sectional view of a filter member.

【図５】 本発明の他の実施例を示す要部断面背面図FIG. 5 is a sectional rear view of a main part showing another embodiment of the present invention.

【図６】 図５装置に用いられるフィルタ部材の組立体
を示す平面図FIG. 6 is a plan view showing an assembly of a filter member used in the apparatus of FIG. 5;

【図７】 高性能フィルタを用いた乾燥機の従来例を示
す正断面図FIG. 7 is a front sectional view showing a conventional example of a dryer using a high-performance filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１８ フィルタ室 １８ａ ガス取込孔 １８ｂ ガス取出孔 １９ 圧縮ガス室 ２２ フィルタ部材 ２３ フィルタ素子 ２７ ノズル ２７ａ ガス吐出口 Reference Signs List 18 filter chamber 18a gas inlet 18b gas outlet 19 compressed gas chamber 22 filter member 23 filter element 27 nozzle 27a gas outlet

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 康平 滋賀県大津市晴嵐２丁目９番１号 関西 日本電気株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−109533（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−116076（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) A47K 10/48 F26B 9/06 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kohei Mori 2-9-1, Hararashi, Otsu-shi, Shiga Kansai NEC Corporation (56) References JP-A-61-109533 (JP, A) 7-116076 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁷ , DB name) A47K 10/48 F26B 9/06

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】与圧されたガスを取り込むガス取込孔と供
給されたガスを取り出すガス取出孔とを有するフィルタ
室と、ガス中に含まれる異物をろ過するフィルタ素子に
よって構成され、フィルタ素子のガス取込面をガス取込
孔から離隔させかつガス取込孔とガス取出孔との間を分
離するように挿入され、ガス取込孔とガス取込面の間及
びガス取出面とガス取出孔との間に空間部を形成してフ
ィルタ室内に配置されたフィルタ部材と、フィルタ室に
連通しフィルタ部材によって清浄化されたガスを収容し
圧縮する圧縮ガス室と、一端が圧縮ガス室に接続され他
の面に高圧ガスを吐出するガス吐出口を開口し、高圧ガ
スにより被乾燥物表面の付着物を吹き飛ばし乾燥させる
ノズルとを備えたことを特徴とする乾燥機。1. A filter element comprising: a filter chamber having a gas inlet for taking in pressurized gas and a gas outlet for taking out supplied gas; and a filter element for filtering foreign substances contained in the gas. Is inserted so as to separate the gas intake surface from the gas intake hole and separate between the gas intake hole and the gas extraction hole, and between the gas intake hole and the gas intake surface and between the gas extraction surface and the gas intake surface. A filter member that forms a space between the discharge hole and the filter member, and is disposed in the filter chamber; a compressed gas chamber that communicates with the filter chamber and stores and compresses the gas purified by the filter member; And a nozzle for opening a gas discharge port for discharging a high-pressure gas to the other surface, and for blowing off the adhered matter on the surface of the object to be dried by the high-pressure gas. 【請求項２】フィルタ室内のガス取込孔と対向する位置
に、与圧されて供給されるガスの衝撃を受ける耐圧部を
形成したことを特徴とする請求項１に記載の乾燥機。2. The dryer according to claim 1, wherein a pressure-resistant portion is formed at a position facing the gas intake hole in the filter chamber to receive a shock of gas supplied under pressure. 【請求項３】耐圧部が、供給されたガスの方向をフィル
タ室内壁に向けて変換するように形成されたことを特徴
とする請求項２に記載の乾燥機。3. The dryer according to claim 2, wherein the pressure-resistant portion is formed so as to change the direction of the supplied gas toward the inner wall of the filter chamber. 【請求項４】フィルタ部材の一部に耐圧部を形成したこ
とを特徴とする請求項２に記載の乾燥機。4. The dryer according to claim 2, wherein a pressure-resistant portion is formed in a part of the filter member. 【請求項５】フィルタ室のガス取込孔と対向する面に耐
圧部を形成したことを特徴とする請求項２に記載の乾燥
機。5. The dryer according to claim 2, wherein a pressure-resistant portion is formed on a surface of the filter chamber facing the gas intake hole. 【請求項６】フィルタ室のガス取込孔の軸とフィルタ部
材のガス取込面をほぼ平行配置したことを特徴とする請
求項１に記載の乾燥機。6. The dryer according to claim 1, wherein the axis of the gas intake hole of the filter chamber and the gas intake surface of the filter member are arranged substantially in parallel.