JP3352827B2 - 石英ガラス製バーナ - Google Patents
石英ガラス製バーナInfo
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- JP3352827B2 JP3352827B2 JP20639994A JP20639994A JP3352827B2 JP 3352827 B2 JP3352827 B2 JP 3352827B2 JP 20639994 A JP20639994 A JP 20639994A JP 20639994 A JP20639994 A JP 20639994A JP 3352827 B2 JP3352827 B2 JP 3352827B2
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- tip
- quartz glass
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造用の石英炉
芯管の内部燃焼や、ウエハ支持ボート、引出し棒等の各
種治具を製造する火加工に使用される改善されたノズル
を有する石英ガラス製バーナに関する。
芯管の内部燃焼や、ウエハ支持ボート、引出し棒等の各
種治具を製造する火加工に使用される改善されたノズル
を有する石英ガラス製バーナに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、上記石英ガラス製バーナは、通
常、図３に示すようにノズルの流体通路の先絞り開始部
９の肉厚を保持して先端１０にかけて先絞りの筒状に形
成されたものが使用されている。
常、図３に示すようにノズルの流体通路の先絞り開始部
９の肉厚を保持して先端１０にかけて先絞りの筒状に形
成されたものが使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような石英ガラス
製バーナのノズルでは、使用中にノズルの先端部が、ガ
スの燃焼熱により減り、薄肉化して部分的に欠け落ち、
これがごみの発生源となる。このようなごみは、石英炉
芯管の内部に浮遊してウエハ表面に付着したり、また、
火加工中の治具に付着しこれから遊離したごみが熱処理
中のウエハ表面に付着してウエハの製品不良の原因にな
る。
製バーナのノズルでは、使用中にノズルの先端部が、ガ
スの燃焼熱により減り、薄肉化して部分的に欠け落ち、
これがごみの発生源となる。このようなごみは、石英炉
芯管の内部に浮遊してウエハ表面に付着したり、また、
火加工中の治具に付着しこれから遊離したごみが熱処理
中のウエハ表面に付着してウエハの製品不良の原因にな
る。
【０００４】またノズル先端部の部分的な欠けは、ノズ
ル先端の開口径を変化させて、ガスの排出量や、加熱条
件を変化させてしまい、製品に悪影響を与える。本発明
は、使用中の燃焼熱によって容易にノズルの先端が部分
的に欠け落ちることのない石英ガラス製バーナを提供す
ることを目的とする。
ル先端の開口径を変化させて、ガスの排出量や、加熱条
件を変化させてしまい、製品に悪影響を与える。本発明
は、使用中の燃焼熱によって容易にノズルの先端が部分
的に欠け落ちることのない石英ガラス製バーナを提供す
ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の石英ガラス製バ
ーナは、半導体製造用の各種治具を製造する火加工に使
用されるもので、ノズルの流体通路の先絞り部の肉厚
を、その先絞り開始部から先端に向けて連続的に厚肉化
させ、該先絞り開始部の肉厚の１．５倍から３倍に形成
している。上記本発明の石英ガラス製バーナは、ノズル
の流体通路の先絞り先端の内径を一定に保持した先端部
分を有するようにすると良く、また、ノズルの先端部分
を、ノズルの流体通路の先絞り開始部とほぼ同じ外径を
有する筒状に形成すると良い。さらに、本発明の石英ガ
ラス製バーナは、ノズルの先端部分が、ノズルの流体通
路の先絞り部先端面より８ｍｍ以上の長さに形成された
厚肉保持部分とすると良い。
ーナは、半導体製造用の各種治具を製造する火加工に使
用されるもので、ノズルの流体通路の先絞り部の肉厚
を、その先絞り開始部から先端に向けて連続的に厚肉化
させ、該先絞り開始部の肉厚の１．５倍から３倍に形成
している。上記本発明の石英ガラス製バーナは、ノズル
の流体通路の先絞り先端の内径を一定に保持した先端部
分を有するようにすると良く、また、ノズルの先端部分
を、ノズルの流体通路の先絞り開始部とほぼ同じ外径を
有する筒状に形成すると良い。さらに、本発明の石英ガ
ラス製バーナは、ノズルの先端部分が、ノズルの流体通
路の先絞り部先端面より８ｍｍ以上の長さに形成された
厚肉保持部分とすると良い。
【０００６】石英ガラス製バーナは、一般に筒状本体の
外径が１０ｍｍ〜２０ｍｍ、肉厚が２〜３ｍｍ、ノズル
の流体通路の先絞り部は、バーナ本体の肉厚を保持した
まま先絞り円筒状に形成され、ノズルの流体通路の先絞
り開始部から先端部までの長さが、２０ｍｍ〜７０ｍ
ｍ、先絞り傾斜角度が、筒状本体の軸方向に対して１０
〜３０度に形成されている。
外径が１０ｍｍ〜２０ｍｍ、肉厚が２〜３ｍｍ、ノズル
の流体通路の先絞り部は、バーナ本体の肉厚を保持した
まま先絞り円筒状に形成され、ノズルの流体通路の先絞
り開始部から先端部までの長さが、２０ｍｍ〜７０ｍ
ｍ、先絞り傾斜角度が、筒状本体の軸方向に対して１０
〜３０度に形成されている。
【０００７】本発明の石英ガラス製バーナは、上記一般
のバーナにおいて、ノズルの流体通路の先絞り部の肉厚
を先絞り開始部から先端にかけて、流体通路の形状を保
持したまま、徐々に厚く形成させることが重要である。
厚肉化されたノズルの先端の肉厚は、ノズルの流体通路
の先絞り開始部の肉厚の１．５倍から３倍程度に形成す
るのが好ましいが、バーナの形状や大きさによって適宜
選択形成される。通常、ノズルの先端の厚肉化を大きく
するほどバーナの耐火安定性は向上するが、ノズル先端
の外径は、ノズルの流体通路の先絞り開始部の外径とほ
ぼ同じ筒状に形成するのが実用的である。ノズルの先端
の肉厚が、ノズルの流体通路の先絞り開始部の肉厚の
１．５倍以上ないと、本発明の石英ガラス製バーナノズ
ルの耐久性の向上が図れず、また、ノズル先端の外径が
ノズルの流体通路の先絞り開始部の外径よりも大きくな
ると、火加工の際、扱いにくく、製品に接触する等の不
都合を生じるので好ましくない。
のバーナにおいて、ノズルの流体通路の先絞り部の肉厚
を先絞り開始部から先端にかけて、流体通路の形状を保
持したまま、徐々に厚く形成させることが重要である。
厚肉化されたノズルの先端の肉厚は、ノズルの流体通路
の先絞り開始部の肉厚の１．５倍から３倍程度に形成す
るのが好ましいが、バーナの形状や大きさによって適宜
選択形成される。通常、ノズルの先端の厚肉化を大きく
するほどバーナの耐火安定性は向上するが、ノズル先端
の外径は、ノズルの流体通路の先絞り開始部の外径とほ
ぼ同じ筒状に形成するのが実用的である。ノズルの先端
の肉厚が、ノズルの流体通路の先絞り開始部の肉厚の
１．５倍以上ないと、本発明の石英ガラス製バーナノズ
ルの耐久性の向上が図れず、また、ノズル先端の外径が
ノズルの流体通路の先絞り開始部の外径よりも大きくな
ると、火加工の際、扱いにくく、製品に接触する等の不
都合を生じるので好ましくない。
【０００８】本発明の石英ガラス製バーナでは、ノズル
の流体通路の先絞り部の肉厚を、その先絞り開始部から
先端に向けて連続的に厚肉化させるが、ノズルの先端部
の耐久性を更に高めるため、先端に、ノズルの流体通路
の先絞り先端の内径と外径を一定に保持した厚肉保持部
分を形成すると良い。この厚肉保持部分は、通常、ノズ
ルの先端面より８ｍｍ以上の長さに形成すると良く、こ
の部分の長さが、８ｍｍより小さいとノズルの先端部の
強度増加の効果が薄くなる。
の流体通路の先絞り部の肉厚を、その先絞り開始部から
先端に向けて連続的に厚肉化させるが、ノズルの先端部
の耐久性を更に高めるため、先端に、ノズルの流体通路
の先絞り先端の内径と外径を一定に保持した厚肉保持部
分を形成すると良い。この厚肉保持部分は、通常、ノズ
ルの先端面より８ｍｍ以上の長さに形成すると良く、こ
の部分の長さが、８ｍｍより小さいとノズルの先端部の
強度増加の効果が薄くなる。
【０００９】
【作用】本発明の石英ガラス製バーナは、ノズルの流体
通路の先絞り部の肉厚が、先絞り開始部から先端に向け
て連続的に厚肉に形成され、さらには先端がノズルの先
端の内径と外径を一定に保持した部分を有する構成であ
るため、堅牢であり、使用中の燃焼熱によって容易に減
ることがなく、ノズルの先端が部分的に欠け落ちること
がない。
通路の先絞り部の肉厚が、先絞り開始部から先端に向け
て連続的に厚肉に形成され、さらには先端がノズルの先
端の内径と外径を一定に保持した部分を有する構成であ
るため、堅牢であり、使用中の燃焼熱によって容易に減
ることがなく、ノズルの先端が部分的に欠け落ちること
がない。
【００１０】
【実施例】以下、添付図面により本発明の石英ガラス製
バーナの一例を具体的に説明する。図１は、本発明の石
英ガラス製バーナの流体通路の先絞り部を含む部分概略
縦断面図であり、図２は、本発明の他の例の石英ガラス
製バーナの流体通路の先絞り部を含む部分概略縦断面図
である。図１に示すように、本発明の石英ガラス製バー
ナ１は、ノズルの流体通路の先絞り部２の肉厚が、先絞
り開始部３から先端に向けて連続的に厚肉化され、外形
が先絞りの筒状に形成されている。また、図２で示す本
発明の石英ガラス製バーナ４では、ノズルの流体通路の
先絞り部５の肉厚が、その先絞り開始部６から先端に向
けて連続的に厚肉化されると共に、先端には、ノズルの
流体通路の先絞り先端７の内径と外径を一定に保持した
厚肉保持部分８が形成され、先端の外径が、ノズルの流
体通路の先絞り開始部６の外径と同じで筒状に形成され
ている。
バーナの一例を具体的に説明する。図１は、本発明の石
英ガラス製バーナの流体通路の先絞り部を含む部分概略
縦断面図であり、図２は、本発明の他の例の石英ガラス
製バーナの流体通路の先絞り部を含む部分概略縦断面図
である。図１に示すように、本発明の石英ガラス製バー
ナ１は、ノズルの流体通路の先絞り部２の肉厚が、先絞
り開始部３から先端に向けて連続的に厚肉化され、外形
が先絞りの筒状に形成されている。また、図２で示す本
発明の石英ガラス製バーナ４では、ノズルの流体通路の
先絞り部５の肉厚が、その先絞り開始部６から先端に向
けて連続的に厚肉化されると共に、先端には、ノズルの
流体通路の先絞り先端７の内径と外径を一定に保持した
厚肉保持部分８が形成され、先端の外径が、ノズルの流
体通路の先絞り開始部６の外径と同じで筒状に形成され
ている。
【００１１】
【発明の効果】本発明の石英ガラス製バーナによれば、
使用中の燃焼熱によってノズルの先端部分が薄くなり、
欠け落ちてごみとなることがないので、長期に亘って、
安定した性能を発揮できる。
使用中の燃焼熱によってノズルの先端部分が薄くなり、
欠け落ちてごみとなることがないので、長期に亘って、
安定した性能を発揮できる。
【図１】本発明の石英ガラス製バーナのノズル部分の概
略縦断面図である。
略縦断面図である。
【図２】本発明の他の例の石英ガラス製バーナのノズル
部分の概略縦断面図である。
部分の概略縦断面図である。
【図３】従来の石英ガラス製バーナのノズル部分の概略
縦断面図である。
縦断面図である。
１ 石英ガラス製バーナ ２ ノズルの先絞り部 ３ ノズルの先絞り開始部 ４ 石英ガラス製バーナ ５ ノズルの先絞り部 ６ ノズルの先絞り開始部 ７ ノズルの流体通路の先絞り先端 ８ 厚肉保持部分 ９ ノズルの先絞り開始部 １０ ノズルの先端
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F23D 14/48 C03C 3/06
Claims (4)
- 【請求項１】 石英ガラス製バーナにおいて、ノズルの
流体通路の先絞り部の肉厚を、その先絞り開始部から先
端に向けて連続的に厚肉化させ、該先絞り開始部の肉厚
の１．５倍から３倍に形成することを特徴とする半導体
製造用の各種治具を製造する火加工に使用される石英ガ
ラス製バーナ。 - 【請求項２】 ノズルの流体通路の先絞り先端の内径を
一定に保持した先端部分を有することを特徴とする請求
項１に記載の石英ガラス製バーナ。 - 【請求項３】 ノズルの先端部分を、ノズルの流体通路
の先絞り開始部とほぼ同じ外径を有する筒状に形成して
なる請求項１または２記載の石英ガラス製バーナ。 - 【請求項４】 ノズルの先端部分が、ノズルの流体通路
の先絞り部先端面より８ｍｍ以上の長さに形成された厚
肉保持部分である請求項２または３記載の石英ガラス製
バーナ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20639994A JP3352827B2 (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 石英ガラス製バーナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20639994A JP3352827B2 (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 石英ガラス製バーナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0868515A JPH0868515A (ja) | 1996-03-12 |
| JP3352827B2 true JP3352827B2 (ja) | 2002-12-03 |
Family
ID=16522718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20639994A Expired - Fee Related JP3352827B2 (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 石英ガラス製バーナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3352827B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1321289C (zh) * | 2001-12-04 | 2007-06-13 | 株式会社爱特科 | 石英玻璃制流体供给用多孔燃烧器头及热加工用燃烧器 |
| KR100817111B1 (ko) * | 2006-09-26 | 2008-03-27 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 래들가열용 산소부화 버너 |
-
1994
- 1994-08-31 JP JP20639994A patent/JP3352827B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0868515A (ja) | 1996-03-12 |
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