JP3347709B2 - Method for manufacturing color filter and method for manufacturing liquid crystal display device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドの反りの調整方法及び調整装置及びカラーフィルタ
の製造方法及び液晶表示装置の製造方法に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for adjusting the warpage of an ink jet head, a method for manufacturing a color filter, and a method for manufacturing a liquid crystal display.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータの発達、
特に携帯用パーソナルコンピュータの発達に伴い、液晶
ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレイの需要
が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普及の
ためには液晶ディスプレイのコストダウンが必要であ
り、特にコスト的に比重の高いカラーフイルタのコスト
ダウンに対する要求が高まっている。従来から、カラー
フイルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべ
く種々の方法が試みられているが、いまだ全ての要求特
性を満足する方法は確立されていない。以下にそれぞれ
の方法を説明する。第１の方法は顔料分散法である。こ
の方法は、基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成
し、これをパターニングすることにより単色のパターン
を得る。更にこの工程を３回繰り返すことによりＲ、
Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成する。2. Description of the Related Art In recent years, the development of personal computers,
In particular, with the development of portable personal computers, the demand for liquid crystal displays, especially color liquid crystal displays, tends to increase. However, for further widespread use, it is necessary to reduce the cost of the liquid crystal display, and in particular, there is an increasing demand for reducing the cost of a color filter having a high specific gravity. Conventionally, various methods have been tried to satisfy the above-mentioned requirements while satisfying the required characteristics of the color filter, but a method for satisfying all the required characteristics has not yet been established. The respective methods will be described below. The first method is a pigment dispersion method. In this method, a photosensitive resin layer in which a pigment is dispersed is formed on a substrate, and a monochromatic pattern is obtained by patterning the photosensitive resin layer. Further, by repeating this process three times, R,
G and B color filter layers are formed.

【０００３】第２の方法は染色法である。染色法は、ガ
ラス基板上に染色用の材料である水溶性高分子材料を塗
布し、これをフオトリソグラフィー工程により所望の形
状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に
浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返
すことによりＲ、Ｇ、Ｂのカラーフイルタ層を形成す
る。[0003] The second method is a dyeing method. In the dyeing method, a water-soluble polymer material, which is a material for dyeing, is applied on a glass substrate, and is patterned into a desired shape by a photolithography process. Get a pattern. This is repeated three times to form R, G, B color filter layers.

【０００４】第３の方法としては電着法がある。この方
法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹
脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を
電着する。この工程を３回繰り返してＲ、Ｇ、Ｂのカラ
ーフイルタ層を形成し、最後に焼成するものである。As a third method, there is an electrodeposition method. In this method, a transparent electrode is patterned on a substrate, and immersed in an electrodeposition coating solution containing a pigment, a resin, an electrolytic solution, and the like to electrodeposit a first color. This process is repeated three times to form R, G, and B color filter layers, and finally fired.

【０００５】第４の方法としては印刷法がある。この方
法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰
り返すことによりＲ、Ｇ、Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱
硬化させることにより着色層を形成するものである。ま
た、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成す
るのが一般的である。As a fourth method, there is a printing method. In this method, a pigment is dispersed in a thermosetting resin, R, G, and B are separately applied by repeating printing three times, and then the resin is thermoset to form a colored layer. In any method, a protective layer is generally formed on the colored layer.

【０００６】これらの方法に共通している点は、Ｒ、
Ｇ、Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
更に、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術ではＴＦＴ用には適用が難し
い。また、印刷法は、解像性、平滑性が悪いためファイ
ンピッチのパターンは形成が難しい。The common features of these methods are R,
In order to color the three colors G and B, the same process needs to be repeated three times, which increases the cost. In addition, there is a problem that the yield decreases as the number of steps increases.
Further, in the electrodeposition method, since a pattern shape that can be formed is limited, it is difficult to apply the current technology to a TFT. In the printing method, it is difficult to form a fine pitch pattern due to poor resolution and smoothness.

【０００７】これらの欠点を補うべく、特開昭５９−７
５２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報ある
いは特開平１−２１７３２０号公報等には、インクジェ
ット方式を用いてカラーフイルタを製造する方法が開示
されている。これらの方法は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の三色の色素を含有するインクをインクジェット
方式で光透過性の基板上に噴射し、各インクを乾燥させ
て着色画像部を形成するものである。こうしたインクジ
ェット方式では、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素の形成を一度に行
うことが可能で大幅な製造工程の簡略化と、大幅なコス
トダウン効果を得ることが出来る。To compensate for these drawbacks, Japanese Patent Application Laid-Open No.
JP-A-5205, JP-A-63-235901 and JP-A-1-217320 disclose a method of manufacturing a color filter using an ink jet system. These methods are R (red), G (green), B
An ink containing three (blue) dyes is jetted onto a light-transmissive substrate by an inkjet method, and each ink is dried to form a colored image portion. In such an ink-jet method, each of the R, G, and B pixels can be formed at a time, so that a great simplification of the manufacturing process and a great cost reduction effect can be obtained.

【０００８】[0008]

【発明が解決しようとする課題】このようなインクジェ
ット方式の１つとして、インクを熱エネルギーにより膜
沸騰させて気泡を生じさせ、その気泡の体積膨張により
インクを押し出して吐出する所謂バブルジェット（登録
商標）方式と呼ばれる方法がある。インクジェットヘッ
ドにこのようなバブルジェット方式を用いた場合、発生
する熱エネルギーによりヘッドの温度が上昇する。この
ような温度上昇は、ヘッドを熱膨張させて、インクの吐
出ノズルの位置ズレを引き起こす原因となる。特に最近
では、多数のノズルを並べた長尺状のヘッドを用い、そ
のノズルの並び方向と略直交する方向にヘッドを走査
し、一度に多数の画素列を着色する方法が用いられる様
になってきており、ヘッドの長手方向の伸びによるノズ
ルの位置ズレは重要な問題となってきている。As one of such ink-jet systems, a so-called bubble jet (registered) for ejecting ink by causing ink to boil by heat energy to generate air bubbles and expanding and discharging the ink by volume expansion of the air bubbles. (Trademark) system. When such a bubble jet method is used for an ink jet head, the temperature of the head increases due to the generated thermal energy. Such a rise in temperature causes the head to thermally expand, causing a positional shift of the ink discharge nozzle. In particular, recently, a method of using a long head in which a large number of nozzles are arranged, scanning the head in a direction substantially orthogonal to the arrangement direction of the nozzles, and coloring a large number of pixel rows at a time has been used. And the positional deviation of the nozzle due to the longitudinal extension of the head has become an important problem.

【０００９】また、上記のような長尺状のヘッドでは、
多数のノズルがμｍオーダーで一直線状に並ぶようにヘ
ッドを製造することは困難であり、特にカラーフィルタ
の製造の様に高度なインクの着弾精度が要求される場合
には、ノズルの位置精度を改善することが重要な課題と
なってきている。[0009] In the long head as described above,
It is difficult to manufacture a head such that a large number of nozzles are arranged in a straight line in the order of μm. In particular, when a high degree of ink landing accuracy is required, such as in the manufacture of color filters, the nozzle position accuracy must be reduced. Improvement is becoming an important issue.

【００１０】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、長尺状のインクジェッ
トヘッドのノズルを一直線状に精度良く並べることであ
る。Accordingly, the present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to arrange nozzles of a long ink jet head with high accuracy in a straight line.

【００１１】[0011]

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタ
の製造方法は、長手方向に複数のインク吐出口が配列さ
れたインクジェットヘッドを用い、当該インクジェット
ヘッドから基板へ向けてインクを吐出して複数の画素を
着色することによりカラーフィルタを製造する方法であ
って、前記インクジェットヘッドの反りを調整する反り
調整工程と、前記反り調整工程において反りの調整が行
われたインクジェットヘッドから前記基板へ向けてイン
クを吐出して複数の画素を着色する着色工程とを有し、
前記インクジェットヘッドには、当該インクジェットヘ
ッドの反りを調整するためのプレートが前記長手方向に
沿って取り付けられており、前記プレートには、前記長
手方向に複数の第１のネジ穴が形成されていると共に、
前記インクジェットヘッドには、前記第１のネジ穴に対
応する位置に前記第１のネジ穴よりも小さな第２のネジ
穴が形成されており、前記反り調整工程では、前記第１
のネジ穴を介して前記第２のネジ穴に螺合する第２のネ
ジを前記第２のネジ穴にねじ込むことにより、前記イン
クジェットヘッドを前記プレートに近づける方向へ移動
させる動作と、前記第１のネジ穴に該第１のネジ穴に螺
合する第１のネジをねじ込むことにより、前記インクジ
ェットヘッドを前記プレートから遠ざける方向へ移動さ
せる動作の少なくとも一方の動作を行うことにより、前
記インクジェットヘッドの反りを調整することを特徴と
している。Means for Solving the Problems The above-mentioned problems are solved,
In order to achieve the object, a color filter according to the present invention is provided.
Manufacturing method, a plurality of ink ejection ports are arranged in the longitudinal direction.
Inkjet head using
By discharging ink from the head to the substrate, multiple pixels are
This is a method of manufacturing a color filter by coloring.
The warpage of adjusting the warpage of the inkjet head
In the adjusting step and the warpage adjusting step, the warpage is adjusted.
From the broken inkjet head to the substrate
A coloring process of coloring a plurality of pixels by discharging
The inkjet head has an inkjet head.
The plate for adjusting the warpage of the pad
Attached along the length of the plate
A plurality of first screw holes are formed in the hand direction,
The ink jet head has a hole corresponding to the first screw hole.
A second screw smaller than the first screw hole at a corresponding position;
A hole is formed, and in the warpage adjustment step, the first
A second screw screwed into the second screw hole through the screw hole of
Screw into the second screw hole, thereby
Move the jet head toward the plate
Operation, and screwing the first screw hole into the first screw hole.
By screwing the first screw that fits,
The head in the direction away from the plate.
By performing at least one of the actions
It is characterized in that the warpage of the inkjet head is adjusted .

【００１２】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記反り調整工程は、前記インクジ
ェットヘッドの複数のインク吐出口をカメラで撮像する
工程と、前記撮像された複数のインク吐出口をモニター
に表示する工程と、前記モニターに表示された複数のイ
ンク吐出口の位置を観察しながら前記インクジェットヘ
ッドの反りを矯正する工程とを含むことを特徴としてい
る。Further, the color filter of the present invention
In the manufacturing method, the warpage adjusting step may include the step of
Imaging multiple ink ejection ports of the jet head with a camera
Monitoring the plurality of imaged ink ejection ports
And displaying a plurality of images displayed on the monitor.
While observing the position of the ink discharge port,
Correcting the warpage of the pad .

【００１３】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記反り調整工程は、前記インクジ
ェットヘッドの複数のインク吐出口をカメラで撮像する
工程と、前記撮像された複数のインク吐出口をモニター
に表示する工程と、前記モニターに表示された複数のイ
ンク吐出口の位置を観察しながら前記インクジェットヘ
ッドの反りを矯正する工程とを含むことを特徴としてい
る。Further, the color filter of the present invention
In the manufacturing method, the warpage adjusting step may include the step of
Imaging multiple ink ejection ports of the jet head with a camera
Monitoring the plurality of imaged ink ejection ports
And displaying a plurality of images displayed on the monitor.
While observing the position of the ink discharge port,
Correcting the warpage of the pad .

【００１４】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記プレートの熱容量は、前記イン
クジェットヘッドの熱容量の２倍以上４倍以下であるこ
とを特徴としている。Further, the color filter of the present invention
In the manufacturing method, the heat capacity of the plate
It is characterized in that the heat capacity is not less than twice and not more than four times the heat capacity of the jet head .

【００１５】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記インクジェットヘッドは、熱エ
ネルギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、
インクに与える熱エネルギーを発生するための熱エネル
ギー発生体を備えることを特徴としている。Also, the color filter according to the present invention
In the manufacturing method , the inkjet head is a head that ejects ink using thermal energy,
It is characterized by having a thermal energy generator for generating thermal energy given to the ink.

【００１６】また、この発明に係わるカラーフィルタの
製造方法において、前記画素は、前記基板上に形成され
るブラックマトリクスで区画された領域であることを特
徴としている。Further, the color filter according to the present invention
In the manufacturing method, the pixel is formed on the substrate.
It is characterized by being a region partitioned by a black matrix .

【００１７】また、本発明に係わる液晶表示装置の製造
方法は、インクジェットヘッドから基板に向けてインク
を吐出することにより製造されるカラーフィルタを有す
る液晶表示装置を製造する方法であって、上記の製造方
法によりカラーフィルタを製造する工程と、カラーフィ
ルタに対向する対向基板と前記製造されたカラーフィル
タとの間に液晶化合物を封入する工程と、を備えること
を特徴としている。Further, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention is a method of manufacturing a liquid crystal display device having a color filter manufactured by discharging ink from an ink jet head toward a substrate. The method includes a step of manufacturing a color filter by a manufacturing method, and a step of sealing a liquid crystal compound between the counter substrate facing the color filter and the manufactured color filter.

【００１８】[0018]

【００１９】[0019]

【００２０】[0020]

【００２１】[0021]

【００２２】[0022]

【００２３】[0023]

【００２４】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

【００２５】図１はカラーフィルタの製造装置の一実施
形態の構成を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of an embodiment of a color filter manufacturing apparatus.

【００２６】図１において、５１は装置架台、５２は架
台５１上に配置されたＸＹθステージ、５３はＸＹθス
テージ５２上にセットされたカラーフィルタ基板、５４
はカラーフィルタ基板５３上に形成されるカラーフィル
タ、５５はカラーフィルタ５４の着色を行うＲ（赤）,
Ｇ（緑）,Ｂ（青）のインクジェットヘッド、５８はカ
ラーフィルタ製造装置９０の全体動作を制御するコント
ローラ、５９はコントローラの表示部であるところのテ
ィーチングペンダント（パソコン）、６０はティーチン
グペンダント５９の操作部であるところのキーボードを
示している。In FIG. 1, reference numeral 51 denotes an apparatus mount; 52, an XYθ stage disposed on the mount 51; 53, a color filter substrate set on the XYθ stage 52;
Is a color filter formed on the color filter substrate 53, 55 is R (red) for coloring the color filter 54,
G (green) and B (blue) ink jet heads; 58, a controller for controlling the overall operation of the color filter manufacturing apparatus 90; 59, a teaching pendant (personal computer) as a display unit of the controller; 60, a teaching pendant 59; The keyboard as an operation unit is shown.

【００２７】図２はカラーフィルタ製造装置９０の制御
コントローラの構成図である。５９は制御コントローラ
５８の入出力手段であるティーチングペンダント、６２
は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表
示する表示部、６０はカラーフィルタ製造装置９０の動
作等を指示する操作部（キーボード）である。FIG. 2 is a configuration diagram of a control controller of the color filter manufacturing apparatus 90. 59 is a teaching pendant which is an input / output means of the controller 58;
Reference numeral denotes a display unit for displaying information such as the progress of manufacturing and whether or not the head is abnormal. Reference numeral 60 denotes an operation unit (keyboard) for instructing the operation of the color filter manufacturing apparatus 90 and the like.

【００２８】５８はカラーフィルタ製造装置９０の全体
動作を制御するところのコントローラ、６５はティーチ
ングペンダント５９とのデータの受け渡しを行うインタ
フェース、６６はカラーフィルタ製造装置９０の制御を
行うＣＰＵ、６７はＣＰＵ６６を動作させるための制御
プログラムを記憶しているＲＯＭ、６８は生産情報等を
記憶するＲＡＭ、７０はカラーフィルタの各画素内への
インクの吐出を制御する吐出制御部、７１はカラーフィ
ルタ製造装置９０のＸＹθステージ５２の動作を制御す
るステージ制御部、９０はコントローラ５８に接続さ
れ、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装置
を示している。Reference numeral 58 denotes a controller for controlling the overall operation of the color filter manufacturing apparatus 90; 65, an interface for transferring data to and from the teaching pendant 59; 66, a CPU for controlling the color filter manufacturing apparatus 90; ROM, which stores a control program for operating the printer, 68, a RAM for storing production information and the like, 70, a discharge control unit for controlling discharge of ink into each pixel of the color filter, 71, a color filter manufacturing apparatus A stage control unit 90 for controlling the operation of the 90 XYθ stage 52 is connected to the controller 58, and shows a color filter manufacturing apparatus that operates according to the instruction.

【００２９】次に、図３は、上記のカラーフィルタ製造
装置９０に使用されるインクジェットヘッド５５の構造
を示す図である。図１においては、インクジェットヘッ
ドはＲ,Ｇ,Ｂの３色に対応して３個設けられているが、
これらの３個のヘッドは夫々同一の構造であるので、図
３にはこれらの３個のヘッドのうちの１つの構造を代表
して示している。Next, FIG. 3 is a view showing the structure of the ink jet head 55 used in the color filter manufacturing apparatus 90 described above. In FIG. 1, three inkjet heads are provided corresponding to three colors of R, G, and B,
Since these three heads have the same structure, FIG. 3 shows only one of the three heads as a representative structure.

【００３０】図３において、インクジェットヘッド５５
は、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形成
された基板であるヒータボード１０４と、このヒータボ
ード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略構
成されている。天板１０６には、複数の吐出口１０８が
形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出口
１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成されて
いる。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と隔
絶されている。各液路１１０は、その後方において１つ
のインク液室１１４に共通に接続されており、インク液
室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが供
給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液路
１１０に供給される。In FIG. 3, the ink jet head 55
Is schematically composed of a heater board 104 as a substrate on which a plurality of heaters 102 for heating ink are formed, and a top plate 106 overlaid on the heater board 104. A plurality of discharge ports 108 are formed in the top plate 106, and a tunnel-shaped liquid path 110 communicating with the discharge ports 108 is formed behind the discharge ports 108. Each liquid channel 110 is separated from an adjacent liquid channel by a partition 112. Each liquid path 110 is commonly connected to one ink liquid chamber 114 at the rear thereof, and ink is supplied to the ink liquid chamber 114 through an ink supply port 116. The liquid is supplied to each of the liquid paths 110.

【００３１】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図３の様な状態に組み立てられる。
図３においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図３の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成
し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８か
ら押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２に加
える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御する
ことにより気泡の大きさを調整することが可能であり、
吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロー
ルすることができる。The heater board 104 and the top plate 106
Each heater 102 is positioned so as to come to a position corresponding to each liquid path 110, and assembled in a state as shown in FIG.
Although only two heaters 102 are shown in FIG. 3, one heater 102 is
Are arranged one by one. Then, when a predetermined drive pulse is supplied to the heater 102 in an assembled state as shown in FIG. 3, the ink on the heater 102 boils to form bubbles, and the ink expands from the ejection openings 108 by volume expansion of the bubbles. Extruded and discharged. Therefore, it is possible to control the driving pulse applied to the heater 102, for example, by controlling the magnitude of the electric power, to adjust the size of the bubble,
The volume of the ink ejected from the ejection port can be freely controlled.

【００３２】本実施形態においては、基板１として一般
にガラス基板が用いられるが、液晶用カラーフィルタと
しての透明性、機械的強度等の必要特性を有するもので
あればガラス基板に限定されるものではない。In this embodiment, a glass substrate is generally used as the substrate 1. However, the substrate 1 is not limited to a glass substrate as long as it has necessary characteristics such as transparency and mechanical strength as a color filter for liquid crystal. Absent.

【００３３】次に、図４は、カラーフィルタの製造工程
の例を示した図である。Next, FIG. 4 is a diagram showing an example of a manufacturing process of a color filter.

【００３４】図４（ａ）は、光透過部７と遮光部である
ブラックマトリクス２を備えたガラス基板１を示す。ま
ず、ブラックマトリクス２の形成された基板１上に光照
射又は光照射と加熱により硬化可能であり且つインク受
容性を有する樹脂組成物を塗布し、必要に応じてプリベ
ークを行って樹脂層３’を形成する（図４（ｂ））。樹
脂層３’の形成には、スピンコート、ロールコート、バ
ーコート、スプレーコート、ディップコート等の塗布方
法を用いることができ、特に限定されるものではない。FIG. 4A shows a glass substrate 1 provided with a light transmitting portion 7 and a black matrix 2 as a light shielding portion. First, a resin composition curable by light irradiation or light irradiation and heating and having an ink receptivity is applied onto the substrate 1 on which the black matrix 2 is formed, and prebaked as necessary to form a resin layer 3 ′. Is formed (FIG. 4B). For forming the resin layer 3 ', a coating method such as spin coating, roll coating, bar coating, spray coating, dip coating, or the like can be used, and there is no particular limitation.

【００３５】次に、ブラックマトリクス２により遮光さ
れる部分の樹脂層をフォトマスク４’を使用して予めパ
ターン露光を行うことにより樹脂層の一部を硬化させて
インクを吸収しない部位５’（非着色部位）を形成し
（図４（ｃ））、その後インクジェットヘッドを用いて
Ｒ、Ｇ、Ｂの各色を一度に着色し（図４（ｄ））、必要
に応じてインクの乾燥を行う。Next, a portion of the resin layer, which is shielded from light by the black matrix 2, is subjected to pattern exposure in advance using a photomask 4 'to cure a portion of the resin layer and not absorb the ink. Uncolored portions) are formed (FIG. 4 (c)), and then each color of R, G, B is colored at a time using an ink jet head (FIG. 4 (d)), and the ink is dried if necessary. .

【００３６】パターン露光の際に使用されるフォトマス
ク４’としては、ブラックマトリクスによる遮光部分を
硬化させるための開口部を有するものを使用する。この
際、ブラックマトリクスに接する部分での着色剤の色抜
けを防止するために、比較的多くのインクを付与するこ
とが必要である。そのためにブラックマトリクスの（遮
光）幅よりも狭い開口部を有するマスクを用いることが
好ましい。As the photomask 4 'used at the time of pattern exposure, a photomask 4' having an opening for curing a light-shielded portion by a black matrix is used. At this time, it is necessary to apply a relatively large amount of ink in order to prevent color loss of the colorant in a portion in contact with the black matrix. Therefore, it is preferable to use a mask having an opening smaller than the (light-shielding) width of the black matrix.

【００３７】着色に用いるインクとしては、染料系、顔
料系共に用いることが可能であり、また液状インク、ソ
リッドインク共に使用可能である。As the ink used for coloring, both dye-based and pigment-based inks can be used, and both liquid inks and solid inks can be used.

【００３８】本発明で使用する硬化可能な樹脂組成物と
しては、インク受容性を有し、且つ光照射と加熱の少な
くとも一方の処理により硬化し得るものであればいずれ
でも使用可能であり、樹脂としては例えばアクリル系樹
脂、エポキシ樹脂、シリコン樹脂、ヒドロキシプロピル
セルロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロースなどのセルロース
誘導体あるいはその変性物等が挙げられる。As the curable resin composition used in the present invention, any resin can be used as long as it has an ink receiving property and can be cured by at least one of light irradiation and heating. Examples include acrylic resins, epoxy resins, silicone resins, cellulose derivatives such as hydroxypropylcellulose, hydroxyethylcellulose, methylcellulose, and carboxymethylcellulose, and modified products thereof.

【００３９】これらの樹脂を光あるいは光と熱により架
橋反応を進行させるために光開始剤（架橋剤）を用いる
ことも可能である。光開始剤としては、重クロム酸塩、
ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始
剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。またこれら
の光開始剤を混合して、あるいは他の増感剤と組み合わ
せて使用することもできる。更にオニウム塩などの光酸
発生剤を架橋剤として併用することも可能である。な
お、架橋反応をより進行させるために光照射の後に熱処
理を施してもよい。It is also possible to use a photoinitiator (crosslinking agent) to cause these resins to undergo a crosslinking reaction by light or light and heat. As a photoinitiator, dichromate,
Bisazide compounds, radical initiators, cationic initiators, anionic initiators and the like can be used. These photoinitiators can be used as a mixture or in combination with other sensitizers. Further, a photoacid generator such as an onium salt can be used in combination as a crosslinking agent. Note that heat treatment may be performed after light irradiation in order to further promote the crosslinking reaction.

【００４０】これらの組成物を含む樹脂層は、非常に耐
熱性、耐水性等に優れており、後工程における高温ある
いは洗浄工程に十分耐え得るものである。The resin layer containing these compositions is extremely excellent in heat resistance, water resistance and the like, and can sufficiently withstand a high temperature or a washing step in a later step.

【００４１】本発明で使用するインクジェット方式とし
ては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた
バブルジェットタイプが使用可能であり、着色面積及び
着色パターンは任意に設定することができる。As the ink jet system used in the present invention, a bubble jet type using an electrothermal converter as an energy generating element can be used, and the coloring area and the coloring pattern can be arbitrarily set.

【００４２】次いで光照射のみ、熱処理のみ、又は光り
照射及び熱処理を行って硬化可能な樹脂組成物を硬化さ
せ（図４（ｅ））、必要に応じて保護層８を形成（図４
（ｆ）する。なお、図中ｈνは光の強度を示し、熱処理
の場合は、ｈνの光の代わりに熱を加える。保護層８と
しては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用
タイプの第２の樹脂組成物を用いて形成するか、あるい
は無機材料を用いて蒸着またはスパッタによって形成す
ることができ、カラーフィルタとした場合の透明性を有
し、その後のＩＴＯ形成プロセス、配向膜形成プロセス
等に十分耐えうるものであれば使用可能である。Next, the curable resin composition is cured only by light irradiation, heat treatment alone, or light irradiation and heat treatment (FIG. 4E), and a protective layer 8 is formed as necessary (FIG. 4E).
(F). In the drawing, hν indicates the intensity of light, and in the case of heat treatment, heat is applied instead of the light of hν. The protective layer 8 can be formed using a second resin composition of a photo-curing type, a thermo-setting type or a combination of light and heat, or can be formed by vapor deposition or sputtering using an inorganic material. Any material can be used as long as it has the transparency in this case and can sufficiently withstand the subsequent ITO forming process, alignment film forming process, and the like.

【００４３】また、本例では基板上に樹脂組成物を形成
する例を示しているが、以下のように基板に直接インク
を付与してもよい。In this embodiment, an example is shown in which a resin composition is formed on a substrate. However, ink may be applied directly to the substrate as described below.

【００４４】すなわち、インクジェット方式を利用し
て、Ｒ、Ｇ、Ｂインクがちょうど遮光部を構成するブラ
ックマトリクスの間の光透過部をうめるようにして付与
される。このＲ、Ｇ、Ｂパターンは、いわゆるキャステ
ィングのような形で形成されてもよい。また、ブラック
マトリクス上で各色インクが重ならない範囲で印字され
るのが好ましい。That is, using the ink jet method, R, G, and B inks are applied so as to fill a light transmitting portion between black matrices constituting a light shielding portion. The R, G, and B patterns may be formed in a so-called casting shape. Further, it is preferable that the printing is performed within a range where the respective color inks do not overlap on the black matrix.

【００４５】使用されるインクは、光や熱などのエネル
ギーの付与により硬化可能であれば、染料系、顔料系い
ずれでも用いることができ、また、液状インク、ソリッ
ドインク共に使用可能である。インク中には光硬化可能
な成分あるいは熱硬化可能な成分あるいは光及び熱の双
方により硬化可能な成分を含有することが必須であり、
このような成分としては、様々な市販の樹脂、硬化剤を
用いることができ、インク中に固着等の問題を起こすも
のでなければ特に限られない。具体的には、アクリル系
樹脂、エポキシ系樹脂、メラミン樹脂等が好適に用いら
れる。As the ink to be used, any dye or pigment can be used as long as it can be cured by application of energy such as light or heat, and both liquid ink and solid ink can be used. It is essential that the ink contains a photo-curable component or a thermo-curable component or a component curable by both light and heat,
As such a component, various commercially available resins and curing agents can be used, and the component is not particularly limited as long as it does not cause a problem such as fixation in the ink. Specifically, acrylic resins, epoxy resins, melamine resins, and the like are suitably used.

【００４６】図５及び図６は上記のカラーフィルタを組
み込んだカラー液晶表示装置３０の基本構成を示す断面
図である。FIGS. 5 and 6 are sectional views showing the basic structure of a color liquid crystal display device 30 incorporating the above-described color filter.

【００４７】カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフ
ィルタ基板１と対向基板２１を合わせこみ、液晶化合物
１８を封入することにより形成される。液晶表示装置の
一方の基板２１の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transisto
r)（不図示）と透明な画素電極２０がマトリックス状に
形成される。また、もう一方の基板１の内側には、画素
電極に対向する位置にＲＧＢの色材が配列するようカラ
ーフィルタ５４が設置され、その上に透明な対向電極
（共通電極）１６が一面に形成される。ブラックマトリ
クス２は、通常カラーフィルター基板１側に形成される
が（図５参照）、ＢＭ（ブラックマトリクス）オンアレ
イタイプの液晶パネルにおいては対向するＴＦＴ基板側
に形成される（図６参照）。さらに、両基板の面内には
配向膜１９が形成されており、これをラビング処理する
ことにより液晶分子を一定方向に配列させることができ
る。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１
１,２２が接着されており、液晶化合物１８は、これら
のガラス基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。
また、バックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板
（不図示）の組み合わせが一般的に用いられており、液
晶化合物をバックライト光の透過率を変化させる光シャ
ッターとして機能させることにより表示を行う。次に、
本実施形態の製造方法を適用した場合のカラーフィルタ
の着色工程を説明する。The color liquid crystal display device is generally formed by combining the color filter substrate 1 with the counter substrate 21 and enclosing the liquid crystal compound 18. A TFT (Thin Film Transistor) is provided inside one substrate 21 of the liquid crystal display device.
r) (not shown) and transparent pixel electrodes 20 are formed in a matrix. In addition, a color filter 54 is provided inside the other substrate 1 so that RGB color materials are arranged at positions facing the pixel electrodes, and a transparent counter electrode (common electrode) 16 is formed on the entire surface. Is done. The black matrix 2 is usually formed on the color filter substrate 1 side (see FIG. 5), but is formed on the opposite TFT substrate side in a BM (black matrix) on-array type liquid crystal panel (see FIG. 6). Further, an alignment film 19 is formed in the planes of both substrates, and rubbing the alignment film 19 allows liquid crystal molecules to be aligned in a certain direction. A polarizing plate 1 is provided outside each glass substrate.
The liquid crystal compound 18 is filled in the gap (about 2 to 5 μm) between these glass substrates.
In addition, a combination of a fluorescent lamp (not shown) and a scattering plate (not shown) is generally used as the backlight, and the display is performed by making the liquid crystal compound function as an optical shutter that changes the transmittance of the backlight light. I do. next,
A coloring process of a color filter when the manufacturing method of the present embodiment is applied will be described.

【００４８】まず、カラーフィルタ製造装置９０のＸＹ
θステージ５２上にガラス基板５３をセットする。そし
て、しかるべく位置決めを行った後、ガラス基板５３の
カラーフィルタ形成領域（着色領域）をインクジェット
ヘッド５５の直下に移動させ、インクジェットヘッド５
５とガラス基板５３をＸＹθステージ５２により相対的
に走査させながらインクを吐出し、カラーフィルタの各
画素の着色を実行する。First, the XY of the color filter manufacturing apparatus 90
The glass substrate 53 is set on the θ stage 52. After the positioning is properly performed, the color filter forming region (colored region) of the glass substrate 53 is moved to a position immediately below the inkjet head 55, and
The ink is ejected while the XYθ stage 52 and the glass substrate 53 are relatively scanned by the XYθ stage 52, thereby coloring each pixel of the color filter.

【００４９】この着色時のインクジェットヘッド５５の
うちの赤色（Ｒ）のインクを吐出するヘッド５５ａとガ
ラス基板５３の関係を示したものが図７である。FIG. 7 shows the relationship between the glass substrate 53 and the head 55a of the ink jet head 55 that discharges red (R) ink during this coloring.

【００５０】図７において、ヘッド５５ａは、例えば、
７０.５μｍ間隔でノズル３１３が並んでおり、これを
例えば１００μｍ間隔でＲ、Ｇ、Ｂの各画素３１４が順
番に並んだカラーフィルタを着色するのに使用する場合
は、３００μｍ間隔で並ぶ赤色の画素にノズルの位置を
合わせる必要がある。そのため、ヘッド５５ａのノズル
を５ノズル置きに使用し、ヘッド５５ａを走査方向に対
して３１.７°傾けて使用する。このようにすれば、５
ノズル置きのノズルが赤色の画素の真上にきて、着色を
行うことが出来る。このような関係は赤色のヘッド５５
ａだけでなく、他のヘッド５５ｂ,５５ｃにも同様にあ
てはまるものである。In FIG. 7, the head 55a is, for example,
The nozzles 313 are arranged at intervals of 70.5 μm, and when this is used to color a color filter in which the R, G, and B pixels 314 are arranged in order at intervals of 100 μm, for example, red nozzles arranged at intervals of 300 μm are used. It is necessary to align the position of the nozzle with the pixel. Therefore, the nozzles of the head 55a are used every five nozzles, and the head 55a is used at an angle of 31.7 ° with respect to the scanning direction. In this way, 5
Coloring can be performed when the nozzle at the nozzle position comes directly above the red pixel. Such a relationship is represented by the red head 55
The same applies to the other heads 55b and 55c as well as a.

【００５１】次に、図８は、本実施形態の特徴的な部分
であるインクジェットヘッドの温度上昇を抑制する構成
を示した背面図であり、図９は、図８を左側から見た側
面図である。ここでは、赤色のインクを吐出するインク
ジェットヘッド５５ａについて説明するが、他のヘッド
５５ｂ,５５ｃも同様の構成である。Next, FIG. 8 is a rear view showing a structure which suppresses a rise in the temperature of the ink jet head, which is a characteristic part of the present embodiment. FIG. 9 is a side view of FIG. It is. Here, the inkjet head 55a that discharges red ink will be described, but the other heads 55b and 55c have the same configuration.

【００５２】本実施形態のインクジェットヘッド５５ａ
は、熱エネルギーによりインクに気泡を生じさせその気
泡の成長によりインクを押し出して吐出する所謂バブル
ジェット方式を採用している。そのため、インクジェッ
トヘッドは自身の発熱により温度が上昇する。そして、
この温度上昇は、インクジェットヘッドに熱膨張を生じ
させ、各ノズル間の距離を変化させてしまう。例えば、
本実施形態においては、インクジェットヘッド５５ａ
は、単体でインクの吐出を連続して行うと約５°Ｃの温
度上昇がある。インクジェットヘッド５５ａは、本体が
アルミニウム合金からなり、長手方向の全長が約１００
ｍｍ程度あるため、５°Ｃの温度上昇が生ずると、その
長手方向両端部のノズル間の間隔は約１０μｍも伸びて
しまう。このようにノズルの位置が１０μｍ変化する
と、カラーフィルタの着色を行った場合、隣の異なる色
の画素との混色が起こってしまう場合がある。混色の発
生を防止するためには、ノズルの位置ずれを３μｍ程度
以下に抑える必要がある。The ink jet head 55a of this embodiment
Employs a so-called bubble jet method in which bubbles are generated in ink by thermal energy and the ink is pushed out and ejected by the growth of the bubbles. Therefore, the temperature of the inkjet head rises due to its own heat generation. And
This rise in temperature causes thermal expansion of the ink jet head and changes the distance between the nozzles. For example,
In the present embodiment, the inkjet head 55a
The temperature rise of about 5 ° C. occurs when the ink is continuously ejected by itself. The inkjet head 55a has a main body made of an aluminum alloy and has a total length of about 100 in the longitudinal direction.
When the temperature rises by 5 ° C., the distance between the nozzles at both ends in the longitudinal direction increases by about 10 μm. When the position of the nozzle changes by 10 μm in this way, when the color filter is colored, color mixing with adjacent pixels of different colors may occur. In order to prevent the occurrence of color mixing, it is necessary to suppress the nozzle misalignment to about 3 μm or less.

【００５３】そこで本実施形態においては、図７及び図
８に示す様にインクジェットヘッド５５ａの背面に、イ
ンクジェットヘッド５５ａの熱容量の２倍〜４倍程度の
熱容量を有するプレート１２０を取り付け、結果として
インクジェットヘッドとプレートとを合わせたものの熱
容量をインクジェットヘッド５５ａ単体の場合の３倍〜
５倍にしている。このようにすれば、インクジェットヘ
ッドの温度上昇は、ヘッド単体の場合の１／３〜１／５
となり、インクジェットヘッドの長手方向両端部のノズ
ル間の間隔変化量は２μｍ〜３μｍ程度となる。これに
より、混色の起こらない着色を可能とするヘッドが実現
される。なお、プレート１２０の材質としては、アルミ
ニウム合金あるいはステンレス鋼などが、加工が容易で
ローコストである点で好ましい。In this embodiment, as shown in FIGS. 7 and 8, a plate 120 having a heat capacity of about 2 to 4 times the heat capacity of the ink jet head 55a is attached to the back of the ink jet head 55a. The heat capacity of the combined head and plate is three times or more that of the inkjet head 55a alone.
5 times. In this way, the temperature rise of the ink jet head is 1/3 to 1/5 that of the head alone.
Thus, the amount of change in the space between the nozzles at both ends in the longitudinal direction of the inkjet head is about 2 μm to 3 μm. As a result, a head that enables coloring without causing color mixture is realized. In addition, as a material of the plate 120, an aluminum alloy, stainless steel, or the like is preferable in terms of easy processing and low cost.

【００５４】次に、図１０は、図８を下方から見た部分
断面図である。本実施形態で使用されるプレート１２０
は、インクジェットヘッド５５ａの反りを矯正する機能
も備えている。この反りを矯正するための構造について
図８及び図１０を参照して説明する。Next, FIG. 10 is a partial sectional view of FIG. 8 viewed from below. Plate 120 used in this embodiment
Also has a function of correcting the warpage of the inkjet head 55a. A structure for correcting this warpage will be described with reference to FIGS.

【００５５】図８及び図１０において、プレート１２
０、はインクジェットヘッド５５ａの本体５６に対して
３本のボルト１２２により固定されている。本体５６の
３本のボルト１２２が螺合する雌ネジ部５６ｂの周囲に
は、本体５６の他の部分よりも僅かに高い平面部５６ａ
が形成されており、プレート１２０は、この平面部５６
ａの上面に固定される。8 and 10, the plate 12
0 is fixed to the main body 56 of the inkjet head 55a by three bolts 122. Around the female screw portion 56b to which the three bolts 122 of the main body 56 are screwed, a flat portion 56a slightly higher than other portions of the main body 56 is provided.
Are formed, and the plate 120 is formed by the flat portion 56.
a.

【００５６】一方、プレート１２０のボルト１２２が装
着される位置の中間部には、複数のネジ穴１２０ａが形
成されている。このネジ穴１２０ａは、例えばＭ４のネ
ジ穴である。そして、ネジ穴１２０ａには、２種類のボ
ルト１２４と１２６が装着される。ボルト１２４は、例
えばネジ穴１２０ａと丁度螺合するＭ４のネジであり、
このボルト１２４をネジ穴１２０ａにねじ込むことによ
り、ボルト１２４の先端がヘッド本体５６の表面に当接
し、ヘッド本体５６をプレート１２０から離れる方向に
押して、ノズルを図１０に示す矢印Ａ方向にずらすこと
が出来る。また、ボルト１２６は、例えばネジ穴１２０
ａに隙間を持って自由に挿通するＭ３のボルトであり、
このボルト１２６をヘッド本体５６に形成されたＭ３の
ネジ穴５６ｃにねじ込むことにより、ヘッド本体５６は
プレート１２０に近づく方向に引き寄せられ、ノズルを
図１０に示す矢印Ｂ方向にずらすことが出来る。このよ
うに各ネジ穴１２０ａに丁度螺合するボルト１２４かあ
るいは自由に挿通するボルト１２６を選択的に装着する
ことにより、そのネジ穴の位置におけるノズルの位置を
矢印Ａ方向あるいは矢印Ｂ方向に移動させることが出来
る。これによりインクジェットヘッド５５ａが製造され
た時点で有している僅かな反りを任意に修正することが
出来る。On the other hand, a plurality of screw holes 120a are formed in an intermediate portion of the plate 120 at a position where the bolt 122 is mounted. The screw hole 120a is, for example, an M4 screw hole. Then, two types of bolts 124 and 126 are mounted in the screw holes 120a. The bolt 124 is, for example, an M4 screw that is just screwed into the screw hole 120a.
By screwing the bolt 124 into the screw hole 120a, the tip of the bolt 124 contacts the surface of the head main body 56, and pushes the head main body 56 away from the plate 120 to shift the nozzle in the direction of arrow A shown in FIG. Can be done. The bolt 126 is, for example, a screw hole 120.
M3 bolt that can be freely inserted with a gap in a
By screwing the bolt 126 into the M3 screw hole 56c formed in the head main body 56, the head main body 56 is drawn in a direction approaching the plate 120, and the nozzle can be shifted in the direction of arrow B shown in FIG. By selectively mounting the bolts 124 that are just screwed into the respective screw holes 120a or the bolts 126 that are freely inserted into the screw holes 120a, the nozzle position at the position of the screw holes is moved in the direction of arrow A or the direction of arrow B. Can be done. Thereby, the slight warpage of the ink jet head 55a at the time of manufacture can be arbitrarily corrected.

【００５７】図１１は、インクジェットヘッド５５ａの
具体的な調整方法を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a specific method of adjusting the ink jet head 55a.

【００５８】インクジェットヘッド５５ａは、図１１
（ａ）に示すように、製造された時点では、僅かな反り
を有している（図１１（ａ）では反りを強調して大きく
示している）。この反りを、図１０に示したボルト１２
４あるいは１２６を適宜差し替えて、プレート１２０に
対してインクジェットヘッドを押し引きすることにより
修正する。このとき、図１１（ａ）に示したように、反
りの大きさに応じて、少し引く、大きく引く、少し押
す、大きく押すといった操作を組み合わせ、ヘッドを図
１１（ｂ）に示すようにまっすぐな状態に矯正する。The ink jet head 55a is the same as that shown in FIG.
As shown in FIG. 11A, at the time of manufacture, it has a slight warp (in FIG. 11A, the warp is emphasized and greatly shown). This warp is applied to the bolt 12 shown in FIG.
4 or 126 is replaced as appropriate, and correction is made by pushing and pulling the ink jet head against the plate 120. At this time, as shown in FIG. 11 (a), operations such as slightly pulling, largely pulling, slightly pressing, and largely pressing are combined according to the magnitude of the warp, and the head is straightened as shown in FIG. 11 (b). To correct the condition.

【００５９】このような、矯正を行なうことにより、製
造された時点では図１２に実線で示すような±１０μｍ
以上の反りを有するヘッドを、図１２に一点鎖線で示す
ような±２μｍ程度の反りに修正することができる。By performing such a correction, at the time of manufacture, ± 10 μm as shown by a solid line in FIG.
The head having the above-mentioned warpage can be corrected to a warp of about ± 2 μm as shown by a dashed line in FIG.

【００６０】反りの修正を行なうときには、図１３に示
すように、インクジェットヘッド５５ａのノズル穴を、
顕微鏡２００で拡大し、テレビカメラ２０２で撮像して
画像処理装置２０４を介してモニタ２０６に表示させ、
ノズル穴の位置を観察しながら修正作業を行なう。When correcting the warpage, as shown in FIG. 13, the nozzle holes of the ink jet head 55a are
Enlarged by a microscope 200, captured by a television camera 202, displayed on a monitor 206 via an image processing device 204,
Correction work is performed while observing the position of the nozzle hole.

【００６１】このようにして、製造時に僅かな反りを有
するインクジェットヘッドを、ノズルが±２μｍ程度以
内といった極めて微小なずれで直線上に並んだ状態に修
正することができる。In this manner, an ink jet head having a slight warp during manufacturing can be corrected to a state in which the nozzles are arranged in a straight line with a very small deviation of about ± 2 μm.

【００６２】なお、図１４は、プレートの変形例を示し
た図であり、図示した様にプレート１２０’にフィン１
３０を形成することにより、放熱性がよくなり、ヘッド
の温度上昇をさらに抑制することが出来る。FIG. 14 is a view showing a modified example of the plate. As shown in FIG.
By forming 30, the heat dissipation is improved, and the temperature rise of the head can be further suppressed.

【００６３】また、プレートを黒色にすることにより、
熱の放射がよくなり、ヘッドの温度上昇を抑制する効果
が更に高まる。Also, by making the plate black,
The radiation of heat is improved, and the effect of suppressing the temperature rise of the head is further enhanced.

【００６４】次に、ガラス基板に対してインクジェット
ヘッドを相対的に走査させながらガラス基板にインクを
吐出してカラーフィルタを製造する場合におけるインク
ジェットヘッドの反りの調整精度について説明する。Next, a description will be given of the accuracy of adjusting the warpage of the ink-jet head when a color filter is manufactured by discharging ink onto the glass substrate while causing the ink-jet head to scan relative to the glass substrate.

【００６５】本願発明者は、インクジェット方式により
カラーフィルタの製造を行なう場合に、インクジェット
方式特有の、着色した隣りの画素同士の色が混ざりあう
混色の問題に悩まされた。The inventor of the present application suffered from the problem of color mixing, in which the colors of adjacent pixels were mixed, which is unique to the ink jet system, when producing a color filter by the ink jet system.

【００６６】そこで、この混色の要因を明確にするため
に、図１５に示すようにインクの吐出中に画素の長手方
向に対してインクジェットヘッドが斜めに走査されるよ
うに、ガラス基板５３を移動させ、混色が始まる際のイ
ンクドットのずれ量（Δｘ）とインクドットの直径ＣＬ
と画素の幅ＧＬとの関係を調べる実験を行なった。Therefore, in order to clarify the cause of the color mixture, the glass substrate 53 is moved so that the ink jet head scans obliquely with respect to the longitudinal direction of the pixel during ink ejection as shown in FIG. And the deviation amount (Δx) of the ink dot when the color mixture starts and the diameter CL of the ink dot.
An experiment for examining the relationship between the pixel width and the pixel width GL was performed.

【００６７】複数のノズルから吐出量、すなわち着弾し
たときの直径の異なるインクを吐出し、画素幅（隣り合
うブラックマトリクス２ａ,２ｂの中心間の距離ＧＬ）
の異なる画素に着色を繰り返すうちに、画素幅をＧＬ、
着弾したインクが形成するドットの直径をＣＬ、着弾位
置の画素幅方向のずれ量をΔｘとした場合、 ＧＬ＜ＣＬ＋Δｘ となったときに、混色の可能性が急激に増加することを
見出した。逆にいえば、 Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ を満足すれば、混色が非常に起こりにくくなることを見
出した。A plurality of nozzles eject ink, that is, inks having different diameters upon impact are ejected, and the pixel width (the distance GL between the centers of adjacent black matrices 2a and 2b) is obtained.
While repeating coloring to different pixels, the pixel width becomes GL,
When the diameter of the dot formed by the landed ink is CL and the deviation amount of the landed position in the pixel width direction is Δx, it has been found that when GL <CL + Δx, the possibility of color mixing sharply increases. Conversely, it has been found that if Δx ≦ GL-CL is satisfied, color mixing is extremely unlikely to occur.

【００６８】また、カラーフィルタの製造時に異なるピ
ッチ間隔の画素を着色する場合、図７に示したようにヘ
ッドを斜めに傾けて使用することで、種々のカラーフィ
ルタにフレキシブルに対応することができることは知ら
れている。When coloring pixels at different pitch intervals during the production of a color filter, it is possible to flexibly cope with various color filters by using the head obliquely as shown in FIG. Is known.

【００６９】また、本願発明者は、吐出されたインクが
球状になる前にガラス基板５３にインクを着弾させるこ
とにより、インクのよれ等による着弾ずれが発生しにく
くなり、より高精度な着弾位置精度を実現できることを
特願平７−１９５２３５号で示した。この際、インクの
着弾位置を調べてみると、図１６に示すように、インク
の着弾位置がインクジェットヘッドのインク吐出ノズル
の穴の位置と略一致していることも実験により判明し
た。The inventor of the present application makes the ink land on the glass substrate 53 before the ejected ink becomes spherical, so that landing deviation due to ink skewing or the like is less likely to occur, and a more accurate landing position is achieved. The fact that the accuracy can be realized is shown in Japanese Patent Application No. 7-195235. At this time, by examining the landing positions of the ink, it was found through experiments that the landing positions of the ink substantially coincided with the positions of the holes of the ink discharge nozzles of the inkjet head, as shown in FIG.

【００７０】すなわち、ヘッドのノズル穴の位置精度が
インクジェットヘッドの混色の起こりやすさに支配的で
あることがこれらの実験からわかってきた。That is, it has been found from these experiments that the positional accuracy of the nozzle holes of the head is dominant in the likelihood of color mixing in the ink jet head.

【００７１】以上のことから、本願発明者は、図１５及
び図１７に示すように、ＧＬを画素幅（隣り合うブラッ
クマトリクスの幅の中心間の距離）、ＣＬを着弾したイ
ンクが形成するドットの直径、ｙ1をヘッドの反りがな
かった場合にノズルが並ぶ理想直線（最小二乗法により
求めた近似直線）からの理想直線に直交する方向へのノ
ズルの正側へのずれ量、ｙ2をヘッドの反りがなかった
場合にノズルが並ぶ理想直線からの理想直線に直交する
方向への負側へのずれ量、θをヘッドの走査方向に直交
する方向に対するヘッドの傾き角、Δｘを走査方向に直
交する方向（画素の幅方向）へのインクドットのずれ量
としたときに、以下の式が成り立つことを見出した。As described above, the inventor of the present invention has shown that, as shown in FIGS. 15 and 17, GL is the pixel width (the distance between the centers of the widths of adjacent black matrices), and CL is the dot formed by the ink that has landed. Is the diameter of the nozzle, y1 is the amount of deviation of the nozzle from the ideal straight line (approximate straight line obtained by the least squares method) in the direction perpendicular to the ideal straight line where the nozzles are aligned when the head is not warped, and y2 is the head. When there is no warpage, the amount of deviation from the ideal straight line in which the nozzles are lined up to the negative side in the direction orthogonal to the ideal straight line, θ is the tilt angle of the head with respect to the direction orthogonal to the head scanning direction, and Δx is the scanning direction. It has been found that the following equation holds when the amount of displacement of the ink dots in the direction orthogonal to the width (pixel width direction) is set.

【００７２】ｙ＝ｙ1＋y2 Δｘ＝ｙ・ｓｉｎθ Δｘ≦ＧＬ−ＣＬ すなわち、 ｙ・ｓｉｎθ≦ＧＬ−ＣＬ ｙ≦（ＧＬ−ＣＬ）／ｓｉｎθ （ただし０°＜θ＜９０°） （１） なお、ここでいう着弾したインクが形成するドットの直
径ＣＬとは、仕切りのない素ガラスもしくはインク受容
層が塗布されたガラスにインクを着弾させ、乾燥するま
でにインクが広がった直径をいい、着弾径の不揃いな複
数のノズルを有するヘッドにおいては、もっとも大きい
着弾径をＣＬとする。Y = y1 + y2 Δx = y · sin θ Δx ≦ GL-CL That is, y · sin θ ≦ GL-CL y ≦ (GL-CL) / sin θ (where 0 ° <θ <90 °) (1) The diameter CL of the dot formed by the landed ink referred to in the above is the diameter of the ink spread on the undivided elemental glass or the glass coated with the ink receiving layer, and the ink spreads before drying. In a head having a plurality of irregular nozzles, the largest landing diameter is defined as CL.

【００７３】従って、反りのあるヘッドのノズルのずれ
量ｙを上記の式（１）を満足するように、既に説明した
矯正方法で矯正することにより、混色のないカラーフィ
ルタを製造することができる。あるいは、反りを矯正す
るしないにかかわらず、ノズルのずれ量ｙが式（１）を
満足しているようなヘッドを用いてカラーフィルタを着
色すれば、混色のないカラーフィルタを製造することが
できる。Therefore, a color filter without color mixture can be manufactured by correcting the amount of displacement y of the nozzle of the warped head so as to satisfy the above equation (1) by the correction method described above. . Alternatively, a color filter without color mixture can be manufactured by coloring a color filter using a head whose nozzle displacement amount y satisfies Expression (1) regardless of whether the warpage is corrected. .

【００７４】もちろん、ノズル列方向にもヘッドの製造
時にノズル位置の多少のズレは生ずるが、少なくともノ
ズル列と直交する方向へのノズル位置のずれ量が式
（１）を満たしている必要がある。Needless to say, although the nozzle position slightly shifts in the nozzle row direction during the manufacture of the head, at least the amount of deviation of the nozzle position in the direction orthogonal to the nozzle row needs to satisfy Expression (1). .

【００７５】なお、式（１）では、０°＜θ＜９０°と
したが、製造効率の点から０°＜θ≦４５°で使用する
のが一般的である。In equation (1), 0 ° <θ <90 °, but from the viewpoint of manufacturing efficiency, it is common to use 0 ° <θ ≦ 45 °.

【００７６】本願発明者による実験においては、画素幅
ＧＬ＝１０２.５μｍ、着弾径ＣＬ＝８５μｍとし、３
６０ｄｐｉの４インチの長尺ヘッド（ノズル数１４０８
で、５ノズルおきに吐出）をθ＝２９.２７°傾けて使
用した。In the experiment by the present inventor, the pixel width GL was 102.5 μm and the landing diameter CL was 85 μm.
4-inch long head of 60 dpi (nozzle number 1408)
And every 5 nozzles) was used at an angle of θ = 29.27 °.

【００７７】この際、ノズルの理想直線からの正側、負
側のばらつきは略同等であったので、式（１）でｙ1＝
ｙ2として、 ｙ≦±｛（１０２.５−８５）／ｓｉｎ２９.２７°｝／
２ 従って、ｙ≦±１７.９μｍとなる。At this time, since the variation on the positive side and the negative side from the ideal straight line of the nozzle were substantially equal, y1 =
As y2, y ≦ ± {(102.5-85) / sin 29.27 °} /
2 Therefore, y ≦ ± 17.9 μm.

【００７８】本願発明者は、これに装置の精度等のマー
ジンを±１０μｍ見込んで、ヘッドの反り量が±８μｍ
以下となるようにヘッドを調整して着色を行なった。そ
の結果、混色のないカラーフィルタを製造することがで
きた。なお、式（１）は、装置の精度等のマージンがゼ
ロであると仮定した場合の式であり、マージンがあると
きは、上記のように式（１）より算出した値からマージ
ン量を差し引いた値以下にヘッドの反り量がなるように
調整する。The inventor of the present application has assumed that the margin of the accuracy of the apparatus is ± 10 μm, and the warpage of the head is ± 8 μm.
The head was adjusted as described below to perform coloring. As a result, a color filter having no color mixture could be manufactured. Equation (1) is an equation on the assumption that a margin such as the accuracy of the apparatus is zero. If there is a margin, the margin amount is subtracted from the value calculated from equation (1) as described above. Is adjusted so that the amount of warpage of the head is equal to or less than the calculated value.

【００７９】なお、図１８は、長さの短いヘッドを組み
合わせたヘッドユニットにおける位置ずれの説明図であ
り、この例においても、ノズルのずれ量ｙを式（１）を
満足するように設定すればよい。FIG. 18 is a diagram for explaining a positional shift in a head unit combining short heads. Also in this example, the nozzle shift amount y is set so as to satisfy the equation (1). I just need.

【００８０】また、図１９は、カラーフィルタの画素と
インクドットの関係を示した図であり、図２０は、カラ
ーフィルタの着色時の混色の限界を示す図である。FIG. 19 is a diagram showing the relationship between the pixels of the color filter and the ink dots, and FIG. 20 is a diagram showing the limit of color mixing when coloring the color filter.

【００８１】以上説明した様に、上記の実施形態によれ
ば、インクジェットヘッドに熱容量の大きいプレートを
取りつけることにより、インクジェットヘッドの温度上
昇を抑制することができ、ノズルの位置ズレが防止され
て混色のないカラーフィルタを製造することが出来る。As described above, according to the above-described embodiment, by mounting a plate having a large heat capacity to the ink jet head, it is possible to suppress a rise in the temperature of the ink jet head, to prevent misalignment of nozzles, and to perform color mixing. A color filter free of defects can be manufactured.

【００８２】また、プレートにネジ穴を形成するととも
に、ヘッド本体側にそれよりも一回り小さいネジ穴を形
成し、プレートのネジ穴に、丁度螺合するボルトと一回
り径の小さい自由に挿通するボルトを選択的に装着する
ことにより、各ネジ穴の位置でヘッドをプレートから離
す方向とヘッドに近づける方向の双方に移動させること
ができ、ヘッドの反りを矯正することが出来るので、ノ
ズルが一直線上に正確に並んだインクジェットヘッドが
提供される。Further, a screw hole is formed in the plate, and a screw hole one size smaller than the screw hole is formed in the head main body side. By selectively mounting bolts, the head can be moved both in the direction away from the plate and in the direction approaching the head at the position of each screw hole, and it is possible to correct the head warpage, so that the nozzle An inkjet head that is precisely aligned on a straight line is provided.

【００８３】さらに、ノズルのずれ量が式（１）を満足
するヘッドを使用することにより混色のないカラーフィ
ルタを製造することができる。Further, a color filter free from color mixture can be manufactured by using a head whose nozzle displacement satisfies the expression (1).

【００８４】なお、本発明は、その趣旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正または変形したものに適用可
能である。The present invention can be applied to a modification or a modification of the above embodiment without departing from the gist of the invention.

【００８５】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。The present invention is particularly provided with a means (for example, an electrothermal converter or a laser beam) for generating thermal energy as energy used for ejecting ink even in an ink jet recording system. The printing apparatus of the type that causes a change in the state of the ink has been described.
High definition can be achieved.

【００８６】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。The typical configuration and principle are described in, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4,740.
It is preferable to use the basic principle disclosed in the specification of Japanese Patent No. 796. This method can be applied to both the so-called on-demand type and continuous type. In particular, in the case of the on-demand type, liquid (ink)
By applying at least one drive signal corresponding to the recorded information and providing a rapid temperature rise exceeding the film boiling to the electrothermal transducer arranged corresponding to the sheet or the liquid path holding the Since thermal energy is generated in the electrothermal transducer and film boiling occurs on the heat-acting surface of the recording head, bubbles in the liquid (ink) corresponding to this drive signal on a one-to-one basis can be formed. It is valid. By discharging the liquid (ink) through the discharge opening by the growth and contraction of the bubble, at least one droplet is formed. When the drive signal is formed into a pulse shape, the growth and shrinkage of the bubble are performed immediately and appropriately, so that the ejection of the liquid (ink) having particularly excellent responsiveness can be achieved, which is more preferable.

【００８７】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。As the pulse-shaped drive signal, those described in US Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345,262 are suitable. Further, if the conditions described in US Pat. No. 4,313,124 relating to the temperature rise rate of the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【００８８】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。As the configuration of the recording head, in addition to the combination of the discharge port, the liquid path, and the electrothermal converter (linear liquid flow path or right-angle liquid flow path) as disclosed in the above-mentioned respective specifications, A configuration using U.S. Pat. No. 4,558,333 or U.S. Pat. No. 4,459,600, which discloses a configuration in which a heat acting surface is arranged in a bent region, is also included in the present invention. In addition, for multiple electrothermal transducers,
JP-A-59-123670 which discloses a configuration in which a common slot is used as a discharge part of an electrothermal transducer, and JP-A-59-123670 which discloses a configuration in which an opening for absorbing a pressure wave of thermal energy corresponds to a discharge part. A configuration based on 138461 may be adopted.

【００８９】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。Further, as a full-line type recording head having a length corresponding to the width of the maximum recording medium that can be recorded by the recording apparatus, the length is determined by combining a plurality of recording heads as disclosed in the above-mentioned specification. This may be either a configuration satisfying the above requirements or a configuration as a single recording head formed integrally.

【００９０】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。In addition, the print head is replaceable with a print head of a replaceable chip type, which can be electrically connected to the main body of the apparatus or supplied with ink from the main body of the apparatus, or is integrated with the print head itself. Alternatively, a cartridge type recording head provided with an ink tank may be used.

【００９１】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるい
はこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モ
ードを行うことも安定した記録を行うために有効であ
る。It is preferable to add recovery means for the recording head, preliminary auxiliary means, and the like provided as components of the recording apparatus of the present invention since the effects of the present invention can be further stabilized. . If these are specifically mentioned, capping means for the recording head, cleaning means, pressurizing or suction means, preheating means using an electrothermal transducer or another heating element or a combination thereof, and printing Performing a preliminary ejection mode for performing another ejection is also effective for performing stable printing.

【００９２】以上説明した本発明実施例においては、イ
ンクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で固
化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化する
ものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが液
状をなすものであればよい。In the embodiments of the present invention described above, the ink is described as a liquid. However, an ink which solidifies at room temperature or lower, or an ink which softens or liquefies at room temperature may be used. It is only necessary that the ink be in a liquid state when the recording signal is applied.

【００９３】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。In addition, in order to positively prevent the temperature rise due to thermal energy as energy for changing the state of the ink from the solid state to the liquid state, the temperature is positively prevented.
Alternatively, in order to prevent evaporation of the ink, an ink which solidifies in a standing state and liquefies by heating may be used. In any case, the application of heat energy causes the ink to be liquefied by application of the heat energy according to the recording signal and the liquid ink to be ejected, or to start to solidify when reaching the recording medium. The present invention is also applicable to a case where an ink having a property of liquefying for the first time is used. In such a case, as described in JP-A-54-56847 or JP-A-60-71260, the ink is held in a liquid state or a solid state in the concave portion or through hole of the porous sheet. It is good also as a form which opposes an electrothermal transducer. In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.

【００９４】[0094]

【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、長
尺状のインクジェットヘッドのノズルを一直線状に精度
良く並べることが可能となる。As described above, according to the present invention, the nozzles of a long ink jet head can be accurately aligned in a straight line.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】カラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成
を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of an embodiment of a color filter manufacturing apparatus.

【図２】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制
御部の構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a control unit that controls the operation of the color filter manufacturing apparatus.

【図３】カラーフィルタの製造装置に使用されるインク
ジェットヘッドの構造を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a structure of an ink jet head used in a color filter manufacturing apparatus.

【図４】カラーフィルタの製造工程の他の例を示した図
である。FIG. 4 is a view showing another example of the manufacturing process of the color filter.

【図５】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a basic configuration of a color liquid crystal display device incorporating a color filter according to an embodiment.

【図６】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a basic configuration of a color liquid crystal display device incorporating a color filter according to an embodiment.

【図７】カラーフィルタの着色の仕方の例を示した図で
ある。FIG. 7 is a diagram showing an example of how to color a color filter.

【図８】インクジェットヘッドにプレートを取り付けた
様子を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a state where a plate is attached to the inkjet head.

【図９】図８を左側から見た側面図である。FIG. 9 is a side view of FIG. 8 as viewed from the left side.

【図１０】図８を下方から見た部分断面図である。FIG. 10 is a partial sectional view of FIG. 8 as viewed from below.

【図１１】インクジェットヘッドの反りを修正する具体
的な方法を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a specific method for correcting the warpage of the inkjet head.

【図１２】修正前と修正後のインクジェットヘッドの反
り量を示す図である。FIG. 12 is a diagram illustrating warpage amounts of an inkjet head before and after correction.

【図１３】インクジェットヘッドの反りを観察する装置
の構成を示す図である。FIG. 13 is a diagram illustrating a configuration of an apparatus for observing a warpage of an inkjet head.

【図１４】プレートの変形例を示した図である。FIG. 14 is a view showing a modification of the plate.

【図１５】混色を引き起こすインクドットのずれ量を求
める方法を説明するための図である。FIG. 15 is a diagram for explaining a method of calculating the amount of displacement of ink dots that causes color mixing.

【図１６】インクの着弾位置とノズルの位置の関係を示
した図である。FIG. 16 is a diagram showing a relationship between an ink landing position and a nozzle position.

【図１７】ヘッドの反りによる画素の幅方向へのノズル
のずれを説明するための図である。FIG. 17 is a diagram for explaining nozzle displacement in the pixel width direction due to head warpage.

【図１８】長さの短いヘッドを組み合わせたヘッドユニ
ットにおける位置ずれの説明図である。FIG. 18 is an explanatory diagram of a position shift in a head unit in which a head having a short length is combined.

【図１９】カラーフィルタの画素とインクドットの関係
を示した図である。FIG. 19 is a diagram illustrating a relationship between pixels of a color filter and ink dots.

【図２０】カラーフィルタの着色時の混色の限界を示す
図である。FIG. 20 is a diagram illustrating a limit of color mixing when coloring a color filter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

５２ ＸＹθステージ ５３ ガラス基板 ５４ カラーフィルタ ５５ 着色ヘッド ５８ コントローラ ５９ ティーチングペンダント ６０ キーボード 52 XYθ stage 53 Glass substrate 54 Color filter 55 Coloring head 58 Controller 59 Teaching pendant 60 Keyboard

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−227634（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−104354（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−27011（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−46759（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41J 2/01 B41J 2/44 B41J 2/45 B41J 2/455 G02B 5/20 101 G02F 1/1335 505 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-3-227634 (JP, A) JP-A-5-104354 (JP, A) JP-A-8-27011 (JP, A) 46759 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁷ , DB name) B41J 2/01 B41J 2/44 B41J 2/45 B41J 2/455 G02B 5/20 101 G02F 1/1335 505

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 長手方向に複数のインク吐出口が配列さ
れたインクジェットヘッドを用い、当該インクジェット
ヘッドから基板へ向けてインクを吐出して複数の画素を
着色することによりカラーフィルタを製造する方法であ
って、 前記インクジェットヘッドの反りを調整する反り調整工
程と、 前記反り調整工程において反りの調整が行われたインク
ジェットヘッドから前記基板へ向けてインクを吐出して
複数の画素を着色する着色工程とを有し、 前記インクジェットヘッドには、当該インクジェットヘ
ッドの反りを調整するためのプレートが前記長手方向に
沿って取り付けられており、 前記プレートには、前記長手方向に複数の第１のネジ穴
が形成されていると共に、前記インクジェットヘッドに
は、前記第１のネジ穴に対応する位置に前記第１のネジ
穴よりも小さな第２のネジ穴が形成されており、 前記反り調整工程では、前記第１のネジ穴を介して前記
第２のネジ穴に螺合する第２のネジを前記第２のネジ穴
にねじ込むことにより、前記インクジェットヘッドを前
記プレートに近づける方向へ移動させる動作と、前記第
１のネジ穴に該第１のネジ穴に螺合する第１のネジをね
じ込むことにより、前記インクジェットヘッドを前記プ
レートから遠ざける方向へ移動させる動作の少なくとも
一方の動作を行うことにより、前記インクジェットヘッ
ドの反りを調整することを特徴とするカラ−フィルタの
製造方法 。A plurality of ink ejection ports are arranged in a longitudinal direction.
Inkjet head using
By discharging ink from the head to the substrate, multiple pixels are
This is a method of manufacturing a color filter by coloring.
I, warpage adjustment Engineering for adjusting a warp of said ink jet head
And the ink whose warpage has been adjusted in the warpage adjusting step.
Eject ink from the jet head toward the substrate
And a coloring step of coloring a plurality of pixels, the ink-jet head, the ink jet f
The plate for adjusting the warpage of the pad
A plurality of first screw holes in the longitudinal direction.
Is formed, and the ink jet head is
Is the first screw at a position corresponding to the first screw hole.
A second screw hole smaller than the hole is formed, and in the warp adjustment step, the second screw hole is formed through the first screw hole.
A second screw screwed into the second screw hole is inserted into the second screw hole.
Screwing the inkjet head into the front
Movement in a direction to approach the plate,
Attach the first screw screwed into the first screw hole to the first screw hole.
To move the inkjet head to the
At least in the movement to move away from the rate
By performing one operation, the ink jet head is
The color filter is characterized by adjusting the warpage of the color filter.
Manufacturing method . 【請求項２】 前記反り調整工程では、前記インクジェ
ットヘッドの複数の吐出口が所定の直線に対し±２μｍ
以内のズレで配列するように、前記インクジェットヘッ
ドの反りを調整することを特徴とする請求項１に記載の
カラーフィルタの製造方法。2. The method according to claim 1 , wherein the step of adjusting the warpage includes the step of
Multiple outlets of the printhead are ± 2 μm from a predetermined straight line
The inkjet head so that it is aligned within
2. The warpage of the hand is adjusted.
Manufacturing method of color filter . 【請求項３】 前記反り調整工程は、前記インクジェッ
トヘッドの複数のインク吐出口をカメラで撮像する工程
と、前記撮像された複数のインク吐出口をモニターに表
示する工程と、前記モニターに表示された複数のインク
吐出口の位置を観察しながら前記インクジェットヘッド
の反りを矯正する工程とを含むことを特徴とする請求項
１または２に記載のカラーフィルタの製造方法。3. The ink jet printer according to claim 1 , wherein
Of imaging multiple ink ejection ports of a printhead with a camera
And the plurality of imaged ink ejection ports are displayed on a monitor.
Displaying the plurality of inks displayed on the monitor.
While observing the position of the ejection port, the inkjet head
Correcting the warpage of the object.
3. The method for producing a color filter according to 1 or 2 . 【請求項４】 前記プレートの熱容量は、前記インクジ
ェットヘッドの熱容 量の２倍以上４倍以下であることを
特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のカラ−フ
ィルタの製造方法。 4. The heat capacity of the plate is equal to the ink capacity.
That more than twice the heat capacity of Ettoheddo is 4 times or less
A color according to any one of claims 1 to 3, characterized in that:
Filter manufacturing method . 【請求項５】 前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えることを特徴とする請求項１乃至４のいず
れかに記載のカラ−フィルタの製造方法。5. The inkjet head according to claim 1, wherein the inkjet head uses thermal energy to discharge the ink, and includes a thermal energy generator for generating thermal energy to be applied to the ink. 5. The method for producing a color filter according to any one of 4. 【請求項６】 前記画素は、前記基板上に形成されるブ
ラックマトリクスで区画された領域であることを特徴と
する請求項１乃至５のいずれかに記載のカラーフィルタ
の製造方法。 6. The pixel according to claim 6, wherein the pixel is a pixel formed on the substrate.
It is characterized by being an area partitioned by a rack matrix
The color filter according to any one of claims 1 to 5,
Manufacturing method . 【請求項７】 インクジェットヘッドから基板へ向けて
インクを吐出することにより製造されるカラーフィルタ
を有する液晶表示装置を製造する方法であって、 請求項１乃至６のいずれかに記載の製造方法によりカラ
ーフィルタを製造する工程と、 カラーフィルタに対向する対向基板と前記製造されたカ
ラーフィルタとの間に液晶化合物を封入する工程と、 を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。7. A method of manufacturing a liquid crystal display device having a color filter manufactured by towards the ink jet head to the substrate to discharge ink, by the method according to any one of claims 1 to 6 A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising: a step of manufacturing a color filter; and a step of sealing a liquid crystal compound between a counter substrate facing the color filter and the manufactured color filter.