JP3346033B2 - Cassette Conveyor with Wei-Haori Flat Alignment Mechanism - Google Patents
Cassette Conveyor with Wei-Haori Flat Alignment MechanismInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は半導体製造システムに
関し、特にウェ−ハカセットのクリ−ン搬送システムに
おいて、ウェ−ハオリフラ合わせ機構を組み入れたカセ
ットコンベヤに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor manufacturing system and, more particularly, to a cassette conveyor incorporating a wafer flattering mechanism in a wafer cassette clean transfer system.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造で雰囲気による汚染を防止す
るクリ−ン搬送システムでは、ウェ−ハカセットはスト
ッカから出庫コンベヤを介して出庫され、無人搬送車と
きには作業者によりプロセス装置に搬送される。従来の
クリ−ン搬送システムの概略を図７と図８について説明
すると、ウェ−ハ６をプロセス装置４で処理する場合、
オリフラ合わせを要求される場合が多く、以下の手順に
よりプロセス装置４まで搬送される。なお、オリフラ合
わせとは、図８に示すように円盤状のウェ−ハ６の円弧
の一部が所定の長さだけ切り欠かれて弦状に形成され
る、オリフラ（オリエンテ−ションフラット）６ａを基
準にして各ウェ−ハ６をウェ−ハカセット５内で積層方
向に整列して収容する処理をいう。すなわち、ストッカ
１の棚に保管されていたウェ−ハカセット５は、コンベ
ヤで入出庫口２へ搬出され、無人搬送車によってオリフ
ラ合わせ装置３まで搬送されて、各ウェ−ハ６のオリフ
ラが所定の方位に合致して整列されると、再び無人搬送
車によってプロセス装置４へ搬送される。ウェ−ハ６は
一般にストッカ１内では水平姿勢で積層して保管され、
オリフラ合わせ装置３で垂直姿勢にされてオリフラ合わ
せが行われ、さらにオリフラ合わせが終了後、プロセス
装置４で水平姿勢に戻される。このように、ウェ−ハカ
セット５内のウェ−ハ６は処理前にオリフラ合わせが必
要であり、ストッカ１からプロセス装置４までに至る搬
受送途中にはオリフラ合わせ装置が設置されている。2. Description of the Related Art In a clean transfer system for preventing contamination due to an atmosphere in semiconductor manufacturing, a wafer cassette is unloaded from a stocker via an unloading conveyor, and is transferred to a process apparatus by an operator when an unmanned transfer vehicle is used. FIGS. 7 and 8 show the outline of a conventional clean transfer system. When the wafer 6 is processed by the process device 4,
In many cases, orientation flat alignment is required, and the wafer is transported to the process apparatus 4 according to the following procedure. As shown in FIG. 8, the orientation flat is an orientation flat (orientation flat) 6a in which a part of a circular arc of a disk-shaped wafer 6 is cut out by a predetermined length to form a chord. Refers to a process of accommodating each wafer 6 in the wafer cassette 5 in the stacking direction on the basis of. That is, the wafer cassette 5 stored on the shelf of the stocker 1 is carried out to the entrance / exit port 2 by a conveyor, transported to the orientation flat aligning device 3 by an unmanned transport vehicle, and the orientation flat of each wafer 6 is fixed to a predetermined location. After being aligned in accordance with the direction, it is again transferred to the process device 4 by the automatic guided vehicle. The wafers 6 are generally stored in a horizontal orientation in the stocker 1 and stored.
The orientation flat is adjusted by the orientation flat aligning device 3 to perform orientation flat alignment. After the orientation flat alignment is completed, the process device 4 returns to the horizontal orientation. As described above, the wafer 6 in the wafer cassette 5 needs orientation flat alignment before processing, and an orientation flat alignment apparatus is installed in the middle of the transfer from the stocker 1 to the process apparatus 4.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、このオリフ
ラ合わせのため、ウェ−ハカセットをオリフラ合わせ装
置まで搬送し、再度搬送ラインまで戻すことは搬送回数
が多くなり、それだけ生産性が低下するので、生産性を
上げることが要求されている。本発明はこの生産性を上
げるため、ストッカの入出庫口にオリフラ合わせ機構を
内蔵するカセットコンベヤを備え、ストッカからのウェ
−ハカセットをそのままの状態で処理装置まで搬送する
ようにしたオリフラ合わせ機構を内蔵したカセットコン
ベヤを提供することを目的とする。By the way, in order to align the orientation flat, the wafer cassette is transported to the orientation flat aligning apparatus and returned to the transport line again because the number of times of transport increases and the productivity is reduced accordingly. It is required to raise the character. In order to increase the productivity, the present invention provides an orientation flat aligning mechanism that includes a cassette conveyor having a built-in orientation flat aligning mechanism at the entrance and exit of the stocker, and transports the wafer cassette from the stocker to the processing apparatus as it is. It is an object to provide a built-in cassette conveyor.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明では、ストッカ入
出庫口のカセットコンベヤにオリフラ合わせ機構を内蔵
させることにより従来別置されていたオリフラ合わせ装
置を省略し、次の搬出ステ−ションまで自動的に搬送す
ることによって上記の課題を解決した。より具体的には
上記のカセットコンベヤは、ウェ−ハカセットを、スト
ッカの棚から受けてオリフラ合わせを行うオリフラ合わ
せステ−ションと、オリフラ合わせを終わったウェ−ハ
カセットを受けて、搬出フレ−ム上に載置する搬出ステ
−ションとが搬送経路順に配列された２部分から成り、
その中のオリフラ合わせステ−ションは、ウェ−ハカセ
ット内のウェ−ハを水平姿勢から垂直姿勢になるように
ウェ−ハカセットを、９０°反転するカセット反転機構
とオリフラ合わせ機構とから成る。上記のカセット反転
機構は、ベ−スフレ−ムまたは床面の前後方向の中間か
ら上方に立ち上がる１対のフレ−ムと、このフレ−ムの
それぞれの上端部近くに装着されて駆動回転され、移動
経路に平行に延在する回転軸と、この回転軸に固着され
たＬ形プレ−トと、これに直角に取り付けられた矩形プ
レ−トとから成る。According to the present invention, an orientation flat aligning mechanism, which is separately provided, is omitted by incorporating an orientation flat aligning mechanism in a cassette conveyor at a stocker inlet / outlet, and an automatic aligner is automatically operated until the next unloading station. The above-mentioned problem was solved by carrying out the method. More specifically, the above-mentioned cassette conveyor receives the wafer cassette from the stocker shelf and aligns the orientation flat, and receives the wafer cassette after the orientation flat adjustment, and places the wafer cassette on the unloading frame. And the unloading station to be mounted on the carriage is composed of two portions arranged in the order of the transport path,
The orientation flat aligning station therein includes a cassette inverting mechanism for inverting the wafer cassette by 90 ° so that the wafer in the wafer cassette changes from a horizontal attitude to a vertical attitude, and an orientation flat aligning mechanism. The above-described cassette reversing mechanism comprises a pair of base frames or a pair of frames that rise upward from the middle of the floor in the front-rear direction, and are mounted near the upper ends of the respective frames and driven to rotate. It comprises a rotating shaft extending parallel to the movement path, an L-shaped plate fixed to the rotating shaft, and a rectangular plate mounted at right angles to the L-shaped plate.
【０００５】一方、オリフラ合わせ機構は、前記ベ−ス
フレ−ムまたは床面の上で前記Ｌ形プレ−トの前後方向
のほぼ中間下方に移動方向に延在する滑り台と、この滑
り台に沿って移動方向に往復するとともに、水平にされ
た前記Ｌ形プレ−トの下方近くまで上下方向に延在する
スライドフレ−ムと、このスライドフレ−ムの一方端上
に上下動可能に案内されるフレ−ムの上端に、搬送方向
に直角に水平に延在して回転駆動されスライドフレ−ム
が上方に上げられた状態で、垂直にされたウェ−ハの下
周縁部と回転接触しオリフラ合わせを行う１対のロ−ラ
とから成り、搬出ステ−ションは、床面またはベ−スフ
レ−ムから滑り台を挟んで前後に立ち上がり、その上端
に前記ウェ−ハカセットを載せる一対の前後フレ−ム
と、スライドフレ−ムの前記フレ−ムとは反対側の端部
上に上下動可能に駆動され上端にカセット昇降台が設け
られた昇降台支持板とを備えた構造とした。On the other hand, the orientation flat aligning mechanism includes a slide that extends in the direction of movement on the base frame or floor approximately below the middle of the L-shaped plate in the front-rear direction, and along the slide. A slide frame that reciprocates in the movement direction and extends vertically below the horizontal L-shaped plate, and is vertically movably guided on one end of the slide frame. At the upper end of the frame, the slide frame is horizontally extended at right angles to the conveyance direction, and is driven to rotate, and the slide frame is lifted up. The unloading station comprises a pair of front and rear frames which stand up and down from a floor or a base frame across a slide and mount the wafer cassette on the upper end thereof. And slide frames Of the frame - the beam has to have an opposite side of the lifting table cassette lifting platform to be movable up and down driven by the upper end on the end portion is provided a support plate structure.
【０００６】[0006]
【作用】ウェ−ハカセットは、ストッカの棚からカセッ
トコンベヤで出庫されてオリフラ合わせステ−ションに
送られ、ウェ−ハカセット内に水平位置に収容されてい
るウェ−ハを垂直位置に変換するためのカセット反転機
構により９０°だけ反転され、各ウェ−ハはそのオリフ
ラを下にした垂直配置にされ、次にオリフラ合わせ機構
中の１対のロ−ラが上昇して回転され、垂直位置にされ
たオリフラの下縁面と接触して回動させオリフラの方位
を一列に整列させるためのオリフラ合わせが行われる。
オリフラ合わせの完了後に、前記のロ−ラを支持するフ
レ−ムは下降されて滑り台に沿って不作動位置に移動さ
れるとともに、同一フレ−ム上のカセット昇降台がその
位置まで移動され、かつ上昇してカセットを受け取る。
カセット昇降台はこのままの位置で搬出ステ−ションま
で戻り、下降して前後フレ−ムの上にカセットを載せ、
この状態で無人搬送車がカセットをプロセス装置へ搬送
可能となる。The wafer cassette is unloaded from the stocker shelf by the cassette conveyor and sent to the orientation flat aligning station to convert the wafer stored in the horizontal position in the wafer cassette to the vertical position. Each wafer is turned upside down by 90 ° by the cassette inverting mechanism, and each wafer is placed vertically with its orientation flat down, and then a pair of rollers in the orientation flat aligning mechanism are raised and rotated to the vertical position. The orientation flat is aligned so that the orientation of the orientation flat is aligned in a line by rotating the orientation flat in contact with the lower edge surface of the orientation flat.
After completion of the orientation flat alignment, the frame supporting the roller is lowered and moved to the inoperative position along the slide, and the cassette lift on the same frame is moved to that position. And rise to receive the cassette.
The cassette lift returns to the unloading station at this position, descends, and places the cassette on the front and rear frames.
In this state, the automatic guided vehicle can transfer the cassette to the process device.
【０００７】[0007]
【実施例】図１は、ウェ−ハオリフラ合わせ機構付カセ
ットコンベヤ１０の平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ
矢視立面図で、図３は図２のＣ矢視側面図である。カセ
ットコンベヤ１０は、オリフラ合わせステ−ションＳ1
と搬出ステ−ションＳ2の２つのステ−ション部分を組
み合わせて成る。図１および図２において、ウェ−ハカ
セット５に装填されたウェ−ハ６は、ストッカ内のコン
ベヤ（図示せず）により、ストッカ棚から搬出され矢印
Ｄ1の方向から水平に配列された状態でオリフラ合わせ
ステ−ションＳ1に置かれ、オリフラ合わせステ−ショ
ンＳ1のカセット反転機構１１により９０°反転され垂
直にされた後、オリフラ合わせ機構１２が上昇しウェ−
ハの下縁面に接触してオリフラ合わせを行う。次に、オ
リフラ合わせ機構１２が下降し、さらに滑り台４６に沿
って図１および図２で左方に移動してカセット反転機構
１１の下から離れ、これに代わって図１および図２で右
に示した搬出機構１３のカセット昇降台４０（図２）が
カセット反転機構１１の下の位置まで移動する。この位
置でカセット昇降台４０が上昇して、オリフラ合わせが
終了した前記のウェ−ハカセット５をカセット昇降台４
０の上に載せて、滑り台４６に沿って図１および図２で
右方に移動して搬出ステ−ションＳ2まで戻り、ウェ−
ハカセット５の長手方向と同じかまたは狭い間隔で固定
されている一対の前後フレ−ム３９ａ、３９ｂの上に載
せ、無人搬送車が次のプロセス装置へ搬出できるように
する。FIG. 1 is a plan view of a cassette conveyor 10 having a wafer orientation flat aligning mechanism, and FIG.
FIG. 3 is a side view as viewed in the direction of the arrow C in FIG. 2. The cassette conveyor 10 has an orientation flat alignment station S 1.
Comprising a combination of Deployment parts - the unloading stearyl - Deployment two S 2 stearyl. 1 and 2, web - Hakasetto 5 loaded on the web - Ha 6, the conveyor in the stocker (not shown), is unloaded from the stocker shelves while being horizontally arranged in the direction of arrow D 1 orientation flat alignment stearyl - placed Deployment S 1, orientation flat alignment stearyl - after being by the cassette reversing mechanism 11 of Deployment S 1 in the vertical is 90 ° inversion, web increases and orientation flat alignment mechanism 12 -
Orientation flat alignment is performed by contacting the lower edge surface of c. Next, the orientation flat aligning mechanism 12 is lowered, and further moves leftward in FIGS. 1 and 2 along the slide 46 to separate from under the cassette reversing mechanism 11, and instead moves rightward in FIGS. 1 and 2. The cassette elevator 40 (FIG. 2) of the unloading mechanism 13 moves to a position below the cassette reversing mechanism 11. At this position, the cassette lift 40 is raised, and the wafer cassette 5 whose orientation flat has been adjusted is moved to the cassette lift 4.
Place it on a 0, out stearyl moved rightward in FIGS. 1 and 2 along the slide 46 - back to Deployment S 2, web -
It is mounted on a pair of front and rear frames 39a, 39b fixed at the same or narrow interval in the longitudinal direction of the cassette 5, so that the automatic guided vehicle can be carried out to the next process device.
【０００８】次に、図１、図２および図３を参照して、
９０°反転及びオリフラ合わせを行うステ−ションＳ1
についてさらに説明する。以下の説明において、ステ−
ションＳ1からＳ2に向かう方向を搬送方向とし、これと
直角な方向を前後方向とする。オリフラ合わせステ−シ
ョンＳ1は、カセットを９０°反転させるカセット反転
機構１１とオリフラ合わせ機構１２とから成り、カセッ
ト反転機構１１は、図１の左側中央に搬送方向に平行に
水平に設けられた回転軸２５の左、右両端近くにキ−な
どで固定された一対のフレ−ム３０、３０と、前記回転
軸２５に、それぞれ１個のブラケット２６に溶接などで
固着され水平に延在するＬ形プレ−ト２７と、これに直
角に取り付けられた矩形プレ−ト２８（図１、図２およ
び図３）とを有する。前記一対のフレ−ム３０、３０
は、回転軸を回転するためのブレ−キ付スピ−ドコント
ロ−ルモ−タＭ3（図１、図３）と前記の回転軸２５と
を支持して、床面または装置の下フレ−ムから上方に延
在し（図１、図２および図３）、前記のＬ形プレ−ト２
７と矩形プレ−ト２８とをそれぞれ担持する。図３で
右、左両側には支持柱３１ａ、３１ｂとが設けられる。Next, referring to FIGS. 1, 2 and 3,
Station S 1 for 90 ° inversion and orientation flat alignment
Will be further described. In the following description,
A direction toward the S 2 from Deployment S 1 to the conveying direction, and longitudinal direction of this perpendicular direction. Orientation flat alignment stearyl - Deployment S 1 is made from the cassette reversing mechanism 11 and the orientation flat alignment mechanism 12 which is a 90 ° inversion cassette, the cassette reversing mechanism 11 is provided in parallel horizontally to the conveying direction to the center of the left side of FIG. 1 A pair of frames 30, 30 fixed by keys or the like near the left and right ends of the rotating shaft 25, and each of the rotating shafts 25 is fixed to one bracket 26 by welding or the like and extends horizontally. It has an L-shaped plate 27 and a rectangular plate 28 (FIGS. 1, 2 and 3) mounted at right angles thereto. The pair of frames 30, 30
Supports a speed controller M 3 (FIGS. 1 and 3) with a brake for rotating a rotating shaft and the above-mentioned rotating shaft 25 to support the floor or the lower frame of the apparatus. , And extends upward (FIGS. 1, 2 and 3).
7 and a rectangular plate 28 respectively. Support pillars 31a and 31b are provided on both the right and left sides in FIG.
【０００９】オリフラ合わせ機構１２は、ウェ−ハ６を
回動させるため、搬送方向に直角な前後方向に水平に配
置された平行な２本のロ−ラ３２、３２（図１、図３）
と、図２に示すように、これらロ−ラ３２、３２をベル
ト６１を介して回転させるスピ−ドコントロ−ルモ−タ
Ｍ4と、これらロ−ラ３２、３２とモ−タＭ4とを取り付
け支持するフレ−ム３３（図１、図２、図３）と、この
支持フレ−ム３３を、ピニオン３４とラック３５の噛合
いを介してガイド３６ａ、３６ｂに案内されて、昇降さ
せるオリフラ合わせ昇降用ブレ−キ付スピ−ドコントロ
−ルモ−タＭ5と、このモ−タＭ5とガイド３６ａとを有
して垂直に取り付けられているスライドフレ−ム３７
（図１、図２）とを有する。図５は図１のＢ−Ｂ矢視断
面図である。図１、図２および図５を参照して搬出ステ
−ションＳ2について説明する。搬出ステ−ションＳ2に
は搬出機構１３が設けられる。The orientation flat aligning mechanism 12 includes two parallel rollers 32, 32 horizontally arranged in the front-rear direction perpendicular to the conveying direction to rotate the wafer 6 (FIGS. 1 and 3).
When, as shown in FIG. 2, these B - Spin rotate the La 32 via a belt 61 - Dokontoro - it makes the chromophore at the distal end - a motor M 4, these b - a motor M 4 - La 32, 32 and motor A frame 33 (FIGS. 1, 2 and 3) for mounting and supporting, and an orientation flat for raising and lowering the supporting frame 33 by being guided by guides 36a and 36b through meshing of a pinion 34 and a rack 35. lifting motion combined - key with spin - Dokontoro - makes the chromophore at the distal end - the motor M 5, the motor - motor M 5 and the guide 36a and the slide frame is mounted vertically with a - arm 37
(FIGS. 1 and 2). FIG. 5 is a sectional view taken along the line BB of FIG. Referring to FIGS. 1, 2 and 5 out stearyl - described Deployment S 2. Unloading mechanism 13 is provided in the Deployment S 2 - unloading stearate.
【００１０】この搬出機構１３は、前記のオリフラ合わ
せ機構１２のスライドフレ−ム３７と共通で、スライド
フレ−ム３７のフレ−ム３３とは反対側（図１および図
２で右側）に、このスライドフレ−ム３７を、搬送方向
に直角に前後から挟んで、ベ−スフレ−ムまたは床面か
ら立ち上がる前後１対の脚３９と、その上端でウェ−ハ
カセット５を支持する前、後１対のフレ−ム３９ａ、３
９ｂ（図１、図５）と、前記スライドフレ−ム３７上の
フレ−ム３３とは反対側（図１および図２で右側）から
立ち上がり、上端にカセット昇降台４０（図２）が設け
られた昇降台支持板４０ａと、この昇降台支持板４０ａ
を、ピニオン４１とラック４２の噛合いを介して１組の
ガイド４３ａ、４３ｂに案内されて、昇降させる昇降用
ブレ−キ付モ−タＭ6（図１、図２）と、このモ−タＭ6
の取付ブラケット４４（図１、図２）とを有している。
この搬出ステ−ションＳ2には、前記ガイド４３ａの取
付ブラケット４５（図１）と、モ−タＭ6の取付ブラケ
ット４４が溶接などで固定された前記のスライドフレ−
ム３７とを、搬送方向に滑り移動させる滑り台４６（図
１、図２）と、スライドフレ−ム３７を搬送方向に駆動
する横行用ステッピングモ−タＭ7（図１、図５）とが
設けられている。なお、符号４８、４９（図２、図５）
は給電用のフレキシブルワイヤリングである。The unloading mechanism 13 is common to the slide frame 37 of the orientation flat aligning mechanism 12, and is located on the opposite side of the slide frame 37 from the frame 33 (right side in FIGS. 1 and 2). The slide frame 37 is sandwiched from the front and back at right angles to the transport direction, and a pair of front and rear legs 39 rising from the base frame or the floor surface, and before and after supporting the wafer cassette 5 at the upper end thereof. Pair of frames 39a, 3
9b (FIGS. 1 and 5) and the frame 33 on the slide frame 37 (the right side in FIGS. 1 and 2) stand up from the opposite side, and a cassette lift 40 (FIG. 2) is provided at the upper end. Lifted platform support plate 40a and the lift platform support plate 40a
The motor M 6 (FIGS. 1 and 2) with a brake for lifting and lowering is guided by a pair of guides 43a and 43b through meshing of a pinion 41 and a rack 42 to raise and lower the motor. TA M 6
(See FIGS. 1 and 2).
The Deployment S 2, the guide 43a of the mounting bracket 45 (FIG. 1), mode - - This unloading stearyl the mounting bracket 44 of the motor M 6 is fixed by welding or the like slide frame -
A slide 46 (FIGS. 1 and 2) for slidingly moving the frame 37 in the transport direction and a traversing stepping motor M 7 (FIGS. 1 and 5) for driving the slide frame 37 in the transport direction are provided. Have been. Reference numerals 48 and 49 (FIGS. 2 and 5)
Is a flexible wiring for power supply.
【００１１】図４は図２のＤ部拡大図であり、図４
（Ａ）はウェ−ハ６が整列前の状態を、同図（Ｂ）はウ
ェ−ハ６が整列した状態をそれぞれ示すものである。図
１、図２、図３および図４を参照して、オリフラ合わせ
ステ−ションＳ1の動作について説明する。出庫の指令
によりストッカの棚に置かれたウェ−ハカセット５が、
矢印Ｄ1の方向から図示しないコンベヤにより、搬送方
向に直角に矩形プレ−ト２８の上に載せられるが、この
状態ではウェ−ハカセット５内のウェ−ハ６は水平に積
層されている。この場合、図３に示すようにウェ−ハカ
セット５及び内部のウェ−ハ６の安定のため、矩形プレ
−ト２８は水平に対し左上がりに浅い角度で傾斜されて
いる。図示しないリミットスイッチの作動により、図１
の上部に示したステ−ションＳ1の左部に示したモ−タ
Ｍ3が始動され、プ−リ５３、ベルト５４、プ−リ５５
（図１、図３）を介して、回転軸２５とともに直交する
矩形プレ−ト２８とＬ形プレ−ト２７が一体に、図３に
示すように矢印Ｅ1の方向に角度９０°近く回動され
て、内部のウェ−ハ６がほぼ垂直にされる。この場合、
図１、図３および図５を参照すると、回転軸２５に取り
付けられたプ−リ５５に対し、反対側（図１で右側）に
あるプ−リ５６、ベルト５７およびプ−リ５８を介し、
レバ−５９の先端部５９ａが円運動を画き、図５に示す
始動点のスイッチＳＷ1から低速度でモ−タＭ3を駆動し
始め、次のスイッチＳＷ2に先端部５９ａが接するとや
や高速となり、３番目のスイッチＳＷ3で再び低速とな
り、４番目のスイッチＳＷ4で停止信号が出され回動が
停止されるようになっている。FIG. 4 is an enlarged view of a portion D in FIG.
(A) shows a state before the wafers 6 are aligned, and (B) shows a state where the wafers 6 are aligned. 1, 2, 3 and 4, the orientation flat alignment stearyl - the operation of the Deployment S 1. The wafer cassette 5 placed on the shelf of the stocker in response to the order for delivery is
The conveyor, not shown in the direction of the arrow D 1, at right angles to the conveying direction rectangular pre - but is placed on a preparative 28, in this state weblog - Hakasetto 5 in the web - Ha 6 are stacked horizontally. In this case, as shown in FIG. 3, in order to stabilize the wafer cassette 5 and the internal wafer 6, the rectangular plate 28 is inclined at a shallow angle to the left with respect to the horizontal. By operating a limit switch (not shown),
Stearyl of shown in the upper - Deployment shown in the left portion of the S 1 mode - is motor M 3 is started, up - re 53, the belt 54, up - Li 55
(Figure 1, Figure 3) via a rectangular pre-orthogonal with the rotation axis 25 - DOO 28 and L-shaped pre - Doo 27 integrally, angle 90 ° close times in the direction of arrow E 1 as shown in FIG. 3 When moved, the internal wafer 6 is made substantially vertical. in this case,
Referring to FIGS. 1, 3 and 5, a pulley 55 attached to the rotating shaft 25 is connected via a pulley 56, a belt 57 and a pulley 58 on the opposite side (right side in FIG. 1). ,
Egaki the tip 59a is circular motion of the lever -59, motor from the switch SW 1 of the starting point at a low speed shown in FIG. 5 - starting to drive the motor M 3, when the tip portion 59a is in contact with the next switch SW 2 Slightly fast and becomes, once again becomes slower in the third switch SW 3, it is rotated issued the stop signal at the fourth switch SW 4 is adapted to be stopped.
【００１２】こうして反転運動が完了すると、図示され
ないリミットスイッチが作動してモ−タＭ5が回転し、
ピニオン３４とラック３５の噛合いを介し、ガイド３６
ａと３６ｂに案内されてフレ−ム３３が上昇し、１対の
ロ−ラ３２、３２は図２で点線で示す３２′、３２′の
位置まで上昇して、カセット内で垂直姿勢になっている
各ウェ−ハ６を６′の位置に浮上させる。フレ−ム３３
が所定の位置に上昇すると、図示しないリミットスイッ
チが作動してモ−タＭ4が回転し、図２のプ−リ６０、
ベルト６１、２個のプ−リ６２、６２を介して２本のロ
−ラ３２、３２が回転して、それにより図４（Ａ）に示
すようにロ−ラ３２、３２の少なくとも一方がウェ−ハ
６の円形外周に接触しているためウェ−ハ６も回動され
るが、図４（Ｂ）に示すようにウェ−ハ６のオリフラ６
ａが、ロ−ラ３２、３２の双方に接すると、ロ−ラ３２
に従動するウェ−ハの回動は停止しロ−ラ３２、３２は
空転するだけとなり、ウェ−ハはオリフラ６ａを下にし
て整列される。この状態を図２に示す電磁式オリフラ検
出センサ６３が検出し、その出力信号によりモ−タＭ4
は停止し、モ−タＭ5が逆転してフレ−ム３３は下降す
る。この結果、上昇位置にあるウェ−ハ６′は元のカセ
ット内の支持装置に戻る。図６は図２の昇降台の左右移
動を示す側断面図である。フレ−ム３３の下降限で、図
示しないリミットスイッチによりモ−タＭ5（図１）は
停止し、モ−タＭ7が回転してスライドフレ−ム３７
を、滑り台４６上の左方へ横行し、フレ−ム３７上のカ
セット昇降台４０をＬ形プレ−ト２７の下方の中心位置
で停止させる。[0012] Thus when the inverted movement is completed, operating limit switch (not shown) motor - motor M 5 is rotated,
The guide 36 is engaged through the engagement of the pinion 34 and the rack 35.
The frame 33 is raised by being guided by a and 36b, and the pair of rollers 32, 32 are raised to the positions 32 ', 32' shown by dotted lines in FIG. Each wafer 6 is lifted to the position 6 '. Frame 33
When but rises to a predetermined position, motor operated limit switch (not shown) - motor M 4 is rotated, flop in FIG 2 - Li 60,
The two rollers 32, 32 rotate via the belt 61 and the two pulleys 62, 62, thereby causing at least one of the rollers 32, 32 to rotate as shown in FIG. Since the wafer 6 is in contact with the circular outer periphery of the wafer 6, the wafer 6 is also rotated. However, as shown in FIG.
When a contacts both the rollers 32, 32, the roller 32
The rotation of the driven wafer stops, and the rollers 32, 32 only idle, and the wafers are aligned with the orientation flat 6a downward. This state is detected by the electromagnetic orientation flat detection sensor 63 shown in FIG. 2, mode by the output signal - motor M 4
Stops, motor - and motor M 5 is reversed frame - No 33 is lowered. As a result, the wafer 6 'in the raised position returns to the support device in the original cassette. FIG. 6 is a side sectional view showing the horizontal movement of the elevator of FIG. Frame - in descent limit of arm 33, motor by the limit switch (not shown) - motor M 5 (FIG. 1) is stopped, motor - arm 37 - the sliding frame data M 7 is rotated
Is moved to the left on the slide 46, and the cassette lift 40 on the frame 37 is stopped at the center position below the L-shaped plate 27.
【００１３】スライドフレ−ム３７の停止リミットスイ
ッチ（図示せず）は、同時にモ−タＭ6を始動し、カセ
ット昇降台４０が上昇する。この上昇は、ピニオン４１
とラック４２の噛合いを介して、図５に示した１組のガ
イド４３ａ、４３ｂに案内されて、オリフラ合わせが終
了したウェ−ハカセット５をＬ形プレ−ト２７から浮上
させ、カセット昇降台４０の上に載せる。そこで上昇限
にあるリミットスイッチ（図示せず）がモ−タＭ6を停
止し、同時にモ−タＭ7を逆転させてスライドフレ−ム
３７を、滑り台４６に沿って図２に実線で示す搬送ステ
−ションの位置へ戻す。リミットスイッチ（図示せず）
が、同時にモ−タＭ6を逆転させてカセット昇降台４０
を下降させ、上記オリフラ合わせ後のウェ−ハカセット
５を、搬出機構１３の前後フレ−ム３９ａと３９ｂの上
に載せる。このウェ−ハカセット５は、図１で矢印Ｄ2
に示す方向に搬出され、プロセス装置へと搬送される。
以後上記ストッカから、反転、オリフラ合わせの機構を
経て搬出ステ−ションに至る作業が繰り返される。本発
明の実施例としては、ストッカから出庫する場合のウェ
−ハカセットの取り扱い、すなわち、ストッカからウェ
−ハカセットを受け取り、それ以後のオリフラ合わせと
搬送を扱うステ−ションＳ1とＳ2からなるカセットコン
ベヤとして説明したが、逆に外部からストッカヘ入庫す
る際にも適用できるのであり、また入庫ステ−ションを
別途設け一貫したカセットコンベヤとして設置してもよ
い。[0013] The slide frame - (not shown) stops the arm 37 limit switch, at the same time mode - Start the motor M 6, cassette elevator platform 40 is raised. This rise is caused by the pinion 41
5 is guided by a pair of guides 43a and 43b shown in FIG. 5 through the engagement between the wafer cassette 5 and the rack 42. Place on top of 40. Therefore the limit switch in the raised limit (not shown) Teal - stop motor M 6, at the same time mode - indicated by the solid line in FIG. 2 by the arm 37, along the slide 46 - slide frame by reversing the motor M 7 Return to the position of the transport station. Limit switch (not shown)
But, at the same time mode - by reversing the motor M 6 cassette elevating table 40
Is lowered, and the wafer cassette 5 after the orientation flat alignment is put on the front and rear frames 39a and 39b of the unloading mechanism 13. This wafer cassette 5 is indicated by an arrow D 2 in FIG.
And is transported to the process device.
Thereafter, the operation from the stocker to the unloading station via the reversing and orientation flat aligning mechanism is repeated. The embodiments of the present invention, in the case of left from the stocker web - Hakasetto handling, i.e., web from the stocker - cassette consisting Deployment S 1 and S 2 - receive Hakasetto, stearyl dealing with transport it with subsequent orientation flat alignment Although described as a conveyor, the present invention can be applied to a case where the stocker is stored from the outside. Alternatively, a storage station may be separately provided and installed as a consistent cassette conveyor.
【００１４】[0014]
【発明の効果】上記のように本発明のものでは、ストッ
カ入出庫口でウェ−ハのオリフラ合わせが行われるの
で、従来のようにウェ−ハは搬送経路の外のオリフラ合
わせ装置へ搬送する必要がなく、ウェ−ハは直接プロセ
ス装置へ搬送され、生産性の向上が達成される。As described above, according to the present invention, since the wafer orientation flat alignment is performed at the stocker entrance and exit, the wafer is transported to the orientation flat alignment apparatus outside the transport path as in the prior art. There is no need to transfer the wafer directly to the process equipment, and an improvement in productivity is achieved.
【図１】本発明によるストッカ入出庫口における、ウェ
−ハのオリフラ合わせ機構付カセットコンベヤの一実施
例の平面図である。FIG. 1 is a plan view of an embodiment of a cassette conveyor with a wafer orientation flat aligning mechanism at a stocker entrance and exit of the present invention.
【図２】図１のＡ−Ａ矢視立面図である。FIG. 2 is an elevational view taken along the line AA of FIG. 1;
【図３】図２のＣ矢視側面図である。FIG. 3 is a side view as viewed in the direction of arrow C in FIG. 2;
【図４】図２のＤ部拡大図であり、図４（Ａ）はウェ−
ハ６が整列前の状態を、同図（Ｂ）はウェ−ハ６が整列
した状態をそれぞれ示すものである。FIG. 4 is an enlarged view of a portion D in FIG. 2, and FIG.
FIG. 6B shows a state before the wafers 6 are aligned, and FIG. 6B shows a state where the wafers 6 are aligned.
【図５】図１のＢ−Ｂ矢視断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along the line BB of FIG. 1;
【図６】図２の昇降台の左右移動を示す側断面図であ
る。FIG. 6 is a side sectional view showing a left-right movement of the elevator of FIG. 2;
【図７】従来の半導体製造装置におけるクリ−ン搬送シ
ステムの概略説明図である。FIG. 7 is a schematic explanatory view of a clean transfer system in a conventional semiconductor manufacturing apparatus.
【図８】ウェ−ハの平面図である。FIG. 8 is a plan view of a wafer.
１ ストッカ ５ ウェ−ハカセット ６ ウェ−ハ ６ａ オリフラ １１ カセット反転機構 １２ オリフラ合わせ機構 ２５ 回転軸 ２７ Ｌ形プレ−ト ２８ 矩形プレ−ト ３０、３３ フレ−ム ３２ ロ−ラ ３７ スライドフレ−ム ３９ａ、３９ｂ 前後フレ−ム ４０ カセット昇降台 ４０ａ 昇降台支持板 ４６ 滑り台 Ｓ1 オリフラ合わせステ−ション Ｓ2 搬出ステ−ションDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Stocker 5 Wafer cassette 6 Wafer 6a Orientation flat 11 Cassette reversing mechanism 12 Orientation flattening mechanism 25 Rotating shaft 27 L-shaped plate 28 Rectangular plate 30, 33 Frame 32 Roller 37 Slide frame 39a , 39 b longitudinal frame - arm 40 cassette elevation table 40a lifting platform supporting plate 46 slide S 1 orientation flat alignment stearyl - Deployment S 2 out stearyl - Deployment
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 49/07 Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/68 B65G 49/07
Claims (1)
セット（５）の搬送システムとして、複数のウェ−ハ
（６）を収容した前記ウェ−ハカセットを受けて、その
オリフラ部を積層方向に一致させるカセットコンベヤで
あって；前記カセットコンベヤは、前記ウェ−ハカセッ
ト（５）を、ストッカ（１）の棚から受けてオリフラ合
わせを行うオリフラ合わせステ−ション（Ｓ1）と、オ
リフラ合わせを終わった前記ウェ−ハカセット（５）を
受けて、搬出フレ−ム上に載置する搬出ステ−ション
（Ｓ2）とが搬送経路順に配列された２部分から成り、 前記オリフラ合わせステ−ション（Ｓ1）は、前記ウェ
−ハカセット（５）の前記ウェ−ハ（６）を水平姿勢か
ら垂直姿勢になるように前記ウェ−ハカセット（５）
を、９０°反転するカセット反転機構（１１）とオリフ
ラ合わせ機構（１２）とから成り、 前記カセット反転機構（１１）は、所定の間隔を保って
ベ−スフレ−ムまたは床面の前後方向の中間から上方に
立ち上がる１対のフレ−ム（３０、３０）と、該フレ−
ム（３０、３０）のそれぞれの上端部近くに装着されて
駆動回転され、移動経路に平行に延在する回転軸（２
５）と、該回転軸（２５）に固着されたＬ形プレ−ト
（２７）と、これに直角に取り付けられた矩形プレ−ト
（２８）とから成り、 前記オリフラ合わせ機構（１２）は、前記ベ−スフレ−
ムまたは床面の上で前記Ｌ形プレ−ト（２７）の前後方
向のほぼ中間下方に移動方向に延在する滑り台（４６）
と、該滑り台（４６）に沿って移動方向に往復するとと
もに、水平にされた前記Ｌ形プレ−ト（２７）の下方近
くまで上下方向に延在するスライドフレ−ム（３７）
と、該スライドフレ−ム（３７）の一方端上に上下動可
能に案内されるフレ−ム（３３）と、該フレ−ム（３
３）の上端に搬送方向に直角に水平に延在して回転駆動
され前記スライドフレ−ム（３７）が上方に上げられた
状態で、垂直にされた前記ウェ−ハ（６）の下周縁部と
回転接触しオリフラ合わせを行う１対のロ−ラ（３２、
３２）とから成り、 前記搬出ステ−ション（Ｓ2）は、前記床面またはベ−
スフレ−ムから前記滑り台（４６）を挟んで所定の間隔
で前後に立ち上がり、その上端に前記ウェ−ハカセット
（５）を載せる一対の前後フレ−ム（３９ａ、３９ｂ）
と、スライドフレ−ム（３７）の前記フレ−ム（３３）
とは反対側の端部上に上下動可能に駆動されて、その上
端にカセット昇降台（４０）が設けられた昇降台支持板
（４０ａ）とを備えたことを特徴とするウェ−ハオリフ
ラ合わせ機構付カセットコンベヤ。1. A cassette conveyor for receiving a wafer cassette accommodating a plurality of wafers (6) and aligning an orientation flat portion thereof in a stacking direction as a wafer cassette (5) transport system in a semiconductor manufacturing system. a is; the cassette conveyor, the web - Hakasetto (5), stocker (1) orientation flat alignment stearyl performs orientation flat alignment by receiving the shelf - and Deployment (S 1), wherein the web has finished the orientation flat alignment - The unloading station (S 2 ), which receives the cassette (5) and is placed on the unloading frame, is composed of two parts arranged in the order of the transport path, and the orientation flat aligning station (S 1 ) The wafer cassette (5) such that the wafer (6) of the wafer cassette (5) is changed from a horizontal posture to a vertical posture.
A cassette reversing mechanism (11) for reversing 90 ° and an orientation flat aligning mechanism (12). The cassette reversing mechanism (11) is arranged at a predetermined interval in the longitudinal direction of the base frame or the floor surface. A pair of frames (30, 30) rising upward from the middle;
The rotation shaft (2) mounted near the upper end of each of the robots (30, 30) and driven to rotate, and extending parallel to the movement path.
5), an L-shaped plate (27) fixed to the rotating shaft (25), and a rectangular plate (28) mounted at right angles to the L-shaped plate (27). , The base frame
A slide (46) extending in the direction of movement substantially below the middle of the L-shaped plate (27) in the front-rear direction on the floor or the floor;
A slide frame (37) which reciprocates in the movement direction along the slide (46) and extends vertically up to near the lower part of the L-shaped plate (27) which is leveled.
A frame (33) guided vertically on one end of the slide frame (37); and a frame (3).
The lower edge of the wafer (6), which is vertically driven with the slide frame (37) lifted upward while being horizontally driven to extend horizontally at a right angle to the transport direction at the upper end of (3). A pair of rollers (32,
32), wherein the unloading station (S 2 ) is mounted on the floor or base.
A pair of front and rear frames (39a, 39b) which stand up and down at predetermined intervals from the frame with the slide (46) interposed therebetween, and mount the wafer cassette (5) on the upper end thereof.
And the frame (33) of the slide frame (37).
And a lift support plate (40a) having a cassette lift (40) provided at the upper end thereof, which is driven to be movable up and down on an end opposite to the upper end. Cassette conveyor with mechanism.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP14412994A JP3346033B2 (en) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | Cassette Conveyor with Wei-Haori Flat Alignment Mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP14412994A JP3346033B2 (en) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | Cassette Conveyor with Wei-Haori Flat Alignment Mechanism |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07335710A JPH07335710A (en) | 1995-12-22 |
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Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3346033B2 (en) |
-
1994
- 1994-06-03 JP JP14412994A patent/JP3346033B2/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH07335710A (en) | 1995-12-22 |
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