JP3340675B2 - プラスチックモールド開封装置 - Google Patents
プラスチックモールド開封装置Info
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Description
封止された半導体チップ、コンデンサー、ハイブリッド
IC等のプラスチックモールドの一部を溶解除去し、不
良解析時の検査や品質チェックに使用するためのプラス
チックモールド開封装置に関するものである。
導体チップ、コンデンサー、ハイブリッドIC等のプラ
スチックモールドされたサンプルの一部を、薬液により
溶解除去して露出させるプラスチックモールド開封装置
が知られている。
ては、従来より硝酸を用いてサンプルの開封処理を行う
ものがある。この硝酸を用いる場合には、IC回路に使
用されているアルミ材を腐食させることがないため、優
良な開封結果が選られる。
おいては、硝酸では溶解できないものが急激に増加して
おり、このようなサンプルに対しては主に高温に加熱さ
れた濃硫酸が使用されるようになってきた。このような
濃硫酸を使用するプラスチックモールド開封装置では、
加熱された濃硫酸をプラスチックモールド開封装置の開
封処理部に供給して、サンプルの開封部に噴射して開封
するものである。
な従来の技術にあっては、硫酸を使用しているため、こ
の硫酸が水分を含むとIC回路に接触した時点で回路に
使用されているアルミ材を腐食させてしまうという問題
がある。さらに、硫酸はそれ自体が強い吸水性を持ち、
開封処理の際に大気に触れると大気中の水分を吸収して
しまうという問題がある。
術に着目してなされたものであり、種々のモールド材に
対応できるプラスチックモールド開封装置を提供するこ
とにある。
めに、請求項1によるこの発明のプラスチックモールド
開封装置は、プラスチックによりモールドされたサンプ
ルに薬液を噴射し溶解せしめて開封するためのプラスチ
ックモールド開封装置であって、第一、第二薬液ビンか
ら所望の薬液を所望の量だけ取り出す第一の薬液供給手
段と、この第一の薬液供給手段により取り出された前記
薬液を一旦溜め置く受液器と、この受液器に溜め置かれ
た薬液を所定量だけとりだす第二の薬液供給手段と、こ
の第二の薬液供給手段により取り出された薬液を加熱す
る加熱手段と、この加熱手段により加熱された薬液をサ
ンプルに噴射して開封部を開封する薬液噴射部と、この
薬液噴射部から排液を回収する排液ビンと、を備えてな
り、前記第一薬液ビン、第二薬液ビンがそれぞれから配
管により前記第一の薬液供給手段に接続されていると共
に前記各配管のそれぞれの途中に各切換えバルブが設け
られ、第一、第二薬液ビンからそれぞれ所望の薬液を所
望の量だけ前記受液器に供給するとき、前記各切換えバ
ルブがそれぞれオンすべく構成されていることを特徴と
するものである。
チックモールドを溶解するための薬液を第一、第二薬液
ビンから所定量だけ取り出して受液器に混ぜて一旦溜め
る。この混ぜられた薬液を第二の薬液供給手段により所
定量だけ取り出し加熱手段に供給して加熱する。この加
熱された薬液を薬液噴射部がサンプルの開封部に噴射し
て溶解せしめて開封し、排液は排液ビンに回収される。
ールド開封装置は、請求項1記載のプラスチックモール
ド開封装置において、前記薬液ビンの内部、第一の薬液
供給手段の内部、第二の薬液供給手段の内部および受液
器の内部を大気から遮断すべく前記各内部を連結する配
管と、この配管に不活性ガスを供給する不活性ガス供給
手段と、前記配管により薬液を送液する際に大気の代わ
りに前記不活性ガスを供給すべく前記配管を切り換える
切換えバルブと、を備えてなることを特徴とするもので
ある。
ンから所定量の薬液を取り出す際の薬液ビン内部および
配管や、第二の薬液供給手段により受液器から所定量の
薬液を取り出す際の受液器および配管に、切換えバルブ
の操作により大気の代わりに不活性ガスを流入させて、
大気に触れることなく配管中の薬液を完全に送るように
する。
ールド開封装置は、請求項1または2記載のプラスチッ
クモールド開封装置において、前記第一の薬液供給手段
および第二の薬液供給手段が、所望の一定量だけ送液す
る第一の定量ポンプおよび第二の定量ポンプであるこ
と、を特徴とするものである。
定量ポンプを用いて、第一、第二薬液ビンからそれぞれ
各薬液を必要な量だけ取り出して受液器に供給する。ま
た、第二の薬液供給手段である第二の定量ポンプを用い
て、必要な量だけ受液器から取り出して正確に加熱手段
に供給する。
ールド開封装置は、請求項1または2記載のプラスチッ
クモールド開封装置において、前記第一、第二薬液ビン
が、それぞれ硝酸ビン、硫酸ビンを有すること、を特徴
とするものである。従って、硝酸が入った硝酸ビンと、
硫酸が入った硫酸ビンが第一の薬液供給手段に接続され
ており、所定量だけ受液器に供給されて使用される。
入った硫酸ビンが第一の薬液供給手段に接続されてお
り、所定量だけ受液器に供給されて使用される。
面に基づいて詳細に説明する。
ールド開封装置1が示されている。このプラスチックモ
ールド開封装置1では、硫酸(H2SO4)が入った第一
の薬液ビンである硫酸ビン3と、硝酸(HNO3)が入
った第二の薬液ビンである硝酸ビン5を有している。こ
の硫酸ビン3および硝酸ビン5のイン側に入る配管7、
9は、各々チェックバルブ11、13を介して不活性ガ
スの一例である窒素ガス(N2)供給用の配管15に接
続されている。
は、各々切換えバルブである電磁バルブ17、19を有
する配管21、23により、配管25を介して第一の薬
液供給手段としての第一の定量ポンプ27に接続されて
いる。この第一の定量ポンプ27は、一定量の薬品を吸
入するためのものである。なお、前記配管25は、電磁
バルブ29を介して配管31により窒素ガス(N2)供
給用の配管33に接続されている。
受液器37のイン側に接続されており、一定量の薬品を
一旦受液器37に貯蔵する。この受液器37のアウト側
は、配管39により第二の薬液供給手段としての第二の
定量ポンプ41に接続されている。また、受液器37に
は液面検知器43を備えた配管45が接続されており、
さらに受液器37には流量調整器47を有する配管49
が接続されている。この配管49の先端には、窒素ガス
を供給するための不活性ガス供給手段の一例としての窒
素ガス供給手段51が接続されている。
一例である熱交換器53が接続されており、前記第二の
定量ポンプ41により供給された薬液を所定の温度に加
熱する。この熱交換器53には排液ビン55が接続され
ており、熱交換器53の中央に載置されたサンプルPM
のモールド材を溶解した排液を回収している。
旋状に形成されており、その先端に薬液を噴射する薬液
噴射部としてのノズル56を備えているいるものを使用
しているが、既に公知(例えば特公平5−65014号
公報参照)のものなので詳細な説明は省略する。
モールドされたサンプルPMの開封面を下向きにして載
置するブロック57が設けられており、このブロック5
7の中央には薬液を噴射するための孔59が設けられて
いる。
PMを押さえるためのサンプル押え61が設けられてお
り、電磁切換えバルブ63で作動するエアーシリンダ6
5により昇降自在となっている。
に吹き付けられた薬液が飛び散らないようにサンプルカ
バー67が取り付けられている。なお、前記ブロック5
7の周縁部にはサンプルカバー67を下降させた時に内
部を密閉すべく、シール材69が設けられている。ま
た、熱交換器53の内部に窒素ガスを供給する配管71
および電磁バルブ73が設けられている。熱交換器53
と排液ビン55とは配管75で接続されている。
クモールドの開封動作について説明する。
により、硫酸ビン3のみまたは硝酸ビン5のみ、あるい
は硫酸ビン3および硝酸ビン5の両方から一定量の薬液
を吸入して、受液器37に送って溜める。この時、電磁
バルブ17、19の切換えにより、硝酸のみ取り出す場
合には電磁バルブ19のみを開にし、硫酸のみ取り出す
場合には電磁バルブ17のみを開にし、硝酸と硫酸の両
方を取り出す場合には電磁バルブ19,17の両方を開
にし、所定の割合で混ぜ合わせて取り出す場合を選択す
ることができる。
チックモールドの開封を行うことは、IC回路に使用さ
れているアルミ材を腐食させることがないので良い開封
結果が得られるが、最近モールドに使用されている材質
によっては溶解できない場合が増加してきた。また、硫
酸のみを用いる場合には、硝酸のみでは溶解できないモ
ールド材でも溶解できるが、硫酸中に水分が含まれると
アルミ材を腐食させてしまう性質を有する。このため、
硝酸と硫酸を混ぜて使用することが行われるようになっ
てきた。この場合には、硝酸のみでは溶解しないモール
ド材でも溶解させることができる場合があり、開封結果
も硝酸のみの場合と硫酸のみの場合の中間的なものとな
る。従って、ケース・バイ・ケースで硝酸および硫酸の
比率を考慮して、受液器37に取り出すことが必要であ
る。
終了すると電磁バルブ17、19を閉じて電磁バルブ2
9を開き、第一の定量ポンプ27のイン側から窒素ガス
を導入する。これにより、配管25、35の内部および
第一の定量ポンプ27の内部に残っている薬液を完全に
受液器37に追い出す。
められた薬液を、第二の定量ポンプ41により熱交換器
53に送り、所定の温度まで加熱する。熱交換器53の
ブロック57の上面において開封面を下向きにセットさ
れたサンプルPMの上から、エアーシリンダ65により
サンプルカバー67を下降させると共にサンプル押え6
1によりサンプルPMを押さえ、加熱された薬液をノズ
ル56からサンプルPMの下面に向かって噴射してプラ
スチックモールドを溶解させる。排液は、配管75を介
して排液ビン55に回収される。
バルブ73を開いて窒素ガスを熱交換器53内へ送っ
て、熱交換器53の内部に残っている薬液を追い出す。
ックモールドを溶解する際に、プラスチックモールドの
材質に応じて硝酸のみの使用、硫酸のみの使用、硝酸と
硫酸を所定の割合で混ぜた混液の使用を選択することが
できるので、最良の開封処理を行うことができる。
り硝酸や硫酸等の薬液を一定量取り出した後にサンプル
に噴射させているので、一定の割合で混合させた混液を
使用することができ、安定した開封処理を行うことがで
きる。
1、35等の内部を大気から遮断して不活性ガスである
窒素ガスにより充填しているので、吸湿性の強い硫酸を
使用する場合でも大気に触れさせて大気中の水分を吸収
するのを防止できる。これにより、従来よりいわれてい
る様な、硫酸を用いるとICに使用されているアルミ材
を腐食させてしまうということを防止することができ、
種々のプラスチックモールド材の溶解を行うことができ
る。
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。すなわち、前述の実施
の形態においては、薬液として硝酸および硫酸を使用
し、不活性ガスとして窒素ガスを使用したが、これ以外
の薬液等にも使用することができる。
よるプラスチックモールド開封装置では、第一の薬液供
給手段によりプラスチックモールドを溶解するための第
一、第二薬液ビンからそれぞれ薬液を第1、第2所定量
だけ取り出して受液器に一旦混ぜて溜める。第二の薬液
供給手段により混ぜられた薬液を所定量だけ取り出し加
熱手段に供給して加熱し、この加熱された薬液を薬液噴
射部がサンプルの開封部に噴射することにより、開封部
を溶解させて開封することができる。
ド開封装置では、第一の薬液供給手段により薬液ビンか
ら所定量の薬液を取り出す際の薬液ビン内部および配管
や、第二の薬液供給手段により受液器から所定量の薬液
を取り出す際の受液器および配管を大気から遮断すると
共に、切換えバルブの操作により大気の代わりに不活性
ガスを流入させるので、大気に触れることなく配管中の
薬液を完全に送ることができる。
ド開封装置では、第一の薬液供給手段は第一の定量ポン
プを用いて、薬液ビンから必要な薬液を必要な量だけ取
り出して受液器に供給し、第二の薬液供給手段は第一の
定量ポンプを用いて、必要な量だけ受液器から取り出し
て正確に加熱手段に供給するので、所望の量の薬液を使
用することができる。
ド開封装置では、硝酸が入った硝酸ビンと、硫酸が入っ
た硫酸ビンが第一の薬液供給手段に接続されており、所
定量だけ受液器に供給されて使用されるので、硝酸と硫
酸の混合液等を適宜使用することができる。
の構成を示すブロック図である。
いた開封処理の一段階を示す工程図である。
いた開封処理の一段階を示す工程図である。
いた開封処理の一段階を示す工程図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 プラスチックによりモールドされたサン
プルに薬液を噴射し溶解せしめて開封するためのプラス
チックモールド開封装置であって、第一、第二薬液ビン
から所望の薬液を所望の量だけ取り出す第一の薬液供給
手段と、この第一の薬液供給手段により取り出された前
記薬液を一旦溜め置く受液器と、この受液器に溜め置か
れた薬液を所定量だけとりだす第二の薬液供給手段と、
この第二の薬液供給手段により取り出された薬液を加熱
する加熱手段と、この加熱手段により加熱された薬液を
サンプルに噴射して開封部を開封する薬液噴射部と、こ
の薬液噴射部から排液を回収する排液ビンと、を備えて
なり、前記第一薬液ビン、第二薬液ビンがそれぞれ配管
により前記第一の薬液供給手段に接続されていると共に
前記各配管のそれぞれの途中に各切換えバルブが設けら
れ、第一、第二薬液ビンからそれぞれ所望の薬液を所望
の量だけ前記受液器に供給するとき、各切換えバルブが
それぞれ開すべく構成されていることを特徴とするプラ
スチックモールド開封装置。 - 【請求項2】 前記第一、第二薬液ビンの内部、第一の
薬液供給手段の内部、第二の薬液供給手段の内部および
受液器の内部を大気から遮断すべく前記各内部を連結す
る配管と、この配管に不活性ガスを供給する不活性ガス
供給手段 と、前記配管により薬液を送液する際に大気
の代わりに前記不活性ガスを供給すべく前記配管を切り
換える切換えバルブと、を備えてなることを特徴とする
請求項1記載のプラスチックモールド開封装置。 - 【請求項3】 前記第一の薬液供給手段および第二の薬
液供給手段が、所望の一定量だけ送液する第一の定量ポ
ンプおよび第二の定量ポンプであること、を特徴とする
請求項1または2記載のプラスチックモールド開封装
置。 - 【請求項4】 前記第一、第二薬液ビンが、それぞれ硝
酸ビン、硫酸ビンを有すること、を特徴とする請求項1
または2記載のプラスチックモールド開封装置。
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