JP3332910B2 - ウェハシートのエキスパンダ - Google Patents
ウェハシートのエキスパンダInfo
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- JP3332910B2 JP3332910B2 JP2000348592A JP2000348592A JP3332910B2 JP 3332910 B2 JP3332910 B2 JP 3332910B2 JP 2000348592 A JP2000348592 A JP 2000348592A JP 2000348592 A JP2000348592 A JP 2000348592A JP 3332910 B2 JP3332910 B2 JP 3332910B2
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- Japan
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- ring
- cam
- wafer
- pressure ring
- wafer sheet
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程に
おいて、ウェハを貼り付けたウェハリングのウェハシー
トを引き伸ばすために用いられるウェハシートのエキス
パンダに関する。
おいて、ウェハを貼り付けたウェハリングのウェハシー
トを引き伸ばすために用いられるウェハシートのエキス
パンダに関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、半導体製造工程では、ウェハをウ
ェハリングのウェハシートと呼ばれる粘着性樹脂シート
に貼り付けた状態で個々のペレット毎に切断し、その後
の工程においてウェハリングのウェハシートを引き伸ば
すことにより切断された個々のペレット相互の間隔を広
げるようにしている。
ェハリングのウェハシートと呼ばれる粘着性樹脂シート
に貼り付けた状態で個々のペレット毎に切断し、その後
の工程においてウェハリングのウェハシートを引き伸ば
すことにより切断された個々のペレット相互の間隔を広
げるようにしている。
【０００３】上述のようにウェハリングのウェハシート
を引き伸ばす場合、エキスパンダが用いられる。このエ
キスパンダは、図３に示すように、円筒状の固定リング
１と、固定リング１の外側上方に、該固定リング１の軸
方向に移動可能に配設された円環状の加圧リング２とを
備え、図３（ａ）に示すように、固定リング１にウェハ
シート３にウェハ４を貼り付けたウェハリング５を載置
させ、図３（ｂ）に示すように、加圧リング２によって
ウェハリング５を押し下げることにより、固定リング１
と協働してウェハシート３を引き伸ばすように構成され
ている。
を引き伸ばす場合、エキスパンダが用いられる。このエ
キスパンダは、図３に示すように、円筒状の固定リング
１と、固定リング１の外側上方に、該固定リング１の軸
方向に移動可能に配設された円環状の加圧リング２とを
備え、図３（ａ）に示すように、固定リング１にウェハ
シート３にウェハ４を貼り付けたウェハリング５を載置
させ、図３（ｂ）に示すように、加圧リング２によって
ウェハリング５を押し下げることにより、固定リング１
と協働してウェハシート３を引き伸ばすように構成され
ている。
【０００４】従来、上述したエキスパンダの加圧リング
２を上下動させる機構には、例えば、図４または図５に
示すような駆動方式がある。即ち、図４に示す駆動方式
は、加圧リング２の下面側に複数個、例えば３個の駆動
ネジ６を円周等間隔に取付け、これら駆動ネジ６を回転
自在に支持した各々のナット７にそれぞれ螺合するとと
もに、各々のナット７に、これらナット７を同期して回
転させるためのベルト８を纏い掛けており、ベルト８に
よって各ナット７を同期して回転することにより、ナッ
ト６と駆動ネジ７との螺合によって加圧リング２を上下
動させる。尚、図４において、１９は加圧リング２を水
平を維持した状態で上下動させるためのガイドである。
２を上下動させる機構には、例えば、図４または図５に
示すような駆動方式がある。即ち、図４に示す駆動方式
は、加圧リング２の下面側に複数個、例えば３個の駆動
ネジ６を円周等間隔に取付け、これら駆動ネジ６を回転
自在に支持した各々のナット７にそれぞれ螺合するとと
もに、各々のナット７に、これらナット７を同期して回
転させるためのベルト８を纏い掛けており、ベルト８に
よって各ナット７を同期して回転することにより、ナッ
ト６と駆動ネジ７との螺合によって加圧リング２を上下
動させる。尚、図４において、１９は加圧リング２を水
平を維持した状態で上下動させるためのガイドである。
【０００５】次に、図５に示す駆動方式は、加圧リング
２の下方に複数本、例えば３本のエアシリンダ等の駆動
シリンダ９を円周方向に等間隔に配設し、これら駆動シ
リンダ９のピストンロッド１０の先端部を加圧リング２
の下面側にそれぞれ固着させており、各駆動シリンダ９
のピストンロッド１０を同期して伸縮することにより、
加圧リング２を上下動させる。
２の下方に複数本、例えば３本のエアシリンダ等の駆動
シリンダ９を円周方向に等間隔に配設し、これら駆動シ
リンダ９のピストンロッド１０の先端部を加圧リング２
の下面側にそれぞれ固着させており、各駆動シリンダ９
のピストンロッド１０を同期して伸縮することにより、
加圧リング２を上下動させる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した図
４に示す駆動方式では、駆動ネジ６とナット７とによっ
て加圧リング２を上下動させているが、加圧リング２を
上下動する際に駆動ネジ６とナット７とが擦れ合うた
め、駆動ネジ６とナット７との消耗が激しく、駆動ネジ
６とナット７を頻繁に交換しなければならないという問
題がある。また、各ナット７にベルト８を纏い掛けるた
めに多数個のアイドルプーリが必要であり、装置の製作
コストが嵩むという問題もある。更に、加圧リング２を
水平を維持した状態で上下動させるため、組立時に各々
の駆動ネジ６とナット７とを位相調整する必要があり、
この位相調整が非常に面倒で組立てに時間・手間がかか
るという問題もある。しかも、駆動ネジ６とナット７と
による螺合によって加圧リング２を上下動させているた
め、加圧リング２の上下動作が遅くて作業性が悪いとい
う問題もある。
４に示す駆動方式では、駆動ネジ６とナット７とによっ
て加圧リング２を上下動させているが、加圧リング２を
上下動する際に駆動ネジ６とナット７とが擦れ合うた
め、駆動ネジ６とナット７との消耗が激しく、駆動ネジ
６とナット７を頻繁に交換しなければならないという問
題がある。また、各ナット７にベルト８を纏い掛けるた
めに多数個のアイドルプーリが必要であり、装置の製作
コストが嵩むという問題もある。更に、加圧リング２を
水平を維持した状態で上下動させるため、組立時に各々
の駆動ネジ６とナット７とを位相調整する必要があり、
この位相調整が非常に面倒で組立てに時間・手間がかか
るという問題もある。しかも、駆動ネジ６とナット７と
による螺合によって加圧リング２を上下動させているた
め、加圧リング２の上下動作が遅くて作業性が悪いとい
う問題もある。
【０００７】次に、図５に示す駆動方式では、複数本の
駆動シリンダ９によって加圧リング２を上下動させてい
るが、複数本の駆動シリンダ９を同期して駆動させるこ
とが困難であり、加圧リング２を水平を維持した状態で
上下動させることができない。そのため、ウェハシート
３の引き伸ばしにバラツキが生じるという問題がある。
駆動シリンダ９によって加圧リング２を上下動させてい
るが、複数本の駆動シリンダ９を同期して駆動させるこ
とが困難であり、加圧リング２を水平を維持した状態で
上下動させることができない。そのため、ウェハシート
３の引き伸ばしにバラツキが生じるという問題がある。
【０００８】本発明は、従来の上述した問題点に鑑み、
構造が簡単で動作が速く、しかも、消耗部品がないとと
もに、ネジ位相調整や駆動手段の同期調整が不要なウェ
ハシートのエキスパンダを提供することを目的としてい
る。
構造が簡単で動作が速く、しかも、消耗部品がないとと
もに、ネジ位相調整や駆動手段の同期調整が不要なウェ
ハシートのエキスパンダを提供することを目的としてい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、加圧リングと同心状に回動リングを回動
自在に配設し、前記回動リングに上下方向に傾斜しなが
ら円周方向に延びるカム溝を有する複数個のカム板また
は複数個のカムフォロアを円周方向に等間隔に設け、か
つ、前記加圧リングに前記カム板または前記カムフォロ
ワに対向して前記カム板のカム溝内に転動可能に係合さ
れる複数個のカムフォロアまたは前記カムフォロアを転
動可能に係合させるカム溝を有する複数個のカム板を設
け、前記回動リングを単一の駆動手段により回動させる
ようにしたことを特徴とする。
め、本発明は、加圧リングと同心状に回動リングを回動
自在に配設し、前記回動リングに上下方向に傾斜しなが
ら円周方向に延びるカム溝を有する複数個のカム板また
は複数個のカムフォロアを円周方向に等間隔に設け、か
つ、前記加圧リングに前記カム板または前記カムフォロ
ワに対向して前記カム板のカム溝内に転動可能に係合さ
れる複数個のカムフォロアまたは前記カムフォロアを転
動可能に係合させるカム溝を有する複数個のカム板を設
け、前記回動リングを単一の駆動手段により回動させる
ようにしたことを特徴とする。
【００１０】また、前記駆動手段としてシリンダを用い
ることが好ましい。
ることが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
１および図２に基いて詳細に説明する。図１は本発明に
係るウェハシートのエキスパンダにおける加圧リンクを
上下動させる機構を示す斜視図であり、図２はその一部
分の詳細図である。尚、図１および図２において、従来
技術を示す図１および図２と同一の部材には同一の符号
を用い、重複する事項に関しては説明を省略する。
１および図２に基いて詳細に説明する。図１は本発明に
係るウェハシートのエキスパンダにおける加圧リンクを
上下動させる機構を示す斜視図であり、図２はその一部
分の詳細図である。尚、図１および図２において、従来
技術を示す図１および図２と同一の部材には同一の符号
を用い、重複する事項に関しては説明を省略する。
【００１２】この実施の形態においては、図１に示すよ
うに、加圧リング２の下方に、該加圧リング２と同心状
に回動リング１１をその円周方向に回動自在に配設して
いる。回動リング１１の下面側には、例えばエアシリン
ダからなる駆動シリンダ１２のピストンロッド１３の先
端部が連結されており、駆動シリンダ１２のピストンロ
ッド１３を伸縮することにより、回動リング１１がその
円周方向に所定の角度範囲で回動される。また、回動リ
ング１１の上面側には、円周等間隔に複数個、例えば３
個のカム板１４が取付けられている。カム板１４には、
回動リング１１の円周方向に延びるカム溝１５が上下方
向に傾斜して形成されている。カム溝１５は、図２に示
すように、上方側の傾斜角度を大きく形成し、下方側の
傾斜角度を小さく形成している。一方、加圧リング２の
下面側には、カム板１４に対向して円周等間隔に複数
個、例えば３個のカムフォロワ取付板１６が取付けられ
ている。カムフォロワ取付板１６には、カム板１４のカ
ム溝１５内に転動自在に係合されるカムフォロア１７が
取付けられいる。
うに、加圧リング２の下方に、該加圧リング２と同心状
に回動リング１１をその円周方向に回動自在に配設して
いる。回動リング１１の下面側には、例えばエアシリン
ダからなる駆動シリンダ１２のピストンロッド１３の先
端部が連結されており、駆動シリンダ１２のピストンロ
ッド１３を伸縮することにより、回動リング１１がその
円周方向に所定の角度範囲で回動される。また、回動リ
ング１１の上面側には、円周等間隔に複数個、例えば３
個のカム板１４が取付けられている。カム板１４には、
回動リング１１の円周方向に延びるカム溝１５が上下方
向に傾斜して形成されている。カム溝１５は、図２に示
すように、上方側の傾斜角度を大きく形成し、下方側の
傾斜角度を小さく形成している。一方、加圧リング２の
下面側には、カム板１４に対向して円周等間隔に複数
個、例えば３個のカムフォロワ取付板１６が取付けられ
ている。カムフォロワ取付板１６には、カム板１４のカ
ム溝１５内に転動自在に係合されるカムフォロア１７が
取付けられいる。
【００１３】以上のように構成された実施の形態では、
駆動シリンダ１２のピストンロッド１３を伸縮して回動
リング１１を円周方向に回動すると、回動リング１１の
回動に伴って各カム板１４も回動リンク１１の円周方向
にそれぞれ回動する。この各カム板１４の回動により、
各カム板１４のカム溝１５の位置が変化するため、各カ
ム板１４のカム溝１５内に転動自在に係合されている各
々のカムフォロア１７がカム板１４のカム溝１５に案内
されてそれぞれ上下動する。各カムフォロア１７がそれ
ぞれ上下動すると、これらカムフォロア１７の各々のカ
ムフォロア取付板１５を介して加圧リング２が水平を維
持した状態で上下動される。
駆動シリンダ１２のピストンロッド１３を伸縮して回動
リング１１を円周方向に回動すると、回動リング１１の
回動に伴って各カム板１４も回動リンク１１の円周方向
にそれぞれ回動する。この各カム板１４の回動により、
各カム板１４のカム溝１５の位置が変化するため、各カ
ム板１４のカム溝１５内に転動自在に係合されている各
々のカムフォロア１７がカム板１４のカム溝１５に案内
されてそれぞれ上下動する。各カムフォロア１７がそれ
ぞれ上下動すると、これらカムフォロア１７の各々のカ
ムフォロア取付板１５を介して加圧リング２が水平を維
持した状態で上下動される。
【００１４】この実施の形態によれば、駆動シリンダ１
２によって複数個のカム板１４およびカムフォロア１７
を介して加圧リング２を上下動することができるから、
構造が極めて簡単であるとともに、消耗部品がなく、し
かも、加圧リング２の上下動の動作が速い。
２によって複数個のカム板１４およびカムフォロア１７
を介して加圧リング２を上下動することができるから、
構造が極めて簡単であるとともに、消耗部品がなく、し
かも、加圧リング２の上下動の動作が速い。
【００１５】また、この実施の形態によれば、単一の駆
動シリンダ１２によって複数個のカム板１４を回動する
ことにより、加圧リング２を水平を維持した状態で上下
動させることが可能であるから、従来のように組立時に
おける加圧リング２を水平を維持した状態で上下動させ
るためのネジ位相調整や複数本の駆動シリンダの同期調
整が不要である。
動シリンダ１２によって複数個のカム板１４を回動する
ことにより、加圧リング２を水平を維持した状態で上下
動させることが可能であるから、従来のように組立時に
おける加圧リング２を水平を維持した状態で上下動させ
るためのネジ位相調整や複数本の駆動シリンダの同期調
整が不要である。
【００１６】尚、この実施の形態では、カム板１４のカ
ム溝１５を、上方側の傾斜角度を大きく形成し、下方側
の傾斜角度を小さく形成したことにより、加圧リング２
は、ウェハリング４に当るまでは大きなストロークによ
り小さな加圧力で速く降下し、ウェハリング４に当って
からは小さなストロークにより大きな加圧力でゆっくり
降下する。これにより、加圧リング２をより速く上下動
することができるとともに、ウェハリング５のウェハシ
ート３を大きな加圧力で引き伸ばすことができる。
ム溝１５を、上方側の傾斜角度を大きく形成し、下方側
の傾斜角度を小さく形成したことにより、加圧リング２
は、ウェハリング４に当るまでは大きなストロークによ
り小さな加圧力で速く降下し、ウェハリング４に当って
からは小さなストロークにより大きな加圧力でゆっくり
降下する。これにより、加圧リング２をより速く上下動
することができるとともに、ウェハリング５のウェハシ
ート３を大きな加圧力で引き伸ばすことができる。
【００１７】以上、本発明の一実施の形態について説明
したが、本発明はこのような実施の形態に限定されるも
のではない。例えば、前記実施の形態では、回動リング
１１側にカム溝１５を有するカム板１４を取付け、加圧
リング２側にカム板１４のカム溝１５内に転動自在に係
合されるカムフォロア１７を取付けているが、その逆で
加圧リング２側にカム溝１５を有するカム板１４を取付
け、回動リング１１側にカム板１４のカム溝１５内に転
動自在に係合されるカムフォロア１７を取付けても構わ
ない。また、前記実施の形態では、回動リング１２をエ
アシリンダ等のシリンダ１２によって回動させている
が、回動リング１１をシリンダ１２以外、例えばモータ
等によって回動させても構わない。また、駆動シリンダ
１２の延長線上に調整ストッパを設け、この調整ストッ
パにより駆動シリンダ１２のピストンロッド１３のスト
ロークを調整してウェハリング５のウェハシート３の引
き伸ばし量を調整させても構わない。更に、加圧リング
２の内周縁に品対リング１８を着脱可能に取付け、ウェ
ハリング５の直径に対応して品対リング１８を交換させ
ても構わない。
したが、本発明はこのような実施の形態に限定されるも
のではない。例えば、前記実施の形態では、回動リング
１１側にカム溝１５を有するカム板１４を取付け、加圧
リング２側にカム板１４のカム溝１５内に転動自在に係
合されるカムフォロア１７を取付けているが、その逆で
加圧リング２側にカム溝１５を有するカム板１４を取付
け、回動リング１１側にカム板１４のカム溝１５内に転
動自在に係合されるカムフォロア１７を取付けても構わ
ない。また、前記実施の形態では、回動リング１２をエ
アシリンダ等のシリンダ１２によって回動させている
が、回動リング１１をシリンダ１２以外、例えばモータ
等によって回動させても構わない。また、駆動シリンダ
１２の延長線上に調整ストッパを設け、この調整ストッ
パにより駆動シリンダ１２のピストンロッド１３のスト
ロークを調整してウェハリング５のウェハシート３の引
き伸ばし量を調整させても構わない。更に、加圧リング
２の内周縁に品対リング１８を着脱可能に取付け、ウェ
ハリング５の直径に対応して品対リング１８を交換させ
ても構わない。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、単一の駆動手段によっ
て複数個のカム板およびカムフォロアを介して加圧リン
グを水平を維持した状態で上下動することができるか
ら、構造が簡単であるとともに、消耗部品がなくなり、
しかも、加圧リングの上下動作が速く、更に、従来のよ
うに組立時における加圧リングを水平を維持した状態で
上下動させるためのネジ位相調整や複数本の駆動シリン
ダの同期調整が不要である。これにより、装置の故障や
部品交換を少なくすることができるとともに、シート引
き伸ばし作業の作業能率を向上することができ、しか
も、組立作業を容易にすることができる。
て複数個のカム板およびカムフォロアを介して加圧リン
グを水平を維持した状態で上下動することができるか
ら、構造が簡単であるとともに、消耗部品がなくなり、
しかも、加圧リングの上下動作が速く、更に、従来のよ
うに組立時における加圧リングを水平を維持した状態で
上下動させるためのネジ位相調整や複数本の駆動シリン
ダの同期調整が不要である。これにより、装置の故障や
部品交換を少なくすることができるとともに、シート引
き伸ばし作業の作業能率を向上することができ、しか
も、組立作業を容易にすることができる。
【図１】本発明のウェハシートのエキスパンダにおける
加圧リングを上下動させる機構を示す斜視図。
加圧リングを上下動させる機構を示す斜視図。
【図２】図２の一部分の詳細図。
【図３】ウェハシートのエキスパンダを示す概略図であ
る。
る。
【図４】従来のウェハシートのエキスパンダにおける加
圧リングを上下動させる機構を示す斜視図。
圧リングを上下動させる機構を示す斜視図。
【図５】従来のウェハシートのエキスパンダにおける加
圧リングを上下動させる機構を示す斜視図。
圧リングを上下動させる機構を示す斜視図。
１ 固定リング ２ 加圧リング １１ 回動リング １２ 駆動シリンダ １４ カム板 １５ カム溝 １７ カムフォロア
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/301 H01L 21/68
Claims (2)
- 【請求項１】 固定リングと、この固定リングの外側上
方に、該固定リングの軸方向に移動可能に配設された加
圧リングとを備え、前記固定リングにウェハリングを載
置させ、前記加圧リングにより前記ウェハリングを押し
下げることにより前記固定リングと協働して前記ウェハ
ーリングのウェハシートを引き伸ばすウェハシートのエ
キスパンダにおいて、 前記加圧リングと同心状に回動リングを回動自在に配設
し、前記回動リングに上下方向に傾斜しながら円周方向
に延びるカム溝を有する複数個のカム板または複数個の
カムフォロアを円周方向に等間隔に設け、かつ、前記加
圧リングに前記カム板または前記カムフォロワに対向し
て前記カム板のカム溝内に転動自在に係合される複数個
のカムフォロアまたは前記カムフォロアを転動自在に係
合させるカム溝を有する複数個のカム板を設け、前記回
動リングを単一の駆動手段により回動させるようにした
ことを特徴とするウェハシートのエキスパンダ。 - 【請求項２】 前記駆動手段としてシリンダを用いたこ
とを特徴とする請求項１記載のウェハシートのエキスパ
ンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000348592A JP3332910B2 (ja) | 2000-11-15 | 2000-11-15 | ウェハシートのエキスパンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000348592A JP3332910B2 (ja) | 2000-11-15 | 2000-11-15 | ウェハシートのエキスパンダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001127015A JP2001127015A (ja) | 2001-05-11 |
| JP3332910B2 true JP3332910B2 (ja) | 2002-10-07 |
Family
ID=18822150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000348592A Expired - Fee Related JP3332910B2 (ja) | 2000-11-15 | 2000-11-15 | ウェハシートのエキスパンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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| TWI326626B (en) | 2002-03-12 | 2010-07-01 | Hamamatsu Photonics Kk | Laser processing method |
| CN100485902C (zh) | 2002-03-12 | 2009-05-06 | 浜松光子学株式会社 | 基板的分割方法 |
| ATE493226T1 (de) | 2002-03-12 | 2011-01-15 | Hamamatsu Photonics Kk | Verfahren zum schneiden eines bearbeiteten objekts |
| TWI520269B (zh) | 2002-12-03 | 2016-02-01 | Hamamatsu Photonics Kk | Cutting method of semiconductor substrate |
| FR2852250B1 (fr) | 2003-03-11 | 2009-07-24 | Jean Luc Jouvin | Fourreau de protection pour canule, un ensemble d'injection comportant un tel fourreau et aiguille equipee d'un tel fourreau |
| WO2004080642A1 (ja) * | 2003-03-12 | 2004-09-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | レーザ加工方法 |
| WO2004080643A1 (ja) * | 2003-03-12 | 2004-09-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | レーザ加工方法 |
| JP4563097B2 (ja) | 2003-09-10 | 2010-10-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体基板の切断方法 |
| KR100813351B1 (ko) * | 2005-08-19 | 2008-03-12 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 레이저 가공 방법 |
| KR100766727B1 (ko) * | 2005-08-19 | 2007-10-15 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 레이저 가공 방법 |
| US8490271B2 (en) * | 2007-12-10 | 2013-07-23 | Universal Instruments Corporation | Flexible substrate tensioner |
-
2000
- 2000-11-15 JP JP2000348592A patent/JP3332910B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001127015A (ja) | 2001-05-11 |
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