JP3328921B2

JP3328921B2 - 光磁気記録媒体用ターゲット

Info

Publication number: JP3328921B2
Application number: JP06017496A
Authority: JP
Inventors: 薫増田
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Hitachi Metals Ltd
Priority date: 1995-03-08
Filing date: 1996-02-22
Publication date: 2002-09-30
Anticipated expiration: 2016-02-22
Also published as: JPH08302463A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録媒体の製造
に用いられるスパッタリング用ターゲットおよびその製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光磁気記録媒体となる希土類金属
と遷移金属との合金薄膜の製造には、ターゲットをスパ
ッタリングして薄膜化するスパッタリング法が適用され
ている。このスパッタリング用ターゲットの製造には、
例えば、特開昭６３−４５３６６号公報に記載されるよ
うに、アルゴン雰囲気下で誘導加熱炉による溶解鋳造法
を用いることができる。溶解鋳造法の利点は、酸素含有
量が低く、使用済みターゲットのリサイクルが容易であ
る点である。一方、この溶解鋳造法によって得られたタ
ーゲットは、溶解組織であるため結晶粒径が大きく、ま
た偏析が起こりやすいため組織ムラが生じやすいという
問題がある。さらに光磁気記録特性が得られる組成は、
実質的に金属間化合物となる組成であるため、溶解鋳造
法で得られたターゲットは、脆くて割れやすいという問
題がある。

【０００３】近年では、上述した偏析等に起因した組織
むらを低減するために、粉末焼結による製造法が提案さ
れている。例えば、特開昭６１−９１３３６号には、ア
ーク溶解した合金インゴットを粉砕し、ホットプレスで
焼結することにより偏析を無くし均一な組織を得る製造
方法が記載されている。また、特開昭６１−１３９６３
７号には、急冷合金粉を真空中または不活性ガス雰囲気
中で焼結し、ターゲット組織の結晶粒径を２０μｍ以下
に規定した製造方法が開示されている。この方法は、イ
ンゴット粉砕を行なって合金粉末を製造する場合よりも
焼結体の酸素量を低減することができ、脆さを低減でき
るものである。また、この特開昭６１−１３９６３７号
にはターゲット組織の結晶粒径を２０μｍ以下に規定す
ることにより、組成のむらをなくすことも提案されてい
る。これらのターゲットは、予め合金化した原料粉末を
使用することからプレアロイターゲットと呼ばれてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した特開昭６１−
１３９６３７号に記載の急冷合金粉を原料として用いて
ターゲットの酸素量を減ずる方法は、ターゲットの脆さ
を改善する有効な方法である。しかし、現状ではさらな
る機械的強度の向上が求められている。このような状況
において、機械的強度を高める方法として、希土類金属
の単体と遷移金属を拡散相で結合したターゲットが、特
開昭６１−１１９６４８号に提案されている。また、希
土類金属と鉄族金属との急冷凝固粉末と、鉄族金属粉末
とを接合した組織のターゲットが、特開平１−２５９７
７号に提案されている。このようなターゲットは、複合
ターゲットと呼ばれ、機械的強度の向上が達成できるも
のである。

【０００５】最近のスパッタリングにおいては、ターゲ
ット表面に磁場を発生させ、スパッタリング中のプラズ
マを封じ込めることにより、スパッタリング速度を向上
することができるマグネトロンスパッタリング装置が用
いられている。このマグネトロンスパッタリング装置に
おいては、ターゲット表面に十分な漏洩磁束を与えるこ
とが要求される。ところが、上述した複合ターゲットに
おいては、基本的に強磁性を示す鉄族金属を組織中に残
留させるものであり、漏洩磁束が得にくいという問題が
ある。一方、前述の特開昭６１−１３９６３７号等のプ
レアロイターゲットは、合金化によって透磁率が小さく
なり、上述の複合ターゲットよりマグネトロンスパッタ
リングを適用する上では有利である。

【０００６】特に、高価な希土類金属を使用するターゲ
ットにおいては、一枚のターゲットをできるだけ効率良
く使用する必要があり、漏洩磁束を得にくいということ
は大きな問題である。そのため、上述の複合ターゲット
に替わって、プレアロイターゲットが見直されつつあ
る。そして、プレアロイターゲットの問題である機械的
強度のさらなる改善が強く求められるようになってき
た。本発明は、上述した問題点に鑑み、十分な漏洩磁束
を得ることができ、かつ機械的強度の高いターゲットお
よびその製造方法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上述したプ
レアロイターゲットの機械的強度をさらに高める方法を
ターゲットの組織との関係において詳細に検討した。そ
してターゲット組織を均一組織にするのではなく、粉末
冶金法を採用し、実質的に金属間化合物でなるプレアロ
イ化した原料粉末の形態を残した状態に焼結すれば、均
一組織とした場合に比べて機械的強度を高めることがで
きることを見出し、本発明に到達した。

【０００８】すなわち、本発明は、原子％で、１５〜３
０％の希土類金属と残部遷移金属からなる合金粉末が、
実質的に合金粉末の形態を残して焼結されたターゲット
組織を有する光磁気記録媒体用ターゲットである。具体
的には、組織中に前記組成の合金原料粉末の粒子表面の
痕跡を残したターゲットである。より具体的には本発明
は、原子％で１５〜３０％の希土類金属と残部遷移金属
とからなる組成を有する合金粉末の形態を残した粒子状
組織が粒界相を介して連結してターゲット組織を構成し
ており、ターゲットの抗折強度が５０ＭＰａ以上である
光磁気記録媒体用ターゲットである。好ましくは、ター
ゲットのミクロ組織において合金粉末間の粒界相を介し
て連結する粒子状組織は、その粒径ｄが実質的にｄ≦３
５０μｍ、さらに望ましくは、ｄ≦２５０μｍの範囲内
で、かつ体積平均径ｄavを５０≦ｄav≦１２０μｍとす
る。

【０００９】またターゲットの密度が相対密度において
９９％以上、酸素含有量が１０００ｐｐｍ以下とするこ
とが望ましく、さらにターゲットの抗折強度は７０ＭＰ
ａ以上とすることが望ましい。

【００１０】上述したターゲットは、例えば、あらかじ
め原子％で１５〜３０％の希土類金属と残部遷移金属と
からなるプレアロイ化したターゲット組成の合金粉を製
造し、次いでこの合金粉末をターゲット組成の有する液
相発現温度よりも３０℃以上低い温度で、９０ＭＰａ以
上の高圧下で加圧焼結するという条件で製造することが
必要となる。

【００１１】

【作用】上述したように本発明のミクロ組織上の最大の
特徴は、使用する合金粉末を大きさの単位とする粒子状
組織が、粒界相を介して連結してターゲット組織を構成
するようにしたことである。従来のプレアロイからのタ
ーゲットの製造方法においては、金属間化合物組成の合
金粉末同士の焼結を進行させていくと、合金粉末界面の
拡散を通じて組織は均一になって行く。すなわち、最終
的には、元の原料粉末の形態をとどめず、粒子の境界が
なくなったものになる。従来のこの種のターゲットの代
表的ミクロ組織は、図２のようなものである。この状態
はターゲット全体を一つの金属間化合物で構成した状
態、すなわち、溶解鋳造法の組織に近づくことになり、
金属間化合物特有の脆さを有することになる。

【００１２】そこで、本発明においては、均一組織にな
るまでには焼結を進行させないで、粒子状組織となる原
料粉末同士が合金粉末間に生じた粒界相を介して連結す
る状態で焼結をとどめ、焼結による拡散の進行をある程
度で中止させたものである。本発明のターゲットは、ミ
クロ組織的には、図１に代表的に示されるように、原料
粉末の表面形態がほとんど残った状態、すなわち原料粉
末の痕跡を残した状態になっている。なお、図１は、ナ
イタル液でエッチングしたものを５０倍および１００倍
に拡大して観察したものである。本発明の製法のよう
に、加圧焼結を用いると、圧力により個々の粉末の最外
形部は若干の変形した粒子や、若干の拡散部は認められ
るが、粒子の元の形状や大きさは焼結体である本発明の
ターゲットの５０倍程度のミクロ組織からも明瞭に認め
られる。「実質的に」合金粉末の形態を残留して焼結さ
れたとは、このような状態を示すものである。この粒子
状組織の存在は、上述したエッチングによって確認され
るものであり、実質的に金属間化合物である粒子状組織
同士の間は、原料粉末から生成したエッチングが進行し
易い粒界相が形成されている。この粒界相の存在により
スパッタリング期間中の熱応力等を緩衝する領域が形成
されることとなり、ターゲットのスパッタリング期間中
の割れ、欠け等の発生を防止できるのである。また、上
述の粒界相形成はターゲット自体の機械的強度を均一組
織のターゲットよりも高めるため、ターゲット形状への
加工が容易であるとともに、ハンドリングも容易とな
る。

【００１３】本発明において、本発明のターゲットを構
成する粒子状組織、すなわち、合金粉末の組成を原子％
で、１５〜３０％の希土類金属と残部遷移金属とからな
る組成とした。この組成範囲は、光磁気記録用媒体とし
ての実用特性（保磁力、カー回転角、キュリー温度）を
得ることができる組成範囲に対応するものである。この
組成範囲は、希土類金属と遷移金属との透磁率の低い金
属間化合物を形成する。本発明はこのような透磁率の低
い金属間化合物の粒子状組織が接合界面を介して結合し
て構成されることにより、ターゲット自体の透磁率を低
いものとすることができる。

【００１４】本発明のターゲットにおいて、ミクロ組織
的に観察される粒子状組織の粒径を好ましくはｄ≦３５
０μｍ、さらに好ましくはｄ≦２５０μｍであり、かつ
平均体積径が５０≦ｄav≦１２０μｍとした。粒子状組
織の上限を３５０μｍ、好ましくは２５０μｍとしたの
は、粒子状組織が大きくなると、結合界面の存在量が減
り、抗折力が低下し、割れが発生しやすくなるためであ
る。なお、合金粉末の同一粒径のものだけを使用すると
粒子間への充填性が劣化するため、粒径には分布をもた
せることが好ましい。また平均体積径ｄavを５０≦ｄav
≦１２０μｍとしたのは、粒子状組織を微細にするため
に、原料粉末を調製する必要があるが、原料が微細にな
りすぎると酸素を含有しやすくなり、酸素の含有によっ
て脆くなる危険があるためである。また、粒径が小さす
ぎると、高密度化しようとすると拡散が進行し過ぎて粒
子状組織を保ちにくくなり、強度を低下する場合がある
ためである。なお、体積平均径は、次の式に基づく粒子
の平均径である。ｄav=((Σnｄp∧3)/Σn)∧1/3 、n:粒
子数,ｄp:各粒子の粒径,＾：べき数を表わす

【００１５】本発明のターゲットを製造する上で調製す
る原料粉末は、原料粉末の形状を実質的にとどめて、粒
子状組織となるものであり、本発明のターゲット組織の
粒子状組織の粒径を上述した範囲にするには、原料粉末
の粒径を同様に制限する必要がある。このような規定に
より、相対密度９９％以上、酸素含有量が１０００ｐｐ
ｍ以下であり、抗折強度が７０ＭＰａ以上であるターゲ
ットを得ることができる。

【００１６】本発明の製造方法においては、上述したよ
うに粒子状組織を得るために、あらかじめ原子％で１５
〜３０％の希土類金属と残部遷移金属とからなるターゲ
ット組成の原料粉をプレアロイとして製造する。そして
原料粉末をターゲット組成の有する液相発現温度よりも
３０℃以上低い温度で、９０ＭＰａ以上の高圧下で加圧
焼結して、ミクロ組織的にターゲットを観た時に、粒子
状組織が、合金粒子間の粒界相を介して連結したターゲ
ット組織を得る。ここで重要なのは圧力と温度と組成の
関係である。液相発現温度は、組成よって大きく変動す
る。液相発現温度に近いと、固相拡散が急速に起こり、
接合界面の見えない組織となり、ターゲットの機械的強
度を低下する。また、圧力が低すぎると、焼結が進まず
空孔が存在することになり、これもターゲットとしての
十分な密度と機械強度が得られない原因となる。本発明
においては、上述した温度と圧力を満たす条件で焼結を
行い、結合界面が存在する状態で焼結を停止することが
必要である。

【００１７】なお、焼結温度は、あまり低温では圧密不
足を招くため、液相発現温度よりも３０〜１００℃低い
温度で焼結することが好ましい。本発明の製造原料粉の
製造は、低酸素化のためには粉砕よりも、ガスアトマイ
ズや遠心急冷などの急冷凝固法が好ましい。原料粉の焼
結は、低温・高圧が要求されるため、具体的にはＨＩＰ
（熱間静水圧プレス）を用いて加圧焼結を行うことが好
ましい。ＨＩＰ法により、鋳造したインゴットの密度を
１００％とした時に相対密度が９９％以上の高密度焼結
体を容易に得ることができる。通常のホットプレスで
は、荷重は１０〜２０ＭＰａ程度が限度であり、真密度
に近い高密度まで十分な圧密化を行うことが難しい。ま
た、ホットプレスは一軸方向の圧縮であるが、ＨＩＰ法
は等方的な圧縮であるため焼結体に異方性がなく、機械
的強度の向上に有利である。

【００１８】また、等方的な圧縮が行なえるＨＩＰ法
は、原料粉末の形状を維持して結合界面を確保するのに
有効である。ホットプレスのような一軸方向の圧縮で
は、原料粉末同士の焼結が、圧縮方向に進行するため、
密度を高めようとすると、圧縮方向の拡散が進みすぎ、
機械強度を確保するために有効な粒界相が部分的に消失
して、強度不足をまねく場合があり好ましくない。

【００１９】本発明のターゲットは、光磁気特性を得る
ための遷移金属としては好ましくはＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉの
単独または複合の鉄族元素が選択される。また光磁気特
性を得るための希土類金属としては、Ｎｄ，Ｇｄ，Ｔ
ｂ，Ｄｘ，Ｈｏ，Ｅｖ，Ｔｍを単独または複合で用いる
ことができる。また、光磁気記録媒体用薄膜としては、
光磁気特性の基本特性に加えて、耐食性を改善する元素
として、Ｔｉ，Ａｌ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｃｒ，Ｍｏ，
Ｗ，Ｐｄ，Ｐｔを１種または２種以上で１５原子％以下
添加することができる。具体的には、Ｔｂ２０〜３０
％、Ｆｅ６０〜８０％、Ｃｏ１０％以下に対して、例
えばＣｒ１〜４％、あるいはＮｂ０．５〜３％を単独
または複合で添加を行なうのがよい。これらの耐食性を
改善する元素は光磁気特性にとっては好ましくないもの
であり、要求される耐食性に応じて、できるだけ少ない
量を添加する。添加する形態は、単体として添加しても
良いし、合金化して添加しても良い。

【００２０】

【実施例】

(実施例１)原子％で、Ｔｂ２６％、Ｆｅ６８％、Ｃｏ６
％の組成の希土類−遷移金属合金インゴットを真空高周
波溶解炉で製造した。チャージ重量は１２ｋｇ、真空度
は６×１０マイナス３乗Ｐａであり、溶解終了後に真空
中で鋳造した。このインゴットを用いて、ルツボ底部に
溶湯滴下ノズルのついたアトマイズ装置に入れ、アルゴ
ンガスアトマイズにより粉末化した。ふるい分級により
原料粉の粒径を調整した。なお、沈降式粒度測定装置に
より、原料粉末の最小粒径ｄminおよび最大粒径ｄmax、
体積平均径ｄavを求めた。得られた粉末は３元合金であ
り、正確な液相発現温度は不明であるが、状態図におい
て、鉄族の主構成元素であるＦｅとＴｂの２元状態図に
より、液相発現温度を１１８７℃とした。

【００２１】次に、この粉末を軟鋼カプセルに封入して
熱間静水圧プレス(ＨＩＰ)焼結を行い、ターゲット素材
とした。ＨＩＰ条件は温度１１４０℃、圧力１００ＭＰ
ａ、２時間保持である。得られた、ターゲット素材を、
硝酸５％のエチルアルコール溶液（ナイタル液）を用い
て、表面をエッチングしてから、５０倍もしくは１００
倍でのミクロ組織観察を行ない、インターセプト法によ
り、抽出した粒子から粒子の体積平均径を求め、粒子状
組織の体積平均径を求めた。また、機械強度として抗折
強度の測定を行うとともに、酸素量の測定、密度の測
定、比透磁率の測定を行なった。また、比較例として、
ＨＩＰ温度を高めた例を試料No.2、および溶解により製
造した同組成のターゲットを試料No.3を製造した。これ
らのターゲットについても同様の測定を行った。これら
の結果を表１および表２にまとめて示す。なお、密度は
ガスアトマイズ前に製造した鋳造インゴットの密度を10
0％としたときの相対密度である。

【００２２】

【表１】

【００２３】

【表２】

【００２４】また、これら１〜３の試料のエッチングを
行って組織を観察したときの金属ミクロ組織写真をそれ
ぞれ図１、図２および図３に示す。図１〜図３を比較す
ると、本発明の試料No.1を示す図１では、焼結原料粉末
の形状を実質的に維持して粒子状組織となり、この粒子
状組織が合金粒子間の粒界相を介して連結してターゲッ
ト組織を構成していることが分かる。これに対して、試
料No.2を示す図２に示すＨＩＰ温度の高いターゲット
は、エッチングによっても粒子状組織の境界を特定する
ことができないものである。そしてこの組織のターゲッ
トは、本発明の試料No.1のターゲットに比べて抗折強度
が低下していることがわかる。

【００２５】一方、従来技術の一つである鋳造ターゲッ
トの試料No.3は、酸素量は低いものの、図３に示す様に
偏析のある鋳造組織になり好ましくないことがわかる。
また、抗折強度も本発明の試料No.1のターゲットに比べ
て大きく低下することがわかる。また、比透磁率の測定
結果より、本発明の試料No.1は低い比透磁率と高い抗折
強度を兼ね備えており、マグネトロンスパッタリングに
好適であることがわかる。

【００２６】(実施例２)表３に示す組成および粒径の原
料粉末を実施例１と同様に製造した。表３に示す液相発
現温度は、Ｇｄ、ＴｂおよびＤｙの希土類金属のうち最
も含有量の多い元素が希土類金属の総量分を含むとし、
残部Ｆｅと仮定して２元状態図から決定したものであ
る。この粉末を軟鋼カプセルに封入して熱間静水圧プレ
ス(ＨＩＰ)焼結を行い、ターゲット素材とした。ＨＩＰ
条件は１００ＭＰａ、２時間で、温度は表３に示す通り
である。

【００２７】得られた、ターゲット素材を、硝酸５％の
エチルアルコール溶液を用いて、表面をエッチングして
から、インターセプト法により、抽出した粒子から粒子
の体積平均径を求め、粒子状組織の体積平均径を求め
た。また、機械強度として抗折強度の測定を行うととも
に、酸素量の測定、密度の測定、比透磁率の測定をおこ
なった。なお、原料に細粒を用いた試料No.9は、ＨＩＰ
温度をやや低めてある（１１００℃）。これらの結果を
表４にまとめて示す。なお、密度は鋳造ターゲットの密
度を100％としたときの相対密度である。

【００２８】

【表３】

【００２９】

【表４】

【００３０】得られた本発明のターゲットをエッチング
した時の組織は、実施例１で観察された図１に示すよう
な粒子状組織と合金粒子間の粒界相が確認されたもので
ある。表２および表３に示すように、他の試料よりも原
料の体積平均径が小さく、ターゲット組織中の粒子状組
織の体積平均径が小さい、試料No.9は酸素量が増加し、
抗折強度がやや低下する傾向が見られる。また、他の試
料よりも原料の平均粒径が大きく、ターゲット組織中の
粒子状組織が大きい試料No.7は、酸素量は低いが、抗折
力がやや低下する傾向があり、またターゲットとしての
密度もやや低くなる傾向があった。これに対し、ｄ≦２
５０μｍの範囲内で、かつ粒子状組織の体積平均径ｄav
がほぼ５０≦ｄav≦１２０μｍである試料No.4,5,6,8
は、抗折力が高く機械強度の高いターゲットが得られた
ことが分かる。また、それぞれの試料とも比透磁率が５
以下と低く、マグネトロンスパッタリングに好適なもの
となった。

【００３１】(実施例３)原子％で、Ｔｂ２５％、Ｆｅ７
０％、Ｃｏ５％の組成の希土類−遷移金属合金インゴッ
トを真空高周波溶解炉で製造した。チャージ重量は１２
ｋｇ、真空度は６×１０マイナス３乗Ｐａであり、溶解
終了後に真空中で鋳造した。この組成において、実施例
１と同様に液相発現温度を決定すると１１８７℃であ
る。原料粉末の影響を見るために、まず、このインゴッ
トを用いて、ルツボ底部に溶湯滴下ノズルのついたアト
マイズ装置に入れ、アルゴンガスアトマイズにより原料
粉末(以下アトマイズ粉)を得た。また、同様の原料溶湯
を回転ディスクに適下して遠心急冷して原料粉末(遠心
急冷粉)を得た。またインゴットをボールミル粉砕して
原料粉末(粉砕粉)を得た。これらの原料粉末はふるい分
級により原料粉の粒径を調整し、最大粒径２５０μｍ、
最小粒径１５μｍ、平均粒径９０μｍに調製した。

【００３２】また、焼結法としては、１１２０℃のＨＩ
Ｐを実施例１と同様に適用して焼結圧密化したもの、１
０マイナス３乗Ｐａ以下の真空下で２０ＭＰａ、１１２
０℃、２時間保持のホットプレス（ＨＰ）を行ったも
の、およびＣＩＰ(冷間静水圧プレス)法により３００Ｍ
Ｐａで予備成形を行い、１０マイナス３乗Pａ以下の真
空炉中で１１２０℃で２時間加熱した常圧焼結法を用い
た。原料粉末の製造方法および焼結法を変えた場合に得
られるターゲットの特性を実施例１と同様に評価した。
結果を表５に示す。なおこの条件においては、エッチン
グにより、粒子状組織が確認された。

【００３３】

【表５】

【００３４】表５に示す試料No.11,15に示すように、焼
結時の圧力の低いホットプレス(HP)では、この条件では
密度を高めることができないものであった。また、試料
No.13に適用した常圧焼結法はホットプレス法よりもさ
らに低密度のターゲットしか得られず、抗折強度も著し
く小さい値になり、好ましい方法ではないことがわか
る。また、粉末の製造方法としては、急冷凝固法である
アトマイズ法および遠心急冷法を適用するとターゲット
中の酸素量を低く抑えることができ、粉砕法に比べて好
ましいことがわかる。

【００３５】(実施例４)表６に示すように、合金粉末お
よびＣｒおよびＮｂ粉末を準備した。合金粉末は実施例
３と同様のガスアトマイズ法で製造した粉末であり、合
金粉末の粒径はふるい分級により原料粉の粒径を調整
し、最大粒径２５０μｍ、最小粒径１５μｍ、平均粒径
９０μｍに調製した。またＣｒおよびＮｂは市販の粒径
４４μｍアンダーの粉末である。これらの粉末を単体粉
末もしくは混合粉末として表６に示す組成に調製した。
これら粉末を軟鋼カプセルに封入して熱間静水圧プレス
(ＨＩＰ)焼結を行い、ターゲット素材とした。ＨＩＰ条
件は１００ＭＰａ、２時間、１１２０℃である。得られ
たターゲットを実施例１と同様に評価した。結果を表７
に示す。なお、焼結した得られたターゲットのミクロ組
織においては、粒子状組織が存在していることを確認
し、その粒子状組織の粒径を評価した。

【００３６】

【表６】

【００３７】

【表７】

【００３８】表６および表７に示すように、CrおよびNb
を添加した場合でも、抗折強度70ＭＰａ以上で比透磁率
が５以下という、高い抗折強度と低い比透磁率を兼ね備
えたターゲットが得られたことがわかる。なお、Crおよ
びNbを粉末として混合して得た場合には、組織中にCrお
よびNbの単体相が残留していることが確認された。ター
ゲット中の異相の存在は、スパッタリング期間中のエロ
ージョンの進行の均一化を妨げる恐れがあるため、Crお
よびNbは、単体としてではなく、合金粉末として予め導
入しておくことが望ましい。

【００３９】

【発明の効果】本発明によれば、均一な組織にするので
はなく、原料粉末の形態を残した組織とすることによ
り、透磁率の低いプレアロイターゲットの抗折強度を特
に高いものとすることができる。したがって、本発明の
ターゲットは高強度であると共に、マグネトロンスパッ
タリングに必要なターゲット表面の漏洩磁束を低透磁率
とすることにより十分に確保することが可能となる。そ
のため、ターゲットの使用効率が高まるとともに、スパ
ッタリング中の異常放電等を防止することができる。ま
た、本発明の方法によれば、高い抗折強度に加えて、高
密度化も達成できるため、加工割れ防止、汚染物質の混
入防止、さらなる使用効率の向上（長寿命化）および異
常放電の防止が期待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のターゲットの金属焼結ミクロ組織を示
す写真である。

【図２】比較例のターゲットの金属焼結ミクロ組織を示
す写真である。

【図３】比較例の溶製法によるターゲットの金属ミクロ
組織を示す写真である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩＧ１１Ｂ 11/105 ５４６Ｇ１１Ｂ 11/105 ５４６Ｋ (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 B22F 1/00 - 8/00 C22C 1/04 - 1/05 C22C 33/02

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】原子％で、１５〜３０％の希土類金属と
残部遷移金属からなる合金粉末が実質的に合金粉末の形
態を残して焼結されたターゲット組織を有することを特
徴とする光磁気記録媒体用ターゲット。
【請求項２】原子％で、１５〜３０％の希土類金属と
残部遷移金属からなる焼結体であって、前記焼結体をミ
クロ組織的に観察した時に、組織中に前記組成の合金原
料粉末の粒子表面の痕跡を残していることを特徴とする
光磁気記録媒体用ターゲット。
【請求項３】原子％で、１５〜３０％の希土類金属と
残部遷移金属とからなる組成を有する合金粉末の形態を
残した粒子状組織が粒界相を介して連結したターゲット
組織を構成しており、ターゲットの抗折強度が５０ＭＰ
ａ以上であることを特徴とする光磁気記録媒体用ターゲ
ット。
【請求項４】ターゲットのミクロ組織において合金粉
末間の粒界相を介して連結する粒子状組織は、その粒径
ｄが実質的にｄ≦３５０μｍであることを特徴とする請
求項３に記載の光磁気記録媒体用ターゲット。
【請求項５】粒子状組織の粒径ｄは、ｄ≦２５０μｍ
の範囲内で、かつ粒子状組織の体積平均径ｄavが５０≦
ｄav≦１２０μｍであることを特徴とする請求項１ない
し４のいずれかに記載の光磁気記録媒体用ターゲット。
【請求項６】ターゲットの密度が相対密度において９
９％以上であることを特徴とする請求項１ないし請求項
５のいずれか記載の光磁気記録媒体用ターゲット。
【請求項７】ターゲットの酸素含有量が１０００ｐｐ
ｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし請求項６
のいずれか記載の光磁気記録媒体用ターゲット。
【請求項８】ターゲットの抗折強度が７０ＭＰａ以上
であることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいず
れかに記載の光磁気記録媒体用ターゲット。