JP3313386B2 - 超磁歪合金および磁気−機械変異変換デバイス - Google Patents
超磁歪合金および磁気−機械変異変換デバイスInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気−機械変位変換デ
バイス等に用いられる超磁歪合金に係わり、特にキュリ
ー温度の向上を図った超磁歪合金に関する。
バイス等に用いられる超磁歪合金に係わり、特にキュリ
ー温度の向上を図った超磁歪合金に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁性体に外部磁場を印加した際、磁性体
が変形する磁歪の応用として変位制御アクチュエータ、
磁歪振動子、磁歪センサー、磁歪フィルタ、超音波遅延
線等がある。従来はＮｉ基合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、フェ
ライト等が用いられている。
が変形する磁歪の応用として変位制御アクチュエータ、
磁歪振動子、磁歪センサー、磁歪フィルタ、超音波遅延
線等がある。従来はＮｉ基合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、フェ
ライト等が用いられている。
【０００３】近年、計測工学の進歩および精密機械分野
の発展にともない、ミクロンオーダーの微小変位制御に
不可欠の変位駆動部の開発が必要とされている。この変
位駆動部の駆動機構の一つとして磁歪合金を用いた磁気
−機械変換デバイスが有力である。しかしながら従来の
磁歪合金では、変位の絶対量が充分でなく、ミクロンオ
ーダーの精密変位制御駆動部材料としては絶対駆動変位
量のみならず精密制御の点からも満足し得るものではな
かった。
の発展にともない、ミクロンオーダーの微小変位制御に
不可欠の変位駆動部の開発が必要とされている。この変
位駆動部の駆動機構の一つとして磁歪合金を用いた磁気
−機械変換デバイスが有力である。しかしながら従来の
磁歪合金では、変位の絶対量が充分でなく、ミクロンオ
ーダーの精密変位制御駆動部材料としては絶対駆動変位
量のみならず精密制御の点からも満足し得るものではな
かった。
【０００４】このような要求に対し、希土類−遷移金属
系の磁歪合金が高磁歪材料として注目され、研究されて
いる。（特公昭６１−３３８９２号公報、米国特許第４
３７８２５８号明細書など）
系の磁歪合金が高磁歪材料として注目され、研究されて
いる。（特公昭６１−３３８９２号公報、米国特許第４
３７８２５８号明細書など）
【０００５】しかしながら、このような磁歪合金ではキ
ュリー温度が十分高くなく、例えば希土類−鉄合金は低
温域では磁歪特性が低下してしまい、また希土類−コバ
ルト合金では高温環境下での使用が困難で、広範囲の温
度領域で優れた磁歪特性を有する磁歪材料は得られてい
なかった。
ュリー温度が十分高くなく、例えば希土類−鉄合金は低
温域では磁歪特性が低下してしまい、また希土類−コバ
ルト合金では高温環境下での使用が困難で、広範囲の温
度領域で優れた磁歪特性を有する磁歪材料は得られてい
なかった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このように従来の希土
類−遷移金属系の磁歪合金では、キュリー温度が十分高
くなく、広範囲の温度領域で良好な磁歪特性が得られな
いという問題があった。本発明は以上の点を考慮してな
されたものであり、キュリー温度が高く、優れた磁歪特
性を持つ超磁歪合金を提供することを目的とする。
類−遷移金属系の磁歪合金では、キュリー温度が十分高
くなく、広範囲の温度領域で良好な磁歪特性が得られな
いという問題があった。本発明は以上の点を考慮してな
されたものであり、キュリー温度が高く、優れた磁歪特
性を持つ超磁歪合金を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る超磁歪合金
は、原子％で表した一般式：ＲxＴ100-x-yＭy（ＲはＹ
を含む希土類元素のうちの少なくとも１種、ＴはＦｅ，
Ｃｏのうちの少なくとも１種の元素、ＭはＮ元素、２０
≦ｘ≦６０、０＜ｙ≦３０）で示されることを特徴とす
るものである。本発明に係る超磁歪合金において、主相
がラーベス相で、Ｎを侵入型元素として主相の格子内に
侵入されていることを許容とするものである。本発明に
係る磁気−機械変異変換デバイスは、前述した超磁歪合
金を備えたことを特徴とするものである。
は、原子％で表した一般式：ＲxＴ100-x-yＭy（ＲはＹ
を含む希土類元素のうちの少なくとも１種、ＴはＦｅ，
Ｃｏのうちの少なくとも１種の元素、ＭはＮ元素、２０
≦ｘ≦６０、０＜ｙ≦３０）で示されることを特徴とす
るものである。本発明に係る超磁歪合金において、主相
がラーベス相で、Ｎを侵入型元素として主相の格子内に
侵入されていることを許容とするものである。本発明に
係る磁気−機械変異変換デバイスは、前述した超磁歪合
金を備えたことを特徴とするものである。
【０００８】前記Ｙは含む希土類元素（Ｒ）としては、
Ｙ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｂ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｃ
ｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕが用い
られ、これらのうち少なくとも１種としては、Ｐｒ，Ｎ
ｄ，Ｓｍ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，ＴｂＤｙ，ＴｂＨ
ｏ，ＴｂＰｒ，ＳｍＹｂ，ＴｂＤｙＨｏ，ＴｂＤｙＰ
ｒ，ＴｂＰｒＨｏが好ましい。
Ｙ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｐｒ，Ｎｂ，Ｐｍ，Ｓｍ，Ｅｕ，Ｃ
ｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ，Ｌｕが用い
られ、これらのうち少なくとも１種としては、Ｐｒ，Ｎ
ｄ，Ｓｍ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，ＴｂＤｙ，ＴｂＨ
ｏ，ＴｂＰｒ，ＳｍＹｂ，ＴｂＤｙＨｏ，ＴｂＤｙＰ
ｒ，ＴｂＰｒＨｏが好ましい。
【０００９】Ｆｅ、Ｃｏのうち少なくとも１種の元素
（Ｔ）としては、Ｆｅ及び又は、Ｃｏが用いられる。こ
の一部をＮｉ，Ｍｎ等他の遷移元素で置換することも可
能であるが、過剰に置換するとキュリー温度が低下して
しまうため、Ｆｅ，Ｃｏに対し原子％で５０％以下であ
る必要がある。前記一般式におけるｘは、２０未満か６
０を越えると、主相が減少し、磁歪特性が低下する。よ
り好ましいｘは、２５〜４０の範囲である。
（Ｔ）としては、Ｆｅ及び又は、Ｃｏが用いられる。こ
の一部をＮｉ，Ｍｎ等他の遷移元素で置換することも可
能であるが、過剰に置換するとキュリー温度が低下して
しまうため、Ｆｅ，Ｃｏに対し原子％で５０％以下であ
る必要がある。前記一般式におけるｘは、２０未満か６
０を越えると、主相が減少し、磁歪特性が低下する。よ
り好ましいｘは、２５〜４０の範囲である。
【００１０】前記超磁歪合金は、一般に磁歪特性を担う
主相であるラーベス相及び粒界から構成されているがＭ
元素は主相の格子中に侵入するいわゆる浸入型元素で、
遷移元素のバンド構造に変調を与え、特にｄ電子の磁気
分極の増加及びｄ電子スピン間の交換相互作用を強化
し、ひいては超磁歪合金のキュリー温度を向上させる。
この効果は極少量のＭ元素の添加で得られるが、特に、
上記一般式におけるｙが３以上で顕著となる。一方、含
有量を増してゆくと、主相中での固溶が困難となり粒界
に析出してくるが、粒界に存在した際は、抵抗率が増加
し、周波数特性を向上させる。しかし、３０を超えると
粒界において過剰に存在することにより磁歪特性を劣化
させる。より好ましいｙは、１０〜２５の範囲である。
なお、水素、酸素、リンなども同様の侵入型元素であ
り、同程度の量までの含有が許容される。前記一般式に
おけるＭがＮである超磁歪合金の製造方法を以下に説明
する。
主相であるラーベス相及び粒界から構成されているがＭ
元素は主相の格子中に侵入するいわゆる浸入型元素で、
遷移元素のバンド構造に変調を与え、特にｄ電子の磁気
分極の増加及びｄ電子スピン間の交換相互作用を強化
し、ひいては超磁歪合金のキュリー温度を向上させる。
この効果は極少量のＭ元素の添加で得られるが、特に、
上記一般式におけるｙが３以上で顕著となる。一方、含
有量を増してゆくと、主相中での固溶が困難となり粒界
に析出してくるが、粒界に存在した際は、抵抗率が増加
し、周波数特性を向上させる。しかし、３０を超えると
粒界において過剰に存在することにより磁歪特性を劣化
させる。より好ましいｙは、１０〜２５の範囲である。
なお、水素、酸素、リンなども同様の侵入型元素であ
り、同程度の量までの含有が許容される。前記一般式に
おけるＭがＮである超磁歪合金の製造方法を以下に説明
する。
【００１１】まず、所定原子比のＲ元素およびＦｅ、Ｃ
ｏの少なくとも１種の元素を調合し、高周波誘導溶解な
どにより溶解する。つづいて、このインゴットを切削加
工等を施すことにより所望の形状の試料とした後、窒素
または窒素を含む気体化合物中において結晶制御溶解、
例えば浮遊帯域溶解、ブリッジマン溶解を行なう。前記
窒素または窒素を含む気体の圧力としては、０．０１ａ
ｔｍ〜１０ａｔｍで行えどよく、結晶の育成速度として
は０．１ｍｍ／ｈｒ〜３００ｍｍ／ｈｒにすることが望
ましい。前記窒素または窒素を含む気体としては、例え
ば窒素、アンモニアガス、シアン系ガスが望ましい。
ｏの少なくとも１種の元素を調合し、高周波誘導溶解な
どにより溶解する。つづいて、このインゴットを切削加
工等を施すことにより所望の形状の試料とした後、窒素
または窒素を含む気体化合物中において結晶制御溶解、
例えば浮遊帯域溶解、ブリッジマン溶解を行なう。前記
窒素または窒素を含む気体の圧力としては、０．０１ａ
ｔｍ〜１０ａｔｍで行えどよく、結晶の育成速度として
は０．１ｍｍ／ｈｒ〜３００ｍｍ／ｈｒにすることが望
ましい。前記窒素または窒素を含む気体としては、例え
ば窒素、アンモニアガス、シアン系ガスが望ましい。
【００１２】このような方法により得られた単結晶また
は一方向凝固材はその結晶格子中に侵入しているもので
ある。かかる窒素化合物は、通常、粉末状の試料を窒素
雰囲気中で熱処理することにより得られるが、その場合
バルク状の試料、特に一方向凝固材や単結晶を作製する
ことは非常に困難である。これに対し、前述した方法は
結晶制御溶解、例えば浮遊帯域溶解、ブリッジマン溶解
中に、溶湯が雰囲気中に含まれる窒素を巻き込むため、
合金中に窒素が均質に取り込まれ、前記一方向凝固材や
単結晶においても窒素を均質に含む合金が得られる。
は一方向凝固材はその結晶格子中に侵入しているもので
ある。かかる窒素化合物は、通常、粉末状の試料を窒素
雰囲気中で熱処理することにより得られるが、その場合
バルク状の試料、特に一方向凝固材や単結晶を作製する
ことは非常に困難である。これに対し、前述した方法は
結晶制御溶解、例えば浮遊帯域溶解、ブリッジマン溶解
中に、溶湯が雰囲気中に含まれる窒素を巻き込むため、
合金中に窒素が均質に取り込まれ、前記一方向凝固材や
単結晶においても窒素を均質に含む合金が得られる。
【００１３】
【作用】本発明に係る超磁歪合金は、原子％で表した一
般式：ＲxＴ100-x-yＭy（ＲはＹを含む希土類元素のう
ちの少なくとも１種、ＴはＦｅ，Ｃｏのうちの少なくと
も１種の元素、ＭはＮ元素、２０≦ｘ≦６０、０＜ｙ≦
３０）で示されるものであるため、キュリー温度が高
く、優れた磁歪特性を有する。
般式：ＲxＴ100-x-yＭy（ＲはＹを含む希土類元素のう
ちの少なくとも１種、ＴはＦｅ，Ｃｏのうちの少なくと
も１種の元素、ＭはＮ元素、２０≦ｘ≦６０、０＜ｙ≦
３０）で示されるものであるため、キュリー温度が高
く、優れた磁歪特性を有する。
【００１４】すなわち、前記一般式におけるＭを窒素
（Ｎ）とした超磁歪合金は前記窒素により希土類−鉄系
ラーベス型化合物の磁気異方性に作用し、しかもその結
晶組織に作用するため、磁歪特性その他の磁気特性を劣
化させることなく保磁力を低減することができる。
（Ｎ）とした超磁歪合金は前記窒素により希土類−鉄系
ラーベス型化合物の磁気異方性に作用し、しかもその結
晶組織に作用するため、磁歪特性その他の磁気特性を劣
化させることなく保磁力を低減することができる。
【００１５】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。参照 例１
【００１６】表１に示すような組成の合金を、アーク溶
解にて作成した後、９００℃、１週間の均質化熱処理を
施した試料を切削加工することにより寸法が１０×１０
×５ｍｍで、下記表１に示す組成の試験片（Ｎｏ．１〜
７）とした。ここでＮｏ．６，７は従来のＢもしくはＣ
を含まないもので、比較例として作製している。
解にて作成した後、９００℃、１週間の均質化熱処理を
施した試料を切削加工することにより寸法が１０×１０
×５ｍｍで、下記表１に示す組成の試験片（Ｎｏ．１〜
７）とした。ここでＮｏ．６，７は従来のＢもしくはＣ
を含まないもので、比較例として作製している。
【００１７】前記方法により作製した各試験片につい
て、磁歪値およびキュリー温度を測定した。その結果を
下記表１に併記した。なお、前記磁歪値およびキュリー
温度は以下のように評価した。磁歪特性は、抗磁性ゲー
ジを用い、磁界は対向磁極型電磁石により発生させ、２
ｋＯｅ印加磁界中で評価した。なお、磁歪値はＮｏ．６
の磁歪値を１として規格化して表示してある。キュリー
温度は、磁化の温度特性より求めた。
て、磁歪値およびキュリー温度を測定した。その結果を
下記表１に併記した。なお、前記磁歪値およびキュリー
温度は以下のように評価した。磁歪特性は、抗磁性ゲー
ジを用い、磁界は対向磁極型電磁石により発生させ、２
ｋＯｅ印加磁界中で評価した。なお、磁歪値はＮｏ．６
の磁歪値を１として規格化して表示してある。キュリー
温度は、磁化の温度特性より求めた。
【００１８】
【表１】
【００１９】前記表１から明らかなように参照例１の超
磁歪合金からなる試験片（Ｎｏ．１〜５）は比較例のそ
れ（Ｎｏ．６、７）と比較してキュリー温度が高く、ま
た磁歪値としても比較例より大きくなることがわかる。
磁歪合金からなる試験片（Ｎｏ．１〜５）は比較例のそ
れ（Ｎｏ．６、７）と比較してキュリー温度が高く、ま
た磁歪値としても比較例より大きくなることがわかる。
【００２０】さらに、参照例１の超磁歪合金であるＮ
ｏ．１と比較例の超磁歪合金であるＮｏ．６について直
径１０ｍｍ、長さ３０ｍｍのロッド状試料を作製し、変
位量の周波数特性を評価した。磁界印加手段としては、
空心コイルに正弦波交流を流し、定電流で周波数を可変
した。変位量は、光式変位計を用い、非接触で計測し、
１０Ｈｚ時の変位量で規格化した。その結果、図１に示
す。
ｏ．１と比較例の超磁歪合金であるＮｏ．６について直
径１０ｍｍ、長さ３０ｍｍのロッド状試料を作製し、変
位量の周波数特性を評価した。磁界印加手段としては、
空心コイルに正弦波交流を流し、定電流で周波数を可変
した。変位量は、光式変位計を用い、非接触で計測し、
１０Ｈｚ時の変位量で規格化した。その結果、図１に示
す。
【００２１】図１から明らかなように、参照例１の超磁
歪合金は比較例のそれに比較して周波数に対する変位量
の変化が小さく、高周波領域においても良好な変位量が
得られることがわかる。 実施例１
歪合金は比較例のそれに比較して周波数に対する変位量
の変化が小さく、高周波領域においても良好な変位量が
得られることがわかる。 実施例１
【００２２】下記表２に示した組成の合金をアーク溶解
にて作成した後、粒径１００μｍ以下まで粉砕し１気圧
窒素雰囲気中にて５００℃×１時間の熱処理を行い、プ
レス成形後に１気圧の窒素雰囲気中にて１２００℃×２
時間で焼結し、Ｎを１５原子％含有させた片験片（Ｎ
ｏ．８〜１２）とした。このようにして作製した試験片
（Ｎｏ．８〜１２）の磁歪値及びキュリー温度を、参照
例１と同様の方法により求めた。その結果、下記表２に
併記した。
にて作成した後、粒径１００μｍ以下まで粉砕し１気圧
窒素雰囲気中にて５００℃×１時間の熱処理を行い、プ
レス成形後に１気圧の窒素雰囲気中にて１２００℃×２
時間で焼結し、Ｎを１５原子％含有させた片験片（Ｎ
ｏ．８〜１２）とした。このようにして作製した試験片
（Ｎｏ．８〜１２）の磁歪値及びキュリー温度を、参照
例１と同様の方法により求めた。その結果、下記表２に
併記した。
【００２３】
【表２】 前記表２から明らかなように本発明の超磁歪合金からな
る試験片（Ｎｏ．８〜１２）は、前述した参照例１と同
様の効果が得られることがわかる。 実施例２
る試験片（Ｎｏ．８〜１２）は、前述した参照例１と同
様の効果が得られることがわかる。 実施例２
【００２４】Ｔｂ、Ｄｙ、Ｓｍ、Ｈｏ、Ｐｒ、Ｅｒ、Ｆ
ｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｎｉ、Ｂ、Ｐの各成分元
素を下記表３に示す組成になるように配合し、アルゴン
雰囲気中でアルミナるつぼを使用して高周波誘導溶解を
行って９種の合金を調製した。つづいて、前記各合金か
ら直径６ｍｍ、長さ５０ｍｍの試料を切り出した後、１
気圧の窒素雰囲気中にて浮遊帯域溶解を育成速度１０μ
ｍ／ｓｅｃの条件で行った。
ｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ａｌ、Ｚｒ、Ｎｉ、Ｂ、Ｐの各成分元
素を下記表３に示す組成になるように配合し、アルゴン
雰囲気中でアルミナるつぼを使用して高周波誘導溶解を
行って９種の合金を調製した。つづいて、前記各合金か
ら直径６ｍｍ、長さ５０ｍｍの試料を切り出した後、１
気圧の窒素雰囲気中にて浮遊帯域溶解を育成速度１０μ
ｍ／ｓｅｃの条件で行った。
【００２５】得られた試料（Ｎｏ．１〜９）の保磁力
を、振動試料型磁力計を用いてそれぞれ測定した。ま
た、前記試料から実施例１と同様な試験片を取り出し、
磁歪値及びキュリー温度を実施例１と同様の方法により
求めた。これらの結果、下記表３に示した。なお、表３
には窒素雰囲気中にて浮遊帯域溶解を行わない前の各合
金の保磁力を併記した。
を、振動試料型磁力計を用いてそれぞれ測定した。ま
た、前記試料から実施例１と同様な試験片を取り出し、
磁歪値及びキュリー温度を実施例１と同様の方法により
求めた。これらの結果、下記表３に示した。なお、表３
には窒素雰囲気中にて浮遊帯域溶解を行わない前の各合
金の保磁力を併記した。
【００２６】
【表３】
【００２７】前記表３から明らかなように本発明の超磁
歪合金からなる試験片（Ｎｏ．１〜９）は１０〜２０
Ｏｅと低い保磁力を有し、かつ高いキュリー温度、大き
い磁歪値を有することがわかる。
歪合金からなる試験片（Ｎｏ．１〜９）は１０〜２０
Ｏｅと低い保磁力を有し、かつ高いキュリー温度、大き
い磁歪値を有することがわかる。
【００２８】さらに、前記表３のＮｏ．１の組成からな
り窒素雰囲気中で浮遊帯域溶解して得た本発明の合金と
前記表３のＮｏ．１の組成からなり窒素雰囲気中で浮遊
帯域溶解前の合金（比較例）から直径４ｍｍ、長さ１０
ｍｍのロッド状試料を作製し、磁歪式アクチュエータに
組み込み、微小変位特性を評価した。前記アクチュエー
タは、磁界発生手段としての空心コイルと、直流バイア
ス印加用永久磁石と、温度管理用スパイラル水冷パイプ
と、ヨークと、ステーから構成されている。測定は、前
記空心コイルに制御電流を供給し、その際の微小変位を
測定した。なお、測定中は恒温槽より一定の温度に管理
された冷却水を供給し、温度を一定に保持した。図２に
本発明のロッド状試料による変位量の変化を、図３に比
較例のロッド状試料による変位量の変化をそれぞれ示
す。図２、図３から明らかなように本発明の試料は比較
例の試料に比べてヒステリシスの非常に小さな変位特性
が得られることがわかる。
り窒素雰囲気中で浮遊帯域溶解して得た本発明の合金と
前記表３のＮｏ．１の組成からなり窒素雰囲気中で浮遊
帯域溶解前の合金（比較例）から直径４ｍｍ、長さ１０
ｍｍのロッド状試料を作製し、磁歪式アクチュエータに
組み込み、微小変位特性を評価した。前記アクチュエー
タは、磁界発生手段としての空心コイルと、直流バイア
ス印加用永久磁石と、温度管理用スパイラル水冷パイプ
と、ヨークと、ステーから構成されている。測定は、前
記空心コイルに制御電流を供給し、その際の微小変位を
測定した。なお、測定中は恒温槽より一定の温度に管理
された冷却水を供給し、温度を一定に保持した。図２に
本発明のロッド状試料による変位量の変化を、図３に比
較例のロッド状試料による変位量の変化をそれぞれ示
す。図２、図３から明らかなように本発明の試料は比較
例の試料に比べてヒステリシスの非常に小さな変位特性
が得られることがわかる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によればキ
ュリー温度の高い優れた磁歪特性を有する超磁歪合金を
提供することができる。特に、前記一般式におけるＭが
窒素（Ｎ）である超磁歪合金によれば前記窒素により希
土類−鉄系ラーベス型化合物の磁気異方性に作用し、し
かもその結晶組織に作用するため、磁歪特性その他の磁
気特性を劣化させることなく保磁力を低減することがで
きる。
ュリー温度の高い優れた磁歪特性を有する超磁歪合金を
提供することができる。特に、前記一般式におけるＭが
窒素（Ｎ）である超磁歪合金によれば前記窒素により希
土類−鉄系ラーベス型化合物の磁気異方性に作用し、し
かもその結晶組織に作用するため、磁歪特性その他の磁
気特性を劣化させることなく保磁力を低減することがで
きる。
【図１】表１に示されるＮｏ．１の試料片およびＮｏ．
６（比較例）の試料片の周波数特性を示す線図。
６（比較例）の試料片の周波数特性を示す線図。
【図２】表３に示されるＮｏ．１の組成からなり窒素雰
囲気中で浮遊帯域溶解して得た合金（本発明）のロッド
状試料の微小変位特性を示す線図。
囲気中で浮遊帯域溶解して得た合金（本発明）のロッド
状試料の微小変位特性を示す線図。
【図３】表３に示されるＮｏ．１の組成からなり、窒素
雰囲気中で浮遊帯域溶解前の合金（比較例）のロッド状
試料の微小変位特性を示す線図。
雰囲気中で浮遊帯域溶解前の合金（比較例）のロッド状
試料の微小変位特性を示す線図。
フロントページの続き (72)発明者 佐橋 政司 神奈川県川崎市幸区小向東芝町１番地 株式会社東芝総合研究所内 (56)参考文献 特開 平３−281757（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−3294（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C22C 38/00 - 38/60 C22C 19/03 C22C 19/07 C22C 28/00
Claims (3)
- 【請求項１】 原子％で表した一般式：ＲxＴ100-x-yＭ
y（ＲはＹを含む希土類元素のうちの少なくとも１種、
ＴはＦｅ，Ｃｏのうちの少なくとも１種の元素、ＭはＮ
元素、２０≦ｘ≦６０、０＜ｙ≦３０）で示されること
を特徴とする超磁歪合金。 - 【請求項２】 主相がラーベス相で、Ｎを侵入型元素と
して主相の格子内に侵入されていることを特徴とする請
求項１記載の超磁歪合金。 - 【請求項３】 請求項１または２の超磁歪合金を備えた
ことを特徴とする磁気−機械変異変換デバイス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01306592A JP3313386B2 (ja) | 1991-05-08 | 1992-01-28 | 超磁歪合金および磁気−機械変異変換デバイス |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-102493 | 1991-05-08 | ||
| JP10249391 | 1991-05-08 | ||
| JP01306592A JP3313386B2 (ja) | 1991-05-08 | 1992-01-28 | 超磁歪合金および磁気−機械変異変換デバイス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0551704A JPH0551704A (ja) | 1993-03-02 |
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| WO2005073420A1 (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Tdk Corporation | 磁歪材料及びその製造方法 |
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