JP3308346B2 - 基板検査装置用のエアプローブピンボード - Google Patents
基板検査装置用のエアプローブピンボードInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はインサーキットテスタ
ー、ファンクションテスター等の基板検査装置用の複数
のプローブを立設した支持体からなるピンボードに関す
る。
ー、ファンクションテスター等の基板検査装置用の複数
のプローブを立設した支持体からなるピンボードに関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、実装基板即ち多数の電子部品を半
田付けしたプリント基板はインサーキットテスターを用
い、その基板の必要な各測定点にプローブの先端を接触
して、各部品の電気的測定によって基板の良否の判定を
行っている。このようなインサーキットテスターには種
々のものがあるが、プレス式では測定に際し、図11に
示すような検査治具たる複数のプローブ10を立設した
樹脂製の支持体12からなるピンボード14を用い、実
装基板16をそのピンボード14の上に載せ、上方から
矢印方向にプレスして固定する。すると、各プローブ1
0は基板16に押されて縮み、先端がそのストローク
(後退量)に比例した接触圧で、基板16に実装された
電子部品の電極やそこに設けられているパターン等の測
定点と電気的に接続する。なお、各プローブ10は例え
ばプランジャ18、バレル20、圧縮スプリング、リー
ド線22等からなり、そのプランジャ18にはバレル2
0の内部に収納されている圧縮スプリングにより突出方
向(上方)にスプリング力が作用するため、プランジャ
18がバレル20の内部を摺動可能になっている。又、
各プローブ10の立設に際しては支持体12の適切な位
置にそれぞれ貫通孔を開け、そこに挿通して固定する。
又、基板16は水平方向に移動しないように固定する。
田付けしたプリント基板はインサーキットテスターを用
い、その基板の必要な各測定点にプローブの先端を接触
して、各部品の電気的測定によって基板の良否の判定を
行っている。このようなインサーキットテスターには種
々のものがあるが、プレス式では測定に際し、図11に
示すような検査治具たる複数のプローブ10を立設した
樹脂製の支持体12からなるピンボード14を用い、実
装基板16をそのピンボード14の上に載せ、上方から
矢印方向にプレスして固定する。すると、各プローブ1
0は基板16に押されて縮み、先端がそのストローク
(後退量)に比例した接触圧で、基板16に実装された
電子部品の電極やそこに設けられているパターン等の測
定点と電気的に接続する。なお、各プローブ10は例え
ばプランジャ18、バレル20、圧縮スプリング、リー
ド線22等からなり、そのプランジャ18にはバレル2
0の内部に収納されている圧縮スプリングにより突出方
向(上方)にスプリング力が作用するため、プランジャ
18がバレル20の内部を摺動可能になっている。又、
各プローブ10の立設に際しては支持体12の適切な位
置にそれぞれ貫通孔を開け、そこに挿通して固定する。
又、基板16は水平方向に移動しないように固定する。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなプローブ10付きのピンボード14を用いると、基
板16の測定点に凹凸があれば、先端が凹の測定点に接
触した時と、凸の測定点に接触した時とで同一のプロー
ブ10でもストロークが変わり、接触圧も変わる。それ
故、接触抵抗も変わって測定点の凹凸が測定結果に影響
を与えるため問題がある。しかも、基板16をプレスし
てプローブ10の先端に押し付けても、接触圧が静圧の
ため半田付け箇所にできるフラックス膜を突き破れない
場合がある。又、プローブ10は構造が複雑であり、バ
レル20にスプリングを内蔵するため、外形が太くな
り、プローブ同士を接近させても微細な測定点間のピッ
チに対応できない。
うなプローブ10付きのピンボード14を用いると、基
板16の測定点に凹凸があれば、先端が凹の測定点に接
触した時と、凸の測定点に接触した時とで同一のプロー
ブ10でもストロークが変わり、接触圧も変わる。それ
故、接触抵抗も変わって測定点の凹凸が測定結果に影響
を与えるため問題がある。しかも、基板16をプレスし
てプローブ10の先端に押し付けても、接触圧が静圧の
ため半田付け箇所にできるフラックス膜を突き破れない
場合がある。又、プローブ10は構造が複雑であり、バ
レル20にスプリングを内蔵するため、外形が太くな
り、プローブ同士を接近させても微細な測定点間のピッ
チに対応できない。
【0004】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、微細なピッチにも対応可能で、
半田付け箇所のフラックス膜を破り易く、接触圧を基板
上の測定点の凹凸に関係なく一定にでき、正確な測定結
果が得易い基板検査装置用のエアプローブピンボードを
提供することを目的とする。
てなされたものであり、微細なピッチにも対応可能で、
半田付け箇所のフラックス膜を破り易く、接触圧を基板
上の測定点の凹凸に関係なく一定にでき、正確な測定結
果が得易い基板検査装置用のエアプローブピンボードを
提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による基板検査装置用のエアプローブピンボ
ード24には複数のエアプローブ26を立設した支持体
28を用いる。そして、それ等の各エアプローブ26と
して、先端側を大径部30、後端側を小径部32に形成
し、その大径部30と小径部32との間を円錐台状の段
付部38に形成して、後端に小径部32の径より拡大し
たストッパー34を備えた細長い棒状体を用い、支持体
28の内部に各エアプローブ26の中間部を収納する複
数のエアプローブ26に共通の配管連結孔50付き空気
室52を設け、その空気室52で分けられた支持体28
の一方の側部分に各エアプローブ26の大径部30より
僅かに大きな径を有する大径部挿通孔48をそれぞれ設
け、他方の側部分に各エアプローブ26の小径部32よ
り僅かに大きな径を有する小径部挿通孔54をそれぞれ
設ける
に、本発明による基板検査装置用のエアプローブピンボ
ード24には複数のエアプローブ26を立設した支持体
28を用いる。そして、それ等の各エアプローブ26と
して、先端側を大径部30、後端側を小径部32に形成
し、その大径部30と小径部32との間を円錐台状の段
付部38に形成して、後端に小径部32の径より拡大し
たストッパー34を備えた細長い棒状体を用い、支持体
28の内部に各エアプローブ26の中間部を収納する複
数のエアプローブ26に共通の配管連結孔50付き空気
室52を設け、その空気室52で分けられた支持体28
の一方の側部分に各エアプローブ26の大径部30より
僅かに大きな径を有する大径部挿通孔48をそれぞれ設
け、他方の側部分に各エアプローブ26の小径部32よ
り僅かに大きな径を有する小径部挿通孔54をそれぞれ
設ける
【0006】又は、支持体76の内部に各エアプローブ
74の中間部をそれぞれ収納する空気室82を設け、そ
れ等の空気室82を配管連結孔84付き空気分配孔86
を介して連結する。
74の中間部をそれぞれ収納する空気室82を設け、そ
れ等の空気室82を配管連結孔84付き空気分配孔86
を介して連結する。
【0007】
【作用】上記のように構成し、支持体28の内部に各エ
アプローブ26の中間部を収納する複数のエアプローブ
26に共通の配管連結孔50付き空気室52を設け、そ
の空気室52で分けられた支持体28の一方の側部分に
各エアプローブ26の大径部30より僅かに大きな径を
有する大径部挿通孔48をそれぞれ設け、他方の側部分
に各エアプローブ26の小径部32より僅かに大きな径
を有する小径部挿通孔54をそれぞれ設けると、圧縮空
気を配管から連結孔50を通じて空気室52の内部に供
給し、或いは空気室52から連結孔50を通じ、配管を
経て排気できる。
アプローブ26の中間部を収納する複数のエアプローブ
26に共通の配管連結孔50付き空気室52を設け、そ
の空気室52で分けられた支持体28の一方の側部分に
各エアプローブ26の大径部30より僅かに大きな径を
有する大径部挿通孔48をそれぞれ設け、他方の側部分
に各エアプローブ26の小径部32より僅かに大きな径
を有する小径部挿通孔54をそれぞれ設けると、圧縮空
気を配管から連結孔50を通じて空気室52の内部に供
給し、或いは空気室52から連結孔50を通じ、配管を
経て排気できる。
【0008】それ故、供給した圧縮空気が空気室52に
充満すると、大径部30と小径部32との間に形成した
円錐台状段付部38の斜面に圧縮空気圧が作用し、大径
部30、小径部32が共に対応する挿通孔48、54の
内部をそれぞれ摺動して先端方向に素早く突出を開始す
る。一旦、突出を開始すると圧縮空気圧は大径部30の
断面積から小径部32の断面積を除いた面積に直接作用
する。しかも、大径部30と小径部32の周囲の僅かな
隙間から圧縮空気が大気側に洩れ、プローブ26が支持
体28の内壁から浮き上がって非接触状態となる。する
と、摺動抵抗は空気層のせん断抵抗となり、無視できる
程度の微小な値となる。そこで、各エアプローブ26の
突出方向に少し離して被検査基板70を設置し、固定し
ておけば、各エアプローブ26の先端を基板70上の測
定点にそれぞれ接触できる。このような各エアプローブ
26の接触圧(静圧)は測定点の凹凸に基づくストロー
クに関係なく、供給する圧縮空気圧により定まり、各エ
アプローブ26の先端が基板70に衝突する衝突圧(動
圧)は圧縮空気の流量によって定まる。そして、各エア
プローブ26の最大突出量は後端に備えたストッパー3
4の位置により定まる。なお、空気室52から排気する
と、段付部38の斜面に吸引作用が及ぶため、各エアプ
ローブ26が素早く後退する。
充満すると、大径部30と小径部32との間に形成した
円錐台状段付部38の斜面に圧縮空気圧が作用し、大径
部30、小径部32が共に対応する挿通孔48、54の
内部をそれぞれ摺動して先端方向に素早く突出を開始す
る。一旦、突出を開始すると圧縮空気圧は大径部30の
断面積から小径部32の断面積を除いた面積に直接作用
する。しかも、大径部30と小径部32の周囲の僅かな
隙間から圧縮空気が大気側に洩れ、プローブ26が支持
体28の内壁から浮き上がって非接触状態となる。する
と、摺動抵抗は空気層のせん断抵抗となり、無視できる
程度の微小な値となる。そこで、各エアプローブ26の
突出方向に少し離して被検査基板70を設置し、固定し
ておけば、各エアプローブ26の先端を基板70上の測
定点にそれぞれ接触できる。このような各エアプローブ
26の接触圧(静圧)は測定点の凹凸に基づくストロー
クに関係なく、供給する圧縮空気圧により定まり、各エ
アプローブ26の先端が基板70に衝突する衝突圧(動
圧)は圧縮空気の流量によって定まる。そして、各エア
プローブ26の最大突出量は後端に備えたストッパー3
4の位置により定まる。なお、空気室52から排気する
と、段付部38の斜面に吸引作用が及ぶため、各エアプ
ローブ26が素早く後退する。
【0009】又、支持体76の内部に各エアプローブ7
4の中間部をそれぞれ収納する空気室82を設け、それ
等の空気室82を配管連結孔84付き空気分配孔86を
介して連結すると、圧縮空気圧が作用する面積が各空気
室82と空気分配孔86の内面となって小さくなるた
め、機械的強度が大きくなる。
4の中間部をそれぞれ収納する空気室82を設け、それ
等の空気室82を配管連結孔84付き空気分配孔86を
介して連結すると、圧縮空気圧が作用する面積が各空気
室82と空気分配孔86の内面となって小さくなるた
め、機械的強度が大きくなる。
【0010】
【実施例】以下、添付図面に基づいて、本発明の実施例
を説明する。図1は本発明を適用したインサーキットテ
スタの測定前のエアプローブピンボードを示す縦断面
図、図2はその一点鎖線円内に対応する拡大図である。
図中、24はピンボード、26(26a、26b、26
c)はそのエアプローブ、28はそれ等のエアプローブ
26を立設した樹脂製の支持体である。これ等のエアプ
ローブ26はいずれも金属性の細長い棒状体にし、先端
側を大径部30、後端側を小径部32に形成し、後端に
大径部30の径とほぼ等しい太さのストッパー34を備
える。しかも、大径部30の端部36は円錐状に形成
し、大径部30と小径部32との間の段付部38は面取
りして円錐台状に形成する。なお、ストッパー34には
リード線(図示なし)を接続する。このように、各エア
プローブ26を細長い棒状体にすると、先端同士を互い
に至近距離に近付けることができるため、微細ピッチに
対応可能になる。又、支持体28は2枚の方形状平板4
0、42を上下に合わせ、それ等の端部の所定位置をボ
ルト44(44a、44b)、ナット46(46a、4
6b)等を用いて一体に結合して形成する。因みに、上
下板40、42は接着して結合してもよい。
を説明する。図1は本発明を適用したインサーキットテ
スタの測定前のエアプローブピンボードを示す縦断面
図、図2はその一点鎖線円内に対応する拡大図である。
図中、24はピンボード、26(26a、26b、26
c)はそのエアプローブ、28はそれ等のエアプローブ
26を立設した樹脂製の支持体である。これ等のエアプ
ローブ26はいずれも金属性の細長い棒状体にし、先端
側を大径部30、後端側を小径部32に形成し、後端に
大径部30の径とほぼ等しい太さのストッパー34を備
える。しかも、大径部30の端部36は円錐状に形成
し、大径部30と小径部32との間の段付部38は面取
りして円錐台状に形成する。なお、ストッパー34には
リード線(図示なし)を接続する。このように、各エア
プローブ26を細長い棒状体にすると、先端同士を互い
に至近距離に近付けることができるため、微細ピッチに
対応可能になる。又、支持体28は2枚の方形状平板4
0、42を上下に合わせ、それ等の端部の所定位置をボ
ルト44(44a、44b)、ナット46(46a、4
6b)等を用いて一体に結合して形成する。因みに、上
下板40、42は接着して結合してもよい。
【0011】そして、上板40には中央部の所定位置に
各エアプローブ26の大径部30が嵌まる上下に貫通し
た大径部挿通孔48と、外部の配管が連結する上下に貫
通した配管連結孔50をそれぞれ設けたものを用いる。
又、下板42には中央部の上面に広く、板厚のほぼ半分
に達する均一深さの空気室の主要部を形成する空気溜め
用の凹所52と、その凹所52の所定位置に各エアプロ
ーブ26の小径部32が嵌まる上下に貫通した小径部挿
通孔54とをそれぞれ設けたものを用いる。しかも、大
径部挿通孔48はエアプローブ26の大径部30より僅
かに径を大きくし、小径部挿通孔54はエアプローブ2
6の小径部32より僅かに径を大きくする。すると、図
2に示すように挿通孔48の内壁と大径部30との間及
び挿通孔54の内壁と小径部32との間に、Δr例えば
10〜50μmの隙間をそれぞれ形成することができ
る。なお、56(56a、56b)は上下板40、42
の位置を正確に合わせるためのノックピンである。
各エアプローブ26の大径部30が嵌まる上下に貫通し
た大径部挿通孔48と、外部の配管が連結する上下に貫
通した配管連結孔50をそれぞれ設けたものを用いる。
又、下板42には中央部の上面に広く、板厚のほぼ半分
に達する均一深さの空気室の主要部を形成する空気溜め
用の凹所52と、その凹所52の所定位置に各エアプロ
ーブ26の小径部32が嵌まる上下に貫通した小径部挿
通孔54とをそれぞれ設けたものを用いる。しかも、大
径部挿通孔48はエアプローブ26の大径部30より僅
かに径を大きくし、小径部挿通孔54はエアプローブ2
6の小径部32より僅かに径を大きくする。すると、図
2に示すように挿通孔48の内壁と大径部30との間及
び挿通孔54の内壁と小径部32との間に、Δr例えば
10〜50μmの隙間をそれぞれ形成することができ
る。なお、56(56a、56b)は上下板40、42
の位置を正確に合わせるためのノックピンである。
【0012】このようにして、上下板40、42を一体
に結合した支持体28の所定位置に各エアプローブ26
をそれぞれ装着してピンボード24を構成すると、支持
体28の内部に各エアプローブ26の中間部を収納する
3本のエアプローブ26に共通の配管連結孔50を有す
る空気室52ができる(空気室にも空気溜め用凹所と同
一番号を付す)。そこで、ピンボード24の配管連結孔
50に図3に示すような給、排気配管路を接続する。図
中、58は配管連結孔50と結合する配管の連結部、6
0は圧縮空気源、62は真空源、64はその圧縮空気源
60からの配管路と真空源62からの配管路とを切り換
える3ポート電磁弁、66、68はその圧縮空気源60
から3ポート電磁弁64に至る配管路に介在する減圧
弁、速度制御弁である。
に結合した支持体28の所定位置に各エアプローブ26
をそれぞれ装着してピンボード24を構成すると、支持
体28の内部に各エアプローブ26の中間部を収納する
3本のエアプローブ26に共通の配管連結孔50を有す
る空気室52ができる(空気室にも空気溜め用凹所と同
一番号を付す)。そこで、ピンボード24の配管連結孔
50に図3に示すような給、排気配管路を接続する。図
中、58は配管連結孔50と結合する配管の連結部、6
0は圧縮空気源、62は真空源、64はその圧縮空気源
60からの配管路と真空源62からの配管路とを切り換
える3ポート電磁弁、66、68はその圧縮空気源60
から3ポート電磁弁64に至る配管路に介在する減圧
弁、速度制御弁である。
【0013】測定に際してはピンボード24に対し、先
ず被検査基板70を各エアプローブ26の突出方向に少
し離して設置し、いずれの方向にも動かないように固定
する。そして、3ポート電磁弁64に通電する。する
と、電磁弁64が図3の位置から切り換わり、圧縮空気
が配管から連結孔50を通じて空気室52の内部に供給
される。室内に充満すると、円錐台状段付部38の斜面
に圧縮空気圧が作用し、各エアプローブ26の大径部3
0、小径部32が対応する挿通孔48、54の内部をそ
れぞれ先端方向に素早く突出を開始する。一旦、突出を
開始すると圧縮空気圧は大径部30の断面積から小径部
32の断面積を除いた面積に直接作用する。しかも、プ
ローブ26は内壁との隙間から空気が大気側に洩れ非接
触状態となっているので、摺動抵抗は空気層のせん断抵
抗となり、無視できる程度の微小な値となる。
ず被検査基板70を各エアプローブ26の突出方向に少
し離して設置し、いずれの方向にも動かないように固定
する。そして、3ポート電磁弁64に通電する。する
と、電磁弁64が図3の位置から切り換わり、圧縮空気
が配管から連結孔50を通じて空気室52の内部に供給
される。室内に充満すると、円錐台状段付部38の斜面
に圧縮空気圧が作用し、各エアプローブ26の大径部3
0、小径部32が対応する挿通孔48、54の内部をそ
れぞれ先端方向に素早く突出を開始する。一旦、突出を
開始すると圧縮空気圧は大径部30の断面積から小径部
32の断面積を除いた面積に直接作用する。しかも、プ
ローブ26は内壁との隙間から空気が大気側に洩れ非接
触状態となっているので、摺動抵抗は空気層のせん断抵
抗となり、無視できる程度の微小な値となる。
【0014】すると、図4に示すように各エアプローブ
26の先端を基板70上の測定点にそれぞれ接触でき
る。その際、測定点がパターンや半田付け箇所等で凹凸
があり、各エアプローブ26のストローク(突出量)が
変わっても、接触圧(静圧)は供給する圧縮空気圧によ
り定まるため、圧縮空気圧が一定だと接触圧が一定にな
る。それ故、接触抵抗も一定になり、測定点の凹凸が測
定結果に影響を与えない。なお、減圧弁66を制御する
と、圧縮空気圧を変えて接触圧を調節できる。又、各エ
アプローブ26の先端が基板70の測定点に衝突する衝
突圧(動圧)は圧縮空気の流量により定まる。それ上、
速度制御弁68を制御すると、圧縮空気の流量を変えて
衝突圧を調節できる。なお、被検査基板70がない状態
で各エアプローブ26が突出しても、その最大ストロー
クは図5に示すように後端に備えたストッパー34の位
置により定まり、支持体28より抜けない。
26の先端を基板70上の測定点にそれぞれ接触でき
る。その際、測定点がパターンや半田付け箇所等で凹凸
があり、各エアプローブ26のストローク(突出量)が
変わっても、接触圧(静圧)は供給する圧縮空気圧によ
り定まるため、圧縮空気圧が一定だと接触圧が一定にな
る。それ故、接触抵抗も一定になり、測定点の凹凸が測
定結果に影響を与えない。なお、減圧弁66を制御する
と、圧縮空気圧を変えて接触圧を調節できる。又、各エ
アプローブ26の先端が基板70の測定点に衝突する衝
突圧(動圧)は圧縮空気の流量により定まる。それ上、
速度制御弁68を制御すると、圧縮空気の流量を変えて
衝突圧を調節できる。なお、被検査基板70がない状態
で各エアプローブ26が突出しても、その最大ストロー
クは図5に示すように後端に備えたストッパー34の位
置により定まり、支持体28より抜けない。
【0015】測定終了後、電磁弁64への通電を切る
と、電磁弁64が図3の位置に戻って真空源62が配管
を介し、ピンボード24の連結孔50に接続されるた
め、空気室52から連結孔50を通じ、配管を経て排気
できる。すると、空気室54内の圧力が大気圧より低く
なるため各エアプローブ26の段付部38の斜面が吸引
される等して、図1の位置まで素早く後退する。なお、
エアプローブ26の測定点に対する1回の衝突でフラッ
クス膜が突き破れない場合は、電磁弁64への通電のオ
ンオフを繰り返し、何回か衝突させることにより良好な
電気的接触を得る。
と、電磁弁64が図3の位置に戻って真空源62が配管
を介し、ピンボード24の連結孔50に接続されるた
め、空気室52から連結孔50を通じ、配管を経て排気
できる。すると、空気室54内の圧力が大気圧より低く
なるため各エアプローブ26の段付部38の斜面が吸引
される等して、図1の位置まで素早く後退する。なお、
エアプローブ26の測定点に対する1回の衝突でフラッ
クス膜が突き破れない場合は、電磁弁64への通電のオ
ンオフを繰り返し、何回か衝突させることにより良好な
電気的接触を得る。
【0016】図6は本発明を適用したインサーキットテ
スタの測定前の他のエアプローブピンボードを示す縦断
面図である。図中、72はピンボード、74(74a、
74b、74c)はそのエアプローブ、76はそれ等の
エアプローブ74を中央部の所定位置に立設した上下板
78、80からなる樹脂製の支持体である。このピンボ
ード72は上記実施例のピンボード24と比べ、支持体
76の内部に各エアプローブ74の中間部をそれぞれ収
納する空気室82(82a、82b、82c)を設け、
それ等の空気室82を配管連結孔84付きの空気分配孔
86を介して連結する点が異なる。しかし、その他の構
造はほぼ等しい。
スタの測定前の他のエアプローブピンボードを示す縦断
面図である。図中、72はピンボード、74(74a、
74b、74c)はそのエアプローブ、76はそれ等の
エアプローブ74を中央部の所定位置に立設した上下板
78、80からなる樹脂製の支持体である。このピンボ
ード72は上記実施例のピンボード24と比べ、支持体
76の内部に各エアプローブ74の中間部をそれぞれ収
納する空気室82(82a、82b、82c)を設け、
それ等の空気室82を配管連結孔84付きの空気分配孔
86を介して連結する点が異なる。しかし、その他の構
造はほぼ等しい。
【0017】図7はそのような支持体76を構成する上
板78の中央部88を示す平面図、図8は図7のX−X
断面図である。この上板78は上記実施例の上板40と
同一構造を備えている。図中、90(90a、…90
h)は各エアプローブ74の大径部92が挿通する大径
部挿通孔である。因みに、大径部挿通孔90(90d、
…90h)にはそれぞれ対応する同様の各エアプローブ
74(74d、…74h)の大径部92が挿通する。但
し、エアプローブ74(74d、…74h)は図示して
いない。
板78の中央部88を示す平面図、図8は図7のX−X
断面図である。この上板78は上記実施例の上板40と
同一構造を備えている。図中、90(90a、…90
h)は各エアプローブ74の大径部92が挿通する大径
部挿通孔である。因みに、大径部挿通孔90(90d、
…90h)にはそれぞれ対応する同様の各エアプローブ
74(74d、…74h)の大径部92が挿通する。但
し、エアプローブ74(74d、…74h)は図示して
いない。
【0018】図9はそのような支持体76を構成する下
板80の中央部94を示す平面図、図10は図9のY−
Y断面図である。この下板80は上記実施例の下板42
と異なる構造を備えている。図中、96(96a、…9
6h)は各エアプローブ74の小径部98が挿通する小
径部挿通孔、100が下板80の上面の配管連結孔84
と同一位置に設けた空気中継用の凹所である。この空気
中継用凹所100は配管連結孔84と、空気分配孔86
(86a、86b)の主要部となる空気分配溝とをつな
ぐ部分であり、各空気分配溝86より円形状に広くする
(空気分配溝にも空気分配孔と同一番号を付す)。因み
に、小径部挿通孔96(96d、…96h)にはそれぞ
れ対応する各エアプローブ74(74d、…74h)の
小径部98が挿通し、空気室82(82d、…82h)
にはそれぞれ対応する各エアプローブ74(74d、…
74h)の中間部を収納する。又、空気分配孔86aは
3個の空気室82(82a、82b、82c)を連結
し、空気分配孔86bは5個の空気室82(82d、…
82h)を連結する。
板80の中央部94を示す平面図、図10は図9のY−
Y断面図である。この下板80は上記実施例の下板42
と異なる構造を備えている。図中、96(96a、…9
6h)は各エアプローブ74の小径部98が挿通する小
径部挿通孔、100が下板80の上面の配管連結孔84
と同一位置に設けた空気中継用の凹所である。この空気
中継用凹所100は配管連結孔84と、空気分配孔86
(86a、86b)の主要部となる空気分配溝とをつな
ぐ部分であり、各空気分配溝86より円形状に広くする
(空気分配溝にも空気分配孔と同一番号を付す)。因み
に、小径部挿通孔96(96d、…96h)にはそれぞ
れ対応する各エアプローブ74(74d、…74h)の
小径部98が挿通し、空気室82(82d、…82h)
にはそれぞれ対応する各エアプローブ74(74d、…
74h)の中間部を収納する。又、空気分配孔86aは
3個の空気室82(82a、82b、82c)を連結
し、空気分配孔86bは5個の空気室82(82d、…
82h)を連結する。
【0019】このように、支持体76の内部に各エアプ
ローブ74の中間部をそれぞれ収納する空気室82を設
け、それ等の空気室82を配管連結孔84付きの空気中
継用凹所100を有する空気分配孔86を介して連結す
ると、圧縮空気圧が作用する面積が各空気室82、各空
気分配孔86、空気中継用凹所100の内面となって小
さくなり、機械的強度が大きくなる。それ故、支持体7
6の下板80が圧縮空気圧に耐え易くなる。
ローブ74の中間部をそれぞれ収納する空気室82を設
け、それ等の空気室82を配管連結孔84付きの空気中
継用凹所100を有する空気分配孔86を介して連結す
ると、圧縮空気圧が作用する面積が各空気室82、各空
気分配孔86、空気中継用凹所100の内面となって小
さくなり、機械的強度が大きくなる。それ故、支持体7
6の下板80が圧縮空気圧に耐え易くなる。
【0020】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、請求項1
記載の発明では複数の各エアプローブの大径部と小径部
との間に形成した円錐台状段付部の斜面に圧縮空気圧を
作用させ、円滑な摺動により素早く突出させて、各エア
プローブの先端を基板上の測定点にそれぞれ接触でき
る。又、排気によって突出した各エアプローブの円錐台
状段付部の斜面に吸引作用が及ぶため、各エアプローブ
を素早く後退させることができる。それ故、検査時間を
短縮化できる。しかも、各エアプローブを細長い棒状体
にすると、先端同士を互いに至近距離に近付けることが
でき、微細の測定間ピッチに対応可能になる。又、エア
プローブの測定点に対する1回の衝突でフラックス膜が
破れない場合は、圧縮空気の供給と排気を繰り返すこと
により、何回か衝突させるとフラックス膜が破れるた
め、良好な電気的接触が得られる。又、各エアプローブ
の接触圧は測定点の凹凸に基づくストロークに関係な
く、供給する圧縮空気圧により定まるため、圧縮空気圧
を一定にすると、各エアプローブの接触抵抗も一定にな
り、正確な測定結果が得られる。
記載の発明では複数の各エアプローブの大径部と小径部
との間に形成した円錐台状段付部の斜面に圧縮空気圧を
作用させ、円滑な摺動により素早く突出させて、各エア
プローブの先端を基板上の測定点にそれぞれ接触でき
る。又、排気によって突出した各エアプローブの円錐台
状段付部の斜面に吸引作用が及ぶため、各エアプローブ
を素早く後退させることができる。それ故、検査時間を
短縮化できる。しかも、各エアプローブを細長い棒状体
にすると、先端同士を互いに至近距離に近付けることが
でき、微細の測定間ピッチに対応可能になる。又、エア
プローブの測定点に対する1回の衝突でフラックス膜が
破れない場合は、圧縮空気の供給と排気を繰り返すこと
により、何回か衝突させるとフラックス膜が破れるた
め、良好な電気的接触が得られる。又、各エアプローブ
の接触圧は測定点の凹凸に基づくストロークに関係な
く、供給する圧縮空気圧により定まるため、圧縮空気圧
を一定にすると、各エアプローブの接触抵抗も一定にな
り、正確な測定結果が得られる。
【0021】又、請求項2記載の発明では圧縮空気圧が
作用する面積が小さくなるため、機械的強度が大きく、
支持体が圧縮空気圧に耐え易くなるので、そのエアプロ
ーブ立設面の面積を大きくすることができる。
作用する面積が小さくなるため、機械的強度が大きく、
支持体が圧縮空気圧に耐え易くなるので、そのエアプロ
ーブ立設面の面積を大きくすることができる。
【図1】本発明を適用したインサーキットテスタの測定
前のエアプローブピンボードを示す縦断面図である。
前のエアプローブピンボードを示す縦断面図である。
【図2】図1の一点鎖線円内に対応する拡大図である。
【図3】同エアプローブピンボードの配管連結孔に接続
する給、排気配管路を示す図である。
する給、排気配管路を示す図である。
【図4】同インサーキットテスタの測定時のエアプロー
ブピンボードを示す縦断面図である。
ブピンボードを示す縦断面図である。
【図5】同エアプローブピンボードの被検査基板非設置
時におけるプローブ最大突出状態を示す縦断面図であ
る。
時におけるプローブ最大突出状態を示す縦断面図であ
る。
【図6】本発明を適用したインサーキットテスタの測定
前の他のエアプローブピンボードを示す縦断面図であ
る。
前の他のエアプローブピンボードを示す縦断面図であ
る。
【図7】同エアプローブピンボードの支持体を構成する
上板の中央部を示す平面図である。
上板の中央部を示す平面図である。
【図8】図7のX−X断面図である。
【図9】同エアプローブピンボードの支持体を構成する
下板の中央部を示す平面図である。
下板の中央部を示す平面図である。
【図10】図9のY−Y断面図である。
【図11】従来のインサーキットテスタの測定時のプロ
ーブピンボードを示す縦断面図である。
ーブピンボードを示す縦断面図である。
24、72…エアプローブピンボード 26、74…エ
アプローブ 28、76…支持体 30、92…大径部
32、98…小径部 34…ストッパー 38…段付
部 40、78…上板 42、80…下板 48、90
…大径部挿通孔 50、84…配管連結孔 52、82…空気室 54、
96…小径部挿通孔 58…配管の連結部 60…圧縮
空気源 62…真空源 64…3ポート電磁弁 66…減圧弁 68…速度制御弁 70…被検査基板
86…空気分配孔 100…空気中継用凹所
アプローブ 28、76…支持体 30、92…大径部
32、98…小径部 34…ストッパー 38…段付
部 40、78…上板 42、80…下板 48、90
…大径部挿通孔 50、84…配管連結孔 52、82…空気室 54、
96…小径部挿通孔 58…配管の連結部 60…圧縮
空気源 62…真空源 64…3ポート電磁弁 66…減圧弁 68…速度制御弁 70…被検査基板
86…空気分配孔 100…空気中継用凹所
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−234079(JP,A) 実開 昭49−7451(JP,U) 実開 昭62−203461(JP,U) 実開 昭63−109657(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 1/06 - 1/073
Claims (2)
- 【請求項1】 複数のエアプローブを立設した支持体か
らなる基板検査装置用のエアプローブピンボードにおい
て、上記各エアプローブとして、先端側を大径部、後端
側を小径部に形成し、その大径部と小径部との間を円錐
台状の段付部に形成して、後端に小径部の径より拡大し
たストッパーを備えた細長い棒状体を用い、支持体の内
部に各エアプローブの中間部を収納する複数のエアプロ
ーブに共通の配管連結孔付き空気室を設け、その空気室
で分けられた支持体の一方の側部分に各エアプローブの
大径部より僅かに大きな径を有する大径部挿通孔をそれ
ぞれ設け、他方の側部分に各エアプローブの小径部より
僅かに大きな径を有する小径部挿通孔をそれぞれ設ける
ことを特徴とする基板検査装置用のエアプローブピンボ
ード。 - 【請求項2】 複数のエアプローブを立設した支持体か
らなる基板検査装置用のエアプローブピンボードにおい
て、上記各エアプローブとして、先端側を大径部、後端
側を小径部に形成し、その大径部と小径部との間を円錐
台状の段付部に形成して、後端に小径部の径より拡大し
たストッパーを備えた細長い棒状体を用い、支持体の内
部に各エアプローブの中間部をそれぞれ収納する空気室
を設け、それ等の空気室を配管連結孔付き空気分配孔を
介して連結し、それ等の空気室で分けられた支持体の一
方の側部分に各エアプローブの大径部より僅かに大きな
径を有する大径部挿通孔をそれぞれ設け、他方の側部分
に各エアプローブの小径部より僅かに大きな径を有する
小径部挿通孔をそれぞれ設けることを特徴とする基板検
査装置用のエアプローブピンボード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16425293A JP3308346B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 基板検査装置用のエアプローブピンボード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16425293A JP3308346B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 基板検査装置用のエアプローブピンボード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06347477A JPH06347477A (ja) | 1994-12-22 |
JP3308346B2 true JP3308346B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=15789573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16425293A Expired - Fee Related JP3308346B2 (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | 基板検査装置用のエアプローブピンボード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3308346B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5085534B2 (ja) | 2005-04-27 | 2012-11-28 | エイアー テスト システムズ | 電子デバイスを試験するための装置 |
KR100911660B1 (ko) * | 2007-07-11 | 2009-08-10 | (주)엠투엔 | 프로브 카드의 기판 조립체 및 이를 포함하는 프로브 카드 |
US8030957B2 (en) | 2009-03-25 | 2011-10-04 | Aehr Test Systems | System for testing an integrated circuit of a device and its method of use |
TWI782508B (zh) | 2016-01-08 | 2022-11-01 | 美商艾爾測試系統 | 電子測試器中裝置之熱控制的方法與系統 |
KR20230021177A (ko) | 2017-03-03 | 2023-02-13 | 에어 테스트 시스템즈 | 일렉트로닉스 테스터 |
JP2023545764A (ja) | 2020-10-07 | 2023-10-31 | エイアー テスト システムズ | 電子試験器 |
-
1993
- 1993-06-08 JP JP16425293A patent/JP3308346B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06347477A (ja) | 1994-12-22 |
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