JP3305442B2 - 液体試料分析方法およびその分析装置 - Google Patents
液体試料分析方法およびその分析装置Info
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- JP3305442B2 JP3305442B2 JP20700393A JP20700393A JP3305442B2 JP 3305442 B2 JP3305442 B2 JP 3305442B2 JP 20700393 A JP20700393 A JP 20700393A JP 20700393 A JP20700393 A JP 20700393A JP 3305442 B2 JP3305442 B2 JP 3305442B2
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- Japan
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工業で必要とさ
れる液体試料中の超微量不純物を分析する方法とその分
析装置に関する。特に高周波誘導結合プラズマ質量分析
機（以下ＩＣＰ−ＭＳという）による試薬の純度管理や
半導体工業で使用される石英ガラス製品の洗浄槽の汚染
管理に好適に使用される分析方法およびその分析装置に
関する。
れる液体試料中の超微量不純物を分析する方法とその分
析装置に関する。特に高周波誘導結合プラズマ質量分析
機（以下ＩＣＰ−ＭＳという）による試薬の純度管理や
半導体工業で使用される石英ガラス製品の洗浄槽の汚染
管理に好適に使用される分析方法およびその分析装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、急速に進んだ半導体工業の高純度
化に伴いそこで使用される試薬や洗浄液も高純度が要求
され、それらに含まれる不純物量はｐｐｔオーダーとな
っている。そのためこれら試薬や洗浄液の純度や汚染度
を管理する分析装置もｐｐｔオ−ダ−の分析が可能な装
置が用いられてきた。ところが、前記分析装置が置かれ
ている分析室には半導体素子が最も嫌うアルカリ、鉄、
銅等の不純物の発生源が多数あり、そこから発生した不
純物で前記試薬や洗浄液等が汚染されるので、分析室は
一般的に例えばＴＨＥ ＴＲＣ ＮＥＷＳ Ｎｏ．４０
Ｊｕｌ．１９９２、２７乃至３１頁や「ぶんせき」２
月号１９９２年 １１０乃至１１８頁に記載されている
ようなクリ−ンル−ムやクリ−ンラボラトリ−とされて
きた。
化に伴いそこで使用される試薬や洗浄液も高純度が要求
され、それらに含まれる不純物量はｐｐｔオーダーとな
っている。そのためこれら試薬や洗浄液の純度や汚染度
を管理する分析装置もｐｐｔオ−ダ−の分析が可能な装
置が用いられてきた。ところが、前記分析装置が置かれ
ている分析室には半導体素子が最も嫌うアルカリ、鉄、
銅等の不純物の発生源が多数あり、そこから発生した不
純物で前記試薬や洗浄液等が汚染されるので、分析室は
一般的に例えばＴＨＥ ＴＲＣ ＮＥＷＳ Ｎｏ．４０
Ｊｕｌ．１９９２、２７乃至３１頁や「ぶんせき」２
月号１９９２年 １１０乃至１１８頁に記載されている
ようなクリ−ンル−ムやクリ−ンラボラトリ−とされて
きた。
【０００３】上記クリ−ンル−ムやクリ−ンラボラトリ
−は、前記文献にも記載されているようにその設備費や
運転費に莫大な費用がかかり、加えて半導体工業用製品
の分析や管理には腐食性の強いフッ酸や硝酸等が試薬と
して使用されるためクリ−ンル−ムやクリ−ンラボラト
リ−を循環してきたエア−は再使用ができずドラフト等
の局所排気設備で大量に捨てなければならず、その排気
除害費用も大きいものがあった。
−は、前記文献にも記載されているようにその設備費や
運転費に莫大な費用がかかり、加えて半導体工業用製品
の分析や管理には腐食性の強いフッ酸や硝酸等が試薬と
して使用されるためクリ−ンル−ムやクリ−ンラボラト
リ−を循環してきたエア−は再使用ができずドラフト等
の局所排気設備で大量に捨てなければならず、その排気
除害費用も大きいものがあった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明者等は、こうし
た現状に鑑み上記クリ−ンル−ムやクリ−ンラボラトリ
−なしの超高感度分析の可能性について鋭意検討してい
たところ、ＩＣＰ−ＭＳは装置全体が密閉状態になって
おり、しかも分析に供される試料溶液や標準試薬が細管
を通って吸引され、分析装置に供給されるところからこ
のＩＣＰ−ＭＳを改良すれば、前記クリーンルームやク
リ−ンラボラトリ−を必要としない分析装置が得られる
との結論に達した。しかしながら、分析装置としてＩＣ
Ｐ−ＭＳを利用したとしても半導体工業製品等の分析で
は腐食性の強い酸を多く使用するところからこれら酸等
の有害蒸気を排気するためクリ−ンエアは不可欠なもの
である。そこで、本発明者等はさらに上記分析装置につ
いて研究を重ねた結果、酸等の有害蒸気を発生する溶液
準備や標準溶液の調製場所を人体や分析作業域から隔離
すれば排気に必要なクリ−ンエアの容積を小さくできる
こと、および前記隔離により雰囲気濃度の上限を人体へ
の安全性の配慮からではなく設備機器の耐食性の点から
のみ配慮すれば十分あることを見出した。そして、これ
らの要件を満たす装置として、グローブボックスが最適
であり、このグローブボックスを用いて測定溶液等の調
製を行えば、必要なクリ−ン度を保ったまま分析準備が
でき、その結果ｐｐｔオーダーの超高感度分析もできる
ことを発見し、本発明を完成したものである。
た現状に鑑み上記クリ−ンル−ムやクリ−ンラボラトリ
−なしの超高感度分析の可能性について鋭意検討してい
たところ、ＩＣＰ−ＭＳは装置全体が密閉状態になって
おり、しかも分析に供される試料溶液や標準試薬が細管
を通って吸引され、分析装置に供給されるところからこ
のＩＣＰ−ＭＳを改良すれば、前記クリーンルームやク
リ−ンラボラトリ−を必要としない分析装置が得られる
との結論に達した。しかしながら、分析装置としてＩＣ
Ｐ−ＭＳを利用したとしても半導体工業製品等の分析で
は腐食性の強い酸を多く使用するところからこれら酸等
の有害蒸気を排気するためクリ−ンエアは不可欠なもの
である。そこで、本発明者等はさらに上記分析装置につ
いて研究を重ねた結果、酸等の有害蒸気を発生する溶液
準備や標準溶液の調製場所を人体や分析作業域から隔離
すれば排気に必要なクリ−ンエアの容積を小さくできる
こと、および前記隔離により雰囲気濃度の上限を人体へ
の安全性の配慮からではなく設備機器の耐食性の点から
のみ配慮すれば十分あることを見出した。そして、これ
らの要件を満たす装置として、グローブボックスが最適
であり、このグローブボックスを用いて測定溶液等の調
製を行えば、必要なクリ−ン度を保ったまま分析準備が
でき、その結果ｐｐｔオーダーの超高感度分析もできる
ことを発見し、本発明を完成したものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、液体試料中の
微量成分を分析する方法において、クリーン度を上げた
調製用グローブボックス内で測定溶液を調製し、次いで
前記測定溶液を測定溶液供給用グローブボックスに移
し、そこに突出する試料導入細管を通して分析装置に供
給し、分析することを特徴とする微量成分分析方法およ
びその分析装置に係る。
微量成分を分析する方法において、クリーン度を上げた
調製用グローブボックス内で測定溶液を調製し、次いで
前記測定溶液を測定溶液供給用グローブボックスに移
し、そこに突出する試料導入細管を通して分析装置に供
給し、分析することを特徴とする微量成分分析方法およ
びその分析装置に係る。
【０００６】ＩＰＣ−ＭＳの概略を図１に示すが、図１
において測定溶液はＩＰＣト−チ部４にアルゴンガス８
を媒体として霧化されて供給され、イオン化されてイオ
ン引込部に送られる。イオン化された元素はイオンレン
ズで収束され、四重極質量分析部６に導かれ、イオンの
質量毎に分離され、イオン数を計数して質量分析が行な
われる。前記ＩＰＣト−チ部４への測定溶液の供給は試
料導入細管７を通じて行なわれ、それが図２で示すサン
プル台１３上に突出している。
において測定溶液はＩＰＣト−チ部４にアルゴンガス８
を媒体として霧化されて供給され、イオン化されてイオ
ン引込部に送られる。イオン化された元素はイオンレン
ズで収束され、四重極質量分析部６に導かれ、イオンの
質量毎に分離され、イオン数を計数して質量分析が行な
われる。前記ＩＰＣト−チ部４への測定溶液の供給は試
料導入細管７を通じて行なわれ、それが図２で示すサン
プル台１３上に突出している。
【０００７】本発明の分析装置は、ＩＣＰ−ＭＳとそれ
に測定溶液を供給するための分析準備用グローブボック
スとを備え、該分析準備用グローブボックスは調製用グ
ローブボックス２と測定溶液供給用グローブボックス３
とからなり、測定溶液供給用グローブボックス３はＩＣ
Ｐ−ＭＳのサンプル台１３に嵌め込み可能に調製用グロ
ーブボックスに片持的に保持され、そこにはＩＣＰ−Ｍ
Ｓの試料導入細管７が気密的に開口している。また、前
記調製用グローブボックス２には図３に示すように天井
のフィルタ−９を通してボックス内に空気が流入され、
ダウンフロ−に流れ、図５に示す下端部の排気口１４か
ら屋外のガス洗浄塔（図示せず）に接続されている。
に測定溶液を供給するための分析準備用グローブボック
スとを備え、該分析準備用グローブボックスは調製用グ
ローブボックス２と測定溶液供給用グローブボックス３
とからなり、測定溶液供給用グローブボックス３はＩＣ
Ｐ−ＭＳのサンプル台１３に嵌め込み可能に調製用グロ
ーブボックスに片持的に保持され、そこにはＩＣＰ−Ｍ
Ｓの試料導入細管７が気密的に開口している。また、前
記調製用グローブボックス２には図３に示すように天井
のフィルタ−９を通してボックス内に空気が流入され、
ダウンフロ−に流れ、図５に示す下端部の排気口１４か
ら屋外のガス洗浄塔（図示せず）に接続されている。
【０００８】上記測定溶液供給用グローブボックスおよ
び調製用グローブボックスには図３、４に示す蓋１０が
設けられ、器具や試薬瓶が蓋を開けて入れられるように
なっている。試薬等からの調製作業である分析準備は図
５に示すグロ−ブ１１に手を入れて行なわれる。同図５
は測定溶液供給用グロ−ブボックス側から調製用グロー
ブボックス内をみた図であり、測定溶液供給用グロ−ブ
ボックスは省略してある。調製用グローブボックスの大
きさは内容積が約１００〜２００ｌあれば十分である。
この大きさであれば、例えば内容積１００ｌの調製用グ
ローブボックスの場合、１０ｍ3／時の風量で毎時１０
０回の換気を行えばクラス１００のクリ−ン度を保つこ
とができる。そして、蓋を開けてクリ−ン度が破れたと
しても前記条件を採用すれば、３０分でクラス１００の
クリ−ン度に回復できる。
び調製用グローブボックスには図３、４に示す蓋１０が
設けられ、器具や試薬瓶が蓋を開けて入れられるように
なっている。試薬等からの調製作業である分析準備は図
５に示すグロ−ブ１１に手を入れて行なわれる。同図５
は測定溶液供給用グロ−ブボックス側から調製用グロー
ブボックス内をみた図であり、測定溶液供給用グロ−ブ
ボックスは省略してある。調製用グローブボックスの大
きさは内容積が約１００〜２００ｌあれば十分である。
この大きさであれば、例えば内容積１００ｌの調製用グ
ローブボックスの場合、１０ｍ3／時の風量で毎時１０
０回の換気を行えばクラス１００のクリ−ン度を保つこ
とができる。そして、蓋を開けてクリ−ン度が破れたと
しても前記条件を採用すれば、３０分でクラス１００の
クリ−ン度に回復できる。
【０００９】片持的に把持され測定溶液供給用グロ−ブ
ボックス３には図４に示すように、調製用グローブボッ
クスで調製された測定溶液の容器が移され並べられ、そ
こに開口する試料導入細管７で測定溶液が順次吸引され
ＩＣＰト−チに供給されて分析される（図２参照）。
ボックス３には図４に示すように、調製用グローブボッ
クスで調製された測定溶液の容器が移され並べられ、そ
こに開口する試料導入細管７で測定溶液が順次吸引され
ＩＣＰト−チに供給されて分析される（図２参照）。
【００１０】測定溶液供給用グロ−ブボックス３には図
４に示すように調製用グロ−ブボックス２の反対側から
圧縮空気が０．１μｍ程度の高機能フィルタ−１２を通
して水平方向に流れ、測定溶液供給用グロ−ブ内を加圧
状態に維持する。この加圧状態にあることにより、調製
用グロ−ブボックス内から測定溶液の容器等が測定溶液
供給用グロ−ブボックス内に移されても不純物が混入す
ることがない。
４に示すように調製用グロ−ブボックス２の反対側から
圧縮空気が０．１μｍ程度の高機能フィルタ−１２を通
して水平方向に流れ、測定溶液供給用グロ−ブ内を加圧
状態に維持する。この加圧状態にあることにより、調製
用グロ−ブボックス内から測定溶液の容器等が測定溶液
供給用グロ−ブボックス内に移されても不純物が混入す
ることがない。
【００１１】
【作用】本発明の分析手順は、先ず調製用グロ−ブボッ
クスの蓋を開け、試料、標準試料用原液、メスフラスコ
およびピペット等を入れ、室内のエアをダウンフロ−に
流し、ボックス内をクラス１００以下のクリ−ン度にし
た後、図５に示すグロ−ブ部から手を入れ、測定溶液の
希釈および検量線用標準溶液を作成し、この測定溶液等
を測定溶液供給用グロ−ブボックスに移し、そこに開口
する試料導入細管で吸引し、ＩＣＰ−ＭＳのＩＰＣト−
チ部に導入し、イオン化し、定量分析することからな
る。
クスの蓋を開け、試料、標準試料用原液、メスフラスコ
およびピペット等を入れ、室内のエアをダウンフロ−に
流し、ボックス内をクラス１００以下のクリ−ン度にし
た後、図５に示すグロ−ブ部から手を入れ、測定溶液の
希釈および検量線用標準溶液を作成し、この測定溶液等
を測定溶液供給用グロ−ブボックスに移し、そこに開口
する試料導入細管で吸引し、ＩＣＰ−ＭＳのＩＰＣト−
チ部に導入し、イオン化し、定量分析することからな
る。
【００１２】以下に、本発明を更に例を挙げて具体的に
説明する。
説明する。
【実施例】石英ガラスを洗浄した５％ＨＦのエッチング
洗浄槽液を採取し、それを未知試料として図３に示す１
００ｌの調製用グローブボックスに入れた。別に、ブラ
ンクテスト試料、表１の標準原液、分析用高純度試薬お
よび超純水をピペット等の器具と共に調製用グローブボ
ックスの蓋１０を上げて入れた。
洗浄槽液を採取し、それを未知試料として図３に示す１
００ｌの調製用グローブボックスに入れた。別に、ブラ
ンクテスト試料、表１の標準原液、分析用高純度試薬お
よび超純水をピペット等の器具と共に調製用グローブボ
ックスの蓋１０を上げて入れた。
【００１３】
【表１】
【００１４】上記調製用グロ−ブボックスの蓋を閉めた
後、１０ｍ２／時の風量のエアを上部のフィルタ−９を
通してダウンフロ−に３０分間給気し、クリ−ン度をク
ラス１００以下とした。この状態で、未知試料、ブラン
クテスト試料から分析用高純度試薬を用いて０．０３４
％ＨＮＯ3と０．２５％ＨＦを含む溶液に希釈して測定
溶液を作成した。
後、１０ｍ２／時の風量のエアを上部のフィルタ−９を
通してダウンフロ−に３０分間給気し、クリ−ン度をク
ラス１００以下とした。この状態で、未知試料、ブラン
クテスト試料から分析用高純度試薬を用いて０．０３４
％ＨＮＯ3と０．２５％ＨＦを含む溶液に希釈して測定
溶液を作成した。
【００１５】同じようにして標準原液を０．０３４％Ｈ
ＮＯ3および０．２５％ＨＦの溶液に調製し下記（ａ）
〜（ｄ）の検量線用溶液を作成した。 検量線用溶液の内訳 （ａ） ０ ｐｐｔのＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒを含
む検量線用溶液 （ｂ） １０ ｐｐｔのＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒを含
む検量線用溶液 （ｃ） １００ ｐｐｔのＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒを含
む検量線用溶液 （ｄ）１０００ ｐｐｔのＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒを含
む検量線用溶液
ＮＯ3および０．２５％ＨＦの溶液に調製し下記（ａ）
〜（ｄ）の検量線用溶液を作成した。 検量線用溶液の内訳 （ａ） ０ ｐｐｔのＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒを含
む検量線用溶液 （ｂ） １０ ｐｐｔのＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒを含
む検量線用溶液 （ｃ） １００ ｐｐｔのＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒを含
む検量線用溶液 （ｄ）１０００ ｐｐｔのＦｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒを含
む検量線用溶液
【００１６】上記検量線用溶液を用いて検量線を作図し
た。
た。
【００１７】他方、上記の測定溶液の入った容器を調製
用グロ−ブボックス２から測定溶液供給用グロ−ブボッ
クス３に移し、図４に示すＩＣＰ−ＭＳの試料導入用細
管７で吸入しＩＣＰ−ＭＳのＩＣＰト−チに供給し上記
検量線を用いて定量分析を行なった。その結果、上記未
知試料中にはＣｕ１２０ｐｐｔ、Ｎｉ５００ｐｐｔ、Ｃ
ｒ２０ｐｐｔおよびＦｅ７００ｐｐｔの不純物が存在す
ることがわかった。
用グロ−ブボックス２から測定溶液供給用グロ−ブボッ
クス３に移し、図４に示すＩＣＰ−ＭＳの試料導入用細
管７で吸入しＩＣＰ−ＭＳのＩＣＰト−チに供給し上記
検量線を用いて定量分析を行なった。その結果、上記未
知試料中にはＣｕ１２０ｐｐｔ、Ｎｉ５００ｐｐｔ、Ｃ
ｒ２０ｐｐｔおよびＦｅ７００ｐｐｔの不純物が存在す
ることがわかった。
【００１８】上記分析とは別に本発明方法の定量下限値
を調べるため検量線用溶液（ｂ）の１０ｐｐｔのＦｅ、
Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒを含む溶液を２０回繰り返し測定して
標準偏差σを求め、その１０倍を定量下限と定義したと
ころ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒについて１０ｐｐｔを定量下限
値とすることが出来た。また、Ｆｅについても同様に５
０ｐｐｔの定量下限値で分析を行うことが出来た。
を調べるため検量線用溶液（ｂ）の１０ｐｐｔのＦｅ、
Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｒを含む溶液を２０回繰り返し測定して
標準偏差σを求め、その１０倍を定量下限と定義したと
ころ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒについて１０ｐｐｔを定量下限
値とすることが出来た。また、Ｆｅについても同様に５
０ｐｐｔの定量下限値で分析を行うことが出来た。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、１００〜２００ｌ程度の小さ
な容積のグロ−ブボックスを２台使用するという簡便な
手段でクリ−ンル−ムやクリ−ンラボラトリ−と同等の
クリ−ン度を保ちながら分析することができ、しかもそ
の結果はｐｐｔオ−ダ−の正確な分析であった。
な容積のグロ−ブボックスを２台使用するという簡便な
手段でクリ−ンル−ムやクリ−ンラボラトリ−と同等の
クリ−ン度を保ちながら分析することができ、しかもそ
の結果はｐｐｔオ−ダ−の正確な分析であった。
【図１】ＩＣＰ−ＭＳの概略図である。
【図２】本発明装置の正面図である。
【図３】本発明装置の分析準備グロ−ブボックスの斜視
図である。
図である。
【図４】測定溶液供給用グロ−ブボックスの透視図であ
る。
る。
【図５】調製用グロ−ブボックスの背面斜視図である。
１ ＩＣＰ−ＭＳ ２ 調整用グロ−ブボックス ３ 測定溶液供給用グロ−ブボックス ４ ＩＣＰト−チ ５ イオン引込部 ６ 四重極質量分析部 ７ 試料導入細管 ８ アルゴンガス貯蔵容器 ９、１２フィルタ− １０ 蓋 １１ グロ−ブ １３ サンプル台 １４ 排出口
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−28533（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−229428（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−149847（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−47741（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−47891（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−48762（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭56−23447（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭60−49856（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭61−40333（ＪＰ，Ｂ２) 平塚豊，“クリーンラボラトリー”, ぶんせき，日本，社団法人日本分析化学 会，1992年２月５日，第２号，ｐ．110 −118 須志田一義，“半導体材料等における 極微量不純物元素分析”，ＴＨＥ ＴＲ Ｃ ＮＥＷＳ，日本，株式会社東レリサ ーチセンター，1992年７月１日，第11巻 第３号，ｐ．27−31 Ｊｅｆｆｒｅｙ Ｓ．Ｃｒａｉｎ ａ ｎｄ Ｄａｖｉｄ Ｌ．Ｇａｌｌｉｍｏ ｒｅ，”Ｉｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙ Ｃｏ ｕｐｌｅｄ Ｐｌａｓｍａ−Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ ｏｆ Ｓｙ ｎｔｈｅｔｉｃ Ｅｌｅｍｅｎｔｓ”, Ａｐｐｌｉｅｄ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏ ｐｙ，米国，Ｓｏｃｉｅｔｙ ｆｏｒ Ａｐｐｌｉｅｄ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏ ｐｙ，第46巻第３号，ｐ．547−549 Ｍａｒｔｉｎ Ｃ．Ｅｄｅｌｓｏｎ ａｎｄ Ｅｄｗａｒｄ Ｌ．Ｄｅｋａｌ ｂ，”Ｔｈｅ Ａｍｅｓ Ｌａｂｏｒａ ｔｏｒｙ Ｆａｃｉｌｉｔｙ ｆｏｒ ｔｈｅ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｓｐｅｃｔ ｒｏｓｃｏｐｙ Ｓｔｕｄｙ ｏｆ Ａ ｌｐｈａ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｒａｄｉ ｏｎｕｃｌｅｉ”，Ｐｌａｓｍａ Ｓｐ ｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ ｆｏｒ ｔｈｅ Ａｎａｌｙｓｉｓ ｏｆ Ｈａｚａｒ ｄｏｕｓ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，米国, ＡＳＴＭ，第951号，ｐ．83−94 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 1/00 - 1/44 B01L 1/00 - 1/04 G01N 27/62 H01J 49/04 G21F 7/04 B25J 21/02 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (5)
- 【請求項１】 液体試料中の微量成分を分析する方法に
おいて、クリーン度を上げた調製用グローブボックス内
で測定溶液を調製し、次いで前記測定溶液を測定溶液供
給用グローブボックスに移し、そこに突出する試料導入
細管を通して分析装置に供給し、分析することを特徴と
する微量成分分析方法。 - 【請求項２】 グローブボックス内のクリーン度がクラ
ス１００以下であることを特徴とする請求項１記載の微
量成分分析方法。 - 【請求項３】 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置と
分析準備用グローブボックスとを備えた微量成分分析装
置において、前記分析準備用グローブボックスが調製用
グローブボックスと測定溶液供給用グローブボックスか
らなり、測定溶液供給用グローブボックスが前記高周波
誘導結合プラズマ質量分析装置のサンプル台に嵌め込み
可能に調製用グローブボックスに片持的に保持され、こ
の測定溶液供給用グローブボックス中に前記分析装置の
試料導入細管が気密的に開口していることを特徴とする
微量成分分析装置。 - 【請求項４】 測定溶液供給用グローブボックス中のク
リ−ンエアが調製用グローブボックスと反対側壁にある
高機能フィルタ−を通って流れる圧縮空気による水平方
向流をなし、調製用グローブボックスの天井からのダウ
ンフローのクリーンエアと合流して排気されることを特
徴とする請求項３記載の微量成分分析装置。 - 【請求項５】 測定溶液供給用グローブボックス内が加
圧状態にあることを特徴とする請求項３または４記載の
微量成分分析装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20700393A JP3305442B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 液体試料分析方法およびその分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20700393A JP3305442B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 液体試料分析方法およびその分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0739769A JPH0739769A (ja) | 1995-02-10 |
| JP3305442B2 true JP3305442B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=16532588
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20700393A Expired - Fee Related JP3305442B2 (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 液体試料分析方法およびその分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3305442B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100671124B1 (ko) * | 2004-10-19 | 2007-01-17 | 제일모직주식회사 | 이온화모듈을 구비한 글로브박스, 및 이를 이용한 반도체및 유기ｅｌ 소자의 평가방법 |
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1993
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