JP3301042B2 - Fluid control equipment control system - Google Patents
Fluid control equipment control systemInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、単一の信号伝送路に複
数の流体制御用機器を接続し、これらの流体制御用機器
に共通のコントローラによって流体制御用機器を制御す
るようにした流体制御用機器制御システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid in which a plurality of fluid control devices are connected to a single signal transmission line, and the fluid control devices are controlled by a controller common to these fluid control devices. The present invention relates to a control device control system.
【0002】[0002]
【従来の技術】例えば、半導体の製造に用いられる各種
のガスを半導体製造装置に供給する場合、それらの供給
流路にマスフローコントローラ(以下、MFCと略称す
る)や圧力自動調整器や電磁弁や温調器などの流体制御
用機器をそれぞれ複数個設け、これらの流体制御用機器
によって、ガスの流量や圧力を適宜に調整するようにし
ている。そして、これらの流体制御用機器は、単一の信
号伝送路に接続され、共通のコントローラによって制御
されるように構成されている。2. Description of the Related Art For example, when supplying various gases used for manufacturing a semiconductor to a semiconductor manufacturing apparatus, a mass flow controller (hereinafter abbreviated as MFC), an automatic pressure regulator, an electromagnetic valve, A plurality of fluid control devices such as a temperature controller are provided, and the flow rate and pressure of gas are appropriately adjusted by these fluid control devices. These fluid control devices are connected to a single signal transmission line and configured to be controlled by a common controller.
【0003】図2は、従来の流体制御用機器制御システ
ムを説明するための図で、この図において、k1 ,
k2 ,k3 ,k4 は前記供給流路に設けられる流体制御
用機器で、各流体制御用機器k1 〜k4 は、単一の信号
伝送路Lを介して共通のコントローラ(例えばコンピュ
ータ)Cに接続されている。そして、各流体制御用機器
k1 〜k4 は、例えばワンチップマイコンのような制御
部を備えており、さらに、全ての流体制御用機器k1 〜
k4 を区別せず一斉に制御するためのブロードキャスト
コード、例えば、00が付与されているとともに、個々
の流体制御用機器を各別に区別するための固有の識別コ
ード、例えば、01,02,03,04が付与されてい
る。FIG. 2 is a diagram for explaining a conventional fluid control device control system. In FIG. 2, k 1 ,
k 2 , k 3 , and k 4 are fluid control devices provided in the supply flow path. Each of the fluid control devices k 1 to k 4 is connected to a common controller (for example, a computer) via a single signal transmission line L. ) C. Each of the fluid control devices k 1 to k 4 includes a control unit such as, for example, a one-chip microcomputer, and further includes all of the fluid control devices k 1 to k 1 .
Broadcast code for controlling simultaneously without distinction k 4, for example, 00 together are given a unique identification code for distinguishing a device for controlling the individual fluid separately to each, e.g., 01, 02, 03 , 04 are assigned.
【0004】このように構成された流体制御用機器制御
システムにおいては、コントローラCの指令内容にブロ
ードキャストコードを付した信号を送出するブロードキ
ャスト通信と、前記指令内容に個別の識別コードを付し
た信号を送出する個別通信とを行うことができる。そし
て、前者の通信の場合、コントローラCからの指令は、
全ての流体制御用機器k1 〜k4 において取り込まれ、
個々の流体制御用機器k1 〜k4 においては、前記指令
内容に応じた処理がされる。また、後者の通信の場合
は、前記信号に付されている識別コードと一致する識別
コードを有する流体制御用機器にのみコントローラCか
らの信号が取り込まれ、所定の処理または応答が行われ
る。このように、従来の流体制御用機器制御システムに
おいては、特別な交換器を用いることなく所望の通信を
行うことができる。In the fluid control device control system configured as described above, a broadcast communication for sending a signal with a broadcast code added to the command content of the controller C, and a signal with an individual identification code added to the command content. Individual communication to be transmitted can be performed. In the case of the former communication, the command from the controller C is
Taken in all the fluid control devices k 1 to k 4 ,
In each of the fluid control devices k 1 to k 4 , a process according to the content of the command is performed. In the case of the latter communication, the signal from the controller C is fetched only to the fluid control device having the identification code that matches the identification code added to the signal, and a predetermined process or response is performed. As described above, in the conventional fluid control device control system, desired communication can be performed without using a special exchanger.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の流体制御用機器制御システムにおいては、例えば、
流体制御用機器k1 ,k2 にのみ同一内容の指令を通信
するような場合、ブロードキャスト通信は行えないか
ら、個別通信を2回相次いで行う必要があり、それだけ
時間がかかることになる。また、この場合、コントロー
ラCからの指令内容が、前記2つの流体制御用機器
k1 ,k2 を同時に動作させるようなものである場合は
実質的に制御できないといった不都合がある。However, in the above-mentioned conventional fluid control device control system, for example,
When the same command is communicated only to the fluid control devices k 1 and k 2 , broadcast communication cannot be performed. Therefore, it is necessary to perform individual communication twice one after another, which takes much time. Further, in this case, if the command content from the controller C is such that the two fluid control devices k 1 and k 2 are operated simultaneously, there is a disadvantage that the control cannot be performed substantially.
【0006】このように、ガス供給系統が複雑になり、
多数の流体制御用機器を使うようになってくると、全て
の流体制御用機器k1 〜k4 を対象にして行うブロード
キャスト通信と特定の流体制御用機器を対象にして行う
個別通信しかできない従来の流体制御用機器制御システ
ムでは、時間的にきめ細かい制御を行うことがきわめて
困難となるのである。Thus, the gas supply system becomes complicated,
If multiple fluid control becomes to use the equipment, can only individual communication performed in the target broadcast communication a particular fluid control equipment performed by all of the fluid control equipment k 1 to k 4 subject prior In the fluid control device control system described above, it is extremely difficult to perform detailed control over time.
【0007】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、時間的によりきめの
細かい制御を行うことができる流体制御用機器制御シス
テムを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in consideration of the above-described circumstances, and an object of the present invention is to provide a fluid control device control system capable of performing finer control over time. .
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明においては、単一の信号伝送路に複数の流体
制御用機器を接続し、これらの流体制御用機器に共通の
コントローラによって流体制御用機器を制御するように
した流体制御用機器制御システムにおいて、前記流体制
御用機器の全てに、ブロードキャストコードとは別に、
個体を各別に識別するための個体識別コードおよび特定
の基準に基づいて前記流体制御用機器をグループ分けし
たときのグループ識別コードをそれぞれ付しておき、前
記コントローラからの指令により、前記流体制御用機器
のそれぞれを、一括、個別またはグループ別のいずれに
よっても制御できるようにしている。In order to achieve the above object, according to the present invention, a plurality of fluid control devices are connected to a single signal transmission line, and the fluid is controlled by a controller common to these fluid control devices. in was set to control the control equipment for fluid control device control system, all of the fluid control device, separately from the broadcast code,
Individual identification code and identification for individual identification
The fluid control devices are grouped based on the criteria of
Previously subjected respectively a group identification code when the previous
In accordance with a command from the controller, each of the fluid control devices can be controlled collectively, individually, or in groups.
【0009】[0009]
【作用】本発明においては、各流体制御用機器がブロー
ドキャストコード以外に複数の識別コードを有すること
ができるので、例えば、識別コードを2つ持つような場
合、第1の識別コードを個体を識別するためのコードと
し、第2の識別コードをある特定の基準で分けられるグ
ループを識別するためのコードとするのである。このよ
うにすることにより、全ての流体制御用機器を一括して
制御することができるのは勿論のこと、個別制御および
グループ制御のいずれをも行うことができ、時間的によ
りきめの細かい制御を行うことができる。In the present invention, since each fluid control device can have a plurality of identification codes other than the broadcast code, for example, when two identification codes are provided, the first identification code is used to identify the individual. The second identification code is a code for identifying a group divided by a specific standard. By doing so, not only can all the fluid control devices be controlled collectively, but also both individual control and group control can be performed, and finer control over time can be achieved. It can be carried out.
【0010】[0010]
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0011】図1は、本発明の一実施例に係る流体制御
用機器制御システムを示し、この図において、K1 ,K
2 ,K3 ,K4 は、単一の信号伝送路Lを介して共通の
コントローラ(例えばコンピュータ)Cに接続される例
えばMFCである。そして、各MFCK1 〜K4 は、例
えば、ワンチップマイコンのような制御部を備えてお
り、さらに、全てのMFCK1 〜K4 を区別せず一斉に
制御するためのブロードキャストコード、例えば、00
が付与されているとともに、以下のような識別コードが
付されている。[0011] Figure 1 shows a fluid control device control system according to an embodiment of the present invention, In FIG, K 1, K
2 , K 3 and K 4 are, for example, MFCs connected to a common controller (for example, a computer) C via a single signal transmission line L. Each of the MFCK 1 to K 4 includes a control unit such as a one-chip microcomputer, for example, and furthermore, a broadcast code for controlling all the MFCK 1 to K 4 at once without discrimination, for example, 00
, And the following identification code.
【0012】すなわち、第1のMFCK1 には、第1識
別コードとしての01、第2識別コードとしてのA0
が、第2のMFCK2 には、第1識別コードとしての0
2、第2識別コードとしてのA0、第3識別コードとし
てのC0が、第3のMFCK3には、第1識別コードと
しての03、第2識別コードとしてのB0、第3識別コ
ードとしてのC0が、そして、第4のMFCK4 には、
第1識別コードとしての04、第2識別コードとしての
B0がそれぞれ設定(付与)されている。なお、この実
施例では、第1のMFCK1 と第4のMFCK4 には、
第3識別コードは設定されてない。That is, the first MFCK 1 has 01 as the first identification code and A0 as the second identification code.
However, the second MFCK 2 has 0 as the first identification code.
2, A0 as the second identification code, C0 as the third identification code, and 03 in the third MFCK 3 as B0 as the first identification code, B0 as the second identification code, and C0 as the third identification code But the fourth MFCK 4
04 as the first identification code and B0 as the second identification code are respectively set (given). In this embodiment, the first MFCK 1 and the fourth MFCK 4 include:
The third identification code has not been set.
【0013】前記第1識別コード01〜04は、各MF
CK1 〜K4 を個別に識別(特定)するためのコードで
ある。そして、第2識別コードA0,B0は、全てのM
FCK1 〜K4 をある基準によってグループ分けしたと
きのグループを表すコードである。また、第3識別コー
ドC0は、全てのMFCK1 〜K4 を他の基準によって
グループ分けしたときのグループを表すコードである。The first identification codes 01 to 04 correspond to each MF
CK 1 ~K 4 individually identifiable is a code for (specific). The second identification codes A0 and B0 are all M
The criterion that is the FCK 1 ~K 4 is a code representing the group when the grouping. The third identification code C0 is a code representing the group when grouped by other criteria all MFCK 1 ~K 4.
【0014】このように構成された流体制御用機器制御
システムにおいては、コントローラCから例えば、
識別コード00を付して出力された指令は、全てのMF
CK1 〜K4 に取り込まれる。 識別コード01を付
して出力された指令は、第1のMFCK1 にのみ取り込
まれる。 識別コード02を付して出力された指令
は、第2のMFCK2 にのみ取り込まれる。 識別コ
ード03を付して出力された指令は、第3のMFCK3
にのみ取り込まれる。 識別コード04を付して出力
された指令は、第4のMFCK4 にのみ取り込まれる。
識別コードA0を付して出力された指令は、第1の
MFCK1 と第2のMFCK2 に取り込まれる。 識
別コードB0を付して出力された指令は、第3のMFC
K3 と第4のMFCK4 に取り込まれる。 識別コー
ドC0を付して出力された指令は、第2のMFCK2 と
第3のMFCK3 に取り込まれる。In the fluid control device control system configured as described above, for example,
The command output with the identification code 00 is assigned to all MF
It is incorporated into the CK 1 ~K 4. Command output denoted by the identification code 01 is captured only in the first MFCK 1. The command output with the identification code 02 is taken in only by the second MFCK 2 . The command output with the identification code 03 is the third MFCK 3
Is captured only by The command output with the identification code 04 is taken in only by the fourth MFCK 4 .
Command output denoted by the identification code A0 is taken first MFCK 1 and the second MFCK 2. The command output with the identification code B0 is the third MFC
K 3 and the fourth MFCK 4 . The command output with the identification code C0 is taken into the second MFCK 2 and the third MFCK 3 .
【0015】例えば、第1のMFCK1 と第2のMFC
K2 とをスタートさせ、次に、第3のMFCK3 と第4
のMFCK4 とをスタートさせたいような場合、予め各
々のMFCK1 〜K4 にそれぞれ流量設定値を送信し
て、流量設定しておき、コントローラCから識別コード
A0を付したスタート指令を出力すると、第1のMFC
K1 と第2のMFCK2 とがスタートし、次いで、識別
コードB0を付したスタート指令を出力すると、第3の
MFCK3 と第4のMFCK4 とをスタートさせること
ができる。したがって、本発明によれば、時間的により
きめの細かい制御を行うことができる。For example, a first MFCK 1 and a second MFCK 1
It is started and K 2, then a third MFCK 3 4
When it is desired to start the MFCK 4 of the above, the flow rate setting value is transmitted to each of the MFCK 1 to K 4 in advance, and the flow rate is set. First MFC
K 1 and second MFCK 2 and is started, then the outputs a start instruction marked with identification codes B0, it is possible to start the third MFCK 3 and a fourth MFCK 4. Therefore, according to the present invention, finer control over time can be performed.
【0016】上述の説明から理解されるように、本発明
によれば、全てのMFCK1 〜K4を一括して制御する
ことができるのは勿論のこと、各MFCK1 〜Kを個別
に制御したり、制御の態様に応じたグループ制御をも行
うことができる。なお、前記グループ分けは、MFCK
1 〜K4 の制御方法などに基づいて行えばよく、したが
って、識別コードの数もこのグループ分けの種類に対応
して任意に設定すればよいことはいうまでもない。As understood from the above description, according to the present invention, not only can all MFCK 1 to K 4 be controlled collectively, but also each MFCK 1 to K 4 can be individually controlled. Group control according to the control mode. The grouping is performed by MFCK
May be performed on the basis of a control method of 1 ~K 4, therefore, it goes without saying that may be arbitrarily set corresponding to the number even this type of grouping of the identification codes.
【0017】そして、上述の実施例では、流体制御用機
器K1 〜K4 の全てがMFCである場合であったが、本
発明は、これに限られるものではなく、MFCや圧力自
動調整器、電磁弁、温調器などが複数種かつ複数個設け
られている場合にも適用できることはいうまでもない。In the above-described embodiment, the fluid control devices K 1 to K 4 are all MFCs. However, the present invention is not limited to this. Needless to say, the present invention can be applied to a case where a plurality of types and a plurality of solenoid valves, temperature controllers and the like are provided.
【0018】また、本発明は、ガスの供給系統のみなら
ず、液体の供給系統にも同様に適用できることはいうま
でもない。It goes without saying that the present invention can be applied not only to a gas supply system but also to a liquid supply system.
【0019】[0019]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
複数の流体制御用機器を一括して制御することができる
のは勿論のこと、個別制御およびグループ制御のいずれ
をも行うことができる。したがって、流体の供給系統が
複雑になり、複数種かつ複数個といった多数の流体制御
用機器を使うような場合においても、これらの流体制御
用機器を確実に制御することができ、時間的によりきめ
の細かい制御を行うことができる。As described above, according to the present invention,
Multiple fluid control devices can be controlled collectively
Of course, either individual control or group control
Can also be performed. Therefore, even when the fluid supply system becomes complicated and a large number of fluid control devices such as a plurality of types and a plurality of fluid control devices are used, it is possible to reliably control these fluid control devices, and it is possible to timely control the devices. Fine control can be performed.
【図1】本発明に係る流体制御用機器制御システムの一
例を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an example of a fluid control device control system according to the present invention.
【図2】従来の流体制御用機器制御システムを説明する
ためのブロック図である。FIG. 2 is a block diagram for explaining a conventional fluid control device control system.
C…コントローラ、K1 〜K4 …流体制御用機器、L…
信号伝送路。C ... controller, K 1 ~K 4 ... fluid control equipment, L ...
Signal transmission path.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋爪 隆之 京都府京都市南区吉祥院宮の東町2番地 株式会社エステック内 (56)参考文献 特開 平3−114328(JP,A) 特開 昭61−294519(JP,A) 特開 平5−100710(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G05D 7/06 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Takayuki Hashizume 2 Higashi-cho, Kichijoin-gu, Minami-ku, Kyoto, Kyoto Prefecture S-Tech Co., Ltd. (56) References JP-A-3-114328 (JP, A) JP-A-61 −294519 (JP, A) JP-A-5-100710 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G05D 7/06
Claims (1)
器を接続し、これらの流体制御用機器に共通のコントロ
ーラによって流体制御用機器を制御するようにした流体
制御用機器制御システムにおいて、前記流体制御用機器
の全てに、ブロードキャストコードとは別に、個体を各
別に識別するための個体識別コードおよび特定の基準に
基づいて前記流体制御用機器をグループ分けしたときの
グループ識別コードをそれぞれ付しておき、前記コント
ローラからの指令により、前記流体制御用機器のそれぞ
れを、一括、個別またはグループ別のいずれによっても
制御できるようにしたことを特徴とする流体制御用機器
制御システム。A fluid control device control system in which a plurality of fluid control devices are connected to a single signal transmission line, and the fluid control devices are controlled by a controller common to the fluid control devices. , all of the fluid control device, separately from the broadcast code, individuals each
Individual identification code and specific criteria for separate identification
When the fluid control devices are grouped based on
Group identification code previously subjected respectively, by a command from the controller <br/> rollers, each of the fluid control equipment, batch, and characterized in that to allow controlled either by another individual or group Fluid control equipment control system.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34110792A JP3301042B2 (en) | 1992-11-28 | 1992-11-28 | Fluid control equipment control system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34110792A JP3301042B2 (en) | 1992-11-28 | 1992-11-28 | Fluid control equipment control system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06168031A JPH06168031A (en) | 1994-06-14 |
JP3301042B2 true JP3301042B2 (en) | 2002-07-15 |
Family
ID=18343324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34110792A Expired - Lifetime JP3301042B2 (en) | 1992-11-28 | 1992-11-28 | Fluid control equipment control system |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3301042B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180129755A (en) | 2017-04-20 | 2018-12-05 | 가부시키가이샤 브이텍스 | Pressure in vacuum container Multi control device and pressure in vacuum container Multi control method |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7643909B2 (en) * | 2006-03-30 | 2010-01-05 | Mks Instruments, Inc. | Highly responsive master-slave valve positioning |
-
1992
- 1992-11-28 JP JP34110792A patent/JP3301042B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20180129755A (en) | 2017-04-20 | 2018-12-05 | 가부시키가이샤 브이텍스 | Pressure in vacuum container Multi control device and pressure in vacuum container Multi control method |
US10558190B2 (en) | 2017-04-20 | 2020-02-11 | V-Tex Corporation | Multi-mode-control apparatus for inner pressure of vacuum chamber and multi-mode-control method for inner pressure of vacuum chamber |
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---|---|
JPH06168031A (en) | 1994-06-14 |
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