JP3296108B2 - Electronic board container - Google Patents
Electronic board containerInfo
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Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、蓋部材に設けられた第
１シール部材をコンテナ本体の開口部周縁に形成された
突設部に押圧させることによって、内部空間を機密状態
にする電子基板用コンテナに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic board which keeps an internal space confidential by pressing a first seal member provided on a lid member against a projecting portion formed at the periphery of an opening of a container body. It is about container for use.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば半導体製造工程において、ウエー
ハや液晶表示基板、ディスク等の電子基板への塵埃の付
着が歩留りを低下させる要因になることから、電子基板
を搬送および保管する際には、通常、図５に示すよう
に、内部空間を機密状態に保持可能な電子基板用コンテ
ナ５１に電子基板５５をカセット５５と共に収容させる
ようになっている。2. Description of the Related Art For example, in a semiconductor manufacturing process, the adhesion of dust to an electronic substrate such as a wafer, a liquid crystal display substrate, and a disk causes a reduction in yield. As shown in FIG. 5, an electronic substrate 55 is housed together with a cassette 55 in an electronic substrate container 51 capable of holding the internal space in a confidential state.
【０００３】上記の電子基板用コンテナ５１は、コンテ
ナ本体５２と、コンテナ本体５２の開口部を開閉する蓋
部材５３と、コンテナ本体５２の開口部周縁に当接する
ように蓋部材５３に設けられたシール部材５４とを有し
ている。そして、コンテナ本体５２の開口部周縁には、
突設部５２ａが形成されており、この突設部５２ａは、
蓋部材５３がコンテナ本体５２の開口部を閉じたとき
に、頂部をシール部材５４に食い込ませることによっ
て、内部空間を良好な機密状態にさせるようになってい
る。The above-mentioned electronic board container 51 is provided on the container body 52, a cover member 53 for opening and closing the opening of the container body 52, and the cover member 53 so as to abut the periphery of the opening of the container body 52. And a sealing member 54. Then, on the periphery of the opening of the container body 52,
A projecting portion 52a is formed, and the projecting portion 52a
When the lid member 53 closes the opening of the container body 52, the top space is cut into the sealing member 54, so that the internal space is kept in a good confidential state.
【０００４】ところで、電子基板用コンテナ５１は、軽
量および安価であることが要望されているため、少なく
ともコンテナ本体５２が樹脂により作成されるようにな
っている。ところが、近年においては、半導体デバイス
の高機能化および高集積化に伴って搬送および保管時の
内部空間の環境に対する要求が厳しいものになり、電子
基板用コンテナ５１を構成する樹脂のガス透過性および
樹脂からのアウトガス量が無視できないものになってい
る。Since the electronic board container 51 is required to be lightweight and inexpensive, at least the container body 52 is made of resin. However, in recent years, the requirements for the environment of the internal space during transportation and storage have become strict with the advancement of functions and integration of semiconductor devices, and the gas permeability of the resin constituting the electronic substrate container 51 and Outgas from resin is not negligible.
【０００５】そこで、従来の電子基板用コンテナ５１に
は、図６に示すように、ガスバリア性が高く且つアウト
ガス量が少ない金属やシリコン酸化物、樹脂等の皮膜５
７を少なくとも内壁面に形成する対策が施されたり（特
開平４−１８０２４８号公報）、金属板や金属泊等のイ
ンナーシール５８を内壁面に嵌挿する対策が施されるよ
うになっている。Therefore, as shown in FIG. 6, a conventional container 51 for an electronic substrate has a film 5 made of metal, silicon oxide, resin or the like having a high gas barrier property and a small amount of outgas.
7 is formed on at least the inner wall surface (Japanese Patent Laid-Open No. 4-180248), or a countermeasure for fitting an inner seal 58 such as a metal plate or a metal stay on the inner wall surface is taken. .
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のように、皮膜５７を形成する対策を施した場合に
は、コンテナ本体５２に対する蓋部材５３の開閉時にお
いて、突設部５２ａの皮膜５７がシール部材５４により
直接的に強く押されることになると共に擦られることに
なる。従って、コンテナ本体５２に対する蓋部材５３の
開閉が繰り返されると、樹脂に対する皮膜５７の密着強
度が金属に対する密着強度よりも低いため、突設部５２
ａに位置する皮膜５７が剥離し、剥離部分の樹脂からな
る壁面が露出してガスバリア性およびアウトガスに対す
る性能が低下すると共に、剥離した皮膜片がパーティク
ルとして内部空間を汚染するという問題がある。However, when the measures for forming the film 57 are taken as in the prior art, when the cover member 53 is opened and closed with respect to the container main body 52, the film 57 of the projecting portion 52a is closed. It is directly pressed strongly by the seal member 54 and is rubbed. Therefore, when the lid member 53 is repeatedly opened and closed with respect to the container main body 52, the adhesion strength of the film 57 to the resin is lower than the adhesion strength to the metal, so that the projecting portion 52 is formed.
There is a problem that the film 57 located at a is peeled off, the wall surface made of the resin at the peeled portion is exposed, the gas barrier properties and the performance against outgas are reduced, and the peeled film pieces contaminate the internal space as particles.
【０００７】また、インナーシール５８を嵌挿する対策
を施した場合には、突設部５２ａ等の複雑な形状に沿う
ようにインナーシール５８を成形する必要があるため、
突設部５２ａの表面をインナーシール５８により確実に
覆うことが困難となり、インナーシール５８の突設部５
２ａへの嵌挿が不十分になることがある。従って、蓋部
材５３の開閉が繰り返されると、突設部５２ａに位置す
るインナーシール５８が剥離し、結果として突設部５２
ａが露出してガスバリア性およびアウトガスに対する性
能が低下するという問題がある。Further, when measures are taken to insert and insert the inner seal 58, it is necessary to form the inner seal 58 so as to follow a complicated shape such as the protruding portion 52a.
It becomes difficult to reliably cover the surface of the projecting portion 52a with the inner seal 58, and the projecting portion 5
2a may be insufficiently inserted. Therefore, when the opening and closing of the lid member 53 is repeated, the inner seal 58 located at the projecting portion 52a peels off, and as a result, the projecting portion 52
There is a problem that a is exposed and gas barrier properties and performance against outgas are reduced.
【０００８】従って、本発明は、蓋部材５３による開閉
を繰り返した場合における突設部５２ａの皮膜５７やイ
ンナーシール５８の剥離による突設部５２ａの露出を防
止することを目的としている。Accordingly, an object of the present invention is to prevent the projecting portion 52a from being exposed due to peeling of the film 57 and the inner seal 58 of the projecting portion 52a when the opening and closing by the lid member 53 are repeated.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、コンテナ本体の開口部を蓋部材により閉じたとき
に、該蓋部材に設けられた第１シール部材をコンテナ本
体の開口部周縁に形成された突設部に押圧させることに
よって、内部空間を機密状態にするものであり、下記の
特徴を有している。In order to solve the above object, when an opening of a container body is closed by a lid member, a first seal member provided on the lid member is attached to a periphery of the opening of the container body. The inner space is made confidential by being pressed against the formed projecting portion, and has the following features.
【００１０】即ち、コンテナ本体には、高いガスバリア
性および少ないアウトガス量の皮膜が少なくとも内壁面
から突設部にかけて形成されており、第２シール部材が
上記突設部の皮膜を覆うようにして固設されていること
を特徴としている。尚、第２シール部材は、上記第１シ
ール部材よりも小さな摩擦係数の材料により形成されて
いることが望ましく、第１シール部材と第２シール部材
とは、第２シール部材が第１シール部材よりも高い硬度
となるように、同一の材料により形成されていることが
望ましい。That is, a film having a high gas barrier property and a small amount of outgas is formed on at least the inner wall surface to the projecting portion on the container body, and the second sealing member is fixed so as to cover the film at the projecting portion. It is characterized by being established. The second seal member is preferably formed of a material having a smaller coefficient of friction than the first seal member, and the first seal member and the second seal member are such that the second seal member is the first seal member. It is desirable that they are formed of the same material so as to have higher hardness.
【００１１】また、コンテナ本体の内壁面には、高いガ
スバリア性および少ないアウトガス量のインナーシール
が形成されており、該インナーシールの端部には、突設
部の形状に予め成形された第３シール部材が上記突設部
を覆うようにして固設されていることを特徴としてい
る。An inner seal having a high gas barrier property and a small amount of outgas is formed on the inner wall surface of the container body, and an end of the inner seal has a third portion formed in advance in the shape of a projecting portion. It is characterized in that a sealing member is fixedly provided so as to cover the projecting portion.
【００１２】[0012]
【作用】上記の構成によれば、突設部の皮膜が第２シー
ル部材を介して第１シール部材に間接的に当接されるよ
うになっているため、コンテナ本体に対する蓋部材の開
閉が繰り返されても、皮膜の剥離が防止され、結果とし
て突設部の露出によるガスバリア性およびアウトガスに
対する性能の低下を防止することが可能になっている。According to the above construction, since the film of the projecting portion is indirectly abutted on the first seal member via the second seal member, the lid member can be opened and closed with respect to the container body. Even if it is repeated, the peeling of the film is prevented, and as a result, it is possible to prevent the gas barrier properties due to the exposure of the protruding portions and the deterioration in the performance against outgassing.
【００１３】また、突設部の形状に予め成形された第３
シール部材を用いて突設部を覆うようになっているた
め、インナーシールのみを用いて突設部を覆う場合より
も、容易に且つ確実に十分な力で覆うことが可能にな
り、コンテナ本体に対する蓋部材の開閉が繰り返されて
も、第３シール部材が脱落することがなく、結果として
突設部の露出によるガスバリア性およびアウトガスに対
する性能の低下を防止することが可能になっている。[0013] A third preformed into the shape of the protruding portion.
Since the projecting portion is covered using the sealing member, it is possible to cover the projecting portion more easily and reliably with a sufficient force than when the projecting portion is covered using only the inner seal. Even if the cover member is repeatedly opened and closed with respect to the third member, the third seal member does not fall off, and as a result, it is possible to prevent the gas barrier properties and the performance against outgas from being deteriorated due to the exposure of the projecting portion.
【００１４】[0014]
〔実施例１〕本発明の一実施例を図１および図２を用い
て説明する。本実施例に係る電子基板用コンテナは、図
１に示すように、ウエーハ等の電子基板６を保持したカ
セット８を収容するようになっており、コンテナ本体２
と、コンテナ本体２の開口部に対して昇降可能な蓋部材
３と、コンテナ本体２の内壁面側の開口部周縁に当接す
るように蓋部材３に設けられた第１シール部材４とを有
している。[Embodiment 1] An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the electronic substrate container according to the present embodiment accommodates a cassette 8 holding an electronic substrate 6 such as a wafer.
A lid member 3 that can move up and down with respect to the opening of the container body 2, and a first seal member 4 provided on the lid member 3 so as to abut on the periphery of the opening on the inner wall surface side of the container body 2. are doing.
【００１５】上記のコンテナ本体２は、ポリエチレンや
ポリプロピレン、ポリカーボネート等の樹脂を成形する
ことにより作成されており、蓋部材３は、アルミニウム
合金等の金属により形成されている。尚、蓋部材３は、
樹脂からなる成形品に金属膜を蒸着やメッキにより形成
したものであっても良い。また、第１シール部材４は、
高いガスバリア性および少ないアウトガス量のシリコン
ゴムやフッ素系ゴム等の材料により形成されている。The container body 2 is made by molding a resin such as polyethylene, polypropylene or polycarbonate, and the lid member 3 is made of a metal such as an aluminum alloy. In addition, the lid member 3
A metal film may be formed on a molded product made of resin by vapor deposition or plating. Further, the first seal member 4 is
It is formed of a material having high gas barrier properties and a small outgas amount, such as silicon rubber or fluorine-based rubber.
【００１６】上記のコンテナ本体２の内壁面側の開口部
周縁には、突設部２ａが形成されており、突設部２ａ
は、蓋部材３がコンテナ本体２の開口部を閉じたとき
に、シール部材４を押圧して頂部を第１シール部材４に
食い込ませるようになっている。また、コンテナ本体２
の内壁面には、皮膜７が蒸着やメッキにより形成されて
おり、皮膜７は、コンテナ本体２の内壁面から突設部２
ａにかけて形成されている。そして、皮膜７は、金属
（アルミ、チタン、ニッケル、クロム）やシリコン酸化
物（酸化シリコン）、フッ素系樹脂等からなっており、
コンテナ本体２を構成する材料よりも高いガスバリア性
および少ないアウトガス量の特性を有している。A projecting portion 2a is formed at the periphery of the opening on the inner wall surface side of the container main body 2. The projecting portion 2a
When the lid member 3 closes the opening of the container main body 2, the sealing member 4 is pressed so that the top portion bites into the first sealing member 4. In addition, container body 2
A coating 7 is formed on the inner wall surface of the container 2 by vapor deposition or plating.
a. The film 7 is made of metal (aluminum, titanium, nickel, chromium), silicon oxide (silicon oxide), fluorine-based resin, or the like.
It has characteristics of a higher gas barrier property and a smaller amount of outgas than the material constituting the container body 2.
【００１７】上記の突設部２ａの皮膜７は、図２に示す
ように、第２シール部材５により覆われており、第２シ
ール部材５を介して第１シール部材４に間接的に当接す
るようになっている。上記の第２シール部材５は、突設
部２ａが第１シール部材４に食い込む際にシール面方向
に移動しないように、両端部が固定ピン１０・１０によ
り固定されている。また、第２シール部材５は、第１シ
ール部材４よりも摩擦係数の小さな材料により形成され
ており、突設部２ａが第１シール部材４を押圧したとき
に、突設部２ａの表面に平行なシール面に沿って皮膜７
を延ばそうとするシール面方向の力Ｂを低減させるよう
になっている。尚、第２シール部材５の材料としては、
金属（アルミ、チタン、ニッケル、クロム）やシリコン
酸化物（酸化シリコン）、フッ素系樹脂等を挙げること
ができる。As shown in FIG. 2, the coating 7 of the projecting portion 2a is covered by a second seal member 5, and indirectly contacts the first seal member 4 via the second seal member 5. It comes into contact. Both ends of the second seal member 5 are fixed by fixing pins 10 so that the protrusion 2a does not move in the direction of the seal surface when the protrusion 2a bites into the first seal member 4. The second seal member 5 is formed of a material having a smaller coefficient of friction than the first seal member 4, and is formed on the surface of the projecting portion 2 a when the projecting portion 2 a presses the first seal member 4. Film 7 along the parallel sealing surface
The force B in the direction of the seal surface for extending the pressure is reduced. In addition, as a material of the second seal member 5,
Examples thereof include metals (aluminum, titanium, nickel, and chromium), silicon oxides (silicon oxide), and fluorine-based resins.
【００１８】上記の構成において、電子基板用コンテナ
１の動作について説明する。図１に示すように、蓋部材
３がコンテナ本体２の開口部方向に上昇し、コンテナ本
体２の開口部を閉じると、コンテナ本体２の突設部２ａ
が第１シール部材４を介して第２シール部材５を押圧す
ることになる。これにより、突設部２ａの頂部が第２シ
ール部材５に食い込むことによって、電子基板用コンテ
ナ１が機密状態にされ、異物や水分等の内部空間への侵
入が防止されることになる。また、コンテナ本体２の内
壁面に形成された皮膜７、コンテナ本体２の開口部を閉
じる蓋部材３、第１シール部材４、および第２シール部
材５は、コンテナ本体２を構成する樹脂よりもガス透過
性およびアウトガス量の小さな材料からなっている。従
って、電子基板用コンテナ１は、機密構造および内部空
間に面した構成材料の特性によって、内部空間の環境を
極めて安定した状態に維持することが可能になってい
る。The operation of the electronic substrate container 1 in the above configuration will be described. As shown in FIG. 1, when the lid member 3 rises in the direction of the opening of the container body 2 and closes the opening of the container body 2, the projecting portion 2 a of the container body 2 is closed.
Presses the second seal member 5 via the first seal member 4. As a result, the top portion of the protruding portion 2a bites into the second seal member 5, so that the electronic substrate container 1 is kept in a confidential state, thereby preventing foreign substances and moisture from entering the internal space. The coating film 7 formed on the inner wall surface of the container body 2, the cover member 3 for closing the opening of the container body 2, the first seal member 4, and the second seal member 5 are smaller than the resin forming the container body 2. It is made of a material with low gas permeability and low outgas amount. Therefore, in the electronic substrate container 1, the environment of the internal space can be maintained in an extremely stable state by the characteristics of the confidential structure and the constituent material facing the internal space.
【００１９】また、コンテナ本体２の開口部を蓋部材３
が閉じる際には、図２に示すように、突設部２ａの頂部
が第１シール部材４に食い込むことによって、押し付け
方向の力Ａとシール面方向の力Ｂとが発生することにな
る。ところが、これらの押し付け方向の力Ａおよびシー
ル面方向の力Ｂは、突設部２ａの皮膜７が第２シール部
材５を介して第１シール部材４に間接的に当接されてい
るため、第２シール部材５に付与されることになる。従
って、コンテナ本体２に対する蓋部材３の開閉を繰り返
した場合でも、第１シール部材４が押し付け方向の力Ａ
およびシール面方向の力Ｂにより皮膜７を直接擦ること
がないため、剥離し難いものになっている。Further, the opening of the container body 2 is
When is closed, as shown in FIG. 2, a force A in the pressing direction and a force B in the sealing surface direction are generated by the top of the protruding portion 2 a biting into the first seal member 4. However, since the force A in the pressing direction and the force B in the sealing surface direction are indirectly in contact with the first seal member 4 via the second seal member 5, the coating 7 of the projecting portion 2 a It will be applied to the second seal member 5. Therefore, even when the lid member 3 is repeatedly opened and closed with respect to the container main body 2, the first sealing member 4 is pressed in the force A in the pressing direction.
In addition, since the film 7 is not directly rubbed by the force B in the direction of the sealing surface, it is difficult to peel off.
【００２０】さらに、押し付け方向の力Ａと第１シール
部材４に対する第２シール部材５の摩擦係数とは、シー
ル面方向の力Ｂを決定しており、第２シール部材５は、
第１シール部材４よりも摩擦係数の小さな材料により形
成されている。従って、シール面方向の力Ｂは、第２シ
ール部材５の小さな摩擦係数により低減されたものにな
っている。また、第２シール部材５は、シール面方向に
移動しないように、両端部が固定ピン１０・１０により
固定されている。これにより、小さなシール面方向の力
Ｂによっては第２シール部材５がシール面方向に移動せ
ず、第２シール部材５が皮膜７を擦ることがないため、
皮膜７の剥離が一層防止されることになる。Further, the force A in the pressing direction and the coefficient of friction of the second seal member 5 against the first seal member 4 determine the force B in the seal surface direction.
It is formed of a material having a smaller coefficient of friction than the first seal member 4. Therefore, the force B in the direction of the seal surface is reduced by the small coefficient of friction of the second seal member 5. In addition, both ends of the second seal member 5 are fixed by fixing pins 10 so as not to move in the seal surface direction. Thereby, the second sealing member 5 does not move in the sealing surface direction due to the small force B in the sealing surface direction, and the second sealing member 5 does not rub the coating 7,
The peeling of the film 7 is further prevented.
【００２１】このように、本実施例の電子基板用コンテ
ナ１は、コンテナ本体２の開口部を蓋部材３により閉じ
たときに、蓋部材３に設けられた第１シール部材４をコ
ンテナ本体２の開口部周縁に形成された突設部２ａに押
圧させることによって、内部空間を機密状態にするもの
であり、コンテナ本体２には、高いガスバリア性および
少ないアウトガス量の皮膜７が少なくとも内壁面から突
設部にかけて形成されており、第２シール部材が突設部
２ａの皮膜を覆うようにして固設されている。As described above, in the electronic substrate container 1 of this embodiment, when the opening of the container body 2 is closed by the cover member 3, the first seal member 4 provided on the cover member 3 The inner space is kept confidential by being pressed against the projecting portion 2a formed on the periphery of the opening of the container body 2. The container 7 has a coating 7 having a high gas barrier property and a small outgas amount at least from the inner wall surface. The second sealing member is formed so as to cover the projecting portion, and is fixed so as to cover the film of the projecting portion 2a.
【００２２】これにより、突設部２ａの皮膜７が第２シ
ール部材５を介して第１シール部材４に間接的に当接さ
れるようになっているため、コンテナ本体２に対する蓋
部材３の開閉が繰り返されても、皮膜７の剥離による突
設部２ａの露出が防止され、ガスバリア性およびアウト
ガスに対する性能の低下および内部空間の汚染を防止す
ることが可能になっている。As a result, the coating 7 of the projecting portion 2a is indirectly abutted on the first seal member 4 via the second seal member 5, so that the cover member 3 Even if opening and closing are repeated, exposure of the protruding portion 2a due to peeling of the film 7 is prevented, and it is possible to prevent deterioration in gas barrier properties and performance against outgassing and contamination of the internal space.
【００２３】また、本実施例の電子基板用コンテナ１
は、上記の第２シール部材５が第１シール部材４よりも
小さな摩擦係数の材料により形成することによって、シ
ール面方向の力Ｂを第２シール部材５の小さな摩擦係数
により低減させ、皮膜７の剥離を一層防止することが可
能になっている。Further, the container 1 for an electronic substrate of the present embodiment
Is that the second seal member 5 is formed of a material having a smaller coefficient of friction than the first seal member 4, so that the force B in the direction of the seal surface is reduced by the small coefficient of friction of the second seal member 5, and the film 7 Can be further prevented from peeling off.
【００２４】尚、本実施例における第２シール部材５
は、第１シール部材４の材料と異なる材料により形成す
ることによって摩擦係数を低減させ、ひいては皮膜７の
剥離を一層効果的に防止するようになっているが、これ
に限定されることはない。即ち、一般に、硬度が低いほ
ど摩擦係数が増大することから、第２シール部材５が第
１シール部材４よりも高い硬度となるように、第２シー
ル部材５を第１シール部材４と同一の材料で形成するこ
とによっても、第１シール部材４に対する第２シール部
材５の摩擦係数を低減させ、皮膜７の剥離を一層効果的
に防止することができる。Incidentally, the second sealing member 5 in this embodiment is used.
Is formed of a material different from the material of the first seal member 4 so as to reduce the coefficient of friction and thus more effectively prevent the peeling of the film 7, but is not limited to this. . That is, in general, the lower the hardness, the higher the friction coefficient. Therefore, the second seal member 5 is made of the same material as the first seal member 4 so that the second seal member 5 has a higher hardness than the first seal member 4. Also by using a material, the coefficient of friction of the second seal member 5 with respect to the first seal member 4 can be reduced, and peeling of the film 7 can be more effectively prevented.
【００２５】〔実施例２〕本発明の他の実施例を図３お
よび図４を用いて説明する。尚、実施例１と同一の部材
には同一の符号を付記してその説明を省略する。本実施
例に係る電子基板用コンテナは、図３に示すように、金
属板や金属泊等からなるインナーシール１１を有してい
る。インナーシール１１は、端部がコンテナ本体２の開
口部の近傍に位置するように、コンテナ本体２の内壁面
に貼設されることにより形成されており、端部には、突
起状の係合部１１ａが形成されている。尚、係合部１１
ａは、インナーシール１１に穿設された貫通孔であって
も良い。[Embodiment 2] Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. As shown in FIG. 3, the electronic substrate container according to the present embodiment has an inner seal 11 made of a metal plate, a metal pad, or the like. The inner seal 11 is formed by being attached to the inner wall surface of the container main body 2 so that the end is located near the opening of the container main body 2. A portion 11a is formed. In addition, the engaging portion 11
“a” may be a through hole formed in the inner seal 11.
【００２６】上記のインナーシール１１の端部には、係
合部１１ａを覆うようにして第３シール部材１３の上端
部が固設されており、第３シール部材１３は、係合部１
１ａにより脱落が防止されるようになっている。この第
３シール部材１３は、図４にも示すように、コンテナ本
体２の突設部２ａの形状に沿うように、シリコンゴムや
ウレタン系ゴム、フッ素系ゴム等を用いて成形されてお
り、コンテナ本体２の開口部を蓋部材３が閉じたとき
に、第１シール部材４に当接するようになっている。At the end of the inner seal 11, an upper end of the third seal member 13 is fixed so as to cover the engaging portion 11a.
1a prevents falling off. As shown in FIG. 4, the third seal member 13 is formed using silicon rubber, urethane rubber, fluorine rubber, or the like so as to conform to the shape of the projecting portion 2a of the container body 2. When the lid member 3 closes the opening of the container body 2, it comes into contact with the first seal member 4.
【００２７】上記の構成において、電子基板用コンテナ
１を作成する際には、第３シール部材１３をコンテナ本
体２の突設部２ａに沿うように予め成形しておき、イン
ナーシール１１をコンテナ本体２の内壁面に沿うように
裁断および接合した後、第３シール部材１３をインナー
シール１１の端部に取り付けて突設部２ａに固定するこ
とになる。In the above structure, when the electronic substrate container 1 is manufactured, the third seal member 13 is formed in advance along the projecting portion 2a of the container body 2, and the inner seal 11 is After cutting and joining along the inner wall surface of the inner seal 2, the third seal member 13 is attached to the end of the inner seal 11 and fixed to the protruding portion 2a.
【００２８】この際、コンテナ本体２の内壁面が平面の
組み合わせからなっているため、インナーシール１１の
裁断および接合を容易に行えるようになっていると共
に、第３シール部材１３が予め所定の形状に生成された
成形品であるため、第３シール部材１３の取り付けも容
易に行えるようになっている。或いは、第３シール部材
１３をインナーシール１１に直接付加成形できるように
なっている。従って、第３シール部材１３が突設部２ａ
を容易に且つ確実に十分な力で覆うことが可能になって
いるため、蓋部材３による開閉が繰り返された場合で
も、第３シール部材１３が突設部２ａから脱落すること
がなく、結果として突設部２ａの露出によるガスバリア
性およびアウトガスに対する性能の低下を防止すること
が可能になっている。At this time, since the inner wall surface of the container body 2 is composed of a combination of flat surfaces, the inner seal 11 can be easily cut and joined, and the third seal member 13 has a predetermined shape. Therefore, the third seal member 13 can be easily attached. Alternatively, the third seal member 13 can be additionally molded directly to the inner seal 11. Therefore, the third sealing member 13 is not
Can be easily and reliably covered with a sufficient force, so that the third seal member 13 does not fall off from the protruding portion 2a even when the opening and closing by the lid member 3 is repeated, and as a result, As a result, it is possible to prevent a decrease in gas barrier properties and performance against outgas due to exposure of the protruding portion 2a.
【００２９】このように、本実施例の電子基板用コンテ
ナ１は、高いガスバリア性および少ないアウトガス量の
インナーシール１１をコンテナ本体２の内壁面に貼設
し、突設部２ａの形状に予め成形された第３シール部材
１３をインナーシール１１の端部に突設部２ａを覆うよ
うにして固設させるようになっている。これにより、突
設部２ａを第３シール部材１３により容易に且つ確実に
十分な力で覆うことが可能になっているため、突設部２
ａの露出によるガスバリア性およびアウトガスに対する
性能の低下を防止することが可能になっている。さら
に、第３シール部材１３の突設部２ａに相当する部分の
厚みを大きくした場合には、第１シール部材４を不要に
して蓋部材３を平面状に形成することが可能になること
から、電子基板用コンテナ１を安価に作成することが可
能になる。As described above, in the electronic substrate container 1 of the present embodiment, the inner seal 11 having a high gas barrier property and a small outgas amount is attached to the inner wall surface of the container body 2 and is formed in advance into the shape of the projecting portion 2a. The formed third seal member 13 is fixedly attached to the end of the inner seal 11 so as to cover the projecting portion 2a. This makes it possible to easily and reliably cover the projecting portion 2a with the third seal member 13 with a sufficient force.
This makes it possible to prevent the gas barrier property and the performance against outgas from deteriorating due to the exposure of a. Furthermore, when the thickness of the portion corresponding to the protruding portion 2a of the third seal member 13 is increased, the lid member 3 can be formed in a planar shape without the need for the first seal member 4. In addition, the electronic substrate container 1 can be manufactured at low cost.
【００３０】[0030]
【発明の効果】本発明は、以上のように、高いガスバリ
ア性および少ないアウトガス量の皮膜が少なくともコン
テナ本体の内壁面から突設部にかけて形成されており、
第２シール部材が突設部の皮膜を覆うようにして固設さ
れている構成であるから、突設部の皮膜が第２シール部
材を介して第１シール部材に間接的に当接されることに
なる。従って、コンテナ本体に対する蓋部材の開閉が繰
り返されても、皮膜の剥離が防止され、結果として突設
部の露出によるガスバリア性およびアウトガスに対する
性能の低下を防止することが可能であるという効果を奏
する。As described above, according to the present invention, a film having a high gas barrier property and a small outgas amount is formed at least from the inner wall surface of the container body to the projecting portion.
Since the second seal member is fixedly provided so as to cover the film of the projecting portion, the film of the projecting portion is indirectly in contact with the first seal member via the second seal member. Will be. Therefore, even if the lid member is repeatedly opened and closed with respect to the container body, peeling of the film is prevented, and as a result, it is possible to prevent a decrease in gas barrier properties and performance against outgas due to exposure of the protruding portion. .
【００３１】また、本発明は、以上のように、高いガス
バリア性および少ないアウトガス量のインナーシールを
コンテナ本体の内壁面に形成し、該インナーシールの端
部に突設部の形状に予め成形された第３シール部材を上
記突設部を覆うようにして固設させた構成であるから、
インナーシールを用いて突設部を覆う場合よりも、容易
に且つ確実に十分な力で覆うことが可能になる。従っ
て、コンテナ本体に対する蓋部材の開閉が繰り返されて
も、第３シール部材が脱落することがなく、結果として
突設部の露出によるガスバリア性およびアウトガスに対
する性能の低下を防止することが可能であるという効果
を奏する。Further, according to the present invention, as described above, an inner seal having a high gas barrier property and a small amount of outgas is formed on the inner wall surface of the container body, and is formed in advance at the end of the inner seal into the shape of a projecting portion. Since the third seal member is fixed so as to cover the projecting portion,
This makes it possible to cover the projecting portion more easily and reliably with a sufficient force than when the projecting portion is covered using the inner seal. Therefore, even if the lid member is repeatedly opened and closed with respect to the container body, the third seal member does not fall off, and as a result, it is possible to prevent the gas barrier property and the performance against outgas from being deteriorated due to the exposure of the projecting portion. This has the effect.
【図１】本発明を示すものであり、電子基板用コンテナ
の縦断面図である。FIG. 1, showing the present invention, is a longitudinal sectional view of an electronic substrate container.
【図２】図１の電子基板用コンテナの要部拡大断面図で
ある。FIG. 2 is an enlarged sectional view of a main part of the electronic substrate container of FIG. 1;
【図３】本発明を示すものであり、電子基板用コンテナ
の縦断面図である。FIG. 3, showing the present invention, is a longitudinal sectional view of an electronic substrate container.
【図４】図３の電子基板用コンテナの要部拡大断面図で
ある。FIG. 4 is an enlarged sectional view of a main part of the electronic substrate container of FIG. 3;
【図５】従来例を示すものであり、電子基板用コンテナ
の縦断面図である。FIG. 5 shows a conventional example and is a longitudinal sectional view of an electronic substrate container.
【図６】従来例を示すものであり、電子基板用コンテナ
の縦断面図である。FIG. 6 shows a conventional example, and is a longitudinal sectional view of an electronic substrate container.
１ 電子基板用コンテナ ２ コンテナ本体 ２ａ 突設部 ３ 蓋部材 ４ 第１シール部材 ５ 第２シール部材 ６ 電子基板 ７ 皮膜 ８ カセット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Container for electronic boards 2 Container main body 2a Projecting part 3 Lid member 4 First seal member 5 Second seal member 6 Electronic board 7 Film 8 Cassette
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 及部 博之 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社 伊勢製作所内 (72)発明者 田中 幹 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電 機株式会社 伊勢製作所内 (56)参考文献 特開 平６−196545（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−92389（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−77255（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B65D 85/86 H01L 21/68 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Hiroyuki Obibe 100, Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Shinko Electric Machinery Co., Ltd.Ise Works (72) Inventor Miki Tanaka 100, Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Prefecture Shinko Electric Machinery Co., Ltd. (56) References JP-A-6-196545 (JP, A) JP-A-6-92389 (JP, A) JP-A-4-77255 (JP, U) (58) Fields surveyed (Int .Cl. 7 , DB name) B65D 85/86 H01L 21/68
Claims (4)
じたときに、該蓋部材に設けられた第１シール部材をコ
ンテナ本体の開口部周縁に形成された突設部に押圧させ
ることによって、内部空間を機密状態にする電子基板用
コンテナであって、 上記コンテナ本体には、高いガスバリア性および少ない
アウトガス量の皮膜が少なくとも内壁面から突設部にか
けて形成されており、第２シール部材が上記突設部の皮
膜を覆うようにして固設されていることを特徴とする電
子基板用コンテナ。When an opening of a container body is closed by a lid member, a first seal member provided on the lid member is pressed against a projecting portion formed on a periphery of the opening of the container body. An electronic board container for keeping an internal space in a confidential state, wherein a film having a high gas barrier property and a small outgas amount is formed on at least the inner wall surface to the projecting portion on the container body, and the second seal member is An electronic board container, which is fixed so as to cover a film of a protruding portion.
材よりも小さな摩擦係数の材料により形成されているこ
とを特徴とする請求項１記載の電子基板用コンテナ。2. The electronic substrate container according to claim 1, wherein said second seal member is formed of a material having a smaller coefficient of friction than said first seal member.
材とは、第２シール部材が第１シール部材よりも高い硬
度となるように、同一の材料により形成されていること
を特徴とする請求項１記載の電子基板用コンテナ。3. The first seal member and the second seal member are formed of the same material so that the second seal member has a higher hardness than the first seal member. The container for an electronic substrate according to claim 1.
じたときに、該蓋部材に設けられた第１シール部材をコ
ンテナ本体の開口部周縁に形成された突設部に押圧させ
ることによって、内部空間を機密状態にする電子基板用
コンテナであって、 上記コンテナ本体の内壁面には、高いガスバリア性およ
び少ないアウトガス量のインナーシールが形成されてお
り、該インナーシールの端部には、突設部の形状に予め
成形された第３シール部材が上記突設部を覆うようにし
て固設されていることを特徴とする電子基板用コンテ
ナ。4. When the opening of the container body is closed by the lid member, the first seal member provided on the lid member is pressed against the projecting portion formed on the periphery of the opening of the container body. An electronic board container for keeping an internal space confidential, wherein an inner seal having a high gas barrier property and a small amount of outgas is formed on an inner wall surface of the container body, and an end of the inner seal has a projection. An electronic board container, characterized in that a third seal member formed in advance in the shape of the provided portion is fixed so as to cover the projecting portion.
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|---|---|---|---|
| JP20814094A JP3296108B2 (en) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | Electronic board container |
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