JP3287872B2 - カラーフィルターの検査方法 - Google Patents
カラーフィルターの検査方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルターの検
査方法に関し、とくにカラー液晶表示装置に使用するカ
ラーフィルターの突起等の異常個所を検査する方法に関
する。
査方法に関し、とくにカラー液晶表示装置に使用するカ
ラーフィルターの突起等の異常個所を検査する方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置は、透明電極を設けたガラ
ス等の透明な基板を数μｍ程度のギャップを設けてその
間に液晶物質を封入し、電極間に印加した電圧によって
液晶を一定の方向に配向させることによって形成される
透明部分と不透明部分によって画像を表示している。カ
ラー液晶表示装置はいずれかの透明電極基板上に光の三
原色に対応する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三色の
カラーフィルターを設けており、液晶のシャッター作用
によって３原色を加色して所望の色を表示している。
ス等の透明な基板を数μｍ程度のギャップを設けてその
間に液晶物質を封入し、電極間に印加した電圧によって
液晶を一定の方向に配向させることによって形成される
透明部分と不透明部分によって画像を表示している。カ
ラー液晶表示装置はいずれかの透明電極基板上に光の三
原色に対応する赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三色の
カラーフィルターを設けており、液晶のシャッター作用
によって３原色を加色して所望の色を表示している。
【０００３】カラー液晶表示装置用のカラーフィルター
は、透明基板、着色層、保護膜、透明導電膜という順に
積層されたものが知られており、ＲＧＢの三原色の位置
に対向する電極あるいは薄膜トランジスタを形成した透
明基板とを数μｍの間隔を保持し液晶物質を封入して液
晶表示装置を形成している。
は、透明基板、着色層、保護膜、透明導電膜という順に
積層されたものが知られており、ＲＧＢの三原色の位置
に対向する電極あるいは薄膜トランジスタを形成した透
明基板とを数μｍの間隔を保持し液晶物質を封入して液
晶表示装置を形成している。
【０００４】カラー液晶表示装置には、液晶の駆動方法
によって単純マトリックス方式とアクティブマトリック
ス方式があるが、最近ではパーソナルコンピュータなど
の表示装置用には画質に優れ、それぞれの画素を確実に
制御することが可能であり、また動作速度も速いアクテ
ィブマトリックス方式の採用が進められている。
によって単純マトリックス方式とアクティブマトリック
ス方式があるが、最近ではパーソナルコンピュータなど
の表示装置用には画質に優れ、それぞれの画素を確実に
制御することが可能であり、また動作速度も速いアクテ
ィブマトリックス方式の採用が進められている。
【０００５】アクティブマトリックス方式の液晶表示装
置では各画素毎に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子をガ
ラス基板上に形成し、各素子のスイッチング作用によっ
て各画素の液晶のシャッター作用を制御している。これ
らの素子の対極には一様な透明電極が形成されている。
置では各画素毎に薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）素子をガ
ラス基板上に形成し、各素子のスイッチング作用によっ
て各画素の液晶のシャッター作用を制御している。これ
らの素子の対極には一様な透明電極が形成されている。
【０００６】パーソナルコンピュータ用のカラー液晶表
示装置用のカラーフィルターは、６４０×４００ないし
は６４０×４８０の画素から構成されており、さらに高
精細化が図られる傾向にある。そして、ＴＦＴ素子に対
向するカラーフィルターには各表示画素毎にＲＧＢの３
色の着色層が形成されているので、６４０×４００画素
の液晶表示装置用のカラーフィルターでも合計７６８，
０００個の着色画素を有しており、これらの数多くの着
色画素を対角線の長さが２５ｃｍ程度の基板上に形成し
ているが、微細で数多くの着色画素を形成することは容
易なことではない。
示装置用のカラーフィルターは、６４０×４００ないし
は６４０×４８０の画素から構成されており、さらに高
精細化が図られる傾向にある。そして、ＴＦＴ素子に対
向するカラーフィルターには各表示画素毎にＲＧＢの３
色の着色層が形成されているので、６４０×４００画素
の液晶表示装置用のカラーフィルターでも合計７６８，
０００個の着色画素を有しており、これらの数多くの着
色画素を対角線の長さが２５ｃｍ程度の基板上に形成し
ているが、微細で数多くの着色画素を形成することは容
易なことではない。
【０００７】図３は、カラーフィルターの製造工程の１
例を示す断面図であるが、ガラス等の透明基板３１上に
金属クロム、あるいは合成樹脂により、各着色画素を区
画するブラックマトリックス３２を形成する（Ａ）。次
いで第１色目例えば赤色の顔料を分散した感光材料を塗
布してフォトマスクを用いて露光した後に現像して赤の
着色層３３を形成する（Ｂ）。次いで緑の着色層３４お
よび青の着色層３５を第２色目、第３色目として同様に
形成する（Ｃ）。着色層上には着色層を保護する透明な
合成樹脂からなる保護膜３６を形成する（Ｄ）。保護膜
上には液晶に電圧を印加するためのＩＴＯ膜等の透明電
極膜３７を形成する（Ｅ）。
例を示す断面図であるが、ガラス等の透明基板３１上に
金属クロム、あるいは合成樹脂により、各着色画素を区
画するブラックマトリックス３２を形成する（Ａ）。次
いで第１色目例えば赤色の顔料を分散した感光材料を塗
布してフォトマスクを用いて露光した後に現像して赤の
着色層３３を形成する（Ｂ）。次いで緑の着色層３４お
よび青の着色層３５を第２色目、第３色目として同様に
形成する（Ｃ）。着色層上には着色層を保護する透明な
合成樹脂からなる保護膜３６を形成する（Ｄ）。保護膜
上には液晶に電圧を印加するためのＩＴＯ膜等の透明電
極膜３７を形成する（Ｅ）。
【０００８】以上のようなカラーフィルターの製造工程
は極めて清浄な環境の中で製造されており、製造工程に
おいても異物の除去に注意が払われており、異物を機械
的に除去したり純水などによる洗浄を行い着色層や保護
膜等に異物が付着することを防止しているが、完全に異
物の付着を防止することは事実上不可能である。
は極めて清浄な環境の中で製造されており、製造工程に
おいても異物の除去に注意が払われており、異物を機械
的に除去したり純水などによる洗浄を行い着色層や保護
膜等に異物が付着することを防止しているが、完全に異
物の付着を防止することは事実上不可能である。
【０００９】製造工程において着色層あるいは保護膜中
に異物３８が混入すると図３の（Ｆ）に示すように突起
３９が形成される。カラーフィルターに混入した異物に
よる突起は液晶表示装置を組み立てた際に、液晶の旋光
性を周囲と比べて異常なものとしたり、あるいは対向す
るＴＦＴ等の基板の電気回路とカラーフィルターの電極
とが接触して電気的に短絡し、表示画像を異常なものと
することがおこる。したがって、異物の混入したカラー
フィルターは製品として使用することができなくなる
が、突起の原因となる異物を除去すれば、液晶表示装置
に使用した場合にも液晶の旋光性の異常はみられなくな
り、表示装置としての品質に悪影響を与えないものとす
ることができるので、異物の発見とその除去を確実に行
うことが求められている。
に異物３８が混入すると図３の（Ｆ）に示すように突起
３９が形成される。カラーフィルターに混入した異物に
よる突起は液晶表示装置を組み立てた際に、液晶の旋光
性を周囲と比べて異常なものとしたり、あるいは対向す
るＴＦＴ等の基板の電気回路とカラーフィルターの電極
とが接触して電気的に短絡し、表示画像を異常なものと
することがおこる。したがって、異物の混入したカラー
フィルターは製品として使用することができなくなる
が、突起の原因となる異物を除去すれば、液晶表示装置
に使用した場合にも液晶の旋光性の異常はみられなくな
り、表示装置としての品質に悪影響を与えないものとす
ることができるので、異物の発見とその除去を確実に行
うことが求められている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】カラーフィルターの着
色層あるいは保護膜に混入した異物は、カラーフィルタ
ーに配向層を形成して対向板と組み立てて液晶を充填し
た後は、液晶の旋光性の異常等から比較的容易に発見す
ることができるが、カラーフィルターの着色層あるいは
保護膜に混入する異物による突起状物は一般には液晶表
示装置の液晶を挟持する間隔である数μｍの約半分の３
μｍ程度のものであるので、カラーフィルター単独では
カラーフィルターに斜めの方向から強力な光を照射して
反射光の異常を目視によって確認する方法、あるいはカ
ラーフィルターに光を照射し、反射光をＣＣＤ等を使用
した撮像管で撮影し、カラーモニター上で拡大して観察
する方法によって行われていたが、これらの検査を目視
による方法では、突起の発見は容易でなく、また検査に
長時間を要するので、突起を確実に発見することができ
る自動検査装置による検査方法が求められていた。
色層あるいは保護膜に混入した異物は、カラーフィルタ
ーに配向層を形成して対向板と組み立てて液晶を充填し
た後は、液晶の旋光性の異常等から比較的容易に発見す
ることができるが、カラーフィルターの着色層あるいは
保護膜に混入する異物による突起状物は一般には液晶表
示装置の液晶を挟持する間隔である数μｍの約半分の３
μｍ程度のものであるので、カラーフィルター単独では
カラーフィルターに斜めの方向から強力な光を照射して
反射光の異常を目視によって確認する方法、あるいはカ
ラーフィルターに光を照射し、反射光をＣＣＤ等を使用
した撮像管で撮影し、カラーモニター上で拡大して観察
する方法によって行われていたが、これらの検査を目視
による方法では、突起の発見は容易でなく、また検査に
長時間を要するので、突起を確実に発見することができ
る自動検査装置による検査方法が求められていた。
【００１１】カラーフィルターの自動検査装置には、図
４（ａ）に示すように、ＣＣＤラインセンサ４１とハロ
ゲンランプなどからなる白色光光源４２を一直線上に配
置し、ＣＣＤラインセンサと光源の間のカラーフィルタ
ーと光軸とを相対的に移動し、ＣＣＤラインセンサで得
られる信号４３のうち一定レベルを越える信号異常信号
４４を突起として検出する方法や、図４（ｂ）に示すよ
うに、ＣＣＤラインセンサ４１とハロゲンランプなどの
白色光からなる光源４２を一直線上に配置するととも
に、光軸上にハーフミラー４５および反射光源４６を設
け、ＣＣＤラインセンサと光源の間のカラーフィルター
と光軸とを相対的に移動し、ＣＤＤラインセンサで得ら
れる信号のうち低下個所４７を突起として検出する方法
が行われていたが、白色光では高さが１０μｍ以下の微
細な突起を検出することが困難であり、また着色画素の
色によって検出可能な突起に差があり、突起を正確に検
査することは困難であった。
４（ａ）に示すように、ＣＣＤラインセンサ４１とハロ
ゲンランプなどからなる白色光光源４２を一直線上に配
置し、ＣＣＤラインセンサと光源の間のカラーフィルタ
ーと光軸とを相対的に移動し、ＣＣＤラインセンサで得
られる信号４３のうち一定レベルを越える信号異常信号
４４を突起として検出する方法や、図４（ｂ）に示すよ
うに、ＣＣＤラインセンサ４１とハロゲンランプなどの
白色光からなる光源４２を一直線上に配置するととも
に、光軸上にハーフミラー４５および反射光源４６を設
け、ＣＣＤラインセンサと光源の間のカラーフィルター
と光軸とを相対的に移動し、ＣＤＤラインセンサで得ら
れる信号のうち低下個所４７を突起として検出する方法
が行われていたが、白色光では高さが１０μｍ以下の微
細な突起を検出することが困難であり、また着色画素の
色によって検出可能な突起に差があり、突起を正確に検
査することは困難であった。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、カラーフィル
ターの着色画素あるいは保護膜等に混入した異物あるい
は突起等による異常個所を検出する方法において、カラ
ーフィルターを、単色光の光源を用いて照射し、反射光
もしくは透過光をＣＣＤラインセンサによって検出する
とともに、検出信号を比較信号と合成して正確に突起等
の異常による信号を検出する方法であり、比較信号と検
出信号を同時に得るために、単色光を発する光源とＣＣ
Ｄラインセンサを有する検出装置を２組設置して、欠陥
のないカラーフィルターを比較信号検出部に設置し、検
査対象のカラーフィルターをカラーフィルター検査部に
設置し、検出信号と比較信号を合成して欠陥部の検出を
行っても良い。比較データは検出装置を２組設けなくて
も、ＣＣＤラインセンサによって検出したデータの記憶
手段を設け、ＣＣＤラインセンサの現在の検出値と直前
のラインの検出値とを比較することによって検出しても
良い。
ターの着色画素あるいは保護膜等に混入した異物あるい
は突起等による異常個所を検出する方法において、カラ
ーフィルターを、単色光の光源を用いて照射し、反射光
もしくは透過光をＣＣＤラインセンサによって検出する
とともに、検出信号を比較信号と合成して正確に突起等
の異常による信号を検出する方法であり、比較信号と検
出信号を同時に得るために、単色光を発する光源とＣＣ
Ｄラインセンサを有する検出装置を２組設置して、欠陥
のないカラーフィルターを比較信号検出部に設置し、検
査対象のカラーフィルターをカラーフィルター検査部に
設置し、検出信号と比較信号を合成して欠陥部の検出を
行っても良い。比較データは検出装置を２組設けなくて
も、ＣＣＤラインセンサによって検出したデータの記憶
手段を設け、ＣＣＤラインセンサの現在の検出値と直前
のラインの検出値とを比較することによって検出しても
良い。
【００１３】また、カラーフィルターは、一般にはＲ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色で構成されている
ので、いずれの色の画素部分の異常も充分に発見するこ
とができるような波長の単色光を選ぶことが好ましい
が、顔料あるいは染料による染色によって得られた着色
画素では、青の着色画素部分の欠陥の異常を発見するこ
とが困難であるので、単色光には青に相当する４００〜
６００ｎｍにピークを有する単色光を用いることが好ま
しく、これらの波長の光は、高圧水銀灯によって得られ
る光をフィルターを使用して低域および広域の成分を除
去することによって得ることができる。
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３原色で構成されている
ので、いずれの色の画素部分の異常も充分に発見するこ
とができるような波長の単色光を選ぶことが好ましい
が、顔料あるいは染料による染色によって得られた着色
画素では、青の着色画素部分の欠陥の異常を発見するこ
とが困難であるので、単色光には青に相当する４００〜
６００ｎｍにピークを有する単色光を用いることが好ま
しく、これらの波長の光は、高圧水銀灯によって得られ
る光をフィルターを使用して低域および広域の成分を除
去することによって得ることができる。
【００１４】
【作用】本発明の方法では、カラーフィルターの着色画
素あるいは保護膜等に混入した異物あるいは突起等の異
常個所を検査する際に、単色光の光源を用いてカラーフ
ィルターを照射し、反射光もしくは透過光を光検出器を
用いて検出し、検出器の信号を比較信号と比較すること
によって、異常個所を検出したので、白色光では検出が
困難であった異常個所を容易に発見することが可能であ
り、比較信号として異常個所のない比較カラーフィルタ
ーについて試料カラーフィルターの同一の位置を同時に
検出した際に得られる信号と比較したり、あるいは光検
出器をＣＣＤラインセンサとし、現在の検出値を直前の
ラインの検出値と比較することによって、さらに異常個
所の発見の精度を高めることが可能となる。
素あるいは保護膜等に混入した異物あるいは突起等の異
常個所を検査する際に、単色光の光源を用いてカラーフ
ィルターを照射し、反射光もしくは透過光を光検出器を
用いて検出し、検出器の信号を比較信号と比較すること
によって、異常個所を検出したので、白色光では検出が
困難であった異常個所を容易に発見することが可能であ
り、比較信号として異常個所のない比較カラーフィルタ
ーについて試料カラーフィルターの同一の位置を同時に
検出した際に得られる信号と比較したり、あるいは光検
出器をＣＣＤラインセンサとし、現在の検出値を直前の
ラインの検出値と比較することによって、さらに異常個
所の発見の精度を高めることが可能となる。
【００１５】
【実施例】本発明を図面を参照して説明すると、図１は
本発明のカラーフィルターの検査方法に用いる検査装置
のブロック図である。試料カラーフィルター１と比較カ
ラーフィルター２が試料載置台３に取り付けられてお
り、試料載置台は試料の各部分の検査を可能とする試料
載置台駆動装置４が結合されている。
本発明のカラーフィルターの検査方法に用いる検査装置
のブロック図である。試料カラーフィルター１と比較カ
ラーフィルター２が試料載置台３に取り付けられてお
り、試料載置台は試料の各部分の検査を可能とする試料
載置台駆動装置４が結合されている。
【００１６】また、試料および比較カラーフィルターに
は、光源５によって単色光とした光を光ファイバー６な
どの光路を通じて試料用光学系７および比較用光学系８
へ供給している。カラーフィルターによって反射した光
は、光学系を通じてＣＣＤラインセンサ９によって検出
されて、画像補正回路１０によってエッジ強調等の処理
をして、欠陥検出装置１１に供給される。
は、光源５によって単色光とした光を光ファイバー６な
どの光路を通じて試料用光学系７および比較用光学系８
へ供給している。カラーフィルターによって反射した光
は、光学系を通じてＣＣＤラインセンサ９によって検出
されて、画像補正回路１０によってエッジ強調等の処理
をして、欠陥検出装置１１に供給される。
【００１７】欠陥検出装置には、比較画像表示装置１
２、試料画像表示装置１３、欠陥画像表示装置１４が結
合されており、比較カラーフィルターによって得られた
信号と試料カラーフィルターから得られた信号とを合成
して欠陥の検出を行うとともに、各表示画像および信号
の合成によって得られる欠陥画像を表示しており、さら
に、欠陥位置を正確に表示および印字する欠陥個所出力
装置１５が設けられている。また、主制御装置１６は検
査装置の各部を制御するとともに、外部機器とのインタ
ーフェース、あるいはマンマシンインターフェース機能
を果たす。さらに、検査装置には、上記したような反射
光によって検出する方法に代えて、カラーフィルターを
載置した試料載置台の下部の透過用光源１７から光ファ
イバー１８で導いて透過光によってカラーフィルターを
検査しても良い。
２、試料画像表示装置１３、欠陥画像表示装置１４が結
合されており、比較カラーフィルターによって得られた
信号と試料カラーフィルターから得られた信号とを合成
して欠陥の検出を行うとともに、各表示画像および信号
の合成によって得られる欠陥画像を表示しており、さら
に、欠陥位置を正確に表示および印字する欠陥個所出力
装置１５が設けられている。また、主制御装置１６は検
査装置の各部を制御するとともに、外部機器とのインタ
ーフェース、あるいはマンマシンインターフェース機能
を果たす。さらに、検査装置には、上記したような反射
光によって検出する方法に代えて、カラーフィルターを
載置した試料載置台の下部の透過用光源１７から光ファ
イバー１８で導いて透過光によってカラーフィルターを
検査しても良い。
【００１８】図２には、ＣＣＤラインセンサで得られた
信号波形の一例を示すが、試料カラーフィルター信号波
形２１には、突起等による異常を反映した信号波形異常
個所２２が形成されている。一方、比較カラーフィルタ
ー信号波形２３とを合成することによって、異常個所の
みを明確とした合成信号波形２４が得られる。また、こ
のようにして観察した試料カラーフィルターと比較カラ
ーフィルターの画像の合成画像には、欠陥部分が明瞭に
表示され、同時に異常個所の記録等を行うことができ
る。
信号波形の一例を示すが、試料カラーフィルター信号波
形２１には、突起等による異常を反映した信号波形異常
個所２２が形成されている。一方、比較カラーフィルタ
ー信号波形２３とを合成することによって、異常個所の
みを明確とした合成信号波形２４が得られる。また、こ
のようにして観察した試料カラーフィルターと比較カラ
ーフィルターの画像の合成画像には、欠陥部分が明瞭に
表示され、同時に異常個所の記録等を行うことができ
る。
【００１９】実施例１ 大きさ３００ｍｍ×３２０ｍｍ、厚さ１．１ｍｍのガラ
ス基板（コーニング社製７０５９材）を充分に洗浄し、
その上に、赤色感光性樹脂を１．２μｍの膜厚になるよ
うに塗布し、その後温度７０℃で３０分間オ−ブン中で
乾燥させ、水銀ランプを用いて露光し、水によるスプレ
ー現像を１分間行い、赤色画素を形成すべき領域に赤色
のレリーフ画像を形成し、さらに１５０℃で３０分間、
加熱硬化させた。同様の工程を繰り返して、緑色画素を
形成すべき領域に緑色のレリーフ画素を形成し、青色画
素を形成すべき領域に青色のレリーフ画素を形成して着
色層を形成した。
ス基板（コーニング社製７０５９材）を充分に洗浄し、
その上に、赤色感光性樹脂を１．２μｍの膜厚になるよ
うに塗布し、その後温度７０℃で３０分間オ−ブン中で
乾燥させ、水銀ランプを用いて露光し、水によるスプレ
ー現像を１分間行い、赤色画素を形成すべき領域に赤色
のレリーフ画像を形成し、さらに１５０℃で３０分間、
加熱硬化させた。同様の工程を繰り返して、緑色画素を
形成すべき領域に緑色のレリーフ画素を形成し、青色画
素を形成すべき領域に青色のレリーフ画素を形成して着
色層を形成した。
【００２０】続いて熱硬化性アクリル系樹脂（日本合成
ゴム（株）、オプトマーＳＳ８２６５）をスピンコータ
ーで前記着色層上に２．０μｍの厚さに塗布した。次い
で１８０℃３０分間加熱して保護膜を形成した。
ゴム（株）、オプトマーＳＳ８２６５）をスピンコータ
ーで前記着色層上に２．０μｍの厚さに塗布した。次い
で１８０℃３０分間加熱して保護膜を形成した。
【００２１】保護層の表面に大きさが直径５〜１０μｍ
の球形粒子を混入して突起を形成した。この基板を試料
とするとともに、凹凸や突起のない基板を比較試料と
し、高圧水銀灯の光をフィルターを用いて５４６ｎｍに
ピークを有する単色光のみとした光源の光を光ファイバ
ーによって光学系に誘導し、試料および比較カラーフィ
ルターの同一の個所を照射して反射光によって検出した
ところ高さが５〜１０μｍの突起を明瞭に検出すること
ができた。
の球形粒子を混入して突起を形成した。この基板を試料
とするとともに、凹凸や突起のない基板を比較試料と
し、高圧水銀灯の光をフィルターを用いて５４６ｎｍに
ピークを有する単色光のみとした光源の光を光ファイバ
ーによって光学系に誘導し、試料および比較カラーフィ
ルターの同一の個所を照射して反射光によって検出した
ところ高さが５〜１０μｍの突起を明瞭に検出すること
ができた。
【００２２】比較例１ 検査装置の光源の単色光に代えてハロゲンランプから照
射される白色光を用いた点以外は実施例１と同様の条件
で検査したところ、高さが１０μｍ以下の突起について
は検出することができなかった。
射される白色光を用いた点以外は実施例１と同様の条件
で検査したところ、高さが１０μｍ以下の突起について
は検出することができなかった。
【００２３】
【発明の効果】カラーフィルターの着色画素あるいは保
護膜等に混入した異物あるいは突起等の異常個所を、単
色光の光源を用いてカラーフィルターを照射し、反射光
もしくは透過光を光検出器を用いて検出することによっ
て、異常個所を検出したので、白色光では検出が困難で
あった突起などの異常個所を容易に発見することが可能
であり、カラーフィルターの検査工程を自動化するとと
もに、検査速度を高めることができ、また、比較信号を
異常個所のない比較カラーフィルターの試料カラーフィ
ルターの同一の個所の信号として、得られた両者の検出
信号を比較すること、あるいは光検出器をＣＣＤライン
センサとして直前の検出ラインの信号と比較することに
よって、さらに異常個所の発見の精度を高めることがで
きる。
護膜等に混入した異物あるいは突起等の異常個所を、単
色光の光源を用いてカラーフィルターを照射し、反射光
もしくは透過光を光検出器を用いて検出することによっ
て、異常個所を検出したので、白色光では検出が困難で
あった突起などの異常個所を容易に発見することが可能
であり、カラーフィルターの検査工程を自動化するとと
もに、検査速度を高めることができ、また、比較信号を
異常個所のない比較カラーフィルターの試料カラーフィ
ルターの同一の個所の信号として、得られた両者の検出
信号を比較すること、あるいは光検出器をＣＣＤライン
センサとして直前の検出ラインの信号と比較することに
よって、さらに異常個所の発見の精度を高めることがで
きる。
【図１】本発明のカラーフィルターの検査方法に用いる
検査装置の１例のブロック図を示す図。
検査装置の１例のブロック図を示す図。
【図２】検出信号の波形を示す図。
【図３】カラーフィルターの製造工程の１例を示す断面
図。
図。
【図４】カラーフィルターの自動検査装置における検出
手段を示す図。
手段を示す図。
１…試料カラーフィルター、２…比較カラーフィルタ
ー、３…試料載置台、４…試料載置台駆動装置、５…光
源、６…光ファイバー、７…試料用光学系、８…比較用
光学系、９…ＣＣＤラインセンサ、１０…画像補正回
路、１１…欠陥検出装置、１２…比較画像表示装置、１
３…試料画像表示装置、１４…欠陥画像表示装置、１５
…欠陥個所出力装置、１６…主制御装置、１７…透過用
光源、１８…光ファイバー、２１…試料カラーフィルタ
ー信号波形、２２…信号波形異常個所、２３…比較カラ
ーフィルター信号波形、２４…合成信号波形、３１…透
明基板、３２…ブラックマトリックス、３３…赤の着色
層、３４…緑の着色層、３５…青の着色層、３６…保護
膜、３７…透明電極膜、３８…突起、３９…、４０…、
４１…ＣＣＤラインセンサ、４２…白色光源、４３…信
号、４４…異常信号、４５…ハーフミラー、４６…反射
光源、４７…低下個所
ー、３…試料載置台、４…試料載置台駆動装置、５…光
源、６…光ファイバー、７…試料用光学系、８…比較用
光学系、９…ＣＣＤラインセンサ、１０…画像補正回
路、１１…欠陥検出装置、１２…比較画像表示装置、１
３…試料画像表示装置、１４…欠陥画像表示装置、１５
…欠陥個所出力装置、１６…主制御装置、１７…透過用
光源、１８…光ファイバー、２１…試料カラーフィルタ
ー信号波形、２２…信号波形異常個所、２３…比較カラ
ーフィルター信号波形、２４…合成信号波形、３１…透
明基板、３２…ブラックマトリックス、３３…赤の着色
層、３４…緑の着色層、３５…青の着色層、３６…保護
膜、３７…透明電極膜、３８…突起、３９…、４０…、
４１…ＣＣＤラインセンサ、４２…白色光源、４３…信
号、４４…異常信号、４５…ハーフミラー、４６…反射
光源、４７…低下個所
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 11/00 - 11/02 G01N 21/84 - 21/958
Claims (3)
- 【請求項１】 カラーフィルターの着色画素あるいは保
護膜等に混入した異物あるいは突起等の異常個所を検出
するカラーフィルターの検査方法において、高圧水銀灯
から得られる光をフィルターを用いて５４６ｎｍにピー
クを有する単色光のみとした光源を用いてカラーフィル
ターを照射し、反射光もしくは透過光を光検出器を用い
て検出し、光検出器の出力を比較信号と比較して異常個
所を検出することを特徴とするカラーフィルターの検査
方法。 - 【請求項２】 比較信号を、他の検出器によって異常個
所がない比較カラーフィルターの同一の位置を照射した
際に検出される信号とし、試料カラーフィルターの検出
信号と比較信号を合成することによって異常個所を検出
することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルター
の検査方法。 - 【請求項３】 検出器をＣＣＤラインセンサとし、ＣＣ
Ｄラインセンサの現在の検出値の直前ラインの検出値を
比較信号とし、現在の検出信号を比較信号と比較するこ
とを特徴とする請求項１記載のカラーフィルターの検査
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8707192A JP3287872B2 (ja) | 1992-04-08 | 1992-04-08 | カラーフィルターの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8707192A JP3287872B2 (ja) | 1992-04-08 | 1992-04-08 | カラーフィルターの検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05288640A JPH05288640A (ja) | 1993-11-02 |
| JP3287872B2 true JP3287872B2 (ja) | 2002-06-04 |
Family
ID=13904716
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8707192A Expired - Fee Related JP3287872B2 (ja) | 1992-04-08 | 1992-04-08 | カラーフィルターの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3287872B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112697739A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-04-23 | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 | 光谱法海水cod传感器的标定校准方法及cod传感器 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4987323B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2012-07-25 | Ｎｔｎ株式会社 | カラーフィルタ欠陥修正装置およびカラーフィルタ欠陥修正方法 |
| JP5407442B2 (ja) * | 2009-03-11 | 2014-02-05 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ汚れ欠陥の選別方法 |
-
1992
- 1992-04-08 JP JP8707192A patent/JP3287872B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112697739A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-04-23 | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所 | 光谱法海水cod传感器的标定校准方法及cod传感器 |
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|---|---|
| JPH05288640A (ja) | 1993-11-02 |
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