JP3284195B2 - X-ray fluorescence analysis system by glass bead method - Google Patents
X-ray fluorescence analysis system by glass bead methodInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、試料と融剤の混合
物を加熱溶融して作製したガラスビードを用いて、試料
の蛍光Ｘ線分析をするガラスビード法による蛍光Ｘ線分
析システムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray fluorescence analysis system based on a glass bead method for performing X-ray fluorescence analysis of a sample using a glass bead produced by heating and melting a mixture of a sample and a flux.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、ガラスビード法による蛍光Ｘ
線分析方法が知られている。粉状物や粒状物の試料を加
圧成形し分析する粉末法で分析した場合、粒度効果およ
び鉱物効果により分析誤差が生じる。このため、自動試
料溶融装置において試料と融剤の混合物を加熱溶融して
ガラスビードを作製し、このガラスビードを用いて、蛍
光Ｘ線分析装置により、試料の各成分の含有率を分析す
る。この場合、自動試料溶融装置において、試料と融剤
とを自動秤量し、試料に対する融剤の比（希釈率）を一
定値にして、試料と融剤を均一に混合したガラスビード
が得られる。2. Description of the Related Art Conventionally, fluorescent X by the glass bead method has been used.
Line analysis methods are known. When a powdery or granular sample is analyzed by a powder method in which the sample is pressed and analyzed, an analysis error occurs due to a particle size effect and a mineral effect. For this reason, a mixture of a sample and a flux is heated and melted in an automatic sample melting apparatus to produce a glass bead, and the content of each component of the sample is analyzed by an X-ray fluorescence analyzer using the glass bead. In this case, in an automatic sample melting apparatus, the sample and the flux are automatically weighed, the ratio of the flux to the sample (dilution ratio) is set to a constant value, and a glass bead in which the sample and the flux are uniformly mixed is obtained.
【０００３】しかし、上記希釈率を高い精度で一定値に
することは、試料の重量が極めて微量であることから、
困難である。また、ガラスビード法は、試料を高い温度
（1000°C 〜1300°C ）で加熱溶融することから、試料
中の結晶水（Ｈ2 Ｏ）やＣＯ 2 などがガラスビードの作
製時に揮散して、試料の重量が減少する（以下、イグロ
ス（Ignition Loss ：灼熱減量）と呼ぶ）ので、分析の
誤差となることがあった。[0003] However, the dilution ratio is set to a constant value with high accuracy.
To do this is because the weight of the sample is extremely small,
Have difficulty. In addition, the glass bead method uses a high temperature
(1000 ° C to 1300 ° C)
Crystal water (HTwoO) or CO TwoEtc. are made of glass beads
Volatilizes during manufacturing, reducing the weight of the sample (hereinafter
(Ignition Loss)
An error could occur.
【０００４】このため、従来から、上記希釈率やイグロ
ス等を補正することにより分析精度を向上させる、ガラ
スビード法を用いた蛍光Ｘ線分析方法が知られている
（特願平４−１４８８７１号公報）。[0004] For this reason, a fluorescent X-ray analysis method using a glass bead method, which improves the analysis accuracy by correcting the above-mentioned dilution ratio, igross, etc., has been known (Japanese Patent Application No. 4-148871). Gazette).
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の分析方
法は、蛍光Ｘ線分析装置で得られた試料の各成分の含有
率を、自動試料溶融装置で得られた各データに基づい
て、作業者が別途計算を行って補正するものであるた
め、分析作業が煩雑であり、作業効率を向上できないと
いう問題があった。また、作業者のデータ入力の際に人
為的なミスも生じ得るため、正確性に欠ける場合もあっ
た。However, in the conventional analysis method, the content of each component of the sample obtained by the X-ray fluorescence analyzer is determined based on the data obtained by the automatic sample melting device. Since the calculation is performed separately by the operator, the analysis work is complicated, and there is a problem that the work efficiency cannot be improved. In addition, there is a possibility that a human error may occur at the time of data input by an operator, so that the accuracy may be lacking in some cases.
【０００６】本発明は、上記の問題点を解決して、正確
な分析を可能にし、さらにガラスビード作製から分析ま
でを自動化できるガラスビード法による蛍光Ｘ線分析シ
ステムを提供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems and to provide a fluorescent X-ray analysis system by a glass bead method which enables an accurate analysis and can further automate the process from glass bead production to analysis. .
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係るガラスビード法による蛍光Ｘ線分析
システムは、試料と融剤の混合物を加熱溶融してガラス
ビードを作製する自動試料溶融装置、前記ガラスビード
を用いて前記試料の各成分の含有率を分析する蛍光Ｘ線
分析装置、および前記ガラスビードを自動試料溶融装置
から蛍光Ｘ線分析装置に搬送する自動ガラスビード搬送
装置を備え、前記自動試料溶融装置は、前記試料と融剤
とを自動秤量する秤量手段と、前記秤量手段により得ら
れた試料重量、融剤重量を含むデータを記憶するメモリ
と、前記メモリに記憶されたデータを蛍光Ｘ線分析装置
に伝送するデータ伝送手段とを有し、前記蛍光Ｘ線分析
装置は、データ伝送された融剤重量と試料重量の比から
希釈率を演算する演算手段と、前記希釈率を用いて、前
記自動ガラスビード搬送装置により搬送されて蛍光Ｘ線
分析装置により得られた前記試料の各成分の含有率を補
正する補正手段とを有している。 In order to achieve the above object, an X-ray fluorescence spectroscopy system using a glass bead method according to claim 1 is an automatic X-ray system for producing a glass bead by heating and melting a mixture of a sample and a flux. A sample melting device, an X-ray fluorescence analyzer for analyzing the content of each component of the sample using the glass bead, and an automatic glass bead transfer device for transferring the glass bead from the automatic sample melting device to the X-ray fluorescence analyzer The automatic sample melting apparatus , weighing means for automatically weighing the sample and the flux, obtained by the weighing means
For storing data including sample weight and flux weight
X-ray fluorescence analyzer
Data transmission means for transmitting the fluorescence X-ray
The apparatus is provided with a calculating means for calculating a dilution ratio from a ratio of the flux and the sample weight transmitted with the data, and using the dilution ratio, is conveyed by the automatic glass bead conveying device and obtained by a fluorescent X-ray analyzer. Correction means for correcting the content of each component of the sample .
【０００８】上記構成によれば、自動秤量された融剤重
量と試料重量の比から希釈率を演算し、この希釈率を用
いて、試料の各成分の含有率を自動的に補正するので、
正確な分析が可能となり、かつ、ガラスビード作製から
分析までを自動化できる。According to the above configuration, the dilution ratio is calculated from the ratio of the weight of the flux automatically measured and the weight of the sample, and the content of each component of the sample is automatically corrected using the dilution ratio.
Accurate analysis is possible, and the process from glass bead production to analysis can be automated.
【０００９】請求項２に係るガラスビード法による蛍光
Ｘ線分析システムは、請求項１において、前記秤量手段
は、さらにガラスビードの重量を自動秤量し、前記演算
手段は、さらに試料重量と融剤重量の合計からガラスビ
ード重量を減算してイグロス重量を求めて、このイグロ
ス重量と試料重量との比からイグロス含有率を演算し、
前記補正手段は、さらに前記得られたイグロス含有率を
用いて補正するものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided an X-ray fluorescence analysis system using a glass bead method, wherein the weighing means automatically weighs the weight of the glass bead and the arithmetic means further comprises a sample weight and a flux. The glass bead weight is subtracted from the total weight to obtain the gross weight, and the gross content is calculated from the ratio of the gross weight to the sample weight,
The correction means further corrects using the obtained igloss content.
【００１０】上記構成によれば、自動秤量された試料重
量，融剤重量，ガラスビード重量からイグロス含有率を
演算し、上記希釈率に加えて、このイグロス含有率をも
用いて、試料の各成分の含有率を自動的に補正するの
で、さらに正確な分析が可能となる。[0010] According to the above configuration, the igross content is calculated from the automatically weighed sample weight, flux weight, and glass bead weight, and in addition to the dilution ratio, the igross content is used to calculate each sample. Since the component content is automatically corrected, more accurate analysis is possible.
【００１１】請求項３に係るガラスビード法による蛍光
Ｘ線分析システムは、請求項２において、前記演算手段
は、さらに試料重量から試料のみを加熱した後の重量を
減算した重量と、試料重量との比から真のイグロス含有
率を演算するものであり、さらに、前記演算されたイグ
ロス含有率と真のイグロス含有率との相関関係を予め記
憶する記憶手段を備え、前記補正手段は、前記相関関係
に基づいて真のイグロス含有率に換算して得られたイグ
ロス含有率を用いて補正するものである。According to a third aspect of the present invention, there is provided an X-ray fluorescence analysis system using a glass bead method, wherein the calculating means further comprises: a weight obtained by subtracting the weight after heating only the sample from the sample weight; And a storage means for storing in advance a correlation between the calculated Igross content rate and the true Igross content rate. The correction is performed using the igross content obtained by converting to the true igross content based on the relationship.
【００１２】上記構成によれば、上記希釈率に加えて、
予め記憶されたイグロス重量と真のイグロス重量との相
関関係に基づいて真のイグロス重量に換算して得られた
イグロス含有率を用いて、試料の各成分の含有率を自動
的に補正するので、さらに一層正確な分析が可能とな
る。According to the above configuration, in addition to the dilution ratio,
Since the igross content obtained by converting the pre-stored igross weight and the true igross weight into the true igross weight is used to automatically correct the content of each component of the sample, Thus, an even more accurate analysis can be performed.
【００１３】請求項４に係るガラスビード法による蛍光
Ｘ線分析装置は、試料と融剤の混合物を加熱溶融して作
製されたガラスビードを用いて、試料の各成分の含有率
を分析する蛍光Ｘ線分析装置であって、試料重量と融剤
重量の合計からガラスビード重量を減算したイグロス重
量と、試料重量との比からイグロス含有率を演算し、試
料重量から試料のみを加熱した後の重量を減算した重量
と、試料重量との比から真のイグロス含有率を演算する
演算手段と、前記演算されたイグロス含有率と真のイグ
ロス含有率との相関関係を予め記憶する記憶手段と、分
析時にイグロス含有率が入力されると、前記相関関係を
用いて真のイグロス含有率に換算し、この換算したイグ
ロス含有率を用いて補正する補正手段とを備えている。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an X-ray fluorescence spectrometer using a glass bead method for analyzing the content of each component of a sample using a glass bead produced by heating and melting a mixture of a sample and a flux. An X-ray analyzer, which calculates an igross content from a ratio of an igross weight obtained by subtracting a glass bead weight from a total of a sample weight and a flux weight, and a sample weight, and heats only the sample from the sample weight. Calculation means for calculating the true Igross content from the ratio of the weight obtained by subtracting the weight and the sample weight, and storage means for storing in advance the correlation between the calculated Igross content and the true Igross content, A correction means is provided which, when the gross content is input at the time of analysis, converts the gross content into a true gross content using the correlation and corrects using the converted gross content.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る
ガラスビード法による蛍光Ｘ線分析システムの構成図を
示す。本システムは、試料と融剤の混合物を加熱溶融し
てガラスビードを作製する自動試料溶融装置１２、ガラ
スビードを用いて試料の各成分の含有率を分析する蛍光
Ｘ線分析装置２２、およびガラスビードを自動試料溶融
装置１２から蛍光Ｘ線分析装置２２に搬送する自動ガラ
スビード搬送装置３２を備えている。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of an X-ray fluorescence analysis system using a glass bead method according to an embodiment of the present invention. This system includes an automatic sample melting device 12 for heating and melting a mixture of a sample and a flux to produce a glass bead, a fluorescent X-ray analyzer 22 for analyzing the content of each component of the sample using a glass bead, and a glass An automatic glass bead transfer device 32 for transferring beads from the automatic sample melting device 12 to the fluorescent X-ray analyzer 22 is provided.
【００１５】上記自動試料溶融装置１２には試料，融
剤，ガラスビードをほぼ定量ずつ切り出して自動秤量す
る秤量手段（自動秤量機）１４が設けられている。自動
試料溶融装置１２は、装置全体を制御するＣＰＵ（コン
ピュータ）１５を備えており、このＣＰＵ１５は、試料
重量，融剤重量，ガラスビード重量のデータ等を記憶す
るメモリ１８と、メモリ１８に記憶されたデータを蛍光
Ｘ線分析装置２２に伝送するデータ伝送手段１６とを有
している。The automatic sample melting apparatus 12 is provided with a weighing means (automatic weighing machine) 14 for cutting out a sample, a flux, and a glass bead almost every fixed amount and automatically weighing the same. The automatic sample melting apparatus 12 includes a CPU (computer) 15 for controlling the entire apparatus. The CPU 15 stores a sample weight, a flux weight, a glass bead weight, and the like, and a memory 18. Data transmission means 16 for transmitting the obtained data to the X-ray fluorescence analyzer 22.
【００１６】上記蛍光Ｘ線分析装置２２は、システム全
体を制御するＣＰＵ（コンピュータ）２５を備えてお
り、このＣＰＵ２５は演算手段２４，補正手段２６およ
び記憶手段（メモリ）２８を有している。上記演算手段
２４は、自動秤量機１４により得られた融剤重量と試料
重量の比から希釈率を演算し、また、試料重量と融剤重
量の合計から、自動秤量機１４により得られたガラスビ
ード重量を減算してイグロス重量を求めて、このイグロ
ス重量と試料重量との比からイグロス含有率を演算す
る。上記補正手段２６は、上記の希釈率とイグロス含有
率を用いて、蛍光Ｘ線分析装置２２により得られた試料
の各成分の含有率を補正する。The X-ray fluorescence spectrometer 22 has a CPU (computer) 25 for controlling the entire system. The CPU 25 has a calculating means 24, a correcting means 26 and a storing means (memory) 28. The calculating means 24 calculates the dilution ratio from the ratio between the flux weight and the sample weight obtained by the automatic weighing machine 14, and calculates the glass obtained by the automatic weighing machine 14 from the sum of the sample weight and the flux weight. The bead weight is subtracted to obtain the gross weight, and the gross content is calculated from the ratio of the gross weight to the sample weight. The correcting means 26 corrects the content of each component of the sample obtained by the fluorescent X-ray analyzer 22 using the above-mentioned dilution ratio and igloss content.
【００１７】上記構成のガラスビード法による蛍光Ｘ線
分析システムの動作を、図２に示すガラスビード法によ
る蛍光Ｘ線分析方法の工程図を用いて、説明する。The operation of the X-ray fluorescence analysis system using the glass bead method having the above-described configuration will be described with reference to the process diagram of the X-ray fluorescence analysis method using the glass bead method shown in FIG.
【００１８】図１の自動試料溶融装置１２において、ま
ず、図２（ａ）のように、例えばセメントのような試料
を１００メッシュ以下の粉状物に粉砕しておく。つい
で、図２（ｂ）のように、るつぼ５のみが自動秤量機
（秤量手段）１４の秤量器１４０に載せられて、その重
量（風袋重量）が秤量される。そして、図２（ｃ）のよ
うに、粉状物にした微量の試料１が、自動秤量機１４に
より、るつぼ５内に一定量切り出されて、試料重量が秤
量器１４０で秤量される。この後、図２（ｄ）のよう
に、希釈率に応じて一定量の融剤３（例えば、ホウ酸リ
チウム）が上記試料１に加えられ、試料重量と融剤重量
の合計重量が秤量される。試料１と融剤３の混合物はる
つぼ５内で約１１００°Ｃまで加熱されて溶融され、ガ
ラスビード４が得られる。図２（ｅ）のように、こうし
て得られたガラスビード４とるつぼ５の合計重量から、
図２（ｂ）のるつぼ重量が差し引かれて、ガラスビード
重量が得られる。In the automatic sample melting apparatus 12 shown in FIG. 1, first, as shown in FIG. 2A, a sample such as cement is pulverized into powder having a size of 100 mesh or less. Next, as shown in FIG. 2B, only the crucible 5 is placed on the weighing device 140 of the automatic weighing machine (weighing means) 14, and the weight (tare weight) is weighed. Then, as shown in FIG. 2 (c), a small amount of the powdered sample 1 is cut out into the crucible 5 by the automatic weighing machine 14, and the weight of the sample is weighed by the weighing device 140. Thereafter, as shown in FIG. 2D, a certain amount of the flux 3 (for example, lithium borate) is added to the sample 1 according to the dilution rate, and the total weight of the sample weight and the flux weight is weighed. You. The mixture of the sample 1 and the flux 3 is heated to about 1100 ° C. in the crucible 5 and melted, and a glass bead 4 is obtained. As shown in FIG. 2 (e), from the total weight of the glass bead 4 and the crucible 5 thus obtained,
The weight of the glass bead is obtained by subtracting the weight of the crucible in FIG. 2 (b).
【００１９】図１の自動ガラスビード搬送装置３２は、
例えばロボットからなり、自動試料溶融装置１２のＣＰ
Ｕ１５から送られたガラスビード４の作製完了信号を受
けたＣＰＵ２５の動作命令に基づいて、るつぼ５から取
り出されたガラスビード４をロボットハンドで把持し、
そのロボットハンドを蛍光Ｘ線分析装置２２に移動させ
て、所定の分析位置にガラスビード４を自動的に搬入す
る。The automatic glass bead conveying device 32 shown in FIG.
For example, the robot is a CP of the automatic sample melting device 12.
The glass bead 4 taken out of the crucible 5 is gripped by the robot hand based on the operation command of the CPU 25 that has received the production completion signal of the glass bead 4 sent from U15,
The robot hand is moved to the X-ray fluorescence analyzer 22, and the glass bead 4 is automatically carried into a predetermined analysis position.
【００２０】蛍光Ｘ線分析装置２２は、図２（ｆ）のよ
うに、図示しないＸ線源から１次Ｘ線（放射線）Ｂ１を
ガラスビード４に照射し、このガラスビード４から発生
した各元素固有の蛍光Ｘ線Ｂ２をＸ線検出器６で検出す
る。検出された蛍光Ｘ線Ｂ２は、図示しない計数回路部
でＸ線強度が測定され、これらの各元素についての蛍光
Ｘ線Ｂ２の測定強度に基き、検量線を用いて各元素の含
有率を演算することにより、試料１の組成が分析され
る。The X-ray fluorescence analyzer 22 irradiates the glass beads 4 with primary X-rays (radiation) B1 from an X-ray source (not shown) as shown in FIG. The X-ray detector 6 detects fluorescent X-rays B2 specific to the element. The X-ray intensity of the detected fluorescent X-rays B2 is measured by a counting circuit (not shown), and the content of each element is calculated using a calibration curve based on the measured intensity of the fluorescent X-rays B2 for each of these elements. By doing so, the composition of the sample 1 is analyzed.
【００２１】秤量手段１４により得られた試料１の重量
Ｓ、融剤３の重量Ｆ、およびガラスビード４の重量Ｂ
は、ＣＰＵ１５のデータ伝送手段１６によりＣＰＵ２５
に送られ、これに内蔵した演算手段２４により、希釈率
Ｒを次式（１）に基づいて、イグロス含有率Ｇ（％）を
次式（２）に基づいて、それぞれ演算する。 Ｒ＝Ｆ／Ｓ （１） Ｇ＝（（Ｆ＋Ｓ−Ｂ）／Ｓ）×１００（％） （２） 上記式（２）における（Ｆ＋Ｓ−Ｂ）は試料のイグロス
重量（灼熱減量）Ｌを示し、このイグロス重量Ｌの試料
重量Ｓに対する百分率がイグロス含有率Ｇである。この
イグロス含有率Ｇは、灼熱減量の場合は正の値である
が、灼熱増量の場合には負として扱われる。The weight S of the sample 1 obtained by the weighing means 14, the weight F of the flux 3, and the weight B of the glass bead 4 are obtained.
Is transmitted to the CPU 25 by the data transmission means 16 of the CPU 15.
The dilution ratio R is calculated based on the following equation (1), and the gross content rate G (%) is calculated based on the following equation (2). R = F / S (1) G = ((F + S−B) / S) × 100 (%) (2) In the above formula (2), (F + S−B) indicates the gross weight (ignition loss) L of the sample. The percentage of the Igross weight L to the sample weight S is the Igross content G. This igloss content rate G is a positive value in the case of burning loss, but is treated as negative in the case of burning increase.
【００２２】ついで、補正手段２６は、次式（３）を用
いて、試料１の各成分の分析値を補正する。式（３）の
すべての補正定数αj,αf,αg は、希釈率Ｒおよびイグ
ロス含有率Ｇの補正定数を含め、定量分析に用いられる
ファンダメンタルパラメータ法などで理論的に求めた理
論マトリックス補正係数を使用した。理論マトリックス
補正係数を用いることにより、正確な補正が行うことが
できる。式（３）の右辺第１項（ａＩi2＋ｂＩi ＋ｃ）
は検量線定数ａ，ｂ，ｃをもつ検量線から含有率を求め
るための検量線式を示し、第２項は補正項である。αf
（Ｒ−＜Ｒ＞）は希釈率による補正項であり、Ｒの基準
希釈率＜Ｒ＞からのずれ量に比例した項である。αｇＧ
はイグロス含有率Ｇに比例した項である。Next, the correction means 26 corrects the analysis value of each component of the sample 1 using the following equation (3). All the correction constants αj, αf, αg of the equation (3) are the theoretical matrix correction coefficients theoretically obtained by the fundamental parameter method used for quantitative analysis, including the correction constants of the dilution ratio R and the igross content G. used. Accurate correction can be performed by using the theoretical matrix correction coefficient. First term on the right side of equation (3) (aIi 2 + bIi + c)
Represents a calibration curve equation for obtaining the content from a calibration curve having calibration curve constants a, b, and c, and the second term is a correction term. αf
(R- <R>) is a correction term based on the dilution rate, and is a term proportional to the amount of deviation of R from the reference dilution rate <R>. αgG
Is a term proportional to the gross content G.
【００２３】[0023]
【数１】 (Equation 1)
【００２４】また、＜Ｒ＞は定数であるので、上記式
（３）を次式（４）のように書き換えることができる。Since <R> is a constant, the above equation (3) can be rewritten as the following equation (4).
【００２５】[0025]
【数２】 (Equation 2)
【００２６】こうして、自動秤量された試料重量Ｓ，融
剤重量Ｆ，ガラスビード重量Ｂに基づいて演算された希
釈率Ｒとイグロス含有率Ｇを用いて、試料１の各成分の
含有率を自動的に補正するので、さらに正確な分析が可
能になる。In this way, using the dilution ratio R and the igross content G calculated based on the automatically weighed sample weight S, flux weight F, and glass bead weight B, the content of each component of the sample 1 is automatically determined. Since the correction is made dynamically, more accurate analysis becomes possible.
【００２７】なお、この実施形態では、希釈率Ｒとイグ
ロス含有率Ｇを用いて、試料１の各成分の含有率を補正
しているが、希釈率Ｒのみを用いて補正するようにして
もよい。In this embodiment, the content of each component of the sample 1 is corrected by using the dilution ratio R and the gross content G. However, the correction may be performed by using only the dilution ratio R. Good.
【００２８】つぎに、第２実施形態の説明に移る。上記
第１実施形態の分析システムでは、試料１の揮散による
イグロス含有率を用いていたが、ガラスビード法は、上
述のように、試料１と融剤３の混合物を高い温度で加熱
溶融するので、融剤３も揮散する場合があり、この場
合、イグロス含有率に融剤３の揮散分が含まれる。この
ため、第２実施形態の分析システムでは、さらに正確な
分析を行うため、融剤３の揮散をも考慮して補正したイ
グロス含有率を用いている。Next, the description will proceed to the second embodiment. In the analysis system of the first embodiment, the igross content by volatilization of the sample 1 is used. However, the glass bead method heats and melts the mixture of the sample 1 and the flux 3 at a high temperature as described above. In some cases, the flux 3 may also be volatilized, and in this case, the volatilized component of the flux 3 is included in the igross content. For this reason, in the analysis system of the second embodiment, in order to perform more accurate analysis, the gross content corrected in consideration of the volatilization of the flux 3 is used.
【００２９】この分析システムでは、図１の演算手段２
４により、試料重量から試料１のみを加熱した後の重量
を減算した重量と、試料重量との比から真のイグロス含
有率Ｇ１が演算される。ＣＰＵ２５に接続された記憶手
段（メモリ）２８には、上記演算手段２４により演算さ
れた式（２）のイグロス含有率Ｇと、真のイグロス含有
率Ｇ１との相関関係が予め記憶されている。この場合、
予め、融剤３を加えずに試料１のみを溶融温度で加熱し
て、試料重量から加熱後の重量を減算した重量と、試料
重量との比から真のイグロス含有率Ｇ１が求められる。
同じ試料１について、上述したとおり、試料１と融剤３
の混合物を加熱溶融してガラスビード４を作成し、式
（２）のイグロス含有率Ｇが求められる。これらを組成
の異なる複数の試料について行い、両者の相関が求めら
れる。この相関式は、ｐ，ｑを係数とすると、次式
（５）で表される。 Ｇ１＝ｐＧ＋ｑ （５） 図３は、この相関関係の一例を示す。横軸は真のイグロ
ス含有率Ｇ１（％）であり、縦軸はイグロス含有率Ｇ
（％）である。実線５１が融剤３の揮散を考慮した場合
の相関関係を示す。破線５２は融剤３の揮散を考慮しな
い場合のものである。In this analysis system, the calculating means 2 shown in FIG.
According to 4, the true igloss content G1 is calculated from the ratio of the weight obtained by subtracting the weight after heating only the sample 1 from the sample weight to the sample weight. The storage means (memory) 28 connected to the CPU 25 stores in advance a correlation between the gross content G of the equation (2) calculated by the calculating means 24 and the true globul content G1. in this case,
Only the sample 1 is heated at the melting temperature without adding the flux 3 in advance, and the true Igross content G1 is obtained from the ratio of the weight obtained by subtracting the heated weight from the sample weight to the sample weight.
For the same sample 1, as described above, sample 1 and flux 3
Is heated and melted to form a glass bead 4, and the gross content G of the formula (2) is determined. These are performed for a plurality of samples having different compositions, and the correlation between the two is determined. This correlation equation is represented by the following equation (5), where p and q are coefficients. G1 = pG + q (5) FIG. 3 shows an example of this correlation. The horizontal axis is the true Igross content G1 (%), and the vertical axis is the Igross content G
(%). The solid line 51 indicates the correlation when the volatilization of the flux 3 is considered. The dashed line 52 indicates the case where the volatilization of the flux 3 is not considered.
【００３０】図１の補正手段２６は、分析時に上記イグ
ロス含有率Ｇが入力されると、上記希釈率Ｒと、上記相
関関係に基づいて得られた真のイグロス含有率Ｇ１を用
いて、つまり、式（４）のＧに式（５）のＧ１を代入し
て、試料１の各成分の含有率を補正する。これにより、
第１実施形態より一層正確な分析が可能となる。When the above-mentioned Igross content G is inputted at the time of analysis, the correction means 26 of FIG. 1 uses the above-mentioned dilution rate R and the true Igross content G1 obtained based on the above correlation, that is, By substituting G1 in Equation (5) for G in Equation (4), the content of each component of Sample 1 is corrected. This allows
More accurate analysis is possible than in the first embodiment.
【００３１】また、式（４）のかわりに、次式（６）で
補正することもできる。ただし、Ｒ１は見かけの希釈率
で、Ｒ１＝Ｂ／Ｓ−１で得られたものである。αｆ１は
見かけの希釈率に対する補正定数である。The correction can be made by the following equation (6) instead of the equation (4). Here, R1 is an apparent dilution ratio, which is obtained by R1 = B / S-1. αf1 is a correction constant for the apparent dilution ratio.
【００３２】[0032]
【数３】 (Equation 3)
【００３３】上記式（４）と式（６）はそれぞれ、イグ
ロス含有率Ｇ（Ｇ１）を補正項に含んでいるが、イグロ
ス補正が不要な試料またはイグロスを元素を除いた残分
として理論マトリックス補正係数を計算している場合に
は、イグロス含有率Ｇ（Ｇ１）の補正項は使用しない。Equations (4) and (6) each include the igross content G (G1) in the correction term, but the theoretical matrix is used as a sample that does not require igross correction or as a residue excluding elements from the igross. When the correction coefficient is calculated, the correction term of the gross content rate G (G1) is not used.
【００３４】なお、上記第１，２実施形態では、検量線
法による分析方法を用いているが、ファンダメンタルパ
ラメータ法を用いても同様の補正が可能である。この場
合、希釈率については式（１）と同じ希釈率を用いる。
イグロス含有率については、式（４）のときは、吸収係
数が０の元素として扱い、式（６）のときは、融剤３の
成分の一部とする。In the first and second embodiments, the analysis method using the calibration curve method is used. However, the same correction can be made by using the fundamental parameter method. In this case, the dilution ratio used is the same as the expression (1).
Regarding the gross content, the formula (4) treats the element as having an absorption coefficient of 0, and the formula (6) treats it as a part of the flux 3 component.
【００３５】なお、上記補正は、分析成分の含有率に対
して補正を行ったが、Ｘ線強度に対して補正を行っても
よい。Although the above correction is made for the content of the analytical component, the correction may be made for the X-ray intensity.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、自動秤
量された融剤重量と試料重量の比から希釈率を演算し、
この希釈率を用いて、試料の各成分の含有率を自動的に
補正するので、正確な分析が可能にし、さらに、ガラス
ビード作製から分析までを自動化できる。As described above, according to the present invention, the dilution ratio is calculated from the ratio of the automatically weighed flux weight to the sample weight,
Since the content of each component of the sample is automatically corrected using this dilution ratio, accurate analysis is possible, and further, the process from glass bead preparation to analysis can be automated.
【図１】本発明の第１実施形態に係るガラスビード法に
よる蛍光Ｘ線分析システムを示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an X-ray fluorescence analysis system using a glass bead method according to a first embodiment of the present invention.
【図２】ガラスビード法による蛍光Ｘ線分析方法を示す
工程図である。FIG. 2 is a process chart showing a fluorescent X-ray analysis method by a glass bead method.
【図３】第２実施形態におけるイグロス重量によるイグ
ロス含有率と、真のイグロス重量による真のイグロス含
有率との相関関係を示す特性図である。FIG. 3 is a characteristic diagram showing a correlation between an igross content based on an igross weight and a true igross content based on a true igross weight in the second embodiment.
１…試料、３…融剤、４…ガラスビード、１２…自動試
料溶融装置、１４…秤量手段、２２…蛍光Ｘ線分析装
置、２４…演算手段、２６…補正手段、２８…記憶手段
（メモリ）、３２…自動ガラスビード搬送装置。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... sample, 3 ... flux, 4 ... glass bead, 12 ... automatic sample melting apparatus, 14 ... weighing means, 22 ... fluorescent X-ray analyzer, 24 ... arithmetic means, 26 ... correction means, 28 ... storage means (memory ), 32 ... Automatic glass bead conveying device.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−322810（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−14037（ＪＰ，Ａ) 実開 昭56−65449（ＪＰ，Ｕ) 片岡由行 外２名，蛍光Ｘ線分析法に おけるガラスビードの強熱減量（ＬＯ Ｉ），強熱増量（ＧＯＩ），希釈率補 正，Ｘ線分析の進歩，日本，第23巻, 171−175頁 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 23/00 - 23/227 G01N 1/28 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-5-322810 (JP, A) JP-A-58-14037 (JP, A) JP-A-56-65449 (JP, U) Kataoka Yoshiyuki Outside 2 Name, Loss on ignition (LOI), loss on ignition (GOI) of glass beads in X-ray fluorescence analysis, correction of dilution ratio, progress of X-ray analysis, Japan, Vol. 23, pp. 171-175 (58) ) Fields surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G01N 23/00-23/227 G01N 1/28 JICST file (JOIS)
Claims (4)
スビードを作製する自動試料溶融装置、前記ガラスビー
ドを用いて前記試料の各成分の含有率を分析する蛍光Ｘ
線分析装置、および前記ガラスビードを自動試料溶融装
置から蛍光Ｘ線分析装置に搬送する自動ガラスビード搬
送装置を備え、 前記自動試料溶融装置は、前記試料と融剤とを自動秤量
する秤量手段と、前記秤量手段により得られた試料重
量、融剤重量を含むデータを記憶するメモリと、前記メ
モリに記憶されたデータを蛍光Ｘ線分析装置に伝送する
データ伝送手段とを有し、 前記蛍光Ｘ線分析装置は、データ伝送された 融剤重量と
試料重量の比から希釈率を演算する演算手段と、 前記希釈率を用いて、前記自動ガラスビード搬送装置に
より搬送されて蛍光Ｘ線分析装置により得られた前記試
料の各成分の含有率を補正する補正手段とを有するガラ
スビード法による蛍光Ｘ線分析システム。An automatic sample melting apparatus for producing a glass bead by heating and melting a mixture of a sample and a flux, and a fluorescent X for analyzing the content of each component of the sample using the glass bead.
Line analysis apparatus, and an automatic glass bead transfer device for transferring from automatic sample melting apparatus to the fluorescent X-ray analysis apparatus the glass beads, the automatic sample melting apparatus includes a weighing means for automatically weighing and said sample and flux , The sample weight obtained by the weighing means
A memory for storing data including an amount and a flux weight;
Transmit the data stored in the memory to the X-ray fluorescence analyzer
A data transmission unit, wherein the X-ray fluorescence spectrometer is configured to calculate a dilution ratio from a ratio of the weight of the flux and the weight of the sample to which the data has been transmitted, and the automatic glass bead conveyance using the dilution ratio. Equipment
A correcting means for correcting the content of each component of the sample obtained by the fluorescent X-ray analyzer after being conveyed by a glass bead method.
し、 前記演算手段は、さらに試料重量と融剤重量の合計から
ガラスビード重量を減算してイグロス重量を求めて、こ
のイグロス重量と試料重量との比からイグロス含有率を
演算し、 前記補正手段は、さらに前記得られたイグロス含有率を
用いて補正するものであるガラスビード法による蛍光Ｘ
線分析システム。2. The method according to claim 1, wherein the weighing means further automatically weighs the weight of the glass bead, and the calculating means further subtracts the weight of the glass bead from the sum of the weight of the sample and the weight of the flux to obtain the gross weight. Calculate the Igross content from the ratio of the Igross weight to the sample weight, and the correcting means further corrects using the obtained Igross content by using the fluorescence X by the glass bead method.
Line analysis system.
た後の重量を減算した重量と、試料重量との比から真の
イグロス含有率を演算するものであり、 さらに、前記演算されたイグロス含有率と真のイグロス
含有率との相関関係を予め記憶する記憶手段を備え、 前記補正手段は、前記相関関係に基づいて真のイグロス
含有率に換算して得られたイグロス含有率を用いて補正
するものであるガラスビード法による蛍光Ｘ線分析シス
テム。3. The method according to claim 2, wherein the calculating means further calculates a true igross content ratio from a ratio of a weight obtained by subtracting the weight after heating only the sample from the sample weight and the weight of the sample. And a storage unit for storing in advance a correlation between the calculated Igross content and the true Igross content, wherein the correction unit converts the correlation into a true Igross content based on the correlation. An X-ray fluorescence analysis system using a glass bead method, wherein the correction is performed using the obtained igloss content.
されたガラスビードを用いて、試料の各成分の含有率を
分析する蛍光Ｘ線分析装置であって、 試料重量と融剤重量の合計からガラスビード重量を減算
したイグロス重量と、試料重量との比からイグロス含有
率を演算し、試料重量から試料のみを加熱した後の重量
を減算した重量と、試料重量との比から真のイグロス含
有率を演算する演算手段と、 前記演算されたイグロス含有率と真のイグロス含有率と
の相関関係を予め記憶する記憶手段と、 分析時にイグロス含有率が入力されると、前記相関関係
を用いて真のイグロス含有率に換算し、この換算したイ
グロス含有率を用いて補正する補正手段とを備えたガラ
スビード法による蛍光Ｘ線分析装置。4. An X-ray fluorescence analyzer for analyzing the content of each component of a sample using a glass bead prepared by heating and melting a mixture of a sample and a flux, wherein the sample weight and the flux weight are analyzed. Calculate the igloss content from the ratio of the sample weight to the gross weight obtained by subtracting the glass bead weight from the sum of, and subtract the true weight from the sample weight by subtracting the weight after heating only the sample from the sample weight. Calculating means for calculating the igross content rate of the above; storage means for preliminarily storing a correlation between the calculated igross content rate and a true igross content rate; X-ray fluorescence spectrometer based on the glass bead method, comprising: a correction means for converting a true igross content using the above method and correcting using the converted igross content.
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|---|---|---|---|
| JP21688998A JP3284195B2 (en) | 1998-07-31 | 1998-07-31 | X-ray fluorescence analysis system by glass bead method |
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-
1998
- 1998-07-31 JP JP21688998A patent/JP3284195B2/en not_active Expired - Lifetime
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|---|
| 片岡由行 外２名，蛍光Ｘ線分析法におけるガラスビードの強熱減量（ＬＯＩ），強熱増量（ＧＯＩ），希釈率補正，Ｘ線分析の進歩，日本，第２３巻，１７１−１７５頁 |
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