JP3283184B2 - Dynamic balance adjustment device - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明はモータ等の回転駆動
源を用いた回転駆動機構における動釣合いを計測し、か
つその釣合いバランスを調整することが可能な動釣合い
調整装置に関し、特に釣合いの計測、調整を自動的に行
い得るようにした動釣合い調整装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dynamic balance adjusting device capable of measuring a dynamic balance in a rotary drive mechanism using a rotary drive source such as a motor and adjusting the balance. , A dynamic balance adjusting device capable of automatically performing the adjustment.

【０００２】[0002]

【従来の技術】近年における高速印刷を可能にしたレー
ザプリンタでは、レーザビームを感光体に走査して所要
の画像パターンを得ているが、この走査を行うためにレ
ーザスキャンユニットが設けられる。このレーザスキャ
ンユニットは、多角形ミラーであるポリゴンミラーをモ
ータによって高速回転させるような構成であり、前記し
た画像パターンを高精度に形成するためには、ポリゴン
ミラーの回転速度が一定の速度で安定に回転駆動される
必要がある。ポリゴンミラーが安定に回転駆動されるた
めには、その動釣合いがとれていることが要求されるた
め、レーザスキャンユニットの製造工程では、ポリゴン
ミラーおよびモータで構成されるレーザスキャンモータ
の動釣合いを計測し、その釣合いがとれていない場合に
はこれを調整する必要がある。2. Description of the Related Art In a laser printer capable of high-speed printing in recent years, a laser beam is scanned on a photosensitive member to obtain a required image pattern. A laser scanning unit is provided for performing this scanning. This laser scan unit is configured to rotate a polygon mirror, which is a polygon mirror, at a high speed by a motor. In order to form the above-mentioned image pattern with high accuracy, the rotation speed of the polygon mirror is stable at a constant speed. Need to be driven to rotate. In order for the polygon mirror to be driven to rotate stably, it is required that the dynamic balance of the polygon mirror be balanced.Therefore, in the manufacturing process of the laser scan unit, the dynamic balance of the laser scan motor composed of the polygon mirror and the motor is required. It is necessary to measure it and adjust it if it is not balanced.

【０００３】従来から行われているレーザスキャンモー
タにおけるポリゴンミラーやモータの動釣合いの計測
は、レーザスキャンモータを少なくとも二次元方向に弾
性支持した上で、レーザスキャンモータを駆動してモー
タおよびポリゴンミラーを回転させ、そのときにレーザ
スキャンモータに生じる各次元方向の振動を測定し、得
られた測定値を処理することで動釣合いが計測される。Conventionally, the measurement of dynamic balance of a polygon mirror and a motor in a laser scan motor is performed by elastically supporting the laser scan motor in at least a two-dimensional direction and driving the laser scan motor to drive the motor and the polygon mirror. Is rotated, vibrations in each dimension generated in the laser scan motor at that time are measured, and dynamic balance is measured by processing the obtained measured values.

【０００４】また、計測された動釣合いに基づいて、レ
ーザスキャニングユニットの動釣合いを調整する場合に
は、例えば、回転される部分であるポリゴンミラーの不
釣合い部分と正反対の箇所に、微小重りを付加する方法
がとられている。この重りとしては、例えばディスペン
サ等を用いて塗料や樹脂等をポリゴンミラーの反射面以
外の部分に滴着させることで行われる。この場合、ポリ
ゴンミラーに正確に重りを着けるための方法として、外
部に設けた定規により作業者が肉眼で観察しなから行な
う方法がとられている。また、着けた重りを乾燥、固化
させるための作業も必要である。When adjusting the dynamic balance of the laser scanning unit on the basis of the measured dynamic balance, for example, a minute weight is placed at a position directly opposite to an unbalanced portion of a polygon mirror which is a portion to be rotated. The method of adding is taken. The weight is obtained by, for example, using a dispenser or the like to apply paint or resin or the like to a portion other than the reflection surface of the polygon mirror. In this case, as a method for accurately weighting the polygon mirror, a method is employed in which a ruler provided outside is used so that the operator can observe the image with the naked eye. In addition, an operation for drying and solidifying the worn weight is also required.

【０００５】このような動釣合いの調整を行う場合、従
来では動釣合い計測装置と調整装置とを別体に設けてお
り、個々のレーザスキャンモータを手操作にて１つずつ
計測調整装置にセットし、ここで動釣合いの計測を行
い、その後に調整装置にセットして調整を行う方式が取
られていた。このため、動釣合いの調整を行うために
は、作業者による手作業が必要であり、かつ処理効率が
悪いという問題がある。この処理効率を上げるためには
複数台の調整装置が必要であり、さらにこれらの装置を
操作するための作業者が必要であり、自動化を実現する
上での障害になっている。In the case of performing such dynamic balance adjustment, conventionally, a dynamic balance measuring device and an adjusting device are separately provided, and each laser scan motor is manually set one by one to the measuring and adjusting device. However, a method has been adopted in which dynamic balance is measured here and then set in an adjusting device for adjustment. Therefore, there is a problem that manual adjustment by the operator is required to adjust the dynamic balance, and the processing efficiency is poor. In order to increase the processing efficiency, a plurality of adjusting devices are required, and furthermore, an operator for operating these devices is necessary, which is an obstacle to realizing automation.

【０００６】そこで、本発明者は、動釣合いの計測、調
整を自動的に行うことが可能な動釣合い調整装置を提案
した。この調整装置では、回転テーブルに被調整体であ
るレーザスキャンモータを搭載し、かつ回転テーブルの
周囲に動釣合いの計測、修正、確認等を行うための各ス
テーションを配設しておき、回転テーブルを回転させな
がら各工程を行って釣合いの調整を実現するものであ
る。Accordingly, the present inventor has proposed a dynamic balance adjusting device capable of automatically measuring and adjusting the dynamic balance. In this adjusting device, a laser scan motor, which is an object to be adjusted, is mounted on a rotary table, and stations for measuring, correcting, and confirming dynamic balance are arranged around the rotary table. Each step is performed while rotating to adjust the balance.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、その重
り調整を行う際には、被調整体を回転方向の所要の位置
に重りを付着しており、その位置は計測部における動釣
合いの計測結果から求められているものの、実際に被調
整体の該当する位置に重りを付着するためには、被調整
体の回転位置を認識した上で、その認識した位置に重り
を必要な重さだけ付着させる必要がある。このため、手
作業による調整作業では、目的とする回転位置を認識
し、かつその位置に必要とされる重さの重りを付着する
ことは極めて困難であり、高精度に調整を行うことが難
しいという問題がある。However, when the weight is adjusted, a weight is attached to a required position in the rotational direction of the object to be adjusted, and the position is determined from the dynamic balance measurement result in the measurement unit. Although it is required, in order to actually attach the weight to the corresponding position of the object to be adjusted, the rotation position of the object to be adjusted is recognized, and then the weight is attached to the recognized position by the necessary weight. There is a need. For this reason, it is extremely difficult to recognize a target rotation position and to attach a required weight to the position in a manual adjustment operation, and it is difficult to perform adjustment with high accuracy. There is a problem.

【０００８】また、重りとして、予め用意された重りを
接着剤等により付着することが考えられるが、これでは
種々の重さの重りを作製して保管しておく必要があり、
そのための工数が煩雑なものとなる。また、接着剤では
高速回転される被調整体では経時的な劣化により脱落さ
れるおそれもある。また、微細な重さの調整が必要とさ
れる場合には、予め用意された重りでは重さに微妙な差
が生じることは避けられず、高精度の調整が困難にな
る。In addition, it is conceivable to attach a prepared weight with an adhesive or the like as the weight, but in this case, it is necessary to prepare and store various weights.
The man-hour for that becomes complicated. In addition, the object to be adjusted that is rotated at a high speed with the adhesive may be dropped due to deterioration over time. Further, when fine weight adjustment is required, it is inevitable that the weight prepared in advance causes a slight difference in weight, and high-precision adjustment becomes difficult.

【０００９】本発明の目的は、動釣合いの調整を高精度
にしかも迅速に行うことを可能にした動釣合い調整装置
を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a dynamic balance adjusting device capable of performing dynamic balance adjustment with high accuracy and speed.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、動釣合いを調
整しようとする被調整体を搭載して回転駆動可能な回転
テーブルと、この回転テーブルの回転位置のそれぞれ異
なる位置に配置されて前記回転テーブルへの前記被調整
体の搭載、被調整体に対する動釣合いの計測、動釣合い
の調整、および釣合いの確認、回転テーブルからの被調
整体の降載を行う複数のステーションとで構成され、前
記回転テーブルに搭載した被調整体を回転テーブルの回
動により各ステーションに対して順次移動させながら動
釣合いの調整を行う動釣合い調整装置において、前記動
釣合いの調整を行うステーションには、被調整体の釣合
いをとるための重りを被調整体に付着するための手段
と、この重り付着手段に対して被調整体を所要の位置に
移動設定するための位置設定手段とを備えることを特徴
とする。According to the present invention, there is provided a rotary table on which an object to be adjusted whose dynamic balance is to be adjusted is mounted and which can be driven to rotate, and which are arranged at different rotational positions of the rotary table. Mounting of the object to be adjusted on the rotary table, measurement of dynamic balance with respect to the object to be adjusted, adjustment of dynamic balance, and confirmation of the balance, comprising a plurality of stations for loading and unloading the object to be adjusted from the rotary table, In the dynamic balance adjustment device for adjusting the dynamic balance while sequentially moving the object to be adjusted mounted on the rotary table with respect to each station by the rotation of the rotary table, the station for adjusting the dynamic balance includes an object to be adjusted. Means for attaching a weight for balancing the body to the object to be adjusted, and means for moving and setting the object to be adjusted to a required position with respect to the weight attaching means. Characterized in that it comprises a location setting means.

【００１１】ここで、本発明においては、被調整体はモ
ータ部により回転駆動される回転部分を備える構体であ
る。また、重りを付着する手段は回転部分の円周一部に
樹脂を付着させる構成である。さらに、位置設定手段
は、被調整体の回転部分と同軸配置されて軸回転可能と
され、かつ端部には回転部分に軸方向に当接して自身の
軸回転により回転部分の回転位置を変化させるゴム等の
摩擦部材が固定された軸移動可能な駆動回転軸と、被調
整体の回転部分に設けられたマークを検出することでそ
の回転位置を検出するセンサと、このセンサの出力に基
づいて被調整体の回転位置を設定するための電気回路に
接続され、駆動回転軸と一体的に軸方向に移動したとき
にセンサに対して電気接続されるセンサコンタクト機構
とを備える構成である。 In the present invention, the object to be adjusted is a module.
A rotating part driven by the
You. Also, the means to attach the weight is to a part of the circumference of the rotating part
In this configuration, a resin is attached. Furthermore, position setting means
Is coaxially arranged with the rotating part of the adjustable
At the end, and abut against the rotating part in the axial direction.
Rubber or other material that changes the rotational position of the rotating part due to shaft rotation
A drive rotating shaft with a friction member fixed and movable
By detecting the mark provided on the rotating part of the manipulative body,
Sensor that detects the rotational position of the
The electric circuit for setting the rotational position of the object to be adjusted
When connected and moves in the axial direction integrally with the drive rotary shaft
Contact mechanism electrically connected to the sensor
It is a configuration provided with:

【００１２】特に、本発明では、被調整体が、ポリゴン
ミラーと、これを回転駆動するためのモータ部とを一体
的に構成したレーザスキャンモータであり、前記モータ
部の回転軸を位置設定手段により回転位置設定し、ポリ
ゴンミラーの表面と、このポリゴンミラーの裏面側に設
けられて前記モータ部を構成するロータの表面の少なく
とも一方に重りを付着する調整装置として構成される。
また、この場合、被調整体の回転部分の回転位置を検出
するセンサが設けられ、このセンサの出力により回転部
分の回転位置を設定することが好ましい。In particular, according to the present invention, the object to be adjusted is a laser scan motor in which a polygon mirror and a motor unit for driving the polygon mirror are integrally formed, and a rotation axis of the motor unit is set by a position setting means. , The rotational position is set, and the adjusting device is configured to attach a weight to at least one of the front surface of the polygon mirror and the front surface of the rotor that is provided on the back surface of the polygon mirror and constitutes the motor unit.
In this case, it is preferable that a sensor for detecting the rotational position of the rotating portion of the adjustable member be provided, and the rotational position of the rotating portion be set based on the output of the sensor.

【００１３】[0013]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。図１，図２，図３は本発明を
レーザスキャンモータの動釣合いを調整するための調整
装置に適用した実施形態の全体構成を示す正面図、右側
面図、背面図である。また、図４はその平面図である。
枠構体として構成されているベースフレーム１上には回
転テーブル２が水平状態に支持されており、前記ベース
フレーム１内に設置された回転駆動機構３によって図４
の時計方向に間欠的に回転駆動される。この回転テーブ
ル２は後述するように８個の単位テーブル２０１が円周
方向に等配された構成であり、この回転テーブル２に対
する前記ベースフレーム１上には、その円周８箇所に等
分される位置に後述するように第１から第８までの各ス
テーションＳＴ１〜ＳＴ８が設けられており、回転テー
ブル２はこれら８つのステーションに対して各単位テー
ブル２０１が回転位置されるように間欠回転駆動され
る。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1, 2, and 3 are a front view, a right side view, and a rear view showing an entire configuration of an embodiment in which the present invention is applied to an adjusting device for adjusting a dynamic balance of a laser scan motor. FIG. 4 is a plan view thereof.
A rotary table 2 is supported horizontally on a base frame 1 configured as a frame structure, and is rotated by a rotary drive mechanism 3 installed in the base frame 1 as shown in FIG.
Is intermittently rotated clockwise. The rotary table 2 has a configuration in which eight unit tables 201 are equally arranged in the circumferential direction as described later, and the rotary table 2 is equally divided into eight locations on the base frame 1 with respect to the rotary table 2. As described later, first to eighth stations ST1 to ST8 are provided at the same position, and the rotary table 2 is driven intermittently so that each unit table 201 is rotated with respect to these eight stations. Is done.

【００１４】この８つのステーションＳＴ１〜ＳＴ８
は、動釣合いが計測、調整される被調整体としてのレー
ザスキャンモータ４に対して、搬送部８から回転テーブ
ル２に移載するためのローダ部（第１ステーション）Ｓ
Ｔ１、移載されたレーザスキャンモータ４の動釣合いを
計測する計測部（第２ステーション）ＳＴ２、計測され
たレーザスキャンモータの一部に調整重りとしての樹脂
を滴着させるための第１調整部（第３ステーション）Ｓ
Ｔ３、着けられた重りを紫外光により硬化させて定着さ
せる第１定着部（第４ステーション）ＳＴ４、前記レー
ザスキャンモータ４の他の一部に調整重り用樹脂を滴着
させるための第２調整部（第５ステーション）ＳＴ５、
これを紫外光により硬化させて定着する第２定着部（第
６ステーション）ＳＴ６、以上の工程の後に動釣合いの
調整が適正であるか否かを確認するための確認部（第７
ステーション）ＳＴ７、調整が完了されたレーザスキャ
ンモータ４を搬送部８にまで移載するアンローダ部（第
８ステーション）ＳＴ８とで構成される。The eight stations ST1 to ST8
Is a loader unit (first station) S for transferring from the transport unit 8 to the rotary table 2 with respect to the laser scan motor 4 as an object to be adjusted whose dynamic balance is measured and adjusted.
T1, a measuring unit (second station) ST2 for measuring the dynamic balance of the transferred laser scan motor 4, a first adjusting unit for dropping resin as an adjusting weight on a part of the measured laser scan motor (3rd station) S
T3, a first fixing unit (fourth station) ST4 for curing and fixing the attached weight by ultraviolet light, and a second adjustment for dropping the adjustment weight resin on another part of the laser scan motor 4 Section (fifth station) ST5,
A second fixing unit (sixth station) ST6 for fixing and fixing this by ultraviolet light, and a checking unit (seventh station) for checking whether the adjustment of dynamic balance is appropriate after the above steps.
(Station) ST7, and an unloader (eighth station) ST8 that transfers the laser scan motor 4 that has been adjusted to the transport unit 8.

【００１５】また、前記回転テーブル２に隣接する位置
の前記ベースプレート１上には、外部の搬送手段（図示
せず）から前記回転テーブル近傍位置にまで延設されて
レーザスキャンモータ４を往復搬送するための搬送部８
が設けられ、この搬送部８には前記レーザスキャンモー
タ４を搬送部８と前記ローダ部ＳＴ１およびアンローダ
部ＳＴ８との間で１個ずつ移載させるための搬送ロボッ
ト８０１が設けられる。前記搬送部８は、延設されたレ
ール８０２上をシャトル８０３が往復移動される構成と
され、このシャトル８０３によって釣合い調整が行われ
るレーザスキャンモータ４、あるいは釣合い調整が行わ
れたレーザスキャンモータ４がレール上８０２で搬送さ
れる。また、搬送ロボット８０１については、詳細な説
明は省略するが、前記ベースフレーム１上で水平回転さ
れる回転機構８０４と、この回転機構８０４に設けられ
て上下、左右の任意に移動されるアーム８０５と、この
アーム８０５の先端部に設けられてレーザスキャンモー
タ４を握持可能なフィンガ８０６とで構成され、後述す
る制御回路１４によりその駆動が制御される。なお、図
１〜図３に符号１５で示すものは、調整作業が行われて
いる状況を赤、青等の色光で表示するための表示灯であ
る。On the base plate 1 at a position adjacent to the rotary table 2, a laser scan motor 4 is reciprocated by extending from an external transfer means (not shown) to a position near the rotary table. Transport section 8 for
The transfer unit 8 is provided with a transfer robot 801 for transferring the laser scan motor 4 one by one between the transfer unit 8 and the loader unit ST1 and the unloader unit ST8. The transport unit 8 is configured such that a shuttle 803 is reciprocated on an extended rail 802, and the laser scan motor 4 for which balance adjustment is performed by the shuttle 803 or the laser scan motor 4 for which balance adjustment is performed. Is transported on a rail 802. Although a detailed description of the transfer robot 801 is omitted, a rotating mechanism 804 that is horizontally rotated on the base frame 1 and an arm 805 that is provided on the rotating mechanism 804 and that can be moved up, down, left, and right arbitrarily. And a finger 806 provided at the distal end of the arm 805 and capable of gripping the laser scan motor 4, and its driving is controlled by a control circuit 14 described later. In addition, what is shown by the reference numeral 15 in FIGS. 1 to 3 is a display lamp for displaying a state in which the adjustment operation is being performed with color light such as red and blue.

【００１６】ここで、前記した調整装置の機能について
その概略を説明する。図５は、前記した８つのステーシ
ョンＳＴ１〜ＳＴ８の各部で行われる動釣合いの計測、
調整を概念的に示す図である。また、図６は各部にわた
る動釣合いの調整工程の概略を示すフローチャートであ
る。回転テーブル２上には弾性の測定台支持体２０３に
より測定台５がフローティング状態に支持されており、
ローダ部ＳＴ１においてこの測定台５上にレーザスキャ
ンモータ４が搭載された後、計測部ＳＴ２においてレー
ザスキャンモータ４に通電を行い、ポリゴンミラー４０
６を回転駆動する。また、測定台５には水平方向（Ｘ方
向、Ｙ方向）および垂直方向の測定台５の振動を計測す
るための加速度計５０７，５０８が付設されており、ポ
リゴンミラー４０６が回転駆動されたときに発生される
振動をそれぞれ計測する。さらに、前記測定台５にはポ
リゴンミラー４０６の回転数を検出するフォトセンサ５
１０が設けられる。そして、これら計測された振動と回
転数とに基づいて制御回路１４としてのコンピュータに
おいて演算を行い、レーザスキャンモータ４の動釣合い
を計測し、かつ必要とされる重りを付着する位置や量が
計算される。Here, the function of the above-described adjusting device will be briefly described. FIG. 5 shows the measurement of dynamic balance performed at each of the eight stations ST1 to ST8,
It is a figure which shows adjustment notionally. FIG. 6 is a flowchart showing an outline of the adjustment process of the dynamic balance over each part. The measuring table 5 is supported on the rotary table 2 in a floating state by an elastic measuring table support 203.
After the laser scan motor 4 is mounted on the measurement table 5 in the loader unit ST1, the laser scan motor 4 is energized in the measurement unit ST2, and the polygon mirror 40 is turned on.
6 is driven to rotate. Further, the measuring table 5 is provided with accelerometers 507 and 508 for measuring the vibrations of the measuring table 5 in the horizontal direction (X direction and Y direction) and the vertical direction, and when the polygon mirror 406 is driven to rotate. The vibrations generated in each are measured. Further, a photo sensor 5 for detecting the rotation speed of the polygon mirror 406 is provided on the measuring table 5.
10 are provided. The computer as the control circuit 14 performs a calculation based on the measured vibration and rotation speed, measures the dynamic balance of the laser scan motor 4, and calculates the position and amount of the required weight to be attached. Is done.

【００１７】次いで、第１調整部ＳＴ３では、２つのボ
ールネジ機構に支持されたディスペンサ１１を有してお
り、一方のボールネジ機構１１０１で樹脂シリンダ１１
０６を前後移動させ、他方のボールネジ機構１１０７で
樹脂シリンダ１１０６内の紫外線硬化性の樹脂を吐出さ
せ、ポリゴンミラー４０６の表面に樹脂を滴着させ、ポ
リゴンミラーの動釣合いを変化させる。このとき、計測
部において計算された重りの量や位置に基づいて、ポリ
ゴンミラー４０６を位置決めモータ機構１２によって回
転させ、その計算された位置をディスペンサ１１に対向
位置させた上で所要量の樹脂が滴下される。また、第１
定着部ＳＴ４では、紫外線ランプ１３０１から出射され
る紫外線を光ファイバ１３０２によりポリゴンミラー４
０６上にまで導き、滴下された樹脂に紫外線を照射して
硬化させ、定着させる。Next, the first adjusting unit ST3 has a dispenser 11 supported by two ball screw mechanisms, and one of the ball screw mechanisms 1101 controls the resin cylinder 11
06 is moved back and forth, the other ball screw mechanism 1107 causes the ultraviolet curable resin in the resin cylinder 1106 to be discharged, and the resin is dropped on the surface of the polygon mirror 406 to change the dynamic balance of the polygon mirror. At this time, the polygon mirror 406 is rotated by the positioning motor mechanism 12 based on the amount and position of the weight calculated by the measuring unit, and the calculated position is opposed to the dispenser 11. It is dripped. Also, the first
In the fixing unit ST4, the ultraviolet light emitted from the ultraviolet lamp 1301 is converted into the polygon mirror 4 by the optical fiber 1302.
06, and the resin dropped is irradiated with ultraviolet rays to be cured and fixed.

【００１８】第２調整部ＳＴ５、第２定着部ＳＴ６もそ
れぞれ同様である。ただし、同図に鎖線で示すディスペ
ンサ１１Ａによって滴着する樹脂は、ポリゴンミラー４
０６の動釣合いの反対側となるロータ４０５の表面上に
行われる。さらに、確認部ＳＴ７は、計測部と同様であ
り、レーザスキャンモータ４を回転駆動して測定台５で
の加速度を計測することで、動釣合いが適正に調整され
ているか否かが確認される。The same applies to the second adjusting section ST5 and the second fixing section ST6. However, the resin dripped by the dispenser 11A shown by a chain line in FIG.
06 on the surface of the rotor 405 opposite the dynamic balance. Further, the checking unit ST7 is the same as the measuring unit, and checks whether the dynamic balance is properly adjusted by rotating the laser scan motor 4 and measuring the acceleration on the measuring table 5. .

【００１９】そして、動釣合いが正しく調整されたレー
ザスキャンモータ４は、アンローダ部ＳＴ８において搬
送ロボット８０１により搬送部に搬出される。調整が適
正でないレーザスキャンモータ４は回転テーブル２に搭
載されたまま、再び前記した工程が繰り返される。な
お、動釣合いの調整は、前記したようにポリゴンミラー
の上面側と、このボリゴンミラーを回転駆動するための
後述するロータの上面側とに重りを着ける二面バランス
調整の他に、いずれか一方の面にのみ重りを着ける一面
バランス調整を行うこともあり、この場合には第１定着
部ＳＴ４の工程が終了した後に、第２調整部ＳＴ５と第
２定着部ＳＴ６での工程を素通りさせて確認部ＳＴ７へ
の工程に移行されることになる。Then, the laser scan motor 4 whose dynamic balance has been correctly adjusted is carried out to the transport section by the transport robot 801 in the unloader section ST8. The above-described steps are repeated again while the laser scan motor 4 that is not properly adjusted is mounted on the turntable 2. In addition, the adjustment of the dynamic balance is performed, as described above, in addition to the two-sided balance adjustment in which a weight is applied to the upper surface side of the polygon mirror and the upper surface side of the rotor to be described later for rotationally driving the polygon mirror. In some cases, one-sided balance adjustment is performed in which weight is applied only to the surface. In this case, after the process of the first fixing unit ST4 is completed, the process of the second adjusting unit ST5 and the process of the second fixing unit ST6 are passed and checked. The process is shifted to the step of the section ST7.

【００２０】ここで、本発明装置において調整が行われ
る前記したレーザスキャンモータについて説明する。図
７（ａ），（ｂ）にその平面図と断面図を示すように、
レーザスギャンユニット４は、モータベース４０１上に
回路基板４０２が配置され、この回路基板４０２を貫通
するように回転軸４０３がベアリング４０４により軸転
可能に軸支されている。この回転軸４０３の先端部には
マグネットで構成されるロータ４０５とポリゴンミラー
４０６とが軸方向に並んで軸装され、押えバネ４０７に
より回転軸４０３に固定される。また、これと反対側の
回転軸４０３の基端部には回転軸４０３にスラスト力を
付勢するための予圧バネ４０８とバネ押え板４０９が固
定されている。そして、前記回路基板４０２には前記ロ
ータ４０５に対向してコイル４１０が固定支持されてお
り、このコイル４１０と前記ロータ４０５とで回転駆動
力を発生させるモータ部が構成され、このモータ部によ
って前記回転軸４０３を回転させ、ポリゴンミラー４０
６を回転駆動させる。また、前記回路基板４０２には前
記コイル４１０に通電する電流を制御するためのＩＣ
（集積回路）４１１が搭載されるとともに、その表面の
一部にはこのＩＣに電気接続される複数のコンタクト４
１３が配列されている。このコンタクト４１３には、後
述するようにレーザスキャンモータ４を回転駆動させる
ための図外の駆動回路が電気接続される。さらに、前記
モータベース４０１と回路基板４０２には同じ位置に位
置決め穴４１４が設けられており、後述する測定台５に
立設される位置決めピン５０６が挿通される。Here, the laser scan motor, which is adjusted in the apparatus of the present invention, will be described. As shown in the plan view and the sectional view in FIGS.
In the laser scan unit 4, a circuit board 402 is disposed on a motor base 401, and a rotating shaft 403 is rotatably supported by a bearing 404 so as to penetrate the circuit board 402. A rotor 405 composed of a magnet and a polygon mirror 406 are axially mounted on the tip of the rotating shaft 403 in a line in the axial direction, and are fixed to the rotating shaft 403 by a pressing spring 407. Further, a preload spring 408 and a spring holding plate 409 for urging the rotating shaft 403 with a thrust force are fixed to the base end of the rotating shaft 403 on the opposite side. A coil 410 is fixedly supported on the circuit board 402 so as to face the rotor 405. The coil 410 and the rotor 405 constitute a motor unit for generating a rotational driving force. By rotating the rotation shaft 403, the polygon mirror 40
6 is driven to rotate. The circuit board 402 has an IC for controlling a current supplied to the coil 410.
(Integrated circuit) 411 is mounted, and a plurality of contacts 4 electrically connected to this IC are provided on a part of the surface thereof.
13 are arranged. The contact 413 is electrically connected to a drive circuit (not shown) for rotationally driving the laser scan motor 4 as described later. Further, a positioning hole 414 is provided at the same position in the motor base 401 and the circuit board 402, and a positioning pin 506 standing on the measuring table 5 described later is inserted therethrough.

【００２１】前記回転テーブル２は、図８に平面図を示
すように、台形に近い形状をした板部材で形成された８
枚の単位テーブル２０１で構成されており、各単位テー
ブル２０１は前記回転駆動機構３によって水平回転され
る回転テーブル２の中心回転板２０２の周縁に沿って等
しく配置され、それぞれの短辺部が前記中心回転板２０
２に固定され、これと共に一体的に回動される。前記単
位テーブル２０１は、図９に拡大平面図を示すように、
上面の四隅位置にそれぞれ弾性材からなる測定台支持体
２０３が固定されており、これらの支持体２０３により
後述する測定台５の四隅を支承し、測定台を単位テーブ
ル２０１上に水平に弾性支持することができる。ここで
は、支持体２０３を構成する弾性材として内部に多数の
気泡を形成したゴムスポンジを用いており、その上面に
は測定台の角部を受け入れるための角溝２０４が形成さ
れ、また底面には支持片２０５が接着され、この支持片
２０５を回転テーブル２にネジ止めすることでその固定
を行っている。As shown in a plan view of FIG. 8, the rotary table 2 is formed of a plate member having a shape close to a trapezoid.
Each of the unit tables 201 is equally arranged along the periphery of the center rotary plate 202 of the rotary table 2 horizontally rotated by the rotary drive mechanism 3, and each short side portion is Center rotating plate 20
2 and is integrally rotated therewith. As shown in the enlarged plan view of FIG.
Measuring table supports 203 made of an elastic material are fixed to the four corner positions on the upper surface, respectively, and support the four corners of the measuring table 5 described later by these supports 203, and the measuring table is elastically supported horizontally on the unit table 201. can do. Here, a rubber sponge in which a large number of air bubbles are formed is used as an elastic material constituting the support 203, and a square groove 204 for receiving a corner of the measuring table is formed on the upper surface, and a rubber groove is formed on the bottom surface. The support piece 205 is adhered, and the support piece 205 is fixed to the turntable 2 by screws.

【００２２】また、支持される測定台５の直下に相当す
る領域には、後述する昇降機構６の位置決めピン、高さ
規制ピンが上下に挿通されるための６個のピン挿通穴２
０６が開口されている。さらに支持される測定台の側縁
に相当する位置には、測定台に対して柔軟なコード２１
９により電気配線された接点板２０７が固定されてお
り、この接点板２０７の表面には４個のセンサ用接点２
０８と２個の加速度計用接点２０９が形成されている。
また、前記回転テーブル２上には、前記接点板２０７に
隣接してロック機構２１０が設けられている。このロッ
ク機構２１０は、水平方向に移動可能に支持されたロッ
クピン２１１と、このロックピン２１１を測定台側に移
動させるためのレバー２１２と、このレバー２１２を退
避位置に付勢するためのバネ２１３とを備えており、後
述するロックシリンダによりレバー２１２をバネ２１３
力に抗して回動させることで、ロックピン２１１を測定
台方向に向けて移動させ、後述するように測定台に設け
たロック孔に嵌入されることができる。In a region corresponding to a position directly below the supported measuring table 5, six pin insertion holes 2 for vertically inserting a positioning pin and a height regulating pin of a lifting mechanism 6 to be described later.
06 is open. Further, at a position corresponding to the side edge of the supported measuring table, a flexible cord 21 for the measuring table is provided.
9, a contact plate 207 electrically wired is fixed, and four contact points 2 for sensors are provided on the surface of the contact plate 207.
08 and two accelerometer contacts 209 are formed.
A lock mechanism 210 is provided on the turntable 2 adjacent to the contact plate 207. The lock mechanism 210 includes a lock pin 211 supported movably in the horizontal direction, a lever 212 for moving the lock pin 211 to the measurement table side, and a spring for urging the lever 212 to the retracted position. 213, and the lever 212 is moved by a spring 213 by a lock cylinder described later.
By rotating against the force, the lock pin 211 can be moved in the direction of the measuring table, and can be fitted into a lock hole provided in the measuring table as described later.

【００２３】前記したレーザスキャンモータ４を搭載す
る測定台５は、図１０（ａ），（ｂ），（ｃ）にその平
面図、一部を破断した正面図、右側面図をそれぞれ示す
ように、回転テーブル２の測定台支持体２０３により四
隅が支持されて回転テーブル２上で略水平にかつ弾性的
に支持される矩形の板部材で構成される。この測定台５
には前記回転テーブル２のピン挿通穴２０６を下方から
上方に向けて貫通された後述する昇降機構の位置決めピ
ンの先端に嵌合されるブッシュ５０１を有する位置決め
穴５０２が開設される。また、測定台５の略中央には円
形の凹部５０３が形成され、この凹部５０３の内底面に
は円環状の永久磁石５０４を固定円板５０５により支持
している。この凹部５０３は、前記レーザスキャンモー
タ４の回転軸４０３の基端部を受け入れることができ、
その状態ではこの回転軸４０３の基端部に取着されてい
るバネ押え板４０９を永久磁石５０４によって磁着し、
レーザスキャンモータ４を測定台５上に固定的に支持さ
せる。また、この凹部５０３から離れた位置の測定台５
の表面には位置決めピン５０６が立設されており、レー
ザスキャンモータ４に開設された前記位置決め穴４１４
に嵌入され、レーザスキャンモータ４が測定台５上で回
転方向に移動されることを防止する。FIG. 10A, FIG. 10B, and FIG. 10C show a plan view, a partially cutaway front view, and a right side view of the measuring table 5 on which the laser scan motor 4 is mounted. In addition, the rotary table 2 is formed of a rectangular plate member whose four corners are supported by the measuring table support 203 and which is supported substantially horizontally and elastically on the rotary table 2. This measuring table 5
A positioning hole 502 having a bush 501 fitted to the tip of a positioning pin of an elevating mechanism, which will be described later, penetrates the pin insertion hole 206 of the turntable 2 upward from below. A circular recess 503 is formed substantially at the center of the measuring table 5, and an annular permanent magnet 504 is supported by a fixed disk 505 on the inner bottom surface of the recess 503. The recess 503 can receive the base end of the rotation shaft 403 of the laser scan motor 4,
In this state, the spring holding plate 409 attached to the base end of the rotating shaft 403 is magnetically attached by the permanent magnet 504,
The laser scan motor 4 is fixedly supported on the measuring table 5. Further, the measuring table 5 at a position away from the concave portion 503
A positioning pin 506 is provided upright on the surface of the laser scanning motor 4.
To prevent the laser scan motor 4 from moving in the rotational direction on the measuring table 5.

【００２４】さらに、測定台５には、測定台５に生じる
水平方向の加速度と、垂直方向に生じる加速度をそれぞ
れ測定するための加速度計５０７，５０８が固定支持さ
れている。さらに、前記凹部５０３に隣接する位置の測
定台５の表面には、センサ基板５０９が立設されてお
り、ここに反射型のフォトセンサ５１０が支持される。
このフォトセンサ５１０は、測定台５に搭載されるレー
ザスキャンモータ４のロータ４０５の周側面に対向する
ようにその支持位置が特定されており、ロータ４０５の
周側面の円周一部に形成されているマーク４１２を光学
的に検出し、この検出結果からロータ４０５の回転数や
回転位置等の回転状態を検出する。Further, the measuring table 5 is fixedly supported with accelerometers 507 and 508 for measuring the horizontal acceleration generated on the measuring table 5 and the acceleration generated in the vertical direction, respectively. Further, a sensor substrate 509 is provided upright on the surface of the measuring table 5 at a position adjacent to the concave portion 503, and a reflective photosensor 510 is supported here.
The support position of the photosensor 510 is specified so as to face the peripheral side surface of the rotor 405 of the laser scan motor 4 mounted on the measuring table 5, and the photosensor 510 is formed on a part of the peripheral side surface of the rotor 405. The detected mark 412 is optically detected, and from this detection result, the rotation state of the rotor 405, such as the number of rotations and the rotation position, is detected.

【００２５】また、測定台５の他の一部には、強磁性体
で形成されたロック片５１１がネジにより固定される。
このロック片５１１には測定台５の側面方向に向けてロ
ック孔５１２が開設されており、測定台５が前記回転テ
ーブル２上に支持されたときには回転テーブル２の前記
ロックピン２１１に対向位置される。そして、このロッ
クピン２１１がバネ２１３の弾性力に抗して突出動作さ
れたときに、ロックピン２１１の先端がロック孔５１２
に嵌入され、測定台５を回転テーブル２に対して一体的
に固定させる。また、このロック片５１１の一部は測定
台５の表面に露呈されて磁着部５１３として構成されて
おり、かつその両側には一対の小ピン５１４が立設され
ており、後述するコンタクトピン取付台が磁着部５１３
に磁力で吸着されたときにコンタクトピン取付台の位置
決めを行う。A lock piece 511 made of a ferromagnetic material is fixed to another part of the measuring table 5 by a screw.
A lock hole 512 is formed in the lock piece 511 toward the side surface of the measuring table 5. When the measuring table 5 is supported on the turntable 2, the lock hole 512 is opposed to the lock pin 211 of the turntable 2. You. When the lock pin 211 is protruded against the elastic force of the spring 213, the tip of the lock pin 211 is locked in the lock hole 512.
And the measuring table 5 is integrally fixed to the rotary table 2. Further, a part of the lock piece 511 is exposed on the surface of the measuring table 5 to form a magnetically attached portion 513, and a pair of small pins 514 is provided on both sides thereof. Mounting base is magnetically attached 513
The contact pin mounting base is positioned when it is attracted by magnetic force.

【００２６】ここで、前記測定台５を単位テーブル２０
１、すなわち回転テーブル２に対して一体化させ、或い
は回転テーブル２上でフローティング支持状態とさせる
ことを切り替えるための昇降機構６を説明する。図１１
はその下降時の状態を示す正面図、図１２は上昇時の状
態を示す正面図であり、前記ベースフレーム１の下部に
は、ピストンロッド６０２を上下移動させるエアシリン
ダ６０１が固定され、このピストンロッド６０２に水平
配置した昇降板６０３が固定される。この昇降板６０３
には、回転テーブル２に開設したピン挿通穴２０６を挿
通される４本の位置規制ピン６０４と２本の位置決めピ
ン６０５が立設されている。前記位置決めピン６０５の
上端部は、前記測定台５の位置決め穴５０２のブッシュ
５０１内に嵌入し得るように細くされ、かつ位置規制ピ
ン６０４よりも測定台５の厚さ分だけ上方に長く形成さ
れている。また、位置規制ピン６０４の上端面は測定台
５の下面を支承するように平坦化されている。なお、前
記昇降板６０３は、上下に対向配置されるベースプレー
ト６０８とアッパープレート６０９とを連結するガイド
ポスト６０７により案内されて上下移動される。Here, the measuring table 5 is connected to the unit table 20.
1, that is, an elevating mechanism 6 for switching between being integrated with the turntable 2 or being in a floating support state on the turntable 2 will be described. FIG.
FIG. 12 is a front view showing a state in which the piston rod is lowered, and FIG. 12 is a front view showing a state in which the piston rod is raised. An air cylinder 601 for vertically moving a piston rod 602 is fixed to a lower portion of the base frame 1. An elevating plate 603 horizontally arranged on the rod 602 is fixed. This lifting plate 603
, Four position regulating pins 604 and two positioning pins 605 that are inserted through the pin insertion holes 206 formed in the rotary table 2 are provided upright. The upper end of the positioning pin 605 is so thin that it can fit into the bush 501 of the positioning hole 502 of the measuring table 5 and is formed to be longer than the position regulating pin 604 by the thickness of the measuring table 5. ing. The upper end surface of the position regulating pin 604 is flattened so as to support the lower surface of the measuring table 5. The elevating plate 603 is moved up and down while being guided by guide posts 607 connecting the base plate 608 and the upper plate 609 which are arranged vertically opposite to each other.

【００２７】この昇降機構６では、エアシリンダ６０１
によりピストンロッド６０２が上昇されると、これと一
体に昇降板６０３が上昇され、昇降板６０３に立設した
位置規制ピン６０４と位置決めピン６０５が上昇され
る。そして、これらのピンは回転テーブル２に設けられ
ているピン挿通穴２０６を下方から上方に挿通され、位
置決めピン６０５の上端部が測定台５の位置決め穴５０
２のブッシュ５０１に嵌入して測定台５の平面方向の位
置決めを行う。また、位置規制ピン６０４の先端面は測
定台５の下面に当接されて測定台５を支承し、この位置
規制ピン６０４の上昇によって測定台５を回転テーブル
２上の所定の高さ位置、すなわち測定台５が通常におい
て測定台支持体２０３により支持されている高さ位置よ
りも高い位置に持ち上げてその位置を固定させる。な
お、この昇降板６０３の上限位置はピストンロッド６０
２の先端が、ベースフレーム１の一部に設けられたスト
ッパ６０６に当接することで規制される。The lifting mechanism 6 includes an air cylinder 601
When the piston rod 602 is moved upward, the elevating plate 603 is raised integrally therewith, and the position regulating pins 604 and the positioning pins 605 erected on the elevating plate 603 are raised. These pins are inserted upward from below through pin insertion holes 206 provided in the rotary table 2, and the upper ends of the positioning pins 605 are positioned in the positioning holes 50 of the measuring table 5.
The measurement table 5 is positioned in the plane direction by being fitted into the second bush 501. Further, the distal end surface of the position regulating pin 604 is in contact with the lower surface of the measuring table 5 to support the measuring table 5, and the measuring table 5 is moved up to a predetermined height position on the rotary table 2 by raising the position regulating pin 604. That is, the measuring table 5 is lifted to a position higher than the height position normally supported by the measuring table support 203, and the position is fixed. The upper limit position of the elevating plate 603 is
2 is regulated by abutting a stopper 606 provided on a part of the base frame 1.

【００２８】また、前記第２ステーションＳＴ２、第７
ステーションＳＴ７、および第８ステーションＳＴ８に
おける前記ベースフレーム１の下部には、図１３に正面
図を示すように、前記回転テーブル２に設けられたロッ
ク機構２１０を駆動するためのロック駆動機構７が設け
られる。このロック駆動機構７は、エアシリンダ７０１
が上方に向けて支柱により支持されており、このエアシ
リンダ７０１が駆動されてプランジャ７０２が上方に向
け突出されたときには、回転テーブル２に設けたロック
機構２１０のレバー２１２を上方に押圧することでロッ
クピン２１１を測定台５のロック孔５１２に嵌入させる
動作を行う。このロック動作により、後述するコンタク
トピン取付台を測定台５から持ち上げる際やレーザスキ
ャンモータ４を測定台５から持ち上げる際に、回転テー
ブル２上の測定台５が回転テーブル２から持ち上げられ
ないようにすることが可能となる。The second station ST2, the seventh station
As shown in the front view of FIG. 13, a lock drive mechanism 7 for driving a lock mechanism 210 provided on the turntable 2 is provided below the base frame 1 in the stations ST7 and ST8. Can be The lock drive mechanism 7 is provided with an air cylinder 701
When the air cylinder 701 is driven and the plunger 702 protrudes upward, the lever 212 of the lock mechanism 210 provided on the rotary table 2 is pressed upward. An operation of fitting the lock pin 211 into the lock hole 512 of the measuring table 5 is performed. This locking operation prevents the measuring table 5 on the rotary table 2 from being lifted from the rotary table 2 when a contact pin mounting table to be described later is lifted from the measuring table 5 or when the laser scan motor 4 is lifted from the measuring table 5. It is possible to do.

【００２９】次に、前記した各ステーションに構成され
た各部の詳細を個々に説明する。 （第１ステーション：ローダ部）ローダ部ＳＴ１では、
図１４にフローチャートを示すように、回転テーブル２
上に載置されている測定台５上に、搬送ロボット８０１
により調整が行われるレーザスキャンモータ４が搭載さ
れる。このレーザスキャンモータ４は、搬送部８におい
て、図外の外部供給源からレール８０２上を移動される
シャトル８０３によって搬送ロボット８０１の位置にま
で搬送された上で、搬送ロボット８０１のフィンガ８０
６に握持され、アーム８０５と回転機構８０４との関連
された動作によって行われる。Next, the details of each unit configured in each station described above will be individually described. (First Station: Loader Unit) In the loader unit ST1,
As shown in the flowchart of FIG.
The transfer robot 801 is placed on the measurement table 5
The laser scan motor 4 for which the adjustment is performed is mounted. The laser scan motor 4 is transported to a position of the transport robot 801 by a shuttle 803 moved on a rail 802 from an external supply source (not shown) in the transport unit 8, and then the fingers 80 of the transport robot 801 are moved.
6 and is performed by an associated operation of the arm 805 and the rotation mechanism 804.

【００３０】このとき、測定台５を回転テーブル２の上
に安定に保持するために、前記昇降機構６のエアシリン
ダ６０１が駆動され、昇降板６０３が上昇される。これ
により、４本の位置規制ピン６０４と２本の位置決めピ
ン６０５が上昇され、前記したように２本の位置決めピ
ン６０５の上端部が測定台５の位置決め穴５０２に侵入
されてその平面位置が規制される。また、これと同時に
４本の位置規制ピン６０４の上端面が測定台５の下面に
当接されて、これを持ち上げるため、測定台５はこれら
位置規制ピン６０４によってその下面が支承され、安定
かつ強固な状態で保持される。この状態で前記搬送ロボ
ット８０１がレーザスキャンモータ４を測定台の上にま
で搬送し、測定台５の上に載置する。この状態は図１５
（ａ），（ｂ）の平面図と正面図に示す通りであり、搬
送ロボット８０１がレーザスキャンモータ４を高精度に
位置管理していることにより、レーザスキャンモータ４
はモータベース４０１の下方に突出された部分が測定台
５の凹部５０３に嵌入され、円環状の永久磁石５０４が
ロータ４０５に設けられたバネ押え板４０９を磁着す
る。なお、この測定台５は回転テーブル２上に搭載され
ており、その状態を図１６の平面図に示す。At this time, in order to stably hold the measuring table 5 on the rotary table 2, the air cylinder 601 of the lifting mechanism 6 is driven, and the lifting plate 603 is raised. As a result, the four positioning pins 604 and the two positioning pins 605 are raised, and the upper ends of the two positioning pins 605 enter the positioning holes 502 of the measuring table 5 as described above, and the plane positions thereof are changed. Be regulated. At the same time, the upper end surfaces of the four position control pins 604 are brought into contact with the lower surface of the measuring table 5 to lift it, so that the lower surface of the measuring table 5 is supported by these position restricting pins 604, and is stable and stable. It is held in a strong state. In this state, the transfer robot 801 transfers the laser scan motor 4 to a position above the measurement table and places it on the measurement table 5. This state is shown in FIG.
As shown in the plan view and the front view of (a) and (b), since the transfer robot 801 manages the position of the laser scan motor 4 with high accuracy, the laser scan motor 4
The portion protruding below the motor base 401 is fitted into the concave portion 503 of the measuring table 5, and the annular permanent magnet 504 magnetically attaches the spring pressing plate 409 provided on the rotor 405. The measuring table 5 is mounted on the turntable 2, and its state is shown in a plan view of FIG.

【００３１】（第２ステーション：計測部）動釣合いの
計測部ＳＴ２では、図１７（ａ），（ｂ）に正面図と側
面図を示すように、回転テーブル２の上方領域に２つの
通電機構９が設けられる。第１の通電機構は回転テーブ
ル２上の領域において前記ベースフレーム１上に構築さ
れたアッパーフレーム１０１に下方に向けられて支持さ
れたエアシリンダ９０１と、このエアシリンダ９０１の
下端から突出動作されるピストンロッド９０２の先端に
固定された接点構体９０３とで構成される。この接点構
体９０３は絶縁性の支持体９０６に４本の固定接点ピン
９０４と、２本の伸縮接点ピン９０５とが下方に向けて
突出支持されており、これらは前記制御回路１４に電気
接続されている。そして、これらの固定接点ピン９０４
と伸縮接点ピン９０５は、前記エアシリンダ９０１の動
作により支持体９０６が下方に移動されたときに、それ
ぞれ回転テーブル２に設けられている接点板２０７の４
個のセンサ用接点２０８と２個の加速度計用接点２０９
にそれぞれ接触し、相互に電気接続される。(Second Station: Measuring Unit) In the dynamic balancing measuring unit ST2, as shown in the front view and the side view in FIGS. 9 are provided. The first energizing mechanism is operated by an air cylinder 901 supported downwardly by an upper frame 101 built on the base frame 1 in a region on the rotary table 2 and protruding from a lower end of the air cylinder 901. And a contact structure 903 fixed to the tip of the piston rod 902. In this contact structure 903, four fixed contact pins 904 and two extendable contact pins 905 are supported by an insulating support 906 so as to project downward, and these are electrically connected to the control circuit 14. ing. Then, these fixed contact pins 904
When the support 906 is moved downward by the operation of the air cylinder 901, the contact plate 905 of the contact plate 207 provided on the rotary table 2 respectively.
Sensor contacts 208 and two accelerometer contacts 209
And are electrically connected to each other.

【００３２】なお、前記伸縮接点ピン９０５は、図１８
に示すように、一対の筒状の絶縁筒９０７によって絶縁
支持された同心構造の内接触子９０８と外接触子９０９
とで構成され、内接触子９０８は絶縁筒９０７の内部に
軸方向に移動可能に内装され、同じく絶縁筒９０７の内
部に弾装された小径コイルスプリング９１０によりその
突出方向に付勢される。また、外接触子９０９は絶縁筒
９０７と一体に形成されており、その外周面には取付ス
リーブ９１１が嵌挿され、外接触子９０９に設けたスト
ッパ９１２によりその脱落が防止されるとともに、外接
触子９０９の外周部に嵌装した大径コイルスプリング９
１３により外接触子９０９に対して相対的に軸移動可能
とされている。したがって、この取付スリーブ９１１を
前記支持体９０６に固定支持させれば、支持体９０６に
対して外接触子９０９が大径コイルスプリング９１３の
弾性力によって先端方向に突出するように付勢され、さ
らにこの外接触子９１３に対して内接触子９０８が小径
コイルスプリング９１０によって突出方向に付勢され、
これらの付勢力によって外接触子９０９と内接触子９０
８のそれぞれが同時に前記接点板２０７の加速度計用接
点２０９に電気接続されることになる。Note that the expansion / contraction contact pin 905 is
As shown in the figure, an inner contact 908 and an outer contact 909 having a concentric structure insulated and supported by a pair of cylindrical insulating cylinders 907.
The inner contact 908 is provided inside the insulating cylinder 907 so as to be movable in the axial direction, and is urged in the protruding direction by a small-diameter coil spring 910 similarly elastically mounted inside the insulating cylinder 907. Further, the outer contact 909 is formed integrally with the insulating tube 907, and a mounting sleeve 911 is inserted into the outer peripheral surface of the outer contact 909. The stopper 912 provided on the outer contact 909 prevents the outer contact 909 from dropping off. Large-diameter coil spring 9 fitted on the outer periphery of contact 909
13 allows the shaft to move relative to the outer contact 909. Therefore, if the mounting sleeve 911 is fixedly supported by the support 906, the outer contact 909 is urged against the support 906 by the elastic force of the large-diameter coil spring 913 so as to protrude in the distal direction. The inner contact 908 is urged against the outer contact 913 in the projecting direction by the small-diameter coil spring 910,
The outer contact 909 and the inner contact 90 are caused by these urging forces.
8 are simultaneously electrically connected to the accelerometer contacts 209 of the contact plate 207.

【００３３】また、前記接点板２０７は前記した通りで
あるが、図１９にその断面構造を示すように絶縁性の基
板２１４に４個の面接触接点構造のセンサ用接点２０８
と、２個の筒状接触接点構造の加速度計用接点２０９が
形成されている。前記絶縁性の基板２１４は枠状のスペ
ーサ２１５で周辺部が補強されており、前記回転テーブ
ル２の表面一部にネジ等により固定される。ここで、前
記加速度計用接点２０９は、絶縁筒２１６を挟んで内接
点２１７と外接点２１８が同軸に設けられており、前記
伸縮接点ピン９０５の内接触子９０８と外接触子９０９
がそれぞれ接触して電気接続される。そして、前記セン
サ用接点２０８は柔軟なコード２１９により測定台５の
フォトセンサ５１０に電気接続され、同じく加速度計用
接点２０９は柔軟な同軸コード２２０により測定台５の
２つの加速度計５０７，５０８にそれぞれ電気接続され
る。The contact plate 207 is the same as described above, but as shown in FIG. 19, a sensor contact 208 having four surface contact contact structures is provided on an insulating substrate 214.
And two accelerometer contacts 209 having a cylindrical contact contact structure. The insulating substrate 214 has its peripheral portion reinforced by a frame-shaped spacer 215, and is fixed to a part of the surface of the turntable 2 with screws or the like. Here, the accelerometer contact 209 has an inner contact 217 and an outer contact 218 provided coaxially with an insulating tube 216 interposed therebetween, and an inner contact 908 and an outer contact 909 of the telescopic contact pin 905.
Are electrically connected to each other. The contact 208 for the sensor is electrically connected to the photosensor 510 of the measuring table 5 by a flexible cord 219, and the contact 209 for the accelerometer is similarly connected to the two accelerometers 507 and 508 of the measuring table 5 by a flexible coaxial cord 220. Each is electrically connected.

【００３４】また、図２０（ａ），（ｂ）に正面図と側
面図を示すように、前記通電機構９の第２の通電機構と
して、前記エアシリンダ９０１と並列に別のエアシリン
ダ９１４がアッパフレーム１０１に支持されており、下
方に向けられたピストンロッド９１５の下端部には電気
信号に基づいて開閉動作される一対のジョー９１７を備
えるチャック９１６が設けられており、このチャック９
１６には、コンタクトピン取付台９１８が挟持される。
このコンタクトピン取付台９１８は、図２１（ａ），
（ｂ）の正面図と側面図のように、下面に永久磁石９１
９を有する逆Ｌ字型の絶縁体９２０を有しており、この
絶縁体９２０には複数本のコンタクトピン９２１が下方
に向けて突出支持されている。また、絶縁体９２０の下
面の両側部には、前記測定台５のロック片５１１の両側
に立設された小ピン５１４が嵌合される嵌合孔９２２が
あけられている。前記コンタクトピン９２１はその上端
において図外のコードにより前記レーザスキャンモータ
４を回転駆動させるための駆動回路（図示せず）に電気
接続されている。そして、このコンタクトピン取付台９
１８は、ピストンロッド９１５が下降されたときに、そ
の下面の永久磁石９１９が測定台５のロック片５１１に
磁力で吸着し、かつ２つの嵌合孔９２２がそれぞれ小ピ
ン５１４に嵌合されることで、測定台５上に固定的に立
設される。そして、図２２（ａ），（ｂ）のように、チ
ャック９１６を開動作させ、ピストンロッド９１５を上
昇させると、図２３（ａ），（ｂ），（ｃ）に平面図、
正面図、左側面図を示すように、絶縁体９２０は測定台
５の上面に立設された状態が保持され、かつこの立設さ
れた状態では各コンタクトピン９２１がレーザスキャン
モータ４の回路基板４０２に設けられているコンタクト
４１３にそれぞれ接触し、相互に電気接続が行われる。As shown in the front view and the side view in FIGS. 20 (a) and 20 (b), another air cylinder 914 is provided in parallel with the air cylinder 901 as a second power supply mechanism of the power supply mechanism 9. A chuck 916 having a pair of jaws 917 that are supported by the upper frame 101 and that are opened and closed based on an electric signal is provided at a lower end of the piston rod 915 that is directed downward.
The contact pin mounting base 918 is sandwiched between 16.
This contact pin mounting base 918 is formed as shown in FIG.
As shown in the front and side views of FIG.
9 has an inverted L-shaped insulator 920, and a plurality of contact pins 921 are supported by the insulator 920 so as to protrude downward. In addition, fitting holes 922 for fitting small pins 514 erected on both sides of the lock piece 511 of the measuring table 5 are formed on both sides of the lower surface of the insulator 920. The contact pin 921 is electrically connected at its upper end to a drive circuit (not shown) for rotating the laser scan motor 4 by a code (not shown). And, this contact pin mounting base 9
18, when the piston rod 915 is lowered, the permanent magnet 919 on the lower surface thereof is magnetically attracted to the lock piece 511 of the measuring table 5 and the two fitting holes 922 are fitted to the small pins 514, respectively. As a result, it is fixedly erected on the measuring table 5. Then, as shown in FIGS. 22 (a) and 22 (b), when the chuck 916 is opened and the piston rod 915 is raised, FIGS. 23 (a), (b) and (c) show plan views.
As shown in the front view and the left side view, the insulator 920 is held upright on the upper surface of the measuring table 5, and in this upright state, each contact pin 921 is connected to the circuit board of the laser scan motor 4. The contacts 413 provided on the contact 402 are electrically connected to each other.

【００３５】また、この計測部ＳＴ２では、図４に示さ
れているように、回転テーブル２に臨むベースフレーム
１にエアブレーキ１０が配置される。このエアブレーキ
１０は、レーザスキャンモータ４のポリゴンミラー４０
６の側面に対して、しかもその回転中心に対してポリゴ
ンミラーの回転方向に偏心させた位置にその先端を向け
たノズル１００１を有しており、このノズル１００１か
ら圧縮空気を吐出してポリゴンミラー４０６の側面に吹
きつけるように構成される。このエアブレーキ１０は、
レーザスキャンモータ４の動釣合いを計測した後に、モ
ータ部への電源供給を停止した後にも慣性によって回転
されるポリゴンミラー４０６の回転にブレーキをかけ、
ポリゴンミラー４０６及びロータ４０５を短時間で回転
停止させることが可能となる。In the measuring section ST2, as shown in FIG. 4, an air brake 10 is disposed on the base frame 1 facing the rotary table 2. The air brake 10 is provided with a polygon mirror 40 of the laser scan motor 4.
6 has a nozzle 1001 whose tip is directed to a position eccentric to the rotation direction of the polygon mirror with respect to the side surface of the polygon mirror, and discharges compressed air from the nozzle 1001 to form the polygon mirror. 406 is configured to be sprayed on the side surface. This air brake 10
After measuring the dynamic balance of the laser scan motor 4, a brake is applied to the rotation of the polygon mirror 406 which is rotated by inertia even after the power supply to the motor unit is stopped,
The rotation of the polygon mirror 406 and the rotor 405 can be stopped in a short time.

【００３６】この計測部ＳＴ２での動作は、図２４にフ
ローチャートを示すように、レーザスキャンモータ４を
搭載した測定台５が回転テーブル２と共に第２ステーシ
ョン位置に回転位置されると、昇降機構６が上昇し、ロ
ーダ部ＳＴ１の場合と同様に測定台５を測定台支持体２
０３の上方に持ち上げて安定支持させる。ついで、第１
通電機構のエアシリンダ９０１が下降動作され、下降さ
れた接点構体９０３が回転テーブル２の接点板２０７に
接触され、センサ用接点２０８と加速度計用接点２０９
にそれぞれ固定、伸縮の各接点ピン９０４，９０５が接
触され、測定台５のフォトセンサ５１０と加速度計５０
７，５０８がそれぞれ外部の制御回路１４に電気接続さ
れる。また、同時に第２通電機構のエアシリンダ９１４
が下降動作され、コンタクトピン取付台９１８が測定台
５のロック片５１１に磁着される。エアシリンダ９１４
のジョー９１７を開閉するチャック９１６を開き、エア
シリンダ９１４を上昇させる。コンタクトピン取付台９
１８に設けたコンタクトピン９２１がレーザスキャンモ
ータ４のコンタクト４１３に接触され、モータ部を構成
するコイル４１０が制御回路１４に電気接続される。し
かる上で、昇降装置６が下降すると、測定台５はレーザ
スキャンモータ４と共に回転テーブル２の測定台支持体
２０３のみによって支持されるため、回転テーブル２上
で水平および垂直方向に比較的に自由に移動可能な、い
わゆるフローティング状態に支持される。The operation of the measuring section ST2 is as follows. As shown in the flowchart of FIG. 24, when the measuring table 5 on which the laser scan motor 4 is mounted is rotated to the second station position together with the rotary table 2, the lifting mechanism 6 Rises, and the measuring table 5 is moved to the measuring table support 2 as in the case of the loader section ST1.
Lift up above 03 to support it stably. Then, first
The air cylinder 901 of the energizing mechanism is lowered, and the lowered contact structure 903 is brought into contact with the contact plate 207 of the turntable 2, and the sensor contact 208 and the accelerometer contact 209.
The fixed and expandable contact pins 904 and 905 are respectively brought into contact with the photo sensor 510 and the accelerometer 50 of the measuring table 5.
7, 508 are electrically connected to the external control circuit 14, respectively. At the same time, the air cylinder 914 of the second energizing mechanism
Is moved downward, and the contact pin mounting base 918 is magnetically attached to the lock piece 511 of the measuring base 5. Air cylinder 914
The chuck 916 for opening and closing the jaw 917 is opened, and the air cylinder 914 is raised. Contact pin mount 9
The contact pin 921 provided on the contact 18 is in contact with the contact 413 of the laser scan motor 4, and the coil 410 constituting the motor section is electrically connected to the control circuit 14. Then, when the elevating device 6 is lowered, the measuring table 5 is supported only by the measuring table support 203 of the rotary table 2 together with the laser scan motor 4, so that the measuring table 5 is relatively free in the horizontal and vertical directions on the rotary table 2. , And is supported in a so-called floating state.

【００３７】次いで、コンタクトピン９２１からレーザ
スキャンモータ４に駆動電流を供給すると、レーザスキ
ャンモータ４のモータ部が回転を開始し、ポリゴンミラ
ー４０６とロータ４０５が回転される。そして、所要の
回転速度で所定時間の回転を行い、そのときにレーザス
キャンモータ４に生じる垂直方向、水平方向の加速度は
そのままレーザスキャンモータ４を一体に支持している
測定台５に生じるため、これを測定台５に設けた加速度
計５０７，５０８により計測する。これらの加速度計の
計測出力は、接点板２０７の２個の加速度計用接点２０
９により外部の制御回路１４に出力される。また、その
際のポリゴンミラー４０６の回転速度は、反射型フォト
センサ５１０がロータ４０５の周面一部に設けられてい
るマーク４１２を光学的に検出し、この検出出力を接点
板２０７の４個のセンサ用接点２０８により外部の制御
回路１４に出力し、制御回路１４においてマーク４１２
の検出回数をカウントすることにより行われる。そし
て、制御回路１４内のコンピュータでは、垂直、水平の
加速度と、その際の回転速度からレーザスキャンモータ
４における動釣合いの不釣合い状態を計測し、さらにこ
れからこの不釣合いを修正するために、ポリゴンミラー
４０６あるいはロータ４０５のいずれの位置にどの程度
の重量の樹脂を釣合い調整用の重りとして滴着すればよ
いのかを計算する。Next, when a drive current is supplied from the contact pins 921 to the laser scan motor 4, the motor section of the laser scan motor 4 starts rotating, and the polygon mirror 406 and the rotor 405 are rotated. Then, rotation is performed for a predetermined time at a required rotation speed, and vertical and horizontal accelerations that occur in the laser scan motor 4 at that time are directly generated in the measurement table 5 that integrally supports the laser scan motor 4. This is measured by accelerometers 507 and 508 provided on the measuring table 5. The measurement output of these accelerometers is the two accelerometer contacts 20 on the contact plate 207.
9 to the external control circuit 14. At this time, the rotation speed of the polygon mirror 406 is determined by the reflection type photo sensor 510 optically detecting the mark 412 provided on a part of the peripheral surface of the rotor 405, and outputting the detected output to the four contact plates 207. Is output to the external control circuit 14 by the sensor contact 208 of
Is performed by counting the number of times of detection. Then, the computer in the control circuit 14 measures the imbalance state of the dynamic balance in the laser scan motor 4 from the vertical and horizontal accelerations and the rotation speed at that time, and further corrects this imbalance by using a polygon. A calculation is performed to determine the position of the mirror 406 or the rotor 405 and the weight of the resin to be dropped as a balance adjustment weight.

【００３８】その後、再び昇降機構６が上昇し、再び測
定台５を安定に保持させる。そして、エアブレーキ１０
により圧縮空気をポリゴンミラー４０６の周面に吹きつ
け、ポリゴンミラー４０６の回転を短時間で停止させ
る。そして、前記エアシリンダ９０１を上昇させて接点
構体９０３を上方に持ち上げ、接点板２０７から取り外
す。同時にエアシリンダ９１４が下降し、チャック９１
６を閉じ、コンタクトピン取付台９１８をはさみ、エア
シリンダ９１４を上昇させてコンタクトピン取付台９１
８を上方に持ち上げ、コンタクト４１３から取り外す。
このとき、図２５の状態からロック駆動機構７のエアシ
リンダ７０１が動作され、プランジャ７０２が上昇され
てロック機構２１０のレバー２１２をバネ２１３力に抗
して図示反時計方向に回動させ、ロックピン２１１を測
定台５のロック孔５１２に嵌入させる。これにより、コ
ンタクトピン取付台９１８の永久磁石９１９によってコ
ンタクトピン取付台９１８と共に測定台５が一体的に上
方向に持ち上げられることが防止される。その後、ロッ
ク駆動機構７が図２５の状態に復帰され、かつ昇降機構
６が下降されることで測定台５は測定台支持体２０３に
よって支持される状態となり、計測前の状態に戻され
る。Thereafter, the elevating mechanism 6 moves up again, and the measuring table 5 is again held stably. And the air brake 10
Thus, the compressed air is blown onto the peripheral surface of the polygon mirror 406, and the rotation of the polygon mirror 406 is stopped in a short time. Then, the air cylinder 901 is raised to lift the contact structure 903 upward, and is removed from the contact plate 207. At the same time, the air cylinder 914 descends, and the chuck 91
6 is closed, the contact pin mounting base 918 is sandwiched, and the air cylinder 914 is raised to raise the contact pin mounting base 91.
8 is lifted upward and removed from the contact 413.
At this time, the air cylinder 701 of the lock drive mechanism 7 is operated from the state shown in FIG. 25, and the plunger 702 is raised to rotate the lever 212 of the lock mechanism 210 counterclockwise in the drawing against the force of the spring 213 to lock the lock. The pin 211 is fitted into the lock hole 512 of the measuring table 5. Thus, the measurement table 5 is prevented from being integrally lifted together with the contact pin mounting base 918 by the permanent magnet 919 of the contact pin mounting base 918. Thereafter, the lock drive mechanism 7 is returned to the state of FIG. 25, and the elevating mechanism 6 is lowered, whereby the measurement table 5 is supported by the measurement table support 203, and returned to the state before measurement.

【００３９】（第３ステーション：第１調整部）第１調
整部ＳＴ３には、樹脂をレーザスキャンモータに対して
滴着してその釣合いを調整するためのディスペンサ１１
が設けられる。このディスペンサ１１は、図５に示した
概略図と図２６の正面図を参照すると、前記アッパーフ
レーム１０１に斜め下方を向けて第１のボールネジ機構
１１０１が支持されており、モータ１１０２の回転軸に
連結された第１ボールネジ１１０３が軸転されることに
より、この第１ボールネジ１１０３に螺合されている第
１ナット１１０４が軸方向に移動され、この第１ナット
１１０４と一体のシリンダ支持板１１０５が移動され
る。このシリンダ支持板１１０５には、樹脂シリンダ１
１０６と、第２ボールネジ機構１１０７が搭載されてお
り、モータ１１０８の回転軸に連結された第２ボールネ
ジ１１０９が軸転されることにより、この第２ボールネ
ジ１１０９に螺合されている第２ナット１１１０が軸方
向に移動され、この第２ナット１１１０と一体の樹脂ピ
ストン１１１１が移動され、樹脂シリンダ１１０６内の
紫外線硬化性の樹脂をノズルから吐出させ、回転テーブ
ル２上の測定台５に搭載されているレーザスキャンモー
タ４のポリゴンミラー４０６の上面に滴下させる。(Third Station: First Adjusting Unit) The first adjusting unit ST3 has a dispenser 11 for adjusting the balance by dripping resin onto the laser scan motor.
Is provided. Referring to the schematic diagram shown in FIG. 5 and the front view of FIG. 26, the dispenser 11 has a first ball screw mechanism 1101 supported diagonally downward on the upper frame 101, and the dispenser 11 has a rotating shaft of a motor 1102. When the connected first ball screw 1103 is turned, the first nut 1104 screwed to the first ball screw 1103 is moved in the axial direction, and the cylinder support plate 1105 integrated with the first nut 1104 is moved. Be moved. The cylinder support plate 1105 has a resin cylinder 1
106 and a second ball screw mechanism 1107 mounted thereon, and the second ball screw 1109 connected to the rotating shaft of the motor 1108 is turned around, whereby a second nut 1110 screwed to the second ball screw 1109 is mounted. Is moved in the axial direction, the resin piston 1111 integrated with the second nut 1110 is moved, and the ultraviolet curable resin in the resin cylinder 1106 is discharged from the nozzle, and is mounted on the measuring table 5 on the rotary table 2. Is dropped on the upper surface of the polygon mirror 406 of the laser scan motor 4.

【００４０】一方、アッパーフレーム１０１のレーザス
キャンモータ４の上方位置には、図２７と図２８にその
詳細構成を示すような位置決めモータ機構１２が配置さ
れる。この位置決めモータ機構１２は、エアシリンダ１
２０１で構成される昇降部１２０２によりモータ支持部
１２０３が昇降可能に構成されており、このモータ支持
部１２０３には回転軸を下方に向けたステップモータ１
２０４が支持される。このステップモータ１２０４の回
転軸には駆動側プーリ１２０５が取着され、タイミング
ベルト１２０６が巻き掛けられている。このタイミング
ベルト１２０６は、他方ではレーザスキャンモータ４の
ポリゴンミラー４０６の回転軸４０３の直上に配置され
た回転部の回転軸１２０７の上端部に取着された従動側
プーリ１２０８にも巻き掛けられており、前記ステップ
モータ１２０４の回転によりこの回転軸１２０７が間欠
的に回転駆動されるように構成される。この回転軸１２
０７はベアリング１２０９により前記昇降部１２０２に
垂直方向に軸支持されており、その下端部にはストッパ
１２１０が固定されるとともに軸方向に移動可能な筒状
の当接部１２１１が嵌装され、これらストッパ１２１０
と当接部１２１１との間に介挿したスプリング１２１２
により当接部１２１１を下方に付勢している。この当接
部１２１１には環状の弾性体１２１３が固着されてお
り、前記レーザスキャンモータ４のポリゴンミラー４０
６の上面に上方から弾接されるように構成されている。On the other hand, at a position above the laser scan motor 4 of the upper frame 101, a positioning motor mechanism 12 whose detailed configuration is shown in FIGS. 27 and 28 is arranged. The positioning motor mechanism 12 is provided with the air cylinder 1
The motor support unit 1203 is configured to be able to move up and down by an elevating unit 1202 constituted by a motor 201. The motor support unit 1203 has a stepping motor 1 with a rotating shaft directed downward.
204 is supported. A drive pulley 1205 is attached to the rotation shaft of the step motor 1204, and a timing belt 1206 is wound around the drive pulley 1205. On the other hand, the timing belt 1206 is also wrapped around a driven pulley 1208 attached to the upper end of a rotating shaft 1207 of a rotating unit disposed directly above the rotating shaft 403 of the polygon mirror 406 of the laser scan motor 4. The rotation of the rotation shaft 1207 is intermittently driven by the rotation of the step motor 1204. This rotating shaft 12
07 is axially supported by the elevating part 1202 by a bearing 1209 in the vertical direction, and a stopper 1210 is fixed to the lower end thereof, and a cylindrical contact part 1211 movable in the axial direction is fitted. Stopper 1210
1212 interposed between the spring and the contact portion 1211
Urges the contact portion 1211 downward. An annular elastic body 1213 is fixed to the contact portion 1211 and the polygon mirror 40 of the laser scan motor 4 is fixed.
6 is configured to be elastically contacted with the upper surface from above.

【００４１】さらに、前記モータ支持部１２０３には下
方向に向けてアーム１２１４が突出されており、このア
ーム１２１４の下端部にはセンサコンタクト絶縁台１２
１５が支持されており、このセンサコンタクト絶縁台１
２１５には４本のセンサコンタクトピン１２１６が下方
に向けて突出されている。このセンサコンタクトピン１
２１６は、前記計測部ＳＴ２に設けられている通電機構
９の４本の固定接点ピン９０４と同じ配列とされてお
り、下降されたときには前記回転テーブル２に設けられ
た接点板２０７のセンサ用接点２０８に接触されること
が可能である。Further, an arm 1214 protrudes downward from the motor support portion 1203, and a sensor contact insulating base 12
15 are supported, and the sensor contact insulating base 1
At 215, four sensor contact pins 1216 protrude downward. This sensor contact pin 1
Reference numeral 216 designates the same arrangement as the four fixed contact pins 904 of the energizing mechanism 9 provided in the measuring section ST2, and the sensor contacts of the contact plate 207 provided on the rotary table 2 when lowered. 208 can be contacted.

【００４２】この第１調整部ＳＴ３においては、図２９
にフローチャートを示すように、計測部ＳＴ２において
動釣合いが計測されたレーザスキャンモータ４が回転テ
ーブル２の回転に伴って移動されてくると、前記各部の
場合と同様に昇降機構６が上昇し、測定台５を安定状態
に保持する。すると、位置決めモータ機構１２のエアシ
リンダ１２０１が動作されてモータ支持部１２０３が下
降される。これにより、回転軸１２０７の下端部に嵌装
されている当接部１２１１の環状弾性体１２１３がポリ
ゴンミラー４０６の上面に弾接され、さらにスプリング
１２１２の付勢力によって環状弾性体１２１３と当接部
１２１１との摩擦的な結合により回転軸１２０７とポリ
ゴンミラー４０６とが回転方向に一体化される。また、
これと同時にセンサコンタクト絶縁台１２１５のセンサ
コンタクトピン１２１６が接点板２０７のセンサ用接点
２０８に電気接続され、測定台５のフォトセンサ５１０
に電気接続される。In the first adjusting unit ST3, FIG.
As shown in the flowchart, when the laser scan motor 4 whose dynamic balance has been measured in the measuring section ST2 is moved with the rotation of the turntable 2, the lifting mechanism 6 is raised in the same manner as in the case of each section, The measuring table 5 is kept in a stable state. Then, the air cylinder 1201 of the positioning motor mechanism 12 is operated, and the motor support 1203 is lowered. As a result, the annular elastic body 1213 of the contact portion 1211 fitted to the lower end portion of the rotating shaft 1207 is elastically contacted with the upper surface of the polygon mirror 406, and furthermore, the elastic force of the spring 1212 makes contact with the annular elastic body 1213. The rotation shaft 1207 and the polygon mirror 406 are integrated in the rotation direction by frictional connection with the rotation shaft 1211. Also,
At the same time, the sensor contact pins 1216 of the sensor contact insulating stand 1215 are electrically connected to the sensor contacts 208 of the contact plate 207, and the photo sensor 510 of the measuring stand 5
Is electrically connected to

【００４３】そして、この状態で制御回路からのパルス
信号がステップモータ１２０４に供給され、ステップモ
ータ１２０４が回転駆動されると、駆動側プーリ１２０
５、タイミングベルト１２０６、従動側プーリ１２０８
を介して回転力が回転軸１２０７に伝達され、これによ
りポリゴンミラー４０６が強制的に小角度単位で回転駆
動されることになる。また、このポリゴンミラー４０６
の回転に伴い、フォトセンサ５１０でロータ４０５の周
面に設けられているマーク４１２を検出することで、ポ
リゴンミラー４０６の回転位置を検出する。これによ
り、制御回路は計測部ＳＴ２での計測の結果に基づいて
算出されたポリゴンミラー４０６の円周一部が所定の位
置、すなわちディスペンサ１１に対向する位置に位置設
定する制御を行い、この制御によりポリゴンミラー４０
６はその回転位置に固定される。In this state, the pulse signal from the control circuit is supplied to the step motor 1204, and when the step motor 1204 is driven to rotate, the driving pulley 120
5. Timing belt 1206, driven pulley 1208
Is transmitted to the rotating shaft 1207 via the..., Whereby the polygon mirror 406 is forcibly driven to rotate in small angle units. Also, this polygon mirror 406
The rotation position of the polygon mirror 406 is detected by detecting the mark 412 provided on the peripheral surface of the rotor 405 with the photo sensor 510 along with the rotation of. As a result, the control circuit performs control to set the position of a part of the circumference of the polygon mirror 406 calculated based on the result of the measurement in the measurement unit ST2 to a predetermined position, that is, a position opposed to the dispenser 11. Polygon mirror 40
6 is fixed in its rotational position.

【００４４】このように、ポリゴンミラー４０６の回転
位置が設定されると、ディスペンサ１１のモータ１１０
２が回転駆動され、これと一体に軸転される第１ボール
ネジ１１０３によりシリンダ支持板１１０５が移動さ
れ、樹脂シリンダ１１０６のノズルが前記ポリゴンミラ
ー４０６の上面に対向位置される。そして、モータ１１
０８の回転により第２ボールネジ１１０９が軸転される
ことにより樹脂ピストン１１１１が移動され、樹脂シリ
ンダ１１０６内の樹脂をノズルから吐出させ、前記ポリ
ゴンミラー４０６上面に滴下させる。これにより、ポリ
ゴンミラー４０６は、その上面の円周一部に釣合いをと
るための重りとしての樹脂が付着される。When the rotational position of the polygon mirror 406 is set as described above, the motor 110 of the dispenser 11
The cylinder support plate 1105 is moved by a first ball screw 1103 which is rotated and integrally rotated with the cylinder 2, and the nozzle of the resin cylinder 1106 is opposed to the upper surface of the polygon mirror 406. And the motor 11
By rotating the second ball screw 1109 by the rotation of 08, the resin piston 1111 is moved, and the resin in the resin cylinder 1106 is discharged from the nozzle and dropped on the upper surface of the polygon mirror 406. As a result, a resin serving as a weight for balancing is attached to a part of the circumference of the upper surface of the polygon mirror 406.

【００４５】（第４ステーション：第１定着部）第１定
着部ＳＴ４は、図５に概略構成を示したように、紫外線
照射部１３が設けられており、この紫外線照射部１３に
は、紫外線ランプ１３０１と、この紫外線ランプ１３０
１に一端が光学的に接続された光ファイバ１３０２を有
しており、この光ファイバ１３０２の他端を測定台５の
上方のアッパフレーム１０１に固定し、その光軸をポリ
ゴンミラー４０６の上面に対向位置させた構成とされて
いる。この光ファイバ１３０２の他端には必要に応じて
レンズ光学系が設けられ、さらに光ファイバ１３０２の
他端に対向して遮光板１３０４を含む遮光機構１３０３
が設けられる。そして、紫外線ランプ１３０１を点灯し
たときに、発光された紫外線は光ファイバ１３０２の一
端部から他端部にまて伝送され、この他端部から出射さ
れてポリゴンミラー４０６の上面に照射されるようにな
っている。(Fourth Station: First Fixing Unit) The first fixing unit ST4 is provided with an ultraviolet irradiation unit 13 as schematically shown in FIG. Lamp 1301 and the ultraviolet lamp 130
1 has an optical fiber 1302 one end of which is optically connected. The other end of the optical fiber 1302 is fixed to the upper frame 101 above the measuring table 5, and its optical axis is placed on the upper surface of the polygon mirror 406. It is configured to be opposed. A lens optical system is provided at the other end of the optical fiber 1302 as necessary, and a light-shielding mechanism 1303 including a light-shielding plate 1304 facing the other end of the optical fiber 1302.
Is provided. When the ultraviolet lamp 1301 is turned on, the emitted ultraviolet light is transmitted from one end to the other end of the optical fiber 1302, emitted from the other end, and irradiated on the upper surface of the polygon mirror 406. It has become.

【００４６】この第１定着部ＳＴ４では、図３０にその
フローチャートを示すように、第１調整部ＳＴ３におい
て樹脂が滴下されたレーザスキャンモータ４が回転テー
ブル２の回転に伴って移動されてくると、昇降機構６が
上昇し、測定台５を安定状態に保持する。そして、これ
と同期して紫外線ランプ１３０１が点灯され、かつ遮光
機構１３０３が下降されて遮光板１３０４が光ファイバ
１３０２の他端部位置から退避されるため、光ファイバ
１３０２の他端が開放され、光ファイバ１３０２の他端
から出射される紫外線を樹脂に照射する。これにより、
樹脂は硬化され、ポリゴンミラー４０６の釣合い重りと
して定着される。その後、遮光機構１３０３は上昇して
光フファイバ１３０２からの紫外線が他の領域に照射さ
れることを防止し、かつ紫外線ランプ１３０１を消灯す
る。なお、この遮光機構１３０３を備えている場合に
は、紫外線ランプ１３０１は常時点灯させておいてもよ
い。また、遮光機構を備えることなく、紫外線ランプ１
３０１を照射のタイミングに合わせて点灯、消灯させる
ようにしてもよい。In the first fixing unit ST4, as shown in the flowchart of FIG. 30, when the laser scan motor 4 on which the resin is dropped in the first adjusting unit ST3 is moved with the rotation of the turntable 2. Then, the elevating mechanism 6 moves up to hold the measuring table 5 in a stable state. Then, in synchronization with this, the ultraviolet lamp 1301 is turned on, and the light shielding mechanism 1303 is lowered to retract the light shielding plate 1304 from the position of the other end of the optical fiber 1302, so that the other end of the optical fiber 1302 is opened, The resin is irradiated with ultraviolet light emitted from the other end of the optical fiber 1302. This allows
The resin is cured and fixed as a counterweight of the polygon mirror 406. Thereafter, the light shielding mechanism 1303 moves upward to prevent the ultraviolet rays from the optical fiber 1302 from being irradiated to other areas, and also turns off the ultraviolet lamp 1301. In the case where the light shielding mechanism 1303 is provided, the ultraviolet lamp 1301 may be constantly turned on. Also, without providing a light shielding mechanism, the ultraviolet lamp 1
The light 301 may be turned on and off according to the irradiation timing.

【００４７】（第５ステーション：第２調整部）第２調
整部ＳＴ５は、第１調整部ＳＴ３と殆ど同じ構成である
ので、詳細な説明は省略する。ただし、この第２調整部
ＳＴ５では、ディスペンサ１１のノズルをレーザスキャ
ンモータ４に対向位置させるべく樹脂シリンダ１１０６
を下降させたときに、そのノズルがポリゴンミラー４０
６の下側のロータ４０５の上面に対向位置されるように
構成されている。そして、釣合いを修正すべくノズルか
ら紫外線硬化樹脂を滴下したときには、ロータ４０５の
上面の円周一部に樹脂を付着させる。これにより、第１
調整部ＳＴ３においてポリゴンミラー４０６の上面部に
付着された樹脂に対して、反対方向の釣合いを取ること
が可能となる。(Fifth Station: Second Adjusting Unit) The second adjusting unit ST5 has almost the same configuration as the first adjusting unit ST3, and a detailed description thereof will be omitted. However, in the second adjustment unit ST5, the resin cylinder 1106 is positioned so that the nozzle of the dispenser 11 is opposed to the laser scan motor 4.
When the nozzle is lowered, the nozzle
6 is configured to face the upper surface of the lower rotor 405. When the ultraviolet curable resin is dropped from the nozzle in order to correct the balance, the resin is attached to a part of the circumference of the upper surface of the rotor 405. Thereby, the first
It is possible to balance in the opposite direction with respect to the resin attached to the upper surface of the polygon mirror 406 in the adjustment unit ST3.

【００４８】（第６ステーション：第２定着部）第２定
着部ＳＴ６は、第１定着部ＳＴ４と同じであり、ただ
し、ここでは第２調整部ＳＴ５においてロータ４０５の
上面に付着された紫外線硬化樹脂に対して紫外線を照射
して硬化させ、これを定着させる。(Sixth Station: Second Fixing Unit) The second fixing unit ST6 is the same as the first fixing unit ST4, except that the second fixing unit ST5 has the ultraviolet curing applied to the upper surface of the rotor 405 in the second adjusting unit ST5. The resin is irradiated with ultraviolet rays to be cured and fixed.

【００４９】なお、前記した第１調整部ＳＴ３は、計測
部ＳＴ２での計測結果に基づき、ポリゴンミラー４０６
の上面に重りを付着することが要求された場合にのみ動
作される。同様に第２調整部ＳＴ５は計測部ＳＴ２での
計測結果にもとづき、ロータ４０５の上面に重りを付着
することが要求された場合にのみ動作される。また、前
記した第１調整部ＳＴ３と第１定着部ＳＴ４の処理、あ
るいは第２調整部ＳＴ５と第２定着部ＳＴ６における処
理は、それぞれ組を成して行われるものであり、第１調
整部ＳＴ３での処理が行われる場合には第１定着部ＳＴ
４の処理が行われ、同様に第２調整部ＳＴ５での処理が
行われる場合には第２定着部ＳＴ６の処理が行われる。Incidentally, the first adjusting unit ST3 described above uses the polygon mirror 406 based on the measurement result of the measuring unit ST2.
It is only activated when it is required to attach a weight to the upper surface of the. Similarly, the second adjusting unit ST5 is operated only when it is required to attach a weight to the upper surface of the rotor 405 based on the measurement result of the measuring unit ST2. The processing of the first adjustment unit ST3 and the first fixing unit ST4 or the processing of the second adjustment unit ST5 and the second fixing unit ST6 is performed as a set, and the first adjustment unit When the process in ST3 is performed, the first fixing unit ST
The process of No. 4 is performed. Similarly, when the process of the second adjustment unit ST5 is performed, the process of the second fixing unit ST6 is performed.

【００５０】（第７ステーション：確認部）確認部ＳＴ
７は前記計測部ＳＴ２と同じ構成であり、その詳細な説
明は省略する。この確認部ＳＴ７では、図３１にそのフ
ローチャートを示すように、第１調整部ＳＴ３、第１定
着部ＳＴ４、第２調整部ＳＴ５、第２定着部ＳＴ６にお
いて釣合い調整が行われたレーザスキャンモータ４を回
転駆動させ、測定台５に設けられているフォトセンサ５
１０により回転速度が計測され、かつ加速度計５０７，
５０８によって加速度が計測されることで、その釣合い
が計測される。そして、制御回路１４では、この計測の
結果からレーザスキャンモータ４の釣合いが所定の許容
範囲にあるか否かを判定する。この判定結果により次に
述べるアンローダ部ＳＴ８での動作を制御する。(Seventh station: confirmation section) Confirmation section ST
7 has the same configuration as the measuring unit ST2, and a detailed description thereof will be omitted. In the checking unit ST7, as shown in the flowchart of FIG. 31, the laser scan motor 4 having the balance adjustment performed in the first adjustment unit ST3, the first fixing unit ST4, the second adjustment unit ST5, and the second fixing unit ST6. Is rotated, and the photo sensor 5 provided on the measurement table 5 is rotated.
10, the rotational speed is measured, and the accelerometer 507,
By measuring the acceleration by 508, the balance is measured. Then, the control circuit 14 determines whether or not the balance of the laser scan motor 4 is within a predetermined allowable range based on the result of the measurement. The operation of the unloader unit ST8 described below is controlled based on the result of this determination.

【００５１】（第８ステーション：アンローダ部）アン
ローダ部ＳＴ８では、図３２にそのフロチャートを示す
ように、確認部ＳＴ７での判定結果から、レーザスキャ
ンモータ４の釣合いが許容の範囲内にある場合には、搬
送ロボット８０１により測定台５からレーザスキャンモ
ータ４を持ち上げ、搬送部８のシャトル８０３に移載
し、搬出を行う。このレーザスキャンモータ４を測定台
５から持ち上げる際には、昇降機構６を上昇させて測定
台５を安定支持した上で、エアシリンダ７０１によりロ
ック駆動機構７を動作させて測定台５をロック機構２１
０により固定状態とする。そして、搬送ロボット８０１
によりレーザスキャンモータ４を握持し、これを上方に
引き上げる。これにより、レーザスキャンモータ４は、
測定台５の凹部５０３内の円環状の永久磁石５０４の磁
力に打ち勝って測定台５の上方に持ち上げられ、搬送部
８への移載が可能となる。(Eighth Station: Unloader Unit) In the unloader unit ST8, as shown in the flowchart of FIG. 32, when the balance of the laser scan motor 4 is within the allowable range based on the determination result in the confirmation unit ST7. First, the laser scan motor 4 is lifted from the measuring table 5 by the transfer robot 801, transferred to the shuttle 803 of the transfer unit 8, and carried out. When the laser scan motor 4 is lifted from the measuring table 5, the lifting mechanism 6 is raised to stably support the measuring table 5, and then the lock driving mechanism 7 is operated by the air cylinder 701 to lock the measuring table 5. 21
The state is fixed by 0. Then, the transfer robot 801
Grips the laser scan motor 4 and pulls it upward. Thereby, the laser scan motor 4
The magnetic force of the annular permanent magnet 504 in the concave portion 503 of the measuring table 5 is overcome to lift the measuring table 5 above the measuring table 5, and the transfer to the transport unit 8 is enabled.

【００５２】一方、確認部ＳＴ７での判定結果から、レ
ーザスキャンモータ４の釣合いが許容範囲にない場合に
は、再度の釣合い調整が行われる。この場合には、アン
ローダ部ＳＴ８では前記した搬送ロボット８０１による
レーザスキャンモータ４の持ち上げ動作は行われず、レ
ーザスキャンモータ４は測定台５および回転テーブル２
に搭載されたままの状態となる。したがって、その状態
のまま、回転テーブル２の回転動作によって再びローダ
部ＳＴ１にまで移動され、さらに計測部ＳＴ２に向けて
移動され、前記した一連の釣合い調整の処理が再度行わ
れることになる。このとき、ローダ部ＳＴ１には搬送部
８からの新たなレーザスキャンモータが移載されないこ
とは言うまでもない。On the other hand, if the balance of the laser scan motor 4 is not within the allowable range based on the result of the determination in the confirmation section ST7, the balance is adjusted again. In this case, the lifting operation of the laser scan motor 4 by the transfer robot 801 is not performed in the unloader section ST8, and the laser scan motor 4 is connected to the measuring table 5 and the rotary table 2.
It will be in the state of being mounted on. Therefore, in this state, the rotary table 2 is again moved to the loader unit ST1 by the rotation operation of the rotary table 2, and further moved toward the measuring unit ST2, so that the above-described series of balancing adjustment processing is performed again. At this time, it goes without saying that a new laser scan motor from the transport unit 8 is not transferred to the loader unit ST1.

【００５３】以上の工程により、レーザスキャンモータ
の動釣合いを自動的に計測し、かつその釣合いの調整が
実現される。したがって、図示およびその説明は省略し
たが、この本発明の調整装置に対してレーザスキャンモ
ータを収容したマガジンと、このマガジン内のレーザス
キャンモータを搬送部のシャトルに対して搭載あるいは
降載する機構を付設すれば、マガジンから搬送部に対し
てレーザスキャンモータを供給することと、調整後のレ
ーザスキャンモータをマガジンに収容することも自動化
することができ、レーザスキャンモータの動釣合いを完
全に自動化することが可能となる。これにより、手作業
による調整が全く不要となり、迅速かつ高品質の動釣合
いの調整が実現できる。Through the above steps, the dynamic balance of the laser scan motor is automatically measured, and the adjustment of the balance is realized. Therefore, although illustration and description thereof are omitted, a magazine accommodating a laser scan motor with respect to the adjusting device of the present invention, and a mechanism for mounting or dismounting the laser scan motor in the magazine with respect to a shuttle of a transport unit. Can automatically automate the supply of the laser scan motor from the magazine to the transport unit and the accommodation of the adjusted laser scan motor in the magazine, thus fully automating the dynamic balance of the laser scan motor. It is possible to do. This eliminates the need for manual adjustment at all, and realizes quick and high-quality adjustment of dynamic balance.

【００５４】また、レーザスキャンモータを、測定台に
設けた永久磁石の磁力によって吸着支持させることによ
り、複雑な機構を設けることなくレーザスキャンモータ
の支持が可能となり、測定台の重量を軽減し、レーザス
キャンモータの動釣合いを測定台の重量の影響が少ない
状態で計測でき、その計測精度を高いものにできる。ま
た、この場合、測定台に設けた凹部にレーザスキャンモ
ータの一部を侵入させた状態で保持させるため、測定台
に対するレーザスキャンモータの位置決めが自動的に行
われ、複数のレーザスキャンモータの全てを同じ条件で
計測、確認することができ、調整歩留りを高いものにで
きる。さらに、このレーザスキャンモータを測定台から
降載する際には、ロック機構により測定台を固定状態に
保持するため、永久磁石の吸着力に抗して確実にその降
載が可能となる。Further, the laser scan motor is attracted and supported by the magnetic force of the permanent magnet provided on the measuring table, so that the laser scanning motor can be supported without providing a complicated mechanism, and the weight of the measuring table can be reduced. The dynamic balance of the laser scan motor can be measured with little influence of the weight of the measuring table, and the measurement accuracy can be increased. Also, in this case, the laser scan motor is automatically positioned with respect to the measurement table so that a part of the laser scan motor is inserted into the concave portion provided on the measurement table, so that all of the plurality of laser scan motors are positioned. Can be measured and confirmed under the same conditions, and the adjustment yield can be increased. Further, when the laser scan motor is mounted on the measuring table, the measuring table is held in a fixed state by the lock mechanism, so that the laser scanning motor can be reliably mounted against the attractive force of the permanent magnet.

【００５５】そして、この動釣合いの計測時および確認
時には、レーザスキャンモータは測定台に一体的に搭載
されており、かつこの測定台は基板としての回転テーブ
ル上に弾性の支持体によってフローティング状態に支持
されるため、レーザスキャンモータにおける不釣合いに
よってその回転動作時に生じる振動を測定台の振動とし
て、加速度計によって計測することが可能となり、かつ
その一方で弾性の支持体によって外部振動が遮断される
ため、動釣合いの計測時に外部振動の影響を受けること
はない。特に、測定台には、振動を検出するための加速
度計と、回転数を検出するためのフォトセンサとが設け
られているため、測定台には単に電気的な接続を行うの
みでよく各ステーションにおける自動化作業の簡易化
と、迅速化を図り、結果として計測及び確認作業の高速
化が可能となる。また、この電気的な接続時には、接点
ピンやコンタクトピンを押圧力により接触し、あるいは
磁力により吸着した状態で接触させるので、その断接を
容易に行うことができ、回転テーブルの回転移動に対し
ても迅速な電気的な接続動作が可能となる。At the time of measuring and confirming the dynamic balance, the laser scan motor is integrally mounted on a measuring table, and the measuring table is floated on a rotary table as a substrate by an elastic support. Because it is supported, the vibration generated during the rotation operation due to the unbalance in the laser scan motor can be measured by the accelerometer as the vibration of the measuring table, and on the other hand, the external vibration is cut off by the elastic support Therefore, there is no influence of external vibration when measuring dynamic balance. In particular, since the measuring table is provided with an accelerometer for detecting vibration and a photosensor for detecting the number of revolutions, the measuring table only needs to be electrically connected to each station. Simplification and speeding-up of the automatic operation in, and as a result, the measurement and confirmation operations can be speeded up. Also, at the time of this electrical connection, the contact pins or the contact pins are brought into contact with each other by pressing force or by being attracted by magnetic force, so that the connection and disconnection can be easily performed, and the rotation of the rotary table can be easily performed. However, a quick electrical connection operation is possible.

【００５６】また、動釣合いの調整時には、位置決めモ
ータ機構によってポリゴンミラーとロータの回転位置を
位置設定し、かつディスペンサによってポリゴンミラー
やロータに対して紫外線硬化性の樹脂を滴着し、しかる
後にこの樹脂を紫外線照射して硬化させることで釣合い
バランス用の重りを作製しているため、微小な重量の重
りを高精度に作製して動釣合いの調整が実現できため、
高精度の動釣合いの調整が可能となる。このとき、ポリ
ゴンミラーやロータは位置決めモータ機構により回転さ
せ、かつ同時にフォトセンサによりその回転位置を検出
するために、高精度の位置決めができ、調整の高精度化
を助長することが可能となる。At the time of adjusting the dynamic balance, the rotational positions of the polygon mirror and the rotor are set by the positioning motor mechanism, and the ultraviolet curable resin is dropped on the polygon mirror and the rotor by the dispenser. Because the balance balance weight is made by irradiating the resin with ultraviolet light and curing, the dynamic balance can be adjusted by creating a minute weight with high precision.
High-precision dynamic balance adjustment becomes possible. At this time, the polygon mirror and the rotor are rotated by the positioning motor mechanism, and at the same time, the rotational position is detected by the photo sensor. Therefore, high-precision positioning can be performed, and it is possible to promote high-precision adjustment.

【００５７】さらに、ローダ時やアンローダ時のように
レーザスキャンモータを測定台に対して着脱する際や、
計測、調整、確認等のように測定台に対して電気接続を
行うような際には、測定台を弾性の支持体によるフロー
ティング状態の支持から昇降機構によりその上方位置に
固定的に、しかも所定の位置に保持しているため、これ
らの作業を安定に、かつ確実に行うことが可能となり、
作業効率を改善することができる。Further, when attaching / detaching the laser scan motor to / from the measuring table as in the case of a loader or unloader,
When making an electrical connection to the measuring table for measurement, adjustment, confirmation, etc., the measuring table is fixed from the floating support by the elastic support to its upper position by the lifting mechanism It is possible to perform these operations stably and reliably because
Work efficiency can be improved.

【００５８】なお、前記実施形態では、動釣合いの被調
体としてレーザスキャンモータの例を示したが、本発明
の動釣合い調整装置は、他の用途の駆動源として用いら
れるモータを組込んだ各種ユニットの動釣合いについて
も同様に調整を行うことができる。また、位置設定手段
や重り付着手段の構成は前記実施形態の他にも種々の構
成が採用できる。In the above-described embodiment, a laser scan motor has been described as an example of a dynamically balanced subject. However, the dynamic balance adjustment device of the present invention incorporates a motor used as a drive source for other applications. Adjustments can also be made for the dynamic balance of the various units. Further, various configurations other than the above-described embodiment can be adopted as the configuration of the position setting unit and the weight attaching unit.

【００５９】[0059]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、動釣合い
を調整しようとする被調整体を位置設定手段によりその
回転位置を設定し、かつ重り付着手段により被調整体の
設定された箇所に樹脂を滴下し、これを重りとして動釣
合いの調整を行うことができるため、微細な重量の重り
の付着が可能となり、かつ重量を微細に調整した重りの
付着が実現でき、高精度の動釣合い調整を容易に行うこ
とができる。As described above, according to the present invention, the rotational position of the object to be adjusted for which dynamic balance is to be adjusted is set by the position setting means, and the position of the object to be adjusted is set by the weight attaching means. Since the resin can be dropped and the dynamic balance can be adjusted using the weight as a weight, it is possible to apply a fine weight weight, and it is possible to realize the fine weight adjustment of the weight and achieve high precision dynamic balance. Adjustment can be easily performed.

【００６０】また、重りを付着する手段として樹脂を吐
出するディスペンサを用いることにより、その吐出量の
調整を極めて容易に行うことができ、被調整体に対して
任意の重量の樹脂を高精度に滴下させ、重りの付着によ
る動釣合いを高精度に行うことが可能となる。また、こ
の場合、位置設定手段において被調整体の回転位置を設
定し、重り付着手段側で被調整体の径方向の位置を設定
することで、被調整体の全ての箇所に対する重りの付着
が可能となる。Further, by using a dispenser for discharging a resin as a means for attaching a weight , the discharge amount can be adjusted very easily, and a resin having an arbitrary weight can be precisely applied to an object to be adjusted. Dropping makes it possible to perform dynamic balancing by the attachment of weight with high accuracy. Further, in this case, by setting the rotational position of the object to be adjusted by the position setting means and setting the radial position of the object to be adjusted by the weight attaching means side, the adhesion of the weight to all portions of the object to be adjusted is reduced. It becomes possible.

【００６１】この場合、位置設定手段は駆動回転軸の端
部に設けた摩擦部材を被調整体に摩擦的に結合させて被
調整体を回転駆動させるため、被調整体自身を回転駆動
させるための構成は不要であり、調整装置の構成が複雑
化されることもない。また、その回転位置の設定時に
は、駆動回転軸の摩擦的な結合動作と同時にセンサコン
タクト機構により電気接続されるセンサによる被調整体
の回転位置検出に基づいて位置設定手段の回転位置を制
御すればよく位置設定精度を極めて高いものにできる。
さらに、位置設定手段は、非調整時には軸移動されて被
調整体との摩擦結合から退避され、同時にセンサコンタ
クト機構での結合も解除されるため、回転テーブルによ
る被調整体の移動の障害になることはなく、動釣合いの
調整作業を円滑に行うことができる。また、位置設定手
段はステッピングモータによりパルス制御されること
で、計測時または確認時のポリゴンミラーの回転では困
難な精度で回転位置を設定することもできる。In this case, the position setting means is provided at the end of the drive rotary shaft.
Since the friction member provided on the portion is frictionally coupled to the object to be adjusted and the object to be adjusted is driven to rotate, the structure for rotating and driving the object to be adjusted itself is unnecessary, and the structure of the adjustment device is complicated. Never even. Also, when setting the rotational position, the sensor connection is performed simultaneously with the frictional coupling operation of the drive rotary shaft.
It is sufficient to control the rotational position of the position setting means based on detection of the rotational position of the object to be adjusted by a sensor electrically connected by the tact mechanism, and the position setting accuracy can be made extremely high.
Furthermore, the position setting means is axially moved during non-adjustment and retracted from the frictional connection with the object to be adjusted, and at the same time, the sensor contour
Because also be released binding at transfected mechanism, not become an obstacle to movement of the adjusting member by the rotary table, it is possible to perform the adjustment of the dynamic balancing smoothly. Further, the position setting means is pulse-controlled by the stepping motor, so that the rotation position can be set with a precision that is difficult for the rotation of the polygon mirror during measurement or confirmation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の動釣合い調整装置の全体構成の正面図
である。FIG. 1 is a front view of the overall configuration of a dynamic balance adjustment device according to the present invention.

【図２】図１の右側面図である。FIG. 2 is a right side view of FIG.

【図３】図１の背面図である。FIG. 3 is a rear view of FIG. 1;

【図４】図１の平面図である。FIG. 4 is a plan view of FIG. 1;

【図５】本発明装置の機能を説明するための概略図であ
る。FIG. 5 is a schematic diagram for explaining the function of the device of the present invention.

【図６】本発明装置の概略動作を説明するためのフロー
チャートである。FIG. 6 is a flowchart for explaining a schematic operation of the apparatus of the present invention.

【図７】レーザスキャンモータの平面図と断面図であ
る。FIG. 7 is a plan view and a sectional view of a laser scan motor.

【図８】回転テーブルの全体構成の平面図である。FIG. 8 is a plan view of the entire configuration of the turntable.

【図９】回転テーブルを構成する単位テーブルの拡大平
面図である。FIG. 9 is an enlarged plan view of a unit table constituting the rotary table.

【図１０】測定台の平面図、正面図、右側面図である。FIG. 10 is a plan view, a front view, and a right side view of the measuring table.

【図１１】昇降機構の下降状態を示す正面図である。FIG. 11 is a front view showing a lowered state of the lifting mechanism.

【図１２】昇降機構の上昇状態を示す正面図である。FIG. 12 is a front view showing a rising state of the lifting mechanism.

【図１３】ロック機構と回転テーブルとの関係を示す正
面図である。FIG. 13 is a front view showing the relationship between the lock mechanism and the rotary table.

【図１４】ローダ部の動作を示すフローチャートであ
る。FIG. 14 is a flowchart showing the operation of the loader unit.

【図１５】レーザスキャンモータを測定台に搭載した状
態の平面図と正面図である。FIGS. 15A and 15B are a plan view and a front view of a state in which a laser scan motor is mounted on a measuring table.

【図１６】回転テーブル上に測定台を搭載した状態の平
面図である。FIG. 16 is a plan view showing a state where a measuring table is mounted on a rotary table.

【図１７】第１通電機構の正面図と側面図である。FIG. 17 is a front view and a side view of the first power supply mechanism.

【図１８】伸縮接点ピンの断面図である。FIG. 18 is a sectional view of a telescopic contact pin.

【図１９】接点板の断面図である。FIG. 19 is a sectional view of a contact plate.

【図２０】第２通電機構の正面図と側面図である。FIG. 20 is a front view and a side view of a second power supply mechanism.

【図２１】コンタクトピン取付台の正面図と側面図であ
る。FIG. 21 is a front view and a side view of a contact pin mounting base.

【図２２】第２通電機構の動作を説明するための正面図
と側面図である。FIG. 22 is a front view and a side view for explaining the operation of the second power supply mechanism.

【図２３】コンタクトピン取付台の取付状態の平面図、
正面図、側面図である。FIG. 23 is a plan view showing a state where a contact pin mounting base is mounted;
It is a front view and a side view.

【図２４】計測部の動作を示すフローチャートである。FIG. 24 is a flowchart showing the operation of the measurement unit.

【図２５】ロック機構の動作を示す拡大図である。FIG. 25 is an enlarged view showing the operation of the lock mechanism.

【図２６】ディスペンサを含む第１調整部の正面図であ
る。FIG. 26 is a front view of a first adjustment unit including a dispenser.

【図２７】調整モータ機構の正面図である。FIG. 27 is a front view of an adjustment motor mechanism.

【図２８】調整モータ機構の側面図である。FIG. 28 is a side view of the adjustment motor mechanism.

【図２９】第１調整部の動作を示すフローチャートであ
る。FIG. 29 is a flowchart illustrating the operation of the first adjustment unit.

【図３０】第１定着部の動作を示すフローチャートであ
る。FIG. 30 is a flowchart illustrating an operation of a first fixing unit.

【図３１】確認部の動作を示すフローチャートである。FIG. 31 is a flowchart showing the operation of the confirmation unit.

【図３２】アンローダ部の動作を示すフローチャートで
ある。FIG. 32 is a flowchart showing the operation of the unloader unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ ベースフレーム ２ 回転テーブル ３ 回転駆動機構 ４ レーザスキャンモータ ５ 測定台 ６ 昇降機構 ７ ロック駆動機構 ８ 搬送部 ９ 通電機構 １０ エアブレーキ １１，１１Ａ ディスペンサ １２ 位置決めモータ機構 １３ 紫外線照射部 １４ 制御回路 １５ 表示灯 ４０５ ロータ ４０６ ポリゴンミラー １１０６ 樹脂シリンダ １１１１ 樹脂ピストン １２０４ ステップモータ １２０７ 回転軸 １２１１ 当接部 １３０１ 紫外線ランプ １３０２ 光ファイバ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base frame 2 Rotary table 3 Rotary drive mechanism 4 Laser scan motor 5 Measuring table 6 Elevating mechanism 7 Lock drive mechanism 8 Conveying part 9 Power supply mechanism 10 Air brake 11, 11A Dispenser 12 Positioning motor mechanism 13 Ultraviolet irradiation part 14 Control circuit 15 Display Light 405 Rotor 406 Polygon mirror 1106 Resin cylinder 1111 Resin piston 1204 Step motor 1207 Rotating shaft 1211 Contact part 1301 Ultraviolet lamp 1302 Optical fiber

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 動釣合いを調整しようとする被調整体を
搭載して回転駆動可能な回転テーブルと、この回転テー
ブルの回転位置のそれぞれ異なる位置に配置されて前記
回転テーブルへの前記被調整体の搭載、被調整体に対す
る動釣合いの計測、動釣合いの調整、および釣合いの確
認、回転テーブルからの被調整体の降載を行う複数のス
テーションとで構成され、前記回転テーブルに搭載した
被調整体を回転テーブルの回動により各ステーションに
対して順次移動させながら動釣合いの調整を行う動釣合
い調整装置において、前記動釣合いの調整を行うステー
ションには、被調整体の釣合いをとるための重りを被調
整体に付着するための手段と、この重り付着手段に対し
て被調整体を所要の位置に移動設定するための位置設定
手段とを備え、前記被調整体はモータ部により回転駆動
される回転部分を備える構体であり、前記重りを付着す
る手段は前記回転部分の円周一部に樹脂を付着させる構
成であり、前記位置設定手段は、前記被調整体の回転部
分と同軸配置されて軸回転可能とされ、かつ端部には前
記回転部分に軸方向に当接して自身の軸回転により前記
回転部分の回転位置を変化させるゴム等の摩擦部材が固
定された軸移動可能な駆動回転軸と、前記被調整体の回
転部分に設けられたマークを検出することでその回転位
置を検出するセンサと、前記センサの出力に基づいて前
記被調整体の回転位置を設定するための電気回路に接続
され、前記駆動回転軸と一体的に軸方向に移動したとき
に前記センサに対して電気接続されるセンサコンタクト
機構とを備えることを特徴とする動釣合い調整装置。1. A rotary table on which an object to be adjusted for adjusting a dynamic balance is mounted and which can be driven to rotate, and the object to be adjusted which is arranged at a different rotation position of the rotary table from the rotary table. And a plurality of stations for measuring the dynamic balance with respect to the object to be adjusted, adjusting the dynamic balance, checking the balance, and loading and unloading the object to be adjusted from the rotary table. In the dynamic balance adjusting device for adjusting the dynamic balance while sequentially moving the body with respect to each station by the rotation of the rotary table, the station for adjusting the dynamic balance has a weight for balancing the object to be adjusted. Means for attaching the object to be adjusted, and position setting means for moving and setting the object to be adjusted to a required position with respect to the weight attaching means , The object to be adjusted is driven to rotate by the motor
A rotating part to which the weight is attached.
Means for attaching resin to a part of the circumference of the rotating part.
Wherein the position setting means comprises a rotating part of the object to be adjusted.
The shaft is rotatable and coaxial with
The abutment in the axial direction against the rotating part and the rotation of its own axis
Rubber or other friction members that change the rotational position of the rotating
A drive shaft that is movable along a predetermined axis, and a rotation of the object to be adjusted.
The rotation position is detected by detecting the mark
A sensor for detecting the position of the
Connected to an electric circuit for setting the rotational position of the object to be adjusted
When it is moved in the axial direction integrally with the drive rotary shaft.
Sensor contact electrically connected to the sensor
Dynamic balancing adjusting apparatus characterized by comprising a mechanism. 【請求項２】 前記重りを付着する手段は、内部に重り
となる樹脂が蓄えられ、動作されたときにこの樹脂をノ
ズルから吐出して被調整体の一部に滴下させるディスペ
ンサである請求項１に記載の動釣合い調整装置。2. The dispenser according to claim 1, wherein the means for attaching the weight is a dispenser in which a resin serving as a weight is stored, and when operated, the resin is discharged from a nozzle and dropped on a part of the object to be adjusted. 2. The dynamic balance adjusting device according to 1. 【請求項３】 前記ディスペンサは装置固定部に移動可
能に支持され、その樹脂吐出用ノズルが被調整体の回転
部分に対して径方向に位置変化できるように構成される
請求項２に記載の動釣合い調整装置。Wherein said dispenser is movably supported on the securing portion, the resin ejection nozzle according to claim 2 configured to allow positional change in a radial direction relative to the rotating part of the adjusting member Dynamic balance adjustment device. 【請求項４】 前記被調整体は、ポリゴンミラーと、こ
れを回転駆動するためのモータ部とを一体的に構成した
レーザスキャンモータであり、前記モータ部の回転軸を
位置設定手段により回転位置設定し、ポリゴンミラーの
表面と、このポリゴンミラーの裏面側に設けられて前記
モータ部を構成するロータの表面の少なくとも一方に重
りを付着する請求項１ないし３のいずれかに記載の動釣
合い調整装置。 4. The object to be adjusted is a laser scan motor in which a polygon mirror and a motor for rotating the polygon mirror are integrally formed, and a rotation axis of the motor is rotated by a position setting means. The dynamic balance adjustment according to any one of claims 1 to 3 , wherein a weight is attached to at least one of a front surface of the polygon mirror and a front surface of the rotor that is provided on the back surface side of the polygon mirror and constitutes the motor unit. apparatus. 【請求項５】 前記回転テーブルの周囲に８つのステー
ションが形成され、第１のステーションは被調整体を回
転テーブルに搭載するローダ部、第２のステーションは
被調整体の動釣合いを計測する計測部、第３のステーシ
ョンは計測された動釣合いに基づいて被調整体の一部に
重りを付着して釣合いを調整する第１調整部、第４のス
テーションは付着した重りを定着させる第１定着部、第
５のステーションは前記計測された動釣合いに基づいて
被調整体の他の部位に重りを付着して釣合いを調整する
第２調整部、第６のステーションは付着した重りを定着
させる第２定着部、第７のステーションは調整処理が完
了された被調整体の動釣合いを確認する確認部、第８の
ステーションは動釣合い調整が完了された被調整体を回
転テーブルから降載させるアンローダ部であり、前記第
１及び第２調整部に前記重り付着手段と位置設定手段が
設けられる請求項１ないし４のいずれかに記載の動釣合
い調整装置。 5. A rotary table, wherein eight stations are formed around the rotary table, a first station is a loader unit for mounting the object to be adjusted on the rotary table, and a second station is a measurement for measuring the dynamic balance of the object to be adjusted. A third station for adjusting the balance by attaching a weight to a part of the object to be adjusted based on the measured dynamic balance; a fourth fixing station for fixing the attached weight; The fifth station is a second adjusting unit that adjusts the balance by attaching a weight to another portion of the object to be adjusted based on the measured dynamic balance. The sixth station is a unit that fixes the attached weight. The second fixing unit, the seventh station is a check unit for confirming the dynamic balance of the adjusted object whose adjustment processing has been completed, and the eighth station is to drop the adjusted object whose dynamic balance adjustment has been completed from the rotary table. Causing an unloader unit, dynamic balancing adjustment device according to any one of the first and the weight attachment means with position setting means in the second adjustment portion claims 1 provided 4. 【請求項６】 第１調整部と第２調整部は、それぞれ重
りとして紫外線硬化樹脂を被調整体に付着し、第１定着
部と第２定着部はそれぞれ付着された樹脂に紫外線を照
射して樹脂を硬化させる請求項５に記載の動釣合い調整
装置。6. The first adjustment unit and the second adjustment unit respectively apply an ultraviolet curable resin as a weight to the object to be adjusted, and the first fixing unit and the second fixing unit respectively irradiate the adhered resin with ultraviolet light. The dynamic balance adjusting device according to claim 5, wherein the resin is cured by heating.