JP3279121B2 - ハンダ状態出力装置およびこれを用いたハンダ検査システム - Google Patents
ハンダ状態出力装置およびこれを用いたハンダ検査システムInfo
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Description
程において、基板に光を照射し、この反射光を受光して
得られた受光データより算出した、基板上のハンダ部位
の状態を示す検査データに基づいて、ハンダ部位の状態
を出力するハンダ状態出力装置およびこれを用いたハン
ダ検査システムに関する。
下、単に部品実装工程と称する)を示すものである。
て、基板のハンダ部位、すなわち実装部品をハンダ付け
するランドの部分に、クリームハンダ印刷装置によって
クリームハンダの印刷塗布を行う。
置、あるいはハンダ検査システムによって基板上の各ハ
ンダ部位におけるクリームハンダの印刷状態を検査し、
検査に合格した基板は、部品マウント工程Cに送られ
る。
ンダが印刷塗布された基板上に、マウンタによって部品
をマウントする。
て、部品をマウントされた基板をリフロー炉に入れて加
熱することによって、クリームハンダを熔融させ、部品
を基板にハンダ付けする。
ーハンダ付け処理によって部品をハンダ付けされた基板
のハンダ部位の状態をハンダ検査装置、あるいはハンダ
検査システムによって検査する。
部、制御処理部等によって構成されている。
ーザ光源、X線光源等を有し、光源からの光をハンダ部
位に照射する。光源のON/OFFは、制御処理部によ
って制御される。
電子増倍管を有し、反射光像のカラー画像信号、レーザ
光照射によってハンダ部位に形成された光切断線の画像
信号、あるいはX線照射による光電子画像信号等、基板
からの反射光を受光して得た受光データを制御処理部に
送る。
を制御し、受光部より入力された受光データに基づい
て、クリームハンダ量、形状、あるいはハンダの量、光
沢度、形状等の検査データを算出して、この検査データ
に基づいてクリームハンダの印刷状態、またはハンダの
状態の良否判定を行う。
動作について説明する。
射し、受光部によって反射光を受光して、反射光像のカ
ラー画像信号等の受光データ得、この受光データを制御
処理部に送る。
た受光データに基づいて、クリームハンダの印刷状態あ
るいはハンダの状態を示す検査データを算出して、この
検査データに基づいて、ハンダ部位の良否判定を行い、
この良否判定結果を出力する。
ハンダ検査装置においてハンダ部位の検査を自動化し、
インライン設置される自動ハンダ検査装置と、オフライ
ン設置され、オペレータからの要求に応じて、ハンダ部
位の良否判定結果を出力する検査結果出力装置によって
構成される。
ダ部位の品質管理方法は、検査工程における不良品の発
生動向を注視することによって行われ、不良品の発生が
増加した場合は、上流工程のクリームハンダ印刷機やリ
フロー炉の異常など、不良の増加原因を調査する。
ハンダ部位の品質管理方法においては、ハンダ検査装置
によるハンダ部位の良否判定結果に基づいて、すなわち
不良品が発生して始めて、上流工程の異常に対処するこ
ととなるため、効率のよい品質管理方法であるとは言え
ず、しばしば多量の不良品を発生させたり、異常工程へ
の対処のためのライン停止によって生産計画が遅れるこ
とがあった。
るものであり、部品実装工程において、基板上のハンダ
部位の品質悪化を予防でき、効率的に品質管理ができる
ハンダ状態出力装置およびこの装置を用いた検査システ
ムを提供することを目的とするものである。
めに本発明のハンダ状態出力装置は、当該装置内に検査
データの時間的推移を示す情報を作成して出力するデー
タ処理手段を備えたものである。
は、基板に光を照射し、この反射光を受光して得られる
受光データから基板上のハンダ部位の状態を示す検査デ
ータを算出し、この検査データに基づいてハンダ部位の
状態を出力するものであり、請求請7のハンダ状態出力
装置は、基板検査装置によって作成された、基板上のハ
ンダ部位の状態を示す検査データに基づいて、ハンダ部
位の状態を出力するものである。
基板に光を照射し、この反射光を受光して得られる受光
データから基板上のハンダ部位の状態を示す検査データ
を算出する基板検査装置と、前記基板検査装置による検
査データに基づいて、ハンダ部位の状態を出力するハン
ダ状態出力装置とによって構成されるハンダ検査システ
ムであって、前記ハンダ状態出力装置に、前記検査デー
タの時間的推移を示す情報を作成して出力するデータ処
理手段を備えたものである。
て、検査データの時間的推移情報を作成し、この時間的
推移情報を出力することによって、基板のハンダ部位の
品質動向を適確に把握できるので、ハンダ部位の品質悪
化を予防でき、効率的に品質管理ができる。
施例を示す概略構成図である。
投光部1、撮像部2、X軸テーブル部3、Y軸テーブル
部4、制御処理部5によって構成される。
像処理部7、判定部8、記憶部9、入力部10、表示部
11、データ処理部12、および制御部13によって構
成される。
ある白色光源14および青色光源15、16を有し、こ
れらの光源の光度およびON/OFFは、撮像コントロ
ーラ6によって制御される。
いて、投光部1の白色光源14および青色光源15、1
6の各リング状光源は、その中心が撮像部2の撮像中心
軸21と一致するように同心円上に設置され、かつリン
グ半径r1 、r2 、r3 、を違え、基板面22からの高
さh1 、h2 、h3 を違えることによって、基板面22
と撮像中心軸21との交点からの仰角が、異なる角度θ
1 、θ2 、θ3 となるように設置されている。ここでθ
1 >θ2 >θ3 であり、白色光源14の仰角θ1 は90
°に近いことが望ましい。
カメラであり、投光部1と一体化されており、撮像コン
トローラ6からの命令に従って、被検査基板17のハン
ダ部位を撮像する。
部2が取り付けられており、被検査基板17のハンダ部
位を順次撮像するために、撮像コントローラ6からの命
令に従って、投光部1および撮像部2をX方向に移動さ
せる。
を有しており、この基板ステージ上に被検査基板17が
セットされ、ハンダ部位を順次撮像するために、撮像コ
ントローラ6からの命令に従って、被検査基板17をY
方向に移動させる。
2、X軸テーブル部3、およびY軸テーブル部4と、制
御部13とを接続するインターフェイス等を有し、制御
部13からの命令に従って、投光部1、撮像部2、X軸
テーブル部3、およびY軸テーブル部4の動作を制御す
る。
従って、撮像部2によって得られたアナログカラー画像
信号をディジタルカラー画像データにA/D変換し、こ
のカラー画像データに対して二値化処理等の画像処理を
施す。
板の各ハンダ部位の検査データと、予め設定された上限
値および下限値とを比較することによって、基板の良否
判定を行い、良否判定結果を制御部13に出力する。
画像処理部7、データ処理部12、および制御部13の
作業エリアとして使われるとともに、制御部13からの
命令に従って、画像処理部7、データ処理部12、およ
び制御部13から出力された各種データを記憶する。
り、オペレータはこの入力部10を操作することによっ
て、各種のデータや命令を入力する。
およびプリンタを有し、制御部13より送られる良否判
定結果、検査データの時間的推移情報等の各種データを
表示あるいはプリントアウトする。
から、ハンダ部位の状態の時間的推移を示す、検査デー
タの時間的推移情報を作成する。
し、オペレータによって入力部10から入力される各種
のデータや命令に従って、図3に示す手順で、撮像コン
トローラ6、画像処理部7、判定部8、記憶部9、表示
部11、およびデータ処理部12の動作を制御し、基板
上のハンダ部位の検査を行う。
示すフローチャートである。
ータは図11に示す検査工程Bにおいて、クリームハン
ダの印刷状態を検査するのか、検査工程Eにおいて、リ
フローハンダ付け処理されたハンダの状態を検査するの
かを設定する。
ることを入力し、ST3で、被検査基板をY軸テーブル
部4の基板ステージにセットし、セットが完了したこと
を入力する。
ラ6を介してX軸テーブル部3およびY軸テーブル部4
を動作させ、被検査基板のハンダ部位を撮像部2の撮像
位置に移動させ、クリームハンダの印刷状態を検査する
場合は、投光部1の白色光源14をONし、青色光源1
5、16をOFFして白色光のみを基板に照射し、また
リフローハンダ付け処理されたハンダの状態を検査する
場合は、青色光源15、16をONし、白色光源14を
OFFして青色光のみを基板に照射する。
2によって撮像して得たアナログカラー画像信号を、画
像処理部7でA/D変換処理してディジタルカラー画像
データを得る。
は、白色光の照射による反射光像を撮像部2によって撮
像すれば、クリームハンダ面、銅箔のランド部分等の乱
反射特性を有する部分のカラー画像が得られる。
のカラー画像の一例を示すものである。
32はクリームハンダが印刷された部分(クリームハン
ダ面)、33はクリームハンダが印刷されなかったため
に露出した銅箔のランド部分をそれぞれ示す。
ムハンダはランド部分31上に均一に印刷され、クリー
ムハンダ面32とランド部分31の面積はほぼ等しくな
る。
分33は銅箔であるため、赤色に彩色される。一方クリ
ームハンダは灰色であるため、クリームハンダ面32は
灰色に彩色される。
タに図4に示す検査領域34を設定し、画像処理部7を
動作させて、検査領域34内において、クリームハンダ
色に彩色された領域を抽出し、抽出した領域のデータを
「1」とする二値化データを作成する。
たクリームハンダの量を検査する場合は、前記二値化デ
ータからクリームハンダ面32の面積を算出する。印刷
塗布されたクリームハンダの高さはほぼ一定と考えられ
るので、上記の面積値をもってクリームハンダ量の検査
データとし、この検査データを判定部8およびデータ処
理部12に送る。
リームハンダ量の検査データと、予め設定されたクリー
ムハンダ量の上限値および下限値と比較することによっ
て、クリームハンダ量の良否判定を行い、この判定結果
を制御部13に出力する。
の状態を検査する場合は、ハンダ面は鏡面反射特性を有
するので、ほぼ垂直方向から入射する白色光の照射によ
る反射光像のカラー画像からハンダの状態を検査するこ
とは難しく、斜め方向からの青色光の照射による反射光
像を撮像部2によって撮像して得たカラー画像を用い
る。
を示す説明図である。同図において、撮像部2の撮像中
心軸(基板面に対して垂直方向)21上に中心を有する
リング状の青色光源41から基準面(基板面に対して平
行な面)42に対して仰角θで基板のハンダ面43に入
射した青色光は、基準面42に対する傾斜角がi1 であ
る、ハンダ面43のある曲面要素に対しては入射角i2
(=i1 )で入射し、反射角i3 (=i1 =i2 )で反
射される。この反射方向が撮像中心軸21の方向と一致
していれば、この曲面要素は、撮像部2によって得られ
るカラー画像において、青色に彩色される。ここで傾斜
角、入射角、および反射角は等しいので、これをi(=
i1 =i2 =i3 )とすると、青色光の反射方向が撮像
中心軸21の方向と一致するときには、傾斜角(あるい
は入射角または反射角)iと仰角θとの間には、 θ=90°−2i の関係がある。
角がi−Δiからi+Δiまで2Δiの幅を持つ光を入
射させるので、傾斜角がi−Δiからi+Δiである曲
面要素が検出される。
は、異なる仰角を有する青色光源を2つ配置して入射角
の幅Δiを大きな値とすることによって、この青色光に
よる反射光像を撮像して得られるカラー画像において、
三次元曲面形状を有するハンダ面のほぼ全域が青色に彩
色される。
面、およびその周辺のカラー画像の一例を示すものであ
る。
52は実装部品をそれぞれ示し、カラー画像において、
53はハンダ面51の青色に彩色された領域を示す。
タに図6に示す検査領域54を設定し、画像処理部7を
動作させて、検査領域54内において、青色に彩色され
た領域53を抽出し、抽出した領域のデータを「1」と
する二値化データを作成する。
検査する場合は、前記二値化データから青色に彩色され
た領域53の面積を算出し、この面積値をもってハンダ
量の検査データとし、この検査データを判定部8および
データ処理部12に送る。
ンダ量の検査データと予め設定されたハンダ量の上限値
および下限値と比較することによって、ハンダ量の良否
判定を行い、この判定結果を制御部13に出力する。
ラー画像データの検査領域54から青色に彩色された領
域53を抽出し、抽出した領域において青色信号レベル
の平均値を算出し、この平均値をもって光沢度の検査デ
ータとし、この検査データを判定部8およびデータ処理
部12に送る。
沢度の検査データを予め設定された下限値と比較するこ
とによって、ハンダの光沢度の良否判定を行い、この判
定結果を制御部13に出力する。
部位について行う。
の良否判定結果を表示部11に表示し、ST6で、撮像
コントローラ6を介してY軸テーブル部4を動作させて
被検査基板を搬出位置に移動し、オペレータは被検査基
板をY軸テーブル部4の基板ステージから取り外す。
部12によって作成された、検査データの時間的推移情
報を表示部11に表示する。
り返すことによって、順次基板を検査する。
た時間的推移情報の一例を示すものであり、同図はハン
ダ量の検査データの場合を示している。
移、62は良否判定における上限値、63は良否判定に
おける下限値をそれぞれ示している。
のようにして作成される。データ処理部12は、図3の
ST4において制御部13から送られてくる、各被検査
基板の検査データから、予め特定してあるハンダ部位の
ハンダ量の検査データを順次抽出し、抽出したハンダ量
の検査データを各基板におけるハンダ量として、図7に
示すグラフを作成する。
ンダ量の検査データの平均値を算出し、この平均値をも
って各基板におけるハンダ量としてもよい。
とに時間的推移情報を作成してもよい。
の表示例であり、被検査基板を6つの領域の分け、各領
域ごとにクリームハンダ量の検査データの平均値を算出
し、この平均値を各領域のクリームハンダ量として、各
領域ごとに時間的推移情報を表示したものである。
a〜fは分割された各領域を示す。また72はクリーム
ハンダ量の時間的推移、73は良否判定における上限
値、74は良否判定における下限値をそれぞれ示してい
る。
いずれも上限値73と下限値74の間を推移しており、
不良と判定されないが、領域aおよびfのクリームハン
ダ量が徐々に減少していることがわかり、近いうちに領
域aおよびfにおいてクリームハンダ量不足によって不
良となるハンダ部位が発生するだろうと予測できる。
るクリームハンダ印刷工程(図10に示す工程A)のハ
ンダ印刷機のマスクシートの開孔部の目づまりや、基板
の領域aおよびfの印刷を行う部分の温度変化等が考え
られるので、ハンダ印刷機を調べ、異常を発見できれ
ば、この異常に対処することによって、不良の大量発生
を未然に防ぐことができる。
報の表示例であり、基板上の四隅および中央に位置する
5つのハンダ部位を特定し、この特定箇所におけるハン
ダの光沢度の時間的推移情報を表示したものである。
g〜kは特定されたハンダ部位を示す。また82はハン
ダ光沢度の時間的推移、83は良否判定における下限値
をそれぞれ示している。
れも下限値83より大きな値を推移しており、不良と判
定されないが、ハンダ部位g〜iのハンダ光沢度が低下
していることがわかる。
程であるリフローハンダ付け工程(図11に示す工程
D)のリフロー炉の温度不安定、炉内への不純物混入等
が考えられるので、このリフロー炉を調べて異常に対処
すれば、不良の大量発生を未然に防ぐことができる。
の投光部1は、リング状のカラー蛍光燈光源によって構
成されているが、リング状のネオン燈光源、X線光源、
あるいは扇状の平面光をハンダ部位に対して斜め方向か
ら照射するレーザ光源等によって構成される場合もあ
る。
部位の真上に位置する撮像部2によって平面レーザ光に
よってハンダ部位に形成される光切断線を撮像し、この
光切断線の形状に基づいて、クリームハンダ面の高さ、
あるいはハンダのフィレット角度等の三次元形状に関す
る検査データを算出する。またX線光源を用いる場合
は、ハンダ部位から放出される光電子を受光するため
に、撮像部2に替えて光電子増倍管等の受光手段が用い
られる。
第一実施例によれば、データ処理部12において、制御
部13から入力される各実装基板の検査データを用いて
ハンダ部位の状態の時間的推移を示す検査データの時間
的推移情報を作成し、この時間的推移情報を表示部10
に表示することによって、ハンダ部位の品質動向を適確
に把握できるので、ハンダ部位の品質悪化を予防でき、
効率的に品質管理ができる。
の第二実施例を用いた本発明のハンダ検査システムの実
施例を示すシステム構成図である。
は、図11の検査工程Bあるいは検査工程Eにおいて用
いられる。
造ライン92に組み込まれた自動ハンダ検査装置であ
り、93は本発明のハンダ状態出力装置の第二実施例で
ある。
スク装置、およびLANケーブル94に接続されたネッ
トワーク接続部を有するデータ出力部95等によって構
成され、被検査基板のハンダ部位の状態を示す各種検査
データを算出し、この検査データに基づいて被検査基板
の良否判定を行うとともに、被検査基板の基板番号、検
査時刻、検査データ、および良否判定結果等からなる検
査ファイルをデータ出力部95によってフロッピーディ
スク96に書き込むか、あるいはLANケーブル94に
出力する。
97、記憶部98、入力部99、表示部100、データ
処理部101、および制御部102によって構成され
る。
置、およびLANケーブル94に接続されたネットワー
ク接続部を有し、自動ハンダ検査装置91より出力され
た検査ファイルをLANケーブル94より受信するか、
あるいはフロッピーディスク96より読み込む。尚この
検査ファイルの受け渡しをLANケーブル94によって
行うか、フロッピーディスク96によって行うかは、ユ
ーザーによって選択されるものである。
し、データ処理部101および制御部13の作業エリア
として使われるとともに、制御部102からの命令に従
って、データ処理部12および制御部102から出力さ
れた各種データを記憶する。
り、オペレータはこの入力部99を操作することによっ
て、各種のデータや命令を入力する。
イ、およびプリンタを有し、制御部102より送られる
良否判定結果、検査データの時間的推移情報等の各種デ
ータを表示、あるいはプリントアウトする。尚検査デー
タの時間的推移情報等をディスプレイに表示するか、プ
リンタでプリントアウトするかは、オペレータによって
選択されるものである。
より入力された各基板の検査時刻および検査データか
ら、ハンダ部位の状態の時間的推移を示す、検査データ
の時間的推移情報を作成する。
有し、オペレータによって入力部99から入力される各
種のデータや命令に従って、データ入力部97、記憶部
98、表示部100、およびデータ処理部101の動作
を制御し、基板の良否判定結果、検査データの時間的推
移情報等を表示部100のディスプレイに表示、あるい
はプリンタよりプリントアウトする。
査システムの実施例の動作について説明する。
イン92より搬入された被検査基板のハンダ部位に光照
射を行うことによって得られた受光データから、ハンダ
部位の状態を示す各種検査データを算出し、この検査デ
ータに基づいて被検査基板の良否を判定する。この検査
データおよび良否判定結果はデータ出力部95に送ら
れ、データ出力部95によって、被検査基板の基板番
号、検査時刻、検査データ、および良否判定結果等より
成る検査ファイルをフロッピーディスク96に書き込む
か、あるいはLANケーブル94に出力する。
データ入力部97によって、自動ハンダ検査装置91よ
り出力された検査ファイルをLANケーブル94より受
信するか、あるいはフロッピーディスク96より読み込
む。
て得られた検査ファイルを記憶部98に記憶するととも
に、検査ファイルデータ中の被検査基板の検査時刻、検
査データをデータ処理部101に入力し、データ処理部
101によって、各基板の検査時刻および検査データか
ら、図7ないし図9に示すような、検査データの時間的
推移情報を逐次作成する。
ドを操作して検査データの時間的推移情報の出力命令を
入力した時に、制御部102は、データ処理部101か
らオペレータの要求に応じた時間的推移情報を読み出
し、例えば図8に示すようなクリームハンダ量の領域ご
との時間的推移情報を読み出し、表示部100のディス
プレイに表示する、あるいはプリンタによってプリント
アウトする。
されれば、制御部102は、要求のあった基板番号の良
否判定結果を記憶部99より読み出して表示部100よ
り出力する。
第二実施例を用いたハンダ検査システムの実施例によれ
ば、ハンダ状態出力装置を部品実装工程の製造ライン9
2に組み込まず、オフラインとしてハンダ検査システム
を構成し、ハンダ状態出力装置のデータ処理部101に
おいて、自動基板検査装置より入力される各基板の検査
データを用いてハンダ部位の状態の時間的推移を示す検
査データの時間的推移情報を作成し、この時間的推移情
報をオペレータの要求に応じて表示部100より出力す
ることによって、製造ライン92を止めることなく、必
要な時にハンダ部位の品質動向を適確に把握できるの
で、ハンダ部位の品質悪化を予防でき、効率的に品質管
理ができる。
に、検査データの時間的推移情報を作成し、この時間的
推移情報を出力することによって、基板上のハンダ部位
の品質動向を適確に把握できので、ハンダ部位の品質悪
化を予防でき、効率的に品質管理ができるという効果を
有する。
す概略構成図である。
ける投光部の構成図である。
ける基板検査手順を示すフローチャートである。
明図である。
図である。
る。
ある。
る。
用いた本発明のハンダ検査システムの実施例を示すシス
テム構成図である。
Claims (15)
- 【請求項1】 基板に光を照射し、この反射光を受光し
て得られる受光データから基板上のハンダ部位の状態を
示す検査データを算出し、この検査データに基づいてハ
ンダ部位の状態を出力するハンダ状態出力装置であっ
て、当該装置内に、 前記基板上の特定ハンダ部位の検査データの時間的推移
を示す情報を作成して出力するデータ処理手段を備えた
ハンダ状態出力装置。 - 【請求項2】 基板に光を照射し、この反射光を受光し
て得られる受光データから基板上のハンダ部位の状態を
示す検査データを算出し、この検査データに基づいてハ
ンダ部位の状態を出力するハンダ状態出力装置であっ
て、 当該装置内に、 前記基板上を複数の領域に分割し、各領域における検査
データの時間的推移を示す情報を作成して出力するデー
タ処理手段を備えたハンダ状態出力装置。 - 【請求項3】 前記データ処理手段は、ハンダ量の検査
データの時間的推移を示す情報を作成して出力するデー
タ処理手段である、請求項1または請求項2記載のハン
ダ状態出力装置。 - 【請求項4】 前記データ処理手段は、ハンダの光沢度
の検査データの時間的推移を示す情報を作成して出力す
るデータ処理手段である、請求項1または請求項2記載
のハンダ状態出力装置。 - 【請求項5】 前記データ処理手段は、クリームハンダ
量の検査データの時間的推移を示す情報を作成して出力
するデータ処理手段である、請求項1または請求項2記
載のハンダ状態出力装置。 - 【請求項6】 基板検査装置によって作成された、基板
上のハンダ部位の状態を示す検査データに基づいて、ハ
ンダ部位の状態を出力するハンダ状態出力装置であっ
て、 当該装置内に、 前記基板上の特定ハンダ部位の検査データの時間的推移
を示す情報を作成して出力するデータ処理手段を備えた
ハンダ状態出力装置。 - 【請求項7】 基板検査装置によって作成された、基板
上のハンダ部位の状態を示す検査データに基づいて、ハ
ンダ部位の状態を出力するハンダ状態出力装置であっ
て、当該装置内に、 前記基板上を複数の領域に分割し、各領域における検査
データの時間的推移を示す情報を作成して出力するデー
タ処理手段を備えたハンダ状態出力装置。 - 【請求項8】 前記データ処理手段は、ハンダ量の検査
データの時間的推移を示す情報を作成して出力するデー
タ処理手段である、請求項6または請求項7記載のハン
ダ状態出力装置。 - 【請求項9】 前記データ処理手段は、ハンダの光沢度
の検査データの時間的推移を示す情報を作成して出力す
るデータ処理手段である、請求項6または請求項7記載
のハンダ状態出力装置。 - 【請求項10】 前記データ処理手段は、クリームハン
ダ量の検査データの時間的推移を示す情報を作成して出
力するデータ処理手段である、請求項6または請求項7
記載のハンダ状態出力装置。 - 【請求項11】 基板に光を照射し、この反射光を受光
して得られる受光データから基板上のハンダ部位の状態
を示す検査データを算出する基板検査装置と、前記基板
検査装置による検査データに基づいて、ハンダ部位の状
態を出力するハンダ状態出力装置とによって構成される
ハンダ検査システムであって、 前記ハンダ状態出力装置に、前記基板上の特定ハンダ部
位の 検査データの時間的推移を示す情報を作成して出力
するデータ処理手段を備えたハンダ検査システム。 - 【請求項12】 基板に光を照射し、この反射光を受光
して得られる受光データから基板上のハンダ部位の状態
を示す検査データを算出する基板検査装置と、前記基板
検査装置による検査データに基づいて、ハンダ部位の状
態を出力するハンダ状態出力装置とによって構成される
ハンダ検査システムであって、 前記状態出力装置に、前記基板上を複数の領域に分割
し、各領域における 検査データの時間的推移を示す情報
を作成して出力するデータ処理手段を備えたハンダ検査
システム。 - 【請求項13】 前記データ処理手段は、ハンダ量の検
査データの時間的推移を示す情報を作成して出力するデ
ータ処理手段である、請求項11または請求項12記載
のハンダ検査システム。 - 【請求項14】 前記データ処理手段は、ハンダの光沢
度の検査データの時間的推移を示す情報を作成して出力
するデータ処理手段である、請求項11または請求項1
2記載のハンダ検査システム。 - 【請求項15】 前記データ処理手段は、クリームハン
ダ量の検査データの時間的推移を示す情報を作成して出
力するデータ処理手段である、請求項11または請求項
12記載のハンダ検査システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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