JP3263338B2 - プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成方法、蛍光体形成装置及びプラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成方法、蛍光体形成装置及びプラズマディスプレイパネルの製造方法Info
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Description
に用いるプラズマディスプレイパネルの製造方法及び蛍
光体層形成装置に関するものである。
位で大画面のテレビに対する期待が高まっている中で、
CRT,液晶ディスプレイ(LCD),プラズマディス
プレイパネル(Plasma Display Panel,以下PDPと記
載する)といった各ディスプレイの分野において、これ
に適したディスプレイの開発が進められている。
用いられているCRTは、解像度・画質の点で優れてい
るが、画面の大きさに伴って奥行き及び重量が大きくな
る点で40インチ以上の大画面には不向きである。ま
た、LCDは、消費電力が少なく、駆動電圧も低いとい
う優れた性能を有しているが、大画面を作製するのに技
術上の困難性があり、視野角にも限界がある。
大画面を実現することが可能であって、既に40インチ
クラスの製品も開発されている。ところで、ディスプレ
イの高品位化に対する要求が高まるにつれて、PDPに
おいても微細なセル構造のものが望まれている。例え
ば、従来のNTSCではセル数が640×480で、4
0インチクラスではセルピッチが0.43mm×1.2
9mm、1セル面積が約0.55mm2であったが、フ
ルスペックのハイビジョンテレビの画素レベルでは、画
素数が1920×1125となり、42インチクラスで
のセルピッチは0.15mm×0.48mm、1セルの
面積は0.072mm2の細かさとなる。
バックプレートに隔壁を形成し、隔壁間の凹部に、赤,
緑,青の蛍光体層を配設し、これに、電極を配したフロ
ントカバープレートを重ねて放電ガスを封入することに
よって製造されるが、駆動方式によって直流型(DC
型)と交流型(AC型)とに大別され、DC型では電極
が放電空間に露出しているのに対して、AC型では電極
上に誘電体ガラス層が配設されている。また、一般的
に、AC型では隔壁がストライプ状に形成されているの
に対して、DC型では隔壁が井桁状に形成されており、
この点で、AC型の方が微細なセル構造のパネルを形成
するのに適している。
様であって、放電に伴って放電ガスから紫外線が放出さ
れ、蛍光体層の蛍光体粒子(赤,緑,青)がこの紫外線
を受けて励起発光するが、放電エネルギーが紫外線へ変
換する効率や、蛍光体における可視光への変換効率は低
く、高い輝度は得ることは難しい。そこで、詳細なセル
構造のPDPを実用化するために、従来よりセルの発光
効率を高める研究がなされており、蛍光体層の改良も検
討されている。
層を形成するためには、用いる蛍光体の品質も重要であ
るが、隔壁間の凹部の底面だけではなく、側面にも蛍光
体層をバランスよく配設することも大切である。蛍光体
層を形成する方法としては、スクリーン印刷法で蛍光体
ペーストを隔壁間の凹部に充填して焼成する方法が多く
用いられているが、微細なセル構造のPDPに対して
は、スクリーン印刷法は適用が難しい。
程度の場合、隔壁と隔壁との間隙は0.08〜0.1m
m程度と非常に狭くなってしまうが、スクリーン印刷で
用いる蛍光体インキは粘度が高いので(通常、数万セン
チポイズ)、0.1mm以下の狭い間隙に精度良く高速
に蛍光体インキを流し込むことは困難である。また、微
細な構造のスクリーン板を作成することも困難である。
形状の蛍光体層を形成しようとすれば、蛍光体ペースト
の粘度等の印刷条件を調整するなどして凹部の側面にも
蛍光体ペーストを適量付着させる必要があるが、実際に
は、側面に蛍光体ペーストが付着しにくく、その調整が
難しいという問題があった。これに対して、例えば、特
開平6−5205号公報には、スクリーン印刷法で凹部
に蛍光体インキを充填して乾燥し、サンドブラスト処理
を行った後、焼成することによって、凹部の側面にも蛍
光体層を形成するという方法が開示されているが、サン
ドブラスト処理を行うのでコスト高となるし、基本的に
スクリーン印刷を用いているため、微細なセル構造に適
用する場合の困難さも残る。
て、スクリーン印刷法以外に、フォトレジストフィルム
法やインキジェット法も知られている。フォトレジスト
フィルム法は、特開平6−273925号公報に開示さ
れているように、各色蛍光体を含む紫外線感光性樹脂の
フィルムを、隔壁間の溝に埋め込み、該当する色の蛍光
体層を形成しようとする部分だけに露光現像を施し、露
光しない部分を洗い流す方法であって、この方法によれ
ば、セルピッチが小さい場合にも、ある程度精度良く凹
部にフィルムを埋め込むことが可能である。しかしなが
ら、3色各色についてフィルムの埋め込み,露光現像及
び洗い流しを順次行う必要があるため、製造工程が複雑
であると共に混色が生じやすいという問題があり、更
に、蛍光体は比較的高価であるにもかかわらず洗い流さ
れた蛍光体を回収することは困難なためコスト高になる
という問題もある。
平8−162019号公報に開示されているように、蛍
光体と有機バインダーからなるインキ液を加圧してノズ
ルから噴射させながら走査することにより、所望のパタ
ーンでインキ液を絶縁基板上に付着させる方法であっ
て、狭い隔壁間の凹部にも精度良くインキを塗布するこ
とが可能である。
なりやすいので、隔壁がストライプ状に形成されている
場合、隔壁間の溝に一定の膜厚で塗布することが難し
い。ここで、比較的低い粘度のインキを高圧で噴射すれ
ば、インキを連続流で安定して噴射することもできると
考えられるが、この場合、単位時間のインキ噴射量が大
きくなるので、高速(3m/sec程度)でノズルの走
査を行う必要があるが、精度よく高速で走査させる機構
は高価である。
のであって、微細なセル構造の場合にも、隔壁間の溝に
精度良く蛍光体層を形成することができ、且つ、高速で
ノズル等を走査しなくてもストライプ状の溝に均一的な
蛍光体層を形成することができ、更に、溝の側面にも比
較的容易に蛍光体層を形成することのできるPDPの製
造方法及び蛍光体層形成装置を提供することを目的とす
るものである。
め、本発明のPDPの製造方法並びに蛍光体層形成装置
では、表面にストライプ状の隔壁が形成されたプレート
に対して、ノズルから蛍光体インキを吐出しながら隔壁
間の溝に充填することによって蛍光体層を形成する工程
において、プレートの溝の内面とノズルとを蛍光体イン
キで架橋し、その後、ノズルから蛍光体インキを吐出し
て蛍光体インキの架橋を保ちながら、ノズルを隔壁に沿
って走査するようにし、更に、蛍光体インキで架橋する
際には、ノズルを走査するときより架橋プレートの溝の
底とノズルとの間隔を小さくした。ここでいうプレート
の溝の内面とノズルとの架橋は、蛍光体インキの表面張
力(メニスカス力)によって架橋されていることをい
う。
時に蛍光体インキをノズルから低圧でゆっくり吐出させ
ても、連続流を形成することができる。従って、ノズル
をゆっくり走査しても、均一的な蛍光体層を形成するこ
とができる。また、比較的高粘度の蛍光体インキを用い
ても、連続流を形成することができる。
を架橋することも可能であって、それによって蛍光体イ
ンキを溝の側面に付着させることも比較的容易にでき
る。ノズルの走査時には、ノズルとプレートとを非接触
の状態で、プレートの溝の底とノズルとの間隔を5μm
〜1mmに保ちながら行うことが好ましい。また、ノズ
ルの走査時において、プレートの溝の底とノズルとの間
隔を、隔壁の高さ以下に保ちながら行えば、溝の側面に
対して蛍光体インキを付着させるのにより効果的であ
る。
ノズルの走査時よりもプレートとノズルとの間隔を小さ
くすれば、容易に且つ迅速に架橋することができる。ま
た、架橋するときに、まず、プレートの溝の端部に蛍光
体インキを付着させ、その蛍光体インキにノズルを接触
させることによって、容易に架橋することができる。ノ
ズルから吐出する蛍光体インキの粘度は、せん断速度が
200sec-1において10〜1000センチポアズに
設定することが望ましく、一般的にノズル径は、45〜
150μmとすることが望ましい。
て、走査時には、複数個のノズルから複数の溝に対して
並行して蛍光体インキを吐出しながら走査したり、複数
個のノズルから複数の溝に対して並行して複数の種類の
色の蛍光体インキを吐出しながら走査したりすることも
できる。この場合、1度の走査で複数本の蛍光体層ある
いは複数色の蛍光体層を形成できるので効率的である。
実施の形態に係る交流面放電型PDPの概略断面図であ
る。図1ではセルが1つだけ示されているが、赤,緑,
青の各色を発光するセルが交互に多数配列されてPDP
が構成されている。
電電極12と誘電体ガラス層13が配された前面パネル
と、背面ガラス基板15上にアドレス電極16,隔壁1
7,蛍光体層18が配された背面パネルとを張り合わ
せ、前面パネルと背面パネルの間に形成される放電空間
19内に放電ガスが封入された構成となっており、以下
に示すように作製される。
断面で表示されているが、実際には、放電電極12はア
ドレス電極16と直交マトリックスを組むように、図1
の紙面に沿った方向に配設されている。前面パネルの作
製:前面パネルは、前面ガラス基板11上に放電電極1
2を形成し、その上を鉛系の誘電体ガラス層13で覆
い、更に誘電体ガラス層13の表面上に保護層14を形
成することによって作製する。
幅は例えば60μmである。放電電極12は、銀電極用
のペーストをスクリーン印刷し焼成することによって形
成することができる。誘電体ガラス層13は、例えば、
70重量%の酸化鉛[PbO],15重量%の酸化硼素
[B2O3],10重量%の酸化硅素[SiO2]及び5
重量%の酸化アルミニウムと有機バインダ[α−ターピ
ネオールに10%のエチルセルローズを溶解したもの]
とを混合してなる組成物を、スクリーン印刷法で塗布し
た後、520℃で20分間焼成することによって膜厚3
0μmで形成する。
O)からなるものであって、例えば、スパッタリング法
によって0.5μmの膜厚に形成する。 背面パネルの作製:背面ガラス基板15上に、銀電極用
のペーストをスクリーン印刷しその後焼成することによ
って、アドレス電極16を形成する。
刷した後、焼成することによって隔壁17を形成する。
この隔壁17は、例えば、42インチのハイビジョンテ
レビ用のディスプレイに合わせて、間隔(セルピッチ)
を0.15mmに、高さを0.15mmに設定する。そ
して、隔壁17の間の溝に蛍光体層18を形成する。こ
の蛍光体層18の形成方法については後で詳述するが、
ノズルから蛍光体インキを連続的に噴射しながら走査す
る方法で蛍光体インキを充填し、焼成することによって
蛍光体層の形成を行う。
に、このように作製した前面パネルと背面パネルとを封
着用ガラスを用いて張り合せると共に、隔壁17で仕切
られた放電空間19内を高真空(例えば8×10-7To
rr)に排気した後、放電ガス(例えばHe−Xe系,
Ne−Xe系の不活性ガス)を所定の圧力(100〜7
60Torr)で封入することによってPDPを作製す
る。
蛍光体層18を形成する際に用いるインキ充填装置20
の概略構成図である。また、図3は、その装置の充填動
作を示す斜視図である。図2に示されるように、インキ
充填装置20において、サーバ21には蛍光体インキが
貯えられており、加圧ポンプ22は、この蛍光体インキ
を加圧してヘッダ23に供給する。
の突出したノズル24が設けられており、加圧されて供
給された蛍光体インキは、インキ室231から各ノズル
24に分配されて連続的に吐出されるようになってい
る。このヘッダ23は、金属材料を機械加工或は放電加
工することによって、インキ室231やノズル24の部
分も含めて一体成型されたものである。
キは、各色蛍光体粒子とバインダと溶剤成分等が適当な
粘度となるよう調合されたものであって、蛍光体粒子が
沈降しないようにサーバ21内に取り付けられた撹拌機
(不図示)で混合撹拌されながら貯蔵されている。蛍光
体インキを構成する蛍光体粒子としては、一般的にPD
Pの蛍光体層に使用されているものを用いることができ
る。その、その具体例としては、 青色蛍光体: BaMgAl10O17:Eu2+ 緑色蛍光体: Zn2SiO4:Mn2+ 赤色蛍光体: (YxGd1-x)BO3:Eu3+ を挙げることができる。
を得るために0.5μm以上であることが望ましく、ノ
ズル24の目づまりや蛍光体粒子の沈殿を抑制するため
に5μm以下であることが好ましい。即ち、平均粒径
0.5〜5μm(通常は2〜3μm)の範囲の蛍光体粒
子を用いることが好ましい。また、蛍光体インキの粘度
はせん断速度が200sec-1において10〜1000
センチポアズの範囲内に調整すると共に、分散剤を0〜
1重量%添加することが望ましい。
記表1に示すように、No.1の平均粒径2.0μmの
各色蛍光体粒子30重量%、バインダとしてエチルセル
ローズ(分子量20万)1.0重量%、分散剤としてグ
リセリルトリオレート0.5重量%、溶剤としてターピ
ネオール68.5重量%をはじめとして各種組成を挙げ
ることができる。
よりも小さく、通常は150μm以下に設定する必要が
あり、また、ノズルの目詰まりを防止するために45μ
m以上に設定することが望ましい。従って、ノズル24
の口径は、45〜150μmの範囲に設定するのが望ま
しい。図3に示されるように、インキ充填装置20にお
いて、隔壁17を配設した背面ガラス基板15上を、隔
壁17に沿ってヘッダ23を走査できるようになってい
る(図3の矢印Aが走査方向)。ヘッダ23の走査は、
本実施の形態ではヘッダ23を直線駆動するヘッダ走査
機構(不図示)によってなされるが、逆にヘッダ23を
固定して背面ガラス基板15を直線駆動してもよい。
赤,青,緑の各色ごとに備えられ、各色のヘッダ23に
開設されているノズル24のピッチは、セルピッチの3
倍に設定されており、図2に示されるように、ヘッダ2
3の走査に伴って2つおきの溝に蛍光体インキが充填さ
れるようになっている。このようなインキ充填装置20
を用いて、以下に示すように蛍光体インキの充填を行
う。
端部15a(この端部15aは、溝部170の端部或は
その近傍でもある。)に位置させ、ノズル24と背面ガ
ラス基板15の溝部170の内面とを十分に接近させる
か接触させて、ノズル24から少量の蛍光体インキを吐
出することによって、蛍光体インキの架橋を形成する。
の間で、蛍光体インキの表面張力による架橋を形成する
形態について考察する。図4では、ノズル24に蛍光体
インキの球がぶら下がっている様子を示している。図中
のLはノズル24の下端から蛍光体インキの球の下端ま
での距離を表わし、図中のMは蛍光体インキの球の幅を
表わしている。
ル24を溝部170に接近させていくと、蛍光体インキ
が溝部170の内面に付着して架橋するが、幅Mが溝部
170の幅より大きい場合、側面170bに付着して架
橋すると考えられ、幅Mが溝部170の幅より小さい場
合、蛍光体インキの球が底面170aに付着し、表面張
力(メニスカス力)によって架橋する。
ズル24と底面170aとの距離は1mm以下と考えら
れる。なお、この架橋時には、ノズル24と底面170
aとを接触させた状態で行えば、容易に且つ迅速に架橋
を形成することができる。続いて、ヘッダ23を走査し
ながら、加圧ポンプ22を作動してノズル24から蛍光
体インキを連続的に吐出することによって、背面ガラス
基板15の溝部170に蛍光体インキを充填する。この
とき、ノズル24と底面170aとの距離を小さく維持
し、背面ガラス基板15の溝部170の内面とノズル2
4の間に形成されている蛍光体インキの表面張力による
架橋を維持しながら走査する。
170aとを、上述した架橋時と同様(通常1mm以
下)に接近させながら走査する。なお、走査中は、ノズ
ル24と背面ガラス基板15とが接触しないようにする
ことが望ましいが、背面ガラス基板15の溝部170の
表面には若干の凹凸が存在するので、ノズル24と溝部
170の底面170aとの間隔を5μm以上とすること
が望ましい。
70の底面170aとの間隔を、5μm〜1mmの範囲
で行うことが望ましい。走査時における加圧ポンプ22
の圧力は、溝部170への塗布量及びノズル24の走査
速度に基づいて、適当な吐出量となるように調整する。
本実施の形態では、数十mm/s程度(例えば50mm
/s)のゆっくりとした速度で走査を行い、加圧ポンプ
22の圧力を小さく(0.5kgf/cm2程度)設定
して従来のインクジェット方式の場合よりも吐出量を小
さくする。
が、上記のように蛍光体インキの架橋によって連続流が
形成されるので、蛍光体インキを溝部170に均一的に
充填し、均一的な蛍光体層を形成することができる。ま
た、従来のインクジェット方式の場合には、高粘度の蛍
光体インキや表面張力の大きい蛍光体インキを用いると
連続流を形成することが難しいが、本実施形態の蛍光体
層の形成方法によれば、比較的高粘度の蛍光体インキや
表面張力の大きい蛍光体インキを用いても、連続流を形
成することができる。
口径や蛍光体インキの粘度などを調整することによっ
て、走査時において、図5に示すようにノズル24と側
面170bとの間で架橋するようにすることもできる。
即ち、ノズル24の口径を大きくし、蛍光体インキの粘
度を大きくすれば、このような架橋が形成されやすいと
考えられる。
70bとの間で架橋すれば、蛍光体インキの側面170
bへの塗布が良好に行われる。以上のような手順に従っ
て、赤,緑,青の各蛍光体インキを、所定の溝部170
に充填して乾燥した後、パネルを焼成(約500℃で1
0分間)することによって、パネル全体に赤,緑,青の
蛍光体層18を形成する。
おいて蛍光体インキを充填する様子を模式的に表わす断
面図である。本実施の形態は、基本的に実施の形態1に
基づくが、図6に示すように、走査時において、ノズル
24を溝部170に挿入した状態で走査を行う。
面170aとノズル24との間隔を、隔壁17の高さ
(例えば120μm)よりも小さい距離(例えば20μ
m)に設定する。この塗布方法によれば、溝部170に
挿入されているノズル24が、溝部170の中央部から
側面170bに向けて蛍光体インキを押しのける働きを
なすので、蛍光体インキを側面170bの上部にまで付
着させることが可能となる。
挿入できるように、溝部170の幅よりも小さく設定す
るが、溝部170に対するノズル24の挿入深さの好ま
しい値は、蛍光体インキの物性や充填量、更には蛍光体
インキと側面170bとの濡れ性などよっても変わるの
で、これらに合わせて、蛍光体インキの溝部170の内
面に対する付着状態となるように調整することが重要で
ある。
DPの製造方法は、実施の形態1と同様であるが、蛍光
体層を形成する工程の中で、蛍光体インキの架橋を形成
する方法が異なっている。図7は、本実施の形態にかか
る蛍光体インキの架橋方法を示す図である。
ように、背面ガラス基板15の端部15aに蛍光体イン
キ40を塗布しておく。この塗布のために、端部15a
に蛍光体インキ40を塗布する機構をインキ充填装置2
0に別個に設けてもよいが、ヘッダ23を端部15aに
位置させて、ノズル24から蛍光体インキを吐出するこ
とによって端部15aに蛍光体インキ40を塗布するこ
とができる。或は、背面ガラス基板15をインキ充填装
置20に装着する前に、別の装置や道具を用いて、端部
15aに蛍光体インキ40を塗布しておいてもよい。
の端部15aの外方から図7の矢印Aの方向にゆっくり
移動し、ノズル24を蛍光体インキ40に接触させてノ
ズル24と端部15aとを蛍光体インキで架橋する。引
き続き、実施の形態1と同様に、ノズル24を溝部17
0に沿って走査させながら蛍光体インキをノズル24か
ら吐出させることによって、蛍光体インキの架橋を保ち
ながら溝部170に蛍光体インキを充填する。
ノズル24の走査動作の中で、蛍光体インキの架橋の形
成と蛍光体インキの充填とを連続的に行うことができ
る。 (その他の事項)なお、上記実施の形態1〜3では、
赤,緑,青の蛍光体インキを別々のヘッダを用いて順に
充填する例を示したが、1つのヘッダに赤,青,緑の3
つのインキ室及び各色のノズルを設けて3色の蛍光体イ
ンキを複数の溝部170に対して並行して吐出するよう
な構成にすれば、一回の走査で3色の蛍光体インキを充
填することができる。
のPDPを例にとって説明したが、本発明は、必ずしも
AC型に限られず、隔壁がストライプ状に配設されたP
DPに対して広く適用することができる。
法並びに蛍光体層形成装置では、蛍光体層を形成する工
程において、プレートの溝の内面とノズルとを、蛍光体
インキで架橋し、ノズルから蛍光体インキを吐出して架
橋を保ちながら、ノズルを隔壁に沿って走査することに
よって、ノズルの走査時に蛍光体インキをノズルから低
圧でゆっくり吐出させても、連続流を形成することがで
きる。従って、ノズルをゆっくり走査しても、均一的な
蛍光体層を形成することができる。
張力の大きい蛍光体インキを用いても連続流を形成する
ことができるので、蛍光体インキの材料の選択幅が広が
る。また、ノズルと溝の側面とに蛍光体インキを架橋す
ることも可能であって、それによって蛍光体インキを溝
の側面に付着させることも比較的容易にできる。また、
ノズルの走査時において、第1のプレートの溝の底とノ
ズルとの間隔を、隔壁の高さ以下に保ちながら行えば、
溝の側面へ蛍光体インキを付着させるのに更に効果があ
る。
ノズルの走査時よりもプレートとノズルとの間隔を小さ
くすれば、容易に架橋することができる。
DPの概略断面図である。
インキ充填装置の概略構成図である。
である。
図である。
橋する様子を示す図である。
る様子を模式的に表わす断面図である。
法を示す図である。
Claims (10)
- 【請求項1】 表面にストライプ状の隔壁が形成された
第1のプレートに対して、ノズルから蛍光体インキを吐
出しながら前記隔壁間の溝に充填することによって蛍光
体層を形成する方法であって、 前記第1のプレートの溝の内面とノズルとを、前記蛍光
体インキの表面張力で架橋する架橋ステップと、 前記架橋ステップで前記第1のプレートの溝の内面と前
記ノズルとが架橋された後、当該ノズルから蛍光体イン
キを吐出して当該蛍光体インキの表面張力による架橋を
保ちながら、当該ノズルを前記隔壁に沿って走査する走
査ステップとを備え、 前記架橋ステップでは、 前記第1のプレートの溝の底と前記ノズルとの間隔を、
前記走査ステップのときより小さくすることを特徴とす
るプラズマディスプレイパネルの蛍光体層を形成する方
法。 - 【請求項2】 表面にストライプ状の隔壁が形成された
第1のプレートに対して、ノズルから蛍光体インキを吐
出しながら前記隔壁間の溝に充填させて蛍光体層を形成
する工程と、第1のプレートの隔壁が形成された側に第
2のプレートを重ねて封着すると共にガス媒体を封入す
る工程とを備えるプラズマディスプレイパネルの製造方
法であって、 前記蛍光体層を形成する工程は、 前記第1のプレートの溝の内面と前記ノズルとを、前記
蛍光体インキの表面張力で架橋する架橋ステップと、 前記架橋ステップで前記第1のプレートの溝の内面と前
記ノズルとが架橋された後、当該ノズルから蛍光体イン
キを吐出して当該蛍光体インキの表面張力による架橋を
保ちながら、当該ノズルを前記隔壁に沿って走査する走
査ステップとを含み、 前記架橋ステップでは、 第1のプレートの溝の底と前記ノズルとの間隔を、前記
走査ステップのときより小さくすることを特徴とするプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項3】 前記走査ステップでは、 前記ノズルと第1のプレートとを非接触の状態に保ちな
がら、当該ノズル又は当該第1のプレートのいずれかを
走査することを特徴とする請求項2記載のプラズマディ
スプレイパネルの製造方法。 - 【請求項4】 前記走査ステップでは、 前記第1のプレートの溝の底と前記ノズルとの間隔を5
μm以上1mm以下に保ちながら走査することを特徴と
する請求項3記載のプラズマディスプレイパネルの製造
方法。 - 【請求項5】 前記走査ステップでは、 前記第1のプレートの溝の底と前記ノズルとの間隔を、
前記隔壁の高さ以下に保ちながら走査することを特徴と
する請求項3または4記載のプラズマディスプレイパネ
ルの製造方法。 - 【請求項6】 前記走査ステップにおいて、 前記ノズルから吐出する蛍光体インキは、せん断速度が
200sec-1において粘度が10〜1000センチポ
アズであることを特徴とする請求項2〜5のいずれかに
記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項7】 前記蛍光体層を形成する工程では、 ノズル径が45〜150μmのノズルを用いることを特
徴とする請求項2〜6のいずれかに記載のプラズマディ
スプレイパネルの製造方法。 - 【請求項8】 前記走査ステップでは、 複数個のノズルから複数の溝に対して並行して蛍光体イ
ンキを吐出しながら走査することを特徴とする請求項2
〜7のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの
製造方法。 - 【請求項9】 前記走査ステップでは、 前記複数個のノズルから複数の溝に対して並行して複数
色の蛍光体インキを吐出しながら走査することを特徴と
する請求項8記載のプラズマディスプレイパネルの製造
方法。 - 【請求項10】 表面にストライプ状の隔壁が形成され
たプレートに対して、ノズルから蛍光体インキを吐出し
ながら前記隔壁間の溝に充填することによって蛍光体層
を形成するプラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成
装置であって、 前記プレートの溝の内面と前記ノズルとを、前記蛍光体
インキの表面張力で架橋する架橋手段と、 前記架橋手段によって前記第1のプレートの溝の内面と
前記ノズルとが架橋された後、前記ノズルから蛍光体イ
ンキを吐出して当該蛍光体インキの表面張力による架橋
を保ちながら、当該ノズルを前記隔壁に沿って走査する
走査手段とを備え、 前記架橋手段は、 前記プレートの溝の底と前記ノズルとの間隔を、前記走
査手段によって前記ノズルを走査するときより小さくす
ることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの蛍光
体層形成装置。
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