JP3253525B2

JP3253525B2 - 液晶用カラーフィルターの作成方法およびその作成方法により得た液晶用カラーフィルター

Info

Publication number: JP3253525B2
Application number: JP14524696A
Authority: JP
Inventors: 一雄緒方
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-06-07
Filing date: 1996-06-07
Publication date: 2002-02-04
Anticipated expiration: 2016-06-07
Also published as: JPH09323472A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶ディスプレイに
用いられる液晶用カラーフィルターの作成方法、および
その作成方法により得られる液晶用カラーフィルターの
構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ディスプレイ用等に用いられるＲ
ＧＢとブラックマトリクスにより構成される液晶用カラ
ーフィルターは、アレイ基板等の対向基板からは独立し
て、基板として構成される。その形成方法として、ブラ
ックマトリクスは、クロム等金属薄膜のフォトリソグラ
フ法、黒顔料レジストのフォトリソグラフ法、スクリー
ン版や凸版、凹版、平版を原版とした印刷法等が用いら
れる。また、ＲＧＢの作成は、顔料レジストのフォトリ
ソグラフ法や、顔料インキの印刷、塗料の電着などの方
法が用いられる。これらの方法は、それぞれの必要に応
じた寸法、形状、位置精度、コスト、作業効率等により
組合せ、使い分けされている。

【０００３】前記した各方法のうち、図２１に示す従来
例のように、金属クロム薄膜をフォトリソグラフ法によ
りエッチング処理して、クロム薄膜ブラックマトリクス
２１を形成し、ＲＧＢは顔料レジストを基板全面に塗布
した後、フォトリソグラフ法により、ＲＧＢ点状パター
ン２２を形成して組合せる方法による液晶用カラーフィ
ルター２０が長い間、最も多く用いられてきた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来の方法で作成した
液晶用カラーフィルター２０では、製造コストが高いた
めもっと安価になる他の製造方法が求められていた。ま
た、ＲＧＢの配列を自由にかつ容易に選択でき、また表
面平滑性が良好でアレイとＲＧＢの表面がほぼ同一で表
面段差が小さく、また使用機器の低消費電力化を図るた
めに、パネル全体の透過率を向上する目的で開口率を高
める作成方法、構造が液晶用カラーフィルターに必要と
されてきた。

【０００５】本発明は、液晶用カラーフィルターを安価
に製造し得る液晶用カラーフィルターの作成方法を目的
とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の液晶用カラーフィルターの作成方法において
は、一定速度で一方向に走行する支持体上に光反応性樹
脂を分割吐出することで、基板上に連続した線条を形成
したのち、線条の不要部分を除去してＲＧＢ画素を作成
するものである。

【０００７】この本発明によれば、作成が容易で、各種
のＲＧＢ配列を自由にかつ容易に作れ、また表面平滑性
が良好で表面段差が小さく、かつ開口率が高く、そして
画像品位が高い液晶用カラーフィルターを安価に製造し
得る。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、色剤分散した樹脂からなるブラックマトリクスを形
成し、感光性の樹脂を母材とした、色剤分散した光反応
性樹脂で連続した線条をブラックマトリクス上に重ね
て、光を照射したのち、線状の非反応部分を現像によっ
て除去してＲＧＢ画素を作成するカラーフィルター基板
の作成方法であって、一定速度で一方向に走行する支持
体上に、感光性の樹脂を母材として色剤分散した光反応
性樹脂を分割吐出することで、基板上に連続した線条を
形成することを特徴とする液晶用カラーフィルターの作
成方法であり、光反応性樹脂を基板上に重ねて形成した
線条に対して光照射を行うことで、開口部の部分の線条
を反応硬化させ、開口部の部分以外の線条を未反応のま
まとし、次いで現像を行って未反応の状態の線条を溶解
することで、不要部分を除去し、反応硬化状態の線条の
みを残すことになって、基板上に形成された開口部にＲ
ＧＢ画素を形成できる。

【０００９】したがって、ＲＧＢフォトレジスト材料の
使用量については、必要な線条の分しかフォトレジスト
材料を消費しないから、従来から使用されているスピン
ナー方式等の塗布方法に比べて１／１０から１／２０と
少なくなり、製造コストの低減が図れ、安価に液晶用カ
ラーフィルターを得ることができる。

【００１０】そして性能に関して、ＲＧＢ配置について
は、印刷線条の作成法によって、ストライプのほかデル
タ、斜めモザイク配列等も容易に作成が可能である。ま
た平滑性については、ブラックマトリクスやアレイとＲ
ＧＢの厚みを同一にすることができるから、表面段差が
小さい平滑性に優れた液晶用カラーフィルターをつくる
ことができる。また開口率については、高精細のパター
ニングができるので、細い線幅のブラックマトリクスを
作ることができ、高い開口率が得られる。

【００１１】請求項２に記載の発明は、請求項１記載の
液晶用カラーフィルターの作成方法であって、分割吐出
を、所定のスリットと幅、およびピッチで行うことを特
徴とする方法であり、支持体を動かしながら、光反応性
樹脂を、所定のスリットと幅およびピッチで分割吐出
し、基板上に重ねて線条を形成できる。

【００１２】請求項３に記載の発明は、請求項１記載の
液晶用カラーフィルターの作成方法であって、分割吐出
を、所定の内外径を有し、所定のピッチに配置される吐
出パイプを用いることを特徴とする方法であり、支持体
を動かしながら、光反応性樹脂を、所定の内外径を有し
所定のピッチに配置した吐出パイプより分割吐出し、基
板上に重ねて線条を形成できる。

【００１３】

【００１４】請求項４に記載の発明は、請求項１記載の
液晶用カラーフィルターの作成方法であって、積層した
アレイ構造により回路を形成されているアレイ基板上に
連続した線条を形成することを特徴とする方法であり、
アレイ基板を一定速度で一定方向に走行させながら、光
反応性樹脂をアレイ構造上に重ねて、線条を形成でき
る。したがって、アレイ構造によりブラックマトリクス
が代用されるから、ブラックマトリクスの形成を省略で
き、製造コストの低減を図れる。

【００１５】請求項５に記載の発明は、請求項１記載の
液晶用カラーフィルターの作成方法であって、線条に対
する光の照射が、線条形成側である基板表側からフォト
マスクを用いて行われることを特徴とする方法であり、
基板上の表面側から線条に対して光照射を行うことで、
ブラックマトリクス開口部やアレイ開口部の部分の線条
は反応硬化し、ブラックマトリクス上やアレイ上の線条
は未反応のままとなる。

【００１６】請求項６に記載の発明は、請求項１記載の
液晶用カラーフィルターの作成方法であって、線条に対
する光の照射を、線条形成の反対側である基板裏面側か
ら行われることを特徴とする方法であり、基板上の裏面
側から線条に対して光照射を行うことで、ブラックマト
リクス開口部やアレイ開口部の部分の線条は反応硬化
し、ブラックマトリクス上やアレイ上の線条は未反応の
ままとなる。この場合、ＲＧＢのパターニングに際し
て、アレイ形状をフォトマスクとして用いるから、フォ
トリソ法を用いるにもかかわらず、フォトマスクを使用
しないで済み、この面でもコストの低減が可能となる。

【００１７】請求項７に記載の発明は、請求項１記載の
液晶用カラーフィルターの作成方法であって、連続した
線条が、直接基板上に分割吐出して形成されることを特
徴とする方法であり、転写などの工程を行うことなく、
線条の形成を行うことができる。

【００１８】

【００１９】

【００２０】以下、本発明の実施の形態について、図１
から図２０を用いて説明する。（実施の形態１）図１、図２は構造および各部分の配置
を示し、図３〜図６は作成途中の状態を示す。

【００２１】図１、図２においてブラックマトリクス基
板（支持体の一例）１は、たとえば厚さが１．１ミリ、
縦、横が３００×３００ミリでブラックマトリクス２を
形成したガラス基板からなる。ブラックマトリクス開口
部４は、横方向ピッチが１００ミクロン、縦方向ピッチ
が２５０ミクロン、幅、長さがそれぞれ５０ミクロン、
１２０ミクロンとなっている。

【００２２】図３に示すように、ブラックマトリクス基
板１を一定速度で一定方向に走行させながら、そのブラ
ックマトリクス２上に重ねて、ダイコート法によりＲＧ
Ｂ線条６を形成する。すなわちブラックマトリクス基板
１を速度２０ミリ／秒で動かしながら、感光性の樹脂を
母材としＲＧＢ色剤を分散した光反応性樹脂６Ａをダイ
コート用ダイス９より分割吐出し、ブラックマトリクス
２上に重ねてＲＧＢ線条６を形成する。

【００２３】このダイコート法による分割吐出は、所定
のスリットと幅、およびピッチを有するダイコート用ダ
イス９を用いて行われ、形成されたＲＧＢ線条６は、図
４に示すように幅１２０ミクロンで連続した形状をなし
ている。

【００２４】次に、図５に示すように、ブラックマトリ
クス基板１の表面方向からＲＧＢ線条６に対して、フォ
トマスク１３を用いて３６５ｎｍを中心波長とする光照
射Ａを行う。照射エネルギーは１００ｍｊ／平方センチ
である。ＲＧＢ線条６のうち、ブラックマトリクス開口
部４の部分のＲＧＢ線条６ｂは、光照射Ａにより反応硬
化し、ブラックマトリクス２上のＲＧＢ線条６ａは未反
応のままである。

【００２５】次いで現像を行い、未反応の状態のブラッ
クマトリクス２上のＲＧＢ線条６ａを現像によって溶解
することで、不要部分を除去し、反応硬化状態のブラッ
クマトリクス開口部４の部分のＲＧＢ線条６ｂを残す。
現像前に生じていた、未反応の状態でのブラックマトリ
クス２上のＲＧＢ線条６ａにあった***部分６ｃは、現
像による溶解時に解消する。

【００２６】これにより図６に示すように、ブラックマ
トリクス基板１上に形成されたブラックマトリクス２の
開口部４にＲＧＢ画素３が形成される。印刷時の１色の
寸法は、ピッチが３００ミクロン、幅が１２０ミクロ
ン、最大厚さが２．５ミクロン、平均厚さが１．７ミク
ロンであり、現像による溶解後は、ピッチが３００ミク
ロン、幅が１１０ミクロン、最大厚さが１．６ミクロ
ン、平均厚さが１．５ミクロンとなった。

【００２７】以上の工程、すなわち図３〜図６の工程で
作成した液晶用カラーフィルター５を図２に示す。ブラ
ックマトリクス基板１上に形成されたブラックマトリク
ス２の開口部４に、第１色目３ａ、第２色目３ｂ、第３
色目３ｃからなるＲＧＢ画素３が形成されている。ここ
でＲＧＢ画素３の厚みが１．５ミクロン、ブラックマト
リクス２の厚み１．５ミクロンであり、段差の小さい平
滑な表面が得られる。

【００２８】（実施の形態２）図７、図８は構造および
各部分の配置を示し、図９〜図１３は作成途中の状態を
示す。

【００２９】図９に示すように、厚さ１００ミクロンの
ポリイミドシートからなる媒介基体（支持体の別例）１
１を、速度２０ミリ／秒の一定速度で一定方向に動かし
ながら、光反応性樹脂６Ａをダイコート用ダイス９より
分割吐出して、媒介基体１１上に重ねてＲＧＢ線条６を
形成する。

【００３０】次に図１０に示すように、このＲＧＢ線条
６を、アレイ基板１４上のアレイ構造体１５上に重ねて
接触させる。アレイ基板１４として、たとえば厚さが
１．１ミリ、縦、横が３００×３００ミリでかつ積層し
たアレイ構造により回路を形成しているものを用いた。
そしてアレイ開口部１６は、横方向ピッチが１００ミク
ロン、縦方向ピッチ画２５０ミクロン、幅、長さはそれ
ぞれ５０ミクロン、１２０ミクロンとなっている。

【００３１】次いで、アレイ基板１４に媒介基体１１を
加圧、加熱して、このアレイ基板１４上のアレイ構造体
１５に重ねてＲＧＢ線条６を形成させる。加圧、加熱条
件は２００グラム／平方センチ、７０℃、３分である。
このダイコート法による分割吐出しに際して、光反応性
樹脂６Ａは、感光性の樹脂を母材としＲＧＢ色剤を分散
したものが使用され、また分割吐出は、所定のスリット
と幅、およびピッチを有するダイコート用ダイス９を用
いて行われ、形成されたＲＧＢ線条６は、図１１に示す
ように幅１２０ミクロンで連続した形状をなしている。

【００３２】次に、図１２に示すように、アレイ基板１
４の裏面方向からＲＧＢ線条６に対して、３６５ｎｍを
中心波長とする光照射Ａを行う。照射エネルギーは１０
０ｍｊ／平方センチである。ＲＧＢ線条６のうち、アレ
イ開口部１６の部分のＲＧＢ線条６ｅは、光照射Ａによ
り反応硬化し、アレイ構造体１５上のＲＧＢ線条６ｄは
未反応のままである。

【００３３】次いで現像を行い、未反応の状態のアレイ
構造体１５上のＲＧＢ線条６ｄを現像によって溶解する
ことで、不要部分を除去し、反応硬化状態のアレイ開口
部１６の部分のＲＧＢ線条６ｅを残す。現像前に生じて
いた、未反応の状態でのアレイ構造体１５上のＲＧＢ線
条６ｄにあった***部分６ｆは、現像による溶解時に解
消する。

【００３４】これにより図１３に示すように、アレイ基
板１４上のアレイ構造体１５のアレイ開口部１６にＲＧ
Ｂ画素３が形成される。印刷時の１色の寸法は、ピッチ
が３００ミクロンであり、ＲＧＢ３色が形成できた状態
で各色間のピッチは１００ミクロンである。

【００３５】以上の工程、すなわち図９〜図１３の工程
で作成した液晶用カラーフィルター５を図８に示す。ア
レイ基板１４上に形成されたアレイ構造体１５のアレイ
開口部１６に、第１色目３ａ、第２色目３ｂ、第３色目
３ｃからなるＲＧＢ画素３を形成されている。ここでＲ
ＧＢ画素３の厚みが１．５ミクロン、アレイ構造体１５
の厚みが１．５ミクロンであり、段差の小さい平滑な表
面が得られる。

【００３６】（実施の形態３）図１４、図１５は構造お
よび各部分の配置を示し、図１６〜図２０は作成途中の
状態を示す。

【００３７】図１６に示すように、厚さが１００ミクロ
ンのポリイミドシートからなる媒介基体１１を、速度２
０ミリ／秒の一定速度で一定方向に動かしながら、光反
応性樹脂６Ａを描画法により描画用吐出パイプ１０から
分割吐出して、媒介基体１１上に重ねてＲＧＢ線条６を
形成する。

【００３８】次に図１７に示すように、このＲＧＢ線条
６を、アレイ基板１４上のアレイ構造体１５上に重ねて
接触させる。アレイ基板１４として、たとえば厚さが
１．１ミリ、縦、横が３００×３００ミリでかつ積層し
たアレイ構造により回路を形成しているものを用いた。
そしてアレイ開口部１６は、横方向ピッチが１００ミク
ロン、縦方向ピッチ画２５０ミクロン、幅、長さはそれ
ぞれ５０ミクロン、１２０ミクロンとなっている。

【００３９】次いで、アレイ基板１４に媒介基体１１を
加圧、加熱して転写し、この基板１上のアレイ構造体１
５に重ねてＲＧＢ線条６を形成させる。加圧、加熱条件
は２００グラム／平方センチ、７０℃、３分である。こ
の描画法による分割吐出しに際して、光反応性樹脂６Ａ
は、感光性の樹脂を母材としＲＧＢ色剤を分散したもの
が使用され、また分割吐出は、所定の内外径を有し、所
定のピッチに配置した吐出パイプ１０を用いて行われ、
形成されたＲＧＢ線条６は、図１８に示すように幅１２
０ミクロンで連続した形状をなしている。

【００４０】次に、図１９に示すように、アレイ基板１
４の裏面方向からＲＧＢ線条６に対して、３６５ｎｍを
中心波長とする光照射Ａを行う。照射エネルギーは１０
０ｍｊ／平方センチである。ＲＧＢ線条６のうち、アレ
イ開口部１６の部分のＲＧＢ線条６ｅは、光照射Ａによ
り反応硬化し、アレイ構造体１５上のＲＧＢ線条６ｄは
未反応のままである。

【００４１】次いで現像を行い、未反応の状態のアレイ
構造体１５上のＲＧＢ線条６ｄを現像によって溶解する
ことで、不要部分を除去し、反応硬化状態のアレイ開口
部１６の部分のＲＧＢ線条６ｅを残す。現像前に生じて
いた、未反応の状態でのアレイ構造体１５上のＲＧＢ線
条６ｄにあった***部分６ｆは、現像による溶解時に解
消する。

【００４２】これにより図２０に示すように、アレイ基
板１４上のアレイ構造体１５のアレイ開口部１６にＲＧ
Ｂ画素３が形成される。印刷時の１色の寸法は、ピッチ
が３００ミクロンであり、ＲＧＢ３色が形成できた状態
で各色間のピッチは１００ミクロンである。

【００４３】以上の工程、すなわち図１６〜図２０の工
程で作成した液晶用カラーフィルター５を図１５に示
す。アレイ基板１４上に形成されたアレイ構造体１５の
アレイ開口部１６に、第１色目３ａ、第２色目３ｂ、第
３色目３ｃからなるＲＧＢ画素３を形成されている。こ
こでＲＧＢ画素３の厚みが１．５ミクロン、アレイ構造
体１５の厚みが１．５ミクロンであり、段差の小さい平
滑な表面が得られる。

【００４４】以上３つの実施の形態を述べたが、材料で
ある光反応性樹脂６Ａの分割吐出方法としてダイコート
法もしくは描画法、作成対象の基板としてブラックマト
リクス基板１もしくはアレイ基板１５、光照射Ａの方向
を基板表側もしくは基板裏側、ＲＧＢ線条６の形成を対
象基板直接もしくは媒介基体１１を介して間接的、にお
ける別の組み合わせについても作成が可能なことを確認
している。

【００４５】また、実施の形態ではＲＧＢ線条６を順次
印刷し、次いで同時に現像溶解形成する方法を示した
が、ＲＧＢ線条６を同時印刷し、次いで同時に現像溶解
形成する方法でも形成できる。また、第一色目にＲ線条
を印刷した後、Ｒ線条の現像溶解を行う方法で、順次Ｇ
線条，Ｂ線条の印刷、現像溶解を行う方法でも形成でき
ることを確認している。なお、Ｒ，Ｇ，Ｂの各線条の順
序を変えても、性能形状への影響はないことを確認して
いる。また、ＲＧＢ線条６は直線だけでなく、斜めに配
置しても作成できることを確認している。

【００４６】次に、表示品位、製造歩留に相関する作成
の容易さ、コストに直結する生産性について、本発明の
実施の形態うち実施の形態２を代表例として、図２１に
示す従来法により作成したものと比較し、表１で説明す
る。

【００４７】

【表１】

【００４８】製造コストに関して、ＲＧＢフォトレジス
ト材料使用量については、ダイコート法および描画法の
どちらについても、必要な線条の分しかフォトレジスト
材料を消費しないから、従来から使用されているスピン
ナー方式等の塗布方法に比べて、材料の使用量は１／１
０から１／２０になり、製造コストの低減が図れる。

【００４９】また、生産性の指標として工程数での比較
では、３色を作成するのに従来例では洗浄・レジストコ
ート・乾燥・露光・現像・乾燥の６工程の３色分、計１
８工程が必要であるのに対して、実施の形態２では、洗
浄・第１色印刷・第２色印刷・第３色印刷・乾燥・裏面
露光・現像・乾燥の８工程と、従来例の半分以下とな
る。

【００５０】また、カラーフィルターをアレイ基板上に
形成し、アレイ構造をブラックマトリクスに代用するこ
とから、次の２点のコスト低減が可能となる。第１は、
ブラックマトリクスの省略による工程短縮であり、第２
はＲＧＢのパターニングに際して、アレイ形状をフォト
マスクとして用いるから、フォトリソ法を用いるにもか
かわらず、フォトマスクを使用しないというマスク費用
の面である。この面でもコスト低減が可能となる。

【００５１】以上の点より、従来の方法で作成するよ
り、製造コストが低くでき、安価に液晶用カラーフィル
ターを得ることができる。性能に関して、ＲＧＢ配置に
ついては、印刷線条の作成法によっては、ストライプの
ほかデルタ、斜めモザイク配列等も容易に作成が可能で
ある。

【００５２】また平滑性については、ブラックマトリク
スやアレイとＲＧＢの厚みを同一にすることができるか
ら、表面段差を小さい平滑性に優れた液晶用カラーフィ
ルターをつくることができる。

【００５３】また開口率については、高精細のパターニ
ングができるので、細い線幅のブラックマトリクスを作
ることができ、高い開口率が得られる。

【００５４】

【発明の効果】以上のように本発明の請求項１によれ
ば、コスト面からは、従来よりもＲＧＢフォトレジスト
材料の使用量を少なくして安価に製造でき、製造面から
は、作成を容易にでき、性能面からは、各種のＲＧＢ配
列が自由にかつ容易に作れ、またブラックマトリクスや
アレイとＲＧＢの表面がほぼ同一と表面平滑性が良好で
表面段差が小さく、かつ開口率が高くて、また画像品位
が高い液晶用カラーフィルターが得られる。

【００５５】また上記した本発明の請求項４によれば、
アレイ構造によりブラックマトリクスが代用されるか
ら、ブラックマトリクスの形成を省略でき、製造コスト
の低減を図ることができる。

【００５６】そして上記した本発明の請求項６によれ
ば、ＲＧＢのパターニングに際して、アレイ形状をフォ
トマスクとして用いるから、フォトリソ法を用いるにも
かかわらず、フォトマスクを使用しないで済み、この面
でもコストの低減を可能にできる。

【００５７】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施形態における液晶用カラー
フィルターの概念を示す平面図である。

【図２】同液晶用カラーフィルターの各部分の配置を示
す平面図である。

【図３】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程進
行状況を示す図で、ダイスコート法により基板上に線条
を形成する状態を概念図にて示す。

【図４】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程進
行状況を示す図で、ＲＧＢ線条を形成後の状態を平面図
にて示す。

【図５】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程進
行状況を示す図で、フォトマスクを用いて基板表側より
光照射する状態を断面図にて示す。

【図６】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程進
行状況を示す図で、ＲＧＢ線条を現像溶解後の状態を断
面図にて示す。

【図７】本発明の第二の実施形態における液晶用カラー
フィルターの概念を示す平面図である。

【図８】同液晶用カラーフィルターの各部分の配置を示
す平面図である。

【図９】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程進
行状況を示す図で、ダイコート法により媒介基体上に線
条を形成する状態を概念図にて示す。

【図１０】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程
進行状況を示す図で、媒介基体上の線条を基板上に転
移、形成する状態を概念図にて示す。

【図１１】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程
進行状況を示す図で、ＲＧＢ線条を形成後の状態を平面
図にて示す。

【図１２】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程
進行状況を示す図で、基板裏側より光照射する裏面露光
の状態を断面図にて示す。

【図１３】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程
進行状況を示す図で、ＲＧＢ線条を現像溶解後の状態を
断面図にて示す。

【図１４】本発明の第三の実施形態における液晶用カラ
ーフィルターの概念を示す平面図である。

【図１５】同液晶用カラーフィルターの各部分の配置を
示す平面図である。

【図１６】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程
進行状況を示す図で、描画法により媒介基体上に線条を
形成する状態を概念図にて示す。

【図１７】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程
進行状況を示す図で、媒介基体上の線条を基板上に転
移、形成する状態を概念図にて示す。

【図１８】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程
進行状況を示す図で、ＲＧＢ線条を形成後の状態を平面
図にて示す。

【図１９】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程
進行状況を示す図で、基板裏側より光照射する裏面露光
の状態を断面図にて示す。

【図２０】同液晶用カラーフィルターの作成方法の工程
進行状況を示す図で、ＲＧＢ線条を現像溶解後の状態を
断面図にて示す。

【図２１】従来例である、フォトリソ法による作成例を
示す平面図である。

【符号の説明】

１ブラックマトリクス基板（支持体）２ブラックマトリクス３ＲＧＢ画素４ブラックマトリクス開口部５液晶用カラーフィルター６ＲＧＢ線条６Ａ光反応性樹脂６ａＲＧＢ線条のブラックマトリクス上部分６ｂＲＧＢ線条のブラックマトリクス開口部部分６ｃＲＧＢ線条の***部分６ｄＲＧＢ線条のアレイ上部分６ｅＲＧＢ線条のアレイ開口部部分６ｆＲＧＢ線条の***部分９ダイコート用ダイス１０描画用吐出パイプ１１媒介基体（支持体）１３フォトマスク１４アレイ基板（基板）１５アレイ構造体１６アレイ開口部Ａ光照射

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】色剤分散した樹脂からなるブラックマ
トリクスを形成し、感光性の樹脂を母材とした、色剤分
散した光反応性樹脂で連続した線条をブラックマトリク
ス上に重ねて、光を照射したのち、線状の非反応部分を
現像によって除去してＲＧＢ画素を作成するカラーフィ
ルター基板の作成方法であって、一定速度で一方向に走
行する支持体上に、感光性の樹脂を母材として色剤分散
した光反応性樹脂を分割吐出することで、基板上に連続
した線条を形成することを特徴とする液晶用カラーフィ
ルターの作成方法。
【請求項２】分割吐出を、所定のスリットと幅、お
よびピッチで行うことを特徴とする請求項１記載の液晶
用カラーフィルターの作成方法。
【請求項３】分割吐出を、所定の内外径を有し、所
定のピッチに配置される吐出パイプを用いることを特徴
とする請求項１記載の液晶用カラーフィルターの作成方
法。
【請求項４】積層したアレイ構造により回路を形成
されているアレイ基板上に連続した線条を形成すること
を特徴とする請求項１記載の液晶用カラーフィルターの
作成方法。
【請求項５】線条に対する光の照射が、線条形成側
である基板表側からフォトマスクを用いて行われること
を特徴とする請求項１記載の液晶用カラーフィルターの
作成方法。
【請求項６】線条に対する光の照射を、線条形成の
反対側である基板裏面側から行われることを特徴とする
請求項１記載の液晶用カラーフィルターの作成方法。
【請求項７】連続した線条が、直接基板上に分割吐
出して形成されることを特徴とする請求項１記載の液晶
用カラーフィルターの作成方法。