JP3251126B2 - Fe-based soft magnetic alloy - Google Patents

Fe-based soft magnetic alloy

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JP3251126B2
JP3251126B2 JP12410494A JP12410494A JP3251126B2 JP 3251126 B2 JP3251126 B2 JP 3251126B2 JP 12410494 A JP12410494 A JP 12410494A JP 12410494 A JP12410494 A JP 12410494A JP 3251126 B2 JP3251126 B2 JP 3251126B2
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soft magnetic
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清策 鈴木
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    • H01F1/153—Amorphous metallic alloys, e.g. glassy metals
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、高い飽和磁束密度を有
し、磁歪の絶対値が小さいとともに、特定範囲の優れた
角形比を示すＦｅ基軟磁性合金に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an Fe-based soft magnetic alloy having a high saturation magnetic flux density, a small absolute value of magnetostriction and an excellent squareness ratio in a specific range.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来、トランスやチョークコイルなどの
磁心材料として、５０％Ｎｉ-Ｆｅパーマロイ磁心や８
０％Ｎｉ-Ｆｅパーマロイ磁心が用いられている。しか
し、これらの磁性材料からなる磁心は高周波域における
コアロスが大きく、数１０ｋＨｚ以上の周波数帯域では
磁心の温度上昇が激しく、使用が困難であった。そこで
近年、高周波域におけるコアロスが低く、高角形性が良
好な特徴を生かし、Ｃｏ基の非晶質磁性材料からなる磁
心がスイッチング電源用磁心などとして用いられるよう
になってきている。しかしながらＣｏ基非晶質磁心は、
原料費が高く、高価格であるばかりか、飽和磁束密度が
通常１Ｔ（テスラ）以下であり、数１０ｋＨｚ〜１００
ｋＨｚの周波数域においては、飽和磁束密度が低いため
に動作磁束密度の制約を受けやすく、十分に磁心を小型
化できない問題があった。2. Description of the Related Art Conventionally, 50% Ni--Fe permalloy cores and 8%
A 0% Ni-Fe permalloy core is used. However, magnetic cores made of these magnetic materials have a large core loss in a high frequency range, and in a frequency band of several tens of kHz or more, the temperature of the magnetic core rises sharply, making it difficult to use. Accordingly, in recent years, a core made of a Co-based amorphous magnetic material has been used as a core for a switching power supply, etc., taking advantage of a feature of low core loss and high squareness in a high frequency range. However, Co-based amorphous magnetic cores
The raw material cost is high, the price is high, the saturation magnetic flux density is usually 1 T (tesla) or less, and several tens kHz to 100
In the frequency range of kHz, there is a problem that the magnetic core is not sufficiently reduced in size because the operating magnetic flux density is easily restricted due to the low saturation magnetic flux density.

【０００３】一方、Ｆｅ基非晶質磁性材料からなる磁心
は、飽和磁束密度が高く、例えば、特公昭５８ー１１８
３号公報に記載されているように、直流ＢーＨカーブの
角形比が高く、最大透磁率が高いものが得られることが
知られている。しかしながら、このＦｅ基非晶質合金を
用いた磁心にあっては、コアロスが大きい欠点があるた
めに、添加元素の調整によりコアロスの改善が試みられ
ているが、前記のＣｏ基非晶質合金に比べて未だにコア
ロスが大きいという問題があった。更に、磁心材料は、
低コアロスであって、高飽和磁束密度であり、高透磁率
を示す以外に、角形比を調整できることが重要である。
即ち、０.８以上の高角形比のものは可飽和コアに、０.
３以下の低角形比のものは直流チョークコイル用コア、
シングルエンド型回路に用いられるトランス用コアなど
に適用される。しかしながら従来の軟磁性材料において
は、飽和磁束密度が１.５Ｔ以上であり、低磁歪（１×
１０-6程度）であって、低コアロスであり、しかも、角
形比を０.８以上あるいは０.３以下に調整できるものは
存在しなかった。On the other hand, a magnetic core made of an Fe-based amorphous magnetic material has a high saturation magnetic flux density.
As described in JP-A No. 3 (KOKAI) No. 3 (KOKAI), it is known that a DC BH curve having a high squareness ratio and a high maximum magnetic permeability can be obtained. However, in the magnetic core using this Fe-based amorphous alloy, there is a defect that the core loss is large. Therefore, the core loss has been improved by adjusting the additive element. However, there is still a problem that the core loss is still large as compared with the above. Furthermore, the core material is
In addition to low core loss, high saturation magnetic flux density, and high magnetic permeability, it is important to be able to adjust the squareness ratio.
That is, those having a high squareness ratio of 0.8 or more are included in the saturable core,
Those with a low squareness ratio of 3 or less are cores for DC choke coils,
It is applied to a transformer core used in a single-ended circuit. However, in the conventional soft magnetic material, the saturation magnetic flux density is 1.5 T or more, and low magnetostriction (1 ×
10-6 ), which has a low core loss, and there is no one that can adjust the squareness ratio to 0.8 or more or 0.3 or less.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は前記事情に鑑
みてなされたものであり、高周波域におけるコアロスが
少なく、１.５Ｔ以上の高い飽和磁束密度を有し、透磁
率が高く、角形比も特定の値に調整することができるＦ
ｅ基軟磁性合金を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, has a small core loss in a high frequency range, has a high saturation magnetic flux density of 1.5 T or more, has a high magnetic permeability, and has a high squareness ratio. Can also be adjusted to a specific value
It is an object to provide an e-based soft magnetic alloy.

【０００５】[0005]

【課題を解決するための手段】請求項１〜１２記載の発
明は前記課題を解決するために、角形比が０.８以上、
もし くは、０.３以下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が
１.０×１０-6より小さいとともに、Ｆｅを主成分と
し、少なくともＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素ＭとＢを含み、組織の少なくとも５０％以上が平均結
晶粒径３０ｎｍ以下の体心立方構造の微細な結晶粒から
なることを特徴とするものである。According to the first to twelfth aspects of the present invention, in order to solve the above problems, the squareness ratio is 0.8 or more,
Or less than 0.3, the absolute value of magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 −6 , Fe is the main component, and at least Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, M
o, containing at least one or more elements M and B selected from the group consisting of o and W, and at least 50% or more of the structure is composed of fine crystal grains having a body-centered cubic structure with an average crystal grain size of 30 nm or less. It is characterized by the following.

【０００６】請求項１記載の発明は前記課題を解決する
ために、角形比が０.８以上、もしくは、０.３以下であ
り、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小さい
とともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚｒ，
Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれ
た１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の少な
くとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体心立
方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であって、該
軟磁性合金が次式で示される組成を有するようにしたも
のである。Ｆｅ b Ｂ x Ｍ y ただしＭは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含
み、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y＝
４〜９原子％である。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 has a squareness ratio of 0.8 or more or 0.3 or less.
The absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 -6
And Fe as a main component and at least Ti, Zr,
Selected from the group consisting of Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B,
Body-centered with an average crystal grain size of 30 nm or less at least 50% or more
A soft magnetic alloy comprising fine crystal grains having a rectangular structure, wherein the soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula. Fe b B x M y where M is, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta, M
one or two or more elements selected from the group consisting of o and W, including any of Zr, Hf, and Nb, b = 75 to 93 atomic%, x = 0.5 to 18 Atomic%, y =
4 to 9 atomic%.

【０００７】請求項２記載の発明は前記課題を解決する
ために、角形比が０.８以上、もしくは、０.３以下であ
り、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小さい
とともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚｒ，
Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれ
た１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の少な
くとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体心立
方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であって、該
軟磁性合金が次式で示される組成を有するようにしたも
のである。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ y ただしＺは、Ｎｉ，Ｃｏのうち１種または２種、Ｍは、
Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる
群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、か
つ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含み、a≦０.
２、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y＝
４〜９原子％である。According to a second aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, the squareness ratio is set to 0.8 or more or 0.3 or less.
The absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 -6
And Fe as a main component and at least Ti, Zr,
Selected from the group consisting of Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B,
Body-centered with an average crystal grain size of 30 nm or less at least 50% or more
A soft magnetic alloy comprising fine crystal grains having a rectangular structure, wherein the soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula. (Fe 1-a Z a) b B x M y however Z is Ni, 1 kind or two kinds of Co, M is
One or more elements selected from the group consisting of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W, and any one of Zr, Hf, and Nb, and a ≦ 0 .
2, b = 75 to 93 atomic%, x = 0.5 to 18 atomic%, y =
4 to 9 atomic%.

【０００８】請求項３記載の発明は前記課題を解決する
ために、角形比が０.８以上、もしくは、０.３以下であ
り、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小さい
とともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚｒ，
Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれ
た１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の少な
くとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体心立
方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であって、該
軟磁性合金が次式で示される組成を有するようにしたも
のである。 Ｆｅ b Ｂ x Ｍ y Ｘ Z ただしＭは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含
み、ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒのうち１種または２種
以上であり、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原
子％、y＝４〜９原子％、Z≦５原子％である。According to a third aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, the squareness ratio is 0.8 or more or 0.3 or less.
The absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 -6
And Fe as a main component and at least Ti, Zr,
Selected from the group consisting of Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B,
Body-centered with an average crystal grain size of 30 nm or less at least 50% or more
A soft magnetic alloy comprising fine crystal grains having a rectangular structure, wherein the soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula. Fe b B x M y X Z where M is, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta, M
X is one or more elements selected from the group consisting of o and W, and contains one of Zr, Hf, and Nb, and X is one or two of Cr, Ru, Rh, and Ir. B = 75 to 93 at%, x = 0.5 to 18 at%, y = 4 to 9 at%, Z ≦ 5 at%.

【０００９】請求項４記載の発明は前記課題を解決する
ために、角形比が０.８以上、もしくは、０.３以下であ
り、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小さい
とともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚｒ，
Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれ
た１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の少な
くとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体心立
方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であって、該
軟磁性合金が次式で示される組成を有するようにしたも
のである。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ y Ｘ Z ただし、ＺはＮｉ，Ｃｏのうち１種または２種、ＭはＴ
ｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群
から選ばれた１種または２種以上の元素であり、かつ、
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含み、ＸはＣｒ，Ｒ
ｕ，Ｒｈ，Ｉｒのうち１種または２種以上の元素であ
り、a≦０.２、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８
原子％、y＝４〜９原子％、Z≦５原子％である。According to a fourth aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, the squareness ratio is 0.8 or more or 0.3 or less.
The absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 -6
And Fe as a main component and at least Ti, Zr,
Selected from the group consisting of Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B,
Body-centered with an average crystal grain size of 30 nm or less at least 50% or more
A soft magnetic alloy comprising fine crystal grains having a rectangular structure, wherein the soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula. (Fe 1-a Z a) b B x M y X Z However, Z is Ni, 1 kind or two kinds of Co, M is T
one or more elements selected from the group consisting of i, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W; and
Z includes any one of Zr, Hf, and Nb, and X is Cr, R
one or more of u, Rh and Ir, a ≦ 0.2, b = 75 to 93 atomic%, x = 0.5 to 18
Atomic%, y = 4 to 9 atomic%, and Z ≦ 5 atomic%.

【００１０】請求項５記載の発明は前記課題を解決する
ために、角形比が０.８以上、もしくは、０.３以下であ
り、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小さい
とともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚｒ，
Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれ
た１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の少な
くとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体心立
方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であって、該
軟磁性合金が次式で示される組成を有するようにしたも
のである。 Ｆｅ b Ｂ x Ｍ y Ｘ' t ただしＭは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、
Ｘ’はＳｉ，Ａｌ，Ｇｅ，Ｇａのうち１種または２種以
上であり、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子
％、y＝４〜９原子％、t≦４原子％である。According to a fifth aspect of the present invention, in order to solve the above problems, the squareness ratio is 0.8 or more or 0.3 or less.
The absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 -6
And Fe as a main component and at least Ti, Zr,
Selected from the group consisting of Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B,
Body-centered with an average crystal grain size of 30 nm or less at least 50% or more
A soft magnetic alloy comprising fine crystal grains having a rectangular structure, wherein the soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula. Fe b B x M y X ' t where M is, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta, M
one or more elements selected from the group consisting of o and W, and containing any of Zr, Hf, and Nb;
X ′ is one or more of Si, Al, Ge and Ga, b = 75 to 93 at%, x = 0.5 to 18 at%, y = 4 to 9 at%, t ≦ 4 Atomic%.

【００１１】請求項６記載の発明は前記課題を解決する
ために、角形比が０.８以上、もしくは、０.３以下であ
り、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小さい
とともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚｒ，
Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれ
た１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の少な
くとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体心立
方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であって、該
軟磁性合金が次式で示される組成を有するようにしたも
のである。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ y Ｘ' t ただしＺは、Ｎｉ，Ｃｏのうち１種または２種、Ｍは、
Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる
群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、か
つ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、Ｘ’はＳｉ，
Ａｌ，Ｇｅ，Ｇａのうち１種または２種以上であり、a
≦０.２、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子
％、y＝４〜９原子％、t≦５原子％である。According to a sixth aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, the squareness ratio is 0.8 or more or 0.3 or less.
The absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 -6
And Fe as a main component and at least Ti, Zr,
Selected from the group consisting of Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B,
Body-centered with an average crystal grain size of 30 nm or less at least 50% or more
A soft magnetic alloy comprising fine crystal grains having a rectangular structure, wherein the soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula. (Fe 1-a Z a) b B x M y X 't however Z is Ni, 1 kind or two kinds of Co, M is
One or more elements selected from the group consisting of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W, and any one of Zr, Hf, and Nb, and X ′ is Si ,
One or more of Al, Ge, and Ga;
.Ltoreq.0.2, b = 75 to 93 at%, x = 0.5 to 18 at%, y = 4 to 9 at%, and t.ltoreq.5 at%.

【００１２】請求項７記載の発明は前記課題を解決する
ために、角形比が０.８以上、もしくは、０.３以下であ
り、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小さい
とともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚｒ，
Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれ
た１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の少な
くとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体心立
方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であって、該
軟磁性合金が次式で示される組成を有するようにしたも
のである。 Ｆｅ b Ｂ x Ｍ y Ｘz Ｘ' t ただしＭは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、
ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｉｒのうち１種または２種以上、Ｘ’
はＳｉ，Ａｌ，Ｇｅ，Ｇａのうち１種または２種以上で
あり、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y
＝４〜９原子％、z≦５原子％、t≦４原子％である。According to a seventh aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problem, the squareness ratio is 0.8 or more or 0.3 or less.
The absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 -6
And Fe as a main component and at least Ti, Zr,
Selected from the group consisting of Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B,
Body-centered with an average crystal grain size of 30 nm or less at least 50% or more
A soft magnetic alloy comprising fine crystal grains having a rectangular structure, wherein the soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula. Fe b B x M y X z X 't M ; however, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta, M
one or more elements selected from the group consisting of o and W, and containing any of Zr, Hf, and Nb;
X is one or more of Cr, Ru and Ir, and X ′
Is one or more of Si, Al, Ge and Ga, b = 75 to 93 at%, x = 0.5 to 18 at%, y
= 4-9 atomic%, z≤5 atomic%, and t≤4 atomic%.

【００１３】請求項８記載の発明は前記課題を解決する
ために、角形比が０.８以上、もしくは、０.３以下であ
り、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小さい
とともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚｒ，
Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれ
た１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の少な
くとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体心立
方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であって、該
軟磁性合金が次式で示される組成を有するようにしたも
のである。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ y Ｘz Ｘ' t ただしＺは、Ｎｉ，Ｃｏのうち１種または２種、ＭはＴ
ｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群
から選ばれた１種または２種以上の元素であり、かつ、
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、ＸはＣｒ，Ｒｕ，
Ｉｒのうち１種または２種以上、Ｘ’はＳｉ，Ａｌ，Ｇ
ｅ，Ｇａのうち１種または２種以上であり、a≦０.２、
b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y＝４〜
９原子％、z≦５原子％、t≦４原子％である。In order to solve the above problem, the invention according to claim 8 has a squareness ratio of 0.8 or more or 0.3 or less.
The absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 -6
And Fe as a main component and at least Ti, Zr,
Selected from the group consisting of Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B,
Body-centered with an average crystal grain size of 30 nm or less at least 50% or more
A soft magnetic alloy comprising fine crystal grains having a rectangular structure, wherein the soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula. (Fe 1-a Z a) b B x M y X z X 't however Z may, Ni, 1 kind or two kinds of Co, M is T
one or more elements selected from the group consisting of i, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W; and
Z includes any of Zr, Hf, and Nb, and X is Cr, Ru,
One or more of Ir, X 'is Si, Al, G
one or more of e and Ga, a ≦ 0.2;
b = 75 to 93 atomic%, x = 0.5 to 18 atomic%, y = 4 to
9 atomic%, z ≦ 5 atomic%, and t ≦ 4 atomic%.

【００１４】[0014]

【００１５】[0015]

【００１６】[0016]

【００１７】請求項９記載の発明は前記課題を解決する
ために、角形比が０.８以上、もしくは、０.３以下であ
り、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小さい
とともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚｒ，
Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれ
た１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の少な
くとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体心立
方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であって、該
軟磁性合金が次式で示される組成を有するようにしたも
のである。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ y Ｔ z Ｘ u 但し、ＺはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または両方であり、
ＭはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、
かつ、ＺｒとＨｆのいずれか、または、両方を含み、Ｔ
はＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群から
選ばれた１種または２種以上の元素であり、ＸはＣｒ，
Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒからなる群から選ばれた１種または２
種以上の元素であり、a≦０.１、b≦７５〜９３原子
％、x＝０.５〜１８原子％、y＝４〜１０原子％、z≦
４.５原子％、u≦５原子％である。According to a ninth aspect of the present invention, in order to solve the above problem, the squareness ratio is 0.8 or more or 0.3 or less.
The absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 -6
And Fe as a main component and at least Ti, Zr,
Selected from the group consisting of Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B,
Body-centered with an average crystal grain size of 30 nm or less at least 50% or more
A soft magnetic alloy comprising fine crystal grains having a rectangular structure, wherein the soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula. (Fe 1-a Z a) b B x M y T z X u where, Z is Co, a or Ni,
M is one or more elements selected from the group consisting of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W;
And either or both of Zr and Hf, and T
Is one or more elements selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Pd, Pt, and Bi, and X is Cr,
One or two selected from the group consisting of Ru, Rh, and Ir
A ≦ 0.1, b ≦ 75-93 at%, x = 0.5-18 at%, y = 4-10 at%, z ≦
4.5 at%, u ≦ 5 at%.

【００１８】請求項１０記載の発明は前記課題を解決す
るために、角形比が０.８以上、もし くは、０.３以下
であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小
さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚ
ｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選
ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の
少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体
心立方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であっ
て、該軟磁性合金が次式で示される組成を有するように
したものである。 Ｆｅ b Ｂ x Ｍ’y Ｔ z 但し、Ｍ’は、Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからな
る群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、か
つ、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａのいずれかを含み、Ｔは、Ｃｕ，
Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群から選ばれた
１種または２種以上の元素であり、b≦７５〜９３原子
％、x＝６.５〜１８原子％、y＝４〜１０原子％、z≦
４.５原子％である。According to a tenth aspect of the present invention, in order to solve the above problems, the squareness ratio is 0.8 or more, or 0.3 or less.
And the absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 −6.
In addition, Fe is the main component and at least Ti, Z
r, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B
A body having at least 50% or more an average crystal grain size of 30 nm or less
A soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with a centered cubic structure.
Te, the soft magnetic alloy is one that was to have a composition represented by the following formula. Fe b B x M 'y T z where, M' is, Ti, V, Nb, Ta , Mo, is one or more elements selected from the group consisting of W, and, Ti, Nb, Ta, wherein T is Cu,
One or more elements selected from the group consisting of Ag, Au, Pd, Pt, and Bi, b ≦ 75-93 at%, x = 6.5-18 at%, y = 4-10 Atomic%, z ≦
It is 4.5 atomic%.

【００１９】請求項１１記載の発明は前記課題を解決す
るために、角形比が０.８以上、もし くは、０.３以下
であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小
さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚ
ｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選
ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の
少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体
心立方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であっ
て、該軟磁性合金が次式で示される組成を有するように
したものである。 Ｆｅ b Ｂ x Ｍ’y Ｔ z Ｘ u 但し、Ｍ’は、Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからな
る群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、か
つ、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａのいずれかを含み、Ｔは、Ｃｕ，
Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群から選ばれた
１種または２種以上の元素であり、ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｒ
ｈ，Ｉｒからなる群から選ばれた１種または２種以上の
元素であり、b≦７５〜９３原子％、x＝６.５〜１８原
子％、y＝４〜１０原子％、z≦４.５原子％、u≦５原子
％である。According to the eleventh aspect of the present invention, in order to solve the above problems, the squareness ratio is 0.8 or more, or 0.3 or less.
And the absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 −6.
In addition, Fe is the main component and at least Ti, Z
r, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B
A body having at least 50% or more an average crystal grain size of 30 nm or less
A soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with a centered cubic structure.
Te, the soft magnetic alloy is one that was to have a composition represented by the following formula. Fe b B x M 'y T z X u where, M' is, Ti, V, Nb, Ta , Mo, is one or more elements selected from the group consisting of W, and, Ti, N or Ta, and T is Cu,
One or more elements selected from the group consisting of Ag, Au, Pd, Pt and Bi, and X is Cr, Ru, R
one or more elements selected from the group consisting of h and Ir, b ≦ 75 to 93 at%, x = 6.5 to 18 at%, y = 4 to 10 at%, z ≦ 4 0.5 at%, u ≦ 5 at%.

【００２０】[0020]

【００２１】請求項１２記載の発明は前記課題を解決す
るために、角形比が０.８以上、もし くは、０.３以下
であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より小
さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，Ｚ
ｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選
ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織の
少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体
心立方構造の微細な結晶粒からなる軟磁性合金であっ
て、該軟磁性合金が次式で示される組成を有するように
したものである。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ’y Ｔ z Ｘ u 但し、ＺはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であ
り、Ｍ’はＴｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群
から選ばれた１種または２種以上の元素であり、かつ、
Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａのいずれかを含み、ＴはＣｕ，Ａｇ，
Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群から選ばれた１種ま
たは２種以上の元素であり、ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉ
ｒからなる群から選ばれた１種または２種以上の元素で
あり、a≦０.１、b≦７５〜９３原子％、x＝６.５〜１
８原子％、y＝４〜１０原子％、z≦４.５原子％、u≦５
原子％である。According to a twelfth aspect of the present invention, in order to solve the above-mentioned problems, the squareness ratio is 0.8 or more, or 0.3 or less.
And the absolute value of the magnetostriction | λs | is smaller than 1.0 × 10 −6.
In addition, Fe is the main component and at least Ti, Z
r, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more elements M and B
A body having at least 50% or more an average crystal grain size of 30 nm or less
A soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with a centered cubic structure.
Te, the soft magnetic alloy is one that was to have a composition represented by the following formula. (Fe 1-a Z a) b B x M 'y T z X u where, Z is Co, either Ni, or is both, M' is Ti, V, Nb, Ta, Mo, and W One or more elements selected from the group consisting of:
Containing any of Ti, Nb, and Ta, where T is Cu, Ag,
One or more elements selected from the group consisting of Au, Pd, Pt and Bi, and X is Cr, Ru, Rh, I
one or two or more elements selected from the group consisting of r, a ≦ 0.1, b ≦ 75-93 at%, x = 6.5-1
8 atomic%, y = 4 to 10 atomic%, z ≦ 4.5 atomic%, u ≦ 5
Atomic%.

【００２２】請求項１３記載の発明は前記課題を解決す
るために、請求項９、１０、１１または１２記載の軟磁
性合金において、z＝０.２〜４. ５原子％としたもので
ある。According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a soft magnetic alloy according to the ninth, tenth, eleventh, or twelfth aspect, wherein z is set to 0.2 to 4.5 atomic%. .

【００２３】[0023]

【００２４】[0024]

【作用】本発明によれば、ＦｅとＢと元素Ｍを基本系と
する特別の組成を有するので、コアロスが少ない特徴が
ある。特に、優れた軟磁気特性を示すことで知られるＦ
ｅ-Ｓｉ-Ｂ系の非晶質合金を用いた磁心と比較した場合
であっても、本発明に係るＦｅ基軟磁性合金は、同等以
上の優れた飽和磁束密度を示す上に、Ｆｅ-Ｓｉ-Ｂ系の
非晶質合金のコアロスよりも低いコアロスを示す。更
に、磁歪の絶対値が１.０×１０-6より小さく、しかも
角形比が０.８以上、もしくは、０.３以下に容易に調整
されるので、０.８以上の高角形比が要求される可飽和
コア用として、あるいは、０.３以下の低角形比が要求
される直流チョークコイル用コア、あるいはトランス用
コアなどとして適用できる。また、磁場中においてアニ
ールすることで角形比を０.８以上に容易に調整するこ
とができるとともに、Ｆｅの一部をＣｏで置換して磁歪
を制御することで角形比を０.３以下に容易に調整でき
る。ところで、Ｆｅ-Ｓｉ-Ｂ系の非晶質合金において飽
和磁束密度が１.５Ｔ程度で高いものは、磁歪の絶対値
が１０-5オーダーの大きな値となる。よって、樹脂モー
ルドした場合にコアロスと角形比を含めて磁気特性の劣
化を生じる。これに対して本発明の組成を有するもので
は、磁歪の絶対値が１０-6オーダーであり、前記非晶質
合金より小さいのでコアロスが少なくなり、樹脂モール
ドにより角形比が劣化するおそれは少なくなる。According to the present invention, since it has a special composition based on Fe, B and the element M, there is a feature that the core loss is small. In particular, F is known for exhibiting excellent soft magnetic properties.
Even when compared with a magnetic core using an e-Si-B-based amorphous alloy, the Fe-based soft magnetic alloy according to the present invention exhibits excellent saturation magnetic flux density equal to or higher than that of Fe-Si-B. The core loss is lower than the core loss of the Si-B based amorphous alloy. Furthermore, since the absolute value of magnetostriction is smaller than 1.0 × 10 −6 and the squareness ratio is easily adjusted to 0.8 or more or 0.3 or less, a high squareness ratio of 0.8 or more is required. It can be applied as a saturable core, a DC choke coil core requiring a low squareness ratio of 0.3 or less, a transformer core, or the like. Also, the squareness ratio can be easily adjusted to 0.8 or more by annealing in a magnetic field, and the squareness ratio can be adjusted to 0.3 or less by controlling magnetostriction by replacing part of Fe with Co. Easy to adjust. By the way, in the case of an Fe—Si—B amorphous alloy having a high saturation magnetic flux density of about 1.5 T, the absolute value of the magnetostriction is a large value on the order of 10 −5 . Therefore, when resin molding is performed, the magnetic characteristics including the core loss and the squareness ratio deteriorate. On the other hand, in the case of the composition having the composition of the present invention, the absolute value of the magnetostriction is in the order of 10 −6, which is smaller than the amorphous alloy, so that the core loss is reduced, and the possibility that the squareness is deteriorated by the resin mold is reduced. .

【００２５】本発明に係る組成のＦｅ基軟磁性合金は、
合金溶湯から急冷して製造した後に磁場中においてアニ
ール処理することで角形比を容易に調整することができ
る。また、Ｆｅの一部をＣｏで置換することにより磁歪
を調整することができ、磁歪を調整することで角形比も
調整できる。The Fe-based soft magnetic alloy having the composition according to the present invention comprises:
The rectangular shape ratio can be easily adjusted by performing an annealing treatment in a magnetic field after manufacturing by quenching from the molten alloy. Further, the magnetostriction can be adjusted by substituting a part of Fe with Co, and the squareness ratio can also be adjusted by adjusting the magnetostriction.

【００２６】以下、図面を参照して本発明について説明
する。図１は本発明に係るＦｅ基軟磁性合金を用いて構
成された積層型磁気コアの一例を示すもので、この例の
積層型磁気コアＡは、後述する組成の各種軟磁性合金か
らなる薄帯を打ち抜き成形したリング体１を複数、互い
の間に絶縁層を介在させて積層して構成されている。ま
た、前記Ｆｅ基軟磁性合金は、その組織の少なくとも５
０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の体心立方構造の
微細な結晶粒からなる組織を有する。Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an example of a laminated magnetic core formed by using the Fe-based soft magnetic alloy according to the present invention. The laminated magnetic core A of this example is a thin magnetic core made of various soft magnetic alloys having compositions described later. A plurality of ring bodies 1 obtained by stamping and forming a band are laminated with an insulating layer interposed therebetween. Further, the Fe-based soft magnetic alloy has at least 5
0% or more has a structure composed of fine crystal grains having a body-centered cubic structure with an average crystal grain size of 30 nm or less.

【００２７】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
１の例として、Ｆｅ b Ｂ x Ｍ yの組成式で示され、Ｍ
は、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、
かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含み、b＝７
５〜９３原子％、x＝０.５〜１８子％、y＝４〜９原子
％の関係を満足するものを用いることができる。[0027] As a first example of a soft magnetic alloy constituting the ring body 1, it is represented by a composition formula of Fe b B x M y, M
Is one or more elements selected from the group consisting of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, and W;
And any one of Zr, Hf and Nb, and b = 7
Those satisfying the relationship of 5 to 93 atomic%, x = 0.5 to 18 atomic%, and y = 4 to 9 atomic% can be used.

【００２８】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
２の例として、（Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ yの組成式
で示され、Ｚは、Ｎｉ，Ｃｏのうち１種または２種、Ｍ
は、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、
かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含み、a≦０.
２、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y＝
４〜９原子％の関係を満足するものを用いることができ
る。The soft magnetic alloy of the ring 1
As an example of No. 2, (Fe1-aZa)b BxMyComposition formula of
Wherein Z is one or two of Ni and Co, M
Is from Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
One or more elements selected from the group consisting of:
In addition, any one of Zr, Hf, and Nb is included, and a ≦ 0.
2, b = 75 to 93 atomic%, x = 0.5 to 18 atomic%, y =
Those satisfying the relation of 4 to 9 atomic% can be used.
You.

【００２９】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
３の例として、Ｆｅ b Ｂ x Ｍ yＸ zの組成式で示さ
れ、Ｍは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，
Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元素で
あり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含み、
ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒのうち１種または２種以上
であり、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子
％、y＝４〜９原子％、z≦５原子％の関係を満足するも
のを用いることができる。[0029] As a third example of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1, is represented by a composition formula of Fe b B x M y X z , M is, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta, Mo,
W is one or more elements selected from the group consisting of W, and includes any of Zr, Hf, and Nb;
X is one or more of Cr, Ru, Rh, and Ir, b = 75 to 93 at%, x = 0.5 to 18 at%, y = 4 to 9 at%, z ≦ 5 at% % Can be used.

【００３０】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
４の例として、（Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ y Ｘ Zの組
成式で示され、ＺはＮｉ，Ｃｏのうち１種または２種、
ＭはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、
かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含み、ＸはＣ
ｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒのうち１種または２種以上の元素
であり、a≦０.１、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜
１８原子％、y＝４〜９原子％、Z≦５原子％の関係を満
足するものを用いることができる。The soft magnetic alloy of the ring 1
As an example of No. 4, (Fe1-aZa)b BxMy XZPair of
Where Z is one or two of Ni and Co,
M is from Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
One or more elements selected from the group consisting of:
And any one of Zr, Hf, and Nb, and X is C
one or more of r, Ru, Rh, and Ir
Where a ≦ 0.1, b = 75-93 at%, x = 0.5-
18 atomic%, y = 4-9 atomic%, Z ≦ 5 atomic%
Additions can be used.

【００３１】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
５の例として、Ｆｅ b Ｂ x Ｍ yＸ' tの組成式で示さ
れ、Ｍは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，
Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元素で
あり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、Ｘ’
はＳｉ，Ａｌ，Ｇｅ，Ｇａのうち１種または２種以上で
あり、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y
＝４〜９原子％、t≦４原子％の関係を満足するものを
用いることができる。[0031] As a fifth example of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1, Fe b B x M y X ' is represented by a composition formula of t, M is, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta , Mo,
X ′ is one or more elements selected from the group consisting of W, and contains any of Zr, Hf, and Nb;
Is one or more of Si, Al, Ge and Ga, b = 75 to 93 at%, x = 0.5 to 18 at%, y
= 4 to 9 atomic% and t ≦ 4 atomic% can be used.

【００３２】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
６の例として、（Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ y Ｘ' tの
組成式で示され、Ｚは、Ｎｉ，Ｃｏのうち１種または２
種、Ｍは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，
Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元素で
あり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、Ｘ’
はＳｉ，Ａｌ，Ｇｅ，Ｇａのうち１種または２種以上で
あり、a≦０.２、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１
８原子％、y＝４〜９原子％、t≦４原子％の関係を満足
するものを用いることができる。The soft magnetic alloy constituting the ring 1
As an example of No. 6, (Fe1-aZa)b BxMy X 'tof
It is represented by a composition formula, and Z is one or two of Ni and Co.
The species, M, is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo,
One or more elements selected from the group consisting of W
And any one of Zr, Hf and Nb, and X '
Is one or more of Si, Al, Ge, and Ga
Yes, a ≦ 0.2, b = 75-93 atomic%, x = 0.5-1
8 atomic%, y = 4 to 9 atomic%, t ≦ 4 atomic%
Can be used.

【００３３】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
７の例として、Ｆｅ b Ｂ x Ｍ yＸz Ｘ' tの組成式で
示され、Ｍは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、
ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｉｒのうち１種または２種以上、Ｘ’
はＳｉ，Ａｌ，Ｇｅ，Ｇａのうち１種または２種以上で
あり、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y
＝４〜９原子％、z≦５原子％、t≦４原子％の関係を満
足するものを用いることができる。[0033] As a seventh embodiment of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1, Fe b B x M y X z X ' is represented by a composition formula of t, M is, Ti, Zr, Hf, V , Nb , Ta, M
one or more elements selected from the group consisting of o and W, and containing any of Zr, Hf, and Nb;
X is one or more of Cr, Ru and Ir, and X ′
Is one or more of Si, Al, Ge and Ga, b = 75 to 93 at%, x = 0.5 to 18 at%, y
= 4 to 9 atomic%, z ≦ 5 atomic%, and t ≦ 4 atomic%.

【００３４】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
８の例として、（Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ y Ｘz Ｘ'
tの組成式で示され、Ｚは、Ｎｉ，Ｃｏのうち１種また
は２種、Ｍは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、
ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｉｒのうち１種または２種以上、Ｘ’
はＳｉ，Ａｌ，Ｇｅ，Ｇａのうち１種または２種以上で
あり、a≦０.２、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１
８原子％、y＝４〜９原子％、z≦５原子％、t＝≦４原
子％の関係を満足するものを用いることができる。The soft magnetic alloy of the ring 1
As an example of No. 8, (Fe1-aZa)b BxMyXz X '
tWhere Z is one of Ni and Co or
Are two kinds, and M is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, M
one or more elements selected from the group consisting of o and W
Element, and contains any of Zr, Hf, and Nb;
X is one or more of Cr, Ru and Ir, and X '
Is one or more of Si, Al, Ge, and Ga
Yes, a ≦ 0.2, b = 75-93 atomic%, x = 0.5-1
8 atomic%, y = 4-9 atomic%, z ≦ 5 atomic%, t = ≦ 4
A material that satisfies the relationship of the child% can be used.

【００３５】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
９の例として、Ｆｅ b Ｂ x Ｍ yＴ zの組成式で示さ
れ、Ｍは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，
Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元素で
あり、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、または両方を含
み、Ｔは、Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからな
る群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、b
≦７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y＝４〜
１０原子％、z≦４.５原子％の関係を満足するものを用
いることができる。[0035] As a ninth embodiment of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1, is represented by a composition formula of Fe b B x M y T z , M is, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta, Mo,
T is a group consisting of Cu, Ag, Au, Pd, Pt, and Bi, which is one or more elements selected from the group consisting of W and contains one or both of Zr and Hf. One or more elements selected from
≦ 75-93 atomic%, x = 0.5-18 atomic%, y = 4-
Those satisfying the relationship of 10 at% and z ≦ 4.5 at% can be used.

【００３６】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
１０の例として、Ｆｅ b Ｂ x Ｍ y Ｔ z Ｘ uの組成式
で示され、Ｍは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，
Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の
元素であり、且つ、Ｚｒ，Ｈｆのいずれか、または両方
を含み、Ｔは、Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉか
らなる群から選ばれた１種または２種以上の元素であ
り、ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒからなる群から選ばれ
た１種または２種以上の元素であり、b≦７５〜９３原
子％、x＝０.５〜１８原子％、y＝４〜１０原子％、z≦
４.５原子％、u≦５原子％なる関係を満足するものを用
いることができる。The soft magnetic alloy of the ring 1
As an example of 10, FebBxMy TzXuComposition formula of
And M is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta,
One or more selected from the group consisting of Mo and W
Element and either or both of Zr and Hf
And T is Cu, Ag, Au, Pd, Pt, Bi
One or more elements selected from the group consisting of
X is selected from the group consisting of Cr, Ru, Rh, Ir
One or more elements, and b ≦ 75 to 93
%, X = 0.5 to 18 atomic%, y = 4 to 10 atomic%, z ≦
4.5 atomic%, u ≦ 5 atomic%
Can be.

【００３７】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
１１の例として、（Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ y Ｔ z
の組成式で示され、ＺはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または
両方であり、ＭはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，
Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の
元素であり、かつ、ＺｒとＨｆのいずれか、または、両
方を含み、ＴはＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉか
らなる群から選ばれた１種または２種以上の元素であ
り、a≦０.１、b≦７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８
原子％、y＝４〜１０原子％、z≦４.５原子％なる関係
を満足するものを用いることができる。[0037] As an eleventh example of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1, (Fe 1-a Z a) b B x M y T z
Wherein Z is one or both of Co and Ni, and M is Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta,
One or more elements selected from the group consisting of Mo and W and containing one or both of Zr and Hf, and T is selected from Cu, Ag, Au, Pd, Pt and Bi. One or two or more elements selected from the group consisting of: a ≦ 0.1, b ≦ 75-93 at%, x = 0.5-18
Atomic%, y = 4 to 10 atomic%, and z ≦ 4.5 atomic% can be used.

【００３８】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
１２の例として、（Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ y Ｔ z
Ｘ uの組成式で示され、ＺはＣｏ，Ｎｉのいずれか、ま
たは両方であり、ＭはＴｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔ
ａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以
上の元素であり、かつ、ＺｒとＨｆのいずれか、また
は、両方を含み、ＴはＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，
Ｂｉからなる群から選ばれた１種または２種以上の元素
であり、ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒからなる群から選
ばれた１種または２種以上の元素であり、a≦０.１、b
≦７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y＝４〜
１０原子％、z≦４.５原子％、u≦５原子％なる関係を
満足するものを用いることができる。[0038] As a twelfth embodiment of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1, (Fe 1-a Z a) b B x M y T z
Is represented by a composition formula of X u, Z is Co, a one or both of Ni, M is Ti, Zr, Hf, V, Nb, T
a, Mo, W, one or more elements selected from the group consisting of Zr and Hf, or both, and T is Cu, Ag, Au, Pd, Pt,
X is one or more elements selected from the group consisting of Bi; X is one or more elements selected from the group consisting of Cr, Ru, Rh, and Ir; 1, b
≦ 75-93 atomic%, x = 0.5-18 atomic%, y = 4-
Those satisfying the relationship of 10 at%, z ≦ 4.5 at%, and u ≦ 5 at% can be used.

【００３９】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
１３の例として、Ｆｅ b Ｂ x Ｍ’y Ｔ zの組成式で示
され、Ｍ’は、Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからな
る群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、か
つ、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａのいずれかを含み、Ｔは、Ｃｕ，
Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群から選ばれた
１種または２種以上の元素であり、b≦７５〜９３原子
％、x＝６.５〜１８原子％、y＝４〜１０原子％、z≦
４.５原子％なる関係を満足するものを用いることがで
きる。[0039] As a thirteenth example of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1 'is represented by a composition formula of y T z, M' Fe b B x M is, Ti, V, Nb, Ta, Mo, W is one or more elements selected from the group consisting of W, and includes any of Ti, Nb, and Ta, and T is Cu,
One or more elements selected from the group consisting of Ag, Au, Pd, Pt, and Bi, b ≦ 75-93 at%, x = 6.5-18 at%, y = 4-10 Atomic%, z ≦
Those satisfying the relation of 4.5 atomic% can be used.

【００４０】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
１４の例として、Ｆｅ b Ｂ x Ｍ’y Ｔ z Ｘ uの組成
式で示され、Ｍ’は、Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗ
からなる群から選ばれた１種または２種以上の元素であ
り、かつ、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａのいずれかを含み、Ｔは、
Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群から選
ばれた１種または２種以上の元素であり、ＸはＣｒ，Ｒ
ｕ，Ｒｈ，Ｉｒからなる群から選ばれた１種または２種
以上の元素であり、b≦７５〜９３原子％、x＝６.５〜
１８原子％、y＝４〜１０原子％、z≦４.５原子％、u≦
５原子％なる関係を満足するものを用いることができ
る。[0040] As a fourteenth embodiment of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1 'is represented by a composition formula of y T z X u, M' Fe b B x M is, Ti, V, Nb, Ta, Mo, W
Is one or more elements selected from the group consisting of and contains any of Ti, Nb, and Ta, and T is
One or more elements selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Pd, Pt and Bi, and X is Cr, R
one or more elements selected from the group consisting of u, Rh, and Ir, b ≦ 75 to 93 at%, x = 6.5 to
18 atomic%, y = 4 to 10 atomic%, z ≦ 4.5 atomic%, u ≦
A material that satisfies the relationship of 5 atomic% can be used.

【００４１】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
１５の例として、（Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ’y Ｔ z
の組成式で示され、ＺはＣｏ，Ｎｉのいずれかまたは両
方であり、Ｍ’はＴｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗから
なる群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、
かつＴｉ，Ｎｂ，Ｔａのいずれかを含み、ＴはＣｕ，Ａ
ｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群から選ばれた１
種または２種以上の元素であり、a≦０.１、b≦７５〜
９３原子％、x＝６.５〜１８原子％、y＝４〜１０原子
％、z≦４.５原子％なる組成のものを用いることができ
る。[0041] As a fifteenth embodiment of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1, (Fe 1-a Z a) b B x M 'y T z
Wherein Z is one or both of Co and Ni, and M ′ is one or more elements selected from the group consisting of Ti, V, Nb, Ta, Mo and W. Yes,
And containing any of Ti, Nb, and Ta, where T is Cu, A
1 selected from the group consisting of g, Au, Pd, Pt, and Bi
Species or two or more elements, a ≦ 0.1, b ≦ 75
A composition of 93 at%, x = 6.5 to 18 at%, y = 4 to 10 at%, and z ≦ 4.5 at% can be used.

【００４２】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
１６の例として、（Ｆｅ 1-a Ｚ a）b Ｂ x Ｍ’y Ｔ z
Ｘ uの組成で示され、ＺはＣｏ，Ｎｉのいずれか、ま
たは、両方であり、Ｍ’はＴｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａのいずれかを含み、
ＴはＣｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群か
ら選ばれた１種または２種以上の元素であり、ＸはＣ
ｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒからなる群から選ばれた１種また
は２種以上の元素であり、a≦０.１、b≦７５〜９３原
子％、x＝６.５〜１８原子％、y＝４〜１０原子％、z≦
４.５原子％、u≦５原子％なる組成のものを用いること
ができる。[0042] As a sixteenth embodiment of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1, (Fe 1-a Z a) b B x M 'y T z
X is represented by the composition of X u , Z is one or both of Co and Ni, and M ′ is Ti, V, Nb, Ta, M
one or more elements selected from the group consisting of o, W, and any one of Ti, Nb, and Ta;
T is one or more elements selected from the group consisting of Cu, Ag, Au, Pd, Pt and Bi, and X is C
one or more elements selected from the group consisting of r, Ru, Rh and Ir, a ≦ 0.1, b ≦ 75-93 at%, x = 6.5-18 at%, y = 4 to 10 atomic%, z ≦
A composition having a composition of 4.5 at% and u ≦ 5 at% can be used.

【００４３】前記リング体１を構成する軟磁性合金の第
１７の例として、前記第９、１０、１１、１２、１３、
１４、１５または１６記載の軟磁性合金において、z＝
０.２〜４.５原子％としたものである。As a seventeenth example of the soft magnetic alloy constituting the ring body 1, the ninth, tenth, eleventh, twelve, thirteenth,
14. The soft magnetic alloy according to 14, 15, or 16, wherein z =
0.2 to 4.5 atomic%.

【００４４】前記リング体１を製造するには、前記組成
になるように合金原料を混合して溶解し合金溶湯を得た
後、回転している銅製などの金属ロールに溶湯を噴出し
て急冷する液体急冷法を実施する。この液体急冷法によ
り非晶質状態のリボン状の薄帯を得ることができる。こ
の薄帯を得たならば、これをリング状に打ち抜き加工し
て磁心用に使用する。加工を施した薄帯に対し、５００
〜７００℃で加熱した後に冷却するアニール処理を施す
ことが好ましい。この熱処理により非晶質相の中に平均
粒径３０ｎｍ以下のＦｅを主体とする体心立方構造の微
細結晶相が析出して軟磁気特性が向上する。In order to manufacture the ring 1, alloy raw materials are mixed and melted so as to have the composition described above to obtain a molten alloy, and then the molten metal is jetted onto a rotating metal roll made of copper or the like to be rapidly cooled. Implement liquid quenching method. By this liquid quenching method, a ribbon-like ribbon in an amorphous state can be obtained. Once this ribbon is obtained, it is punched into a ring and used for a magnetic core. 500 for processed ribbon
It is preferable to perform an annealing treatment for cooling after heating at about 700 ° C. By this heat treatment, a fine crystal phase having a body-centered cubic structure mainly composed of Fe having an average particle diameter of 30 nm or less is precipitated in the amorphous phase, and the soft magnetic properties are improved.

【００４５】前記各組成のＦｅ基軟磁性合金において、
前記の組成とすることが好ましい理由。前記組成の合金
にはＢが必ず添加されている。Ｂには、軟磁性合金の非
晶質形成能を高める効果、および熱処理工程において磁
気特性に悪影響を及ぼす化合物相の生成を抑制する効果
があると考えられ、このためＢ添加は必須である。本
来、α-Ｆｅに対してＺｒ、Ｈｆはほとんど固溶しない
が、前記組成の合金の全体を急冷して非晶質化すること
で、ＺｒとＨｆを過飽和に固溶させ、この後に施す熱処
理によりこれら元素の固溶量を調節して一部結晶化し、
微細結晶相として析出させることで、得られる軟磁性合
金の軟磁気特性を向上させ、薄帯の磁歪を小さくでき
る。また、微結晶相を析出させ、その微結晶相の結晶粒
の粗大化を抑制するには、結晶粒成長の障害となり得る
非晶質相を粒界に残存させることが必要であると考えら
れる。更に、この非晶質相は、熱処理温度の上昇によっ
てα-Ｆｅから排出されるＺｒ，Ｈｆ，Ｎｂ等のＭ元素
を固溶することで、軟磁性を劣化させるＦｅ-Ｍ系化合
物の生成を抑制すると考えられる。よってＦｅ-Ｚｒ
（Ｈｆ）系の合金にＢを添加することが重要となる。In the above Fe-based soft magnetic alloys,
The reason why the above composition is preferable. B is always added to the alloy having the above composition. B is considered to have the effect of increasing the ability of the soft magnetic alloy to form an amorphous phase and the effect of suppressing the formation of a compound phase that adversely affects the magnetic properties in the heat treatment step. Therefore, the addition of B is essential. Originally, Zr and Hf hardly form a solid solution with α-Fe. However, by quenching the entire alloy having the above composition to make it amorphous, Zr and Hf are made into a supersaturated solid solution, and a heat treatment is performed thereafter. By adjusting the solid solution amount of these elements by crystallization partly,
By precipitating it as a fine crystalline phase, the soft magnetic properties of the obtained soft magnetic alloy can be improved and the magnetostriction of the ribbon can be reduced. Further, in order to precipitate a microcrystalline phase and to suppress the coarsening of the crystal grains of the microcrystalline phase, it is considered necessary to leave an amorphous phase which may be an obstacle to crystal grain growth at the grain boundary. . Further, this amorphous phase forms an Fe-M compound that deteriorates soft magnetism by dissolving M elements such as Zr, Hf, and Nb discharged from α-Fe by increasing the heat treatment temperature. It is thought to suppress. Therefore, Fe-Zr
It is important to add B to the (Hf) -based alloy.

【００４６】Ｂ量のXが、０.５原子％以下の場合、粒界
の非晶質相が不安定となるため、十分な添加効果が得ら
れない。xが１８原子％を超えるとＢ-Ｍ系およびＦｅ-
Ｂ系のほう化物の生成傾向が強くなり、この結果、微細
結晶組織を得るための熱処理条件が制約され、良好な軟
磁気特性が得られなくなる。なお、前記の各組成式にお
けるＢ含有量について、１.５Ｔ以上の高飽和磁束密度
を広い組成範囲で得るためには１０原子％以下であるこ
とが好ましいが、Ｂ量が１０〜１２原子％の範囲では合
金の電気抵抗が増大し、高周波での渦電流損失が低減で
きるので、１０〜１８原子％の範囲としても良い。この
ように適切な量のＢを添加することで析出する微細結晶
相の平均結晶粒径が３０ｎｍ以下になる。If the X content of B is less than 0.5 atomic%, the amorphous phase at the grain boundary becomes unstable, so that a sufficient effect of addition cannot be obtained. When x exceeds 18 atomic%, BM and Fe-
The tendency to form B-based borides is increased, and as a result, heat treatment conditions for obtaining a fine crystal structure are restricted, and good soft magnetic characteristics cannot be obtained. The B content in each of the above composition formulas is preferably 10 atomic% or less in order to obtain a high saturation magnetic flux density of 1.5 T or more in a wide composition range, but the B content is 10 to 12 atomic%. In the range, the electric resistance of the alloy increases and the eddy current loss at a high frequency can be reduced. Therefore, the range may be 10 to 18 atomic%. By adding an appropriate amount of B in this manner, the average crystal grain size of the fine crystalline phase precipitated becomes 30 nm or less.

【００４７】前記第１〜第１７の例の軟磁性合金の組成
式において、非晶質相を得やすくするためには、非晶質
形成能の特に高いＺｒ、Ｈｆ、Ｎｂのいずれかを含む必
要がある。また、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｂはそれらの一部を他
の４Ａ〜６Ａ族元素のうち、Ｔｉ、Ｖ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ
と置換することができる。本発明の合金において、Ｍ元
素は比較的遅い拡散種であり、Ｍ元素の添加は、微細結
晶核の成長速度を小さくする効果を持つと考えられ、組
織の微細化に不可欠である。しかし、Ｍ元素の添加量Y
が４原子％以下になると、核成長速度を小さくする効果
が失われ、この結果、結晶粒径が粗大化し良好な軟磁性
が得られない。Ｆｅ-Ｈｆ-Ｂ系合金の場合、Ｈｆ＝５原
子％での平均結晶粒径は１３ｎｍであるのに対してＨｆ
＝３原子％では３９ｎｍと粗大化する。Y量が９原子％
を超えると、Ｍ-Ｂ系またはＦｅ-Ｍ系の化合物の生成傾
向が大きくなり、良好な特性が得られないほか、液体急
冷後のテープ状合金が脆化し、所定のコア形状に加工す
ることが困難となる。よって、Yの範囲を４〜９原子％
とした。In the composition formulas of the soft magnetic alloys of the first to seventeenth examples, in order to easily obtain an amorphous phase, any one of Zr, Hf, and Nb having particularly high amorphous forming ability is included. There is a need. In addition, Zr, Hf, and Nb are partially replaced with Ti, V, Ta, Mo, and W among the other group 4A to 6A elements.
Can be replaced by In the alloy of the present invention, the M element is a relatively slow diffusion species, and the addition of the M element is considered to have an effect of reducing the growth rate of the fine crystal nuclei, and is indispensable for the refinement of the structure. However, the addition amount of the M element Y
Is less than 4 at%, the effect of reducing the nucleus growth rate is lost, and as a result, the crystal grain size becomes coarse and good soft magnetism cannot be obtained. In the case of an Fe-Hf-B alloy, the average crystal grain size at Hf = 5 atomic% is 13 nm, whereas the average crystal grain size is 13 nm.
If it is 3 atomic%, it is coarsened to 39 nm. Y content is 9 atomic%
If the ratio exceeds the above range, the tendency to form MB- or Fe-M-based compounds increases, and good properties cannot be obtained. In addition, the tape-like alloy after liquid quenching becomes brittle, and is processed into a predetermined core shape. Becomes difficult. Therefore, the range of Y is 4 to 9 atomic%.
And

【００４８】前記例の軟磁性合金の組成式において、Ｆ
ｅ、Ｃｏ、Ｎｉ量のｂは、９３原子％以下である。これ
は、ｂが９３原子％を超えると液体急冷法によって非晶
質単相を得ることが困難になり、この結果、熱処理して
から得られる合金の組織が不均一になるため高い透磁率
が得られないためである。また、飽和磁束密度１.５Ｔ
以上を得るためには、ｂが７５原子％以上であることが
より好ましいのでｂを７５〜９３原子％とした。さら
に、８０原子％以上とすれば、１.５Ｔ以上の飽和磁束
密度が得られる組成範囲が広がるので好ましい。In the composition formula of the soft magnetic alloy of the above example, F
The amount b of e, Co, and Ni is 93 atomic% or less. This is because if b exceeds 93 atomic%, it becomes difficult to obtain an amorphous single phase by the liquid quenching method, and as a result, the structure of the alloy obtained after the heat treatment becomes non-uniform, so that a high magnetic permeability is obtained. This is because they cannot be obtained. In addition, the saturation magnetic flux density is 1.5T
In order to obtain the above, it is more preferable that b is 75 atomic% or more, so b is set to 75 to 93 atomic%. Further, when the content is 80 atomic% or more, a composition range in which a saturation magnetic flux density of 1.5 T or more can be obtained is widened, so that it is preferable.

【００４９】前記添加元素の中でもＮｂとＭｏは、酸化
物の生成自由エネルギーの絶対値が小さく、熱的に安定
であり、製造時に酸化しずらいものである。よってこれ
らの元素を添加している場合は、製造条件が容易で安価
に製造することができ、また、コストの面でも有利であ
る。これらの元素を添加して前記軟磁性合金を製造する
場合に、具体的には、溶湯を急冷する際に使用するるつ
ぼのノズルの先端部に、不活性ガスを部分的に供給しつ
つ大気中で製造もしくは大気中の雰囲気で製造すること
ができる。Among the above-mentioned additional elements, Nb and Mo have small absolute values of the free energy of oxide formation, are thermally stable, and are hardly oxidized during production. Therefore, when these elements are added, the production conditions are easy, the production can be performed at low cost, and the cost is also advantageous. When the soft magnetic alloy is manufactured by adding these elements, specifically, an inert gas is partially supplied to the tip of a nozzle of a crucible used when quenching a molten metal while supplying an inert gas. Or in an atmosphere of the atmosphere.

【００５０】請求項９〜１２に記載の軟磁性合金におい
ては、Ｃｕおよびこれらと同族元素のＡｇ，Ａｕさらに
Ｐｄ，ＰｔおよびＢｉのうちから選ばれた少なくとも１
種または２種以上の元素を４.５原子％以下含むことが
好ましい。これらの元素の添加量が０.２原子％より少
ないと前記のアニールにより優れた軟磁気特性を得 る
ことが難しくなるが、昇温速度を上げることにより透磁
率が向上し、飽和磁束密度が若干向上するため、請求項
９〜１２に示すようにこれらの元素の含有量を０.２原
子％以下とすることができる。ただし、これらの元素の
含有量を０.２〜４.５原子％とすることで、昇温速度を
あまり大きくしなくとも優れた軟磁気特性を得ることが
できるので、請求項１３に示すように０.２〜４.５原子
％の含有量にすることがより好ましい。In the soft magnetic alloy according to any one of claims 9 to 12 , Cu and at least one selected from Ag, Au, Pd, Pt and Bi, which are homologous elements thereof, may be used.
It is preferable to contain at least 4.5 atomic% of a species or two or more elements. If the addition amount of these elements is less than 0.2 atomic%, it is difficult to obtain excellent soft magnetic properties by the above-described annealing, but the magnetic permeability is improved by increasing the temperature increase rate, and the saturation magnetic flux density is reduced. Claims to improve slightly
As shown in Nos. 9 to 12 , the content of these elements can be set to 0.2 atomic% or less. However, the content of these elements by a 0.2 to 4.5 atomic%, it is possible to obtain excellent soft magnetic properties heating rate even without so large, as shown in claim 13 More preferably, the content is 0.2 to 4.5 atomic%.

【００５１】また、これらの元素の中においてもＣｕは
特に有効である。Ｃｕ，Ｐｄ等の添加により、軟磁気特
性が著しく改善される機構については明らかではない
が、結晶化温度を示差熱分析法により測定したところ、
Ｃｕ，Ｐｄ等を添加した合金の結晶化温度は、添加しな
い合金に比べてやや低い温度であることが認められた。
これは、前記元素の添加により非晶質相中の組成ゆらぎ
が増し、その結果、非晶質相の安定性が低下し、結晶質
相が析出し易くなったことに起因すると考えられる。[0051] Among these elements, Cu is particularly effective. Although the mechanism by which the soft magnetic properties are significantly improved by the addition of Cu, Pd, etc. is not clear, the crystallization temperature was measured by differential thermal analysis.
It was found that the crystallization temperature of the alloy to which Cu, Pd or the like was added was slightly lower than that of the alloy without addition.
This is considered to be due to the fact that the addition of the element increases the composition fluctuation in the amorphous phase, and as a result, the stability of the amorphous phase is reduced and the crystalline phase is easily precipitated.

【００５２】以上、本発明に係る合金元素の限定理由を
説明したが、これらの元素以外でも耐食性を改善するた
めに、Ｃｒ、Ｍｏ、あるいはＲｕ、Ｒｈ、Ｉｒなどの白
金族元素を添加することも可能である。これらの元素
は、５原子％よりも多く添加すると、飽和磁束密度の劣
化が著しくなるため、添加量は５原子％以下に抑える必
要がある。また、必要に応じてＹ、希土類元素、Ｚｎ、
Ｃｄ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐｂ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｂ
ｉ、Ｓｅ、Ｔｅ、Ｌｉ、Ｂｅ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ
等の元素を添加することで積層磁心Ａの磁歪を調整する
こともできる。その他、前記薄帯１において、Ｈ、Ｎ、
Ｏ、Ｓ等の不可避的不純物については所望の特性が劣化
しない程度に含有していても本発明で用いる軟磁性合金
の組成と同一とみなすことができるのは勿論である。The reasons for limiting the alloy elements according to the present invention have been described above. In addition to these elements, in order to improve corrosion resistance, it is necessary to add a platinum group element such as Cr, Mo, or Ru, Rh, or Ir. Is also possible. If these elements are added in an amount of more than 5 atomic%, the saturation magnetic flux density deteriorates remarkably. Therefore, it is necessary to suppress the addition amount to 5 atomic% or less. Further, if necessary, Y, rare earth element, Zn,
Cd, Ga, In, Ge, Sn, Pb, As, Sb, B
i, Se, Te, Li, Be, Mg, Ca, Sr, Ba
The magnetostriction of the laminated core A can be adjusted by adding an element such as. In addition, in the ribbon 1, H, N,
Even if unavoidable impurities such as O and S are contained to such an extent that desired characteristics are not deteriorated, it is needless to say that the composition of the soft magnetic alloy used in the present invention can be regarded as the same.

【００５３】次に、リング体１の層間に介在させる絶縁
層は、層間における絶縁破壊を防止し、また、渦電流損
失を小さくして発熱を抑えるなどの目的で設けられ、樹
脂系皮膜や樹脂テープ、無機質系材料皮膜や無機質材料
製テープあるいは水ガラス中にアルミナやマグネシア、
窒化ほう素、珪砂、石英などの無機質系粒子を分散させ
たもの、あるいは、これらの無機質系粒子を樹脂テープ
にコーティングしたり、コーティング後に必要に応じて
焼き付けたたものなどが適宜用いられる。絶縁層を構成
する樹脂材料として、アルキド樹脂を有機溶剤に溶解し
た溶剤型ワニステープ、スチレンモノマと不飽和ポリエ
ステル樹脂からなる無溶剤型ワニスのテープ、アクリル
系樹脂、ポリエステル系樹脂、エポキシエステル系樹脂
などを例示することができる。Next, an insulating layer interposed between the layers of the ring body 1 is provided for the purpose of preventing dielectric breakdown between the layers, reducing eddy current loss and suppressing heat generation, and the like. Alumina and magnesia in tape, inorganic material film, inorganic material tape or water glass
A material in which inorganic particles such as boron nitride, silica sand, and quartz are dispersed, or a material in which these inorganic particles are coated on a resin tape or baked as necessary after coating, are used as appropriate. Solvent varnish tape in which alkyd resin is dissolved in organic solvent, solvent-free varnish tape composed of styrene monomer and unsaturated polyester resin, acrylic resin, polyester resin, epoxy ester resin And the like.

【００５４】前記絶縁層をリング体に被覆するには、例
えばリング体１の表面に、電気泳動法で無機質粒子を付
着させる方法、あるいは、溶射により被覆する方法、ス
パッタや真空蒸着により無機質層を被覆する方法などを
適宜用いることができる。また、珪砂、石英などを単独
であるいは混合して樹脂中に注入して絶縁層を製造する
こともできる。In order to coat the insulating layer on the ring body, for example, a method of attaching inorganic particles to the surface of the ring body 1 by electrophoresis, a method of coating by spraying, or a method of coating the inorganic layer by sputtering or vacuum deposition. A coating method or the like can be used as appropriate. Further, an insulating layer can be manufactured by injecting silica sand, quartz, or the like alone or as a mixture into a resin.

【００５５】前記のように構成された積層型磁気コアＡ
は、前記組成の軟磁性合金を主体として構成されている
ので、１.５〜１.７０Ｔ（テスラ）程度の極めて優れた
飽和磁束密度を発揮し、１００ｋＨｚ程度の高周波域に
おけるコアロスが少なくなり、発熱が少なく特性劣化を
生じないものとなる。よって、磁心の小型軽量化に寄与
する。The laminated magnetic core A configured as described above
Is mainly composed of a soft magnetic alloy having the above-described composition, exhibits an extremely excellent saturation magnetic flux density of about 1.5 to 1.70 T (tesla), reduces core loss in a high frequency range of about 100 kHz, The heat generation is small and the characteristics do not deteriorate. Therefore, it contributes to reducing the size and weight of the magnetic core.

【００５６】図２と図３は、本発明に係るＦｅ基軟磁性
合金を用いて作成された積層型磁気コアの第２実施例を
示すもので、この実施例の積層型磁気コアＣは、Ｅ字状
の鉄心５、５を互いに対向配置して組み合わせ、組み合
わせ部分にコイル７を設けて構成されている。前記鉄心
５は、それぞれ、前記組成の軟磁性合金薄帯から打ち抜
き形成したＥ字状の薄板５Ａを積層してなるもので、Ｉ
型の基部５ａとその両端側に形成された脚部５ｂと基部
５ａの中央側に形成された突起部５ｃとからなる。前記
鉄心５、５は、脚部５ｂどうしと突起部５ｃどうしを重
ね合わせ、鉄心５、５間に接着層６を介在させて接合
し、突起部５ｃどうしの重ね合わせ部分の外周にコイル
７を巻回して組み合わされている。なお、前記薄板５Ａ
どうしは、必要に応じて絶縁層あるいは絶縁被覆で個々
に絶縁された状態で積層されているとともに、鉄心５、
５間の接着層６に間欠的に空隙部分を設けても良い。FIGS. 2 and 3 show a second embodiment of a laminated magnetic core made using the Fe-based soft magnetic alloy according to the present invention. E-shaped iron cores 5 and 5 are arranged facing each other and combined, and a coil 7 is provided at the combined portion. Each of the iron cores 5 is formed by laminating an E-shaped thin plate 5A stamped and formed from a soft magnetic alloy ribbon having the above composition.
It comprises a mold base 5a, legs 5b formed at both ends thereof, and a projection 5c formed at the center of the base 5a. The iron cores 5 and 5 overlap the legs 5b and the protrusions 5c, and join the cores 5 and 5 with an adhesive layer 6 interposed therebetween, and attach the coil 7 to the outer periphery of the overlapped portion of the protrusions 5c. It is wound and combined. The thin plate 5A
They are laminated in a state of being individually insulated by an insulating layer or an insulating coating as necessary, and
A gap may be provided intermittently in the adhesive layer 6 between the five.

【００５７】この例の構造の積層型磁気コアＣにあって
も、優れた軟磁気特性を示す軟磁性合金製の薄板５、５
を積層して構成されているので、優れた軟磁気特性と少
ないコアロスを示し、磁心の小型軽量化に寄与する。ま
た、Ｅ字状の鉄心５、５を上下に積層配置することでコ
イル化しているので、Ｅ字状とＩ字状の鉄心薄板を１枚
ずつ交互に組み合わせる構成の磁心よりも組立工数が減
り、製造が容易になるとともに、磁心５、５の間に絶縁
層６または空隙部分を設けているので、直流重畳時の鉄
心の透磁率の減少率を改善できる。Even in the laminated magnetic core C having the structure of this example, the thin plates 5 and 5 made of a soft magnetic alloy exhibiting excellent soft magnetic characteristics are provided.
Are laminated, excellent soft magnetic properties and low core loss are exhibited, contributing to a reduction in the size and weight of the magnetic core. In addition, since the E-shaped iron cores 5 and 5 are coiled by being stacked one above the other, the number of assembling steps is reduced as compared with a magnetic core having a configuration in which E-shaped and I-shaped iron thin plates are alternately combined one by one. In addition, the manufacturing becomes easy, and the insulating layer 6 or the gap portion is provided between the magnetic cores 5, 5, so that the reduction rate of the magnetic permeability of the iron core at the time of DC superposition can be improved.

【００５８】[0058]

【実施例】以下の表１に示すような組成になるように材
料を調製し、これをノズル付きのるつぼ内で高周波溶解
して合金溶湯を得、これを高速回転している銅ロールに
ノズルから吹き出させて急冷する液体急冷法を実施し、
厚さ１５〜２０μｍの合金薄帯を得た。得られた薄帯を
外径１０ｍｍ、内径６ｍｍのリング状に打ち抜き加工し
たものを６００〜６５０℃で１時間加熱する熱処理を施
し、次いで絶縁紙を貼り付けて絶縁処理した。この絶縁
処理済みのリング体を２０枚重ねて磁心を形成し、巻線
を施し、凌和電子（株）製の交流磁化試験装置（ＭＭＳ
０３７５）を用いてコアロスを測定した。その結果を表
１に示す。EXAMPLE A material was prepared so as to have a composition as shown in Table 1 below, which was subjected to high frequency melting in a crucible with a nozzle to obtain a molten alloy. We carry out liquid quenching method to quench by blowing out from
An alloy ribbon having a thickness of 15 to 20 μm was obtained. The obtained ribbon was punched into a ring shape having an outer diameter of 10 mm and an inner diameter of 6 mm, and was subjected to a heat treatment of heating at 600 to 650 ° C. for 1 hour. Twenty of these insulated rings are stacked to form a magnetic core, wound, and subjected to an AC magnetization tester (MMS) manufactured by Ryowa Electronics Co., Ltd.
0375) was used to measure the core loss. Table 1 shows the results.

【００５９】[0059]

【表１】 [Table 1]

【００６０】表１に示す結果から明らかなように、本発
明に係るＦｅ基軟磁性合金を用いて構成された積層型磁
気コアは、１.５〜１.７０テスラ（Ｔ）の範囲の優れた
飽和磁束密度を示し、１００ｋＨｚにおけるコアロスも
少なく極めて優秀な特性を発揮した。As is clear from the results shown in Table 1, the laminated magnetic core constituted by using the Fe-based soft magnetic alloy according to the present invention has an excellent range of 1.5 to 1.70 Tesla (T). And exhibited extremely excellent characteristics with little core loss at 100 kHz.

【００６１】次に、（Ｆｅ0.985Ｃｏ0.015）90Ｚｒ7Ｂ3
なる組成の試料を用い、この試料を６００℃において、
３０ Ｏｅの並行磁場中で１時間アニールして得た試料
のヒステリシスループを求めた結果を図４に示す。ま
た、比較のために、同等の試料を用い、６００℃で無磁
場中において１時間アニールして得た試料のヒステリシ
スループを求めた結果を図５に示す。図４に示す試料に
おいては角形比（Ｂｒ／Ｂｓ）が０.９１であり、図５
に示す試料では角形比が０.７２であった。以上のこと
から本発明に係るＦｅ基軟磁性合金は、磁場中において
高温でアニールすることで角形比を高い値に調整できる
ことが明らかになった。Next, (Fe 0.985 Co 0.015 ) 90 Zr 7 B 3
Using a sample having the following composition:
FIG. 4 shows the result of obtaining a hysteresis loop of a sample obtained by annealing for 1 hour in a parallel magnetic field of 30 Oe. For comparison, FIG. 5 shows the results of obtaining a hysteresis loop of a sample obtained by annealing for 1 hour at 600 ° C. in a magnetic field without using an equivalent sample. In the sample shown in FIG. 4, the squareness ratio (Br / Bs) is 0.91, and FIG.
In the sample shown in (1), the squareness ratio was 0.72. From the above, it has been clarified that the Fe-based soft magnetic alloy according to the present invention can adjust the squareness ratio to a high value by annealing at a high temperature in a magnetic field.

【００６２】図６は、（Ｆｅ1-XＣｏX）Ｚｒ7Ｂ3なる組
成の試料において、組成比xの数値を０〜０.０５の範囲
で磁歪を調整した種々の試料における角形比の変化を測
定した結果を示す。応力の付加はエポキシ樹脂含浸によ
り行い、加えた応力値は、−１４０ＭＰａであった。図
６に示す結果から、磁歪を制御することにより角形比も
低い範囲で制御できることが明らかである。よって０.
３以下の低角形比を得ることが容易にできることが明ら
かである。FIG. 6 shows the squareness ratio of various samples in which the magnetostriction was adjusted so that the numerical value of the composition ratio x was in the range of 0 to 0.05 in the sample having the composition of (Fe 1-x Co x ) Zr 7 B 3 . The results of measuring the change are shown. The stress was applied by epoxy resin impregnation, and the applied stress value was -140 MPa. From the results shown in FIG. 6, it is clear that the squareness ratio can be controlled in a low range by controlling the magnetostriction. Therefore 0.
It is clear that a low squareness ratio of 3 or less can be easily obtained.

【００６３】図７は、（Ｆｅ1-XＣｏX）Ｚｒ7Ｂ3なる組
成の試料において、アニール温度別の試料におけるＣｏ
添加量と磁歪の関係を示すものである。図７に示す結果
から明らかなように、本発明に係る組成の試料は、Ｃｏ
含有量を調整することで磁歪の値を容易に調整できるこ
とが明らかである。以上のことから、本発明に係る組成
の試料においては、Ｃｏ含有量を調整することで磁歪を
調整でき、それにつれて角形比も調整できることが明ら
かである。FIG. 7 shows a sample having a composition of (Fe 1 -X Co X ) Zr 7 B 3 , and a sample having a composition of different annealing temperatures.
It shows the relationship between the amount of addition and magnetostriction. As is evident from the results shown in FIG.
It is clear that the value of magnetostriction can be easily adjusted by adjusting the content. From the above, it is clear that in the sample having the composition according to the present invention, the magnetostriction can be adjusted by adjusting the Co content, and the squareness ratio can be adjusted accordingly.

【００６４】図８はＦｅ78Ｓｉ9Ｂ13なる比較組成の試
料と（Ｆｅ0.985Ｃｏ0.015）90Ｚｒ7Ｂ3なる本発明組成
の試料におけるコアロスの周波数依存性を示すものであ
る。また、各試料の飽和磁束密度も図中に示した。本発
明に係る試料は、全ての周波数領域においてＦｅ-Ｓｉ-
Ｂ系非晶質合金試料よりも低いコアロスを示す。更に、
飽和磁束密度が１.５Ｔを超える試料において、Ｆｅ-Ｓ
ｉ-Ｂ系の非晶質合金試料では磁歪が１０-5オーダーで
あるため、モールド後のコアロスが著しく増大している
ことがわかる。これに対し、本発明に係る組成の試料
は、樹脂モールドによる応力付加が大きい場合（σ＝ー
１４０ＭＰａ）と、小さい場合（σ＝ー９.６ＭＰａ）
と、樹脂モールド前の場合との差がほとんどない。従っ
て本発明に係る組成の試料であれば、樹脂モールドして
応力が作用してもコアロスがほとんど変化しないので、
角形比を含めた磁気特性の劣化が生じにくい特徴があ
る。FIG. 8 shows the frequency dependence of the core loss in the sample of the comparative composition of Fe 78 Si 9 B 13 and the sample of the composition of the present invention of (Fe 0.985 Co 0.015 ) 90 Zr 7 B 3 . The saturation magnetic flux density of each sample is also shown in the figure. The sample according to the present invention has Fe-Si-
The core loss is lower than that of the B-based amorphous alloy sample. Furthermore,
In samples with a saturation magnetic flux density exceeding 1.5 T, Fe-S
Since the magnetostriction of the iB-based amorphous alloy sample is of the order of 10 -5 , it can be seen that the core loss after molding has increased significantly. On the other hand, in the sample of the composition according to the present invention, when the stress applied by the resin mold is large (σ = −140 MPa) and when it is small (σ = −9.6 MPa).
And there is almost no difference from the case before resin molding. Therefore, if the sample of the composition according to the present invention, since the core loss hardly changes even if stress is applied by resin molding,
There is a feature that the magnetic characteristics including the squareness ratio hardly deteriorate.

【００６５】[0065]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、特別な組
成のＦｅ基軟磁性合金であり、組織の５０％以上が平均
結晶粒径３０ｎｍ以下の結晶粒からなるので、１.５Ｔ
以上の高い飽和磁束密度を示し、コアロスが少ないとと
もに、磁歪の絶対値が小さく、しかも、角形比において
も０.８以上、もしくは、０.３以下を容易に得ることが
できる特徴がある。特に、優れた軟磁気特性を示すこと
で知られるＦｅ-Ｓｉ-Ｂ系の非晶質合金と比較した場合
であっても、本発明に係る合金は、同等以上の優れた飽
和磁束密度を有する上に、低いコアロスを示し、しか
も、樹脂モールドしても角形比を含めた軟磁気特性の劣
化を生じにくい特等がある。また、本発明に係る組成の
ものにおいて、Ｆｅの一部をＣｏで置換することで磁歪
を調整することが容易にでき、磁歪を調整することで角
形比を容易に調整できる。よって、０.８以上の角形比
のもの、あるいは０.３以下の角形比のものを得ること
ができる。一方、本発明に係る組成のＦｅ基軟磁性合金
を合金溶湯から急冷法で得た後、磁場中でアニール処理
することで、角形比を調整することができる。この方法
により、高角形比０.８以上のＦｅ基軟磁性合金あるい
は低角形比０.３以下のＦｅ基軟磁性合金を容易に製造
することができる。従って、０.３以下の低角形比が要
求される直流チョークコイル用あるいはシングルエンド
回路のトランスコア用のＦｅ基軟磁性合金を得ることが
できるとともに、０.８以上の高角形比が要求される可
飽和コア用のＦｅ基軟磁性合金を得ることができる。As described above, the present invention is a Fe-based soft magnetic alloy having a special composition, and more than 50% of the structure is composed of crystal grains having an average crystal grain size of 30 nm or less.
It exhibits the above-described high saturation magnetic flux density, has a small core loss, has a small absolute value of magnetostriction, and has a characteristic that the squareness ratio can easily be 0.8 or more or 0.3 or less. In particular, even when compared with an Fe-Si-B-based amorphous alloy known for exhibiting excellent soft magnetic properties, the alloy according to the present invention has an equivalent or better saturation magnetic flux density. Above, there is such a feature that it shows a low core loss and hardly causes deterioration of soft magnetic characteristics including a squareness ratio even when resin molding is performed. In the composition according to the present invention, the magnetostriction can be easily adjusted by substituting a part of Fe with Co, and the squareness ratio can be easily adjusted by adjusting the magnetostriction. Therefore, it is possible to obtain one having a squareness ratio of 0.8 or more, or one having a squareness ratio of 0.3 or less. On the other hand, the squareness ratio can be adjusted by obtaining the Fe-based soft magnetic alloy having the composition according to the present invention from the molten alloy by a quenching method and then annealing in a magnetic field. By this method, an Fe-based soft magnetic alloy having a high squareness ratio of 0.8 or more or an Fe-based soft magnetic alloy having a low squareness ratio of 0.3 or less can be easily produced. Accordingly, it is possible to obtain an Fe-based soft magnetic alloy for a DC choke coil requiring a low squareness ratio of 0.3 or less or for a transformer core of a single-ended circuit, and a high squareness ratio of 0.8 or more is required. Thus, an Fe-based soft magnetic alloy for a saturable core can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に係るＦｅ基軟磁性合金を用いて構成さ
れた積層型磁気コアの第１の例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a first example of a laminated magnetic core formed using an Fe-based soft magnetic alloy according to the present invention.

【図２】本発明に係るＦｅ基軟磁性合金を用いて構成さ
れた積層型磁気コアの第２の例を示す分解斜視図であ
る。FIG. 2 is an exploded perspective view showing a second example of a laminated magnetic core formed using the Fe-based soft magnetic alloy according to the present invention.

【図３】前記第２の例の積層型磁気コアの斜視図であ
る。FIG. 3 is a perspective view of the laminated magnetic core of the second example.

【図４】（Ｆｅ0.985Ｃｏ0.015）90Ｚｒ7Ｂ3なる組成を
有し、６００℃で磁場中においてアニール処理した試料
のヒステリシスループを示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a hysteresis loop of a sample having a composition of (Fe 0.985 Co 0.015 ) 90 Zr 7 B 3 and annealed at 600 ° C. in a magnetic field.

【図５】（Ｆｅ0.985Ｃｏ0.015）90Ｚｒ7Ｂ3なる組成を
有し、６００℃で無磁場中においてアニール処理した試
料のヒステリシスループを示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a hysteresis loop of a sample having a composition of (Fe 0.985 Co 0.015 ) 90 Zr 7 B 3 and annealed at 600 ° C. in a no-magnetic field.

【図６】（Ｆｅ1-XＣｏX）Ｚｒ7Ｂ3なる組成の試料の樹
脂モールド前と樹脂モールド後において磁歪と角形比の
関係を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a relationship between magnetostriction and squareness ratio before and after resin molding of a sample having a composition of (Fe 1-x Co x ) Zr 7 B 3 .

【図７】（Ｆｅ1-XＣｏX）Ｚｒ7Ｂ3なる組成の試料にお
いてＣｏ含有量と磁歪の関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the Co content and magnetostriction in a sample having a composition of (Fe 1-x Co x ) Zr 7 B 3 .

【図８】本発明に係る組成のＦｅ-Ｃｏ-Ｚｒ-Ｂ系の試
料のコアロスと比較組成のＦｅ-Ｓｉ-Ｂ系の試料のコア
ロスの周波数依存性を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing the frequency dependence of the core loss of an Fe—Co—Zr—B sample having a composition according to the present invention and the core loss of an Fe—Si—B sample having a comparative composition.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ リング体 Ａ 積層型磁気コア Ｃ 積層型磁気コア 1 ring body A laminated magnetic core C laminated magnetic core

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 清策 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アル プス電気株式会社内 (72)発明者 牧野 彰宏 東京都大田区雪谷大塚町１番７号 アル プス電気株式会社内 (72)発明者 増本 健 宮城県仙台市青葉区上杉３丁目８番22号 (72)発明者 井上 明久 宮城県仙台市青葉区川内無番地 川内住 宅内11−806 (56)参考文献 特開 平２−77105（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−294847（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01F 1/12 - 1/375 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Kiyosaku Suzuki 1-7 Yukitani Otsukacho, Ota-ku, Tokyo Inside Alps Electric Co., Ltd. (72) Inventor Akihiro Makino 1-7 Yukitani Otsuka-cho, Ota-ku, Tokyo Inside Alps Electric Co., Ltd. (72) Inventor Takeshi Masumoto 3-8-22 Uesugi, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi (72) Inventor Akihisa Inoue No-ban Kawauchi, Aoba-ku, Sendai, Miyagi 11-806 (56) References JP-A-2-77105 (JP, A) JP-A-1-294847 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01F 1/12-1/375

Claims (13)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３以
下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０-6より
小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なく ともＴ
ｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群
から選ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、
組織の少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以
下の体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性
合金であって、 該Ｆｅ基軟磁性合金が次式で示される組成を有すること
を特徴とするＦｅ基軟磁性合金。 Ｆｅ b Ｂ x Ｍ y ただしＭは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含
み、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y＝
４〜９原子％である。 1. A squareness ratio of 0.8 or more or 0.3 or less, an absolute value of magnetostriction | λs | smaller than 1.0 × 10 −6 , Fe as a main component, and at least T
i, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W, containing one or more elements M and B selected from the group consisting of:
Fe-based soft magnetism in which at least 50% or more of the structure is composed of fine crystal grains having a body-centered cubic structure having an average crystal grain size of 30 nm or less .
An alloy, wherein the Fe-based soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula:
An Fe-based soft magnetic alloy characterized by the following. Fe b B x M y where M is, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta, M
one or more elements selected from the group consisting of o and W
And containing any of Zr, Hf, and Nb
B = 75-93 at%, x = 0.5-18 at%, y =
4 to 9 atomic%. 【請求項２】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３以
下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より
小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から
選ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織
の少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の
体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性合金
であって、 該Ｆｅ基軟磁性合金が次式で示される組成を有すること
を特徴とするＦｅ基軟磁性合金。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a ） b Ｂ x Ｍ y ただしＺは、Ｎｉ，Ｃｏのうち１種または２種、Ｍは、
Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる
群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、か
つ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含み、a≦０.
２、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y＝
４〜９原子％である。 2. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3 or less.
Is lower, the absolute value of the magnetostriction | [lambda] s | than the 1.0 × 10 -6
It is small and has Fe as a main component and at least Ti,
From the group consisting of Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more selected elements M and B
Has an average crystal grain size of 30 nm or less.
Fe-based soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with body-centered cubic structure
A is, have a composition in which the Fe-based soft magnetic alloy represented by the following formula
An Fe-based soft magnetic alloy characterized by the following. (Fe 1-a Z a) b B x M y however Z is Ni, 1 kind or two kinds of Co, M is
Consists of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
One or more elements selected from the group
One of Zr, Hf, and Nb, and a ≦ 0.
2, b = 75 to 93 atomic%, x = 0.5 to 18 atomic%, y =
4 to 9 atomic%. 【請求項３】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３以
下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より
小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なく ともＴｉ，
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から
選ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織
の少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の
体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性合金
であって、 該Ｆｅ基軟磁性合金が次式で示される組成を有すること
を特徴とするＦｅ基軟磁性合金。 Ｆｅ b Ｂ x Ｍ y Ｘ Z ただしＭは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含
み、ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒのうち１種または２種
以上であり、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原
子％、y＝４〜９原子％、Z≦５原子％である。 3. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3 or less.
Is lower, the absolute value of the magnetostriction | [lambda] s | than the 1.0 × 10 -6
With small, mainly composed of Fe, at least Ti,
From the group consisting of Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more selected elements M and B
Has an average crystal grain size of 30 nm or less.
Fe-based soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with body-centered cubic structure
A is, have a composition in which the Fe-based soft magnetic alloy represented by the following formula
An Fe-based soft magnetic alloy characterized by the following. Fe b B x M y X Z where M is, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta, M
one or more elements selected from the group consisting of o and W
And containing any of Zr, Hf, and Nb
And X is one or two of Cr, Ru, Rh, and Ir
B = 75-93 atomic%, x = 0.5-18
%, Y = 4 to 9 atomic%, and Z ≦ 5 atomic%. 【請求項４】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３以
下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より
小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から
選ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織
の少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の
体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性合金
であって、 該Ｆｅ基軟磁性合金が次式で示される組成を有すること
を特徴とするＦｅ基軟磁性合金。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a ） b Ｂ x Ｍ y Ｘ Z ただし、ＺはＮｉ，Ｃｏのうち１種または２種、ＭはＴ
ｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群
から選ばれた１種または２種以上の元素であり、かつ、
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのうちいずれかを含み、ＸはＣｒ，Ｒ
ｕ，Ｒｈ，Ｉｒのうち１種または２種以上の元素であ
り、a≦０.２、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８
原子％、y＝４〜９原子％、Z≦５原子％である。 4. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3 or less.
Is lower, the absolute value of the magnetostriction | [lambda] s | than the 1.0 × 10 -6
It is small and has Fe as a main component and at least Ti,
From the group consisting of Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more selected elements M and B
Has an average crystal grain size of 30 nm or less.
Fe-based soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with body-centered cubic structure
A is, have a composition in which the Fe-based soft magnetic alloy represented by the following formula
An Fe-based soft magnetic alloy characterized by the following. (Fe 1-a Z a) b B x M y X Z However, Z is Ni, 1 kind or two kinds of Co, M is T
a group consisting of i, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
One or more elements selected from the group consisting of
Z includes any one of Zr, Hf, and Nb, and X is Cr, R
one or more of u, Rh, and Ir
A ≦ 0.2, b = 75-93 atomic%, x = 0.5-18
Atomic%, y = 4 to 9 atomic%, and Z ≦ 5 atomic%. 【請求項５】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３以
下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より
小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から
選ばれた１種 または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織
の少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の
体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性合金
であって、該Ｆｅ基軟磁性合金が次式で示される組成を
有することを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。 Ｆｅ b Ｂ x Ｍ y Ｘ' t ただしＭは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、
Ｘ’はＳｉ，Ａｌ，Ｇｅ，Ｇａのうち１種または２種以
上であり、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子
％、y＝４〜９原子％、t≦４原子％である。 5. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3 or less.
Is lower, the absolute value of the magnetostriction | [lambda] s | than the 1.0 × 10 -6
It is small and has Fe as a main component and at least Ti,
From the group consisting of Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more selected elements M and B
Has an average crystal grain size of 30 nm or less.
Fe-based soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with body-centered cubic structure
Wherein the Fe-based soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula:
An Fe-based soft magnetic alloy characterized by having: Fe b B x M y X ' t where M is, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta, M
one or more elements selected from the group consisting of o and W
Element, and contains any of Zr, Hf, and Nb;
X ′ is one or more of Si, Al, Ge, and Ga
Above, b = 75-93 atom%, x = 0.5-18 atom
%, Y = 4 to 9 atomic%, and t ≦ 4 atomic%. 【請求項６】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３以
下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より
小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から
選ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織
の少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の
体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性合金
であって、 該Ｆｅ基軟磁性合金が次式で示される組成を有すること
を特徴とするＦｅ基軟磁性合金。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a ） b Ｂ x Ｍ y Ｘ' t ただしＺは、Ｎｉ，Ｃｏのうち１種または２種、Ｍは、
Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる
群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、か
つ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、Ｘ’はＳｉ，
Ａｌ，Ｇｅ，Ｇａのうち１種または２種以上であり、a
≦０.２、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子
％、y＝４〜９原子％、t≦４原子％である。 6. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3 or less.
Is lower, the absolute value of the magnetostriction | [lambda] s | than the 1.0 × 10 -6
It is small and has Fe as a main component and at least Ti,
From the group consisting of Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more selected elements M and B
Has an average crystal grain size of 30 nm or less.
Fe-based soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with body-centered cubic structure
A is, have a composition in which the Fe-based soft magnetic alloy represented by the following formula
An Fe-based soft magnetic alloy characterized by the following. (Fe 1-a Z a) b B x M y X 't however Z is Ni, 1 kind or two kinds of Co, M is
Consists of Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
One or more elements selected from the group
X 'includes Si, Hf, or Nb.
One or more of Al, Ge, and Ga;
≦ 0.2, b = 75-93 atom%, x = 0.5-18 atom
%, Y = 4 to 9 atomic%, and t ≦ 4 atomic%. 【請求項７】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３以
下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より
小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から
選ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織
の少なくとも５０％以上が平均結晶粒 径３０ｎｍ以下の
体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性合金
であって、該Ｆｅ基軟磁性合金が次式で示される組成を
有することを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。 Ｆｅ b Ｂ x Ｍ y Ｘ z Ｘ' t ただしＭは、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍ
ｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以上の元
素であり、かつ、Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、
ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｉｒのうち１種または２種以上、Ｘ’
はＳｉ，Ａｌ，Ｇｅ，Ｇａのうち１種または２種以上で
あり、b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y
＝４〜９原子％、z≦５原子％、t≦４原子％である。 7. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3 or less.
Is lower, the absolute value of the magnetostriction | [lambda] s | than the 1.0 × 10 -6
It is small and has Fe as a main component and at least Ti,
From the group consisting of Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more selected elements M and B
Has an average crystal grain size of 30 nm or less.
Fe-based soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with body-centered cubic structure
Wherein the Fe-based soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula:
An Fe-based soft magnetic alloy characterized by having: Fe b B x M y X z X 't M ; however, Ti, Zr, Hf, V , Nb, Ta, M
one or more elements selected from the group consisting of o and W
Element, and contains any of Zr, Hf, and Nb;
X is one or more of Cr, Ru and Ir, and X ′
Is one or more of Si, Al, Ge, and Ga
Yes, b = 75-93 atomic%, x = 0.5-18 atomic%, y
= 4-9 atomic%, z≤5 atomic%, and t≤4 atomic%. 【請求項８】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３以
下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より
小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から
選ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織
の少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以下の
体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性合金
であって、該Ｆｅ基軟磁性合金が次式で示される組成を
有することを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a ） b Ｂ x Ｍ y Ｘ z Ｘ' t ただしＺは、Ｎｉ，Ｃｏのうち１種または２種、ＭはＴ
ｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群
から選ばれた１種または２種以上の元素であり、かつ、
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｎｂのいずれかを含み、ＸはＣｒ，Ｒｕ，
Ｉｒのうち１種または２種以上、Ｘ’はＳｉ，Ａｌ，Ｇ
ｅ，Ｇａのうち１種または２種以上であり、a≦０.２、
b＝７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８原子％、y＝４〜
９原子％、z≦５原子％、t≦４原子％である。 8. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3 or less.
Is lower, the absolute value of the magnetostriction | [lambda] s | than the 1.0 × 10 -6
It is small and has Fe as a main component and at least Ti,
From the group consisting of Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more selected elements M and B
Has an average crystal grain size of 30 nm or less.
Fe-based soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with body-centered cubic structure
Wherein the Fe-based soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula:
An Fe-based soft magnetic alloy characterized by having: (Fe 1-a Z a) b B x M y X z X 't however Z may, Ni, 1 kind or two kinds of Co, M is T
a group consisting of i, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
One or more elements selected from the group consisting of
Z includes any of Zr, Hf, and Nb, and X is Cr, Ru,
One or more of Ir, X 'is Si, Al, G
one or more of e and Ga, a ≦ 0.2;
b = 75 to 93 atomic%, x = 0.5 to 18 atomic%, y = 4 to
9 atomic%, z ≦ 5 atomic%, and t ≦ 4 atomic%. 【請求項９】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３以
下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 より
小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なくともＴｉ，
Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から
選ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、組織
の少なくとも５０％以上が平均結晶粒 径３０ｎｍ以下の
体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性合金
であって、該Ｆｅ基軟磁性合金が、次式で示される組成
からなることを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。（Ｆｅ
1-a Ｚ a ） b Ｂ x Ｍ y Ｔ z Ｘ u 但し、ＺはＣｏ，Ｎ
ｉのいずれか、または両方であり、ＭはＴｉ，Ｚｒ，Ｈ
ｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれた
１種または２種以上の元素であり、かつ、ＺｒとＨｆの
いずれか、または、両方を含み、ＴはＣｕ，Ａｇ，Ａ
ｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群から選ばれた１種また
は２種以上の元素であり、ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉｒ
からなる群から選ばれた１種または２種以上の元素であ
り、a≦０.１、b≦７５〜９３原子％、x＝０.５〜１８
原子％、y＝４〜１０原子％、z≦４.５原子％、u≦５原
子％である。 9. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3 or less.
Is lower, the absolute value of the magnetostriction | [lambda] s | than the 1.0 × 10 -6
It is small and has Fe as a main component and at least Ti,
From the group consisting of Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Containing one or more selected elements M and B
Has an average crystal grain size of 30 nm or less.
Fe-based soft magnetic alloy consisting of fine crystal grains with body-centered cubic structure
Wherein the Fe-based soft magnetic alloy has a composition represented by the following formula:
An Fe-based soft magnetic alloy comprising: (Fe
1-a Z a) b B x M y T z X u where, Z is Co, N
i is either or both, and M is Ti, Zr, H
selected from the group consisting of f, V, Nb, Ta, Mo, W
One or more elements, and Zr and Hf
Either or both, T is Cu, Ag, A
one selected from the group consisting of u, Pd, Pt, Bi
Is two or more elements, and X is Cr, Ru, Rh, Ir
One or more elements selected from the group consisting of
A ≦ 0.1, b ≦ 75-93 at%, x = 0.5-18
Atomic%, y = 4 to 10 atomic%, z ≦ 4.5 atomic%, u ≦ 5
Child%. 【請求項１０】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３
以下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 よ
り小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なく ともＴ
ｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群
から選ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、
組織の少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以
下の体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性
合金であって、該Ｆｅ基軟磁性合金が、次式で示される
組成からなることを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。Ｆｅ
b Ｂ x Ｍ’ y Ｔ z 但し、Ｍ’は、Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔ
ａ，Ｍｏ，Ｗからなる群から選ばれた１種または２種以
上の元素であり、かつ、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａのいずれかを
含み、Ｔは、Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉから
なる群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、
b≦７５〜９３原子％、x＝６.５〜１８原子％、y＝４〜
１０原子％、z≦４.５原子％である。 10. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3.
And the absolute value of the magnetostriction | λs | is 1.0 × 10 −6 .
And Fe as the main component, and at least T
a group consisting of i, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Including one or more elements M and B selected from
At least 50% or more of the structure has an average grain size of 30 nm or less
Fe-based soft magnetism composed of fine grains with lower body-centered cubic structure
Alloy, wherein the Fe-based soft magnetic alloy is represented by the following formula:
An Fe-based soft magnetic alloy having a composition. Fe
b B x M ' y T z where M' is Ti, V, Nb, T
one or more selected from the group consisting of a, Mo, W
Element, and any of Ti, Nb, and Ta
Including, T is from Cu, Ag, Au, Pd, Pt, Bi
One or more elements selected from the group consisting of:
b ≦ 75 to 93 atomic%, x = 6.5 to 18 atomic%, y = 4 to
10 atomic% and z ≦ 4.5 atomic%. 【請求項１１】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３
以下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 よ
り小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なく ともＴ
ｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群
から選ばれた １種または２種以上の元素ＭとＢを含み、
組織の少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以
下の体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性
合金であって、該Ｆｅ基軟磁性合金が、次式で示される
組成からなることを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。 Ｆｅ b Ｂ x Ｍ’ y Ｔ z Ｘ u 但し、Ｍ’は、Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからな
る群から選ばれた１種または２種以上の元素であり、か
つ、Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａのいずれかを含み、Ｔは、Ｃｕ，
Ａｇ，Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群から選ばれた
１種または２種以上の元素であり、ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｒ
ｈ，Ｉｒからなる群から選ばれた１種または２種以上の
元素であり、b≦７５〜９３原子％、x＝６.５〜１８原
子％、y＝４〜１０原子％、z≦４.５原子％、u≦５原子
％である。 11. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3.
And the absolute value of the magnetostriction | λs | is 1.0 × 10 −6 .
And Fe as the main component, and at least T
a group consisting of i, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Including one or more elements M and B selected from
At least 50% or more of the structure has an average grain size of 30 nm or less
Fe-based soft magnetism composed of fine grains with lower body-centered cubic structure
Alloy, wherein the Fe-based soft magnetic alloy is represented by the following formula:
An Fe-based soft magnetic alloy having a composition. Fe b B x M 'y T z X u where, M' is, Ti, V, Nb, Ta , Mo, W Tona
One or more elements selected from the group consisting of
One of Ti, Nb, and Ta, and T is Cu,
Selected from the group consisting of Ag, Au, Pd, Pt, Bi
X is Cr, Ru, R
one or more selected from the group consisting of h and Ir
Element, b ≦ 75-93 atomic%, x = 6.5-18
%, Y = 4 to 10 atom%, z ≦ 4.5 atom%, u ≦ 5 atom
%. 【請求項１２】 角形比が０.８以上、もしくは、０.３
以下であり、磁歪の絶対値｜λｓ｜が１.０×１０ -6 よ
り小さいとともに、Ｆｅを主成分とし、少なく ともＴ
ｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群
から選ばれた１種または２種以上の元素ＭとＢを含み、
組織の少なくとも５０％以上が平均結晶粒径３０ｎｍ以
下の体心立方構造の微細な結晶粒からなるＦｅ基軟磁性
合金であって、該Ｆｅ基軟磁性合金が、次式で示される
組成からなることを特徴とするＦｅ基軟磁性合金。 （Ｆｅ 1-a Ｚ a ） b Ｂ x Ｍ’ y Ｔ z Ｘ u 但し、ＺはＣｏ，Ｎｉのいずれか、または、両方であ
り、Ｍ’はＴｉ，Ｖ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｍｏ，Ｗからなる群
から選ばれた１種または２種以上の元素であり、かつ、
Ｔｉ，Ｎｂ，Ｔａのいずれかを含み、ＴはＣｕ，Ａｇ，
Ａｕ，Ｐｄ，Ｐｔ，Ｂｉからなる群から選ばれた１種ま
たは２種以上の元素であり、ＸはＣｒ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｉ
ｒからなる群から選ばれた１種または２種以上の元素で
あり、a≦０.１、b≦７５〜９３原子％、x＝６.５〜１
８原子％、y＝４〜１０原子％、z≦４.５原子％、u≦５
原子％である。 12. A squareness ratio of 0.8 or more, or 0.3.
And the absolute value of the magnetostriction | λs | is 1.0 × 10 −6 .
And Fe as the main component, and at least T
a group consisting of i, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Mo, W
Including one or more elements M and B selected from
At least 50% or more of the structure has an average grain size of 30 nm or less
Fe-based soft magnetism composed of fine grains with lower body-centered cubic structure
Alloy, wherein the Fe-based soft magnetic alloy is represented by the following formula:
An Fe-based soft magnetic alloy having a composition. (Fe 1-a Z a) b B x M 'y T z X u where, Z is Co, either Ni, or both der
M ′ is a group consisting of Ti, V, Nb, Ta, Mo, W
One or more elements selected from the group consisting of
Containing any of Ti, Nb, and Ta, where T is Cu, Ag,
One kind selected from the group consisting of Au, Pd, Pt, and Bi
Or two or more elements, and X is Cr, Ru, Rh, I
one or more elements selected from the group consisting of
Yes, a ≦ 0.1, b ≦ 75-93 atomic%, x = 6.5-1
8 atomic%, y = 4 to 10 atomic%, z ≦ 4.5 atomic%, u ≦ 5
Atomic%. 【請求項１３】 前記Ｆｅ基軟磁性合金において、z＝
０.２〜４.５原子％ であることを特徴とする請求項９、
１０、１１または１２のいずれかに記載のＦｅ基軟磁性
合金。 13. The ferrous soft magnetic alloy, wherein z =
10. The composition according to claim 9, wherein the content is 0.2 to 4.5 atomic% .
13. The Fe-based soft magnetism according to any one of 10, 11, and 12,
alloy.
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