JP3240752B2 - Solid-state imaging device - Google Patents
Solid-state imaging deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は，固体撮像素子に関する
もので、特に、その受光部上にそれぞれマイクロ集光レ
ンズを形成した固体撮像素子に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solid-state image pickup device, and more particularly to a solid-state image pickup device in which a micro condenser lens is formed on a light receiving portion.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、固体撮像素子、例えばＣＣＤ固
体撮像素子は、そのＣＣＤにおける信号電荷及び雑音と
像面照度との関係をみた場合、低照度側において、信号
電荷のゆらぎによる雑音（ショット雑音）及び暗時雑音
の影響が大きくなるということが知られている。2. Description of the Related Art In general, a solid-state image pickup device, for example, a CCD solid-state image pickup device, has a noise (shot noise) on the low illuminance side due to fluctuation of signal charge when the relationship between signal charge and noise in the CCD and illuminance on an image surface is viewed. ) And dark noise are known to increase.
【０００３】上記ショット雑音を減らすには、受光部の
開口率を大きくすればよいが、最近の微細化傾向に伴
い、上記開口率の増大化には限界がある。そこで現在、
受光部上にマイクロ集光レンズを形成した構造の場合、
光の利用率が上がり、受光部における感度の向上を図る
ことができ、上記ショット雑音の低減化に有効となる。The shot noise can be reduced by increasing the aperture ratio of the light receiving section. However, with the recent trend toward miniaturization, there is a limit to the increase in the aperture ratio. So now,
In the case of a structure where a micro condenser lens is formed on the light receiving section,
The light utilization rate is increased, and the sensitivity of the light receiving unit can be improved, which is effective in reducing the shot noise.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、対物レ
ンズ（ビデオレンズ）のＦ値を小さくする（絞り解放に
近づける）際に、入射光線の、上記対物レンズ中心を通
る法線からの角度が大きくなるので、ＣＣＤ固体撮像素
子の受光部に効率よく入射光が集光されず、感度が低下
するという問題がある。これは、マイクロ集光レンズが
平行光線の入射に対して最適な集光となるように設計さ
れているためである。However, when the F-number of the objective lens (video lens) is reduced (closer to the opening of the diaphragm), the angle of the incident light from the normal passing through the center of the objective lens increases. Therefore, there is a problem that the incident light is not efficiently condensed on the light receiving portion of the CCD solid-state imaging device, and the sensitivity is reduced. This is because the micro condenser lens is designed so as to be optimally focused with respect to the incidence of parallel rays.
【０００５】また、上記対物レンズ中心を通る法線から
の角度が大きい入射光がＶ（垂直）転送電極下に進入す
ることにより、画面に白い縦筋が現れるスミア現象が発
生するという問題もある。[0005] Further, there is also a problem that a smear phenomenon in which a white vertical streak appears on a screen occurs when incident light having a large angle from a normal passing through the center of the objective lens enters under a V (vertical) transfer electrode. .
【０００６】さらに、上記対物レンズの射出瞳距離が短
いと、やはり入射光の角度が大きくなり、そのために周
辺部のセンサに集光されず、シェーディングを生じると
いった問題もある。Furthermore, if the exit pupil distance of the objective lens is short, the angle of the incident light also becomes large, so that there is a problem that the light is not converged on the peripheral sensors and shading occurs.
【０００７】本発明は、上記課題に鑑みて提案されたも
のであり、その目的とするところは、マイクロ集光レン
ズの対物レンズによるＦ値依存、シェーディング等を低
減することができ、しかも斜めの入射光で問題となって
いたスミアの発生も低減することができる固体撮像素子
を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed in view of the above-mentioned problems, and has as its object to reduce the dependence of the micro-condensing lens on the F-number due to the objective lens, shading, etc. An object of the present invention is to provide a solid-state imaging device capable of reducing the occurrence of smear which has been a problem due to incident light.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、多数の受光部
２が配列されて構成された撮像領域の各受光部２上に、
それぞれマイクロ集光レンズ４が形成された固体撮像素
子において、マイクロ集光レンズ４上に、中間層５を介
して上部層６を形成し、この上部層６中、少なくとも周
辺部の上面に、入射光Ｌを鉛直方向に屈折させる屈折部
材を一体に形成して構成する。According to the present invention, a plurality of light receiving sections 2 are arranged on each of the light receiving sections 2 in an imaging area.
In the solid-state imaging device in which the micro condenser lens 4 is formed, an upper layer 6 is formed on the micro condenser lens 4 with an intermediate layer 5 interposed therebetween. A refraction member for refracting the light L in the vertical direction is formed integrally.
【０００９】この場合、上記屈折部材としては、各マイ
クロ集光レンズ４に対応して形成されたマイクロ発散レ
ンズ７とすることができ、あるいは各マイクロ集光レン
ズ４に対応して形成され、かつ撮像領域の中央部に向か
って下方に傾斜するテーパ面１１とすることができる。In this case, the refracting member can be a micro-diverging lens 7 formed corresponding to each micro-condensing lens 4, or formed to correspond to each micro-condensing lens 4, and The tapered surface 11 may be inclined downward toward the center of the imaging region.
【００１０】また、マイクロ集光レンズ４、上部層６及
び中間層５の屈折率をそれぞれｎ1、ｎ2 、ｎ3 とした
とき、ｎ1 ＞ｎ3 、ｎ2 ＞ｎ3 及びｎ3 ≧１の関係にす
ることが好ましい。When the refractive indices of the micro condenser lens 4, the upper layer 6, and the intermediate layer 5 are n 1 , n 2 , and n 3 respectively, n 1 > n 3 , n 2 > n 3 and n 3 ≧ It is preferable to make the relationship of 1.
【００１１】[0011]
【作用】本発明に係る固体撮像素子においては、撮像領
域の周辺部において、斜め入射される光Ｌが、まず、上
部層６の屈折部材にて鉛直方向に屈折される。即ち、撮
像領域の中央部側内方に向かって屈折される。これによ
って、撮像領域の周辺部において、上部層６に対して斜
め入射された光Ｌは、マイクロ集光レンズ４側に導かれ
ることになる。その結果、撮像領域の中央部及び周辺部
全体にかけて、受光部２に効率よく入射光Ｌが集光され
るようになり、撮像領域全体に入射する光Ｌを有効利用
することができ、感度の向上を図ることが可能となる。In the solid-state imaging device according to the present invention, obliquely incident light L is first refracted in the vertical direction by the refraction member of the upper layer 6 in the periphery of the imaging region. That is, the light is refracted inward toward the center of the imaging region. Thus, in the peripheral portion of the imaging region, the light L obliquely incident on the upper layer 6 is guided to the micro condenser lens 4 side. As a result, the incident light L is efficiently collected on the light receiving section 2 over the central portion and the entire peripheral portion of the imaging region, and the light L incident on the entire imaging region can be effectively used, and the sensitivity can be improved. Improvement can be achieved.
【００１２】特に、上記マイクロ集光レンズ４、上部層
６及び中間層５の屈折率をそれぞれｎ1 ，ｎ2 及びｎ3
としたとき、ｎ1 ＞ｎ3 ，ｎ2 ＞ｎ3 ，及びｎ3 ≧１の
関係にすることにより、上部層６と中間層５との界面に
おいて、上部層６と中間層５との屈折率の違いから、わ
ずかに撮像領域の周辺部側外方に向かって屈折されるこ
とになる。In particular, the refractive indices of the micro condenser lens 4, the upper layer 6 and the intermediate layer 5 are set to n 1 , n 2 and n 3 respectively.
When n 1 > n 3 , n 2 > n 3 , and n 3 ≧ 1, the refraction between the upper layer 6 and the intermediate layer 5 is performed at the interface between the upper layer 6 and the intermediate layer 5. Due to the difference in the rates, the light is slightly refracted toward the periphery of the imaging area.
【００１３】これによって、上部層６の屈折部材による
光屈折をわずかに修正し、上部層６に対して斜め入射さ
れた光Ｌが下層のマイクロ集光レンズ４に向かって誘導
されることと等価になり、この中間層５を透過した光Ｌ
は、マイクロ集光レンズ４によって受光部２側に効率よ
く集光されることになる。Thus, the light refraction by the refraction member of the upper layer 6 is slightly corrected, and the light L obliquely incident on the upper layer 6 is equivalent to being guided toward the lower micro condenser lens 4. And the light L transmitted through the intermediate layer 5
Is efficiently condensed on the light receiving section 2 side by the micro condenser lens 4.
【００１４】従って、この場合、撮像領域全体に入射す
る光Ｌを受光部へ有効に集光させることができ、更に感
度の向上を図ることが可能となる。Therefore, in this case, the light L incident on the entire imaging area can be effectively focused on the light receiving section, and the sensitivity can be further improved.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、本発明に係る固体撮像素子を、ビデオ
カメラ用のイメージセンサに適用したいくつかの実施例
を図１〜図１０を参照しながら説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Some embodiments in which the solid-state imaging device according to the present invention is applied to an image sensor for a video camera will be described below with reference to FIGS.
【００１６】まず、第１実施例に係るイメージセンサ
は、図１に示すように、矢印Ｙの方向が中心部となる撮
像領域の周辺部において、シリコン基板１の表面に、イ
メージエリアを構成する多数の受光部２が形成され、こ
れら受光部２を含む全面に平坦化膜３が形成され、そし
て、この平坦化膜３上において、各々の上記受光部２に
対応した位置にマイクロ集光レンズ４が形成されてい
る。First, in the image sensor according to the first embodiment, as shown in FIG. 1, an image area is formed on the surface of the silicon substrate 1 in the peripheral portion of the imaging region whose center is the direction of arrow Y. A large number of light receiving portions 2 are formed, a flattening film 3 is formed on the entire surface including the light receiving portions 2, and a micro condenser lens is provided on the flattening film 3 at a position corresponding to each of the light receiving portions 2. 4 are formed.
【００１７】更に、この第１実施例においては、各々の
集光レンズ４上に中間層５を挟んでその上部に第２のレ
ンズ層６が形成され、特に、撮像領域の周辺部（この図
においては、右側周辺部を示す）に、各マイクロ集光レ
ンズに対応して光発散特性を有する凹レンズ形状の部材
（以下、単にマイクロ凹レンズと記す）７が一体に形成
されて構成されている。なお、この図１において、８は
転送電極及び遮光膜の形成による段差を模式的に示すも
のである。Further, in the first embodiment, a second lens layer 6 is formed above each condensing lens 4 with an intermediate layer 5 interposed therebetween. , A concave lens-shaped member (hereinafter simply referred to as a micro concave lens) 7 having a light diverging characteristic corresponding to each micro condenser lens is integrally formed on the right peripheral portion. In FIG. 1, reference numeral 8 schematically shows a step due to the formation of the transfer electrode and the light shielding film.
【００１８】上記第２のレンズ層６は、図１に示すよう
に、上記撮像領域の中心部においては、上記マイクロ凹
レンズ７は形成せず、平坦な面となっている。As shown in FIG. 1, the second lens layer 6 has a flat surface without the micro concave lens 7 at the center of the imaging area.
【００１９】上記マイクロ凹レンズ７は、中間層５の屈
折率ｎ3 よりも高い屈折率ｎ2 を有する材料、例えば光
学材料であるＰＭＭＡ（メタクリル樹脂）等の樹脂を用
いて作製される。このマイクロ凹レンズ７は、いわゆる
ウェットエッチング等の等方性エッチングを用いて容易
に作製可能である。マイクロ集光レンズ４についても、
中間層５の屈折率ｎ3 よりも高い屈折率ｎ1 を有する材
料を用いている。また、中間層５は、屈折率が低いもの
であればよいので、例えば屈折率が１である空気層とし
てもよい。The micro concave lens 7 is made of a material having a refractive index n 2 higher than the refractive index n 3 of the intermediate layer 5, for example, a resin such as PMMA (methacrylic resin) which is an optical material. The micro concave lens 7 can be easily manufactured using isotropic etching such as so-called wet etching. Regarding the micro condenser lens 4,
A material having a refractive index n 1 higher than the refractive index n 3 of the intermediate layer 5 is used. Further, since the intermediate layer 5 only needs to have a low refractive index, it may be an air layer having a refractive index of 1, for example.
【００２０】すなわち、第１実施例に係るイメージセン
サの上記マイクロ集光レンズ４の屈折率ｎ1 、中間層５
の屈折率ｎ3 及びマイクロ凹レンズ７の屈折率ｎ2 の関
係を式を用いて表せば、ｎ1 ＞ｎ3 ，ｎ2 ＞ｎ3 ，及び
ｎ3 ≧１となる。中間層５の材料として、マイクロ集光
レンズ４の材料及びマイクロ凹レンズ７の材料の屈折率
の値に近い値を有する材料を用いると、入射光が受光部
２に良好に集光されないおそれがあるため、上記関係式
を満足する材料を選定することが望ましい。That is, the refractive index n 1 of the micro condenser lens 4 and the intermediate layer 5 of the image sensor according to the first embodiment.
If the relationship between the refractive index n 3 of the micro concave lens 7 and the refractive index n 2 of the micro concave lens 7 is expressed by an equation, n 1 > n 3 , n 2 > n 3 , and n 3 ≧ 1. If a material having a value close to the value of the refractive index of the material of the micro-condensing lens 4 and the material of the micro-concave lens 7 is used as the material of the intermediate layer 5, the incident light may not be condensed well on the light receiving unit 2. Therefore, it is desirable to select a material that satisfies the above relational expression.
【００２１】次に、上記撮像領域に入射する入射光の光
路について説明する。一般に、図２に示すように、光学
部品である凹レンズ２１に平行光線を入射すると、焦点
を結ばずに発散するが、この凹レンズ２１に、収束する
光線Ｌを入射すると、平行に近い光線が得られる。Next, the optical path of the incident light that enters the image pickup area will be described. In general, as shown in FIG. 2, when a parallel light beam enters a concave lens 21 as an optical component, the light beam diverges without being focused. When a converging light beam L enters the concave lens 21, a light beam nearly parallel is obtained. Can be
【００２２】上記第１実施例においては、この凹レンズ
２１の特性を利用して、撮像領域の周辺部における第２
のレンズ層の上部にマイクロ凹レンズ７を一体に形成す
る。これによって、ビデオレンズからの角度の大きい斜
め入射光は、上記マイクロ凹レンズ７で角度の小さい光
線に修正され、下層のマイクロ集光レンズ４に入射され
ることになる。In the first embodiment, the characteristic of the concave lens 21 is used to make the second
The micro concave lens 7 is integrally formed on the upper part of the lens layer. Thus, the obliquely incident light having a large angle from the video lens is corrected by the micro concave lens 7 into a light beam having a small angle, and is incident on the micro condenser lens 4 in the lower layer.
【００２３】ここで、第１実施例の上記第２のレンズ層
６及び中間層５を形成せずに、従来のイメージセンサと
同様の構成を有するイメージセンサについて、その入射
光の光路を主体にして説明すると、まず、撮像領域の中
心部においては、図３に示すように、マイクロ集光レン
ズ４にほぼ垂直に入射する光Ｌは、このマイクロ集光レ
ンズ４の表面にて屈折する。すなわち、Ｚ軸方向に沿っ
て（すなわち入射角≒０で）入射した上記光Ｌは、マイ
クロ集光レンズ４の表面において受光部２側に屈折し、
受光部２に効率よく入射することになる。Here, in the image sensor having the same configuration as the conventional image sensor without forming the second lens layer 6 and the intermediate layer 5 of the first embodiment, the optical path of the incident light is mainly used. First, at the center of the imaging region, as shown in FIG. 3, light L incident on the micro condenser lens 4 almost perpendicularly is refracted on the surface of the micro condenser lens 4. That is, the light L incident along the Z-axis direction (that is, at the incident angle ≒ 0) is refracted toward the light receiving unit 2 on the surface of the micro condenser lens 4,
The light is efficiently incident on the light receiving section 2.
【００２４】このように、入射される光の角度（入射
角）が小さいときは、マイクロ集光レンズ４は、平行光
線が受光部２に効率よく集光されるように設計されてい
るために問題はないが、上記入射角は、撮像領域の周辺
部においては比較的大きな値となるので、図４（図中、
矢印Ｙは撮像領域の中心部側を示す方向である）に示す
ように、効率よく受光部に集光させることができず、Ｚ
軸に対して斜めに入射した光Ｌは、マイクロ集光レンズ
４の表面で屈折することになるが、その屈折率が小さ
く、そのため入射光が受光部２から外れてしまう場合が
ある。As described above, when the angle of the incident light (incident angle) is small, the micro condenser lens 4 is designed so that the parallel rays are efficiently condensed on the light receiving section 2. Although there is no problem, the incident angle has a relatively large value in the periphery of the imaging region, and therefore, FIG.
The arrow Y is a direction indicating the center portion side of the imaging area), as shown in FIG.
The light L incident obliquely with respect to the axis is refracted on the surface of the micro condenser lens 4, but its refractive index is small, so that the incident light may deviate from the light receiving unit 2.
【００２５】そこで、上記第１実施例においては、図５
に示すように、マイクロ集光レンズ上に、発散特性を有
するマイクロ凹レンズ７を設けて構成する。この図５
は、上記図１に示したイメージセンサの撮像領域の周辺
部（図中、矢印Ｙは撮像領域の中心部側を示す方向であ
る）について示す図である。ここでは比較のために、第
２のレンズ層（マイクロ凹レンズ７）及び中間層がない
場合の光Ｌの光路を破線で示している。Therefore, in the first embodiment, FIG.
As shown in (1), a micro concave lens 7 having a diverging characteristic is provided on a micro condenser lens. This figure 5
FIG. 2 is a view showing a peripheral portion of an image pickup area of the image sensor shown in FIG. 1 (in the figure, an arrow Y is a direction showing a center portion side of the image pickup area). Here, for the sake of comparison, the optical path of the light L without the second lens layer (micro concave lens 7) and the intermediate layer is shown by a broken line.
【００２６】上記マイクロ凹レンズ７に入射した光Ｌ
は、まず、マイクロ凹レンズ７の特性によって屈折す
る。すなわち、Ｚ軸方向に対して斜め入射した光Ｌは、
マイクロ凹レンズ７の表面にて、Ｚ軸方向に対して撮像
領域の中心部側内方に屈折する。Light L incident on the micro concave lens 7
Is refracted by the characteristics of the micro concave lens 7 first. That is, the light L obliquely incident on the Z-axis direction is
At the surface of the micro concave lens 7, the light is refracted inward in the center of the imaging region with respect to the Z axis direction.
【００２７】さらに、マイクロ凹レンズ７を通過した光
Ｌは、このマイクロ凹レンズ７の屈折率ｎ2 よりも小さ
い屈折率ｎ3 （１≦ｎ3 ＜ｎ2 ）を有する中間層５に入
射し、この屈折率の差によって、Ｚ軸方向に対して撮像
領域の周辺部側外方にわずかに屈折する。この屈折によ
って、光Ｌはマイクロ集光レンズ４側に導かれることに
なる。Further, the light L passing through the micro concave lens 7 is incident on the intermediate layer 5 having a refractive index n 3 (1 ≦ n 3 <n 2 ) smaller than the refractive index n 2 of the micro concave lens 7. Due to the difference in the refractive index, the light is slightly refracted outward in the peripheral portion of the imaging region in the Z-axis direction. Due to this refraction, the light L is guided to the micro condenser lens 4 side.
【００２８】そして、上記中間層５を通過した光Ｌは、
マイクロ集光レンズ４の表面にて、Ｚ軸方向に対して撮
像領域の中央部側内方に屈折し、下層の平坦化膜３の表
面にて幾分屈折して、最終的にシリコン基板１上に形成
された受光部２に入射することになる。The light L that has passed through the intermediate layer 5 is
At the surface of the micro-condensing lens 4, the light is refracted inward in the center of the imaging region with respect to the Z-axis direction, and is somewhat refracted at the surface of the lower planarizing film 3, and finally the silicon substrate 1. The light is incident on the light receiving unit 2 formed above.
【００２９】上述のように、上記第１実施例によれば、
受光部２上に形成されたマイクロ集光レンズ４の上部
に、中間層５を挟んで第２のレンズ層を形成し、特に、
撮像領域の周辺部に対応する部分に発散特性を有するマ
イクロ凹レンズ７を形成したので、以下に示す効果が生
じる。As described above, according to the first embodiment,
A second lens layer is formed above the micro condenser lens 4 formed on the light receiving section 2 with the intermediate layer 5 interposed therebetween.
Since the micro concave lens 7 having the divergence characteristic is formed in a portion corresponding to the peripheral portion of the imaging region, the following effects are obtained.
【００３０】即ち、図５に示すように、撮像領域の周辺
部に斜め入射した光Ｌは、マイクロ凹レンズ７による撮
像領域の中央部側内方への屈折作用及び中間層５による
マイクロ集光レンズ４方向への屈折作用によって、マイ
クロ集光レンズ４の表面に達する際に、破線で示す入射
光Ｌと比較して、一様に矢印Ｙの方向にシフトすること
になる。つまり、上記斜め入射光Ｌは、第２のレンズ層
６におけるマイクロ凹レンズ７にて鉛直方向に屈折さ
れ、撮像領域の中央部側内方に向かうことになる。That is, as shown in FIG. 5, the light L obliquely incident on the periphery of the imaging area is refracted by the micro concave lens 7 toward the center of the imaging area and into the micro focusing lens by the intermediate layer 5. When the light reaches the surface of the micro condenser lens 4 due to the refraction in the four directions, the light is uniformly shifted in the direction of the arrow Y as compared with the incident light L indicated by the broken line. That is, the obliquely incident light L is refracted in the vertical direction by the micro concave lens 7 in the second lens layer 6 and goes inward at the center of the imaging region.
【００３１】この第２のレンズ層６を通過した光Ｌは、
次の第２のレンズ層６と中間層５との界面において、第
２のレンズ層６と中間層５との屈折率の違いから、わず
かに撮像領域の周辺部側外方に向かって屈折されること
になる。The light L that has passed through the second lens layer 6 is
At the next interface between the second lens layer 6 and the intermediate layer 5, due to the difference in the refractive index between the second lens layer 6 and the intermediate layer 5, the light is slightly refracted toward the periphery of the imaging region. Will be.
【００３２】これによって、第２のレンズ層６の上記マ
イクロ凹レンズ７による光屈折をわずかに修正し、第２
のレンズ層６に対して斜め入射された光Ｌが、下層のマ
イクロ集光レンズ４に向かって導かれることと等価にな
り、この中間層５を透過した光Ｌは、マイクロ集光レン
ズ４によって受光部２側に集光されることになる。Thus, the light refraction of the second lens layer 6 by the micro concave lens 7 is slightly corrected,
The light L obliquely incident on the lens layer 6 is equivalent to being guided toward the lower micro-condensing lens 4, and the light L transmitted through the intermediate layer 5 is The light is condensed on the light receiving unit 2 side.
【００３３】このように、上記第１実施例に係るイメー
ジセンサにおいては、特に、撮像領域の周辺部におい
て、第２のレンズ層６に一体に形成されたマイクロ凹レ
ンズ７及びその下層の中間層５によって、斜め入射光Ｌ
のマイクロ集光レンズ４による受光部２への集光が調整
され、効率よく受光部２に集光させることが可能とな
る。As described above, in the image sensor according to the first embodiment, the micro concave lens 7 formed integrally with the second lens layer 6 and the intermediate layer 5 below the micro lens 7 particularly in the peripheral portion of the imaging area. The oblique incident light L
The light condensing on the light receiving unit 2 by the micro condensing lens 4 is adjusted, and the light can be condensed on the light receiving unit 2 efficiently.
【００３４】また、この第１実施例においては、第２の
レンズ層６に対して、撮像領域の全体に一様にマイクロ
凹レンズ７を形成することはせず、撮像領域の周辺部の
み対応した領域にマイクロ凹レンズ７を形成するように
し、撮像領域の中央部に対応する領域は、平坦な面とし
たので、撮像領域の中央部において入射光Ｌの受光部２
に対する集光効率が低下するということがなく、撮像領
域の全体の集光効率を一様にすることが可能となり、更
に感度の向上を図ることができる。In the first embodiment, the micro concave lens 7 is not formed uniformly on the entire image pickup region with respect to the second lens layer 6, but only the peripheral portion of the image pickup region is supported. Since the micro concave lens 7 is formed in the area, and the area corresponding to the center of the imaging area is a flat surface, the light receiving section 2 of the incident light L is provided in the center of the imaging area.
The light collection efficiency of the entire imaging area can be made uniform without lowering the light collection efficiency with respect to light, and the sensitivity can be further improved.
【００３５】次に、上記第１実施例のいくつかの変形例
を図６〜図８を参照しながら説明する。なお、図１と対
応するものについては同符号を記す。Next, some modifications of the first embodiment will be described with reference to FIGS. Note that components corresponding to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
【００３６】まず、第１の変形例を図６に示す。この第
１の変形例は、上記第１実施例とほぼ同様の構成を有す
るが、マイクロ集光レンズ４の頂点Ｐからマイクロ凹レ
ンズ７までの距離を、撮像領域の周辺部と中心部とで各
々Ｓ，Ｔとしたとき、Ｓ＜Ｔの関係になるように中間層
６が形成されている点と、撮像領域の中央部に対応する
領域にも、周辺部に対応する領域に形成されたマイクロ
凹レンズ７と同じ形状のマイクロ凹レンズ７が形成され
ている点で異なる。この第１の変形例においても、上記
第１実施例と同様に、撮像領域の中央部及び周辺部全体
にかけて、受光部２に効率よく入射光Ｌを集光させるこ
とができ、その結果、撮像領域全体に入射する光Ｌを有
効利用することができ、感度の向上を図ることが可能と
なる。First, FIG. 6 shows a first modification. The first modification has substantially the same configuration as that of the first embodiment, except that the distance from the vertex P of the micro condenser lens 4 to the micro concave lens 7 is different between the peripheral portion and the central portion of the imaging area. Assuming that S and T, the micro layer formed at the point where the intermediate layer 6 is formed so as to satisfy the relationship of S <T, at the area corresponding to the center of the imaging area, and at the area corresponding to the periphery. The difference is that a micro concave lens 7 having the same shape as the concave lens 7 is formed. Also in the first modified example, similarly to the first embodiment, the incident light L can be efficiently condensed on the light receiving unit 2 over the central portion and the entire peripheral portion of the imaging region. The light L incident on the entire area can be effectively used, and the sensitivity can be improved.
【００３７】次に、第２の変形例を図７に示す。この第
２の変形例は、上記第１実施例とほぼ同様の構成を有す
るが、第２のレンズ層６の全面に、マイクロ凹レンズ７
が形成されている点と、撮像領域の中心部から周辺部へ
向かうにつれて、マイクロ凹レンズ７の曲率半径が小さ
くなっている点で異なる。この第２の変形例において
も、上記第１実施例と同様に、撮像領域の中央部及び周
辺部全体にかけて、受光部２に効率よく入射光Ｌを集光
させることができ、その結果、撮像領域全体に入射する
光Ｌを有効利用することができ、感度の向上を図ること
が可能となる。Next, a second modification is shown in FIG. The second modification has substantially the same configuration as that of the first embodiment, except that a micro concave lens 7 is provided on the entire surface of the second lens layer 6.
Is different from that in which the radius of curvature of the micro concave lens 7 decreases from the center to the periphery of the imaging region. Also in the second modified example, similarly to the first embodiment, the incident light L can be efficiently condensed on the light receiving unit 2 over the central portion and the entire peripheral portion of the imaging region. The light L incident on the entire area can be effectively used, and the sensitivity can be improved.
【００３８】次に、第３の変形例を図８に示す。この第
３の変形例は、第２の変形例とほぼ同様の構成を有する
が、マイクロ凹レンズ７の中心を通る線ｍとマイクロ集
光レンズ４の中心を通る線ｎとの距離ｄが、撮像領域の
中心部から周辺部へ向かう程、大きくなっている点で異
なる。なお、撮像領域の中央部においては、上記距離ｄ
はほぼ零に設定されている。この第３の変形例において
も、上記第１実施例と同様に、撮像領域の中央部及び周
辺部全体にかけて、受光部２に効率よく入射光Ｌを集光
させることができ、その結果、撮像領域全体に入射する
光Ｌを有効利用することができ、感度の向上を図ること
が可能となる。Next, a third modified example is shown in FIG. The third modification has substantially the same configuration as that of the second modification, except that the distance d between a line m passing through the center of the micro concave lens 7 and a line n passing through the center of the micro condenser lens 4 is equal to the imaging distance. The difference is that the area increases from the center to the periphery of the area. Note that, at the center of the imaging region, the distance d
Is set to almost zero. Also in the third modified example, similarly to the first embodiment, the incident light L can be efficiently condensed on the light receiving section 2 over the central portion and the entire peripheral portion of the imaging region. The light L incident on the entire area can be effectively used, and the sensitivity can be improved.
【００３９】次に、第２実施例に係るイメージセンサに
ついて図９及び図１０を参照しながら説明する。なお、
図１と対応するものについては同符号を記す。Next, an image sensor according to a second embodiment will be described with reference to FIGS. In addition,
Components corresponding to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
【００４０】この第２実施例に係るイメージセンサは、
図９に示すように、上記第１実施例とほぼ同様の構成を
有するが、第２のレンズ層６中、撮像領域の周辺部に対
応する領域に、撮像領域の中央部に向かって下方に傾斜
するテーパ面１１が形成されている点で異なる。各テー
パ面１１の傾斜角θは、周辺部側外方へ向かうにつれて
増大するように設定されている。The image sensor according to the second embodiment has
As shown in FIG. 9, the second lens layer 6 has substantially the same configuration as that of the first embodiment, except that the second lens layer 6 has a portion corresponding to a peripheral portion of the imaging region, The difference is that an inclined tapered surface 11 is formed. The inclination angle θ of each tapered surface 11 is set so as to increase as going outward toward the peripheral portion.
【００４１】次に、この第２実施例に係るイメージセン
サの撮像領域に入射する入射光Ｌの光路について図１０
を参照しながら説明する。この図１０は、撮像領域の右
側周辺部（図中、矢印Ｙは撮像領域の中心部を示す方向
である）について示す図である。ここでは比較のため
に、第２のレンズ層６（テーパ面１１）及び中間層５が
ない場合の光Ｌの光路を破線で示している。Next, the optical path of the incident light L incident on the image pickup area of the image sensor according to the second embodiment is shown in FIG.
This will be described with reference to FIG. FIG. 10 is a diagram showing a right peripheral portion of the imaging region (the arrow Y is a direction indicating the center of the imaging region in the drawing). Here, for comparison, the optical path of the light L without the second lens layer 6 (tapered surface 11) and the intermediate layer 5 is shown by a broken line.
【００４２】上記第２のレンズ層６に入射した光Ｌは、
まず、テーパ面１１によって屈折する。すなわち、Ｚ軸
方向に対して斜め入射した光Ｌは、テーパ面１１の表面
にて、Ｚ軸方向に対して撮像領域の中心部側内方に屈折
する。The light L incident on the second lens layer 6 is
First, the light is refracted by the tapered surface 11. That is, the light L obliquely incident on the Z-axis direction is refracted on the surface of the tapered surface 11 toward the center of the imaging region with respect to the Z-axis direction.
【００４３】第２のレンズ層６を通過した光Ｌは、第２
のレンズ層６の屈折率ｎ2 よりも小さい屈折率ｎ3 （１
≦ｎ3 ＜ｎ2 ）を有する中間層５に入射し、この屈折率
の差によって、Ｚ軸方向に対して撮像領域の周辺部側外
方にわずかに屈折する。この屈折によって、光Ｌはマイ
クロ集光レンズ４側に導かれることになる。The light L that has passed through the second lens layer 6 is
The refractive index n 3 (1) smaller than the refractive index n 2 of the lens layer 6 of FIG.
≦ n 3 <n 2 ), and is slightly refracted outward in the peripheral portion of the imaging region in the Z-axis direction due to the difference in the refractive index. Due to this refraction, the light L is guided to the micro condenser lens 4 side.
【００４４】そして、上記中間層５に入射した光Ｌは、
マイクロ集光レンズ４の表面にて、Ｚ軸方向に対して撮
像領域の中央部側内方に屈折し、下層の平坦化膜３の表
面にて幾分屈折して、最終的にシリコン基板１上に形成
された受光部２に入射することになる。The light L incident on the intermediate layer 5 is
At the surface of the micro-condensing lens 4, the light is refracted inward in the center of the imaging region with respect to the Z-axis direction, and is somewhat refracted at the surface of the lower planarizing film 3, and finally the silicon substrate 1. The light is incident on the light receiving unit 2 formed above.
【００４５】このように、上記第２実施例に係るイメー
ジセンサにおいては、上記第１実施例に係るイメージセ
ンサと同様に、撮像領域の周辺部において、第２のレン
ズ層６に一体に形成されたテーパ面１１及びその下層の
中間層５によって、斜め入射光Ｌのマイクロ集光レンズ
４による受光部２への集光が調整され、効率よく受光部
２に集光させることが可能となる。これにより、感度の
向上を図ることができる。As described above, in the image sensor according to the second embodiment, similarly to the image sensor according to the first embodiment, the image sensor is formed integrally with the second lens layer 6 in the peripheral portion of the imaging area. The converging of the obliquely incident light L on the light receiving unit 2 by the micro condenser lens 4 is adjusted by the tapered surface 11 and the intermediate layer 5 below the tapered surface 11, so that the light can be efficiently condensed on the light receiving unit 2. Thereby, the sensitivity can be improved.
【００４６】また、この第２実施例においては、上記撮
像領域の中心部に対応するテーパ面の傾斜角を零、つま
り平坦面にしたので、撮像領域の全体の集光効率を一様
にすることが可能となり、更に感度の向上を図ることが
できる。In the second embodiment, the inclination angle of the tapered surface corresponding to the center of the imaging region is set to zero, that is, a flat surface, so that the entire light-collecting efficiency of the imaging region is made uniform. And the sensitivity can be further improved.
【００４７】なお、この第２実施例においても、上記撮
像領域に対する全体の集光効率を一様にするために、第
１実施例の各種変形例と同様の構成とすることもでき
る。すなわち、撮像領域の中心部の中間層５の厚さを薄
くすること（第１の変形例に対応）や、撮像領域の周辺
部へ向かう程、マイクロ集光レンズ４の中心位置とテー
パ面１１の中心位置とをずらす（第３の変形例に対応）
等である。In the second embodiment as well, in order to make the overall light-collecting efficiency with respect to the image pickup area uniform, a configuration similar to the various modifications of the first embodiment can be adopted. That is, the thickness of the intermediate layer 5 at the center of the imaging region is reduced (corresponding to the first modified example), or the center position of the micro condenser lens 4 and the tapered surface 11 are increased toward the periphery of the imaging region. Deviate from the center position of the image (corresponding to the third modification)
And so on.
【００４８】上記第１実施例及び各種変形例並びに第２
実施例においては、主にイメージセンサの撮像領域の中
心部と右側周辺部の構成を主体にして説明したが、もち
ろん撮像領域の左側周辺部についても同様な構成をとる
ことができる。The first embodiment, various modifications and the second embodiment
In the embodiment, mainly the configuration of the central portion and the right peripheral portion of the imaging region of the image sensor has been mainly described. However, the same configuration can be applied to the left peripheral portion of the imaging region.
【００４９】[0049]
【発明の効果】本発明に係る固体撮像素子によれば、多
数の受光部が配列されて構成された撮像領域の各受光部
上に、それぞれマイクロ集光レンズが形成された固体撮
像素子において、上記マイクロ集光レンズ上に、中間層
を介して上部層を形成し、上記上部層中、少なくとも周
辺部の上面に、入射光を鉛直方向に屈折させる屈折部材
を一体に形成するようにしたので、撮像領域全体に入射
する光を有効利用することができ、対物レンズによるＦ
値依存、シェーディング等を低減させることが可能とな
る。しかも、斜め入射光に起因するスミアを低減させる
ことも可能となる。According to the solid-state imaging device according to the present invention, there is provided a solid-state imaging device in which a micro condenser lens is formed on each of the light-receiving portions of an imaging region in which a large number of light-receiving portions are arranged. An upper layer is formed on the micro condenser lens with an intermediate layer interposed therebetween, and a refraction member for refracting incident light in the vertical direction is formed integrally with at least the upper surface of a peripheral portion in the upper layer. The light incident on the entire imaging area can be effectively used, and the F
Value dependence, shading, and the like can be reduced. In addition, smear caused by obliquely incident light can be reduced.
【００５０】[0050]
【図１】本発明に係る固体撮像素子を、ビデオカメラ用
のイメージセンサに適用した第１実施例（以下、単に第
１実施例に係るイメージセンサと記す）の要部、特に撮
像領域の中央部と右側周辺部を示す構成図である。FIG. 1 shows a main part of a first embodiment (hereinafter, simply referred to as an image sensor according to a first embodiment) in which a solid-state imaging device according to the present invention is applied to an image sensor for a video camera, and particularly a center of an imaging region. FIG. 3 is a configuration diagram illustrating a part and a right peripheral part.
【図２】光学部品の凹レンズの発散特性を示す原理図で
ある。FIG. 2 is a principle diagram showing divergence characteristics of a concave lens of an optical component.
【図３】従来のイメージセンサと同様の構成を有するイ
メージセンサについて、その撮像領域の中央部における
入射光の光路を説明するために参考に用いる構成図であ
る。FIG. 3 is a configuration diagram used as a reference for describing an optical path of incident light in a central portion of an imaging region of an image sensor having a configuration similar to a conventional image sensor.
【図４】従来のイメージセンサと同様の構成を有するイ
メージセンサについて、その撮像領域の周辺部における
入射光の光路を説明するために参考に用いる構成図であ
る。FIG. 4 is a configuration diagram used as a reference for describing an optical path of incident light in a peripheral portion of an imaging region of an image sensor having a configuration similar to a conventional image sensor.
【図５】第１実施例に係るイメージセンサにおける撮像
領域の周辺部を入射光路と共に拡大して示す構成図であ
る。FIG. 5 is a configuration diagram showing, in an enlarged manner, a peripheral portion of an imaging region in the image sensor according to the first embodiment together with an incident optical path.
【図６】第１実施例に係るイメージセンサの第１の変形
例を示す構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram showing a first modification of the image sensor according to the first embodiment.
【図７】第１実施例に係るイメージセンサの第２の変形
例を示す構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram illustrating a second modification of the image sensor according to the first embodiment.
【図８】第１実施例に係るイメージセンサの第２の変形
例を示す構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram showing a second modification of the image sensor according to the first embodiment.
【図９】本発明に係る固体撮像素子を、ビデオカメラ用
のイメージセンサに適用した第２実施例（以下、単に第
２実施例に係るイメージセンサと記す）の要部、特に撮
像領域の中央部と右側周辺部を示す構成図である。FIG. 9 is a main part of a second embodiment (hereinafter, simply referred to as an image sensor according to the second embodiment) in which the solid-state imaging device according to the present invention is applied to an image sensor for a video camera, particularly, the center of an imaging region. FIG. 3 is a configuration diagram illustrating a part and a right peripheral part.
【図１０】第２実施例に係るイメージセンサにおける撮
像領域の周辺部を入射光路と共に拡大して示す構成図で
ある。FIG. 10 is a configuration diagram showing, in an enlarged manner, a peripheral portion of an imaging region in an image sensor according to a second embodiment together with an incident optical path.
１ シリコン基板 ２ 受光部 ３ 平坦膜 ４ マイクロ集光レンズ ５ 中間層 ６ 第２のレンズ層 ７ マイクロ凹レンズ １１ テーパ面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Silicon substrate 2 Light receiving part 3 Flat film 4 Micro condenser lens 5 Intermediate layer 6 Second lens layer 7 Micro concave lens 11 Tapered surface
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 27/14 G02B 3/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) H01L 27/14 G02B 3/00
Claims (3)
像領域の各受光部上に、それぞれマイクロ集光レンズが
形成され、 上記マイクロ集光レンズ上に、中間層を介して上部層が
形成され、 上記上部層中、少なくとも周辺部の上面に、入射光を鉛
直方向に屈折させる屈折部材が一体に形成されてなり、 上記屈折部材は、上記各マイクロ集光レンズに対応して
形成されたマイクロ発散レンズであることを特 徴とする
固体撮像素子。1. A micro focusing lens is formed on each of the light receiving sections of an imaging area in which a large number of light receiving sections are arranged, and an upper layer is formed on the micro focusing lens via an intermediate layer. In the upper layer, a refraction member for refracting incident light in the vertical direction is formed integrally with at least the upper surface of the peripheral portion, and the refraction member corresponds to each of the micro condenser lenses.
A solid-state imaging device according to feature that it is formed micro diverging lens.
像領域の各受光部上に、それぞれマイクロ集光レンズが
形成され、上記マイクロ集光レンズ上に、中間層を介して上部層が
形成され、 上記上部層中、少なくとも周辺部の上面に、入射光を鉛
直方向に屈折させる屈折部材が一体に形成されてなり、 上記屈折部材は、各マイクロ集光レンズに対応して形成
され、かつ上記撮像領域の中央部に向かって下方に傾斜
するテーパ面を有することを特徴とする固体撮像素子。2. An image pickup apparatus comprising a plurality of light receiving sections arranged.
A micro condenser lens is provided on each light receiving part in the image area.
The upper layer is formed on the micro condenser lens via the intermediate layer.
The incident light is formed on at least the upper surface of the peripheral portion in the upper layer.
A refraction member for refracting in the vertical direction is integrally formed, and the refraction member is formed corresponding to each micro-condensing lens, and has a tapered surface inclined downward toward the center of the imaging region. A solid-state imaging device characterized by the above-mentioned.
び上記中間層の屈折率をそれぞれｎ１、ｎ２、ｎ３とし
たとき、ｎ１＞ｎ３、ｎ２＞ｎ３及びｎ３≧１の関係を
有することを特徴とする請求項１又は２記載の固体撮像
素子。3. When the refractive indices of the micro condenser lens, the upper layer and the intermediate layer are n 1 , n 2 and n 3 , respectively, n 1 > n 3 , n 2 > n 3 and n 3 ≧ The solid-state imaging device according to claim 1, wherein the solid-state imaging device has a relationship of 1.
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| JP14764593A JP3240752B2 (en) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | Solid-state imaging device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| JPH0714997A JPH0714997A (en) | 1995-01-17 |
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Family Applications (1)
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| JP14764593A Expired - Fee Related JP3240752B2 (en) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | Solid-state imaging device |
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| JP (1) | JP3240752B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2314559A2 (en) | 2003-10-23 | 2011-04-27 | 3M Innovative Properties Company | Process for preparing functional group-containing olefinic compounds |
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1993
- 1993-06-18 JP JP14764593A patent/JP3240752B2/en not_active Expired - Fee Related
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| EP2314559A2 (en) | 2003-10-23 | 2011-04-27 | 3M Innovative Properties Company | Process for preparing functional group-containing olefinic compounds |
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| JPH0714997A (en) | 1995-01-17 |
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