JP3237987B2 - Laser light deflector - Google Patents
Laser light deflectorInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ光をＸ方向およ
びＹ方向に偏向する偏向器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a deflector for deflecting a laser beam in X and Y directions.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レーザマーカでは、液晶マスクを透過し
た光が、偏向器によってＸ方向およびＹ方向に偏向され
ることにより、液晶マスク画面上のパターンが、ワーク
上の、上記偏向に応じた位置に刻印される。2. Description of the Related Art In a laser marker, light transmitted through a liquid crystal mask is deflected in the X and Y directions by a deflector, so that a pattern on a liquid crystal mask screen is positioned on a work at a position corresponding to the deflection. Engraved.
【０００３】このようにレーザマーカにあっては、偏向
器は、刻印すべき位置を変化、移動させるために使用さ
れる。As described above, in a laser marker, a deflector is used to change and move a position to be marked.
【０００４】偏向器には、液晶マスクを透過したレーザ
光を入射させ、これを透過させてワーク上に導くレンズ
が配設されており、このレンズが配設されたレンズホル
ダをＸＹ移動テーブルによってＸ方向およびＹ方向に移
動させることにより偏向を行うことが、従来より一般的
に行われており、種々特許出願されている（特願平４―
１４６３９０号等）。The deflector is provided with a lens that receives a laser beam transmitted through the liquid crystal mask, transmits the laser beam, and guides the laser beam onto a work. The lens holder provided with the lens is moved by an XY moving table. Deflection by moving in the X and Y directions has been generally performed conventionally, and various patent applications have been filed (Japanese Patent Application No. Hei.
146390).
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】近年、レーザマーカに
おいて、印字を、より高速化したいとの要請がある。In recent years, there has been a demand for faster printing of laser markers.
【０００６】かかる要請に応える方法の一つに、偏向器
による偏向の速度を上昇させることが考えられる。One of the methods to meet such a demand is to increase the speed of deflection by the deflector.
【０００７】このためには、レンズホルダをＸＹ移動テ
ーブルによって高速に移動させることが必要となるが、
高速化に伴い位置決め精度の低下があってはならない。
また、レンズホルダは重量物であり、できる限り走行抵
抗を減らすことが、高速化を達成する上で望ましい。For this purpose, it is necessary to move the lens holder at a high speed using the XY moving table.
There must be no decrease in positioning accuracy as the speed increases.
Further, the lens holder is a heavy object, and it is desirable to reduce running resistance as much as possible in order to achieve high speed.
【０００８】ここに、ＸＹ移動テーブルは、モータによ
りボールネジを回転させることにより、テーブルのスラ
イド部材をガイドレールに沿って移動させる構成のもの
が一般的である。Here, the XY moving table generally has a structure in which a ball screw is rotated by a motor to move a slide member of the table along a guide rail.
【０００９】しかし、ボールネジに近い側のスライド部
材と遠い側のスライド部材とでは、近い側のスライド部
材の方に、ボールネジによる力が、より多く伝達され
る。このため、遠い側のスライド部材はボールネジの回
転に追従せずに、テーブルが傾いて移動してしまう。こ
の結果、位置決め制御の精度が低下することがある。However, between the slide member closer to the ball screw and the slide member farther from the ball screw, more force due to the ball screw is transmitted to the closer slide member. For this reason, the slide member on the far side does not follow the rotation of the ball screw, and the table tilts and moves. As a result, the accuracy of the positioning control may decrease.
【００１０】また、ガイドレールは、スライド部材を両
側から挟み込むように支持する構造であるため、重量物
のレンズホルダの荷重によって、スライド部材とガイド
レールとの間でのまさつ抵抗が大きくなりやすく、移動
を高速に行うことができない場合がある。In addition, since the guide rail has a structure in which the slide member is supported so as to be sandwiched from both sides, the resistance of the guide member between the slide member and the guide rail tends to increase due to the load of the heavy lens holder. In some cases, moving cannot be performed at high speed.
【００１１】本発明は、こうした実状に鑑みてなされた
ものであり、ＸＹ移動テーブルを傾けることなく均一に
移動させるようにするとともに、スライド部材とガイド
レールとの間で発生する走行抵抗を小さくして、レンズ
ホルダを、位置決め精度の低下を招くことなく、高速に
移動させることを目的とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and enables the XY moving table to move uniformly without tilting and to reduce running resistance generated between the slide member and the guide rail. It is another object of the present invention to move the lens holder at high speed without lowering the positioning accuracy.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】そこで、この発明では、
レンズが配設されたレンズホルダをＸＹ移動テーブルに
よってＸ方向および該Ｘ方向に垂直なＹ方向に移動させ
ることにより、前記レンズを透過したレーザ光をＸ方向
およびＹ方向に偏向するレーザ光の偏向器において、前
記ＸＹ移動テーブルをＸ方向に導くガイドレールを少な
くとも３本配設するとともに、同移動テーブルをＹ方向
に導くガイドレールを少なくとも３本配設し、前記ＸＹ
移動テーブルに、前記ガイドレールの両側面および上面
に対して摺接する、断面がコの字状のスライド部材を配
設し、前記ガイドレールに沿って前記スライド部材を摺
動自在に移動させることにより、前記レンズホルダをＸ
方向およびＹ方向に移動させるようにしている。Accordingly, in the present invention,
A lens holder on which a lens is disposed is moved in an X direction and a Y direction perpendicular to the X direction by an XY moving table, thereby deflecting the laser light transmitted through the lens in the X direction and the Y direction. In the apparatus, at least three guide rails for guiding the XY moving table in the X direction are provided, and at least three guide rails for guiding the moving table in the Y direction are provided.
A sliding member having a U-shaped cross section, which slides on both side surfaces and an upper surface of the guide rail, is provided on the moving table, and the slide member is slidably moved along the guide rail. And the lens holder X
In the direction and the Y direction.
【００１３】[0013]
【作用】かかる構成によれば、図１に示すように、ＸＹ
移動テーブル３、５、１８をＸ方向に導く少なくとも３
本のガイドレール２ａ、２ｂおよび２ｃが配設され、同
移動テーブルをＹ方向に導く少なくとも３本のガイドレ
ール４ａ、４ｂおよび４ｃが配設される。また、ＸＹ移
動テーブルに、ガイドレール２ａないし４ｃの両側面お
よび上面に対して摺接する、断面がコの字状のスライド
部材１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１６ａ、１６ｂおよび１
６ｃが配設される。そして、スライド部材１５ａないし
１６ｃがガイドレール２ａないし４ｃに沿って摺動自在
に移動され、レンズホルダ５がＸ方向およびＹ方向に移
動される。According to this structure, as shown in FIG.
At least 3 for moving the moving tables 3, 5, 18 in the X direction
The guide rails 2a, 2b and 2c are provided, and at least three guide rails 4a, 4b and 4c for guiding the moving table in the Y direction are provided. Also, slide members 15a, 15b, 15c, 16a, 16b, 1b, and 1 having a U-shaped cross section, which are in sliding contact with the XY moving table on both side surfaces and upper surfaces of the guide rails 2a to 4c.
6c is provided. Then, the slide members 15a to 16c are slidably moved along the guide rails 2a to 4c, and the lens holder 5 is moved in the X and Y directions.
【００１４】ここに、ガイドレールを各方向ごとに３本
以上配設しているため、各スライド部材に均一に力が伝
達され、テーブルが傾くことなく均等に移動される。ま
た、スライド部材の断面形状をガイドレールの両側面お
よび上面に対して摺接するコの字状としているため、単
位面積当たりの荷重が小さくなり、走行抵抗が小さくな
る。Here, since three or more guide rails are provided in each direction, a force is uniformly transmitted to each slide member, and the table is moved evenly without tilting. In addition, since the cross-sectional shape of the slide member is U-shaped so as to be in sliding contact with both side surfaces and the upper surface of the guide rail, the load per unit area is reduced, and the running resistance is reduced.
【００１５】この結果、ＸＹ移動テーブル３、５、１８
によってレンズホルダ５が、位置決め精度の低下を生じ
ることなく、高速に移動される。As a result, the XY movement tables 3, 5, 18
Thereby, the lens holder 5 is moved at high speed without lowering the positioning accuracy.
【００１６】[0016]
【実施例】以下、図面を参照して本発明に係るレーザ光
の偏向器の実施例について説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a laser beam deflector according to the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１７】なお、この実施例では、前述したようにレ
ーザマーカにおける使用を前提とした偏向器を想定して
いるが、偏向を行うことが必要なレーザ装置であれば任
意に適用可能である。In this embodiment, as described above, the deflector is assumed to be used for a laser marker, but any laser device that requires deflection can be applied.
【００１８】さて、図１（ａ）は、実施例の偏向器の正
面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ―Ａ断面
図、同図（ｃ）は同図（ａ）の矢視Ｂ図、同図（ｄ）
は、同図（ａ）の矢視Ｃ図である。FIG. 1A is a front view of the deflector of the embodiment, FIG. 1B is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1A, and FIG. (A) arrow B view, FIG.
FIG. 4 is a C-view of FIG.
【００１９】これら図に示すように、偏向器は、大きく
は、刻印すべきワークにレーザ光が導かれる穴１ａが形
成された基台１と、レンズホルダ５等の後述する種々の
部品が搭載された部品搭載プレート１７とからなってお
り、レンズホルダ５によって固定支持されたレンズ５ａ
を透過したレーザ光が、上記穴１ａを介してワーク上に
照射されるように、プレート１７が基台１に締結されて
いる。As shown in these figures, the deflector is basically equipped with a base 1 having a hole 1a for guiding a laser beam to a work to be engraved, and various components to be described later such as a lens holder 5. And a component mounting plate 17, and a lens 5 a fixedly supported by the lens holder 5.
The plate 17 is fastened to the base 1 so that the laser beam transmitted through the plate 1 is irradiated onto the work through the hole 1a.
【００２０】さて、プレート１７上には、Ｘ方向の移動
テーブルを構成するレンズホルダ５の本体５ｂおよび支
持部材１８をＸ方向に導く３本のガイドレール２ａ、２
ｂおよび２ｃが配設されており、またＹ方向の移動テー
ブルを構成する支持部材３およびレンズホルダ５の補助
部材５ｃをＹ方向に導く３本のガイドレール４ａ、４ｂ
および４ｃが配設されている。On the plate 17, three guide rails 2a, 2a and 2b for guiding the main body 5b of the lens holder 5 and the support member 18 constituting the moving table in the X direction in the X direction.
b and 2c, and three guide rails 4a, 4b for guiding the supporting member 3 and the auxiliary member 5c of the lens holder 5 constituting the moving table in the Y direction in the Y direction.
And 4c are provided.
【００２１】すなわち、基台１上には、ＸＹ移動テーブ
ルをＹ方向に移動させるためのボールネジ８が配設され
ており、このボールネジ８は、支持部材３の側端に位置
されているボールネジ支承部材１９に挿通されている。
ボールネジ８の近傍には、該ボールネジ８と平行に、ガ
イドレール４ａが基台１上に配設されている。また、こ
のガイドレール４ａから所定距離離間して、ボールネジ
８と平行に、ガイドレール４ｂが基台１上に配設されて
いる。That is, a ball screw 8 for moving the XY moving table in the Y direction is provided on the base 1, and the ball screw 8 is mounted on a ball screw support located at a side end of the support member 3. The member 19 is inserted.
In the vicinity of the ball screw 8, a guide rail 4a is disposed on the base 1 in parallel with the ball screw 8. A guide rail 4b is disposed on the base 1 in parallel with the ball screw 8 at a predetermined distance from the guide rail 4a.
【００２２】支持部材３の下面には、スライド部材１６
ａ、１６ｂが配設され、これらスライド部材１６ａ、１
６ｂがそれぞれ、上記ガイドレール４ａ、４ｂに摺接さ
れている。ここで、スライド部材１６ａ、１６ｂの断面
は、ガイドレール４ａ、４ｂの両側面および上面に対し
て摺接し得るコの字状となっている。他のガイドレール
４ｃ、２ａ、２ｂおよび２ｃについても同様である。A slide member 16 is provided on the lower surface of the support member 3.
a, 16b are provided, and these slide members 16a, 1
6b are in sliding contact with the guide rails 4a and 4b, respectively. Here, the cross-section of the slide members 16a and 16b has a U-shape that can slide on the both side surfaces and the upper surface of the guide rails 4a and 4b. The same applies to the other guide rails 4c, 2a, 2b and 2c.
【００２３】支持部材３の上面には、ガイドレール２
ａ、２ｂが、上記ガイドレール４ａ、４ｂに対して垂直
な方向に配列され、固定されている。The guide rail 2 is provided on the upper surface of the support member 3.
a, 2b are arranged and fixed in a direction perpendicular to the guide rails 4a, 4b.
【００２４】レンズホルダ５のうち、レンズ５ａを有し
た本体５ｂの下面には、スライド部材１５ａ、１５ｂが
配設され、これらスライド部材１５ａ、１５ｂがそれぞ
れ、上記ガイドレール２ａ、２ｂに摺接されている。In the lens holder 5, slide members 15a and 15b are provided on the lower surface of the main body 5b having the lens 5a, and these slide members 15a and 15b are slidably contacted with the guide rails 2a and 2b, respectively. ing.
【００２５】さて、一方、基台１上には、ＸＹ移動テー
ブルをＸ方向に移動させるためのボールネジ９が配設さ
れており、このボールネジ９は、支持部材１８に配設さ
れたボールネジ支承部材２０に挿通されている。On the other hand, a ball screw 9 for moving the XY moving table in the X direction is provided on the base 1, and the ball screw 9 is a ball screw support member provided on the support member 18. 20.
【００２６】ボールネジ９の近傍には、該ボールネジ９
と平行に、ガイドレール２ｃが基台１上に配設されてい
る。ガイドレール２ｃは他のガイドレール２ａ、２ｂと
平行であり、したがってボールネジ９とガイドレール２
ａ、２ｂは、平行になっている。In the vicinity of the ball screw 9, the ball screw 9
The guide rail 2c is arranged on the base 1 in parallel with the above. The guide rail 2c is parallel to the other guide rails 2a, 2b, so that the ball screw 9 and the guide rail 2
a and 2b are parallel.
【００２７】支持部材１８の下面には、スライド部材１
５ｃがガイドレール２ｃに摺接されるように配設されて
いる。The slide member 1 is provided on the lower surface of the support member 18.
5c is disposed so as to be in sliding contact with the guide rail 2c.
【００２８】支持部材１８の上面には、ガイドレール４
ｃが配設されている。このガイドレール４ｃは、他のガ
イドレール４ａ、４ｂと平行であり、ボールネジ８から
みてガイドレール４ａと４ｂの中間の離間位置に配設さ
れている。On the upper surface of the support member 18, the guide rail 4
c is provided. The guide rail 4c is parallel to the other guide rails 4a and 4b, and is disposed at a middle position between the guide rails 4a and 4b when viewed from the ball screw 8.
【００２９】レンズホルダ５の補助部材５ｃは、本体５
ｂに螺合されており、この補助部材５ｃの下面には、ス
ライド部材１６ｃがガイドレール４ｃに摺接されるよう
に配設されている。The auxiliary member 5c of the lens holder 5 is
The auxiliary member 5c is provided with a slide member 16c which is slidably contacted with the guide rail 4c.
【００３０】このようにＸＹ移動テーブル３、５、１８
が構成されており、ボールネジ９が回転されることによ
り、レンズホルダ５の補助部材５ｃを載せた支持部材１
８がガイドレール２ｃに沿ってＸ方向に移動されるとと
もに、レンズホルダ５の本体５ｂがガイドレール２ａ、
２ｂに沿ってＸ方向に移動され、この結果、レンズホル
ダ５が全体としてＸ方向に移動される。As described above, the XY moving tables 3, 5, 18
The supporting member 1 on which the auxiliary member 5c of the lens holder 5 is placed by rotating the ball screw 9
8 is moved in the X direction along the guide rail 2c, and the main body 5b of the lens holder 5 is moved to the guide rail 2a,
The lens holder 5 is moved in the X direction along 2b, and as a result, the lens holder 5 is moved in the X direction as a whole.
【００３１】また、ボールネジ８が回転されることによ
り、レンズホルダ５の本体５ｂを載せた支持部材３がガ
イドレール４ａ、４ｂに沿ってＹ方向に移動されるとと
もに、レンズホルダ５の補助部材５ｃがガイドレール４
ｃに沿ってＹ方向に移動され、この結果、レンズホルダ
５が全体としてＹ方向に移動される。When the ball screw 8 is rotated, the supporting member 3 on which the main body 5b of the lens holder 5 is placed is moved in the Y direction along the guide rails 4a and 4b, and the auxiliary member 5c of the lens holder 5 is moved. Is the guide rail 4
The lens holder 5 is moved in the Y direction along the line c. As a result, the lens holder 5 is moved in the Y direction as a whole.
【００３２】モータ６は、ボールネジ９を回転させるア
クチュエータであり、モータ６の駆動力は、ベルト１０
を介してボールネジ９に伝達される。The motor 6 is an actuator for rotating the ball screw 9, and the driving force of the motor 6 is
Through the ball screw 9.
【００３３】このようにベルト駆動とすることによりモ
ータ６の回転軸とボールネジ９を同軸上に配置しないで
すみ、プレート１７上に効率よく部品を配置でき、省ス
ペース化が達成される。By using the belt drive as described above, the rotating shaft of the motor 6 and the ball screw 9 do not have to be arranged coaxially, components can be efficiently arranged on the plate 17, and space can be saved.
【００３４】ボールネジ９の両端は、ボールネジ支承部
材１１ａ、１１ｂによって回動自在に支承されており、
これら支承部材１１ａ、１１ｂはそれぞれ固定部材１２
ａ、１２ｂによって基台１上に固定されている。Both ends of the ball screw 9 are rotatably supported by ball screw support members 11a and 11b.
These support members 11a and 11b are respectively fixed members 12
It is fixed on the base 1 by a and 12b.
【００３５】このように、ボールネジ９を両側で固定し
ているため、レンズホルダ５の位置決め制御の精度が、
片側を固定した場合に比較して飛躍的に向上する。As described above, since the ball screw 9 is fixed on both sides, the accuracy of the positioning control of the lens holder 5 is improved.
Dramatically improved compared to the case where one side is fixed.
【００３６】さて、一方、モータ７は、ボールネジ８を
回転させるアクチュエータであり、モータ７の駆動力
は、モータ７の回転軸と同軸上にあるボールネジ８に伝
達される。On the other hand, the motor 7 is an actuator for rotating the ball screw 8, and the driving force of the motor 7 is transmitted to the ball screw 8 which is coaxial with the rotation axis of the motor 7.
【００３７】ボールネジ８は、上記ボールネジ９と同様
に、その両端が、ボールネジ支承部材１３ａ、１３ｂに
よって回動自在に支承されており、これら支承部材１３
ａ、１３ｂはそれぞれ固定部材１４ａ、１４ｂによって
基台１上に固定されており、上述したようにレンズホル
ダ５の位置決め制御の精度の向上に寄与した構造となっ
ている。The ball screw 8 is rotatably supported at both ends by ball screw support members 13a and 13b, similarly to the ball screw 9 described above.
Reference numerals a and 13b are fixed on the base 1 by fixing members 14a and 14b, respectively, and have a structure that contributes to an improvement in the accuracy of positioning control of the lens holder 5 as described above.
【００３８】以上説明したように、この実施例によれ
ば、Ｘ方向、Ｙ方向ともに３本のガイドレールを配設し
ているため、各スライド部材に均一に力が伝達され、Ｘ
Ｙ移動テーブルを傾けることなく均等に移動させること
ができる。また、スライド部材の断面形状をガイドレー
ルの両側面および上面に対して摺接するコの字状として
いるため、単位面積当たりの荷重が小さくなり、走行抵
抗が小さくなる。As described above, according to this embodiment, since three guide rails are provided in both the X and Y directions, the force is uniformly transmitted to each slide member, and
The Y moving table can be moved evenly without tilting. In addition, since the cross-sectional shape of the slide member is U-shaped so as to be in sliding contact with both side surfaces and the upper surface of the guide rail, the load per unit area is reduced, and the running resistance is reduced.
【００３９】この結果、ＸＹ移動テーブル３、５、１８
によってレンズホルダ５を、移動の精度の低下を招くこ
となく、高速に移動させることができる。As a result, the XY movement tables 3, 5, 18
Accordingly, the lens holder 5 can be moved at high speed without lowering the accuracy of movement.
【００４０】なお、実施例ではガイドレールを各方向ご
とに３本配設しているが、４本以上配設するようにして
もよい。In the embodiment, three guide rails are provided in each direction, but four or more guide rails may be provided.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、位置決め精度の低下を招くことなく、高速にＸＹテ
ーブルを移動させることができるので、偏向器による偏
向の速度が飛躍的に向上する。このため、偏向器が組み
込まれたレーザ加工機等のレーザ装置の作業効率が飛躍
的に向上する。As described above, according to the present invention, since the XY table can be moved at a high speed without lowering the positioning accuracy, the speed of the deflection by the deflector is greatly improved. . For this reason, the working efficiency of a laser device such as a laser processing machine in which a deflector is incorporated is dramatically improved.
【図１】図１は、本発明に係るレーザ光の偏向器の実施
例を示す図であり、同図（ａ）は正面図で、同図（ｂ）
は同図（ａ）のＡ―Ａ断面図で、同図（ｃ）は同図
（ａ）の矢視Ｂ図で、同図（ｄ）は同図（ａ）の矢視Ｃ
図である。FIG. 1 is a view showing an embodiment of a laser beam deflector according to the present invention. FIG. 1 (a) is a front view and FIG. 1 (b)
Is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 3A, FIG. 3C is a view B in FIG. 3A, and FIG. 3D is a view C in FIG.
FIG.
２ａ、２ｂ、２ｃ…ガイドレール ３ 支持部材 ４ａ、４ｂ、４ｃ…ガイドレール ５ レンズホルダ １８ 支持部材 １５ａ、１５ｂ、１５ｃ…スライド部材 １６ａ、１６ｂ、１６ｃ…スライド部材 2a, 2b, 2c: guide rail 3 support member 4a, 4b, 4c: guide rail 5 lens holder 18 support member 15a, 15b, 15c: slide member 16a, 16b, 16c: slide member
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−81027（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−129633（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−213450（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−318149（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23K 26/06 B23K 26/00 B23K 26/08 G02B 26/10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-59-81027 (JP, A) JP-A-59-129633 (JP, A) JP-A-60-213450 (JP, A) 318149 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) B23K 26/06 B23K 26/00 B23K 26/08 G02B 26/10
Claims (2)
ＸＹ移動テーブルによってＸ方向および該Ｘ方向に垂直
なＹ方向に移動させることにより、前記レンズを透過し
たレーザ光をＸ方向およびＹ方向に偏向するレーザ光の
偏向器において、 前記ＸＹ移動テーブルをＸ方向に導くガイドレールを少
なくとも３本配設するとともに、同移動テーブルをＹ方
向に導くガイドレールを少なくとも３本配設し、 前記ＸＹ移動テーブルに、前記ガイドレールの両側面お
よび上面に対して摺接する、断面がコの字状のスライド
部材を配設し、 前記ガイドレールに沿って前記スライド部材を摺動自在
に移動させることにより、前記レンズホルダをＸ方向お
よびＹ方向に移動させるようにしたレーザ光の偏向器。1. A laser beam transmitted through the lens is deflected in the X direction and the Y direction by moving a lens holder provided with the lens in an X direction and a Y direction perpendicular to the X direction using an XY moving table. A laser beam deflector, wherein at least three guide rails for guiding the XY moving table in the X direction are provided, and at least three guide rails for guiding the moving table in the Y direction are provided; A sliding member having a U-shaped cross section that slides on both side surfaces and an upper surface of the guide rail, and slidably moves the slide member along the guide rail. A laser beam deflector configured to move a lens holder in X and Y directions.
向移動テーブルの側端部にボールネジを挿通させるとと
もに、Ｙ方向移動テーブルの側端部にボールネジを挿通
させ、前記ボールネジをアクチュエータによって回転さ
せることにより、前記レンズホルダをＸ方向およびＹ方
向に移動させるようにした請求項１記載のレーザ光の偏
向器。2. A ball screw is inserted through a side end of the X-direction moving table of the XY moving table, and a ball screw is inserted through a side end of the Y-direction moving table, and the ball screw is rotated by an actuator. 2. The laser beam deflector according to claim 1, wherein said lens holder is moved in X and Y directions.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03372594A JP3237987B2 (en) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | Laser light deflector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03372594A JP3237987B2 (en) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | Laser light deflector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07241691A JPH07241691A (en) | 1995-09-19 |
| JP3237987B2 true JP3237987B2 (en) | 2001-12-10 |
Family
ID=12394382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03372594A Expired - Fee Related JP3237987B2 (en) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | Laser light deflector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3237987B2 (en) |
-
1994
- 1994-03-03 JP JP03372594A patent/JP3237987B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07241691A (en) | 1995-09-19 |
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