JP3236903B2 - 表面被覆切削工具 - Google Patents

表面被覆切削工具

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JP3236903B2
JP3236903B2 JP28003493A JP28003493A JP3236903B2 JP 3236903 B2 JP3236903 B2 JP 3236903B2 JP 28003493 A JP28003493 A JP 28003493A JP 28003493 A JP28003493 A JP 28003493A JP 3236903 B2 JP3236903 B2 JP 3236903B2
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cutting tool
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aluminum oxide
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、超硬合金基体または
サーメット基体の表面に化学蒸着法により形成された、
チタンの炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物および炭
窒酸化物のうち1種の単層または2種以上の複層(以
下、チタン化合物層と総称する)並びに少なくとも1層
の酸化アルミニウム層からなる複合硬質層を形成してな
る耐摩耗性および耐欠損性に優れた表面被覆切削工具に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、超硬合金基体またはサーメット基
体の表面に、チタン化合物層および少なくとも1層の酸
化アルミニウム層からなる複合硬質層を化学蒸着法によ
り被覆してなる表面被覆切削工具は、鋼などの連続切削
や断続切削に用いられていることは良く知られていると
ころである。
【0003】前記酸化アルミニウム層は、前記チタン化
合物層よりも高温における耐摩耗性に優れているが、密
着性および靭性に劣るために、超硬合金基体またはサー
メット基体の表面に化学蒸着法により先ずチタン化合物
層を被覆し、このチタン化合物層の上に化学蒸着法によ
り酸化アルミニウム層を被覆し、形成された複合硬質層
の耐摩耗性および靭性を付与して耐欠損性を向上させて
いる。
【0004】前記複合硬質層における酸化アルミニウム
層を化学蒸着法により形成する方法として、二酸化炭
素:15Vol%以下を含む通常の反応ガスに0.01
〜1.0Vol%の硫化水素ガスを添加した反応ガスを
用いることにより酸化アルミニウム層の成長速度を向上
させる方法が知られている。この方法によると、酸化ア
ルミニウム層の成長速度が向上するところからその他の
被覆層および基体を高温に長時間さらすことなく組織変
化を防止することができ、したがって、従来の被覆切削
工具よりも優れた性能を有する表面被覆切削工具が得ら
れるといわれている(例えば、特公昭62−3234号
公報参照)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、切削工
程の省力化および短縮化に対する要求は強く、これに伴
ない、より一段と苛酷な条件下での高送りおよび高切込
みなどの高速連続重切削や断続切削が強いられる傾向に
あるが、前記従来の二酸化炭素:15Vol%以下を含
む反応ガスに硫化水素ガス:0.01〜0.3Vol%
を添加した反応ガスを用いて酸化アルミニウム層を含む
複合硬質層が被覆された切削工具は、これら苛酷な条件
下では、被覆層の耐摩耗性および耐欠損性が不十分であ
り、比較的短時間の使用寿命しか示さないのが現状であ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】そこで本発明者らは、さ
らに一層耐摩耗性および耐欠損性に優れた酸化アルミニ
ウム層を含む複合硬質層が被覆された表面被覆切削工具
を開発すべく研究を行った結果、X線回折による(10
4)面のピーク強度をI(104)、(030)面のピ
ーク強度をI(030)、(012)面のピーク強度を
I(012)とすると、I(030)/I(104)>
1でありかつI(012)/I(030)>1なる関係
にあるα型結晶を主体とした結晶構造の酸化アルミニウ
ムで構成された酸化アルミニウム層は、一層すぐれた耐
摩耗性および耐欠損性を示すという知見を得たのであ
る。
【0007】この発明は、かかる知見にもとずいてなさ
れたものであって、基体表面に、チタン化合物層(Ti
C、TiN、TiCN、TiCO、TiCNOなどのう
ちの単層または2種以上の複層からなる硬質被覆層)お
よび少なくとも1層の酸化アルミニウム層からなる複合
硬質層を被覆してなる切削工具において、前記酸化アル
ミニウム層は、X線回折による(104)面のピーク強
度をI(104)、(030)面のピーク強度をI(0
30)、(012)面のピーク強度をI(012)とす
ると、I(030)/I(104)>1でありかつI
(012)/I(030)>1なる関係にあるα型結晶
を主体とした結晶構造の酸化アルミニウムで構成されて
いる表面被覆切削工具に特徴とするものである。
【0008】この発明の表面被覆切削工具を製造するに
は、通常の表面を研削処理したサーメット製切削工具
(WC基超硬合金製切削工具なども含む)を基体とし、
この基体表面に、通常の化学蒸着法により少なくとも1
層のチタン化合物層を形成し、そのチタン化合物層の上
に、さらに少なくとも1層のこの発明の酸化アルミニウ
ム層を形成することにより作製される。この発明の酸化
アルミニウム層は、必ずしも最外層である必要はなく、
酸化アルミニウム層の上にさらに少なくとも1層のチタ
ン化合物層を被覆しても良い。この発明でα型結晶を主
体とするとは、α型結晶が85%以上占めることであ
り、α型結晶が100%存在しても良い。
【0009】この発明のI(030)/I(104)>
1であるような酸化アルミニウム層を形成するには、通
常の酸化アルミニウム層を形成するためのH2 Sガス:
0.01〜2.0Vol%を含有する化学蒸着反応ガス
中にさらにSO2 ガス:0.01〜1.0Vol%を添
加した反応ガスを用いることにより形成される。また、
I(012)/I(030)>1であるような酸化アル
ミニウム層を形成するには、前記H2 Sガス:0.01
〜2.0Vol%およびSO2 ガス:0.01〜1.0
Vol%を含有する化学蒸着反応ガス中に、さらに通常
のCO2 ガス量(15Vol%以下)よりも多い20〜
30Vol%のCO2 ガスを含む反応ガスを用いること
により形成される。
【0010】H2 SガスおよびSO2 ガスとは、 2H2 S+SO2 =3S+2H2 O となるように反応してSと水を生成し、さらに、生成し
た水は塩化アルミニウムと反応し、 H2 O+2AlCl=Al2 3 +6HCl となり、このときI(030)/I(104)>1であ
るようなAl2 3 が生成されるものと考えられている
が、通常のCO2 ガス量(15Vol%以下)よりも多
い20〜30Vol%のCO2 ガスを含む反応ガスを用
いることにより何故にI(012)/I(030)>1
となるのかは明らかでない。
【0011】
【実施例】つぎに、この発明の表面被覆切削工具の製造
法を実施例により具体的に説明する。通常の粉末冶金法
により製造した72%WC−8%TiC−10%TaC
−10%Coからなる成分組成(ISO規格P30相
当)を有しかつISO規格のSNMG432に定めた形
状の切削工具を用意した。
【0012】実施例1 前記切削工具を通常の化学蒸着装置に装入し、温度:1
000℃、圧力:100torr、反応ガス組成:4%Ti
Cl4 −16%CH4 −80%H2 、の条件で厚さ:5
μmのTiC層を形成し、その上に、温度:1000
℃、圧力:100torr、反応ガス組成:5%TiCl4
−15%CH4 −20%N2 −60%H2、の条件で厚
さ:2μmのTiCN層を形成し、さらにその上に、温
度:1000℃、圧力:100torr、反応ガス組成:5
%AlCl3 −30%CO2 −0.6%H2 S−0.3
%SO2 −64%H2 、の条件で厚さ:3μmのAl2
3 層を形成し、本発明被覆切削工具1を作製した。
【0013】従来例1 実施例1と同じ条件でTiC層およびTiCN層を形成
した後、温度:1000℃、圧力:50torr、反応ガス
組成:5%AlCl3 −10%CO2 −1.0%H2
−84%H2 、の条件で厚さ:3μmのAl2 3 層を
形成し、従来被覆切削工具1を作製した。
【0014】実施例2 前記切削工具を通常の化学蒸着装置に装入し、温度:1
000℃、圧力:100torr、反応ガス組成:5%Ti
Cl4 −15%CH4 −20%N2 −60%H2、の条
件で厚さ:6μmのTiCN層を形成し、その上に、温
度:1000℃、圧力:50torr、反応ガス組成:5%
AlCl3 −25%CO2 −0.4%H2 S−0.2%
SO2 −69.4%H2 、の条件で厚さ:6μmのAl
2 3 層を形成し、本発明被覆切削工具2を作製した。
【0015】従来例2 実施例2と同じ条件でTiCN層を形成した後、温度:
1000℃、圧力:50torr、反応ガス組成:6%Al
Cl3 −8%CO2 −0.6%H2 S−85.4%
2 、の条件で厚さ:6μmのAl2 3 層を形成し、
従来被覆切削工具2を作製した。
【0016】実施例3 この切削工具を通常の化学蒸着装置に装入し、温度:1
000℃、圧力:100torr、反応ガス組成:4%Ti
Cl4 −16%CH4 −80%H2 、の条件で厚さ:3
μmのTiC層を形成し、その上に、温度:1000
℃、圧力:100torr、反応ガス組成:5%TiCl4
−5%CO−90%H2 、の条件で厚さ:2μmのTi
CO層を形成し、さらにその上に、温度:1000℃、
圧力:100torr、反応ガス組成:5%TiCl4 −1
0%CH4 −10%CO2 −10%N2 −65%H2
の条件で厚さ:1μmのTiCNO層を形成し、その上
に、温度:1000℃、圧力:100torr、反応ガス組
成:5%AlCl3 −20%CO2 −0.2%H2 S−
0.1%SO2 −74.7%H2 、の条件で厚さ:4μ
mのAl2 3 層を形成し、本発明被覆切削工具3を作
製した。
【0017】実施例3と同じ条件でTiC層、TiCO
層およびTiCNO層を形成した後、温度:1000
℃、圧力:50torr、反応ガス組成:5%AlCl3
8%CO2 −0.3%H2 S−86.7%H2 、の条件
で厚さ:4μmのAl2 3 層を形成し、従来被覆切削
工具3を作製した。
【0018】実施例4 前記切削工具を通常の化学蒸着装置に装入し、温度:1
000℃、圧力:100torr、反応ガス組成:4%Ti
Cl4 −16%CH4 −80%H2 、の条件で厚さ:2
μmのTiC層を形成し、その上に、温度:1000
℃、圧力:100torr、反応ガス組成:5%TiCl4
−35%N2 −60%H2 、の条件で厚さ:2μmのT
iN層を形成し、さらにその上に、温度:1000℃、
圧力:100torr、反応ガス組成:4%TiCl4 −1
6%CH4 −80%H2 、の条件で厚さ:2μmのTi
C層を形成し、その上に、温度:1000℃、圧力:1
00torr、反応ガス組成:5%AlCl3 −30%CO
2 −1.0%H2 S−0.5%SO2 −63.5%
2 、の条件で厚さ:3μmのAl2 3 層を形成し、
本発明被覆切削工具4を作製した。
【0019】従来例4 実施例4と同じ条件でTiC層、TiN層およびTiC
層を形成した後、温度:1000℃、圧力:100tor
r、反応ガス組成:5%AlCl3 −10%CO2
1.5%H2 S−83.5%H2 、の条件で厚さ:3μ
mのAl2 3 層を形成し、従来被覆切削工具4を作製
した。
【0020】実施例5〜8 実施例1〜4で作製した本発明被覆切削工具1〜4のA
2 3 層の表面に、さらに温度:1000℃、圧力:
200torr、反応ガス組成:2%TiCl4 −38%N
2 −60%H2 、の条件で厚さ:1μmのTiN層を形
成し、本発明被覆切削工具5〜8を作製した。
【0021】従来例5〜8 従来例1〜4で作製した従来被覆切削工具1〜4のAl
2 3 層の表面に、さらに温度:1000℃、圧力:2
00torr、反応ガス組成:2%TiCl4 −38%N2
−60%H2 、の条件で厚さ:1μmのTiN層を形成
し、従来被覆切削工具5〜8を作製した。
【0022】これら本発明被覆切削工具1〜8および従
来被覆切削工具1〜8について、X線回折を行ない、
(030)面のピーク強度:I(030)に対する(1
04)面のピーク強度:I(104)の比=I(03
0)/I(104)を求め、さらに(012)面のピー
ク強度:I(012)に対する(030)面のピーク強
度:I(030)の比=I(012)/I(030)を
求め、それらの値を表1〜2に示した。
【0023】得られた本発明被覆切削工具1〜8および
従来被覆切削工具1〜8について、 被削材 :SCM440(硬さ:HB 230) 切削速度:200m/min 送 り:0.3mm/rev 切込み :2.0mm 切削時間:30min 冷却油 :なし の条件で鋼の連続切削試験を行ない、切刃の逃げ面摩耗
幅を測定し、これらの結果も表1〜2に示し、
【0024】さらに、本発明被覆切削工具1〜8および
従来被覆切削工具1〜8について、 被削材 :SNCM439(硬さ:HB 230)角材 切削速度:100m/min 送 り:0.236mm/rev 切込み :3.0mm 切削時間:30min 冷却油 :なし の条件で鋼の断続切削試験を行ない、工具刃先が欠損に
至までの時間を測定し、これらの結果も表1〜2に示し
た。
【0025】
【表1】
【0026】
【表2】
【0027】
【発明の効果】表1〜2に示された結果から明らかなよ
うに、本発明被覆切削工具1〜8のAl2 3 層のI
(030)/I(104)の値はいずれも1より大であ
りかつI(012)/I(030)の値はいずれも1よ
り大であるが、従来被覆切削工具1〜8のAl2 3
のI(030)/I(104)の値はいずれも1以下で
ありかつI(012)/I(030)の値はいずれも1
以下であり、本発明被覆切削工具1〜8は従来被覆切削
工具1〜8に比べていずれも連続切削試験を行なった際
の逃げ面摩耗幅が小さくかつ断続切削試験による欠損に
至までの時間が長いことがわかる。
【0028】したがって、この発明の表面被覆切削工具
は、従来の表面被覆切削工具よりも一層優れた切削性能
を有しており、この発明の表面被覆切削工具を用いるこ
とにより切削工具交換回数などを減らすことができ、産
業の発展に大いに貢献しうるものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B23B 27/14 B23P 15/28 C23C 16/30

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基体表面に、チタンの炭化物、窒化物、
    炭窒化物、炭酸化物および炭窒酸化物のうち1種の単層
    または2種以上の複層、並びに少なくとも1層の酸化ア
    ルミニウム層からなる複合硬質層を被覆してなる切削工
    具において、 前記酸化アルミニウム層は、X線回折による(104)
    面のピーク強度をI(104)、(030)面のピーク
    強度をI(030)、(012)面のピーク強度をI
    (012)とすると、 I(030)/I(104)>1、 I(012)/I(030)>1、 なる関係にあるα型結晶を主体とした結晶構造の酸化ア
    ルミニウムで構成されていることを特徴とする表面被覆
    切削工具。
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