JP3232070B2 - エッチング装置 - Google Patents
エッチング装置Info
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Description
を形成するためなどに使用するエッチング装置に関する
ものである。
図、図10は図9に示したエッチング装置の一部を示す
図、図11は図10のC−C断面図である。図に示すよ
うに、容器1内に搬送手段2が設けられ、搬送手段2は
多数の回転軸3、各回転軸3に取り付けられた多数の搬
送ホイル4から構成され、搬送手段2は被エッチング板
材であるプリント基板用板材5を搬送する。また、容器
1に回動可能にスプレー管6、7が設けられ、スプレー
管6、7にそれぞれ多数のスプレーノズル8、9が設け
られ、スプレー管6は搬送手段2の上方に位置してお
り、スプレー管7は搬送手段2の下方に位置しており、
またスプレー管6、7の一端はエッチング液供給手段
(図示せず)に接続されており、スプレー管6、7をそ
れらの中心線を中心にして垂直軸に対して片方約20°
の範囲で往復回動するスプレー管回動手段(図示せず)
が設けられており、スプレー管6、7、スプレーノズル
8、9等によりエッチング液をプリント基板用板材5の
表面に向けて吹き付けるエッチング液スプレー手段が構
成されている。
基板用板材5の表面に被エッチング層である回路形成用
金属層を形成し、回路形成用金属層上にエッチングマス
クを形成し、回路形成用金属層、エッチングマスクを形
成したプリント基板用板材5を搬送手段2で搬送すると
ともに、エッチング液供給手段からスプレー管6、7に
エッチング液を供給し、かつスプレー管回動手段により
スプレー管6、7を往復回動すると、スプレーノズル
8、9からエッチング液がプリント基板用板材5の表面
に吹き付けられるから、プリント基板用板材5の表面の
回路形成用金属層が選択的にエッチングされ、プリント
基板用板材5の表面に回路が形成される。この場合、ス
プレーノズル8、9から吹き付けられてプリント基板用
板材5に達したエッチング液の中心部が図11紙面左右
方向に移動する。
ッチング装置においては、プリント基板用板材5の表面
の一部にエッチング液の老廃液すなわち回路形成用金属
層を溶解する速度が小さくなった液が溜り、プリント基
板用板材5の表面の回路形成用金属層を均一にエッチン
グすることができない。
れたもので、被エッチング板材の表面に形成された被エ
ッチング層を均一にエッチングすることができるエッチ
ング装置を提供することを目的とする。
め、本発明においては、被エッチング板材の表面にエッ
チング液を供給してエッチングを行なうエッチング装置
において、上記被エッチング板材の表面に上記エッチン
グ液を供給するとともに上記被エッチング板材の表面か
ら上記エッチング液を排出しかつエッチング液供給室お
よびエッチング液排出室が設けられたエッチング液供給
排出体を有するエッチング液供給排出手段を設ける。こ
の場合、上記エッチング液供給室の両側に上記エッチン
グ液排出室を設ける。
置を示す概略図、図2は図1のA−A断面図、図3は図
1の一部詳細図である。図に示すように、容器11内に
搬送手段12が設けられ、搬送手段12は多数の回転軸
13、各回転軸13に取り付けられた搬送ローラ4から
構成され、搬送手段12は被エッチング板材であるプリ
ント基板用板材15を搬送する。また、搬送手段12の
近傍に容器11に回転可能に支持された軸17が設けら
れ、軸17に押えローラ18が取り付けられ、容器11
に複数のエッチング液供給排出体19が取り付けられ、
エッチング液供給排出体19の搬送手段12側端の一部
が押えローラ18に接しており、エッチング液供給排出
体19はエッチング液供給室20およびエッチング液排
出室21を有しており、エッチング液供給室20、エッ
チング液排出室21は隣接するエッチング液供給排出体
19のエッチング液供給室20、エッチング液排出室2
1と隣接しており、押えローラ18、エッチング液供給
排出体19等によりプリント基板用板材15の表面にエ
ッチング液を供給するとともにプリント基板用板材15
の表面からエッチング液を排出するエッチング液供給排
出手段16が構成されている。また、容器11の外部に
エッチング液加圧供給装置22が設けられ、エッチング
液加圧供給装置22に接続管23が接続され、接続管2
3に複数の供給管24が接続され、供給管24にエッチ
ング液供給排出体19のエッチング液供給室20が接続
され、エッチング液加圧供給装置22、接続管23、供
給管24によりエッチング液供給室20にエッチング液
を供給するエッチング液供給手段が構成されている。ま
た、容器11の外部にエッチング液吸引排出装置25が
設けられ、エッチング液吸引排出装置25に接続管26
が接続され、接続管26に複数の排出管27が接続さ
れ、排出管27にエッチング液供給排出体19のエッチ
ング液排出室21が接続され、エッチング液吸引排出装
置25、接続管26、排出管27によりエッチング液排
出室21からエッチング液を排出するエッチング液排出
手段が構成されている。
基板用板材15の表面に被エッチング層である回路形成
用金属層を形成し、回路形成用金属層上にエッチングマ
スクを形成し、回路形成用金属層、エッチングマスクを
形成したプリント基板用板材15を搬送手段12で搬送
するとともに、エッチング液加圧供給装置22から接続
管23、供給管24を介してエッチング液供給排出体1
9のエッチング液供給室20にエッチング液を供給し、
かつエッチング液吸引排出装置25により排出管27、
接続管26を介してエッチング液供給排出体19のエッ
チング液排出室21からエッチング液を排出すると、プ
リント基板用板材15の表面にエッチング液が供給され
るとともにプリント基板用板材15の表面からエッチン
グ液が排出されるから、プリント基板用板材15の表面
の回路形成用金属層が選択的にエッチングされ、プリン
ト基板用板材15の表面に回路が形成される。この場
合、プリント基板用板材15の表面には常に新たなエッ
チング液を供給することができるから、プリント基板用
板材15の表面の一部に老廃液が溜ることがないので、
プリント基板用板材15の回路形成用金属層の一部がサ
イドエッチングされることがなく、プリント基板用板材
15の表面の回路形成用金属層を均一にエッチングする
ことができ、またエッチング速度が速い。このため、プ
リント基板の回路が微細化したとしても、均一幅の回路
を形成することができ、電気特性が均一なプリント基板
を能率よく製造することができる。
一部を示す図である。図に示すように、搬送手段12の
近傍に容器11に回転可能に支持された軸32が設けら
れ、軸32に押えローラ33が取り付けられ、容器11
に複数のエッチング液供給排出体34が取り付けられ、
エッチング液供給排出体34の搬送手段12側端の一部
が押えローラ33に接しており、エッチング液供給排出
体34はエッチング液供給室35およびエッチング液排
出室36を有しており、エッチング液供給室35の両側
にエッチング液排出室36が設けられ、エッチング液供
給室35に供給管24が接続され、エッチング液排出室
36に排出管27が接続され、押えローラ33、エッチ
ング液供給排出体34等によりプリント基板用板材15
の表面にエッチング液を供給するとともにプリント基板
用板材15の表面からエッチング液を排出するエッチン
グ液供給排出手段31が構成されている。
用金属層、エッチングマスクを形成したプリント基板用
板材15を搬送手段12で搬送するとともに、エッチン
グ液加圧供給装置22から接続管23、供給管24を介
してエッチング液供給排出体31のエッチング液供給室
35にエッチング液を供給し、かつエッチング液吸引排
出装置25により排出管27、接続管26を介してエッ
チング液供給排出体31のエッチング液排出室36から
エッチング液を排出すると、プリント基板用板材15の
表面にエッチング液が供給されるとともにプリント基板
用板材15の表面からエッチング液が排出されるから、
プリント基板用板材15の表面の回路形成用金属層が選
択的にエッチングされ、プリント基板用板材15の表面
に回路が形成される。この場合、プリント基板用板材1
5の表面には常に新たなエッチング液を供給することが
できるから、プリント基板用板材15の表面の一部に老
廃液が溜ることがないので、プリント基板用板材15の
回路形成用金属層の一部がサイドエッチングされること
がなく、プリント基板用板材15の表面の回路形成用金
属層を均一にエッチングすることができ、またエッチン
グ速度が速い。
示す概略図、図6は図5に示したエッチング装置の一部
を示す図、図7は図6のB−B断面図である。図に示す
ように、搬送手段12の近傍のエッチング液供給排出手
段16の間に空気噴射ノズル41が設けられ、空気噴射
ノズル41に圧縮空気供給装置(図示せず)が接続さ
れ、圧縮空気供給装置、空気噴射ノズル45等によりプ
リント基板用板材15の表面に向けて空気を噴射する気
体噴射手段が構成されている。
ノズル41からプリント基板用板材15の表面に向けて
空気が面状に噴射されるから、噴射された空気によりプ
リント基板用板材15の表面の一部に溜った老廃液を確
実に除去することができるので、プリント基板用板材1
5の表面の回路形成用金属層をさらに均一にエッチング
することができる。
示す概略図である。図に示すように、接続管51の一端
が容器1内の下部に接続され、接続管51の他端部に複
数の供給管24が接続され、供給管24にエッチング液
供給排出体19のエッチング液供給室20が接続され、
接続管51、供給管24によりエッチング液供給室20
にエッチング液を供給するエッチング液供給手段が構成
されている。また、容器1の外部にエッチング液吸引装
置52が設けられ、エッチング液吸引装置52の吸引口
に接続管53が接続され、接続管53に複数の排出管2
7が接続され、エッチング液吸引装置52の吐出口に排
出管54の一端が接続され、排出管54の他端が容器1
内の下部に接続され、排出管27にエッチング液供給排
出体19のエッチング液排出室21が接続され、エッチ
ング液吸引装置52、接続管53、排出管27によりエ
ッチング液排出室21からエッチング液を排出するエッ
チング液排出手段が構成されている。
グ液吸引装置52を作動すると、エッチング液供給室2
0が負圧になるから、接続管51、供給管24を介して
容器1の底部に溜ったエッチング液がエッチング液供給
排出体19のエッチング液供給室20に供給され、かつ
排出管27、接続管53を介してエッチング液供給排出
体19のエッチング液排出室21からエッチング液が排
出され、排出管54を介してエッチング液が容器1内に
戻され、プリント基板用板材15の表面にエッチング液
が供給されるとともにプリント基板用板材15の表面か
らエッチング液が排出されるから、プリント基板用板材
15の表面の回路形成用金属層が選択的にエッチングさ
れ、プリント基板用板材15の表面に回路が形成され
る。
ッチング液加圧供給装置およびエッチング液吸引排出装
置を設ける代わりエッチング液吸引装置52を設けてい
るから、構成が簡単であって製造コストが安価であり、
またエッチング液加圧供給装置によるエッチング液の供
給量とエッチング液吸引排出装置によるエッチング液の
排出量との関係を考慮する必要がないから、プリント基
板用板材15のエッチング作業を容易に行なうことがで
きる。
チング板材がプリント基板用板材15である場合につい
て説明したが、被エッチング板材が半導体基板、ガラス
基板等の場合にもこの発明を適用することができる。ま
た、上述実施の形態においては、被エッチング層が回路
形成用金属層である場合について説明したが、被エッチ
ング層が他の層である場合にもこの発明を適用すること
ができる。また、上述実施の形態においては、気体噴射
手段として空気を噴射するものを用いたが、気体噴射手
段として不活性ガスを噴射するもの等を用いてもよい。
また、上述実施の形態においては、空気を面状に噴射す
る空気噴射ノズル41を用いたが、空気を線状に噴射す
る空気噴射ノズルを用いてもよい。
は、被エッチング板材の表面には常に新たなエッチング
液を供給することができるから、被エッチング板材の表
面の一部に老廃液が溜ることがないので、被エッチング
板材の表面の被エッチング層を均一にエッチングするこ
とができる。
る。
図である。
図である。
である。
図である。
である。
細図である。
Claims (2)
- 【請求項1】被エッチング板材の表面にエッチング液を
供給してエッチングを行なうエッチング装置において、
上記被エッチング板材の表面に上記エッチング液を供給
するとともに上記被エッチング板材の表面から上記エッ
チング液を排出しかつエッチング液供給室およびエッチ
ング液排出室が設けられたエッチング液供給排出体を有
するエッチング液供給排出手段が設けられたことを特徴
とするエッチング装置。 - 【請求項2】上記エッチング液供給室の両側に上記エッ
チング液排出室を設けたことを特徴とする請求項1に記
載のエッチング装置。
Priority Applications (1)
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JP29882399A JP3232070B2 (ja) | 1999-10-20 | 1999-10-20 | エッチング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29882399A JP3232070B2 (ja) | 1999-10-20 | 1999-10-20 | エッチング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001123282A JP2001123282A (ja) | 2001-05-08 |
JP3232070B2 true JP3232070B2 (ja) | 2001-11-26 |
Family
ID=17864687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29882399A Expired - Fee Related JP3232070B2 (ja) | 1999-10-20 | 1999-10-20 | エッチング装置 |
Country Status (1)
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KR101386677B1 (ko) * | 2012-10-30 | 2014-04-29 | 삼성전기주식회사 | 미세회로 제조방법 |
WO2014167682A1 (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-16 | 株式会社ケミトロン | エッチング方法及びエッチング装置 |
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-
1999
- 1999-10-20 JP JP29882399A patent/JP3232070B2/ja not_active Expired - Fee Related
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