JP3230594B2 - Position control method and apparatus for electric discharge machine - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、放電加工機の位置制御
方法及びその装置の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and a device for controlling a position of an electric discharge machine.

【０００２】[0002]

【従来の技術】放電加工機は、一般には、工具電極を設
けた上下方向移動機構（以下、加工ヘッドと称す）と、
被加工物を設けた水平方向移動機構（以下、テーブルと
称す）とを相対移動させつつ被加工物に放電加工を施す
ようになした放電加工機はすでに知られている。また、
この他に加工ヘッド側に被加工物、テーブル側に電極を
取り付けるもの、加工ヘッド部を傾斜させる装置を設け
たもの、加工ヘッド部に回転装置を設けたもの、線状あ
るいはテープ状の電極を張架して加工を行うようにした
もの等、様々なタイプの放電加工機が知られている。こ
のような放電加工機にあっては、極間状態が刻々と変化
するため、加工間隙を頻繁に拡大、縮小させて調整し、
あるいは電極のジャンプ運動によって加工屑の排除を行
う等して極間を良好に維持されることが要求される。そ
して、この種の放電加工機にあっては、最近、加工精度
の向上が強く望まれていることから高い精度で迅速、且
つ正確な位置制御が望まれている。そして、その位置制
御にはパルスモータを使用したオープンループ制御方
式、ＡＣ或いはＤＣモータとロータリエンコーダを用い
てその出力をフィードバックさせるセミクローズドルー
プ制御方式、もしくはＡＣ或はＤＣモータとリニアスケ
ールを用いて行うクローズドループ制御方式等が採用さ
れている。2. Description of the Related Art Generally, an electric discharge machine includes a vertical moving mechanism (hereinafter, referred to as a machining head) provided with a tool electrode.
2. Description of the Related Art There is already known an electric discharge machine which performs an electric discharge machining on a workpiece while relatively moving a horizontal moving mechanism (hereinafter, referred to as a table) provided with the workpiece. Also,
In addition to this, a workpiece to be processed on the processing head side, an electrode attached to the table side, a device provided with a device for tilting the processing head portion, a device provided with a rotating device on the processing head portion, a linear or tape-shaped electrode Various types of electric discharge machines are known, such as ones that are stretched to perform machining. In such an electric discharge machine, since the gap between the electrodes changes every moment, the machining gap is frequently expanded and contracted to adjust.
Alternatively, it is required that the gap between the electrodes be maintained well by removing work chips by a jumping movement of the electrode. In recent years, with regard to this type of electric discharge machine, there has been a strong demand for improvement in machining accuracy, so that quick and accurate position control with high accuracy has been desired. The position control is performed using an open loop control method using a pulse motor, a semi-closed loop control method using an AC or DC motor and a rotary encoder to feed back its output, or using an AC or DC motor and a linear scale. For example, a closed loop control method or the like is used.

【０００３】図６は、従来の位置制御方法の一例を示す
図である。図示例にあっては放電加工機として形彫放電
加工機を示し、この放電加工機２は、工具電極４を下端
部に設けた加工ヘッド６を有しており、Ｘ軸テーブル８
及びＹ軸テーブル１０上に設けられた被加工物１２との
間で相対移動をさせつつ放電加工用電源部１４から極間
に所定の電圧を印加して、放電加工を行なうようになっ
ている。上記加工ヘッド６の上下動はモータ１６により
行なわれ、このモータ１６の位置は、ロータリエンコー
ダ１８により検出されてその検出値はコントロール部２
０へ入力されている。FIG. 6 is a diagram showing an example of a conventional position control method. In the illustrated example, a die sinking electric discharge machine is shown as an electric discharge machine, and this electric discharge machine 2 has a machining head 6 provided with a tool electrode 4 at a lower end portion, and an X-axis table 8.
The electric discharge machining is performed by applying a predetermined voltage between the electrodes from the electric discharge machining power supply unit 14 while relatively moving the workpiece with the workpiece 12 provided on the Y-axis table 10. . The vertical movement of the processing head 6 is performed by a motor 16, and the position of the motor 16 is detected by a rotary encoder 18 and the detected value is transmitted to the control unit 2.
0 has been entered.

【０００４】一方、移動指令部２２からは、マニュアル
により或いはプログラムにより自動的に所望の距離の移
動指令が出力され、電極送り制御部２４においては、上
記移動指令と極間状態検出器２６からの出力結果（一般
に、サーボ指令信号という）に基づいて上記コントロー
ル部２０へ単位移動量の指令を出力する。そして、この
指令に基づいてコントロール部２０は、上記ロータリエ
ンコーダ１８からのフィードバック信号を受けつつ上記
モータ１６の位置、すなわち加工ヘッド６の位置をフィ
ードバック制御することになる。また、上記ロータリエ
ンコーダ１８に代えて加工ヘッド６の位置を検出するリ
ニアスケール（図示せず）を使用する場合には、この出
力を前記と同様にコントロール部２０へフィードバック
するようになっている。On the other hand, a movement command for a desired distance is output from the movement command unit 22 manually or automatically by a program, and the electrode feed control unit 24 detects the movement command and the gap state detection. Output from the unit 26 (general
(Referred to as a servo command signal) . Then, based on this command, the control unit 20 performs feedback control of the position of the motor 16, that is, the position of the processing head 6 while receiving a feedback signal from the rotary encoder 18. When a linear scale (not shown) for detecting the position of the processing head 6 is used instead of the rotary encoder 18, this output is fed back to the control unit 20 in the same manner as described above.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、通常の放電
加工機においては、加工精度は勿論であるが、特に前述
したように加工間隙を逐次速やかに調整し、加工状態を
安定に維持する必要があるため、高い制御応答性が要求
されることから、ロータリエンコーダを使用したセミク
ローズドループ方式が採用される傾向にあり、また、あ
まり移動の速さ、すなわち応答性を要求されない機種の
加工装置にあってはリニアスケールを使用したクローズ
ドループ方式が採用される傾向にあった。しかしなが
ら、上記したような位置制御方式には、それぞれ次のよ
うな問題点があった。すなわち、モータ回転角等から間
接的に位置を検出するようになしたロータリエンコーダ
を用いた方式にあっては、ボールネジ等のねじれやガタ
等により、十分な位置決め精度が得られず、移動指令に
基づいて移動した点においてロータリエンコーダが適切
であると認識した位置と実際の位置との間の誤差が大き
いため、高い位置決め精度を要求される機種には対応す
ることができない。By the way, in the ordinary electric discharge machine, not only the machining accuracy but also it is necessary to adjust the machining gap one by one as soon as possible and to maintain the machining state stably, as described above. Because of this, high control responsiveness is required.Therefore, a semi-closed loop system using a rotary encoder tends to be used.Moreover, the speed of movement, that is, a machining device of a model that does not require responsiveness is often used. There was a tendency for a closed loop system using a linear scale to be adopted. However, each of the above-described position control methods has the following problems. In other words, in the method using a rotary encoder in which the position is indirectly detected from the motor rotation angle or the like, sufficient positioning accuracy cannot be obtained due to torsion or play of a ball screw or the like, and a movement command is issued. Since the error between the actual position and the position at which the rotary encoder is determined to be appropriate at the point where the rotary encoder is moved is large, it is not possible to cope with a model requiring high positioning accuracy.

【０００６】また、リニアスケールを用いた方式にあっ
ては、検出される値の信頼性は高いが機械系の応答性が
低いため、加工ヘッド或いはテーブルが移動している最
中においては、位置を検出し、モータを制御してから機
械が動くまでに時間がかかりすぎ、その遅れのために迅
速且つ速やかに位置決め制御を行なうことができない。
特に、工具電極と被加工物との間の放電状態により上記
工具電極と被加工物とを頻繁に相対移動させる、いわゆ
るサーボ運動、或いは加工屑の排出を行なうためのジャ
ンプ運動等を行なう放電加工機においては、実際の加工
ヘッド或いはテーブルの実際の移動に対して十分な位置
制御を行いにくい。この時、制御系のゲインを上げて
も、振動を発生する場合があり、満足な制御を行えな
い。そこで、本出願人は、先の出願（特願平２−２０３
３８号）にて、テーブルが動作中はロータリエンコーダ
を使用し、テーブルの停止時はリニアスケールを使用し
てテーブルの位置を正確に決定するようになした位置制
御方式を開示した。すなわち、テーブルが停止位置に接
近したときにスイッチングコントローラによりスイッチ
を切り替えて、ロータリエンコーダの制御系からリニア
スケールの制御系に変更するようにしたものであり、こ
れによりロータリエンコーダを用いた制御方式の高い制
御応答性と、リニアスケールを用いた制御方式の高い信
頼性とを利用して、放電加工機のように頻繁な移動と的
確な位置決めが要求される機械装置の位置制御を迅速に
且つ精度良く行なうようにしたものである。In the method using the linear scale, the reliability of the detected value is high, but the response of the mechanical system is low. , And it takes too much time from when the motor is controlled to when the machine starts to move, and because of the delay, positioning control cannot be performed quickly and promptly.
In particular, electric discharge machining in which a so-called servo motion for frequently moving the tool electrode and the workpiece relative to each other depending on a discharge state between the tool electrode and the workpiece, or a jump motion for discharging machining chips, or the like. In the machine, it is difficult to perform sufficient position control on the actual movement of the actual processing head or table. At this time, even if the gain of the control system is increased, vibration may occur, and satisfactory control cannot be performed. Therefore, the present applicant has filed a prior application (Japanese Patent Application No. 2-203).
No. 38) disclosed a position control method that uses a rotary encoder while the table is operating, and uses a linear scale when the table is stopped to accurately determine the position of the table. That is, when the table approaches the stop position, the switch is switched by the switching controller to change from the control system of the rotary encoder to the control system of the linear scale, whereby the control method using the rotary encoder is performed. Utilizing high control responsiveness and high reliability of the control method using linear scale, quick and accurate position control of machinery that requires frequent movements and accurate positioning such as EDM It is something that we do well.

【０００７】しかしながら、この種の位置制御方式にあ
っては、一応加工ヘッド或いはテーブルの移動中、特定
の周期毎にロータリエンコーダにより常時位置が検出さ
れて、その検出値をもとに位置決め制御を行なって補正
しているが、前述のようにそれが補正されてもその補正
値の信頼性が低い。そのため、最終的には停止時のリニ
アスケールの検出値に基づく位置制御に頼らざるを得な
い。その結果、最終的な停止位置の誤差が大きくなる事
態がしばしば発生し、停止位置を修正するための動作が
大きくなる場合が生じた。従って、行き過ぎ等が生じた
場合には、たとえ行き過ぎ量を戻して修正したとして
も、その分だけ余分に加工されて加工誤差を生じること
になり、前記した問題点を解決するには十分であるとい
うことができない。本発明は、以上のような問題点に着
目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。
本発明の目的は、テーブル或いは加工ヘッドの移動中に
おいても高い制御応答性と位置決め精度を得られる位置
制御方法及びその装置を提供することにある。However, in this type of position control system, during the movement of the processing head or the table, the position is always detected by the rotary encoder at every specific period, and the positioning control is performed based on the detected value. Although the correction is performed in a row, even if the correction is performed as described above, the reliability of the correction value is low. Therefore, ultimately, it is necessary to rely on position control based on the detected value of the linear scale at the time of stop. As a result, a situation in which the error of the final stop position often increases, and the operation for correcting the stop position increases in some cases. Therefore, in the case where overshoot or the like occurs, even if the overshoot amount is returned and corrected, the excess machining is performed by that amount and a machining error occurs, which is sufficient to solve the above-described problem. I can't say that. The present invention has been devised in view of the above problems and effectively solving them.
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a position control method and a position control method capable of obtaining high control responsiveness and positioning accuracy even during movement of a table or a processing head.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本出願の第１発明は、加工ヘッド（６）もしくは
テーブル（８），（１０）を移動制御して工具電極
（４）と被加工物（１２）とを相対移動させつつ放電加
工を行なう放電加工機の位置制御方法において、移動指
令（Ｄ１）と極間の状態に応じた検出値（Ｄ２）とから
単位移動指令（Ｄ３）を出力するステップと、単位移動
指令（Ｄ３）に基づき単位移動量（Ｍ）を計数し現在ま
での移動総量（ｍ１）を得るステップと、単位移動指令
（Ｄ３）に基づいてモータ（１６）を駆動するステップ
と、モータ（１６）の回転数や回転位置を検出すること
により加工ヘッド（６）もしくはテーブル（８），（１
０）の位置を間接的に得るロータリエンコーダ（１８）
の検出値（Ｄ５）および加工ヘッド（６）もしくはテー
ブル（８），（１０）の位置を直接的に得るリニアスケ
ール（１９）の検出値（Ｄ６）を取得するステップと、
現在までの移動総量（ｍ１）とロータリエンコーダ（１
８）の検出値（Ｄ５）との誤差（Ｃ）があるときは、誤
差（Ｃ）がなくなるようにモータ（１６）を駆動するス
テップと、現在までの移動総量（ｍ１）とロータリエン
コーダ（１８）の検出値との誤差（Ｃ）がないときは、
ロータリエンコーダ（１８）の検出値（Ｄ５）とリニア
スケール（１９）の検出値（Ｄ６）との差から得られる
移動補正値（Ｄ８）を取得してモータ（１６）を駆動す
るステップとを含んで構成したものである。本出願の第
２発明は、モータ（１６）を駆動して加工ヘッド（６）
もしくはテーブル（８），（１０）を移動制御する放電
加工機の位置制御装置において、所望の移動指令（Ｄ
１）を出力する移動指令部（２２）と、極間の状態に応
じた検出値（Ｄ２）を出力する極間状態検出器（２６）
と、所望の移動指令（Ｄ１）と極間の状態に応じた検出
値（Ｄ２）とを入力して単位移動指令（Ｄ３）を出力す
る電極送り制御部（２４）と、モータ（１６）の回転数
や回転位置を検出することにより加工ヘッド（６）もし
くはテーブル（８），（１０）の位置を間接的に得て検
出値（Ｄ５）を出力するロータリエンコーダ（１８）
と、加工ヘッド（６）もしくはテーブル（８），（１
０）の位置を直接的に得て検出値（Ｄ６）を出力するリ
ニアスケール（１９）と、ロータリエンコーダの検出値
（Ｄ５）とリニ アスケール（１９）の検出値（Ｄ６）と
の差から移動補正値（Ｄ８）を得て出力する補正部（３
２）と、電極送り制御部（２４）から単位移動量（Ｍ）
を計数したカウント値（ｎ）を取得するとともにロータ
リエンコーダから検出値（Ｄ５）を取得して現在までの
移動総量（ｍ１）とロータリエンコーダ（１８）の検出
値（Ｄ５）との誤差（Ｃ）があるときは、誤差（Ｃ）が
なくなるようにモータ（１６）を駆動し、現在までの移
動総量（ｍ１）とロータリエンコーダ（１８）の検出値
との誤差（Ｃ）がないときは、補正部（３２）から移動
補正値（Ｄ８）を取得してモータ（１６）を駆動するコ
ントロール部（２０）と、を含んでなる構成としたもの
である。 Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, a first invention of the present application provides a processing head (6) or
Tables (8) and (10) are moved to control the tool electrode
(4) and the workpiece (12) are relatively
In a position control method for an electric discharge machine,
Command (D1) and the detection value (D2) according to the state between the poles
A step of outputting a unit movement command (D3);
The unit movement amount (M) is counted based on the command (D3)
For obtaining the total amount of movement (m1) in the unit, and a unit movement command
Driving the motor (16) based on (D3)
And detecting the rotation speed and rotation position of the motor (16)
Processing head (6) or table (8), (1
Rotary encoder (18) for indirectly obtaining the position of 0)
Value (D5) and machining head (6) or tape
Linear scale to obtain the positions of the bulls (8) and (10) directly
Obtaining a detection value (D6) of the rule (19);
The total movement amount (m1) up to now and the rotary encoder (1
If there is an error (C) from the detection value (D5) of 8),
A switch for driving the motor (16) so that the difference (C) disappears.
Tep, total moving amount (m1) to date and rotary end
When there is no error (C) from the detected value of the coder (18),
Detection value (D5) of rotary encoder (18) and linear
Obtained from the difference from the detected value (D6) of the scale (19)
Acquire the movement correction value (D8) and drive the motor (16)
And the following steps. A second invention of the present application is to drive a motor (16) to drive a processing head (6).
Alternatively, discharge for moving and controlling the tables (8) and (10)
In the position control device of the processing machine, a desired movement command (D
A movement command unit (22) that outputs 1) and
Gap state detector (26) that outputs the same detected value (D2)
And detection according to a desired movement command (D1) and a state between gaps
Input value (D2) and output unit movement command (D3)
Electrode feed control unit (24) and rotation speed of motor (16)
The processing head (6)
Indirectly obtain and inspect the positions of tables (8) and (10).
Rotary encoder (18) that outputs output value (D5)
And the processing head (6) or table (8), (1
0) to directly obtain the position and output the detection value (D6).
Near scale (19) and detection value of rotary encoder
(D5) and linear A detection value of the scale (19) and (D6)
The correction unit (3) that obtains and outputs the movement correction value (D8) from the difference
2) and the unit movement amount (M) from the electrode feed control unit (24)
To obtain the count value (n)
Obtain the detection value (D5) from the re-encoder and
Detection of total movement amount (m1) and rotary encoder (18)
When there is an error (C) from the value (D5), the error (C) is
The motor (16) is driven so that
Dynamic total amount (m1) and detected value of rotary encoder (18)
When there is no error (C) from the correction unit (32), move from the correction unit (32).
A command for acquiring the correction value (D8) and driving the motor (16)
And a control section (20).
It is.

【０００９】[0009]

【作用】本発明は、以上のように構成したので、基本的
に移動指令部から送られた移動指令値に基づいてコント
ロール部はモータの駆動を制御する。この移動指令値と
極間状態検出器からの検出値（サーボ指令信号）とに基
づく単位移動指令毎にロータリエンコーダの検出結果に
より誤差の修正が行われて、この点に関しては従来と同
様なフィードバック制御が行なわれる。これに加えて、
単位移動指令毎にロータリエンコーダの検出値とリニア
スケールの検出値とが比較部にて比較される。つまり基
本的には、ロータリエンコーダの検出結果により誤差の
修正が行なわれ、かつ比較部において誤差が生じている
場合には、リニアスケールの検出値に合致するようにロ
ータリエンコーダの検出値を補正するように補正部にて
移動補正値を求め、この移動補正値に基づいてコントロ
ール部は位置制御を行なう。これにより、移動中には制
御応答性の高いロータリエンコーダを用いた方式の検出
値を基準に位置制御を行ないながら、信頼性の高いリニ
アスケールを用いた方式の検出結果に補正を加える動作
を行なうので、移動中においても高い制御応答性を維持
しながら信頼性の高い位置の制御を行なうことができ
る。According to the present invention, the control unit basically controls the driving of the motor based on the movement command value sent from the movement command unit. This movement command value and
Based on the detection value (servo command signal) from the gap condition detector
The error is corrected based on the detection result of the rotary encoder for each subsequent unit movement command, and in this regard, feedback control similar to the related art is performed. In addition to this,
The detected value and the detected value of the linear scale of the rotary encoder are compared by the comparing section for each unit movement command. That is,
Basically, the error is detected by the detection result of the rotary encoder.
If the correction is performed and an error occurs in the comparison unit, the correction unit corrects the movement correction value to correct the detection value of the rotary encoder so as to match the detection value of the linear scale. The control unit performs position control based on the obtained movement correction value. Thereby, while moving, while performing position control based on the detection value of the method using the rotary encoder having high control response, an operation of correcting the detection result of the method using the highly reliable linear scale is performed. Therefore, highly reliable position control can be performed while maintaining high control response even during movement.

【００１０】[0010]

【実施例】以下に、本発明に係る放電加工機の位置制御
方法及びその装置の一実施例を添付図面に基づいて詳述
する。図１は、本発明に係る放電加工機の位置制御装置
を示す構成図である。図示例における放電加工機は、形
彫放電加工機を示し、加工ヘッドの位置をロータリエン
コーダとリニアスケールにより検出して位置制御を行な
うものである。尚、図６に示す従来装置と同一部分につ
いては同一符号を付す。図示するように、この放電加工
機２は、工具電極４を下端部に設けた加工ヘッド６を有
しており、この下方にはＸ軸テーブル８及びＹ軸テーブ
ル１０が設けられている。そして、このテーブル上には
加工槽（図示せず）内に取付け固定された被加工物１２
が設けられており、この被加工物１２と上記工具電極４
とを相対移動させつつ放電加工用電源部１４から極間に
所定の電圧を印加して、これらの間で放電させて被加工
物１２に放電加工を施すようになっている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a position control method and apparatus for an electric discharge machine according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing a position control device of an electric discharge machine according to the present invention. The electric discharge machine in the illustrated example is a die sinking electric discharge machine, which performs position control by detecting the position of a machining head with a rotary encoder and a linear scale. The same parts as those of the conventional device shown in FIG. As shown in the figure, the electric discharge machine 2 has a machining head 6 provided with a tool electrode 4 at a lower end, and an X-axis table 8 and a Y-axis table 10 are provided below the machining head 6. On the table, a workpiece 12 mounted and fixed in a processing tank (not shown) is provided.
The workpiece 12 and the tool electrode 4 are provided.
A predetermined voltage is applied between the poles from the electrical discharge power supply unit 14 while relatively moving the workpieces, and a discharge is performed between them to perform electrical discharge machining on the workpiece 12.

【００１１】上記加工ヘッド６には、ボールネジ等を介
してＡＣ或いはＤＣモータ、パルスモータ、超音波モー
タ等のモータ１６が連結されており、このモータ１６を
回転駆動することにより上記加工ヘッド６を上下動し得
るように構成されている。このモータ１６にはロータリ
エンコーダ１８が設けられており、上記モータ１６の回
転数や回転位置を検出することにより、上記加工ヘッド
６の位置を間接的に求め得るように構成されている。ま
た、上記ボールネジの長手方向に沿ってリニアスケール
１９が設けられており、上記加工ヘッド６の位置を直接
的に求め得るように構成されている。そして、このよう
に構成された放電加工機に位置制御装置が取付けられる
ことになる。具体的には、この位置制御装置は、演算装
置やメモリ等によって構成される移動指令部２２を有し
ており、ＮＣプログラムのコードを解読した移動指令値
や機械装置に付属している入力部（ＪＯＧ）より入力さ
れた移動指令値等の所望の距離の移動指令Ｄ１を後段の
電極送り制御部２４へ向けて出力し得るように構成され
ている。A motor 16 such as an AC or DC motor, a pulse motor, or an ultrasonic motor is connected to the processing head 6 via a ball screw or the like, and the processing head 6 is driven by rotating the motor 16. It is configured to be able to move up and down. The motor 16 is provided with a rotary encoder 18 so that the position of the processing head 6 can be obtained indirectly by detecting the number of rotations and the rotational position of the motor 16. In addition, a linear scale 19 is provided along the longitudinal direction of the ball screw, so that the position of the processing head 6 can be directly obtained. Then, the position control device is attached to the electric discharge machine configured as described above. More specifically, the position control device has a movement command unit 22 composed of an arithmetic unit, a memory, and the like, a movement command value obtained by decoding a code of an NC program, and an input unit attached to a mechanical device. It is configured to be able to output a movement command D1 of a desired distance such as a movement command value input from (JOG) to the subsequent electrode feed control unit 24.

【００１２】この電極送り制御部２４は、上記移動指令
の他に、上記工具電極４と被加工物１２との間の放電状
態をモニタするために極間状態を検出する極間状態検出
器２６からの検出値Ｄ２も入力している。そして、この
電極送り制御部２４は、この検出値に基づいて極間状態
を判別し、この判別結果に対応させて単位移動指令Ｄ３
を後段のコントロール部２０へ向けて出力し得るように
構成されている。一方、上記ロータリエンコーダ１８及
びリニアスケール１９の各検出値Ｄ５、Ｄ６は、それぞ
れ上記コントロール部２０へ入力されると共に、比較部
３０へも入力されるように構成されている。この比較部
３０は、上記ロータリエンコーダ１８及びリニアスケー
ル１９からの各検出値Ｄ５、Ｄ６を比較し、その差値Ｄ
７を後段の補正部３２へ出力し得るようになされてい
る。The electrode feed control unit 24 includes a gap state detector 26 for detecting a gap state in order to monitor a discharge state between the tool electrode 4 and the workpiece 12 in addition to the movement command. Is also input. Then, the electrode feed control unit 24 determines the gap state based on the detected value, and sets the unit movement command D3 in accordance with the determination result.
Is output to the control unit 20 at the subsequent stage. On the other hand, the detection values D5 and D6 of the rotary encoder 18 and the linear scale 19 are respectively inputted to the control unit 20 and also to the comparison unit 30. The comparing unit 30 compares the detected values D5 and D6 from the rotary encoder 18 and the linear scale 19, and calculates the difference value D5.
7 can be output to the correction unit 32 at the subsequent stage.

【００１３】この補正部３２は、この差値Ｄ７に基づい
て移動補正値Ｄ８を前記コントロール部２０へ向けて出
力し得るように構成されている。そして、上記コントロ
ール部２０は、上記ロータリエンコーダ１８の検出値Ｄ
５に基づいてフィードバック制御を行なうと共に、上記
移動補正値Ｄ８に対応する量だけ更に位置の補正を行な
うように駆動信号Ｄ４をモータ１６に向けて出力し得る
ように構成されている。The correction section 32 is configured to output a movement correction value D8 to the control section 20 based on the difference value D7. The control unit 20 detects the detected value D of the rotary encoder 18.
5, and a drive signal D4 can be output to the motor 16 so as to further correct the position by an amount corresponding to the movement correction value D8.

【００１４】次に、以上のように構成された装置例に基
づいて本発明に係る位置制御方法を説明する。まず、全
体的には移動指令部２２から出力された移動指令Ｄ１に
基づいてコントロール部２０がモータ１６の駆動を制御
し、加工ヘッド６を上下移動させ、また、あるいはこの
動作と共に被加工物を水平移動させて、工具電極４によ
り被加工物１２に放電加工を施す。このときのロータリ
エンコーダ１８及びリニアスケール１９の各検出値Ｄ
５、Ｄ６は、上記コントロール部２０及び比較部３０へ
常時入力されている。また、極間状態検出器２６によ
り、工具電極４と被加工物１２との間の放電状態が常に
監視されており、その検出値Ｄ２は、常に電極送り制御
部２４へ入力されている。Next, a position control method according to the present invention will be described based on an example of the apparatus configured as described above. First, the control unit 20 controls the driving of the motor 16 based on the movement command D1 output from the movement command unit 22 as a whole, and moves the processing head 6 up and down. The workpiece 12 is horizontally moved, and the workpiece 12 is subjected to electric discharge machining by the tool electrode 4. At this time, each detection value D of the rotary encoder 18 and the linear scale 19 is obtained.
5 and D6 are always input to the control unit 20 and the comparison unit 30. In addition, the discharge state between the tool electrode 4 and the workpiece 12 is constantly monitored by the gap state detector 26, and the detected value D 2 is always input to the electrode feed control unit 24.

【００１５】このような状態において、移動指令部２２
から指令値ｍを内容とする新たな移動指令Ｄ１が出力さ
れると、電極送り制御部２４においては、図２のフロー
チャートに示すようにＳ１にて移動指令値ｍを取得す
る。この移動指令値ｍは、今までの移動を示すカウント
量ｎ×Ｍに達したか否か判断され（Ｓ２）、ＹＥＳの場
合には、次ぎの移動指令を待つ。ＮＯの場合には、Ｓ３
にて上記極間状態検出器２６からの検出値Ｄ２に基づい
て極間状態を判別する。この極間状態は、例えば過度良
好状態、平常状態及び悪化状態の３つの状態に分かれて
おり、過度良好状態は加工が良好に行なわれていること
から更に前進しても良いことを示し、平常状態は現在加
工している部分をその状態で更に加工することが必要で
あることを示し、悪化状態は工具電極を前進させすぎて
いることを示す。尚、ここでいう「過度良好」、「平
常」、「悪化」は文字通りの意味はなく、極間状態の分
別を分かりやすくしたものである。Ｓ３における判別結
果が、過度良好状態である場合には、Ｓ４においてカウ
ント量を１加え、工具電極を前進すべく単位移動量＋Ｍ
をコントロール部２０に向けて出力する（Ｓ５）。In such a state, the movement command section 22
When a new movement command D1 having the content of the command value m is output from, the electrode feed control unit 24 acquires the movement command value m in S1 as shown in the flowchart of FIG. It is determined whether or not the movement command value m has reached the count amount n × M indicating the movement so far (S2). If YES, the process waits for the next movement command. In the case of NO, S3
Then, the gap state is determined based on the detection value D2 from the gap state detector 26. The gap state is divided into three states, for example, an excessively good state, a normal state, and a deteriorated state. The excessively good state indicates that the machining can be performed well, and that the state can be further advanced. The state indicates that the part currently being processed needs to be further processed in that state, and the deteriorated state indicates that the tool electrode has been advanced too much. It should be noted that the terms “excessively good”, “normal”, and “deteriorated” have no literal meaning and are intended to make it easy to distinguish between gap states. If the result of the determination in S3 is in an excessively good state, the count is incremented by one in S4, and the unit movement amount + M is set to advance the tool electrode.
Is output to the control unit 20 (S5).

【００１６】また、Ｓ３における判別結果が、平常状態
である場合には、カウント量ｎはそのままで単位移動量
Ｍ＝０を出力するか、あるいは移動指令を出さずに次の
指令を待つ（Ｓ７）。更に、Ｓ３における判別結果が、
悪化状態である場合には、Ｓ８にてカウント量ｎを１引
いて、工具電極を後退すべく単位移動量−Ｍをコントロ
ール部２０に向けて出力する（Ｓ９）。上記操作は、カ
ウント量ｎ×Ｍが指令値ｍに達するまで繰り返し行なわ
れることになる。ここで、上記動作を具体的数値を例に
とって説明する。例えば移動指令値ｍを１０．００００
ｍｍとし、各パルス毎に単位移動量Ｍ＝０．１μｍの単
位移動指令が送られるものと仮定する。電極送り制御部
２４は、移動指令部２２より移動指令値ｍ＝１０．００
００ｍｍを内容とする移動指令を受ける（Ｓ１）。そし
て、１０．００００ｍｍの移動が完了したか否か判断さ
れる（Ｓ２）。この移動指令Ｄ１を受けた直後は、移動
が当然完了していないので極間状態検出器２６からの検
出値Ｄ２を受けて加工間隙の放電状態を判別する（Ｓ
３）。If the result of the determination in S3 is a normal state, the unit movement amount M = 0 is output while the count amount n remains unchanged, or the next command is waited without issuing a movement command (S7). ). Further, the determination result in S3 is
If the state is deteriorated, the count amount n is subtracted by one in S8, and the unit movement amount -M is output to the control unit 20 to retract the tool electrode (S9). The above operation is repeatedly performed until the count n × M reaches the command value m. Here, the above operation will be described using specific numerical values as an example. For example, if the movement command value m is 10.00000
mm, and it is assumed that a unit movement command of a unit movement amount M = 0.1 μm is sent for each pulse. The electrode feed control unit 24 sends a movement command value m = 10.00 from the movement command unit 22.
A movement command having a content of 00 mm is received (S1). Then, it is determined whether or not the movement of 10.0000 mm has been completed (S2). Immediately after receiving the movement command D1, since the movement is not naturally complete receives the detection value D 2 from the machining gap status detector 26 determines the discharge state of the machining gap (S
3).

【００１７】この判別の結果が、過度良好状態の場合に
は、カウント量ｎを１アップして０．１μｍ前進させる
ために単位移動量Ｍ＝＋０．１を内容とする単位移動指
令をコントロール部２０へ送信する（Ｓ４、Ｓ５）。ま
た、判別結果が平常状態の場合には、カウント値ｎを変
化させず、単位移動量Ｍ＝０を内容とする単位移動指令
を送信する。更に、判別結果が悪化状態の場合には、カ
ウント量ｎを１ダウンして０．１μｍ後退させるために
単位移動量Ｍ＝−０．１を内容とする単位移動指令を送
信する（Ｓ８、Ｓ９）。そして、上記処理は、１０．０
０００ｍｍの移動が完了するまで繰り返し行なわれ、１
０．００００ｍｍの移動が完了したならば、次ぎの移動
指令の入力を待つ。尚、ここでは言及しないが、勿論電
極ジャンプ動作や揺動加工動作等の制御を併せて行うこ
とができるものである。一方、ロータリエンコーダ１８
及びリニアスケール１９からの検出値Ｄ５、Ｄ６を入力
する比較部３０及び補正部３２においては、図３に示す
ような処理が行なわれる。まず、比較部３０は、ロータ
リエンコーダの検出値Ｄ５とリニアスケールの検出値Ｄ
６を取得し（Ｓ１）、これらの検出値を比較することに
より、リニアスケールの検出値Ｄ６をもとにロータリエ
ンコーダの検出値Ｄ５の誤差、すなわち補正値αを求め
る（Ｓ２）。If the result of this determination is in an excessively good state, the control unit issues a unit movement command containing a unit movement amount M = + 0.1 in order to increase the count amount n by one and move forward by 0.1 μm. 20 (S4, S5). When the result of the determination is a normal state, a unit movement command containing the unit movement amount M = 0 is transmitted without changing the count value n. Further, when the determination result is in a deteriorated state, a unit movement command containing the unit movement amount M = -0.1 is transmitted in order to reduce the count amount n by 1 and to retreat by 0.1 μm (S8, S9). ). Then, the above processing is performed at 10.0
Repeat until the movement of 000 mm is completed.
When the movement of 0.0000 mm is completed, the control waits for the input of the next movement command. Although not mentioned here, it is of course possible to control the electrode jumping operation, the swinging operation, and the like. On the other hand, the rotary encoder 18
The comparison unit 30 and the correction unit 32, which input the detection values D5 and D6 from the linear scale 19, perform the processing shown in FIG. First, the comparison unit 30 determines the detection value D5 of the rotary encoder and the detection value D of the linear scale.
6 (S1), and by comparing these detection values, an error of the detection value D5 of the rotary encoder, that is, a correction value α is obtained based on the detection value D6 of the linear scale (S2).

【００１８】そして、補正部３２においては、上記両検
出値Ｄ５、Ｄ６の値が等しくないか否かの判断がなされ
（Ｓ３）、ＮＯの場合、すなわち両検出値が等しい場合
には補正値α＝０を内容とする移動補正値Ｄ８をコント
ロール部２０に送信する（Ｓ４）。Ｓ３にてＹＥＳの場
合には、次に検出値Ｄ５は検出値Ｄ６よりも大きいか否
かが判断され（Ｓ５）、ＹＥＳの場合、すなわちロータ
リエンコーダの検出値Ｄ５の方がリニアスケールの検出
値Ｄ６より大きい場合には、実際の値よりも進んでしま
ったことを意味しているのでαだけ後退させるために補
正値−αを内容とする移動補正値Ｄ８を送信する（Ｓ
６）。また、Ｓ５にてＮＯの場合、すなわちロータリエ
ンコーダの検出値Ｄ５の方がリニアスケールの検出値Ｄ
６より小さい場合には、実際の値よりも手前にあること
を意味しているのでαだけ前進させるために補正値＋α
を内容とする移動補正値Ｄ８をコントロール部２０へ送
信する（Ｓ７）。そして、これらの処理が終了したなら
ば、再度、両位置検出器からの検出値を取得して同様な
操作を繰り返す。上述した比較補正操作は、電極送り制
御部２４及びコントロール部２０の制御とは別個に常時
行なわれており、従って、移動指令部２２からの移動命
令がなくなって電極送り制御部２４が実質的に停止状態
にある場合にも、補正制御が行なわれている。The correction unit 32 determines whether the values of the two detection values D5 and D6 are not equal (S3). If NO, that is, if the two detection values are equal, the correction value α is used. A movement correction value D8 having a content of = 0 is transmitted to the control unit 20 (S4). If YES in S3, it is next determined whether or not the detected value D5 is larger than the detected value D6 (S5). In the case of YES, that is, the detected value D5 of the rotary encoder is the detected value of the linear scale. If it is larger than D6, it means that it has advanced beyond the actual value, so that a movement correction value D8 containing the correction value -α is transmitted to retreat by α (S).
6). In the case of NO in S5, that is, the detection value D5 of the rotary encoder is larger than the detection value D of the linear scale.
If it is smaller than 6, it means that it is closer to the actual value.
Is transmitted to the control unit 20 (S7). Then, when these processes are completed, the detection values from both the position detectors are acquired again, and the same operation is repeated. The above-described comparison and correction operation is always performed separately from the control of the electrode feed control unit 24 and the control unit 20. Therefore, the movement command from the movement command unit 22 disappears, and the electrode feed control unit 24 substantially stops. Even in the stop state, the correction control is being performed.

【００１９】ここで、上記補正部３２からの移動補正値
Ｄ８、電極送り制御部２４からの単位移動指令Ｄ３、両
エンコーダ１８、１９からの各検出値Ｄ５、Ｄ６を入力
するコントロール部２０においては、図４に示すような
制御が行なわれる。基本的には、このコントロール部２
０においては、ロータリエンコーダまたはリニアスケー
ルの各検出値を得て、フィードバック制御が行なわれて
いる。まず、電極送り制御部２４より単位移動量Ｍを内
容とする単位移動指令Ｄ３を取得する（Ｓ１）。そし
て、この単位移動指令Ｄ３の内容である単位移動量Ｍが
０であるか否かが判断され（Ｓ２）、ＮＯの場合、すな
わちＭが０でなく、例えば±０．１μｍのときにはモー
タを±Ｍ相当量だけ駆動させる駆動信号Ｄ４をモータ１
６に送信し（Ｓ３）、電極を０．１μｍだけ前進、或い
は後退させる。Here, in the control unit 20 which inputs the movement correction value D8 from the correction unit 32, the unit movement command D3 from the electrode feed control unit 24, and the detection values D5 and D6 from both encoders 18 and 19, respectively. , The control as shown in FIG. 4 is performed. Basically, this control unit 2
At 0, the feedback control is performed by obtaining each detected value of the rotary encoder or the linear scale. First, a unit movement command D3 having the unit movement amount M as a content is obtained from the electrode feed control unit 24 (S1). Then, it is determined whether or not the unit movement amount M, which is the content of the unit movement command D3, is 0 (S2). In the case of NO, that is, when M is not 0, for example, when ± 0.1 μm, the motor is controlled by ± A drive signal D4 for driving by an amount corresponding to M
6 (S3) to move the electrode forward or backward by 0.1 μm.

【００２０】そして、Ｓ２にて単位移動量Ｍ＝０でＹＥ
Ｓのとき（次の単位移動指令がまだきていないタイムラ
グの状態のときを含む）、ロータリエンコーダ１８の検
出値Ｄ５を取得する（Ｓ４）。そして、現在までの工具
電極の移動総量ｍ１と上記ロータリエンコーダの検出値
Ｄ５（この場合の検出値Ｄ５は、これまでの移動値に換
算されているものである）とを比較し、修正値Ｃ（誤
差）を求める（Ｓ５）。そして、Ｓ６にてこの修正値Ｃ
が存在する場合にはまずこの修正値Ｃが０になるように
モータを駆動して工具電極を移動させる（Ｓ７）。ま
た、Ｓ６にて、ＹＥＳの場合、すなわち修正値が０の場
合には上記補正部３２からの移動補正値Ｄ８の補正値α
を取得する（Ｓ８）。尚、このコントロール部２０は、
前記送り制御部２４及び補正部３２における動作と常時
平行しながら補正量算出を行なっている。Then, in S2, YE when the unit movement amount is M = 0.
At S (including the time lag state where the next unit movement command has not yet been received), the detection value D5 of the rotary encoder 18 is acquired (S4). Then, the total movement amount m1 of the tool electrode so far is compared with the detection value D5 of the rotary encoder (the detection value D5 in this case is converted to the movement value so far), and the correction value C (Wrong
Difference) (S5). Then, in S6, the correction value C
Is present, the motor is driven to move the tool electrode so that the correction value C becomes 0 (S7). If YES in S6, that is, if the correction value is 0, the correction value α of the movement correction value D8 from the correction unit 32 is used.
Is acquired (S8). In addition, this control unit 20
The correction amount is calculated while always paralleling the operations of the feed control unit 24 and the correction unit 32.

【００２１】そして、このコントロール部２０は、上記
取得した補正値αに基づいて、この補正値±αの値だけ
工具電極を前進或いは後退させるためにモータに向けて
駆動信号Ｄ４を出力することになる（Ｓ９）。上記図４
に示す操作において、単位移動量Ｍを取得するための空
き時間中に補正値Ｃを０にするよう移動制御が行なわれ
ている。従って、通常の処理にあっては、単位移動量Ｍ
或いは修正値Ｃの量だけモータを駆動した後に（フロー
チャート上でＭ＝０、Ｃ＝０となった後）、補正部３２
より補正値αを取得してロータリエンコーダの誤差を補
正する動作が行なわれることになる。しかしながら、も
し、補正値αを取得する前に次の単位移動量Ｍがコント
ロール部２０に入ってきた場合には、フローチャートに
示されるように補正制御は無視されて単位移動量Ｍに基
づく移動制御を実行する。The control unit 20 outputs a driving signal D4 to the motor based on the acquired correction value α to move the tool electrode forward or backward by this correction value ± α. (S9). FIG. 4 above
In the operation shown in (1), movement control is performed so that the correction value C is set to 0 during the idle time for acquiring the unit movement amount M. Therefore, in normal processing, the unit movement amount M
Alternatively, after driving the motor by the amount of the correction value C (after M = 0 and C = 0 in the flowchart), the correction unit 32
The operation of acquiring the correction value α and correcting the error of the rotary encoder is performed. However, if the next unit movement amount M enters the control unit 20 before acquiring the correction value α, the correction control is ignored as shown in the flowchart, and the movement control based on the unit movement amount M is performed. Execute

【００２２】このように、本発明においては、常時ロー
タリエンコーダの検出値に基づいてサーボ制御に基づく
位置制御を行ないながら、適時単位移動指令毎にロータ
リエンコーダの検出値とリニアスケールの検出値とを比
較し、誤差が生じている場合には、リニアスケールの検
出値に合致するようにロータリエンコーダの検出値を補
正するようにしたので、工具電極の移動中に高制御応答
性のロータリエンコーダを用いた方式の検出値を基準に
して位置補正制御を行ないながら、高い信頼性のリニア
スケールを用いた方式の検出値に基づいて補正を加える
ことが可能となる。従って、工具電極の移動中において
も高応答性を維持しながら高精度に工具電極の位置の制
御を行なうことが可能となる。そして、上述のごとく単
位パルス毎に補正が行なわれるので、最終的な位置決め
で行き過ぎが生じた場合でも単位パルス前後の差しか生
じず、例えば１パルスにつき０．１μｍの送りを行なう
制御であれば、±０．１μｍ程度の補正をするだけなの
で、行き過ぎによる加工誤差も僅か±０．１μｍ前後と
なり、高い精度の位置制御を行なうことができる。As described above, in the present invention, the low
Based on servo control based on detected value of tally encoder
While performing position control, the detected value of the rotary encoder is compared with the detected value of the linear scale for each timely unit movement command, and if an error occurs, the rotary encoder is adjusted to match the detected value of the linear scale. since so as to correct the detection value, while no line position correction control based on the detection value of the method using a high control responsiveness of the rotary encoder during movement of the tool electrode, with a high reliability of the linear scale It is possible to make correction based on the detection value of the method. Therefore, it is possible to control the position of the tool electrode with high accuracy while maintaining high responsiveness even during the movement of the tool electrode. Since the correction for each as described above unit pulse is performed, or unit pulse before and after the pointing even when excessive in final positioning occurs Raw
Flip not, as long as control for example one pulse per 0.1 [mu] m of the feed, since only the correction of the order of ± 0.1 [mu] m, machining errors due to excessive becomes slightly ± 0.1 [mu] m before and after the position control of high accuracy Can do it.

【００２３】尚、前記実施例の電極送り制御部２４にお
いては、加工ヘッド６の送り制御について述べている
が、テーブルの送り制御についても同様に適用すること
ができる。すなわち、放電状態により極間状態を判別し
てこの判別値をもとに送り制御する場合には、前記電極
送り制御部２４と同様に制御する。また、放電状態と無
関係に送り制御を行なう場合には、電極送り制御部はな
くなり、移動指令部２２からの移動指令はコントロール
部２０へ直接送られることになる。また、前記実施例に
あっては、形彫放電加工機を例にとって説明したが、こ
れに限定されず、ワイヤカット放電加工機等、他の放電
加工機にも適用できる。In the electrode feed control unit 24 of the above embodiment, the feed control of the processing head 6 has been described, but the same can be applied to the table feed control. That is, when the gap state is determined based on the discharge state and the feed control is performed based on the determined value, the control is performed in the same manner as the electrode feed control unit 24. When the feed control is performed irrespective of the discharge state, the electrode feed control unit is not provided, and the movement command from the movement command unit 22 is directly sent to the control unit 20. Further, in the above-mentioned embodiment, the explanation has been made by taking the die sinking electric discharge machine as an example, but the present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to other electric discharge machines such as a wire cut electric discharge machine.

【００２４】次に、図５に基づいて本発明方法により位
置制御を行なった場合と従来方法により位置制御を行な
った場合について応答性及び位置精度について比較す
る。この実験は、分解能０．１μｍのリニアスケールを
用い周波数４Ｈ_Z 程度でサーボ振動を行ないつつ移動指
令を出力し、０．１μｍ送り制御を行ったものである。
図５（ａ）は、本発明に係る位置制御方法による結果を
示し、図５（ｂ）は、従来方法としてリニアスケールを
使用した位置制御方法の結果を示し、図５（ｃ）は、従
来方法としてロータリエンコーダを使用した位置制御方
法の結果を示す。各グラフともに曲線ａは移動指令に基
づいた曲線を示し、曲線ｂは実際の移動位置を示す。Next, the responsiveness and the positional accuracy of the case where the position control is performed by the method of the present invention and the case where the position control is performed by the conventional method will be compared with reference to FIG. This experiment, outputs the movement command while performing servo vibration at a frequency of about 4H _Z using linear scale resolution 0.1 [mu] m, in which was 0.1 [mu] m feed control.
FIG. 5A shows the result of the position control method according to the present invention, FIG. 5B shows the result of the position control method using a linear scale as a conventional method, and FIG. The result of a position control method using a rotary encoder as a method will be described. In each graph, a curve a indicates a curve based on a movement command, and a curve b indicates an actual movement position.

【００２５】図示するように、本発明方法に係る図５
（ａ）にあっては、曲線ａと曲線ｂとはほとんど差がな
く制御応答性及び位置精度ともに良好であることが判明
するが、従来方法に係る図５（ｂ）及び図５（ｃ）にあ
っては、曲線ａと曲線ｂとの間にかなりの差が生じ、制
御応答性及び位置精度においても劣っている点が判明す
る。具体的には、曲線ａと曲線ｂとの間の位置偏差は、
本発明の図５（ａ）では＋１〜−１μｍ、図５（ｂ）で
は＋５〜−５μｍ、図５（ｃ）では、＋１〜−３μｍと
なり、本発明方法による結果が、格段に優れていること
が判明した。As shown, FIG.
In (a), the curve a and the curve b have almost no difference, and it is clear that both the control response and the position accuracy are good, but FIGS. 5B and 5C according to the conventional method. In this case, it is found that there is a considerable difference between the curve a and the curve b, and the control response and the positional accuracy are inferior. Specifically, the position deviation between curve a and curve b is
5 (a) of the present invention is +1 to -1 [mu] m, FIG. 5 (b) is +5 to -5 [mu] m, and FIG. 5 (c) is +1 to -3 [mu] m. It has been found.

【００２６】[0026]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば次
ぎのような優れた作用効果を発揮することができる。高
応答性のロータリエンコーダの検出値を基準に位置制御
を行いながら、高精度のリニアスケールの検出値により
補正を加える動作を行なうので、加工ヘッド又はテーブ
ルが移動中においても、高い制御応答性を維持しながら
高精度な位置制御を行なうことができる。As described above, according to the present invention, the following excellent functions and effects can be exhibited. While performing position control based on the detection value of the high-response rotary encoder, it performs the operation of correcting with the detection value of the high-precision linear scale, so high control response can be achieved even when the machining head or table is moving. High-precision position control can be performed while maintaining.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に係る放電加工機の位置制御装置を示す
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing a position control device of an electric discharge machine according to the present invention.

【図２】電極送り制御部の動作を示すフローチャートで
ある。FIG. 2 is a flowchart illustrating an operation of an electrode feed control unit.

【図３】比較部及び補正部の動作を示すフローチャート
である。FIG. 3 is a flowchart illustrating operations of a comparison unit and a correction unit.

【図４】コントロール部の動作を示すフローチャートで
ある。FIG. 4 is a flowchart illustrating an operation of a control unit.

【図５】本発明に係る位置制御方法と従来の位置制御方
法の比較結果を説明するグラフである。FIG. 5 is a graph illustrating a comparison result between a position control method according to the present invention and a conventional position control method.

【図６】従来の放電加工機の位置制御装置を示す構成図
である。FIG. 6 is a configuration diagram showing a conventional position control device of an electric discharge machine.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２ 放電加工機 ４ 工具電極 ６ 加工ヘッド ８ Ｘ軸テーブル １０ Ｙ軸テーブル １２ 被加工物 １４ 放電加工用電源部 １６ モータ １８ ロータリエンコーダ １９ リニアスケール ２０ コントロール部 ２２ 移動指令部 ２４ 電極送り制御部 ２６ 極間状態検出部 ３０ 比較部 ３２ 補正部 Ｄ１ 移動指令 Ｄ２，Ｄ５，Ｄ６ 検出値 Ｄ３ 単位移動指令 Ｄ４ 駆動信号 Ｄ８ 移動補正値 2 Electric discharge machine 4 Tool electrode 6 Machining head 8 X-axis table 10 Y-axis table 12 Workpiece 14 Power supply unit for electric discharge machining 16 Motor 18 Rotary encoder 19 Linear scale 20 Control unit 22 Movement command unit 24 Electrode feed control unit 26 pole Inter-state detection unit 30 Comparison unit 32 Correction unit D1 Movement command D2, D5, D6 Detection value D3 Unit movement command D4 Drive signal D8 Movement correction value

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 朱 鴻治 神奈川県横浜市緑区仲町台３丁目12番１ 号 株式会社ソディック 技術・研修セ ンター内 (56)参考文献 特開 昭56−52132（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−224013（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−4321（ＪＰ，Ａ) 特公 昭41−20205（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23H 7/20 B23H 7/26 B23Q 15/06 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kouji Zhu 3-12-1, Nakamachidai, Midori-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Prefecture Sodick Technical and Training Center (56) References JP-A-56-52132 (JP, A) JP-A-3-224013 (JP, A) JP-A-58-4321 (JP, A) JP-B-41-20205 (JP, B1) (58) Fields investigated (Int. Cl. ⁷ , DB name) ) B23H 7/20 B23H 7/26 B23Q 15/06

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 加工ヘッドもしくはテーブルを移動制御
して工具電極と被加工物とを相対移動させつつ放電加工
を行なう放電加工機の位置制御方法において、 移動指令と極間の状態に応じた検出値とから単位移動指
令を出力するステップと、 前記単位移動指令に基づき単位移動量を計数し現在まで
の移動総量を得るステップと、 前記単位移動指令に基づいてモータを駆動するステップ
と、 前記モータの回転数や回転位置を検出することにより前
記加工ヘッドもしくはテーブルの位置を間接的に得るロ
ータリエンコーダの検出値および加工ヘッドもしくはテ
ーブルの位置を直接的に得るリニアスケールの検出値を
取得するステップと、 前記現在までの移動総量と前記ロータリエンコーダの検
出値との誤差があるときは、前記誤差がなくなるように
前記モータを駆動するステップと、 前記現在までの移動総量と前記ロータリエンコーダの検
出値との誤差がないときは、前記ロータリエンコーダの
検出値と前記リニアスケールの検出値との差から得られ
る移動補正値を取得して前記モータを駆動する駆動信号
を出力するステップと、 を含んでなる 放電加工機の位置制御方法。1. A movement control of a processing head or a table.
In a position control method of an electric discharge machine that performs electric discharge machining while relatively moving a tool electrode and a workpiece, a unit moving finger is determined from a movement command and a detection value corresponding to a state between gaps.
And a unit movement amount is counted based on the unit movement command, and until now.
Obtaining the total amount of movement of the motor, and driving the motor based on the unit movement command
If, before by detecting the rotational speed and rotational position of the motor
To obtain the position of the machining head or table indirectly.
Value of the rotary encoder and the processing head or
The linear scale detection value that directly obtains the position of the cable
Acquiring, and detecting the total amount of movement up to now and the rotary encoder.
If there is an error with the output value,
Driving the motor, detecting the total movement amount up to the present and the rotary encoder.
When there is no error with the output value, the rotary encoder
Obtained from the difference between the detection value and the detection value of the linear scale
A drive signal for acquiring the movement correction value and driving the motor.
And a position control method for an electric discharge machine. 【請求項２】 モータを駆動して加工ヘッドもしくはテ
ーブルを移動制御する放電加工機の位置制御装置におい
て、所望の移動指令を出力する移動指令部と、 極間の状態に応じた検出値を出力する極間状態検出器
と、 前記所望の移動指令と前記極間の状態に応じた検出値と
を入力して単位移動指令を出力する電極送り 制御部と、前記モータの回転数や回転位置を検出することにより前
記加工ヘッドもしくはテーブルの位置を間接的に得て検
出値を出力する ロータリエンコーダと、前記加工ヘッドもしくはテーブルの位置を直接的に得て
検出値を出力する リニアスケールと、前記ロータリエンコーダの検出値と前記リニアスケール
の検出値との差から移動補正値を得て出力する 補正部
と、前記電極送り制御部から単位移動量を計数したカウント
値を取得するとともに前記ロータリエンコーダから検出
値を取得して現在までの移動総量と前記ロータリエンコ
ーダの検出値との誤差があるときは、前記誤差がなくな
るように前記モータを駆動し、現在までの移動総量と前
記ロータリエンコーダの検出値との誤差がないときは、
前記補正部から前記移動補正値を取得して前記モータを
駆動する コントロール部と、を含んでなる 放電加工機の位置制御装置。2. A machining head or a table by driving a motor.
In a position control device of an electric discharge machine for controlling movement of a cable, a movement command section for outputting a desired movement command and a gap state detector for outputting a detection value according to a gap state.
And the detection value according to the desired movement command and the state between the gaps
Enter the electrode feed control unit for outputting a unit movement command and before by detecting the rotational speed and rotational position of the motor
The position of the machining head or table is obtained indirectly for inspection.
A rotary encoder that outputs an output value, and directly obtains the position of the machining head or table.
A linear scale that outputs a detection value, a detection value of the rotary encoder, and the linear scale
And a correction unit that obtains and outputs a movement correction value from the difference between the detected value and a count obtained by counting a unit movement amount from the electrode feed control unit.
Acquire the value and detect from the rotary encoder
Obtain the value and calculate the total amount of movement up to now and the rotary encoder.
If there is an error with the detected value of the
Drive the motor so that the total amount of movement up to the present
If there is no error with the detected value of the rotary encoder,
The movement correction value is obtained from the correction unit and the motor is controlled.
A position control device for an electric discharge machine, comprising: a control unit to be driven .