JP3222652B2 - 半導体発光装置 - Google Patents
半導体発光装置Info
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- JP3222652B2 JP3222652B2 JP22536293A JP22536293A JP3222652B2 JP 3222652 B2 JP3222652 B2 JP 3222652B2 JP 22536293 A JP22536293 A JP 22536293A JP 22536293 A JP22536293 A JP 22536293A JP 3222652 B2 JP3222652 B2 JP 3222652B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、化合物半導体材料を用
いた半導体発光装置に係わり、特に基板の面方位を利用
して電流狭窄を行った半導体発光装置に関する。
いた半導体発光装置に係わり、特に基板の面方位を利用
して電流狭窄を行った半導体発光装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、青色の発光素子材料として、Zn
Se,ZnCdSe,ZnSSeなどのII−VI族化合物
半導体が注目されている。図8に、この種の化合物半導
体材料を用いた青色レーザの構造の一例を示す(M.A.Ha
sse, Appl.phys,Letter No.59p1272(1991) )。
Se,ZnCdSe,ZnSSeなどのII−VI族化合物
半導体が注目されている。図8に、この種の化合物半導
体材料を用いた青色レーザの構造の一例を示す(M.A.Ha
sse, Appl.phys,Letter No.59p1272(1991) )。
【0003】図8において、81はn−GaAs基板で
あり、この基板81上にはn−GaAsバッファ層8
2,n−ZnSe層83,n−ZnSSeクラッド層8
4,n−ZnSeガイド層85,CdZnSe量子井戸
活性層86,p−ZnSeガイド層87,p−ZnSS
eクラッド層88及びp−ZnSe層89が順次成長形
成されている。p−ZnSe層89上には、ストライプ
状の開口部を有するポリイミド膜90を介してAuを蒸
着することにより、ストライプ状のAu電極91が被着
されている。そして、n−GaAs基板81の裏面には
In電極80が形成されている。
あり、この基板81上にはn−GaAsバッファ層8
2,n−ZnSe層83,n−ZnSSeクラッド層8
4,n−ZnSeガイド層85,CdZnSe量子井戸
活性層86,p−ZnSeガイド層87,p−ZnSS
eクラッド層88及びp−ZnSe層89が順次成長形
成されている。p−ZnSe層89上には、ストライプ
状の開口部を有するポリイミド膜90を介してAuを蒸
着することにより、ストライプ状のAu電極91が被着
されている。そして、n−GaAs基板81の裏面には
In電極80が形成されている。
【0004】このようなレーザ構造においては、Au電
極91から電流を注入することにより、77Kにおいて
連続レーザ発振が得られる。しかし、Au電極91から
注入された電流が、p−ZnSe層89,p−ZnSS
eクラッド層88及びp−ZnSeガイド層87で拡散
されてしまい、電流を十分に狭窄できないという問題が
ある。この問題は、レーザ発振のしきい値電流を上昇さ
せ、また室温以上での動作を困難ならしめる。なお、発
振しきい値電流を低減させることは、動作電流の低減や
寿命特性の向上等の観点から非常に重要なことである。
極91から電流を注入することにより、77Kにおいて
連続レーザ発振が得られる。しかし、Au電極91から
注入された電流が、p−ZnSe層89,p−ZnSS
eクラッド層88及びp−ZnSeガイド層87で拡散
されてしまい、電流を十分に狭窄できないという問題が
ある。この問題は、レーザ発振のしきい値電流を上昇さ
せ、また室温以上での動作を困難ならしめる。なお、発
振しきい値電流を低減させることは、動作電流の低減や
寿命特性の向上等の観点から非常に重要なことである。
【0005】この問題を解決するために、例えばGaA
lAsなどの III−V族化合物半導体を用いたレーザに
おいては、p−クラッド層にリッジを形成し、その上に
n型層を再成長して電流狭窄のための構造を形成し、電
流の狭窄を実現している。しかしながら、II−VI族化合
物半導体を用いたレーザにおいては、リッジを形成する
プロセスが確立されていないこと、またリッジ上への再
成長が困難であることから、 III−V族化合物半導体レ
ーザで用いられているような電流狭窄のための構造を作
成することは困難である。
lAsなどの III−V族化合物半導体を用いたレーザに
おいては、p−クラッド層にリッジを形成し、その上に
n型層を再成長して電流狭窄のための構造を形成し、電
流の狭窄を実現している。しかしながら、II−VI族化合
物半導体を用いたレーザにおいては、リッジを形成する
プロセスが確立されていないこと、またリッジ上への再
成長が困難であることから、 III−V族化合物半導体レ
ーザで用いられているような電流狭窄のための構造を作
成することは困難である。
【0006】また、図8に示したレーザ構造において
は、動作電圧が高く、実用的な半導体レーザとして不可
欠な室温での連続発振やLEDの高発光効率はこれまで
実現されていなかった。II−VI族化合物半導体を用いた
半導体発光装置で動作電圧が著しく高い要因は、以下に
述べるように従来の III−V族半導体では問題とならな
かったZnSeなどワイドギャップII−VI族半導体を用
いた発光素子に特有の問題があるためである。即ち、p
型ZnSeなど特にp型の導電型を有するものに対し、
金属電極や他の半導体とのヘテロ接合を介して電流注入
を行う場合、大きな電圧降下を強いられるということで
ある。
は、動作電圧が高く、実用的な半導体レーザとして不可
欠な室温での連続発振やLEDの高発光効率はこれまで
実現されていなかった。II−VI族化合物半導体を用いた
半導体発光装置で動作電圧が著しく高い要因は、以下に
述べるように従来の III−V族半導体では問題とならな
かったZnSeなどワイドギャップII−VI族半導体を用
いた発光素子に特有の問題があるためである。即ち、p
型ZnSeなど特にp型の導電型を有するものに対し、
金属電極や他の半導体とのヘテロ接合を介して電流注入
を行う場合、大きな電圧降下を強いられるということで
ある。
【0007】これは、図9(a)(b)に示すように、
金属とのショットキーバリアや他の半導体とのヘテロバ
リアが大きくなってしまうというZnSeなどワイドギ
ャップII−VI族化合物半導体に本質的な問題である。特
に、p−GaAs基板上にp−ZnSeを直接形成した
場合には、図9(b)に示すようにヘテロバリアが大き
くなり、大きな電圧降下を生じていた。このようなヘテ
ロバリアを低減するために、図9(c)に示すようにG
aAsとZnSeの中間的なバンドギャップを持つIn
GaP層などを用いることが提案されているが(特願平
4−16258号)、InGaPとZnSeの各々のキ
ャリア濃度がヘテロバリアにどのような影響を与えるか
について検討されていなかった。
金属とのショットキーバリアや他の半導体とのヘテロバ
リアが大きくなってしまうというZnSeなどワイドギ
ャップII−VI族化合物半導体に本質的な問題である。特
に、p−GaAs基板上にp−ZnSeを直接形成した
場合には、図9(b)に示すようにヘテロバリアが大き
くなり、大きな電圧降下を生じていた。このようなヘテ
ロバリアを低減するために、図9(c)に示すようにG
aAsとZnSeの中間的なバンドギャップを持つIn
GaP層などを用いることが提案されているが(特願平
4−16258号)、InGaPとZnSeの各々のキ
ャリア濃度がヘテロバリアにどのような影響を与えるか
について検討されていなかった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このように従来、II−
VI族化合物半導体を用いたレーザにおいては、電流の狭
窄が十分に行われず、発振しきい値電流が上昇するとい
う問題があった。また、ヘテロバリアが存在するために
電圧降下が大きく、レーザの室温連続発振や高信頼性が
達成されていなかった。
VI族化合物半導体を用いたレーザにおいては、電流の狭
窄が十分に行われず、発振しきい値電流が上昇するとい
う問題があった。また、ヘテロバリアが存在するために
電圧降下が大きく、レーザの室温連続発振や高信頼性が
達成されていなかった。
【0009】本発明は、上記事情を考慮してなされたも
ので、その目的とするところは、注入した電流を効果的
に狭窄し得る電流狭窄構造を実現することができ、動作
電圧が低く、高信頼性,高発光効率を有するワイドギャ
ップII−VI族化合物半導体による半導体発光装置を提供
することにある。
ので、その目的とするところは、注入した電流を効果的
に狭窄し得る電流狭窄構造を実現することができ、動作
電圧が低く、高信頼性,高発光効率を有するワイドギャ
ップII−VI族化合物半導体による半導体発光装置を提供
することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の骨子は、バッフ
ァ層に接するII−VI族化合物半導体層のキャリア濃度を
変化させることにより、ヘテロバリアによる電圧降下を
制御して電流狭窄を行うことにある。
ァ層に接するII−VI族化合物半導体層のキャリア濃度を
変化させることにより、ヘテロバリアによる電圧降下を
制御して電流狭窄を行うことにある。
【0011】即ち本発明は、単結晶基板上に成長形成さ
れたバッファ層と、このバッファ層上に積層形成された
該層とヘテロ接合をなすII−VI族化合物半導体層とを具
備してなる半導体発光装置であって、バッファ層に接す
るII−VI族化合物半導体層のうち、電流狭窄を行う部分
を除く部分のキャリア濃度を電流狭窄を行う部分よりも
大きくすることにより、バッファ層とII−VI族化合物半
導体層間のヘテロバリアを低くしてなることを特徴とす
る。
れたバッファ層と、このバッファ層上に積層形成された
該層とヘテロ接合をなすII−VI族化合物半導体層とを具
備してなる半導体発光装置であって、バッファ層に接す
るII−VI族化合物半導体層のうち、電流狭窄を行う部分
を除く部分のキャリア濃度を電流狭窄を行う部分よりも
大きくすることにより、バッファ層とII−VI族化合物半
導体層間のヘテロバリアを低くしてなることを特徴とす
る。
【0012】ここで、本発明の望ましい実施態様として
は、次のものがあげられる。 (1) バッファ層は、構成元素として少なくともIn又は
Gaを含むものであり、基板とII−VI族化合物半導体層
との中間のバンドギャップを有すること。基板として例
えばGaAsを用いた場合、バッファ層はInGaPや
InGaAlP,InAlPであること。 (2) 基板は、(100)面と(100)面から[01
1]又は[01-1]方向に10〜40度の範囲内に傾斜
した面とを有し、この傾斜した面で電流狭窄を行うもの
であり、(100)面から傾斜させた面上の化合物半導
体層のキャリア濃度を(100)面上の化合物半導体層
のそれよりも大きくしたこと。 (3) II−VI族化合物半導体層として、ZnSe,ZnC
dSe,ZnSSeを用いたこと。 (4) バッファ層はp型であり、バッファ層側のII−VI族
化合物半導体層は、不純物としてN(窒素)をドープし
たp型であること。
は、次のものがあげられる。 (1) バッファ層は、構成元素として少なくともIn又は
Gaを含むものであり、基板とII−VI族化合物半導体層
との中間のバンドギャップを有すること。基板として例
えばGaAsを用いた場合、バッファ層はInGaPや
InGaAlP,InAlPであること。 (2) 基板は、(100)面と(100)面から[01
1]又は[01-1]方向に10〜40度の範囲内に傾斜
した面とを有し、この傾斜した面で電流狭窄を行うもの
であり、(100)面から傾斜させた面上の化合物半導
体層のキャリア濃度を(100)面上の化合物半導体層
のそれよりも大きくしたこと。 (3) II−VI族化合物半導体層として、ZnSe,ZnC
dSe,ZnSSeを用いたこと。 (4) バッファ層はp型であり、バッファ層側のII−VI族
化合物半導体層は、不純物としてN(窒素)をドープし
たp型であること。
【0013】
【作用】ZnやBeをドーパントとして用いたInGa
AlP層の成長では、(100)の面方位を持つGaA
s基板上に成長したときと、(100)面から[01
1]又は[01-1]方向に傾斜した面方位を持つGaA
s基板上に成長したときではキャリア濃度が異なる。例
えば、Znをドーパントとして用い、(100)面から
[011]方向に15°傾斜した面方位を持つ基板上に
成長したInGaAlPでは、(100)GaAs基板
上に成長したときと比べ、約4倍のキャリア濃度が得ら
れることが知られている(J.Crystal Growth 113(199
1)pp.127〜 130)。
AlP層の成長では、(100)の面方位を持つGaA
s基板上に成長したときと、(100)面から[01
1]又は[01-1]方向に傾斜した面方位を持つGaA
s基板上に成長したときではキャリア濃度が異なる。例
えば、Znをドーパントとして用い、(100)面から
[011]方向に15°傾斜した面方位を持つ基板上に
成長したInGaAlPでは、(100)GaAs基板
上に成長したときと比べ、約4倍のキャリア濃度が得ら
れることが知られている(J.Crystal Growth 113(199
1)pp.127〜 130)。
【0014】本発明者らは、このような現象をII−VI族
化合物半導体でも生じさせることができるかを検討した
結果、Nドープのp型ZnSeのキャリア濃度が単結晶
基板の面方位により大きく異なること、さらにInやG
aを含むバッファ層とII−VI族化合物半導体の間のヘテ
ロバリアが特にII−VI族化合物半導体層のキャリア濃度
に依存して大きく変化することを見出した。つまり、N
ドープのp型ZnSeのキャリア濃度は、(100)面
上に形成した場合よりも(100)から[011]方向
或いは「01-1]方向に傾斜させた面上に形成した場合
の方が高くなり、p型ZnSeのキャリア濃度が高い方
がバッファ層との間のヘテロバリアが小さくなることが
判明した。
化合物半導体でも生じさせることができるかを検討した
結果、Nドープのp型ZnSeのキャリア濃度が単結晶
基板の面方位により大きく異なること、さらにInやG
aを含むバッファ層とII−VI族化合物半導体の間のヘテ
ロバリアが特にII−VI族化合物半導体層のキャリア濃度
に依存して大きく変化することを見出した。つまり、N
ドープのp型ZnSeのキャリア濃度は、(100)面
上に形成した場合よりも(100)から[011]方向
或いは「01-1]方向に傾斜させた面上に形成した場合
の方が高くなり、p型ZnSeのキャリア濃度が高い方
がバッファ層との間のヘテロバリアが小さくなることが
判明した。
【0015】本発明においてはこの現象を利用し、II−
VI族化合物半導体層のキャリア濃度を変化させるために
単結晶基板の面方位を部分的に変化させて、それ以外の
部分よりキャリア濃度が高くヘテロバリアを低減した領
域を設けることにより、効果的に電流を狭窄することが
可能になり、しきい値電流の低減や信頼性,発光効率の
向上をはかることができる。
VI族化合物半導体層のキャリア濃度を変化させるために
単結晶基板の面方位を部分的に変化させて、それ以外の
部分よりキャリア濃度が高くヘテロバリアを低減した領
域を設けることにより、効果的に電流を狭窄することが
可能になり、しきい値電流の低減や信頼性,発光効率の
向上をはかることができる。
【0016】
【実施例】まず、実施例を説明する前に、本発明の基本
原理について説明する。前述したように本発明は、本発
明者らの鋭意研究及び実験により新規に見い出したNド
ープのp型ZnSeのキャリア濃度が単結晶基板の面方
位により大きく異なることと、In及びGaを含むバッ
ファ層とII−VI族化合物半導体の間のヘテロバリアが特
にII−VI族化合物半導体層のキャリア濃度に依存して大
きく変化することに着目してなされたものである。
原理について説明する。前述したように本発明は、本発
明者らの鋭意研究及び実験により新規に見い出したNド
ープのp型ZnSeのキャリア濃度が単結晶基板の面方
位により大きく異なることと、In及びGaを含むバッ
ファ層とII−VI族化合物半導体の間のヘテロバリアが特
にII−VI族化合物半導体層のキャリア濃度に依存して大
きく変化することに着目してなされたものである。
【0017】図4に、Nドープのp型ZnSeのキャリ
ア濃度の面方位による違いを示す。NドープZnSe
は、分子線エピタキシャル法(MBE法)を用いて成長
した。Nのドーピング源としてはN2 を用いたが、高周
波(RF)による放電を利用して励起状態にしている。
N2 流量は0.1sccmとした。RF電源の出力の増加に
伴い、励起状態になった窒素が増加する。RF電源の出
力の増加に伴いキャリア濃度は高くなるが、同じRF出
力では、(100)GaAs基板上に成長したときに比
べ、(100)から[011]方向に15°傾斜したG
aAs基板上にZnSeを成長したときの方が高いキャ
リア濃度が得られる。これは、(100)面より15°
傾斜した面において、Nの取り込まれ率が高くなるため
である。
ア濃度の面方位による違いを示す。NドープZnSe
は、分子線エピタキシャル法(MBE法)を用いて成長
した。Nのドーピング源としてはN2 を用いたが、高周
波(RF)による放電を利用して励起状態にしている。
N2 流量は0.1sccmとした。RF電源の出力の増加に
伴い、励起状態になった窒素が増加する。RF電源の出
力の増加に伴いキャリア濃度は高くなるが、同じRF出
力では、(100)GaAs基板上に成長したときに比
べ、(100)から[011]方向に15°傾斜したG
aAs基板上にZnSeを成長したときの方が高いキャ
リア濃度が得られる。これは、(100)面より15°
傾斜した面において、Nの取り込まれ率が高くなるため
である。
【0018】図4から分かるように、例えばRF出力が
150Wのとき、(100)GaAs基板上のZnSe
のキャリア濃度は1×1017cm-3であるが、[01
1]方向に15°傾斜した基板上では、1×1018cm
-3以上のキャリア濃度が得られる。面方位によるキャリ
ア濃度の違いは、ZnSeだけでなくZnSSeでも同
様であった。また、Nの取り込まれ率の増加は、図5に
示すように、[011]方向に10°から40°傾斜し
た面方位を持つ基板で顕著に見られた。さらに、[01
-1]方向でも、Nの取り込まれ率の増加が同様に見られ
た。
150Wのとき、(100)GaAs基板上のZnSe
のキャリア濃度は1×1017cm-3であるが、[01
1]方向に15°傾斜した基板上では、1×1018cm
-3以上のキャリア濃度が得られる。面方位によるキャリ
ア濃度の違いは、ZnSeだけでなくZnSSeでも同
様であった。また、Nの取り込まれ率の増加は、図5に
示すように、[011]方向に10°から40°傾斜し
た面方位を持つ基板で顕著に見られた。さらに、[01
-1]方向でも、Nの取り込まれ率の増加が同様に見られ
た。
【0019】次に、バッファ層とZnSeの間のヘテロ
バリアが各々の層のキャリア濃度により変化し、電流−
電圧(I−V)特性に与える影響について述べる。図6
に、p型InAlPをバッファ層としたZnSeのpn
接合におけるI−V特性を示す。p型InAlPのキャ
リア濃度を1×1018cm-3と一定にし、p型ZnSe
のキャリア濃度を1×1017,2×1017,5×1
017,1×1018cm-3に変化させた。p型ZnSeの
キャリア濃度の低下と共に、ヘテロバリアによる電圧降
下が大きくなるために、I−V特性は劣化する。
バリアが各々の層のキャリア濃度により変化し、電流−
電圧(I−V)特性に与える影響について述べる。図6
に、p型InAlPをバッファ層としたZnSeのpn
接合におけるI−V特性を示す。p型InAlPのキャ
リア濃度を1×1018cm-3と一定にし、p型ZnSe
のキャリア濃度を1×1017,2×1017,5×1
017,1×1018cm-3に変化させた。p型ZnSeの
キャリア濃度の低下と共に、ヘテロバリアによる電圧降
下が大きくなるために、I−V特性は劣化する。
【0020】例えば3Vの電圧をかけたとき、p型Zn
Seの濃度が1×1018cm-3の場合は、2〜3×10
3 A/cm3 の電流密度が得られる。これは、レーザの
発振を得るのに十分な電流密度である。一方、p型Zn
Seのキャリア濃度が1×1017cm-3の場合、電流密
度は5×10A/cm2 であり、1×1018cm-3の場
合の1/40〜1/60以下である。
Seの濃度が1×1018cm-3の場合は、2〜3×10
3 A/cm3 の電流密度が得られる。これは、レーザの
発振を得るのに十分な電流密度である。一方、p型Zn
Seのキャリア濃度が1×1017cm-3の場合、電流密
度は5×10A/cm2 であり、1×1018cm-3の場
合の1/40〜1/60以下である。
【0021】図7に、p型ZnSeの濃度を1×1018
cm-3と一定にし、p型InAlPのキャリア濃度を1
×1017,2×1017,5×1017,1×1018cm-3
に変化させたときの、ZnSeのpn接合におけるI−
V特性を示す。電圧が3Vの場合、p型InAlPのキ
ャリア濃度が1×1018cm-3のときは電流密度は2〜
3×103 A/cm2 である。1×1017cm-3のとき
は7×102 A/cm2 であり、1×1018cm-3のと
きに比べ1/4程度である。
cm-3と一定にし、p型InAlPのキャリア濃度を1
×1017,2×1017,5×1017,1×1018cm-3
に変化させたときの、ZnSeのpn接合におけるI−
V特性を示す。電圧が3Vの場合、p型InAlPのキ
ャリア濃度が1×1018cm-3のときは電流密度は2〜
3×103 A/cm2 である。1×1017cm-3のとき
は7×102 A/cm2 であり、1×1018cm-3のと
きに比べ1/4程度である。
【0022】図6と図7を比較して、p型InAlPと
p型ZnSeのヘテロ接合におけるヘテロバリアの大き
さは、p型ZnSeのキャリア濃度により大きく依存す
ることが明らかになった。そして、p型ZnSeのキャ
リア濃度が高い場合はレーザ発振に必要な電流密度が得
られるが、キャリア濃度が低いときはヘテロバリアによ
る電圧降下が大きく得られる電流密度は非常に低い。
p型ZnSeのヘテロ接合におけるヘテロバリアの大き
さは、p型ZnSeのキャリア濃度により大きく依存す
ることが明らかになった。そして、p型ZnSeのキャ
リア濃度が高い場合はレーザ発振に必要な電流密度が得
られるが、キャリア濃度が低いときはヘテロバリアによ
る電圧降下が大きく得られる電流密度は非常に低い。
【0023】本発明は、このような新しい知見に着目し
てなされたものであり、II−VI族化合物半導体のキャリ
ア濃度を変化させるために基板結晶の面方位を部分的に
変化させ、ヘテロバリアを制御し、電流狭窄を行うこと
を要旨とする。以下、本発明の実施例を図面を参照して
説明する。
てなされたものであり、II−VI族化合物半導体のキャリ
ア濃度を変化させるために基板結晶の面方位を部分的に
変化させ、ヘテロバリアを制御し、電流狭窄を行うこと
を要旨とする。以下、本発明の実施例を図面を参照して
説明する。
【0024】図1は、本発明の第1の実施例に係わる半
導体レーザの素子構造を示す断面図である。図中11は
p−GaAs基板であり、この基板11上にはBeドー
プp−GaAs層12(例えば厚さ0.5μm,キャリ
ア濃度2×1018cm-3),Beドープp−In 0.5G
a 0.5Pバッファ層13(厚さ0.2μm),Beドー
プp−In 0.5(Ga 0.5Al 0.5) 0.5Pバッファ層
14(厚さ0.2μm),Beドープp−In 0.5Al
0.5Pバッファ層15(厚さ0.2μm),Nドープp
−ZnSSeクラッド層16(厚さ2μm),Nドープ
p−ZnSeガイド層17(厚さ0.5μm),アンド
ープCdZnSe多重量子井戸活性層18(井戸幅7.
5nm,ウェル数3),Clドープn−ZnSeガイド
層19(厚さ0.5μm,キャリア濃度1×1018cm
-3),Clドープn−ZnSSeクラッド層20(厚さ
2μm,キャリア濃度1×1018cm-3)及びClドー
プn+ −ZnSeコンタクト層21(厚さ0.2μm,
キャリア濃度1×1019cm-3)が順次形成されてい
る。そして、p−GaAs基板11の裏面にはAu/A
uZn電極10が、n+ −ZnSeコンタクト層21上
にはAu/Ti電極22が各々被着されている。
導体レーザの素子構造を示す断面図である。図中11は
p−GaAs基板であり、この基板11上にはBeドー
プp−GaAs層12(例えば厚さ0.5μm,キャリ
ア濃度2×1018cm-3),Beドープp−In 0.5G
a 0.5Pバッファ層13(厚さ0.2μm),Beドー
プp−In 0.5(Ga 0.5Al 0.5) 0.5Pバッファ層
14(厚さ0.2μm),Beドープp−In 0.5Al
0.5Pバッファ層15(厚さ0.2μm),Nドープp
−ZnSSeクラッド層16(厚さ2μm),Nドープ
p−ZnSeガイド層17(厚さ0.5μm),アンド
ープCdZnSe多重量子井戸活性層18(井戸幅7.
5nm,ウェル数3),Clドープn−ZnSeガイド
層19(厚さ0.5μm,キャリア濃度1×1018cm
-3),Clドープn−ZnSSeクラッド層20(厚さ
2μm,キャリア濃度1×1018cm-3)及びClドー
プn+ −ZnSeコンタクト層21(厚さ0.2μm,
キャリア濃度1×1019cm-3)が順次形成されてい
る。そして、p−GaAs基板11の裏面にはAu/A
uZn電極10が、n+ −ZnSeコンタクト層21上
にはAu/Ti電極22が各々被着されている。
【0025】p−GaAs基板11には、幅7μmのス
トライプ状に基板面方位を変化させた部分Aが形成され
ており、この部分Aの面方位は(100)面から[01
1]方向に15°傾斜している。その他の部分Bにおけ
る面方位は(100)面である。図1に示したような積
層構造は、MBE法を用いて形成され、12〜15の各
層を III−V族化合物半導体成長用チャンバで成長した
後、超高真空搬送室を介してII−VI族化合物半導体成長
用チャンバに移して16〜21の各層を成長した。
トライプ状に基板面方位を変化させた部分Aが形成され
ており、この部分Aの面方位は(100)面から[01
1]方向に15°傾斜している。その他の部分Bにおけ
る面方位は(100)面である。図1に示したような積
層構造は、MBE法を用いて形成され、12〜15の各
層を III−V族化合物半導体成長用チャンバで成長した
後、超高真空搬送室を介してII−VI族化合物半導体成長
用チャンバに移して16〜21の各層を成長した。
【0026】通常、InAlPのようなAlを含む半導
体層では、Alが酸化されやすいため大気中に取り出し
た後では酸化膜が形成され、従ってZnSeの再成長は
困難である。しかし、真空一貫プロセスを用いることに
より、Alを含む半導体層上へも前処理や熱処理なしに
II−VI族化合物半導体層の成長が可能になり、再現性良
く成長ができるようになった。
体層では、Alが酸化されやすいため大気中に取り出し
た後では酸化膜が形成され、従ってZnSeの再成長は
困難である。しかし、真空一貫プロセスを用いることに
より、Alを含む半導体層上へも前処理や熱処理なしに
II−VI族化合物半導体層の成長が可能になり、再現性良
く成長ができるようになった。
【0027】p−ZnSSe層16,p−ZnSe層1
7を成長するときの成長条件は、RF出力150W,N
2 流量0.1sccmとした。このとき、(100)面から
[011]方向に15°傾斜した面A上におけるp−Z
nSSe層16,p−ZnSe層17のキャリア濃度は
共に1×1018cm-3であった。一方、(100)面を
持つB上でのp−ZnSSe層16,p−ZnSe層1
7のキャリア濃度は1×1017cm-3であった。
7を成長するときの成長条件は、RF出力150W,N
2 流量0.1sccmとした。このとき、(100)面から
[011]方向に15°傾斜した面A上におけるp−Z
nSSe層16,p−ZnSe層17のキャリア濃度は
共に1×1018cm-3であった。一方、(100)面を
持つB上でのp−ZnSSe層16,p−ZnSe層1
7のキャリア濃度は1×1017cm-3であった。
【0028】また、A面上におけるバッファ層であるp
−InGaP層13,p−InGaAlP層14,p−
InAlP層15のキャリア濃度は、各々2×1018,
2×1018,1×1018cm-3であった。B面上では、
各々5×1017,5×1017,2.5×1018cm-3で
あった。なお、Clドープn−ZnSe層19,n−Z
nSSe層20のキャリア濃度は面方位に依存せず、A
面上もB面上も同じであった。
−InGaP層13,p−InGaAlP層14,p−
InAlP層15のキャリア濃度は、各々2×1018,
2×1018,1×1018cm-3であった。B面上では、
各々5×1017,5×1017,2.5×1018cm-3で
あった。なお、Clドープn−ZnSe層19,n−Z
nSSe層20のキャリア濃度は面方位に依存せず、A
面上もB面上も同じであった。
【0029】このような構成のレーザ素子に電圧をかけ
て電流を注入した。A面上の部分においては、p−Zn
SSe層16及びp−ZnSe層17のキャリア濃度が
高くヘテロバリアが低減されているために高い電流密度
が得られるが、B面上ではヘテロバリアによる電圧降下
が大きくA面上にくらべ1/50以下の電流しか流れな
い。つまり、GaAs基板11にストライプ状に面方位
を変化させた部分Aを設けることにより、ストライプ部
分Aに効果的に電流が狭窄され、室温での連続発振が達
成された。室温でのしきい値電流は40mAであり、さ
らに80℃までの連続発振が確認され、実用性を著しく
向上させることができた。
て電流を注入した。A面上の部分においては、p−Zn
SSe層16及びp−ZnSe層17のキャリア濃度が
高くヘテロバリアが低減されているために高い電流密度
が得られるが、B面上ではヘテロバリアによる電圧降下
が大きくA面上にくらべ1/50以下の電流しか流れな
い。つまり、GaAs基板11にストライプ状に面方位
を変化させた部分Aを設けることにより、ストライプ部
分Aに効果的に電流が狭窄され、室温での連続発振が達
成された。室温でのしきい値電流は40mAであり、さ
らに80℃までの連続発振が確認され、実用性を著しく
向上させることができた。
【0030】また、このレーザにおいて図2に示すよう
に、端面の部分ではGaAs基板11上に段差を持つ
(100)面を形成し、端面以外の部分では[011]
方向に15°傾斜した面をストライプ状に形成した。な
お、図2において、(a)は各層12〜21を形成する
前の基板表面を示す平面図、(b)は(a)の矢視X−
X′断面図、(c)は(a)の矢視Y−Y′断面図であ
る。
に、端面の部分ではGaAs基板11上に段差を持つ
(100)面を形成し、端面以外の部分では[011]
方向に15°傾斜した面をストライプ状に形成した。な
お、図2において、(a)は各層12〜21を形成する
前の基板表面を示す平面図、(b)は(a)の矢視X−
X′断面図、(c)は(a)の矢視Y−Y′断面図であ
る。
【0031】このようなレーザでは、(100)面を持
つ端面には、殆ど電流が注入されない。従って、図2の
ような端面非注入の構造を用いることにより、端面部分
に電流が流れることによって端面が劣化し、寿命特性が
著しく劣化するという問題がなくなり、信頼性向上をは
かることができる。実際の動作試験において、50℃で
1000H以上の発振動作が確認され、高信頼性を達成
できた。
つ端面には、殆ど電流が注入されない。従って、図2の
ような端面非注入の構造を用いることにより、端面部分
に電流が流れることによって端面が劣化し、寿命特性が
著しく劣化するという問題がなくなり、信頼性向上をは
かることができる。実際の動作試験において、50℃で
1000H以上の発振動作が確認され、高信頼性を達成
できた。
【0032】このように本実施例によれば、p−GaA
s基板11の面方位を部分的に変化させておくことによ
り、バッファ層12〜15上に形成するII−VI族化合物
半導体、特にp−ZnSSeクラッド層16,p−Zn
Seガイド層17のキャリア濃度を部分的に変化させる
ことができ、これにより効果的な電流狭窄を行うことが
できる。従って、発振しきい値電流の低減や長寿命化を
はかることができる。また、本実施例による方法では、
予めGaAs基板11に面方位を変化させた部分を作っ
ておけば、真空一貫プロセスを用いて III−V族とII−
VI族化合物半導体を連続成長して電流狭窄ができる。こ
れは、リッジを形成するプロセスや酸化膜が形成された
面上への再成長が困難であるII−VI族化合物半導体を用
いた半導体発光装置においては大きな利点となる。
s基板11の面方位を部分的に変化させておくことによ
り、バッファ層12〜15上に形成するII−VI族化合物
半導体、特にp−ZnSSeクラッド層16,p−Zn
Seガイド層17のキャリア濃度を部分的に変化させる
ことができ、これにより効果的な電流狭窄を行うことが
できる。従って、発振しきい値電流の低減や長寿命化を
はかることができる。また、本実施例による方法では、
予めGaAs基板11に面方位を変化させた部分を作っ
ておけば、真空一貫プロセスを用いて III−V族とII−
VI族化合物半導体を連続成長して電流狭窄ができる。こ
れは、リッジを形成するプロセスや酸化膜が形成された
面上への再成長が困難であるII−VI族化合物半導体を用
いた半導体発光装置においては大きな利点となる。
【0033】図3は、本発明の第2の実施例に係わる面
発光型発光ダイオード(LED)の素子構造を示す断面
図である。図中31はp−GaAs基板であり、この基
板31上には、Beドープp−GaAs層32(厚さ
0.5μm,キャリア濃度2×1018cm-3),Beド
ープp−In 0.5Ga 0.5Pバッファ層33(厚さ0.
2μm),Beドープp−In 0.5(Ga 0.5Al
0.5) 0.5Pバッファ層34(厚さ0.2μm),Be
ドープp−In 0.5Al 0.5Pバッファ層35(厚さ
0.2μm),Nドープp−ZnSeクラッド層36
(厚さ0.2μm),アンドープCdZnSe量子井戸
活性層38(厚さ10nm),Clドープn−ZnSe
クラッド層40(厚さ2μm,キャリア濃度1×1018
cm-3),Clドープn+ −ZnSeコンタクト層41
(厚さ0.2μm,キャリア濃度1×1019cm-3)が
MBE法を用いて順次形成されている。
発光型発光ダイオード(LED)の素子構造を示す断面
図である。図中31はp−GaAs基板であり、この基
板31上には、Beドープp−GaAs層32(厚さ
0.5μm,キャリア濃度2×1018cm-3),Beド
ープp−In 0.5Ga 0.5Pバッファ層33(厚さ0.
2μm),Beドープp−In 0.5(Ga 0.5Al
0.5) 0.5Pバッファ層34(厚さ0.2μm),Be
ドープp−In 0.5Al 0.5Pバッファ層35(厚さ
0.2μm),Nドープp−ZnSeクラッド層36
(厚さ0.2μm),アンドープCdZnSe量子井戸
活性層38(厚さ10nm),Clドープn−ZnSe
クラッド層40(厚さ2μm,キャリア濃度1×1018
cm-3),Clドープn+ −ZnSeコンタクト層41
(厚さ0.2μm,キャリア濃度1×1019cm-3)が
MBE法を用いて順次形成されている。
【0034】p−GaAs基板31には、φ50μmの
部分Cに(100)面が形成され、その他の部分Dは
[011]方向に15°傾斜した面方位になっている。
p−GaAs基板31の裏面にはAu/AuZn電極3
0が被着されている。n+ −ZnSeコンタクト層41
はCの部分の直上でφ50μmに加工されており、その
上にTi/Au電極42が被着されている。p−ZnS
eクラッド層36を成長するときの成長条件は、RF出
力150W,N2 流量0.1sccmとした。このとき、D
面上でのp−ZnSeの濃度は1×1018cm-3であっ
たが、C面上では1×1017cm-3であった。D面上で
のバッファ層33〜35としてのp−InGaP,p−
InGaAlP,p−InAlPのキャリア濃度は、各
々2×1018,2×1018,1×1018cm-3であっ
た。C面上では各々5×1017,5×1017,2.5×
1017cm-3であった。
部分Cに(100)面が形成され、その他の部分Dは
[011]方向に15°傾斜した面方位になっている。
p−GaAs基板31の裏面にはAu/AuZn電極3
0が被着されている。n+ −ZnSeコンタクト層41
はCの部分の直上でφ50μmに加工されており、その
上にTi/Au電極42が被着されている。p−ZnS
eクラッド層36を成長するときの成長条件は、RF出
力150W,N2 流量0.1sccmとした。このとき、D
面上でのp−ZnSeの濃度は1×1018cm-3であっ
たが、C面上では1×1017cm-3であった。D面上で
のバッファ層33〜35としてのp−InGaP,p−
InGaAlP,p−InAlPのキャリア濃度は、各
々2×1018,2×1018,1×1018cm-3であっ
た。C面上では各々5×1017,5×1017,2.5×
1017cm-3であった。
【0035】このような構成の面発光型LEDに電流を
流すと、図3に矢印で示すように、電流は光の取り出す
ことのできないTi/Au電極42の下方を回避して流
れるため効率良く光が取り出される。これは、C面上に
おけるp−InAlPとp−ZnSeのヘテロバリアが
大きく、電流が流れにくくなっているためである。この
LEDでは、実験によると20mAの電流で波長560
nmにおいて、5cdの明るさが得られた。なお、面方
位を変化させた部分を設けていないときのLEDの明る
さは1cd以下である。従って本実施例では、発光効率
の著しい改善を達成することができた。
流すと、図3に矢印で示すように、電流は光の取り出す
ことのできないTi/Au電極42の下方を回避して流
れるため効率良く光が取り出される。これは、C面上に
おけるp−InAlPとp−ZnSeのヘテロバリアが
大きく、電流が流れにくくなっているためである。この
LEDでは、実験によると20mAの電流で波長560
nmにおいて、5cdの明るさが得られた。なお、面方
位を変化させた部分を設けていないときのLEDの明る
さは1cd以下である。従って本実施例では、発光効率
の著しい改善を達成することができた。
【0036】なお、本発明は上述した各実施例に限定さ
れるものではない。実施例では各層の成長にMBE法を
用いたが、これに限らず有機金属気相成長法(MOCV
D法)を用いてもよい。また、II−VI族化合物半導体層
として、ZnMgSSe,ZnTe,CdZnSe,Z
nMgCdSeなど他の材料を用いることができる。さ
らに、実施例ではドーパントとしてNを用いたが、O,
P,As,Liなど他のドーパントを用いても同様の効
果が得られる。
れるものではない。実施例では各層の成長にMBE法を
用いたが、これに限らず有機金属気相成長法(MOCV
D法)を用いてもよい。また、II−VI族化合物半導体層
として、ZnMgSSe,ZnTe,CdZnSe,Z
nMgCdSeなど他の材料を用いることができる。さ
らに、実施例ではドーパントとしてNを用いたが、O,
P,As,Liなど他のドーパントを用いても同様の効
果が得られる。
【0037】また、キャリア濃度を部分的に変える手段
として、基板の面方位を部分的に変える代わりに、II−
VI族化合物半導体層を部分的に加熱するようにしてもよ
い。例えば半導体レーザの場合は、II−VI族化合物半導
体層上にストライプ状にマスクを設けておき、マスク上
面からレーザ光を照射してマスクで覆われていない部分
を選択的に加熱することにより、この部分のキャリア濃
度を低くすることができる。その他、本発明の要旨を逸
脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
として、基板の面方位を部分的に変える代わりに、II−
VI族化合物半導体層を部分的に加熱するようにしてもよ
い。例えば半導体レーザの場合は、II−VI族化合物半導
体層上にストライプ状にマスクを設けておき、マスク上
面からレーザ光を照射してマスクで覆われていない部分
を選択的に加熱することにより、この部分のキャリア濃
度を低くすることができる。その他、本発明の要旨を逸
脱しない範囲で、種々変形して実施することができる。
【0038】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、バ
ッファ層に接するII−VI族化合物半導体層のキャリア濃
度を部分的に変化させることにより、注入した電流を効
果的に狭窄し得る電流狭窄構造を実現することができ、
動作電圧が低く、高信頼性,高発光効率を有するワイド
ギャップII−VI族化合物半導体による半導体発光装置を
実現することが可能となる。
ッファ層に接するII−VI族化合物半導体層のキャリア濃
度を部分的に変化させることにより、注入した電流を効
果的に狭窄し得る電流狭窄構造を実現することができ、
動作電圧が低く、高信頼性,高発光効率を有するワイド
ギャップII−VI族化合物半導体による半導体発光装置を
実現することが可能となる。
【図1】第1の実施例に係わる半導体レーザの素子構造
を示す断面図。
を示す断面図。
【図2】第1の実施例のレーザの端面部構成を説明する
ための平面図と断面図。
ための平面図と断面図。
【図3】第2の実施例に係わる面発光型LEDの素子構
造を示す断面図。
造を示す断面図。
【図4】Nドープp型ZnSeのキャリア濃度の面方位
による違いを示す特性図。
による違いを示す特性図。
【図5】基板表面の傾きに対するNの取り込まれ率の変
化を示す特性図。
化を示す特性図。
【図6】p型InAlP上のZnSeのpn接合におけ
るI−V特性のp−ZnSeのキャリア濃度依存性を示
す特性図。
るI−V特性のp−ZnSeのキャリア濃度依存性を示
す特性図。
【図7】p型InAlP上のZnSeのpn接合におけ
るI−V特性のp−InAlPのキャリア濃度依存性を
示す特性図。
るI−V特性のp−InAlPのキャリア濃度依存性を
示す特性図。
【図8】化合物半導体材料を用いた従来の青色レーザの
素子構造を示す断面図。
素子構造を示す断面図。
【図9】p−ZnSeと金属及び半導体の接合部におけ
るバンド構造を示す模式図。
るバンド構造を示す模式図。
10,30…Au/AuZn電極 11,31…p−GaAs基板 12,32…p−GaAs層12 13,33…p−InGaPバッファ層 14,34…p−InGaAlPバッファ層 15,35…p−InAlPバッファ層 16…p−ZnSSeクラッド層 17…p−ZnSeガイド層 18…CdZnSe多重量子井戸活性層 19…n−ZnSeガイド層 20…n−ZnSSeクラッド層 21,41…n+ −ZnSeコンタクト層 22,40…Au/Ti電極 36…p−ZnSeクラッド層 38…CdZnSe量子井戸活性層 40…n−ZnSeクラッド層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−218565(JP,A) 特開 平5−275803(JP,A) 特開 平1−184972(JP,A) 特開 平7−74424(JP,A) 特開 平5−7049(JP,A) 特開 平3−280483(JP,A) 特開 平2−220488(JP,A) J.Cryst.Growth 107 [1−4](1991)p.772−778 J.Cryst.Growth 113 [1/2](1991)p.127−130 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 5/00 - 5/50 H01L 33/00 JICSTファイル(JOIS)
Claims (10)
- 【請求項1】単結晶基板上に成長形成されたバッファ層
と、このバッファ層上に積層形成された該層とヘテロ接
合をなすII−VI族化合物半導体層とを具備してなる半導
体発光装置であって、 前記バッファ層に接するII−VI族化合物半導体層のう
ち、電流狭窄を行う部分を除く部分のキャリア濃度を電
流狭窄を行う部分よりも大きくすることにより、前記バ
ッファ層とII−VI族化合物半導体層間のヘテロバリアを
低くしてなることを特徴とする半導体発光装置。 - 【請求項2】前記基板は、(100)面と(100)面
から[011]又は[01-1]方向に10〜40度の範
囲内に傾斜した面とを有し、この傾斜した面で電流狭窄
を行うものであり、(100)面から傾斜した面上の化
合物半導体層のキャリア濃度を(100)面上の化合物
半導体層のそれよりも大きくしたことを特徴とする請求
項1記載の半導体発光装置。 - 【請求項3】単結晶基板と、前記半導体基板上の少なく
とも一部に直接形成され、少なくともInおよびPを含
有する化合物半導体からなる第1の化合物半導体層と、
前記第1の化合物半導体層上に直接形成され、II−VI族
化合物半導体からなる第2の化合物半導体層とを具備し
てなる半導体発光装置であって、 前記第2の化合物半導体層において、電流狭窄を行う部
分を除く部分のキャリア濃度を電流狭窄を行う部分のキ
ャリア濃度より大きくすることにより、前記第1の化合
物半導体層と前記第2の化合物半導体層との間のヘテロ
バリアを低くしてなることを特徴とする半導体発光装
置。 - 【請求項4】前記単結晶基板は、III−V族化合物半導
体からなることを特徴とする請求項3記載の半導体発光
装置。 - 【請求項5】前記基板は、(100)面と(100)面
から[011]又は[01-1]方向 に10〜40度の範
囲内に傾斜した面とを有し、この傾斜した面で電流狭窄
を行うものであり、(100)面から傾斜した面上の前
記第1の化合物半導体層のキャリア濃度を(100)面
上の前記第1の化合物半導体層のそれよりも大きくした
ことを特徴とする請求項3記載の半導体発光装置。 - 【請求項6】前記第1の化合物半導体層は、前記基板の
バンドギャップと前記第2の化合物半導体のバンドギャ
ップとの間のバンドギャップを有することを特徴とする
請求項3記載の半導体発光装置。 - 【請求項7】前記基板はGaAsからなり、前記第1の
化合物半導体層はInGaP、InGaAlP、および
InAlPからなる群から選択される一種の化合物半導
体からなることを特徴とする請求項3記載の半導体発光
装置。 - 【請求項8】前記基板は、(100)面と(100)面
から[011]又は[01-1]方向に10〜40度の範
囲内に傾斜した面とを有し、この傾斜した面で電流狭窄
を行うものであり、(100)面から傾斜した面上の前
記第2の化合物半導体層のキャリア濃度を(100)面
上の前記第2の化合物半導体層のそれよりも大きくした
ことを特徴とする請求項3記載の半導体発光装置。 - 【請求項9】前記II−VI族化合物半導体は、ZnSe、
ZnCdSe、およびZnSSeからなる群から選択さ
れる一種の化合物半導体であることを特徴とする請求項
3記載の半導体発光装置。 - 【請求項10】前記第1の化合物半導体層の導電型はp
型であり、前記第2の化合物半導体層の導電型は不純物
として窒素をドープしたp型であることを特徴とする請
求項3記載の半導体発光装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22536293A JP3222652B2 (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | 半導体発光装置 |
US08/208,850 US5488233A (en) | 1993-03-11 | 1994-03-11 | Semiconductor light-emitting device with compound semiconductor layer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22536293A JP3222652B2 (ja) | 1993-09-10 | 1993-09-10 | 半導体発光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0786683A JPH0786683A (ja) | 1995-03-31 |
JP3222652B2 true JP3222652B2 (ja) | 2001-10-29 |
Family
ID=16828159
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP3222652B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9494145B2 (en) | 2011-07-08 | 2016-11-15 | Hanning Elektro-Werke Gmbh & Co. Kg | Electric motor |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5879962A (en) * | 1995-12-13 | 1999-03-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | III-V/II-VI Semiconductor interface fabrication method |
-
1993
- 1993-09-10 JP JP22536293A patent/JP3222652B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (2)
Title |
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J.Cryst.Growth 107[1−4](1991)p.772−778 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9494145B2 (en) | 2011-07-08 | 2016-11-15 | Hanning Elektro-Werke Gmbh & Co. Kg | Electric motor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0786683A (ja) | 1995-03-31 |
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