JP3211602B2 - インク噴射装置およびその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク噴射装置および
その製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置のなかで、原理が最も単
純で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとし
て、インクジェット方式の印字装置が挙げられる。なか
でも印字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００３】ドロップ・オン・デマンド型として特公昭
５３−１２１３８号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭６１−５９９１４号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。

【０００４】以上のような欠陥を同時に解決する新たな
方式として提案されたのが、特開昭６３−２４７０５１
号公報に開示されている圧電セラミックスを利用したせ
ん断モード型である。

【０００５】図１１に示すように、上記せん断モード型
のインク噴射装置６００は、底壁６０１、天壁６０２及
びその間のせん断モードアクチュエータ壁６０３からな
る。そのアクチュエータ壁６０３は、底壁６０１に接着
され、且つ矢印６１１方向に分極された下部壁６０７
と、天壁６０２に接着され、且つ矢印６０９方向に分極
された上部壁６０５からなっている。アクチュエータ壁
６０３は一対となって、その間にインク流路６１３を形
成し、且つ次の一対のアクチュエータ壁６０３の間に
は、インク流路６１３よりも狭い空間６１５を形成して
いる。

【０００６】各インク流路６１３の一端には、ノズル６
１８を有するノズルプレート６１７が固着され、各アク
チュエータ壁６０３の両側面には電極６１９、６２１が
金属化層として設けられている。各電極６１９、６２１
はインクと絶縁するための絶縁層（図示せず）で覆われ
ている。そして、空間６１５に面している電極６２１は
アース６２３に接続され、インク流路６１３内に設けら
れている電極６１９はアクチュエータ駆動回路を与える
シリコン・チップ６２５に接続されている。

【０００７】次に、このインク噴射装置６００の製造方
法を説明する。まず、矢印６１１に分極された圧電セラ
ミックス層を底壁６０１に接着し、矢印６０９に分極さ
れた圧電セラミックス層を天壁６０２に接着する。各圧
電セラミックス層の厚みは、下部壁６０７、上部壁６０
５の高さに等しい。次に、圧電セラミックス層に、平行
な溝をダイヤモンドカッティング円板の回転等によって
形成して、下部壁６０７、上部壁６０５を形成する。そ
して、真空蒸着によって下部壁６０７の側面に電極６１
９を形成し、その電極６１９上に前記電極層を設ける。
同様にして上部壁６０５の側面に電極６２１、前記絶縁
層を設ける。

【０００８】上部壁６０５の天頂部と下部壁６０７の天
頂部とを接着してインク流路６１３と空間６１５とを形
成する。次に、ノズル６１８が形成されているノズルプ
レート６１７を、ノズル６１８がインク流路６１３と対
応するように、インク流路６１３及び空間６１５の一端
に接着し、インク流路６１３と空間６１５との他端をシ
リコン・チップ６２５とアース６２３とに接続する。

【０００９】そして、各インク流路６１３の電極６１
９、６２１にシリコン・チップ６２５が電圧を印加する
ことによって、各アクチュエータ壁６０３がインク流路
６１３の容積を増加する方向に圧電厚みすべり変形し
て、所定時間後電圧印加が停止されてインク流路６１３
の容積が増加状態から自然状態となってインク流路６１
３内のインクに圧力が加えられ、インク滴がノズル６１
８から噴射される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た構成のインク噴射装置６００では、空間６１５に面し
ている電極６１９、６２１はアース６２３に接続され、
インク流路６１３内に設けられている電極６１９、６２
１は、アクチュエータ駆動回路を与えるシリコン・チッ
プ６２５に接続されているが、その電気接続の具体的構
成および方法が開示されていない。そこで、例えば、イ
ンク流路６１３が５０個あるとすると、空気室６１５は
５１個必要となり、電極６１９、６２１の電気的接続が
１０１ケ所であり、その１０１ケ所は狭ピッチであるの
で、電気的接続が難しく、そのための工程に時間がかか
り、大量生産性に劣るといった問題点があった。

【００１１】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、電極の取り出しが簡易で、且つ
信頼性の高い電気的接続が行えるインク噴射装置を提供
すると共に、そのインク噴射装置を容易に製造する、大
量生産性に優れたインク噴射装置の製造方法を提示する
ことを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のインク噴射装置は、インクを噴射するインク
液室と、前記インク液室の両側に設けられた空気室と、
前記インク液室と空気室とを構成し且つ分極された圧電
材料で少なくとも一部が構成された隔壁と、前記圧電材
料に駆動電界を発生させるために、前記インク液室の隔
壁表面に設けられた液室内電極および前記空気室の隔壁
表面に設けられた空気室内電極とを有するインク噴射装
置において、前記隔壁は、その高さ方向に接合した上部
および下 部アクチュエータ板から構成され、前記液室内
電極および空気室内電極は前記隔壁の高さ方向全体にわ
たって設けられ、前記上部および下部アクチュエータ板
の一方のアクチュエータ板の前記インク液室とは反対側
の面に、前記液室内電極に接続した第１の電極、および
前記空気室内電極に接続した第２の電極が設けられ、前
記空気室内において対向する前記空気室内電極はそれぞ
れ独立していることを特徴とする。

【００１３】尚、前記各インク液室の両側の隔壁に設け
られた前記空気室内電極は、一方のアクチュエータ板の
前記インク液室とは反対側の面において、第２の電極に
よって相互に接続されているものであってもよい。

【００１４】本発明のインク噴射装置の製造方法は、イ
ンクを噴射するインク液室と、前記インク液室の両側に
設けられた空気室と、前記インク液室と空気室とを構成
し且つ分極された圧電材料で少なくとも一部が構成され
た隔壁と、前記圧電材料に駆動電界を発生させるため
に、前記インク液室の隔壁表面に設けられた液室内電極
および前記空気室の隔壁表面に設けられた空気室内電極
とを有するインク噴射装置の製造方法において、接合し
た上部および下部アクチュエータ板にわたって前記イン
ク液室、空気室および隔壁を構成する工程と、前記イン
ク液室および空気室内に前記液室内電極および空気室内
電極を形成し、前記上部および下部アクチュエータ板の
一方のアクチュエータ板の前記インク液室とは反対側の
面に、前記液室内電極および空気室内電極と接続した第
１および第２の電極を形成する工程と、前記第１の電極
と前記空気室内電極とを分離切断し、前記空気室内にお
いて対向する前記空気室内電極をそれぞれ分離切断する
工程とを有している。

【００１５】

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１に係るイ
ンク噴射装置においては、上部および下部アクチュエー
タ板の一方のアクチュエータ板のインク液室とは反対側
の面に設けられた第１および第２の電極によって、液室
内電極および空気室内電極を介して隔壁全体に電圧が印
加され、それによって隔壁の少なくとも一部をな す圧電
材料が変形されてインク液室内のインクが噴射される。
その際、空気室内において対向する空気室内電極がそれ
ぞれ独立していることで、隣のインク液室を構成する隔
壁には電圧が印加されない。

【００１６】請求項２に係るインク噴射装置において
は、第２の電極によって、インク液室の両側の隔壁に設
けられた空気室内電極に同時に電圧が印加され、インク
液室の両側の隔壁が対称に変形する。

【００１７】上記の構成を有する本発明の請求項３に係
るインク噴射装置の製造方法においては、インク液室、
空気室および１つのアクチュエータ板のインク液室とは
反対側の面に、相互に電気的に接続した電極を形成し、
第１の電極と空気室内電極とを分離し、空気室内におい
て対向する空気室内電極をそれぞれ分離することで、第
１の電極は液室内電極に、第２の電極は各インク液室外
側の空気室内電極にそれぞれ接続される。

【００１８】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。但し、従来技術と同一の部材につい
ては、同一の符号を付し、その説明を省略する。

【００１９】図１に示すように、矢印１０５の方向に分
極された上部アクチュエータ板１０１と、矢印１０６の
方向に分極された下部アクチュエータ板１０２は、チタ
ン酸ジルコン酸鉛系（ＰＺＴ）の圧電セラミックス材料
で形成されている。

【００２０】前記両アクチュエータ板１０１、１０２に
は、ダイヤモンドブレード等により切削加工され、例え
ば深さ２００μｍ×幅８０μｍの複数の溝１１５と、前
記溝１１５の両側に設けられ、且つ前記溝１１５よりも
深い、例えば深さ４００μｍ×幅８０μｍの深溝１１６
とが形成されている。また、その溝１１５と深溝１１６
とを構成する側面となる隔壁１１１は、例えば幅８０μ
ｍである。

【００２１】そして、図２に示すように、上部アクチュ
エータ板１０５と、下部アクチュエータ板１０６とを、
前記溝１１５同士、前記深溝１１６同士が対応するよう
に、エポキシ系接着剤（図示せず）を介して前記隔壁１
１１を接着することにより、アクチュエータ１１０とす
る。これにより、連結された溝１１５は横方向に互いに
間隔を有する複数のインク液室１１２となり、連結され
た深溝１１６は、前記インク液室１１２の両側に配置さ
れた空気室１１３となる。また、連結された隔壁１１１
は、その上部と下部とでは分極方向が逆転している。
尚、前記インク液室１１２が本発明の噴射チャンネルに
相当し、前記空気室１１３が本発明の非噴射チャンネル
に相当する。

【００２２】次に、図３に示すように、前記アクチュエ
ータ１１０のインク液室１１２の長さ方向の一端面にお
いて、図中上下方向に延びた縦溝１１４を、全てのイン
ク液室１１２に対応する位置に、前記インク液室１１２
の幅よりも大きく、但し前記空気室１１３に達しないよ
うな幅、例えば１２０μｍの幅にて形成する。

【００２３】次に、図４に示すように、アクチュエータ
１１０の上部アクチュエータ板１０１の上部において、
空気室１１３の長さ方向と直交する方向に延びた第１の
横溝１１７を、全空気室１１３及び縦溝１１４と連通
し、且つインク液室１１２に連通しないような深さにな
るように、ダイヤモンドブレード等の切削加工にて形成
する。次に、前記アクチュエータ１１０の上部アクチュ
エータ板１０１の上部において、前記第１の横溝１１７
と別の部位に、前記第１の横溝１１７と平行で、第１の
横溝１１７と同じ深さの第２の横溝１１８を、ダイヤモ
ンドブレード等の切削加工にて形成する。又、この各横
溝１１７，１１８により、凸壁部位１１９，１２０が形
成される。

【００２４】その後、図５に斜線で示すように、無電解
メッキなどの手法により金属等による導電層を設け、前
記インク液室１１２内表面に液室内電極１２５を、前記
空気室１１３内表面に空気室内電極１２４を各々形成す
る。また、前記縦溝１１４内表面に液室連結電極１２６
を、前記第１の横溝１１７底面に接地電極１２２を、前
記第２の横溝１１８底面に駆動電極１２３を各々形成す
る。尚、図５の状態においては、前記各電極１２２，１
２３，１２４，１２５，１２６は互いに電気的に接続し
ている。

【００２５】次に、前記アクチュエータ１１０の上部ア
クチュエータ部１０１の上部において、図５乃至図６に
示すように、前記各横溝１１７，１１８を構成する凸壁
部位１１９，１２０を、前記空気室１１３と連通し、且
つ前記インク液室１１２に連通しないように、ダイヤモ
ンドブレード等による切削加工等により除去し、除去部
１１９ａ，１２０ａを形成する。この除去部１１９ａ，
１２０ａは各横溝１１７，１１８の底面と同じ高さに位
置し、前記上部アクチュエータ部１０１の上面はほぼ平
面の状態にされる。

【００２６】更に、前記アクチュエータ１１０の上部ア
クチュエータ１０１の上部に、空気室１１３に対応させ
て、空気室１１３の溝幅よりも大きい幅を有し、且つア
クチュエータ１１０の縦溝１１４が形成された一端面か
ら除去部１１９ａまで達する奥行きを有する浅溝１２１
を、ダイヤモンドブレード等の切削加工により形成す
る。この浅溝１２１により、前記接地電極１２２と前記
空気室内電極１２４とが電気的に分離される。

【００２７】次に、図７に示すように、駆動電極パター
ン１４１及び接地電極パターン１４２が形成された基板
１４０と、前記アクチュエータ１１０の上部アクチュエ
ータ部１０１の上部とを接合する。その際、前記駆動電
極パターン１４１と各駆動電極１２３とを、また、前記
接地電極パターン１４２と接地電極１２２とを、それぞ
れ半田付け等の方法により、電気的および機械的に接合
する。

【００２８】その後、前記アクチュエータ１１０の下部
アクチュエータ部１０２の下部を前記空気室１１３の全
長にわたって開放し、かつ前記インク液室１１２は開放
しないようにダイヤモンドブレード等の研削加工により
除去する。これにより、前記アクチュエータ１１０は、
図８に示すように、インク液室１１２と、圧電セラミッ
クスからなる隔壁１１１と、液室内電極１２５と、液室
連結電極１２６を介して前記液室内電極１２５と導通す
る接地電極１２２と、空気室内電極１２４と、前記空気
室内電極１２４と導通する駆動電極１２３とを備えたア
クチュエータユニット１３０を複数有するインク噴射装
置１００となる。尚、前記接地電極１２２が本発明の第
１の電極に相当し、前記駆動電極１２３が本発明の第２
の電極に相当する。

【００２９】そして、前記アクチュエータ１１０におい
て、前記縦溝１１４を形成した側の一端面に対して反対
側にあたる端面には、各インク液室１１２の位置に対応
した位置にノズル１３２が設けられたノズルプレート
（図示せず）が接着される。このノズルプレートは、ポ
リアルキレン（例えばエチレン）テレフタレート、ポリ
イミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポ
リエーテルスルホン、ポリカーボネイト、酢酸セルロー
ス等のプラスチックによって形成されている。

【００３０】次に、制御部のブロック図を示す図９によ
って、本実施例の制御部の構成を説明する。同図に示す
ように、前記基板１４０上の駆動電極パターン１４１と
前記接地パターン１４２は、各々個々にＬＳＩチップ５
１に接続され、クロックライン５２、データライン５
３、電圧ライン５４及びアースライン５５もＬＳＩチッ
プ５１に接続されている。各インク液室１１２内の液室
電極１２５に導通する接地電極パターン１４２は、全て
アースライン５５に接続されている。ＬＳＩチップ５１
は、クロックライン５２から供給された連続するクロッ
クパルスに基づいて、データライン５３上に現れるデー
タから、どのノズル１３２からインク液滴の噴射を行う
べきかを判断する。そして、ＬＳＩチップ５１は、駆動
するインク液室１１２を備えるアクチュエータユニット
１３０の空気室電極１２４に導通する駆動電極パターン
１４１に、電圧ライン５４の電圧Ｖを印加し、前記イン
ク液室１１２以外のインク液室１１２を備えるアクチュ
エータユニット１３０の空気室電極１２４に導通する駆
動電極パターン１４１にアースライン５５を接続して接
地する。

【００３１】次に、本実施例製造方法によるインク噴射
装置１００の動作を説明する。図８のアクチュエータユ
ニット１３０ａからインク液滴を噴射するために、その
アクチュエータユニット１３０ａに対し電圧パルスを与
える（ここで、あるアクチュエータユニット１３０に対
して電圧を与えることは、そのアクチュエータユニット
１３０に備えられた空気室電極１２４に電圧を印加し、
指示しないアクチュエータユニット１３０に備えられた
空気室電極１２４を接地することを言う）。すると、図
１０に示すように、隔壁１１１ａ、１１１ｂには矢印１
０７方向の電界が発生し、隔壁１１１ｃ、１１１ｄには
矢印１０８方向の電界が発生し、隔壁１１１ａ、１１１
ｂと１１１ｃ、１１１ｄとが圧電厚みすべり効果によ
り、互いに近づくように動く。すると、インク液室１１
２ａの容積が減少して、ノズル１３２付近を含むインク
液室１１２ａ内の圧力が増加する。これにより、インク
液室１１２ａ内のインクがインク液滴となり、ノズル１
３２から噴射される。

【００３２】次に駆動電圧の印加を停止してインク液室
１１２ａの容積を前記減少状態から自然状態へと増加さ
せ、インク室１１２ａ内に図示しないインク供給源から
図示しないマニホールドを介してインク液室１１２ａに
インクが供給される。

【００３３】また、前記実施例においては、まず駆動電
圧をインク液室１１２ａの容積が減少する方向に印加し
インク液滴を噴射し、次に駆動電圧の印加を停止しイン
ク液室１１２ａの容積を自然状態に増加してインク液室
１１２ａにインクを供給していたが、まず駆動電圧をイ
ンク液室１１２ａの容積が増加するように印加してイン
ク液室１１２ａにインクを供給してから、駆動電圧の印
加を停止して、インク液室１１２ａの容積を前記増加状
態から自然状態へと減少させ、インク液室１１２ａ内の
インクをインク液滴として噴射してもよい。

【００３４】上述したように、本実施例の製造方法によ
るインク噴射装置１００は、溝１１５と深溝１１６を切
削加工し、隔壁１１１を形成した２枚のアクチュエータ
板１０１，１０２を、隔壁１１１の部位にて接合し、端
面に縦溝１１４、上面に第１の横溝１１７、第２の横溝
１１８を切削加工にて形成した後に、インク液室１１２
内表面、空気室１１３内表面、縦溝１１４、第１の横溝
１１７、第２の横溝１１８表面に導電層を形成し、さら
に上面の凸壁部位１１９，１２０を切削加工にて除去
し、液室内電極１２５に導通する接地電極１２２と、空
気室内電極１２４に導通する駆動電極１２３とを電気
的、機械的に半田を介して基板１４０と接合し、下面を
空気室１１３が全長にわたって開放するように切削加工
などにより除去することで作製される。このように、切
削加工と単純なメッキ処理を行なうだけで作成されるた
め、大量生産性に優れる。

【００３５】また、隔壁１１１の接着部が１カ所である
ので、接着部のエネルギー損失が小さい。さらに、空気
室１１３には、空気が充填されているので、隔壁１１１
の変形がしやすく、電圧が低くて良い。

【００３６】さらに、液室内電極１２５と導通する接地
電極１２２と、空気室内電極１２４と導通する駆動電極
１２３とが同一面上に、従来よりも広いピッチで形成で
きる。従って、基板１４０上に形成した電極パターン１
４１，１４２との電気的コネクトが容易である。

【００３７】また、上記実施例においては、常に全ての
液室内電極１２５が接地されており、各液室内電極１２
５との間に電圧差が生じることが無い。よって、インク
に電界がかからず、電気的効果によるインク室１１２内
のインクの変質や液室内電極１２５の劣化を引き起こす
ことが無い。ひいては、液室内電極１２５に従来設けて
いた絶縁層を形成する必要もなくなる。尚、上記駆動方
法を取らなくとも、本発明の主旨には影響しない。例え
ば、従来例のように、常に全ての空気室内電極１２４を
接地し、平常は全ての液室内電極１２５を接地し、印刷
時には所望のインク室１１２の液室内電極１２５に電圧
Ｖをかけるものでもよい。但し、その場合、基板１４０
に形成された各駆動電極パターン１４１と前記各接地電
極１２２とを、また、前記接地電極パターン１４２と駆
動電極１２３とを電気的に接合することになる。

【００３８】尚、本実施例のインク噴射装置１００の製
造方法では、上部アクチュエータ板１０１、下部アクチ
ュエータ板１０２の両方がチタン酸ジルコン酸鉛系（Ｐ
ＺＴ）のセラミックス材料で構成されていたが、どちら
か一方が圧電性を持たないセラミックス、または樹脂材
料で構成しても良い。

【００３９】また、本実施例のインク噴射装置１００に
おいては、縦溝１１４がアクチュエータ１１０の上面か
ら下面にまで到達するように設けられていたが、インク
液室１１２と連通する範囲で、アクチュエータ１１０の
上面から下面方向の途中まで設けらたものでもよい。

【００４０】また、本実施例のインク噴射装置１００に
おいては、縦溝１１４がインク液室１１２の幅よりも大
きかったが、同じ幅、または狭くてもよい。

【００４１】

【発明の効果】上述したように、本発明のインク噴射装
置は、第１および第２の電極への電極パターンの接続を
同一面上にて行うことができ、また、各電極を従来より
も広いピッチで形成できるので、容易であると共に信頼
性の高い電気的接続がなされ、さらに空気室内において
対向する空気室内電極がそれぞれ独立していることで、
隣のインク液室を構成する隔壁には電圧が印加されず、
隣のインク液室でのインク噴射に影響を与えることのな
いインク噴射装置を提供できる。

【００４９】また、このインク噴射装置の製造方法にお
いては、導電層をまとめて形成する加工と分離切断加工
との簡単な加工を行なうだけで、第１の電極が液室内電
極に、第２の電極が各インク液室外側の空気室内電極に
それぞれ接続したインク噴射装置が作成されるので、大
量生産性に優れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例のインク噴射装置の製造工程を
示す斜視図である。

【図２】同インク噴射装置の製造工程を示す斜視図であ
る。

【図３】同インク噴射装置の製造工程を示す斜視図であ
る。

【図４】同インク噴射装置の製造工程を示す斜視図であ
る。

【図５】同インク噴射装置の製造工程を示す斜視図であ
る。

【図６】同インク噴射装置の製造工程を示す斜視図であ
る。

【図７】同インク噴射装置の製造工程を示す斜視図であ
る。

【図８】同インク噴射装置の製造工程を示す断面図であ
る。

【図９】本発明の実施例のインク噴射装置の制御部を示
すブロック図である。

【図１０】本発明の実施例のインク噴射装置の動作を示
す説明図である。

【図１１】従来例のインク噴射装置を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１００ インク噴射装置 １０１ 上部アクチュエータ板 １０２ 下部アクチュエータ板 １０５ 分極方向 １０６ 分極方向 １１０ アクチュエータ １１１ 隔壁 １１２ インク液室 １１３ 空気室 １１４ 縦溝 １１５ 溝 １１６ 深溝 １１７ 第１の横溝 １１８ 第２の横溝 １１９ 除去部 １２０ 除去部 １２１ 浅溝 １２２ 接地電極 １２３ 駆動電極 １２４ 空気室内電極 １２５ 液室内電極 １２６ 液室連結電極

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを噴射するインク液室と、前記イ
   ンク液室の両側に設けられた空気室と、前記インク液室
   と空気室とを構成し且つ分極された圧電材料で少なくと
   も一部が構成された隔壁と、前記圧電材料に駆動電界を
   発生させるために、前記インク液室の隔壁表面に設けら
   れた液室内電極および前記空気室の隔壁表面に設けられ
   た空気室内電極とを有するインク噴射装置において、 前記隔壁は、その高さ方向に接合した上部および下部ア
   クチュエータ板から構成され、 前記液室内電極および空気室内電極は前記隔壁の高さ方
   向全体にわたって設けられ、 前記上部および下部アクチュエータ板の一方のアクチュ
   エータ板の前記インク液室とは反対側の面に、前記液室
   内電極に接続した第１の電極、および前記空気室内電極
   に接続した第２の電極が設けられ、 前記空気室内において対向する前記空気室内電極はそれ
   ぞれ独立している ことを特徴とするインク噴射装置。
2. 【請求項２】 前記各インク液室の両側の隔壁に設けら
   れた前記空気室内電極は、一方のアクチュエータ板の前
   記インク液室とは反対側の面において、第２の電極によ
   って相互に接続されていることを特徴とする請求項１に
   記載のインク噴射装置。
3. 【請求項３】 インクを噴射するインク液室と、前記イ
   ンク液室の両側に設けられた空気室と、前記インク液室
   と空気室とを構成し且つ分極された圧電材料で少なくと
   も一部が構成された隔壁と、前記圧電材料に駆動電界を
   発生させるために、前記インク液室の隔壁表面に設けら
   れた液室内電極および前記空気室の隔壁表面に設けられ
   た空気室内電極とを有するインク噴射装置の製造方法に
   おいて、 接合した上部および下部アクチュエータ板にわたって前
   記インク液室、空気室および隔壁を構成する工程と、 前記インク液室および空気室内に前記液室内電極および
   空気室内電極を形成し 、前記上部および下部アクチュエ
   ータ板の一方のアクチュエータ板の前記インク液室とは
   反対側の面に、前記液室内電極および空気室内電極と接
   続した第１および第２の電極を形成する工程と、 前記第１の電極と前記空気室内電極とを分離切断し、前
   記空気室内において対向する前記空気室内電極をそれぞ
   れ分離切断する工程と を有することを特徴とするインク
   噴射装置の製造方法。