JP3210164B2 - Rotary encoder - Google Patents
Rotary encoderInfo
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Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ロ−タリ−エンコ−ダ
に関し、特に回転角度等を高精度に測定するロ−タリ−
エンコ−ダに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotary encoder, and more particularly to a rotary encoder for measuring a rotation angle and the like with high accuracy.
It relates to an encoder.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のロ−タリ−エンコ−ダは、その主
要部分が光源、円板スケ−ル、インデックススケ−ル、
受光素子等により構成されており、光源からの光は円板
スケ−ルに照射される。円板スケ−ルには放射状のスリ
ットが形成されており、インデックススケ−ルと開口部
があったとき照射された光は受光素子により検知され
る。 円板スケ−ルが回転すると、円板スケ−ル内のス
リットが１ピッチ移動するごとに、受光素子から１周期
の正弦波信号が得られる。この方式のロ−タリ−エンコ
−ダでは、円板スケ−ルの格子ピッチにより分解能が決
まってしまう。また、円板スケ−ルの放射状格子は、一
般的に、作製が困難であり、精度、分解能にも限界があ
る。2. Description of the Related Art A conventional rotary encoder mainly comprises a light source, a disk scale, an index scale, and a light source.
It is composed of a light receiving element and the like, and light from a light source is applied to a disk scale. Radial slits are formed in the disk scale, and when there is an index scale and an opening, the emitted light is detected by a light receiving element. When the disk scale rotates, a one-cycle sine wave signal is obtained from the light receiving element every time the slit in the disk scale moves by one pitch. In this type of rotary encoder, the resolution is determined by the grating pitch of the disk scale. In addition, the radial grating of the disk scale is generally difficult to manufacture, and the accuracy and resolution are limited.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】このようなロ−タリ−
エンコ−ダは、回転角を検出する円板スケ−ル格子が、
扇型形状になっており、作製が困難であるため、同方式
のリニアエンコ−ダと比較し、不安定で高精度測定が困
難である。本発明は、回転運動を部分的に直線運動にし
て、疑似的に、リニアエンコ−ダと同様の検出をするロ
−タリ−エンコ−ダを提供することを目的としている。SUMMARY OF THE INVENTION
The encoder has a disk scale grating that detects the rotation angle,
Because it has a fan shape and is difficult to manufacture, it is unstable and difficult to measure with high precision compared to a linear encoder of the same type. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a rotary encoder that performs a pseudo-detection similar to a linear encoder by partially converting a rotary motion into a linear motion.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明では、被測定物の
回転に伴い回転する回転ドラムと、自由に回転する回転
軸の間に、柔軟性のあるベルト状スケールを直線移動す
る部分ができるように巻きつけ、該回転ドラムの回転に
より該ベルト状スケールが移動することを検出する手段
を有し、被測定物の回転角度の検知を行うロータリーエ
ンコーダにおいて、ベルト状スケールとしてのベルト状
回折格子と、光源を有し、該光源からの光を該ベルト状
回折格子を複数回通過させることにより発生させた２つ
以上の回折光を干渉させ、生じた干渉縞が回転ドラムの
回転に従い移動することを被測定物の回転角度の検知に
用いることにしたものである。 According to the present invention, a portion for linearly moving a flexible belt-like scale is provided between a rotating drum that rotates with the rotation of an object to be measured and a rotating shaft that freely rotates. wound manner, rotary pictures comprising means for detecting that the belt-shaped scale is moved by the rotation of the rotary drum, for sensing the rotation angle of the object to be measured
In the encoder, the belt-like scale as a belt-like scale
It has a diffraction grating and a light source, and transmits light from the light source to the belt shape.
Two generated by multiple passes through the diffraction grating
The above-mentioned diffracted lights interfere with each other, and the resulting interference fringes
Moving along with rotation is used to detect the rotation angle of the DUT
I decided to use it.
【０００５】[0005]
【０００６】[0006]
【０００７】[0007]
【０００８】[0008]
【０００９】[0009]
【００１０】[0010]
【作用】本発明によれば、被測定物の回転に伴い回転す
る回転ドラムと、自由に回転する回転軸の間に、柔軟性
のあるベルト状スケールを直線移動する部分ができるよ
うに巻きつけ、回転ドラムの回転によりベルト状スケー
ルが移動し、それを検出することにより被測定物の回転
角度を検知するロータリーエンコーダにおいて、ベルト
状スケールとしてのベルト状回折格子と、光源を有し、
光源からの光をベルト状回折格子を複数回通過させるこ
とにより発生させた２つ以上の回折光を干渉させて干渉
縞を作り、回転ドラムの回転に従い移動する干渉縞を利
用して被測定物の回転角度を検知する。 According to the present invention, a flexible belt-like scale is wound between a rotating drum that rotates with the rotation of an object to be measured and a rotating shaft that freely rotates so as to form a portion that moves linearly. In a rotary encoder that detects the rotation angle of the object to be measured by detecting the movement of the belt-shaped scale by the rotation of the rotating drum , the belt
Having a belt-like diffraction grating as a shape scale and a light source,
The light from the light source must pass through the belt-like diffraction grating multiple times.
Interference between two or more diffracted lights generated by
Create fringes and use interference fringes that move with the rotation of the rotating drum.
To detect the rotation angle of the object to be measured.
【００１１】[0011]
【００１２】[0012]
【００１３】[0013]
【００１４】[0014]
【００１５】[0015]
【００１６】[0016]
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。本発明
は、回転運動を部分的に直線運動にし擬似的にリニアエ
ンコーダと同様の検出ができるようにしたものである。
図１は、本発明が適用されるベルト状スケールの移動機
構を説明するための図で、図中、１は回転ドラム、２は
回転軸、３はベルと状スケールで、図示のように、回転
ドラム１と回転軸２にベルト状スケール３がかけ渡され
ており、回転ドラム１の回転によりベルト状スケール３
が移動する。回転ドラム１は回転角を測定しようとする
被測定物と直結、又は連動して回転する。回転軸２は、
ベルト状スケール３と回転ドラム１との張力を調整し、
検出部分４を直線状にする。尚、回転軸は滑り軸でもよ
い。ベルト状スケール３は、柔軟性のある材料で、且
つ、引っ張り強さに強い材料を用いる。また、ベルト状
スケール３は、回転ドラム１と滑りがないような材質、
又は、構造、にする。被測定物の回転に伴い回転ドラム
１が回転すると、それに連れてベルト状スケール３が移
動する。このベルト状スケール３の移動量を検知するこ
とにより、回転角度が検出できる。Embodiments of the present invention will be described below. According to the present invention, the rotational movement is partially linearized so that the same detection as that of a linear encoder can be performed.
FIG. 1 is a diagram for explaining a mechanism for moving a belt-shaped scale to which the present invention is applied .
The rotating shaft 3 is a bell-shaped scale. As shown in the figure, the rotating drum 1 and the rotating shaft 2 are stretched over the belt-shaped scale 3.
Moves. The rotating drum 1 is directly connected to the object to be measured whose rotation angle is to be measured, or rotates in conjunction therewith. The rotating shaft 2 is
Adjust the tension between the belt-shaped scale 3 and the rotating drum 1,
The detection part 4 is made linear. Incidentally, the rotating shaft may be a sliding shaft. The belt-shaped scale 3 is made of a flexible material and a material having high tensile strength. The belt-shaped scale 3 is made of a material that does not slip with the rotating drum 1.
Or, the structure. When the rotating drum 1 rotates with the rotation of the object to be measured, the belt-shaped scale 3 moves accordingly. By detecting the amount of movement of the belt-shaped scale 3, the rotation angle can be detected.
【００１７】このように、回転ドラム１が被測定物の回
転に伴い回転し、回転ドラム１と自由に回転する回転軸
２の間に、柔軟性のあるベルト状スケールを直線移動す
る部分ができるように巻きつけ、この回転ドラム１の回
転によりベルト状スケール３が移動することを検出し
て、被測定物の回転角度の検知を行う。検出精度は、回
転ドラム１の真円度とベルト状スケール３のスケール精
度で決まる。また、ベルト状スケール３は、スケールの
ピッチむらが少なければよく、円板スケールと比較し、
作製上、精度の面で有利である。As described above, the rotary drum 1 rotates with the rotation of the object to be measured, and a portion for linearly moving the flexible belt-like scale is formed between the rotary drum 1 and the rotating shaft 2 that freely rotates. wound manner, by detecting that the belt-shaped scale 3 is moved by rotation of the rotary drum 1, for sensing the rotation angle of the object to be measured. Detection accuracy, Ru Kima roundness and scale accuracy of the belt-shaped scale 3 of the rotary drum 1. In addition , the belt-shaped scale 3 is only required to have a small pitch unevenness.
It is advantageous in terms of precision in manufacturing.
【００１８】図２は、ベルト状スケール３を透過型回折
格子としたもので、この例ではベルト状スケール３を透
過型回折格子としているが、反射型回折格子としてもよ
く、周囲の構成を反射型に適する構成に変更すれば透過
型と同様に検出できるようになることは勿論のことであ
る。ここで、説明を簡単にするために、固定用回折格子
５とベルト状回折格子のピッチは同じものとする。光源
６、レンズ７と検出器８は、ベルト状スケール３を間に
して対向的に配置されている。ベルト状スケール３には
固定用回折格子５が配設されており、固定用回折格子５
に入射するコリメート光を回折する。FIG . 2 shows a case where the belt-shaped scale 3 is a transmission type diffraction grating . In this example, the belt-shaped scale 3 is a transmission type diffraction grating. However, a reflection type diffraction grating may be used. Of course, if the configuration is changed to be suitable for the mold, it can be detected in the same manner as the transmission type. Here, for the sake of simplicity, it is assumed that the pitch of the fixing diffraction grating 5 and the pitch of the belt-like diffraction grating are the same. The light source 6, the lens 7, and the detector 8 are arranged to face each other with the belt-shaped scale 3 therebetween. A fixing diffraction grating 5 is provided on the belt-shaped scale 3.
Diffracts the collimated light incident on.
【００１９】次に、干渉縞の発生機構について説明す
る。光源６から放射されたレ−ザ−光は、レンズ７を経
てコリメ−ト光となり固定用回折格子５に入射する。前
記固定用回折格子５に入射したコリメ−ト光は、少なく
とも、ｎ１次とｎ２次の回折光を発生する。これらの回
折光はベルト状回折格子の直線部分に入射し、ｎ１次回
折光はｍ１次回折光を、ｎ２次回折光はｍ２次回折光を
発生させる。これら２つの回折光を干渉させることによ
り干渉縞を発生させる。即ち、固定用回折格子５のｎ１
次回折光であってベルト状回折格子のｍ１次回折光と、
固定用回折格子５のｎ２次回折光であってベルト状回折
格子のｍ２次回折光とを干渉させるのである。Next, the mechanism of generating interference fringes will be described. The laser light emitted from the light source 6 becomes collimated light through the lens 7 and enters the fixing diffraction grating 5. The collimated light incident on the fixing diffraction grating 5 generates at least n1 order and n2 order diffracted lights. These diffracted lights are incident on the linear portion of the belt-like diffraction grating, the n1st-order diffracted light generates the m1st-order diffracted light, and the n2nd-order diffracted light generates the m2th-order diffracted light. By causing these two diffracted lights to interfere with each other, interference fringes are generated. That is, n1 of the fixing diffraction grating 5
M1 order diffracted light of a belt-like diffraction grating,
The n-order diffracted light of the fixing diffraction grating 5 and the m2-order diffracted light of the belt-shaped diffraction grating interfere with each other.
【００２０】干渉縞の発生は、次のように行えばよい。
例えば、固定用回折格子５とベルト状回折格子の格子ピ
ッチをわずかに変えて回折角を変化させ、回折光同士を
干渉させれば、容易に干渉縞を発生させることができ
る。尚、干渉縞を発生させる方法はこの方法に限らず、
本発明の趣旨を満たすものであれば、他の干渉縞発生方
法であってもよい。図２のＩは、干渉縞の発生機構を表
した部分拡大図である。ベルト状回折格子の移動、即
ち、回転ドラム１が回転するに従い干渉縞は移動するた
め、これを検出することにより回転角が検出できる。干
渉縞の検出は干渉縞のピッチよりも小さい受光器で受光
することによっても可能であるが、本発明の趣旨を満た
すものであれば他の検出方法であってもよい。The generation of interference fringes may be performed as follows.
For example, if the diffraction angle is changed by slightly changing the grating pitch between the fixing diffraction grating 5 and the belt-like diffraction grating, and the diffracted lights interfere with each other, interference fringes can be easily generated. The method of generating interference fringes is not limited to this method.
Other interference fringe generation methods may be used as long as they satisfy the gist of the present invention. I in FIG. 2 is a partially enlarged view showing a mechanism of generating interference fringes. Since the interference fringes move as the belt-shaped diffraction grating moves, that is, as the rotating drum 1 rotates, the rotation angle can be detected by detecting the interference fringes. The interference fringes can be detected by receiving light with a light receiver smaller than the pitch of the interference fringes. However, other detection methods may be used as long as they satisfy the gist of the present invention.
【００２１】図２には、ベルト状回折格子及び固定用回
折格子を透過型構造としたものを示したが、図３、図４
に示すように反射型構造のものでもよい。図３は、ベル
ト状回折格子を反射型とした場合、図４は、固定用回折
格子を反射型とした場合をそれぞれ示している。図３で
は光源６から順に、レンズ７、ビームスプリッタ９、固
定用回折格子（透過型）５と配設されており、固定用回
折光氏（透過型）５を通過した光が反射型ベルト状回折
格子に照射される。また、ビームスプリッタ９で反射さ
れた干渉縞を検出器８で検出する。図３の例では、固定
用回折格子（透過型）５で回折された光と反射型ベルト
状回折格子で回折された光が干渉し、生じた干渉縞が回
転ドラムの回転に従い移動すること検知して被測定物の
回転角度を検知する。FIG. 2 shows a transmission type structure of the belt-like diffraction grating and the fixing diffraction grating.
As shown in FIG. FIG. 3 shows a case where the belt-shaped diffraction grating is of a reflection type, and FIG. 4 shows a case where the fixing diffraction grating is of a reflection type. In FIG. 3, a lens 7, a beam splitter 9, and a fixing diffraction grating (transmission type) 5 are arranged in this order from the light source 6, and the light passing through the fixing diffraction light (transmission type) 5 is shaped like a reflection belt. The diffraction grating is irradiated. The interference fringes reflected by the beam splitter 9 are detected by the detector 8. In the example of FIG. 3 , it is detected that the light diffracted by the fixing diffraction grating (transmission type) 5 and the light diffracted by the reflective belt-like diffraction grating interfere with each other, and the generated interference fringes move with the rotation of the rotating drum. detecting the rotation angle of the object to be measured by.
【００２２】図４では光源６から順に、レンズ７、ビー
ムスプリッタ９、透過型ベルト状回折格子、反射型固定
用回折格子と配設されており、ビームスプリッタ９で反
射された干渉縞を検出器８で検出する。図４の例では、
透過型ベルト状回折格子で回折された光と反射型固定用
回折格子で回折された光が干渉し、生じた干渉縞が回転
ドラムの回転に従い移動すること検知して被測定物の回
転角度を検知する。In FIG. 4, a lens 7, a beam splitter 9, a transmission-type belt-like diffraction grating, and a reflection-type fixing diffraction grating are arranged in this order from the light source 6, and the interference fringes reflected by the beam splitter 9 are detected by a detector. 8 to detect. In the example of FIG.
Light diffracted by the light diffracted by the transmission belt-like diffraction grating reflective fixed diffraction grating to interfere, the rotation angle of the object to be measured by detecting moving according the rotation of the resulting interference fringes rotate drum Detect.
【００２３】図５は、本発明によるロータリーエンコー
ダの一実施例を説明するための図で、本発明の要点は上
述の例等と異なり、固定用回折格子を用いていないこと
である。光源６から放射された光は、レンズ７を経てベ
ルト状回折格子１２を２回経験し出射する。本発明にお
いては、固定用回折格子の代わりに回折格子として、ベ
ルト状回折格子の他の部分を使うことである。干渉縞の
発生は、図２の例と同様に、ベルト状回折格子Ａ部分の
ｎ１次回折光であってベルト状回折格子Ｂ部分のｍ１次
回折光と、ベルト状回折格子Ａ部分のｎ２次回折光であ
ってベルト状回折格子Ｂ部分のｍ２次回折光とを干渉さ
せる。図５のＭは、この干渉の様子を示す部分拡大図で
ある。このとき発生する干渉縞は、互いに反対方向に移
動するベルト状回折格子を経験する光を用いるために、
固定用回折格子を用いたときの２倍の感度で変化する。
即ち、２倍の分解能を得ることができる。FIG . 5 shows a rotary encoder according to the present invention.
A diagram for explaining an embodiment of da, gist of the present invention on
Unlike the example described above , a fixing diffraction grating is not used. The light emitted from the light source 6 passes through the lens 7, experiences the belt-like diffraction grating 12 twice, and exits. In the present invention, another part of the belt-like diffraction grating is used as a diffraction grating instead of the fixing diffraction grating. The interference fringes are generated by the n1st-order diffracted light of the belt-shaped diffraction grating A, the m1st-order diffracted light of the belt-shaped diffraction grating B, and the n2nd-order diffracted light of the belt-shaped diffraction grating A , as in the example of FIG. Then, it interferes with the m2 order diffracted light of the belt-shaped diffraction grating B portion. M in FIG. 5 is a partially enlarged view showing the state of this interference. The interference fringes that occur at this time use light that experiences a belt-like diffraction grating that moves in opposite directions,
It changes with twice the sensitivity when using a fixed diffraction grating.
That is, twice the resolution can be obtained.
【００２４】図６は、ベルト状回折格子の製造方法の製
造工程を示しており、樹脂塗布工程、樹脂硬化工程、樹
脂剥離工程、ベルト化工程の各工程からなる。先ず、平
面状に作製された回折格子を用意する。例えば、この回
折格子はレリーフ型（凹凸のある）構造をしているもの
である。この回折格子に熱硬化樹脂、あるいは紫外線硬
化樹脂を塗布する（２Ｐ樹脂等）。このとき硬化した
後、柔軟性と引っ張り強さを持ち合わせるよう樹脂の厚
さを調節する。また、ワイヤ、金属版等を同時に接着す
る方法もある。樹脂の硬化後、樹脂を剥離する。剥離し
た樹脂を所望の長さにし、ベルト状に両端を接着する。
以上の工程をまとめると次のようになる。平面状に作成
された回折格子上に熱あるい紫外線硬化樹脂を塗布する
工程と、樹脂を硬化させる工程と、硬化樹脂を剥離する
工程と、剥離した樹脂の両端を接着しベルト状にする工
程となる。この方法は、平面状に作製された回折格子を
用いるため、ピッチの細かい高分解能な回折格子が作成
できる。また、ベルト状回折格子は回折格子の周の長さ
や、１周での格子数は厳密でなくても良く、作製が容易
である。FIG. 6 shows a manufacturing process of a method for manufacturing a belt-shaped diffraction grating, which comprises a resin coating process, a resin curing process, a resin peeling process, and a belt forming process. First, a diffraction grating manufactured in a planar shape is prepared. For example, this diffraction grating has a relief type (having irregularities) structure. A thermosetting resin or an ultraviolet curing resin is applied to the diffraction grating (2P resin or the like). After curing at this time, the thickness of the resin is adjusted so as to have flexibility and tensile strength. There is also a method of simultaneously bonding a wire, a metal plate, and the like. After the resin is cured, the resin is peeled off. The peeled resin is adjusted to a desired length, and both ends are bonded in a belt shape.
The above steps are summarized as follows. A step of applying a hot or ultraviolet curable resin on a diffraction grating formed in a plane, a step of curing the resin, a step of peeling the cured resin, and a step of bonding both ends of the peeled resin to form a belt. Becomes Since this method uses a diffraction grating formed in a planar shape, a high-resolution diffraction grating with a fine pitch can be formed. Further, the belt-like diffraction grating does not have to be strict in the length of the circumference of the diffraction grating and the number of gratings in one round, and is easy to manufacture.
【００２５】[0025]
【００２６】[0026]
【００２７】[0027]
【発明の効果】本発明によれば、部分的に回転運動を直
線運動とすることにより、検出部分ではリニアエンコ−
ダと同様に、検出精度の高い安定した検出を行うことが
できる。特に、ベルト状回折格子の柔軟性を利用し、光
源からの光がベルト状回折格子を複数回通過させること
で、固定用回折格子を省略することができる。また、ベ
ルト状回折格子が互いに反対方向に移動する構成とする
ことにより、その部分で検出を行うことで分解能を向上
させることができる。 According to the present invention, a linear encoder is used at the detection portion by partially making the rotary motion a linear motion.
As in the case of (1), stable detection with high detection accuracy can be performed. In particular, utilizing the flexibility of the belt-like diffraction grating,
Light from a source passed through a belt-like diffraction grating multiple times
Thus, the fixing diffraction grating can be omitted. Also,
The tilt gratings move in opposite directions.
This improves the resolution by detecting at that part
Can be done.
【００２８】[0028]
【００２９】[0029]
【００３０】[0030]
【００３１】[0031]
【００３２】[0032]
【００３３】[0033]
【図１】本発明が記載されるロ−タリ−エンコ−ダの一
例を示す図である。B [1] The present invention is described - Tali - ene - shows an <br/> example of da.
【図２】ロ−タリ−エンコ−ダの他の例を示す図であ
る。[Figure 2] b - Tali - ene - Figure der showing another example of da
You .
【図３】反射型ベルト状回折格子の例を示す図である。3 is a diagram showing an example of anti Igata belt-like diffraction grating.
【図４】反射型固定用回折格子の例を示す図である。4 is a diagram showing an example of a reflection-type fixed diffraction grating.
【図５】本発明の一実施例を示す図である。5 is a diagram showing a Kazumi施例of the present invention.
【図６】ベルト状回折格子の製造工程を示す図である。6 is a diagram showing a manufacturing process of a belt-like diffraction grating.
１ 回転ドラム ２ 回転軸 ３ ベルト状スケ−ル ４ 検出部 ５ 固定用回折格子 ６ レ−ザ−光源 ７ レンズ ８ 検出器 ９ ビ−ムスプリッタ− DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Rotary drum 2 Rotating shaft 3 Belt scale 4 Detecting part 5 Fixing diffraction grating 6 Laser light source 7 Lens 8 Detector 9 Beam splitter
【００３４】[0034]
Claims (1)
ムと、当該回転ドラム軸に略平行に配置された自由に回
転する回転軸と、前記回転ドラムと前記回転軸の間に直
線移動部分を有するよう巻きつけた柔軟性のあるベルト
状スケールと、前記回転ドラムの回転により前記ベルト
状スケールが移動することを検出する検出手段とからな
るロータリーエンコーダにおいて、ベルト状スケールと
してのベルト状回折格子と、光源を有し、前記光源から
の光を互に反対方向に移動する前記ベルト状回折格子を
経験させることにより発生した２つ以上の回折光を干渉
させて干渉縞を生成し、前記回転ドラムの回転に従い移
動する前記干渉縞を被測定物の回転角度の検知に用いる
ことを特徴とするロータリーエンコーダ。1. A rotating drum that rotates with the rotation of an object to be measured, a freely rotating rotating shaft disposed substantially parallel to the rotating drum shaft, and a linearly moving portion between the rotating drum and the rotating shaft. a belt-shaped scale with wound flexibility to have, Oite rotary encoder comprising a detecting means for detecting that the belt-shaped scale by the rotation of the rotary drum is moved, the belt-shaped scale
Belt-like diffraction grating, and a light source, from the light source
The belt-like diffraction grating that moves the light beams in opposite directions to each other
Interference between two or more diffracted lights generated by experience
To generate interference fringes, which are moved according to the rotation of the rotating drum.
The moving interference fringes are used for detecting the rotation angle of the device under test.
A rotary encoder, characterized in that:
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP03741394A JP3210164B2 (en) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | Rotary encoder |
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| JPH07243870A JPH07243870A (en) | 1995-09-19 |
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| JP03741394A Expired - Fee Related JP3210164B2 (en) | 1994-03-08 | 1994-03-08 | Rotary encoder |
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| JP (1) | JP3210164B2 (en) |
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1994
- 1994-03-08 JP JP03741394A patent/JP3210164B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH07243870A (en) | 1995-09-19 |
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