JP3206216B2 - ICP emission spectrometer - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣＰ（高周波誘導結
合プラズマ）発光分光分析装置に係り、特には、その試
料導入系の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ICP (high frequency inductively coupled plasma) emission spectrometer and, more particularly, to an improvement in a sample introduction system.

【０００２】[0002]

【従来の技術】一般に、ＩＣＰ発光分光分析装置の試料
導入系には、図３〜図５に示されるものがある。2. Description of the Related Art Generally, a sample introduction system of an ICP emission spectrometer is shown in FIGS.

【０００３】先ず、図３に示される試料導入系は、試料
容器１８の液体試料Ｓを霧吹き方式のネブライザ２５に
よって噴霧室２７内に向けて噴き出して霧化し、この霧
化試料を搬送管２８を経由して三重管構造のプラズマト
ーチ３０に導入し、高周波コイル２２による高周波磁界
により霧化試料を励起発光させて分析を行うものであ
る。First, in the sample introduction system shown in FIG. 3, the liquid sample S in the sample container 18 is sprayed toward the inside of the spray chamber 27 by the nebulizer 25 of the spray type to be atomized. The sample is introduced into the plasma torch 30 having a triple tube structure via the vial, and the atomized sample is excited by the high frequency magnetic field generated by the high frequency coil 22 to emit light for analysis.

【０００４】また、図４に示される試料導入系は、上述
の霧吹き方式のネブライザ２５に比べて、粒径の細かい
試料エアロゾルを得ることができる超音波ネブライザ３
を用いた導入系である。この超音波ネブライザ３は、超
音波振動によって液体試料Ｓを霧化するネブライザ本体
１３と脱溶媒部１４とから構成されており、噴霧室２７
内に供給された液体試料Ｓを、超音波振動子１６の振動
によって霧化し、キャリアガスと共に脱溶媒部１４に送
出し、この脱溶媒部１４の加熱段１４ａで加熱乾燥する
とともに、冷却段１４ｂで冷却して溶媒を除去してプラ
ズマトーチ３０に導入するものである。[0004] Further, the sample introduction system shown in FIG. 4 is capable of obtaining a sample aerosol having a smaller particle diameter than the nebulizer 25 of the above-mentioned spray type, and is capable of obtaining a sample aerosol.
This is an introduction system using. The ultrasonic nebulizer 3 is composed of a nebulizer main body 13 for atomizing the liquid sample S by ultrasonic vibration and a desolvating section 14, and a spray chamber 27
The liquid sample S supplied to the inside is atomized by the vibration of the ultrasonic vibrator 16 and sent out to the desolvation section 14 together with the carrier gas. Then, the solvent is removed by cooling the mixture into the plasma torch 30.

【０００５】さらに、図５に示される試料導入系は、液
体試料Ｓ中の元素を還元して気体の水素化物に変換して
からプラズマトーチ３０に導入する水素化物発生器２を
有する導入系である。Further, the sample introduction system shown in FIG. 5 is an introduction system having a hydride generator 2 for reducing an element in a liquid sample S to convert it into a gaseous hydride and then introducing the gaseous hydride to a plasma torch 30. is there.

【０００６】水素化物発生器２のジョイント部５に液体
試料Ｓ、水素化剤、およびキャリアガスを共に導入する
と、反応管６を通過する際に液体試料Ｓと水素化剤の大
部分は反応して水素化物が生成するとともに、未反応の
一部の水素化剤や試料液Ｓはそのまま気液分離室８内に
導入される。気液分離室８は、反応管６で得られる水素
化物Ｍと反応残留液Ｌとを分離するとともに、分析感度
を安定化させるためのものであり、この気液分離室８か
ら気体の水素化物がプラズマトーチ３０に向けて送出さ
れるものである。なお、気液分離室８の下部には、液面
レベル調整用のＳ字管９と、試料液交換時に反応残留液
を排出する急速排出管１０の各一端がそれぞれ接続さ
れ、Ｓ字管９と急速排出管１０との各他端は、いずれも
ドレインタンク１１に開口している。When the liquid sample S, the hydrogenating agent, and the carrier gas are introduced together into the joint 5 of the hydride generator 2, most of the liquid sample S and the hydrogenating agent react when passing through the reaction tube 6. As a result, a hydride is generated, and a part of the unreacted hydrogenating agent and the sample liquid S are directly introduced into the gas-liquid separation chamber 8. The gas-liquid separation chamber 8 separates the hydride M obtained in the reaction tube 6 from the reaction residual liquid L and stabilizes the analysis sensitivity. Is transmitted to the plasma torch 30. An S-shaped pipe 9 for adjusting the liquid level and one end of a quick discharge pipe 10 for discharging the residual reaction liquid at the time of exchanging the sample liquid are connected to the lower part of the gas-liquid separation chamber 8 respectively. The other ends of the and the rapid discharge pipe 10 are both open to the drain tank 11.

【０００７】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、図３に示さ
れる霧吹き方式のネブライザ２５あるいは図４に示され
る超音波ネブライザ３を用いた試料導入系では、Ａｓ、
Ｓｅ、Ｓｂ、Ｂｉなどの元素は、感度が不足して分析で
きず、このため、かかる元素の分析では、図５に示され
る水素化物発生器を用いた試料導入系によって元素を還
元して気体の水素化物に変換して分析する必要があり、
逆に、Ｃｄ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｒなどの元素は、気体の水
素化物に変換できないために、霧吹き方式のネブライザ
あるいは超音波ネブライザによる試料導入系を使用して
分析する必要がある。However, in the sample introduction system using the nebulizer 25 of the spray type shown in FIG. 3 or the ultrasonic nebulizer 3 shown in FIG. 4, As,
Elements such as Se, Sb, and Bi cannot be analyzed due to insufficient sensitivity. Therefore, in the analysis of such elements, the elements are reduced by a sample introduction system using a hydride generator shown in FIG. Must be converted to hydrides for analysis,
Conversely, since elements such as Cd, Fe, Zn, and Cr cannot be converted into gaseous hydrides, they need to be analyzed using a nebulizer of a spraying method or a sample introduction system using an ultrasonic nebulizer.

【０００８】したがって、従来例のＩＣＰ発光分光分析
装置では、上述のＡｓ、Ｓｅ、Ｓｂ、Ｂｉなどの元素お
よびＣｄ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｒなどの元素を共に含む試料
を分析する場合には、試料導入系を取り替えて２度分析
する必要があり、このため、分析に手間がかかるととも
に、その間に、アルゴンガスなどが多量に消費され、分
析コストが高くつくといった難点がある。Therefore, in the conventional ICP emission spectrometer, when analyzing a sample containing both the above-mentioned elements such as As, Se, Sb and Bi and the elements such as Cd, Fe, Zn, Cr, etc. It is necessary to perform the analysis twice by replacing the introduction system, which requires much time for the analysis, and in the meantime, there is a problem that a large amount of argon gas or the like is consumed and the analysis cost is high.

【０００９】本発明は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、試料導入系を取り替えることなく、同時に多
種類の元素を分析できるようにすることを目的とする。The present invention has been made in view of the above points, and has as its object to analyze many kinds of elements at the same time without replacing the sample introduction system.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、液体試料中の元素を還元して水素化
物に変換する水素化物発生器と、液体試料を霧化するネ
ブライザとを備え、前記水素化物発生器からの水素化物
およびキャリアガスが、前記ネブライザにキャリアガス
として供給され、前記ネブライザからの水素化物および
霧化された試料がプラズマトーチに導入されるようにし
ている。According to the present invention, in order to achieve the above object, a hydride generator for reducing an element in a liquid sample to convert it into a hydride, and a nebulizer for atomizing the liquid sample are provided. And the hydride and the carrier gas from the hydride generator are supplied to the nebulizer as a carrier gas, and the hydride and the atomized sample from the nebulizer are introduced into the plasma torch.

【００１１】[0011]

【作用】上記構成によれば、水素化物発生器からの水素
化物およびキャリアガスを、液体試料を霧化するネブラ
イザにキャリアガスとして供給し、ネブライザからの水
素化物および霧化された試料をプラズマトーチに導入す
るので、ネブライザによる試料導入系では感度が不足す
るＡｓ、Ｓｅ、Ｓｂ、Ｂｉなどの元素および気体の水素
化物に変換できないＣｄ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｒなどの元素
を、同時に分析できることになる。According to the above construction, the hydride and the carrier gas from the hydride generator are supplied as a carrier gas to the nebulizer for atomizing the liquid sample, and the hydride and the atomized sample from the nebulizer are converted into a plasma torch. Therefore, it is possible to simultaneously analyze elements such as As, Se, Sb, and Bi, which are insufficient in sensitivity in a sample introduction system using a nebulizer, and elements such as Cd, Fe, Zn, and Cr that cannot be converted into gaseous hydrides. .

【００１２】[0012]

【実施例】以下、図面によって本発明の実施例について
詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【００１３】図１は本発明の実施例に係るＩＣＰ発光分
光分析装置の全体を示す構成図であり、上述の従来例に
対応する部分には同一の符号を付す。FIG. 1 is a configuration diagram showing the entirety of an ICP emission spectrometer according to an embodiment of the present invention, and portions corresponding to the above-mentioned conventional example are denoted by the same reference numerals.

【００１４】この実施例のＩＣＰ発光分光分析装置１
は、水素化物発生器２および超音波ネブライザ３の２つ
の試料導入系を備えている。The ICP emission spectrometer 1 of this embodiment
Has two sample introduction systems, a hydride generator 2 and an ultrasonic nebulizer 3.

【００１５】水素化物発生器２は、図５の従来例と同様
の構成を有しており、試料容器１８からの液体試料Ｓ、
ＮaＢＨ₄などの水素化剤、およびＡrなどのキャリアガ
スが共に導入されるジョイント部５と、このジョイント
部５から延設されたコイル状の反応管６と、この反応管
６に連通管７を介して接続された気液分離室８とを備え
ている。The hydride generator 2 has the same configuration as that of the conventional example shown in FIG.
A joint 5 into which a hydrogenating agent such as NaBH ₄ and a carrier gas such as Ar are introduced, a coil-shaped reaction tube 6 extending from the joint 5, and a communication tube 7 connected to the reaction tube 6. And a gas-liquid separation chamber 8 connected through the air-liquid separation chamber 8.

【００１６】気液分離室８は、反応管６で生成される水
素化物Ｍと反応残留物Ｌとを分離するとともに、分析感
度を安定化させるためのものであり、その下部には、液
面レベル調整用のＳ字管９と、試料液交換時に反応残留
液を排出する急速排出管１０の各一端がそれぞれ接続さ
れ、Ｓ字管９と急速排出管１０との各他端は、いずれも
ドレインタンク１１に開口している。また、急速排出管
１０の途中には、反応残留液Ｌの強制排出用のペリスタ
ル式のポンプ１２が設けられている。The gas-liquid separation chamber 8 separates the hydride M generated in the reaction tube 6 from the reaction residue L and stabilizes the analysis sensitivity. One end of a S-shaped pipe 9 for level adjustment and one end of a quick discharge pipe 10 for discharging a reaction residual liquid at the time of exchanging a sample liquid are connected to each other, and the other ends of the S-shaped pipe 9 and the quick discharge pipe 10 are both connected. Open to the drain tank 11. A peristaltic pump 12 for forcibly discharging the reaction residual liquid L is provided in the middle of the rapid discharge pipe 10.

【００１７】一方、超音波ネブライザ３は、従来例と同
様に、超音波振動により液体試料を霧化するネブライザ
本体１３と、脱溶媒部１４とからなる。On the other hand, the ultrasonic nebulizer 3 comprises a nebulizer main body 13 for atomizing a liquid sample by ultrasonic vibration, and a desolvating section 14, as in the conventional example.

【００１８】ネブライザ本体１３は、噴霧室１５内に超
音波振動子１６を設けたもので、超音波振動子１６の表
面には、試料容器１８からポンプ１９の駆動により供給
管２０を通じて水素化物発生器２へ送られる試料と同一
の液体試料Ｓが送り込まれ、超音波振動子１６の振動に
より霧化される。脱溶媒部１４は、前段の加熱段１４ａ
と、後段の冷却段１４ｂとからなり、加熱段１４ａで
は、試料エアロゾルが加熱乾燥されて細粒子化され、冷
却段１４ｂでは、冷却により気化溶媒が結露して試料エ
アロゾルから取り除かれる。The nebulizer body 13 is provided with an ultrasonic oscillator 16 in a spray chamber 15, and the surface of the ultrasonic oscillator 16 is driven by a pump 19 from a sample container 18 to supply hydride through a supply pipe 20. The same liquid sample S as the sample sent to the vessel 2 is sent and atomized by the vibration of the ultrasonic vibrator 16. The desolvation section 14 includes a heating stage 14a in the preceding stage.
In the heating stage 14a, the sample aerosol is heated and dried to form fine particles, and in the cooling stage 14b, the vaporized solvent is condensed by cooling and removed from the sample aerosol.

【００１９】この実施例のＩＣＰ発光分光分析装置１で
は、水素化物発生器２の気液分離室８からの水素化物お
よびキャリアガスを、ネブライザ本体１３の噴霧室１５
に、キャリアガス送入管１７を通じてキャリアガスとし
て供給しており、これによって、ネブライザ本体１３か
らの霧化試料、水素化物およびキャリアガスが脱溶媒部
１４を介して三重管構造のプラズマトーチ３０に導入さ
れるようになっている。このプラズマトーチ３０は、高
周波コイル２２と同軸に配置され、クーラントガスおよ
びプラズマガスとともに、超音波ネブライザ３からの霧
化試料および水素化物が導入される。In the ICP emission spectrometer 1 of this embodiment, the hydride and the carrier gas from the gas-liquid separation chamber 8 of the hydride generator 2 are supplied to the spray chamber 15 of the nebulizer body 13.
Is supplied as a carrier gas through a carrier gas inlet pipe 17, whereby the atomized sample, hydride and carrier gas from the nebulizer main body 13 are supplied to the plasma torch 30 having a triple tube structure via the desolvation unit 14. It is being introduced. The plasma torch 30 is arranged coaxially with the high-frequency coil 22, and the atomized sample and the hydride from the ultrasonic nebulizer 3 are introduced together with the coolant gas and the plasma gas.

【００２０】以上の構成を有するＩＣＰ発光分光分析装
置１では、水素化物発生器２のジョイント部５に液体試
料Ｓ、水素化剤、およびキャリアガスを共に導入する
と、反応管６を通過する際に液体試料Ｓと水素化剤の大
部分は反応して水素化物が生成されるとともに、未反応
の一部の水素化剤や液体試料Ｓはそのまま気液分離室８
内に導入される。気液分離室８では、未反応液の液体試
料Ｓと水素化剤とはここで完全に反応して水素化物が発
生し、この水素化物がキャリアガスとともに、超音波ネ
ブライザ３に向けてキャリアガスとして送出される。In the ICP emission spectrometer 1 having the above structure, when the liquid sample S, the hydrogenating agent, and the carrier gas are introduced together into the joint 5 of the hydride generator 2, Most of the liquid sample S and the hydrogenating agent react with each other to generate hydrides, and a part of the unreacted hydrogenating agent and the liquid sample S are directly transferred to the gas-liquid separation chamber 8.
Introduced within. In the gas-liquid separation chamber 8, the liquid sample S of the unreacted liquid and the hydrogenating agent completely react with each other to generate a hydride, and this hydride is transferred to the ultrasonic nebulizer 3 together with the carrier gas toward the ultrasonic nebulizer 3. Is sent as

【００２１】一方、超音波ネブライザ３では、試料容器
１８から送り込まれる液体試料Ｓが、噴霧室１５内の超
音波振動子１６に吹き付けられて霧化し、この霧化試料
に、水素化物発生器２の気液分離室８からの水素化物お
よびキャリアガスが合流され、脱溶媒部１４の加熱段１
４ａで加熱乾燥され、さらに、冷却段１４ｂで冷却され
て溶媒が除去されてプラズマトーチ３０に向けて送出さ
れる。On the other hand, in the ultrasonic nebulizer 3, the liquid sample S sent from the sample container 18 is sprayed on the ultrasonic vibrator 16 in the spray chamber 15 to be atomized, and the atomized sample is supplied to the hydride generator 2. The hydride and the carrier gas from the gas-liquid separation chamber 8 are combined, and the heating stage 1
It is heated and dried in 4a, and further cooled in the cooling stage 14b to remove the solvent and sent out to the plasma torch 30.

【００２２】これによって、プラズマトーチ３０の試料
導入管には、水素化物発生器２からの水素化物と超音波
ネブライザ３からの試料エアロゾルとが混合されて同時
に導入され、励起発光されて分析される。Thus, the hydride from the hydride generator 2 and the sample aerosol from the ultrasonic nebulizer 3 are mixed and introduced into the sample introduction tube of the plasma torch 30 at the same time, and are excited and emitted for analysis. .

【００２３】このように、水素化物発生器２からの水素
化物と超音波ネブライザ３からの試料エアロゾルとが同
時にプラズマトーチ３０に導入されて分析されるので、
ネブライザによる試料導入系では感度が不足するＡｓ、
Ｓｅ、Ｓｂ、Ｂｉなどの元素および気体の水素化物に変
換できないＣｄ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｒなどの元素の同時分
析が可能となり、従来例のように、試料導入系を取り替
えて２度分析するといった必要がなく、分析効率が向上
するとともに、分析コストを低減することができる。As described above, the hydride from the hydride generator 2 and the sample aerosol from the ultrasonic nebulizer 3 are simultaneously introduced into the plasma torch 30 and analyzed.
As, where sensitivity is insufficient in a sample introduction system using a nebulizer,
Simultaneous analysis of elements such as Se, Sb, Bi and elements such as Cd, Fe, Zn, and Cr that cannot be converted to gaseous hydrides is possible. As in the conventional example, analysis is performed twice by replacing the sample introduction system. There is no need for this, and the analysis efficiency can be improved and the analysis cost can be reduced.

【００２４】また、水素化物発生器２および超音波ネブ
ライザ３の２つの試料導入系に対して、キャリアガス
は、水素化物発生器２に導入される一系統だけであるの
で、水素化物発生器２と超音波ネブライザ３との間で圧
力差が生じにくく、水素化物と霧化された試料とが均一
に混合されることになる。In addition, for the two sample introduction systems of the hydride generator 2 and the ultrasonic nebulizer 3, the carrier gas is only one system introduced into the hydride generator 2, so that the hydride generator 2 A pressure difference is hardly generated between the hydride and the ultrasonic nebulizer 3, and the hydride and the atomized sample are uniformly mixed.

【００２５】このように、Ａｓ、Ｓｅ、Ｓｂ、Ｂｉなど
の元素およびＣｄ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｒなどの元素の同時
分析が可能となるので、本発明のＩＣＰ発光分光分析装
置１は、例えば、水道水の試験方法に好適である。As described above, simultaneous analysis of elements such as As, Se, Sb, and Bi and elements such as Cd, Fe, Zn, and Cr becomes possible. Suitable for test method of tap water.

【００２６】さらに、内標準物質として使用されるＹ、
Ｃｏ、Ｓｒなどは、気体の水素化物に還元されないため
に、水素化物発生器２を利用した従来の分析において
は、内標準分析ができなかったけれども、本発明におい
ては、内標準物質をネブライザによって同時に導入でき
ることになり、内標準分析が可能となる。Further, Y used as an internal standard substance,
Since Co, Sr, and the like are not reduced to gaseous hydrides, the internal standard analysis could not be performed in the conventional analysis using the hydride generator 2. However, in the present invention, the internal standard substance was converted by a nebulizer. It can be introduced at the same time, and internal standard analysis becomes possible.

【００２７】図２は、本発明の他の実施例のＩＣＰ発光
分光分析装置１₁の全体を示す構成図であり、上述の実
施例に対応する部分には、同一の符号を付す。[0027] FIG. 2 is a block diagram showing the overall ICP emission spectrophotometer 1 ₁ of another embodiment of the present invention, the parts corresponding to the embodiments described above, the same reference numerals.

【００２８】この実施例は、上述の実施例の超音波ネブ
ライザ３に代えて、霧吹き方式のネブライザ２５を設け
たものであり、このＩＣＰ発光分光分析装置１₁は、水
素化物発生器２および霧吹き方式のネブライザ２５の２
つの試料導入系を備えている。In this embodiment, a nebulizer 25 of a spray type is provided in place of the ultrasonic nebulizer 3 of the above-described embodiment. The ICP emission spectrometer ₁₁ comprises a hydride generator 2 and a spray nozzle. System nebulizer 25-2
It has two sample introduction systems.

【００２９】霧吹き方式のネブライザ２５は、キャリア
ガスの噴出により、液体試料Ｓを霧化するネブライザ本
体２６と、このネブライザ本体２６で霧化して得られる
試料エアロゾルを均一化するための噴霧室２７とからな
る。The nebulizer 25 of the spray type comprises a nebulizer main body 26 for atomizing the liquid sample S by jetting a carrier gas, and a spray chamber 27 for homogenizing the sample aerosol obtained by atomization by the nebulizer main body 26. Consists of

【００３０】この実施例では、水素化物発生器２の気液
分離室８からの水素化物およびキャリアガスを、ネブラ
イザ２５に対してキャリアガスとして供給し、このキャ
リアガスの噴出によって、ネブライザ２５では、液体試
料Ｓを霧化し、この霧化試料および水素化物が混合され
てキャリアガスとともにプラズマトーチ３０に導入され
るようになっている。In this embodiment, the hydride and the carrier gas from the gas-liquid separation chamber 8 of the hydride generator 2 are supplied to the nebulizer 25 as a carrier gas, and the nebulizer 25 ejects the carrier gas. The liquid sample S is atomized, and the atomized sample and hydride are mixed and introduced into the plasma torch 30 together with the carrier gas.

【００３１】その他の構成は、上述の実施例と同様であ
る。Other configurations are the same as those of the above-described embodiment.

【００３２】この実施例においても、水素化物発生器２
からの水素化物と霧吹き方式のネブライザ２５の試料エ
アロゾルとが、ネブライザ２５で混合されてプラズマト
ーチ３０に同時に導入されて励起発光され、分析され
る。Also in this embodiment, the hydride generator 2
Is mixed with the sample aerosol of the nebulizer 25 of the spray type by the nebulizer 25, and is simultaneously introduced into the plasma torch 30 to be excited and emitted and analyzed.

【００３３】[0033]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、水素化物
発生器からの水素化物およびキャリアガスを、液体試料
を霧化するネブライザにキャリアガスとして供給するの
で、ネブライザで霧化された試料および水素化物が混合
されてプラズマトーチに導入されることになり、ネブラ
イザによる試料導入系では感度が不足するＡｓ、Ｓｅ、
Ｓｂ、Ｂｉなどの元素および気体の水素化物に変換でき
ないＣｄ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｃｒなどの元素を、同時に分析
できることになり、従来例のように、試料導入系を取り
替えて２度分析するといった必要がなく、分析効率が向
上するとともに、分析コストを低減することができる。As described above, according to the present invention, the hydride and the carrier gas from the hydride generator are supplied as the carrier gas to the nebulizer for atomizing the liquid sample. And hydride are mixed and introduced into the plasma torch, and the sensitivity of the sample introduction system using the nebulizer is insufficient for As, Se, and As.
Elements such as Sb and Bi and elements such as Cd, Fe, Zn, and Cr that cannot be converted to gaseous hydride can be analyzed at the same time. Therefore, it is necessary to perform analysis twice by replacing the sample introduction system as in the conventional example. Therefore, the analysis efficiency can be improved and the analysis cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明の一実施例のＩＣＰ発光分光分析装置の
構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an ICP emission spectrometer according to an embodiment of the present invention.

【図２】本発明の他の実施例のＩＣＰ発光分光分析装置
の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of an ICP emission spectrometer according to another embodiment of the present invention.

【図３】霧吹き方式のネブライザを備えた従来例の構成
図である。FIG. 3 is a configuration diagram of a conventional example including a nebulizer of a spray type.

【図４】超音波ネブライザを備えた従来例の構成図であ
る。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional example including an ultrasonic nebulizer.

【図５】水素化物発生器を備えた従来例の構成図であ
る。FIG. 5 is a configuration diagram of a conventional example including a hydride generator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，１₁ ＩＣＰ発光分光分析装置 ２ 水素化物発生器 ３ 超音波ネブライザ ２５ 霧吹き方式のネブライザ ３０ プラズマトーチ1, 1 ₁ ICP emission spectrometer 2 hydride generator 3 ultrasonic nebulizer 25 nebulizer of spray type 30 plasma torch

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 21/62 - 21/74 G01N 1/28 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. ⁷ , DB name) G01N 21/62-21/74 G01N 1/28 JICST file (JOIS)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 液体試料中の元素を還元して水素化物に
変換する水素化物発生器と、液体試料を霧化するネブラ
イザとを備え、 前記水素化物発生器からの水素化物およびキャリアガス
が、前記ネブライザにキャリアガスとして供給され、前
記ネブライザからの水素化物および霧化された試料がプ
ラズマトーチに導入されることを特徴とするＩＣＰ発光
分光分析装置。1. A hydride generator for reducing an element in a liquid sample to convert it into a hydride, and a nebulizer for atomizing the liquid sample, wherein the hydride and the carrier gas from the hydride generator are: An ICP emission spectrometer characterized by being supplied as a carrier gas to the nebulizer and introducing a hydride and an atomized sample from the nebulizer into a plasma torch.