JP3199355B2 - Dressing method of inner peripheral blade - Google Patents
Dressing method of inner peripheral bladeInfo
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は内周刃のドレッシン
グ方法に係り、特に半導体素子の素材となるシリコン等
のインゴットをウェーハに切断するスライシングマシン
の内周刃のドレッシング方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of dressing an inner peripheral blade, and more particularly to a method of dressing an inner peripheral blade of a slicing machine for cutting an ingot of silicon or the like, which is a material of a semiconductor device, into a wafer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】スライシングマシンは、回転する内周刃
の刃先にインゴットを押し当てて、インゴットをウェー
ハに切断する装置である。このスライシングマシンに使
用される内周刃１２は、図７に示すように、ドーナツ状
に形成された薄い台金１２ａと、その台金１２ａの内周
にダイヤモンド等の砥粒を固着して形成した刃先１２ｂ
とから構成され、前記インゴットはこの刃先１２ｂによ
って切断される。2. Description of the Related Art A slicing machine is a device for cutting an ingot into wafers by pressing the ingot against the edge of a rotating inner peripheral blade. As shown in FIG. 7, an inner peripheral blade 12 used in this slicing machine is formed by fixing a thin doughnut-shaped base metal 12a and abrasive grains such as diamond to the inner circumference of the base metal 12a. Cutting edge 12b
And the ingot is cut by the cutting edge 12b.
【０００３】ところで、前記内周刃は切断を続けている
うちに、刃先にスラッジ（インゴットの切断粉末）が堆
積して表面の砥粒が埋もれたり、砥粒が磨耗したりして
切断能力が低下する。この切断能力が低下した内周刃で
インゴットの切断を行うと、インゴットの切断抵抗が増
加するため、内周刃の軸線方向に作用する力が大きくな
る。この結果、内周刃は軸線方向に沿って変位し、反り
の大きいウェーハや、切断面の加工歪層の深さが大きな
ウェーハが切断される。By the way, while the inner peripheral blade continues cutting, sludge (cut powder of ingot) accumulates on the cutting edge and the abrasive grains on the surface are buried, or the abrasive grains are worn, so that the cutting ability is reduced. descend. When the ingot is cut with the inner peripheral blade having the reduced cutting ability, the cutting resistance of the ingot increases, so that the force acting on the inner peripheral blade in the axial direction increases. As a result, the inner peripheral blade is displaced along the axial direction, and a wafer with a large warp or a wafer with a large depth of the processing strain layer on the cut surface is cut.
【０００４】一方、半導体素子の製造工程では、ウェー
ハに高い平面精度が要求されるため、ウェーハは、後工
程において両面をラッピング加工等で平面研削される。
しかしながら、ウェーハは厚さが薄いため、反りが生じ
ていたり、切断面の加工歪層の深さが大きいと平面研削
作業に多大の時間を要する。このため、内周刃は、刃先
の切断能力が低下すると、刃先をドレッシングストーン
でドレッシングする。この際、切断されたウェーハの反
りや、切断面の加工歪層の深さ等から、刃先のどの部分
をどの程度ドレッシングすれば良いか判断される。[0004] On the other hand, in the manufacturing process of a semiconductor device, a wafer is required to have high planarity, so that the surface of the wafer is ground in a later step by lapping or the like.
However, since the thickness of the wafer is small, if the wafer is warped or if the depth of the processing strain layer on the cut surface is large, much time is required for the surface grinding operation. For this reason, when the cutting ability of the cutting edge is reduced, the inner peripheral blade dresses the cutting edge with a dressing stone. At this time, it is determined from the warpage of the cut wafer, the depth of the work strain layer on the cut surface, etc., which part of the cutting edge should be dressed and how much.
【０００５】図７に示すように、刃先１２ｂの先端上側
部分Ｄ（刃先１２ｂの最先端Ａから刃先１２ｂの上端Ｂ
までの部分）と下側部分Ｅ（刃先１２ｂの最先端Ａから
下端Ｃまでの部分）は、主として、ウェーハの反りに係
わるため、ウェーハに反りが生じた場合は、Ｄ又はＥを
ドレッシングする。また、刃先１２ｂの後端上側部分Ｆ
（上端Ｂから台金１２ａ側に向かう部分）及び下側部分
Ｇ（下端Ｃから台金１２ａ側に向かう部分）は、主とし
て、切断面の加工歪層の深さに係わるため、切断面の加
工歪深さが大きくなった場合にＦ又はＧをドレッシング
する。As shown in FIG. 7, the upper end portion D of the cutting edge 12b (from the leading end A of the cutting edge 12b to the upper end B of the cutting edge 12b).
And the lower portion E (the portion from the leading edge A to the lower end C of the cutting edge 12b) mainly relates to the warpage of the wafer. Therefore, when the wafer is warped, D or E is dressed. Also, the rear end upper portion F of the cutting edge 12b
(The portion from the upper end B toward the base metal 12a side) and the lower portion G (the portion from the lower end C toward the base metal 12a side) are mainly related to the depth of the processed strain layer on the cut surface. F or G is dressed when the strain depth increases.
【０００６】したがって、刃先をドレッシングするに
は、内周刃を回転させた状態で、ドレッシングストーン
と刃先を相対的に近づけるとともに、軸線方向に相対的
に変位させることが基本的に必要であり、従来の内周刃
のドレッシング方法としては、次のようなものがあっ
た。第１の方法は、作業者がドレッシングストーンを手
で持って行う方法であり、ドレッシングストーンの押し
つけ角度と押しつけ力によって、ドレッシング部分とド
レッシング量を選択調整する。Accordingly, in order to dress the cutting edge, it is basically necessary to relatively bring the dressing stone and the cutting edge relatively close and relatively displace in the axial direction while the inner peripheral blade is rotated. Conventional dressing methods for the inner peripheral blade include the following. A first method is a method in which a worker holds a dressing stone by hand, and selectively adjusts a dressing portion and a dressing amount according to a pressing angle and a pressing force of the dressing stone.
【０００７】第２の方法は、本願出願人から特開平１−
３０１０６３号公報として開示されている方法であり、
円柱状に形成されたドレッシングストーンを回転駆動す
るとともに、そのドレッシングストーンをＸＹＺの３方
向に移動自在な駆動装置によって任意の方法に傾けてド
レッシングする。この方法では、各種の切断情報からド
レッシングのタイミング、ドレッシング部分及びドレッ
シング量を自動的に判断する。そして、ドレッシングス
トーンを回転させることにより、図７に示す刃先１２ｂ
の先端上側部分Ｄと後端上側部分Ｆのドレッシングの切
り替え、又は刃先１２ｂの先端下側部分Ｅと後端下側部
分Ｇのドレッシングの切り替えを行う。A second method is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No.
No. 301063 discloses a method,
The dressing stone formed in a cylindrical shape is driven to rotate, and the dressing stone is dressed in a desired manner by a driving device movable in three directions of XYZ. In this method, a dressing timing, a dressing portion, and a dressing amount are automatically determined from various kinds of cutting information. Then, by rotating the dressing stone, the cutting edge 12b shown in FIG.
Of the upper front end portion D and the upper rear end portion F, or the lower end portion E and rear end lower portion G of the cutting edge 12b.
【０００８】第３の方法は、ドレッシングストーンを水
平・垂直方向に移動自在な駆動装置に設置し、そのドレ
ッシングストーンの水平・垂直方向の移動の組み合わせ
により、刃先の任意の部分をドレッシングする（特願平
７−１２８３８９号明細書）。A third method is to install a dressing stone in a drive device which can be moved in the horizontal and vertical directions, and to dress an arbitrary portion of the cutting edge by a combination of the horizontal and vertical movement of the dressing stone (particularly). No. 7-128389.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記第
１の方法では、作業者が回転する内周刃に近づいて作業
しなければならないため、安全性の面で問題がある。ま
た、第１の方法は、作業者の技能に依存するため、正確
なドレッシングが必ずしも保証されないという欠点も有
している。However, in the first method, there is a problem in terms of safety since the operator must work while approaching the rotating inner peripheral blade. Further, the first method has a drawback that accurate dressing is not always guaranteed because it depends on the skill of the worker.
【００１０】一方、第２の方法は、ドレッシングストー
ンを駆動する専用の装置を備える必要があるため、装置
が複雑且つ大型化するとともに、設備費が高価になると
いう欠点がある。また、第３の方法は、ドレッシングス
トーンの水平・垂直方向の移動の組み合わせのため、ド
レッシングストーンの動作が複雑となり、ドレッシング
に長時間を要するという欠点がある。[0010] On the other hand, the second method requires the provision of a dedicated device for driving the dressing stone, and thus has the disadvantage that the device is complicated and large, and the equipment cost is high. In the third method, the operation of the dressing stone is complicated due to the combination of the horizontal and vertical movement of the dressing stone, and there is a disadvantage that the dressing takes a long time.
【００１１】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、短時間で効率よく内周刃のドレッシングを行う
ことができる内周刃のドレッシング方法を提供すること
を目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a dressing method for an inner peripheral blade that can efficiently dress the inner peripheral blade in a short time.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
前記目的を達成するために、回転する内周刃の刃先に対
して回転しないドレッシングストーンを近づけて該内周
刃の刃先を前記ドレッシングストーン内に切り込むこと
により、前記内周刃の刃先をドレッシングする内周刃の
ドレッシング方法において、前記内周刃の刃先を前記ド
レッシングストーンに対して斜めの方向に切り込むこと
により、前記内周刃の刃先先端片側面を前記ドレッシン
グストーンでドレッシングした後、前記内周刃を前記ド
レッシングストーンから水平に引き抜くことにより、前
記内周刃の刃先後端片側面を前記切り込みにより形成さ
れた前記ドレッシングストーンの切り込み溝の山部又は
谷部でドレッシングすることを特徴とする。According to the first aspect of the present invention,
In order to achieve the above object, the cutting edge of the inner peripheral blade is dressed by bringing a non-rotating dressing stone closer to the cutting edge of the rotating inner peripheral blade and cutting the cutting edge of the inner peripheral blade into the dressing stone. In the dressing method of the inner peripheral blade, by cutting a cutting edge of the inner peripheral blade in an oblique direction with respect to the dressing stone, after dressing one side surface of the tip of the inner peripheral blade with the dressing stone, by pulling horizontally blade from the dressing stone, characterized by dressing crests or valleys of the cut recess of the dressing stone formed by cuts the cutting edge rear end side surface of the inner diameter saw.
【００１３】また、請求項２記載の発明は、前記目的を
達成するために、回転する内周刃の刃先に対して回転し
ないドレッシングストーンを近づけて該内周刃の刃先を
前記ドレッシングストーン内に切り込むことにより、前
記内周刃の刃先をドレッシングする内周刃のドレッシン
グ方法において、前記内周刃の刃先を前記ドレッシング
ストーンに対して斜め方向に切り込むことにより、前記
内周刃の刃先先端一方側面を前記ドレッシングストーン
でドレッシングした後、前記内周刃の刃先の切り込み方
向を変えることにより、前記内周刃の刃先先端他方側面
を前記ドレッシングストーンでドレッシングし、前記内
周刃を前記ドレッシングストーンから水平に引き抜くこ
とにより、前記内周刃の刃先後端一方側面を前記切り込
みにより形成された前記ドレッシングストーンの切り込
み溝の山部でドレッシングするとともに、刃先後端他方
側面を前記切り込み溝の谷部でドレッシングすることを
特徴とする。According to a second aspect of the present invention, in order to achieve the above object, a non-rotating dressing stone is brought closer to a rotating inner peripheral blade, and the inner peripheral blade is inserted into the dressing stone. In the dressing method of the inner peripheral blade, the cutting edge of the inner peripheral blade is cut in an oblique direction with respect to the dressing stone. After dressing with the dressing stone, by changing the cutting direction of the cutting edge of the inner peripheral blade, the other end side of the cutting edge of the inner peripheral blade is dressed with the dressing stone, and the inner peripheral blade is moved horizontally from the dressing stone. The inner peripheral blade is formed by the notch on one side surface of the rear end of the cutting edge. With dressing on the mountain portion of the cut recess of the dressing stone, characterized by dressing valley groove cut the cutting edge trailing the other side.
【００１４】また、請求項３記載の発明は、前記目的を
達成するために、回転する内周刃の刃先に対して回転し
ないドレッシングストーンを近づけて該内周刃の刃先で
前記ドレッシングストーンを切り込むことにより、前記
内周刃の刃先をドレッシングする内周刃のドレッシング
方法において、前記内周刃の刃先を前記ドレッシングス
トーンに対して水平に切り込むことにより、前記内周刃
の刃先先端両側面を前記ドレッシングストーンでドレッ
シングし、前記内周刃の刃先を前記ドレッシングストー
ンに対して斜め方向に引き抜くことにより、前記内周刃
の刃先後端一方側面を前記ドレッシングストーンでドレ
ッシングした後、前記内周刃の刃先の引き抜き方向を変
えることにより、前記内周刃の刃先後端他方側面を前記
ドレッシングストーンでドレッシングすることを特徴と
する。According to a third aspect of the present invention, in order to achieve the above object, a dressing stone which does not rotate is brought close to a cutting edge of a rotating inner peripheral blade, and the dressing stone is cut by the cutting edge of the inner peripheral blade. By this, in the dressing method of the inner peripheral blade for dressing the cutting edge of the inner peripheral blade, by cutting the blade edge of the inner peripheral blade horizontally with respect to the dressing stone, the both sides of the cutting edge of the inner peripheral blade. Dressing with a dressing stone, and by pulling out the cutting edge of the inner peripheral blade in an oblique direction with respect to the dressing stone, after dressing one side of the cutting edge rear end of the inner peripheral blade with the dressing stone, By changing the direction in which the cutting edge is pulled out, the other side of the cutting edge of the cutting edge of the inner peripheral blade is changed to the dressing string. Characterized by dressing down.
【００１５】請求項１記載の発明によれば、内周刃の刃
先をドレッシングストーンに対して斜めの方向に切り込
むことにより、内周刃の刃先先端片側面が前記ドレッシ
ングストーンに当接し、その当接した刃先先端片側面が
ドレッシングされる。更に斜めの方向に切り込んだ状態
から前記内周刃と前記ドレッシングストーンとを相対的
に離れる方向に移動させることにより、前記内周刃の刃
先後端片側面が、前記切り込みにより形成された前記ド
レッシングストーンの切り込み溝の山部又は谷部に当接
し、その当接した刃先後端片側面がドレッシングされ
る。これにより、内周刃の刃先の片側面のドレッシング
が行われる。According to the first aspect of the present invention, the cutting edge of the inner peripheral blade is cut in an oblique direction with respect to the dressing stone, so that one side of the distal end of the inner peripheral blade comes into contact with the dressing stone. One side surface of the tip of the contacting blade tip is dressed. Further, by moving the inner peripheral blade and the dressing stone relatively away from a state where the inner peripheral blade is cut in an oblique direction, the one side surface of the cutting edge rear end of the inner peripheral blade is formed by the dressing. The ridge or valley of the cut groove of the stone is abutted, and the one side surface of the abutting edge of the cutting edge is dressed. Thereby, dressing is performed on one side surface of the cutting edge of the inner peripheral blade.
【００１６】また、請求項２記載の発明によれば、前記
内周刃の刃先を前記ドレッシングストーンに対して斜め
方向に切り込むことにより、前記内周刃の刃先先端一方
側面を前記ドレッシングストーンでドレッシングし、そ
の後連続して、前記内周刃の刃先の切り込み方向を変え
ることにより、前記内周刃の刃先先端他方側面を前記ド
レッシングストーンでドレッシングする。これにより、
内周刃の刃先先端の両側面がドレッシングされる。そし
て、前記の如く交互に斜めに切り込んだ後、前記内周刃
と前記ドレッシングストーンとを相対的に離れる方向に
移動させることにより、前記内周刃の刃先後端一方側面
が前記切り込みにより形成された前記ドレッシングスト
ーンの切り込み溝の山部に当接してドレッシングされる
とともに、刃先後端他方側面が前記切り込み溝の谷部に
当接してドレッシングされる。これにより、内周刃の刃
先の両面がドレッシングされる。According to the second aspect of the present invention, the cutting edge of the inner peripheral blade is cut obliquely with respect to the dressing stone, so that one side of the distal end of the inner peripheral blade is dressed with the dressing stone. Then, continuously changing the cutting direction of the cutting edge of the inner peripheral blade, the other end side of the cutting edge of the inner peripheral blade is dressed with the dressing stone. This allows
Both side surfaces of the tip end of the inner peripheral blade are dressed. And, as described above, after being cut obliquely alternately, by moving the inner peripheral blade and the dressing stone relatively away from each other, the cutting edge rear end one side surface of the inner peripheral blade is formed by the cut. The dressing stone is dressed while being in contact with the crests of the cut grooves of the dressing stone, and the other end surface of the cutting edge is in contact with the valleys of the cut grooves to be dressed. Thereby, both surfaces of the cutting edge of the inner peripheral blade are dressed.
【００１７】また、請求項３記載の発明によれば、前記
内周刃の刃先を前記ドレッシングストーンに対して水平
に切り込むことにより、前記内周刃の刃先先端両側面を
前記ドレッシングストーンでドレッシングする。そし
て、水平に切り込んだ状態から、内周刃の刃先を前記ド
レッシングストーンに対して斜め方向に引き抜くことに
より、前記内周刃の刃先後端一方側面を前記ドレッシン
グストーンでドレッシングし、その後連続して、前記内
周刃の刃先の引き抜き方向を変えることにより、前記内
周刃の刃先後端他方側面を前記ドレッシングストーンで
ドレッシングする。これにより、内周刃の刃先の両面が
ドレッシングされる。According to the third aspect of the present invention, the cutting edge of the inner peripheral blade is cut horizontally with respect to the dressing stone, so that both sides of the distal end of the inner peripheral blade are dressed with the dressing stone. . Then, from the horizontally cut state, by pulling out the cutting edge of the inner peripheral blade in an oblique direction with respect to the dressing stone, the inner peripheral blade is dressed with the dressing stone on one side of the rear end of the cutting edge, and then continuously. By changing the direction in which the cutting edge of the inner peripheral blade is pulled out, the other side surface of the rear end of the cutting edge of the inner peripheral blade is dressed with the dressing stone. Thereby, both surfaces of the cutting edge of the inner peripheral blade are dressed.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る内周刃のドレッシング方法の好ましい実施の形態につ
いて詳説する。図１は、本発明に係る内周刃のドレッシ
ング方法が適用されたスライシングマシンの構成を示す
側面断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of a method for dressing an inner peripheral blade according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a side sectional view showing a configuration of a slicing machine to which a dressing method for an inner peripheral blade according to the present invention is applied.
【００１９】同図に示すように、前記スライシングマシ
ン１０は、主として、内周刃１２を回転駆動する回転駆
動部１４とインゴット１６を水平・垂直方向に駆動する
水平・垂直駆動部１８とから構成される。前記回転駆動
部１４は、内周刃１２を支持するチャックボディ２０を
備え、チャックボディ２０は、図示しないモータに連結
されたスピンドル２２の上端部に連結されている。一
方、前記内周刃１２は、ドーナツ状に形成された台金１
２ａと、その台金１２ａの内周縁にダイヤモンド砥粒を
固着して形成した刃先１２ｂとから構成され、その台金
１２ａの外縁を前記チャックボディ２０に張り上げられ
て支持される。また、このチャックボディ２０には、図
示しない張り増し機構が設けられており、前記内周刃１
２は、この張り増し機構により、その張力が調整できる
ように構成されている。As shown in FIG. 1, the slicing machine 10 mainly comprises a rotary drive unit 14 for rotating the inner peripheral blade 12 and a horizontal / vertical drive unit 18 for driving the ingot 16 in the horizontal and vertical directions. Is done. The rotation drive unit 14 includes a chuck body 20 that supports the inner peripheral blade 12, and the chuck body 20 is connected to an upper end of a spindle 22 connected to a motor (not shown). On the other hand, the inner peripheral blade 12 is a donut-shaped base metal 1.
2a and a cutting edge 12b formed by fixing diamond abrasive grains to the inner peripheral edge of the base metal 12a. The outer edge of the base metal 12a is stretched and supported by the chuck body 20. The chuck body 20 is provided with a tensioning mechanism (not shown).
2 is configured such that its tension can be adjusted by this tensioning mechanism.
【００２０】前記水平・垂直駆動部１８は、切断送りテ
ーブル２４を有し、切断送りテーブル２４は、ワーク割
り出しスライダ２６と回収・研磨装置２８を備えてい
る。前記切断送りテーブル２４は、図示しない架台上に
設置され、図示しない駆動装置に駆動されて、図中Ｘ−
Ｘ方向にスライド移動する。前記ワーク割り出しスライ
ダ２６は、前記切断送りテーブル２４上に設置され、図
示しない駆動装置に駆動されて、図中Ｚ−Ｚ方向にスラ
イド移動する。このワーク割り出しスライダ２６の下部
には、ワーク支持台２９が設けられており、前記半導体
インゴット１６は、このワーク支持台２９の下面にワー
クブロック３０を介して固着される。The horizontal / vertical drive section 18 has a cutting feed table 24, and the cutting feed table 24 includes a work indexing slider 26 and a collecting / polishing device 28. The cutting and feeding table 24 is installed on a gantry (not shown), and is driven by a driving device (not shown).
Slide in the X direction. The work indexing slider 26 is set on the cutting and feeding table 24 and is driven by a driving device (not shown) to slide in the ZZ direction in the drawing. A work support 29 is provided below the work index slider 26, and the semiconductor ingot 16 is fixed to a lower surface of the work support 29 via a work block 30.
【００２１】したがって、前記ワーク支持台２９に支持
された半導体インゴット１６は、切断送りテーブル１４
により切断送り方向（Ｘ−Ｘ方向）に、また、ワーク割
り出しスライダ１５によりワーク割出し方向（Ｚ−Ｚ方
向）に移動することができる。また、前記切断送りテー
ブル２４及びワーク割出しスライダ２６は、ＣＰＵ３２
からの指令信号により駆動される。Therefore, the semiconductor ingot 16 supported by the work supporting table 29 is
Thus, the workpiece can be moved in the cutting feed direction (XX direction) and the workpiece indexing slider 15 can be moved in the workpiece indexing direction (ZZ direction). The cutting feed table 24 and the work index slider 26 are provided with a CPU 32.
It is driven by a command signal from.
【００２２】前記回収・研磨装置２８は、回収皿３４、
回収皿３４を移動させる移動機構３６、及び移動機構３
６の駆動を制御するサーボコントローラ３８から構成さ
れる。前記回収皿３４は、略矩形状に形成され、その上
面に、切断されたウェーハを受け取る複数のパッド４
０、４０、…が設けられている。このパッド４０は、円
筒状に形成され、図示しないバキュームポンプに連通さ
れている。そして、このバキュームポンプを作動させる
ことにより、切断されたウェーハを吸着固定する。The collecting / polishing device 28 includes a collecting plate 34,
A moving mechanism 36 for moving the collection tray 34, and a moving mechanism 3
6 comprises a servo controller 38 for controlling the driving of the motor. The collecting tray 34 is formed in a substantially rectangular shape, and has a plurality of pads 4 on its upper surface for receiving the cut wafer.
, 0, 40,... The pad 40 is formed in a cylindrical shape and communicates with a vacuum pump (not shown). Then, by operating the vacuum pump, the cut wafer is suction-fixed.
【００２３】また、この回収皿３４の先端部には、前記
内周刃１２のドレッシングを行うドレッシングストーン
４２が設けられている。このドレッシングストーン４２
は、前記回収皿３４の先端に、ストーンホルダ４４を介
して着脱自在に取り付けられる。前記移動機構３６は、
図２に示すように、前記回収皿３４を図中左右方向にス
ライド移動させる水平駆動部４６、及び前記回収皿３４
を図中上下方向にスライド移動させる垂直駆動部４８か
ら構成される。A dressing stone 42 for dressing the inner peripheral blade 12 is provided at the tip of the collection dish 34. This dressing stone 42
Is detachably attached to the tip of the collection tray 34 via a stone holder 44. The moving mechanism 36 includes:
As shown in FIG. 2, a horizontal driving unit 46 for slidingly moving the collection tray 34 in the left-right direction in the figure, and the collection tray 34
Is vertically slid in the drawing.
【００２４】前記水平駆動部４６は、水平スライダ５０
を備えており、水平スライダ５０は、ベース５２上に配
設されたガイドレール５４上にリニアベアリング５４
Ａ、５４Ａを介してスライド移動自在に支持されてい
る。このベース３２は、前記切断送りテーブル２４にボ
ルト５６、５６、…で固定されており、図中左端部にブ
ラケット５８Ａを介してナット部材５８が設けられてい
る。ナット部材５８には、リードスクリュウ６０Ａが螺
合されており、リードスクリュウ６０Ａの一方端には、
前記水平スライダ５０に設置されたサーボモータ６０の
回転軸に連結されている。The horizontal driving section 46 includes a horizontal slider 50.
The horizontal slider 50 has a linear bearing 54 on a guide rail 54 disposed on the base 52.
It is slidably supported via A and 54A. The base 32 is fixed to the cutting feed table 24 with bolts 56, 56,..., And a nut member 58 is provided at the left end in the figure via a bracket 58A. A lead screw 60A is screwed into the nut member 58, and one end of the lead screw 60A is
The horizontal slider 50 is connected to a rotating shaft of a servomotor 60.
【００２５】これにより、水平スライダ５０は、前記サ
ーボモータ６０を駆動してリードスクリュー５６Ａを回
転させることにより、前記ガイドレール５４上を図中左
右方向にスライド移動する。また、前記サーボモータ６
０の回転量は、逐次、前記サーボコントローラ３８にフ
ィードバックされる。前記垂直駆動部４８は、垂直スラ
イドアーム６２を備えており、垂直スライドアーム６２
は、支柱６４に配設されたガイドレール６６上にリニア
ベアリング６６Ａ、６６Ａを介してスライド移動自在に
支持されている。この支柱６４は、前記水平スライダ５
０に支持されており、その上端部にサーボモータ６８が
配設されている。このサーボモータ６８の回転軸には、
リードスクリュウ６８Ａが連結されており、リードスク
リュウ６８Ａの一方端は、前記垂直スライドアーム６２
に支持部材７０Ａを介して設けられたナット部材７０に
螺合されるている。また、前記サーボモータ６８の回転
量は、逐次、前記サーボコントローラ３８にフィードバ
ックされる。As a result, the horizontal slider 50 slides on the guide rail 54 in the left-right direction in the figure by driving the servo motor 60 to rotate the lead screw 56A. The servo motor 6
The rotation amount of 0 is sequentially fed back to the servo controller 38. The vertical drive unit 48 includes a vertical slide arm 62.
Are slidably supported on guide rails 66 provided on the support columns 64 via linear bearings 66A, 66A. The support 64 is provided with the horizontal slider 5.
0, and a servomotor 68 is provided at the upper end thereof. The rotation axis of the servo motor 68 includes
A lead screw 68A is connected, and one end of the lead screw 68A is connected to the vertical slide arm 62.
Is screwed to a nut member 70 provided via a support member 70A. The rotation amount of the servo motor 68 is sequentially fed back to the servo controller 38.
【００２６】これにより、垂直スライドアーム６２は、
前記サーボモータ６８を駆動してリードスクリュウ６８
Ａを回転させることにより、ガイドレール６６上を図中
上下方向にスライド移動する。前記の如く構成されるこ
とにより、垂直スライドアーム６２は、前記水平駆動部
４６及び前記垂直駆動部４８に駆動されて水平・垂直方
向に移動する。As a result, the vertical slide arm 62
By driving the servo motor 68, the lead screw 68
By rotating A, it slides on the guide rail 66 in the vertical direction in the figure. With the above configuration, the vertical slide arm 62 is driven by the horizontal drive unit 46 and the vertical drive unit 48 to move in the horizontal and vertical directions.
【００２７】図３は、前記垂直スライドアーム６２の構
成を示す平面図である。同図に示すように、前記垂直ス
ライドアーム６２は、Ｌ字状に形成され、基端部にロー
タリアクチュエータ７２が設置されている。また、先端
部には、シャフト７４が回動自在に支持されている。前
記ロータリアクチュエータ７２の駆動軸７２Ａの下端に
は、駆動ギア７６が固着され、駆動ギア７６には、図示
しない伝達ギアが螺合されている。一方、前記シャフト
７４の上端には、従動ギア７８が固着されており、更
に、垂直スライドアーム６２のコーナ部には、プーリ８
０、８０が回動自在に支持されている。そして、前記駆
動ギア７６に螺合された伝達ギアと従動ギア７８には、
前記プーリ８０、８０を介してタイミングベルト８２が
巻きかけられている。FIG. 3 is a plan view showing the structure of the vertical slide arm 62. As shown in the figure, the vertical slide arm 62 is formed in an L-shape, and a rotary actuator 72 is installed at a base end. A shaft 74 is rotatably supported at the distal end. A drive gear 76 is fixed to the lower end of the drive shaft 72A of the rotary actuator 72, and a transmission gear (not shown) is screwed to the drive gear 76. On the other hand, a driven gear 78 is fixed to the upper end of the shaft 74, and a pulley 8 is attached to a corner of the vertical slide arm 62.
0 and 80 are rotatably supported. The transmission gear and the driven gear 78 screwed to the driving gear 76 include:
A timing belt 82 is wound around the pulleys 80 and 80.
【００２８】これにより、前記ロータリアクチュエータ
７２が回転すると、その回転がタイミングベルト８２を
介してシャフト７４に伝達される。前記回収皿３４は、
前記シャフト７４の下端部に連結部材８２を介して取り
付けられる。前記サーボコントローラ３８は、ＣＰＵか
ら出力される目標値に基づいて、サーボモータ６０、６
８及びロータリーアクチュエータ７２を駆動制御する。
このサーボコントローラ３８には、前記回収皿３４をウ
ェーハ回収位置に復帰させる復帰制御プログラムが予め
入力されており、スライシングマシン１０の運転がドレ
ッシング運転からウェーハの切断運転に切り換わると、
速やかに回収皿３４をウェーハ回収位置に復帰させ、切
断されるウェーハとパッド４０との間に適切なクリアラ
ンスを形成する。When the rotary actuator 72 rotates, the rotation is transmitted to the shaft 74 via the timing belt 82. The collecting plate 34 is
It is attached to the lower end of the shaft 74 via a connecting member 82. The servo controller 38 controls the servo motors 60 and 6 based on a target value output from the CPU.
8 and the rotary actuator 72.
A return control program for returning the collection tray 34 to the wafer collection position is input to the servo controller 38 in advance, and when the operation of the slicing machine 10 switches from the dressing operation to the wafer cutting operation,
The collection tray 34 is promptly returned to the wafer collection position, and an appropriate clearance is formed between the cut wafer and the pad 40.
【００２９】前記の如く構成されたスライシングマシン
を用いた本発明に係る内周刃のドレッシング方法は次の
ように実施される。まず、図２に示すように、ウェーハ
の切断運転時にウェーハ回収位置に位置していた回収皿
３４を、ロータリアクチュエータ７２とサーボモータ６
０、６８を駆動してドレッシング開始位置、すなわち、
ドレッシングストーン４２と内周刃１２の刃先１２ｂと
が対向する位置に位置させる。これと同時に、内周刃１
２を回転させる。The dressing method for the inner peripheral blade according to the present invention using the slicing machine configured as described above is carried out as follows. First, as shown in FIG. 2, the collection plate 34 located at the wafer collection position during the wafer cutting operation is replaced with the rotary actuator 72 and the servo motor 6.
0, 68 to drive the dressing start position,
The dressing stone 42 and the cutting edge 12b of the inner peripheral blade 12 are located at positions facing each other. At the same time, the inner peripheral blade 1
Rotate 2.
【００３０】次に、サーボモータ６０を駆動することに
より、水平スライダ５０を図中Ｘ（−）方向にスライド
移動させ、ドレッシングストーン４２を回転する内周刃
１２に向けて（図中Ｘ（−）方向）送り込む。そして、
ドレッシングストーン４２を内周刃１２の刃先１２ｂ
で、図４（ａ）に示す位置、すなわち、刃先１２ｂの最
先端Ａから上端Ｂ（下端Ｃ）まで切り込む。Next, by driving the servomotor 60, the horizontal slider 50 is slid in the X (-) direction in the figure, and the dressing stone 42 is turned toward the rotating inner peripheral blade 12 (X (-in the figure). ) Direction) feed. And
The dressing stone 42 is moved to the cutting edge 12b of the inner peripheral blade 12.
4A, that is, cut from the leading edge A of the cutting edge 12b to the upper end B (lower end C).
【００３１】次に、サーボモータ６０を駆動することに
より、水平スライダ５０を図中Ｘ（−）方向にスライド
移動させ、ドレッシングストーン４２を回転する内周刃
１２に向けて（図中Ｘ（−）方向）所定量送り込む。こ
れと同時に、サーボモータ６８を駆動することにより、
垂直スライドアーム６２を図中Ｚ（−）方向にスライド
移動させ、ドレッシングストーン４２を所定量（台金１
２ａが切り込み溝４３に当接しない程度）下降（図中Ｚ
（−）方向）させる。これにより、ドレッシングストー
ン４２は、図４（ｂ）に示すように、斜め下方に移動
し、刃先１２ｂにより斜め上方に切り込まれる。Next, by driving the servo motor 60, the horizontal slider 50 is slid in the X (-) direction in the figure, and the dressing stone 42 is moved toward the rotating inner peripheral blade 12 (X (-) in the figure). ) Direction) Feed a predetermined amount. At the same time, by driving the servo motor 68,
The vertical slide arm 62 is slid in the Z (-) direction in the figure, and the dressing stone 42 is moved by a predetermined amount (metal 1).
2a does not come into contact with the cut groove 43) descends (Z in the figure)
(-) Direction). Thereby, the dressing stone 42 moves diagonally downward as shown in FIG. 4B, and is cut diagonally upward by the cutting edge 12b.
【００３２】ここで、前記ドレッシングストーン４２に
は、図７に示す刃先１２ｂの先端上側部分Ｄ（刃先１２
ｂの最先端Ａから刃先１２ｂの上端Ｂまでの部分）が当
接し、ドレッシングストーン４２は、その刃先１２ｂの
先端上側部分Ｄにより斜め上方に切り込まれる。これに
より、前記刃先１２ｂの先端上側部分Ｄが、ドレッシン
グされる。Here, the dressing stone 42 has an upper end portion D (the cutting edge 12) of the cutting edge 12b shown in FIG.
b), and the dressing stone 42 is cut obliquely upward by the upper end portion D of the cutting edge 12b. Thereby, the upper end portion D of the cutting edge 12b is dressed.
【００３３】次に、サーボモータ６０を駆動することに
より、水平スライダ５０を図中Ｘ（＋）方向にスライド
移動させ、ドレッシングストーン４２を回転する内周刃
１２から引き離す方向（図中Ｘ（＋）方向）に所定量移
動させる。これにより、ドレッシングストーン４２は、
図４（ｃ）に示すように、水平に移動し、ドレッシング
ストーン４２から刃先１２ｂが引き抜かれる。Next, by driving the servo motor 60, the horizontal slider 50 is slid in the X (+) direction in the figure, and the dressing stone 42 is separated from the rotating inner peripheral blade 12 (X (+) in the figure). ) Direction). Thereby, the dressing stone 42 becomes
As shown in FIG. 4C, the blade 12b moves horizontally and the cutting edge 12b is pulled out of the dressing stone 42.
【００３４】ここで、前記刃先１２ｂは、ドレッシング
ストーン４２から引き抜かれる過程において、図７に示
す後端上側部分Ｆ（上端Ｂから台金１２ａ側に向かう部
分）が、前記ドレッシングストーン４２を斜め上方に切
り込むことにより形成された切り込み溝４３の谷部４３
Ａに当接し、その谷部４３Ａを削りながら引き抜かれ
る。これにより、前記刃先１２ｂの後端上側部分Ｆが、
ドレッシングされる。Here, in the process of being pulled out from the dressing stone 42, the cutting edge 12b moves the dressing stone 42 obliquely upward by a rear upper portion F (portion from the upper end B toward the base metal 12a) shown in FIG. Valley 43 of cut groove 43 formed by cutting
It comes into contact with A and is pulled out while shaving its valley 43A. Thereby, the rear end upper part F of the cutting edge 12b is
Dressed.
【００３５】前記一連の工程を行うことにより、内周刃
１２の刃先１２ｂの片側（上側）面のドレッシングが終
了する。したがって、刃先１２ｂの他方側（下側）面
は、前記ドレッシングストーン４２を斜め下側に切り込
み、水平に引き抜くことによりドレッシングすることが
できる。これにより、刃先１２ｂの両面のドレッシング
を行うことができる。By performing the above series of steps, the dressing of one (upper) surface of the cutting edge 12b of the inner peripheral blade 12 is completed. Therefore, the other (lower) surface of the cutting edge 12b can be dressed by cutting the dressing stone 42 obliquely downward and pulling it out horizontally. Thereby, dressing of both sides of the blade tip 12b can be performed.
【００３６】また、刃先１２ｂの状態に応じて、切り込
み量や切り込み角度、ドレッシング回数を変えることに
より、刃先１２ｂの所望の部分を所望の量だけドレッシ
ングすることができる。このように、第１の実施の形態
の内周刃のドレッシング方法によれば、内周刃１２の刃
先１２ｂをドレッシングストーン４２に対して斜めの方
向に切り込み、水平に引き抜くという単純で簡単な動作
により、刃先１２ｂのドレッシングを行うことができ
る。これにより、短時間で効率よく内周刃１２の刃先１
２ｂのドレッシングを行うことができる。By changing the cutting amount, the cutting angle, and the number of times of dressing according to the state of the cutting edge 12b, a desired portion of the cutting edge 12b can be dressed by a desired amount. As described above, according to the dressing method of the inner peripheral blade of the first embodiment, the simple and simple operation of cutting the blade edge 12b of the inner peripheral blade 12 in an oblique direction with respect to the dressing stone 42 and pulling out horizontally. Thereby, dressing of the cutting edge 12b can be performed. Thereby, the cutting edge 1 of the inner peripheral blade 12 can be efficiently formed in a short time.
2b can be dressed.
【００３７】また、単純で簡単な駆動構造の装置を用い
て実施することができるとともに、既存の装置を利用し
て実施することもできるため、従来のように、装置が複
雑且つ大型化することもなく、また、設備費が高価にな
るということもない。さらに、ドレッシングに人手を要
しないため、ドレッシングによる切断時間のロスを低減
することができ、スループットを向上させることができ
るとともに、作業の安全性も確保することができる。Further, the present invention can be implemented using a device having a simple and simple driving structure, and can also be implemented using an existing device. There is no cost of equipment. Further, since dressing does not require any manpower, loss of cutting time due to dressing can be reduced, throughput can be improved, and work safety can be ensured.
【００３８】また、ドレッシングストーン４２の消費量
も必要最小限に止めることができる。図５は、本発明に
係る内周刃のドレッシング方法の第２の実施の形態を説
明する説明図である。前記第１の実施の形態では、１回
の動作で内周刃１２の刃先１２ｂの片側面のみをドレッ
シングする方法について説明したが、第２の実施の形態
では、１回の動作で刃先１２ｂの両側面をドレッシング
する方法について説明する。なお、実施に際して使用す
るスライシングマシンは、前記第１の実施の形態で説明
したスライシングマシン１０と同一のものを使用する。Further, the consumption of the dressing stone 42 can be kept to a necessary minimum. FIG. 5 is an explanatory diagram illustrating a second embodiment of the dressing method for the inner peripheral blade according to the present invention. In the first embodiment, the method of dressing only one side of the cutting edge 12b of the inner peripheral blade 12 in one operation has been described. However, in the second embodiment, the method of dressing the cutting edge 12b in one operation is described. A method of dressing both side surfaces will be described. Note that the same slicing machine as that used in the first embodiment is used as the slicing machine used in the embodiment.
【００３９】まず、前記第１の実施の形態と同様に、回
収皿３４をドレッシング開始位置に位置させるととも
に、内周刃１２を回転させる。次に、水平スライダ５０
を図中Ｘ（−）方向にスライド移動させ、ドレッシング
ストーン４２を回転する内周刃１２に向けて（図中Ｘ
（−）方向）送り込む。そして、ドレッシングストーン
４２を内周刃１２の刃先１２ｂで、図５（ａ）に示す位
置、すなわち、刃先１２ｂの最先端Ａから上端Ｂ（下端
Ｃ）まで切り込む。First, similarly to the first embodiment, the collection tray 34 is positioned at the dressing start position, and the inner peripheral blade 12 is rotated. Next, the horizontal slider 50
Is slid in the X (-) direction in the figure to rotate the dressing stone 42 toward the rotating inner peripheral blade 12 (X in the figure).
(-) Direction). Then, the dressing stone 42 is cut by the cutting edge 12b of the inner peripheral blade 12 from the position shown in FIG. 5A, that is, from the leading end A of the cutting edge 12b to the upper end B (lower end C).
【００４０】次に、水平スライダ５０を図中Ｘ（−）方
向にスライド移動させ、ドレッシングストーン４２を回
転する内周刃１２に向けて（図中Ｘ（−）方向）所定量
送り込むとともに、垂直スライドアーム６２を図中Ｚ
（−）方向にスライド移動させ、ドレッシングストーン
４２を所定量下降（図中Ｚ（−）方向）させる。これに
より、ドレッシングストーン４２は、図５（ｂ）に示す
ように、斜め下方に移動し、刃先１２ｂにより斜め上方
に切り込まれる。Next, the horizontal slider 50 is slid in the X (-) direction in the figure to feed the dressing stone 42 toward the rotating inner peripheral blade 12 (X (-) direction) by a predetermined amount, and is moved vertically. Slide arm 62 in the figure
The dressing stone 42 is slid in the (-) direction to lower the dressing stone 42 by a predetermined amount (the Z (-) direction in the figure). As a result, the dressing stone 42 moves diagonally downward as shown in FIG. 5B, and is cut diagonally upward by the cutting edge 12b.
【００４１】ここで、前記ドレッシングストーン４２に
は、図７に示す刃先１２ｂの先端上側部分Ｄが当接し、
ドレッシングストーン４２は、その刃先１２ｂの先端上
側部分Ｄにより、斜め上方に切り込まれる。これによ
り、前記刃先１２ｂの先端上側部分Ｄが、ドレッシング
される。次に、水平スライダ５０を図中Ｘ（−）方向に
スライド移動させ、ドレッシングストーン４２を回転す
る内周刃１２に向けて（図中Ｘ（−）方向）所定量送り
込むとともに、垂直スライドアーム６２を図中Ｚ（＋）
方向にスライド移動させ、ドレッシングストーン４２を
所定量上昇（図中Ｚ（＋）方向）させる。これにより、
ドレッシングストーン４２は、図５（ｂ）に示すよう
に、斜め上方に移動し、刃先１２ｂにより斜め下方に切
り込まれる。Here, the upper end portion D of the cutting edge 12b shown in FIG.
The dressing stone 42 is cut obliquely upward by the upper end portion D of the cutting edge 12b. Thereby, the upper end portion D of the cutting edge 12b is dressed. Next, the horizontal slider 50 is slid in the X (-) direction in the figure to feed the dressing stone 42 toward the rotating inner peripheral blade 12 (X (-) direction) by a predetermined amount, and the vertical slide arm 62 is moved. In the figure is Z (+)
The dressing stone 42 is raised by a predetermined amount (Z (+) direction in the figure). This allows
The dressing stone 42 moves diagonally upward, as shown in FIG. 5B, and is cut diagonally downward by the cutting edge 12b.
【００４２】ここで、前記ドレッシングストーン４２に
は、図７に示す刃先１２ｂの先端下側部分Ｅ（刃先１２
ｂの最先端Ａから刃先１２ｂの下端Ｃまでの部分）が当
接し、ドレッシングストーン４２は、その刃先１２ｂの
先端下側部分Ｅにより、斜め下方に切り込まれる。これ
により、前記刃先１２ｂの先端下側部分Ｅが、ドレッシ
ングされる。Here, the dressing stone 42 has a lower end portion E (the cutting edge 12) of the cutting edge 12b shown in FIG.
b), and the dressing stone 42 is cut obliquely downward by the lower end portion E of the tip 12b of the cutting edge 12b. Thus, the lower end portion E of the cutting edge 12b is dressed.
【００４３】次に、水平スライダ５０を図中Ｘ（＋）方
向にスライド移動させ、ドレッシングストーン４２を回
転する内周刃１２から引き離す方向（図中Ｘ（＋）方
向）に所定量移動させる。これにより、ドレッシングス
トーン４２は、図５（ｃ）に示すように、水平に移動
し、ドレッシングストーン４２から刃先１２ｂが引き抜
かれる。Next, the horizontal slider 50 is slid in the X (+) direction in the figure, and the dressing stone 42 is moved by a predetermined amount in the direction (X (+) direction in the figure) in which the dressing stone 42 is separated from the rotating inner peripheral blade 12. As a result, the dressing stone 42 moves horizontally as shown in FIG. 5C, and the cutting edge 12b is pulled out of the dressing stone 42.
【００４４】ここで、前記刃先１２ｂは、ドレッシング
ストーン４２から引き抜かれる過程において、まず、図
７に示す後端下側部分Ｇ（下端Ｃから台金１２ａ側に向
かう部分）が、前記切り込みにより形成された切り込み
溝４３の山部４３Ｂに当接し、その山部４３Ｂを削りな
がら引き抜かれる。これにより、前記刃先１２ｂの後端
下側部分Ｇが、ドレッシングされる。Here, in the process of pulling out the cutting edge 12b from the dressing stone 42, first, a lower portion G at the rear end (a portion directed from the lower end C toward the base metal 12a) shown in FIG. The cut groove 43 comes into contact with the ridge 43B of the cut groove 43 and is pulled out while shaving the ridge 43B. Thereby, the lower part G on the rear end of the cutting edge 12b is dressed.
【００４５】そして、さらに前記刃先１２ｂは、ドレッ
シングストーン４２から引き抜かれる過程で、図７に示
す後端上側部分Ｆが、切り込み溝４３の谷部４３Ａに当
接し、その谷部４３Ａを削りながら引き抜かれる。これ
により、前記刃先１２ｂの後端上側部分Ｆが、ドレッシ
ングされる。前記一連の工程を行うことにより、内周刃
１２の刃先１２ｂの両面のドレッシングが終了する。Further, in the process of pulling out the cutting edge 12b from the dressing stone 42, the rear end upper portion F shown in FIG. 7 comes into contact with the valley portion 43A of the cut groove 43, and is pulled out while shaving the valley portion 43A. It is. Thus, the rear end upper portion F of the cutting edge 12b is dressed. By performing the above-described series of steps, dressing on both surfaces of the cutting edge 12b of the inner peripheral blade 12 is completed.
【００４６】このように、第２の実施の形態の内周刃の
ドレッシング方法によれば、前記第１の実施の形態と同
様に、単純で簡単な動作により刃先１２ｂのドレッシン
グを行うことができ、前記第１の実施の形態と同様の効
果を得ることができる。また、前記第１の実施の形態と
同様に、刃先１２ｂの状態に応じて、切り込み量や切り
込み角度、ドレッシング回数を変えることにより、刃先
１２ｂの所望の部分を所望の量だけドレッシングするこ
とができる。As described above, according to the inner peripheral blade dressing method of the second embodiment, similarly to the first embodiment, dressing of the cutting edge 12b can be performed by a simple and simple operation. The same effects as those of the first embodiment can be obtained. Further, similarly to the first embodiment, by changing the cutting amount, the cutting angle, and the number of times of dressing according to the state of the cutting edge 12b, a desired portion of the cutting edge 12b can be dressed by a desired amount. .
【００４７】図６は、本発明に係る内周刃のドレッシン
グ方法の第３の実施の形態を説明する説明図である。第
３の実施の形態では、前記第２の実施の形態と同様に、
１回の動作で刃先１２ｂの両側面をドレッシングする方
法について説明する。なお、実施に際して使用するスラ
イシングマシンは、前記第１の実施の形態で説明したス
ライシングマシン１０と同一のものを使用する。FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining a third embodiment of the dressing method for the inner peripheral blade according to the present invention. In the third embodiment, similar to the second embodiment,
A method of dressing both side surfaces of the cutting edge 12b by one operation will be described. Note that the same slicing machine as that used in the first embodiment is used as the slicing machine used in the embodiment.
【００４８】まず、前記第１の実施の形態と同様に、回
収皿３４をドレッシング開始位置に位置させるととも
に、内周刃１２を回転させる。次に、水平スライダ５０
を図中Ｘ（−）方向にスライド移動させ、ドレッシング
ストーン４２を回転する内周刃１２に向けて（図中Ｘ
（−）方向）送り込む。そして、ドレッシングストーン
４２を内周刃１２の刃先１２ｂで図６（ａ）に示す位置
まで切り込む。First, as in the first embodiment, the collection tray 34 is positioned at the dressing start position, and the inner peripheral blade 12 is rotated. Next, the horizontal slider 50
Is slid in the X (-) direction in the figure to rotate the dressing stone 42 toward the rotating inner peripheral blade 12 (X in the figure).
(-) Direction). Then, the dressing stone 42 is cut by the cutting edge 12b of the inner peripheral blade 12 to a position shown in FIG.
【００４９】ここで、前記ドレッシングストーン４２に
は、図７に示す刃先１２ｂの先端上側部分Ｄと下側部分
Ｅが当接し、これにより、前記刃先１２ｂの先端の両側
部分、すなわち、先端上側部分Ｄと下側部分Ｅがドレッ
シングされる。次に、水平スライダ５０を図中Ｘ（＋）
方向にスライド移動させ、ドレッシングストーン４２を
回転する内周刃１２から離れる方向に（図中Ｘ（＋）方
向）所定量送り込むとともに、垂直スライドアーム６２
を図中Ｚ（−）方向にスライド移動させ、ドレッシング
ストーン４２を所定量下降（図中Ｚ（−）方向）させ
る。これにより、ドレッシングストーン４２は、図６
（ｂ）に示すように、斜め下方に移動し、刃先１２ｂ
は、ドレッシングストーン４２に対して相対的に斜め上
方に引き抜かれる。Here, the upper end portion D and the lower portion E of the cutting edge 12b shown in FIG. 7 abut against the dressing stone 42, whereby both ends of the tip of the cutting edge 12b, that is, the upper end portion D and the lower part E are dressed. Next, the horizontal slider 50 is moved to X (+) in the figure.
In the direction away from the rotating inner peripheral blade 12 (in the X (+) direction in the figure) by a predetermined amount.
Is slid in the Z (-) direction in the figure to lower the dressing stone 42 by a predetermined amount (the Z (-) direction in the figure). As a result, the dressing stone 42 is
As shown in (b), it moves diagonally downward, and the cutting edge 12b
Is pulled obliquely upward with respect to the dressing stone 42.
【００５０】ここで、前記ドレッシングストーン４２に
は、図７に示す刃先１２ｂの後端上側部分Ｆが当接し、
ドレッシングストーン４２は、その刃先１２ｂの後端上
側部分Ｆにより、斜め上方に切り込まれる。これによ
り、前記刃先１２ｂの後端上側部分Ｆがドレッシングさ
れる。次に、水平スライダ５０を図中Ｘ（＋）方向にス
ライド移動させ、ドレッシングストーン４２を回転する
内周刃１２から引き離す方向に（図中Ｘ（＋）方向）所
定量引き抜くとともに、垂直スライドアーム６２を図中
Ｚ（＋）方向にスライド移動させ、ドレッシングストー
ン４２を所定量上昇（図中Ｚ（＋）方向）させる。これ
により、ドレッシングストーン４２は、図６（ｃ）に示
すように、斜め上方に移動し、刃先１２ｂは、ドレッシ
ングストーン４２に対して相対的に斜め下方に引き抜か
れる。Here, the rear end upper part F of the cutting edge 12b shown in FIG.
The dressing stone 42 is cut obliquely upward by the rear end upper portion F of the cutting edge 12b. Thus, the rear end upper portion F of the cutting edge 12b is dressed. Next, the horizontal slider 50 is slid in the X (+) direction in the figure to pull the dressing stone 42 away from the rotating inner peripheral blade 12 (X (+) direction in the figure) by a predetermined amount. 62 is slid in the Z (+) direction in the figure to raise the dressing stone 42 by a predetermined amount (Z (+) direction in the figure). Thus, the dressing stone 42 moves diagonally upward as shown in FIG. 6C, and the cutting edge 12b is pulled diagonally downward with respect to the dressing stone 42.
【００５１】ここで、前記ドレッシングストーン４２に
は、図７に示す刃先１２ｂの後端下側部分Ｇが当接し、
ドレッシングストーン４２は、その刃先１２ｂの後端下
側部分Ｇにより、斜め下方に切り込まれる。これによ
り、前記刃先１２ｂの先端下側部分Ｅが、ドレッシング
される。前記一連の工程を行うことにより、内周刃１２
の刃先１２ｂの両面のドレッシングが終了する。Here, the lower portion G of the rear end of the cutting edge 12b shown in FIG.
The dressing stone 42 is cut obliquely downward by the rear end lower portion G of the cutting edge 12b. Thus, the lower end portion E of the cutting edge 12b is dressed. By performing the above series of steps, the inner peripheral blade 12
The dressing of both sides of the cutting edge 12b is completed.
【００５２】このように、第３の実施の形態の内周刃の
ドレッシング方法によれば、前記第１及び第２の実施の
形態と同様に、単純で簡単な動作により刃先１２ｂのド
レッシングを行うことができ、前記第１及び第２の実施
の形態と同様の効果を得ることができる。また、前記第
１及び第２の実施の形態と同様に、刃先１２ｂの状態に
応じて、切り込み量や切り込み角度、ドレッシング回数
を変えることにより、刃先１２ｂの所望の部分を所望の
量だけドレッシングすることができる。As described above, according to the inner peripheral blade dressing method of the third embodiment, similarly to the first and second embodiments, the blade tip 12b is dressed by a simple and simple operation. Thus, the same effects as those of the first and second embodiments can be obtained. Further, similarly to the first and second embodiments, the desired amount of the cutting edge 12b is dressed by a desired amount by changing the cutting amount, the cutting angle, and the number of times of dressing according to the state of the cutting edge 12b. be able to.
【００５３】なお、本実施の形態では、内周刃１２を水
平面で回転させる縦型のスライシングマシン１０の例で
説明したが、内周刃１２を鉛直面で回転させる横型のス
ライシングマシンにも適用することができる。また、本
実施の形態では、内周刃１２の刃先１２ｂのドレッシン
グを行う場合について説明したが、外周刃の刃先のドレ
ッシングを行う場合にも適用することができる。In this embodiment, the vertical slicing machine 10 for rotating the inner peripheral blade 12 in a horizontal plane has been described, but the present invention is also applicable to a horizontal slicing machine for rotating the inner peripheral blade 12 in a vertical plane. can do. Further, in the present embodiment, the case where dressing of the cutting edge 12b of the inner peripheral blade 12 is described, but the present invention can be applied to the case where dressing of the cutting edge of the outer peripheral blade is performed.
【００５４】また、ドレッシングの開始時期やドレッシ
ングストーンの切り込み速度、切り込み量及び切り込み
回数等のドレッシング条件を自動で決定し、ドレッシン
グを自動で行うことができるように次のように構成して
もよい。すなわち、スライシングマシン１０の切断運転
中に、内周刃１２の変位、内周刃１２の変位を修正する
ためにエアパッドから吹き出されるエアの圧力、内周刃
１２の回転数及び切断中に半導体インゴット１６に加わ
る切断抵抗をそれぞれ測定し、その測定値をＣＰＵ３２
に出力する。ＣＰＵ３２は、前記測定値を予め入力され
たドレッシングプログラムで処理することにより、ドレ
ッシングの時期及びドレッシング条件等を決定する。Ｃ
ＰＵ３２で決定されたドレッシングの時期及びドレッシ
ング条件等の指令信号は、サーボコントローラ３８に出
力され、サーボコントローラ３８は、その指令信号に基
づいて移動機構３６をサーボ制御する。これにより、ス
ライシングマシン１０は、切断運転からドレッシング運
転に自動的に切り換わり、内周刃１２の刃先１２ｂの損
傷状況に応じた適切なドレッシングを開始する。The dressing conditions such as the start time of dressing, the cutting speed of the dressing stone, the cutting amount, and the number of times of cutting may be automatically determined, and the dressing may be performed automatically as follows. . That is, during the cutting operation of the slicing machine 10, the displacement of the inner peripheral blade 12, the pressure of the air blown from the air pad to correct the displacement of the inner peripheral blade 12, the rotation speed of the inner peripheral blade 12, and The cutting resistance applied to the ingot 16 was measured, and the measured value was measured by the CPU 32.
Output to The CPU 32 determines the timing of the dressing, the dressing conditions, and the like by processing the measured values with a dressing program input in advance. C
Command signals such as dressing time and dressing conditions determined by the PU 32 are output to the servo controller 38, and the servo controller 38 servo-controls the moving mechanism 36 based on the command signals. Thereby, the slicing machine 10 automatically switches from the cutting operation to the dressing operation, and starts appropriate dressing according to the damage state of the cutting edge 12b of the inner peripheral blade 12.
【００５５】[0055]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
内周刃の刃先をドレッシングストーンに対して斜めの方
向に切り込み、水平に引き抜くという単純で簡単な動作
により、刃先のドレッシングを行うことができるので、
短時間で効率よく内周刃の刃先のドレッシングを行うこ
とができる。As described above, according to the present invention,
Since the cutting edge of the inner peripheral blade is cut in an oblique direction with respect to the dressing stone and pulled out horizontally, the cutting edge can be dressed.
The dressing of the cutting edge of the inner peripheral blade can be efficiently performed in a short time.
【００５６】また、単純で簡単な駆動構造の装置で実施
することができるとともに、既存の装置を利用して実施
することもできるため、従来のように、装置が複雑且つ
大型化することもなく、また、設備費が高価になるとい
うこともない。さらに、ドレッシングに人手を要しない
ため、ドレッシングによる切断時間のロスを低減するこ
とができ、スループットを向上させることができるとと
もに、、作業の安全性も確保することができる。In addition, since the present invention can be implemented using a device having a simple and simple drive structure and can be implemented using an existing device, the device does not become complicated and large as in the related art. Also, the equipment cost does not become expensive. Further, since no dressing is required, loss of cutting time due to dressing can be reduced, throughput can be improved, and work safety can be ensured.
【図１】本発明に係る内周刃のドレッシング方法が適用
されたスライシングマシンの構成を示す側面断面図FIG. 1 is a side cross-sectional view showing a configuration of a slicing machine to which a dressing method for an inner peripheral blade according to the present invention is applied.
【図２】回収・研磨装置の駆動機構の構成を示す側面図FIG. 2 is a side view showing a configuration of a drive mechanism of the collection / polishing apparatus.
【図３】垂直スライドアームの構成を示す平面図FIG. 3 is a plan view showing a configuration of a vertical slide arm.
【図４】本発明に係る内周刃のドレッシング方法の第１
の実施の形態を説明する説明図FIG. 4 is a diagram illustrating a first method of dressing the inner peripheral blade according to the present invention.
Explanatory diagram for explaining an embodiment of the present invention.
【図５】本発明に係る内周刃のドレッシング方法の第２
の実施の形態を説明する説明図FIG. 5 is a second method of dressing the inner peripheral blade according to the present invention.
Explanatory view for explaining an embodiment of the present invention.
【図６】本発明に係る内周刃のドレッシング方法の第２
の実施の形態を説明する説明図FIG. 6 shows a second method of dressing the inner peripheral blade according to the present invention.
Explanatory diagram for explaining an embodiment of the present invention.
【図７】内周刃の構成を示す側面断面図FIG. 7 is a side sectional view showing a configuration of an inner peripheral blade.
１０…スライシングマシン １２…内周刃 １２ａ…台金 １２ｂ…刃先 １６…インゴット ２６…ワーク割り出しスライダ ２８…回収・研磨装置 ３４…回収皿 ３６…移動機構 ３８…サーボコントローラ ４２…ドレッシングストーン ４３…切り込み溝 ４３Ａ…切り込み溝の谷部 ４３Ｂ…切り込み溝の山部 ４６…水平駆動部 ４８…垂直駆動部 ５０…水平スライダ ６０…サーボモータ（水平スライダ駆動用） ６２…垂直スライドアーム ６８…サーボモータ（垂直スライドアーム駆動用） ７２…ロータリアクチュエータ Ａ…刃先の最先端 Ｂ…刃先の上端 Ｃ…刃先の下端 Ｄ…刃先の先端上側部分（先端Ａから上端Ｂの部分） Ｅ…刃先の先端下側部分（先端Ａから下端Ｃの部分） Ｆ…刃先の後端上側部分（上端Ｂから台金１２ａ側に向
かう部分） Ｇ…刃先の後端下側部分（下端Ｃから台金１２ａ側に向
かう部分）DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Slicing machine 12 ... Inner peripheral blade 12a ... Base metal 12b ... Blade edge 16 ... Ingot 26 ... Work indexing slider 28 ... Collection / polishing device 34 ... Collection plate 36 ... Moving mechanism 38 ... Servo controller 42 ... Dressing stone 43 ... Cut groove 43A ... valley of cut groove 43B ... ridge of cut groove 46 ... horizontal drive unit 48 ... vertical drive unit 50 ... horizontal slider 60 ... servo motor (for horizontal slider drive) 62 ... vertical slide arm 68 ... servo motor (vertical slide) 72: Rotary actuator A: Cutting edge of blade edge B: Upper edge of blade edge C: Lower edge of blade edge D: Upper part of tip edge (part from tip A to upper edge B) E: Lower part of tip edge (tip) A part from the A to the lower end C. F: Upper part of the rear end of the cutting edge (part from the upper end B toward the base 12a). ) G ... rear lower portion of the cutting edge (the portion extending from the lower end C on the metal base 12a side)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−312365（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−30094（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−52041（ＪＰ，Ａ) 実開 昭51−35957（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭55−110212（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B28D 5/02 B24B 53/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-6-312365 (JP, A) JP-A-53-130094 (JP, A) JP-A-7-52041 (JP, A) 35957 (JP, U) Japanese Utility Model Showa 55-110212 (JP, U) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B28D 5/02 B24B 53/00
Claims (3)
いドレッシングストーンを近づけて該内周刃の刃先を前
記ドレッシングストーン内に切り込むことにより、前記
内周刃の刃先をドレッシングする内周刃のドレッシング
方法において、 前記内周刃の刃先を前記ドレッシングストーンに対して
斜めの方向に切り込むことにより、前記内周刃の刃先先
端片側面を前記ドレッシングストーンでドレッシングし
た後、前記内周刃を前記ドレッシングストーンから水平
に引き抜くことにより、前記内周刃の刃先後端片側面を
前記切り込みにより形成された前記ドレッシングストー
ンの切り込み溝の山部又は谷部でドレッシングすること
を特徴とする内周刃のドレッシング方法。(1) Do not rotate with respect to the cutting edge of a rotating inner peripheral blade.
By cutting the edge of the inner diameter saw before <br/> Symbol in dressing stones close to each have dressing stone, in the dressing method of the inner peripheral blade for dressing the cutting edge of the inner peripheral edge, the cutting edge of the inner peripheral edge Is cut in an oblique direction with respect to the dressing stone, after dressing one side surface of the tip of the inner peripheral blade with the dressing stone, the inner peripheral blade is horizontally moved from the dressing stone.
It allows the dressing method of the inner peripheral edge, characterized in that the dressing crests or valleys of the cut recess of the dressing stone which is formed by the notch cutting edge rear end side surface of the inner peripheral blade pulled out.
いドレッシングストーンを近づけて該内周刃の刃先を前
記ドレッシングストーン内に切り込むことにより、前記
内周刃の刃先をドレッシングする内周刃のドレッシング
方法において、 前記内周刃の刃先を前記ドレッシングストーンに対して
斜め方向に切り込むことにより、前記内周刃の刃先先端
一方側面を前記ドレッシングストーンでドレッシングし
た後、前記内周刃の刃先の切り込み方向を変えることに
より、前記内周刃の刃先先端他方側面を前記ドレッシン
グストーンでドレッシングし、 前記内周刃を前記ドレッシングストーンから水平に引き
抜くことにより、前記内周刃の刃先後端一方側面を前記
切り込みにより形成された前記ドレッシングストーンの
切り込み溝の山部でドレッシングするとともに、刃先後
端他方側面を前記切り込み溝の谷部でドレッシングする
ことを特徴とする内周刃のドレッシング方法。2. The rotating inner peripheral blade does not rotate with respect to the cutting edge .
By cutting the edge of the inner diameter saw before <br/> Symbol in dressing stones close to each have dressing stone, in the dressing method of the inner peripheral blade for dressing the cutting edge of the inner peripheral edge, the cutting edge of the inner peripheral edge Is cut in an oblique direction with respect to the dressing stone, after dressing one side surface of the tip of the cutting edge of the inner peripheral blade with the dressing stone, and then changing the cutting direction of the cutting edge of the inner peripheral blade, thereby obtaining the inner peripheral blade. dressing the cutting edge tip second side surface in the dressing stone horizontally pulling the inner cutter from the dressing stone
By withdrawing , one side surface of the rear end of the cutting edge of the inner peripheral blade is dressed at the peak of the cut groove of the dressing stone formed by the cut, and the other side surface of the rear end of the blade is dressed at the valley of the cut groove. A dressing method for an inner peripheral blade, characterized in that:
いドレッシングストーンを近づけて該内周刃の刃先を前
記ドレッシングストーン内に切り込むことにより、前記
内周刃の刃先をドレッシングする内周刃のドレッシング
方法において、 前記内周刃の刃先を前記ドレッシングストーンに対して
水平に切り込むことにより、前記内周刃の刃先先端両側
面を前記ドレッシングストーンでドレッシングし、 前記内周刃の刃先を前記ドレッシングストーンに対して
斜め方向に引き抜くことにより、前記内周刃の刃先後端
一方側面を前記ドレッシングストーンでドレッシングし
た後、前記内周刃の刃先の引き抜き方向を変えることに
より、前記内周刃の刃先後端他方側面を前記ドレッシン
グストーンでドレッシングすることを特徴とする内周刃
のドレッシング方法。3. The rotating inner peripheral blade does not rotate with respect to the cutting edge .
By cutting the edge of the inner diameter saw before <br/> Symbol in dressing stones close to each have dressing stone, in the dressing method of the inner peripheral blade for dressing the cutting edge of the inner peripheral edge, the cutting edge of the inner peripheral edge By cutting the dressing stone horizontally with respect to the dressing stone, the both sides of the cutting edge of the inner peripheral blade are dressed with the dressing stone, and the cutting edge of the inner peripheral blade is withdrawn diagonally with respect to the dressing stone. After dressing one side of the cutting edge of the inner peripheral blade with the dressing stone, changing the drawing direction of the cutting edge of the inner peripheral blade, the other side of the cutting edge of the inner peripheral blade is dressed with the dressing stone. A dressing method for an inner peripheral blade, characterized in that:
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
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1995
- 1995-11-10 JP JP29283495A patent/JP3199355B2/en not_active Expired - Fee Related
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