JP3198026B2 - タブレット樹脂供給装置 - Google Patents

タブレット樹脂供給装置

Info

Publication number
JP3198026B2
JP3198026B2 JP03999695A JP3999695A JP3198026B2 JP 3198026 B2 JP3198026 B2 JP 3198026B2 JP 03999695 A JP03999695 A JP 03999695A JP 3999695 A JP3999695 A JP 3999695A JP 3198026 B2 JP3198026 B2 JP 3198026B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tablet
resin
magazine
resins
supply device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP03999695A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH08229982A (ja
Inventor
浩司 宮田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP03999695A priority Critical patent/JP3198026B2/ja
Publication of JPH08229982A publication Critical patent/JPH08229982A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3198026B2 publication Critical patent/JP3198026B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、タブレット樹脂供給装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】現在用いられている、半導体樹脂封止用
オートモールディングシステムはタブレット樹脂(熱硬
化成型する前の樹脂パウダーを圧し固めたもの)やモー
ルド工程前のアセンブリリードフレームを所定量セット
すると、装置トラブルや供給材料切れ等のない限り、オ
ペレータの手を使わずに自動連続成型作業が可能とな
る。
【0003】以下に、半導体樹脂封止用オートモールデ
ィングシステムのプロセスを説明する。
【0004】まず、アセンブリリードフレームをマガジ
ンに整列させた状態でセットし、このアセンブリリード
フレームをローディングフレームへ搬送し、金型内にセ
ットする。また、タブレット樹脂供給装置においては、
タブレット樹脂をタブレットマガジンに数十個ストック
し、その中から1回のモールド成型に必要な個数だけタ
ブレット樹脂を取り出して、高周波プリヒータ部に送
り、高周波プリヒータ部でタブレット樹脂をプリヒート
(予備加熱)を行い、モールド成型する金型(タブレッ
ト樹脂を投入するポット)へと自動搬送する。
【0005】次に、成型し、成型品を取り出した後、金
型クリーニング(ブラッシング、集塵)を行い、ゲート
ブレーク・サイドバリの削除、製品の縦積みマガジンへ
収納する。
【0006】従来の半導体樹脂封止用オートモールディ
ングシステムのタブレット樹脂供給装置の機構の一部を
図3に示し、また、該タブレット樹脂供給装置における
タブレットマガジンの平面図を図2(b)に示す。
【0007】以下に、図3を用いて、従来のタブレット
樹脂がタブレット樹脂供給装置に数十個ストックされた
状態から、一回のモールド成型に必要な個数だけのタブ
レット樹脂を取り出して高周波プリヒータ部に搬送され
る工程を説明する。
【0008】まず、タブレット樹脂供給装置はタブレッ
トマガジン2を円周状に複数本直立配列して、1本のタ
ブレットマガジン2中のタブレット樹脂がなくなると、
円周回転し、各タブレットマガジンをタブレット樹脂の
搬出位置に順次搬送し、タブレットマガジンからタブレ
ット樹脂を必要な個数だけ順次送り出すシステムとなっ
ている。また、半導体装置を樹脂封止する際に使用する
円柱状のタブレット樹脂1は円筒状のタブレットマガジ
ン2内に複数個縦積みされている。
【0009】次に、一回のモールド成型に使用する個数
だけのタブレット樹脂1を搬出するために、縦積みされ
たタブレット樹脂の最下段タブレット樹脂1の下面に接
触したプッシャー3が垂直方向に上昇し、タブレットマ
ガジン2の上端より高い位置に、一回のモールド成型に
使用する個数だけのタブレット樹脂1を上昇移動させ
る。
【0010】次に、アーム4により一回のモールド成型
に使用する個数だけのタブレット樹脂1をタブレットマ
ガジン2直上で掴み保持する。この状態からプッシャー
3はかる位置まで下降移動し、プリヒータ部へ搬送され
るタブレット樹脂1を掴んだアーム4が水平移動し、タ
ブレット樹脂1を高周波プリヒータ部へと自動搬送す
る。
【0011】上記タブレット樹脂保持機構の他に、上下
動機構を有する吸着機構を用いて、上昇移動させたタブ
レット樹脂を吸着保持し、プリヒータ部への搬送を行う
技術もある(特開平4−120743号)。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】表面実装型半導体デバ
イスの基板実装方法は、リフロー、VPS(ベーパ・フ
ェーズ・ソルダリング)、フローソルダリング等のパッ
ケージ全体への加熱方式が主流であるが、パッケージ吸
湿による実装時のパッケージクラック発生が従来より、
問題視されており、様々な対策手法が施されている。
【0013】耐パッケージクラックの対策手法の1つに
モールド樹脂の改良がある。耐パッケージクラック性向
上に対して、モールド樹脂に求められる物性ポイントは
密着性向上、高強度化、低吸湿化である。
【0014】現在、モールド樹脂はベース樹脂としてE
OCN(オルソクレゾールノボラック)タイプのエポキ
シ樹脂(以下、「EOCN系樹脂」という。)を用いた
ものが主流であるが、改良樹脂はより熔融粘度の低いビ
フェニルタイプのエポキシ樹脂(以下、「ビフェニル系
樹脂」という。)を採用している。
【0015】これにより、ビフェニル系樹脂はインサー
ト物(チップやリードフレーム)との密着性がEOCN
系樹脂に比べて高くなっている。また、この高い流動性
(低熔融粘度)を利用したフィラーの高充填化により、
高強度化、低吸湿化が可能となる。したがって、耐パッ
ケージクラック性向上を目的に、今後、ビフェニル系樹
脂の表面実装型半導体デバイスへの使用は多くなる。
【0016】ビフェニル系樹脂のタブレットをタブレッ
トマガジン内に縦積みした場合のタブレット樹脂供給装
置の機構を図4に示す。ビフェニル系樹脂は結晶構造を
有しており、圧力や熱により、結晶構造が壊れると急に
粘度の低下を引き起こす。このため、ビフェニル系樹脂
のタブレットをタブレットマガジン内で比較的長時間
(例えば5時間前後)放置しておくと、図4(d)に示
すように、プッシャー3がある位置まで下降移動し、高
周波プリヒータ部へ搬送されるタブレット樹脂と次のモ
ールドに待機するタブレット樹脂1とを分離するところ
が、縦積みされたタブレット樹脂1同士が接着し、接着
したままの状態で、タブレット樹脂1を掴んだアーム4
が水平移動すると、タブレット樹脂1がタブレットマガ
ジン2に接触し、オートモールディング装置上の不具合
が発生し、問題となる。但し、タブレット樹脂1同士の
接着はビフェニル系樹脂に限定される現象ではない。
【0017】また、タブレットマガジン2内に縦積みし
たビフェニル系樹脂のタブレット樹脂1同士が接着する
ことについて、タブレットマガジン2の収納庫内の温度
・湿度の影響、タブレット打錠圧縮率の影響、タブレッ
ト接触面粗度の影響を調査・実験したところ、次の表1
乃至表4に示す結果が得られた。
【0018】
【表1】
【0019】
【表2】
【0020】
【表3】
【0021】
【表4】
【0022】タブレット接着の温度依存性(相対湿度5
0%のとき)を示す表1、タブレット接着の湿度依存度
性(相対温度30℃のとき)を示す表2、タブレット接
着の打錠圧縮率依存性を示す表3、タブレット接触部の
面粗度依存性を示す表4から明らかなように、フェニル
系樹脂タブレット同士の接着において、タブレット打錠
圧縮率やタブレット接触面粗度の変更に効果はみられな
いが、温度・湿度の変更に効果がみられる。
【0023】そして、装置トラブル、供給材料切れ等に
より装置が止まり、タブレット樹脂がタブレットマガジ
ン内にある一定時間放置されることを想定し、タブレッ
トマガジン内に縦積みしてから24時間放置してもタブ
レット樹脂同士の接触による不具合の発生がないことを
目標にする場合、タブレットマガジン収納庫内温度を2
0℃以下、湿度を50%以下に管理しないといけないこ
とになる。
【0024】実際のタブレットマガジン収納庫内温度・
湿度を測定してみると、およそ27℃/50%となり、
タブレットマガジン収納庫内温度を7℃以上下げる必要
がある。しかし、タブレットマガジン収納庫内温度を7
℃以上下げることは多大な設備投資を必要とし、実現不
可能である。
【0025】本発明は、タブレット樹脂をタブレットマ
ガジン内に縦積みした場合、タブレット樹脂同士は接着
し、オートモールディング装置上不具合が発生しない半
導体樹脂封止用オートモールディングシステムのタブレ
ット樹脂供給装置を提供することを目的とするものであ
る。
【0026】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明の
タブレット樹脂供給装置は、複数個のタブレット樹脂を
収納する、タブレット樹脂の導入口及び排出口を有する
タブレットマガジンと、上記導入口から上記複数のタブ
レット樹脂を上記排出口に移動させる第1の移動手段
と、上記タブレットマガジン側壁に設けられた、上記第
1の移動手段により上記タブレット樹脂を移動させる
際、一のタブレット樹脂を該タブレット樹脂と接するタ
ブレット樹脂に対して同一平面上の異なる方向に移動さ
せる第2の移動手段とを有することを特徴とするもので
ある。
【0027】また、請求項2記載の本発明のタブレット
樹脂供給装置は、上記第2の移動手段が、複数個の所定
の間隔で設けられた、上記タブレットマガジンの中心方
向に向かい突出する治具であり、且つ、上記隣接する治
具同士は上記タブレットマガジンの中心に対して対向す
ることを特徴とする請求項1記載のタブレット樹脂供給
装置である。
【0028】
【作用】上記構成により、タブレットマガジンから輩出
される側の端部のタブレット樹脂と該タブレットと接触
するタブレット樹脂の接触面に第2の移動手段により、
剪断力が働き、タブレット樹脂同士は分離される。
【0029】
【実施例】以下、一実施例に基づいて本発明について詳
細に説明する。
【0030】図1は本発明のタブレット樹脂供給装置を
用いたタブレット樹脂搬送工程図、図2(a)は本発明
のタブレットマガジンの平面図を示す。
【0031】図1において、1はタブレット樹脂、2は
タブレットマガジン、3はプッシャー、4はアーム、5
aは中心軸により固定された円板状の回転可能な第1の
プーリ、5bは中心軸により固定された円板状の回転可
能な第2のプーリを示す。
【0032】以下、図1を用いて、本発明のタブレット
樹脂供給装置を用いたタブレット樹脂をタブレットマガ
ジンから取り出す工程を説明する。
【0033】本発明に係るタブレット樹脂供給装置は、
まず、半導体装置を樹脂封止する際に使用する円柱状の
タブレット樹脂1が円筒状のタブレットマガジン2に複
数個縦積みされている。また、図2(a)に示すよう
に、タブレット樹脂外径のバラツキ(±0.3〜±0.
5mm)を考慮して、タブレットマガジン2の内径はタ
ブレット樹脂の外形より1〜2mm大きく設計してい
る。そのため、タブレット樹脂1はタブレットマガジン
2内を水平方向に容易に動くことができる。
【0034】本実施例においては、図1及び図2(a)
に示すように、タブレットマガジン2の排出口付近に第
1のプーリ5aが設けられ、その下方で、タブレット樹
脂1の厚さの1〜2倍の範囲の間隔で、第2のプーリ5
bが第1のプーリ5aと対向する位置に設けられてい
る。尚、タブレット樹脂1の種類、樹脂封止する半導体
装置の種類によってタブレットサイズ(高さ、直径)は
異なるため、タブレット樹脂1が第1及び第2のプーリ
5a、5bを通過する際、タブレット樹脂1の左右の水
平移動が連続的で且つ抵抗なく動くよう、第1及び第2
のプーリ5a、5bの間隔やプーリ先端の突き出し量を
調節する。
【0035】また、第1のプーリ5a及び第2のプーリ
5bの材質は、タブレット樹脂1との接触により第1及
び第2のプーリ5a、5bが変形又は欠け、タブレット
樹脂1に第1のプーリ5a、第2のプーリ5bが混入
し、半導体装置の信頼性に影響を与えないものを選択す
る。また、できるだけ軽量化することが望ましい。本実
施例においては、ステンレス鋼を用いる。
【0036】更に、タブレット樹脂1の水平方向への移
動速度は遅くし、タブレット樹脂の欠け、割れが発生し
にくくするためには、第1及び第2のプーリ5a、5b
の直径を大きくする方が望ましいが、大きくし過ぎる
と、隣接するタブレットマガジン2(図示せず。)と接
触することとなる。本実施例では、直径を20mm、幅
を6mmの第1及び第2のプーリ5a、5bを用い、第
1のプーリ5aの中心と第2のプーリ5bの中心との間
隔はタブレット樹脂のおよそ1.5倍とした。
【0037】図1(a)乃至(d)に示すように、1回
のモールド成型に使用する個数だけのタブレット樹脂1
を搬出するために、最下段のタブレット樹脂1の下面に
接触したプッシャー3を垂直方向に上昇させると、タブ
レットマガジン2の排出口の上端より高い位置にタブレ
ット樹脂1が上昇移動する。そして、タブレット樹脂1
が上昇し、第2のプーリ5bを通過する際、タブレット
樹脂1は回転する第2のプーリ5bによって、水平方向
に移動し、第2のプーリ5bと反対側のタブレットマガ
ジン2の内壁に押されながら上方向に移動する。
【0038】次に、タブレット樹脂1が更に上昇し、第
1のプーリ5aを通過する際、タブレット樹脂1は回転
する第1のプーリ5aによって、水平方向に移動し、第
1のプーリ5aと反対側のタブレットマガジン2の内壁
に押されながら上方向に移動する。この際、第1のプー
リ5aによって水平方向に移動しているタブレット樹脂
1と接しているタブレット樹脂1は第2のプーリ5bに
よって、第1のプーリ5aに接しているタブレット樹脂
1とは反対方向移動しようとしているため、これらのタ
ブレット樹脂1の接着面には剪断力が働き、分離され
る。
【0039】このように、ビフェニル系等のタブレット
樹脂1をタブレットマガジン2内に縦積みし、タブレッ
ト樹脂1同士が接着しても、タブレット樹脂1は水平方
向に左右に移動し、タブレット樹脂1の接着した部分
に、剪断力が加わり、接着したタブレット樹脂1同士が
分離され、アーム4によりタブレット樹脂1はタブレッ
トマガジン2から搬出される。
【0040】本発明は、タブレット樹脂を水平移動させ
る治具としては、第1及び第2のプーリ5a、5b以外
にも、タブレットマガジン2の上方向に徐々に内部に突
出する様なくさび状の治具をタブレットマガジン2の内
壁に設置する等、タブレット樹脂1がタブレットマガジ
ン2内を抵抗なく上昇し、且つ水平移動する治具を有す
るものであればよい。また、タブレット樹脂はビフェニ
ル系樹脂に限定されるものではなく、縦積みされた状態
で接触するタブレット樹脂同士が接着されるものであれ
ばよい。
【0041】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、請求項1及
び請求項2記載の本発明を用いることにより、接着した
タブレット樹脂同士に剪断力を加えることができ、分離
することができる。また、請求項2記載の本発明を用い
た場合には、タブレットマガジンの内壁より内側に突出
する治具を複数個、ある高さ間隔で互い違いに、タブレ
ットマガジンの中心に向かうように設置することによ
り、治具が一つの場合に比べて、より確実に剪断力を加
えることができる。
【0042】
【表5】
【0043】その結果、表5に示すように、タブレット
マガジン内に放置され、ビフェニル系樹脂等のタブレッ
ト同士が接着しても機械的に分離でき、安価な設備投資
で分離効果が得られ、オートモールディング装置上の不
具合が発生しなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のタブレット樹脂搬送工程を示す図であ
る。
【図2】(a)は本発明の一実施例のタブレットマガジ
ンの平面図であり、(b)は従来のタブレットマガジン
の平面図である。
【図3】従来のタブレット樹脂搬送工程を示す図であ
る。
【図4】従来のタブレット樹脂搬送工程の問題点の説明
に供する図である。
【符号の説明】
1 タブレット樹脂 2 タブレットマガジン 3 プッシャー 4 アーム 5a 第1のプーリ 5b 第2のプーリ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B29C 45/00 - 45/18 B29C 31/04 H01L 21/56

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数個のタブレット樹脂を収納する、タ
    ブレット樹脂の導入口及び排出口を有するタブレットマ
    ガジンと、 上記導入口から上記複数のタブレット樹脂を上記排出口
    に移動させる第1の移動手段と、 上記タブレットマガジン側壁に設けられた、上記第1の
    移動手段により上記タブレット樹脂を移動させる際に一
    のタブレット樹脂を該タブレット樹脂と接するタブレッ
    ト樹脂に対して同一平面上の異なる方向に移動させる第
    2の移動手段とを有することを特徴とするタブレット樹
    脂供給装置。
  2. 【請求項2】 上記第2の移動手段が、複数個の所定の
    間隔で設けられた、上記タブレットマガジンの中心方向
    に向かい突出する治具であり、且つ、上記隣接する治具
    同士は上記タブレットマガジンの中心に対して対向する
    ことを特徴とする、請求項1記載のタブレット樹脂供給
    装置。
JP03999695A 1995-02-28 1995-02-28 タブレット樹脂供給装置 Expired - Fee Related JP3198026B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03999695A JP3198026B2 (ja) 1995-02-28 1995-02-28 タブレット樹脂供給装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03999695A JP3198026B2 (ja) 1995-02-28 1995-02-28 タブレット樹脂供給装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08229982A JPH08229982A (ja) 1996-09-10
JP3198026B2 true JP3198026B2 (ja) 2001-08-13

Family

ID=12568549

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03999695A Expired - Fee Related JP3198026B2 (ja) 1995-02-28 1995-02-28 タブレット樹脂供給装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3198026B2 (ja)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7675500B2 (en) 2001-11-09 2010-03-09 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display backlight with variable amplitude LED
US7753530B2 (en) 2001-02-27 2010-07-13 Dolby Laboratories Licensing Corporation HDR displays and control systems therefor
US7777945B2 (en) 2002-03-13 2010-08-17 Dolby Laboratories Licensing Corporation HDR displays having light estimating controllers
US7777714B2 (en) 2004-05-04 2010-08-17 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display with adaptive width
US7853094B2 (en) 2006-01-24 2010-12-14 Sharp Laboratories Of America, Inc. Color enhancement technique using skin color detection
US7872631B2 (en) 2004-05-04 2011-01-18 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display with temporal black point
US8050511B2 (en) 2004-11-16 2011-11-01 Sharp Laboratories Of America, Inc. High dynamic range images from low dynamic range images
US8050512B2 (en) 2004-11-16 2011-11-01 Sharp Laboratories Of America, Inc. High dynamic range images from low dynamic range images
US8121401B2 (en) 2006-01-24 2012-02-21 Sharp Labortories of America, Inc. Method for reducing enhancement of artifacts and noise in image color enhancement
US8395577B2 (en) 2004-05-04 2013-03-12 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display with illumination control
US8400396B2 (en) 2004-05-04 2013-03-19 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display with modulation for colored backlight
US8471807B2 (en) 2007-02-01 2013-06-25 Dolby Laboratories Licensing Corporation Calibration of displays having spatially-variable backlight
US8482698B2 (en) 2008-06-25 2013-07-09 Dolby Laboratories Licensing Corporation High dynamic range display using LED backlighting, stacked optical films, and LCD drive signals based on a low resolution light field simulation

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7753530B2 (en) 2001-02-27 2010-07-13 Dolby Laboratories Licensing Corporation HDR displays and control systems therefor
US7801426B2 (en) 2001-02-27 2010-09-21 Dolby Laboratories Licensing Corporation High dynamic range display devices having color light sources
US7714830B2 (en) 2001-11-09 2010-05-11 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display backlight with level change
US7737936B2 (en) 2001-11-09 2010-06-15 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display backlight with modulation
US7675500B2 (en) 2001-11-09 2010-03-09 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display backlight with variable amplitude LED
US8378955B2 (en) 2001-11-09 2013-02-19 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display backlight with filtering
US8059110B2 (en) 2002-03-13 2011-11-15 Dolby Laboratories Licensing Corporation Motion-blur compensation in backlit displays
US7777945B2 (en) 2002-03-13 2010-08-17 Dolby Laboratories Licensing Corporation HDR displays having light estimating controllers
US7800822B2 (en) 2002-03-13 2010-09-21 Dolby Laboratories Licensing Corporation HDR displays with individually-controllable color backlights
US8199401B2 (en) 2002-03-13 2012-06-12 Dolby Laboratories Licensing Corporation N-modulation displays and related methods
US8125425B2 (en) 2002-03-13 2012-02-28 Dolby Laboratories Licensing Corporation HDR displays with dual modulators having different resolutions
US7777714B2 (en) 2004-05-04 2010-08-17 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display with adaptive width
US7872631B2 (en) 2004-05-04 2011-01-18 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display with temporal black point
US8395577B2 (en) 2004-05-04 2013-03-12 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display with illumination control
US8400396B2 (en) 2004-05-04 2013-03-19 Sharp Laboratories Of America, Inc. Liquid crystal display with modulation for colored backlight
US8050512B2 (en) 2004-11-16 2011-11-01 Sharp Laboratories Of America, Inc. High dynamic range images from low dynamic range images
US8050511B2 (en) 2004-11-16 2011-11-01 Sharp Laboratories Of America, Inc. High dynamic range images from low dynamic range images
US8121401B2 (en) 2006-01-24 2012-02-21 Sharp Labortories of America, Inc. Method for reducing enhancement of artifacts and noise in image color enhancement
US7853094B2 (en) 2006-01-24 2010-12-14 Sharp Laboratories Of America, Inc. Color enhancement technique using skin color detection
US8471807B2 (en) 2007-02-01 2013-06-25 Dolby Laboratories Licensing Corporation Calibration of displays having spatially-variable backlight
US8482698B2 (en) 2008-06-25 2013-07-09 Dolby Laboratories Licensing Corporation High dynamic range display using LED backlighting, stacked optical films, and LCD drive signals based on a low resolution light field simulation

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08229982A (ja) 1996-09-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3198026B2 (ja) タブレット樹脂供給装置
US7132739B2 (en) Encapsulated stack of dice and support therefor
US6440774B2 (en) Electronic device, method of manufacturing the same, and apparatus for manufacturing the same
US6989122B1 (en) Techniques for manufacturing flash-free contacts on a semiconductor package
US20080187613A1 (en) Method of manufacturing wafer-level chip-size package and molding apparatus used in the method
EP1630861A1 (en) Resin sealing semiconductor package and method and device for manufacturing the same
US7208346B2 (en) Methods of forming interposers on surfaces of dies of a wafer
US20030038363A1 (en) Semiconductor device and apparatus for manufacturing same
US20050266616A1 (en) Method for balancing molding flow during the assembly of semiconductor packages with defective carrying units
JP4162720B2 (ja) 半導体装置をカプセル化するシステムおよび方法
KR100220709B1 (ko) 액상의 접착제를 리드 하부면에 도포하는 방법과 장치 및 그로부터 형성된 접착층을 갖는 리드-온-칩(loc)형 반도체 칩 패키지
EP0798764B1 (en) Hollow package manufacturing apparatus
JP7335647B2 (ja) ワーク搬送装置及び樹脂モールド装置
JPS5950534A (ja) 半導体の樹脂封止方法
CN110326093B (zh) 用于半导体封装中改善的分层特性的***和方法
JPH02290031A (ja) 樹脂封止型半導体集積回路のカル及びゲートの除去方法
US7198693B1 (en) Microelectronic device having a plurality of stacked dies and methods for manufacturing such microelectronic assemblies
TW202315734A (zh) 樹脂供給裝置、樹脂成形裝置及樹脂成形品之製造方法
US7682936B2 (en) Reduction in thickness of semiconductor component on substrate
KR101475444B1 (ko) 웨이퍼 레벨 몰딩 장치 및 웨이퍼 레벨 몰딩 방법
JPH09312309A (ja) モールド方法およびモールドユニットならびにタブレット
JPH11121499A (ja) 半導体装置の製造方法および製造装置
JPH10189625A (ja) モールドユニット
JPS61150343A (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JPH1187569A (ja) 半導体装置の樹脂封止装置及び樹脂封止方法

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090608

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees