JP3193872B2 - 熱式空気流量計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、熱式空気流量計に
係り、特に内燃機関の吸入空気量を測定するのに好適な
熱式空気流量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より自動車などの内燃機関の電子制
御燃料噴射装置に設けられ吸入空気量を測定する空気流
量計として、熱式のものが質量空気量を直接検知できる
ことから主流となってきている。この中で、半導体マイ
クロマシニング技術により製造された空気流量計が、コ
ストが低減でき且つ低電力で駆動することが出来ること
から特に注目されてきた。このような従来の半導体基板
を用いた熱式空気流量計が、例えば、特開昭６０−１４
２２６８号公報および特開平７−１７４６００号公報等
に開示されている。上記公報に記載の技術は、製造コス
トはある程度低減されているが、吸入空気量の測定に際
して、流量計測レンジが狭い、ノイズが大きい、耐塵埃
信頼性が十分でない等の問題があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来技術には、次のよ
うな課題がある。上記特開昭６０−１４２２６８号公報
に記載の従来技術を図１０を参照し説明する。図１０は
従来の熱式空気流量計の測定素子の平面図であり、該公
報に記載の第２図である。図において、１が熱式空気流
量計の測定素子で、シリコン等の半導体基板を異方性エ
ッチングにより形成した空洞(２３ａ，ｂ，ｃ)を架橋す
る電気絶縁膜からなる２本の橋２４ａ，２４ｂを有し、
空気の流れの上流側が橋２４ａ、下流側が橋２４ｂとな
っている。２本の橋２４ａ，２４ｂとの間の開口した空
洞２３cを挟んで発熱抵抗体５を配置しこれらの橋２４
ａ，２４ｂには発熱抵抗体５の側部に各々測温抵抗体４
ａ、４ｂが配置され、更に、電気絶縁膜の空洞２３ａの
上流側の一部に空気温度を測定する空気温度測温抵抗体
７を配設している。また、空洞２３ａ，２３ｂ及び２３
ｃは、電気絶縁膜の開口部を利用して半導体基板を異方
性エッチングすることから電気絶縁膜の橋２４ａ，２４
ｂ下で連続した一体の空洞となっている。

【０００４】この空気流量計では、空気温度測温抵抗体
７により定められる空気温度よりも一定温度高い温度と
なるように、発熱抵抗体５が加熱駆動される。空気流量
は、空気の熱運搬効果を利用して、流路の上流側測温体
４ｂと下流側測温体４ａとの間に生じる温度差から計測
される。

【０００５】図１１は、従来の熱式空気流量計の他の例
を説明するための図であり、上記特開平７−１７４６０
０号公報の図１記載の測定素子の平面図となっている。
測定素子１は、前記の従来例と同じように半導体基板２
上に電気絶縁膜１０を形成し公知のホトリソグラフィ技
術により電気絶縁体１０の２３ｄ，２３ｅの部分をエッ
チングし、更に、この開口部２３ｄ，２３ｅから半導体
基板２を異方性エッチングして空洞２３ｄ，２３ｅを形
成する。この空洞２３ｄ，２３ｅは、前記の従来例と同
じように電気絶縁膜の橋２４下で連続した一体の空洞を
形成している。この従来例では、橋２４上に発熱抵抗体
５とこれに近接して測温抵抗体４が空気流の上流側に配
設され、さらに、空気温度測温抵抗体７が測定素子１の
最上流に配設される。

【０００６】この空気流量計では、空気温度測温抵抗体
７で検知される空気温度より測温抵抗体４が一定温度高
くなるように発熱抵抗体５を加熱(傍熱)駆動する。空気
流量は、空気の流量が増加するに従い冷却される測温抵
抗体４を傍熱する発熱抵抗体５に流す加熱電流から計測
する。

【０００７】このように構成された従来例では、例えば
図１０の測定素子では、前記特開平７−１７４６００号
公報の明細書の項目(００１２)に記載されているよう
に、空気流量が大流速域で出力変化が小さく、直線性が
悪くなり、計測可能な流速レンジが狭くなる問題があ
る。これを改善したのが図１１に示した測定素子だが、
この従来例においては、空気の流れの方向が検知出来な
いという問題がある。更に、図１０、図１１の両方の従
来例に共通する問題として、空気流量を計測する上で重
要な空気流と接する検出有効面積(この従来例では測温
抵抗体４，４ａ,４ｂおよび発熱抵抗体５の空気流に接
する面積)が小さいことにより出力ノイズが大きいこ
と、 また、空気流に接する測定素子の表面に 空洞２３
ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅが開口しており、
自動車等の過酷な条件で使用される場合、上記開口部に
塵埃等が蓄積し長期間に渡って信頼性の高い計測が出来
ない等がある。

【０００８】従って、本発明の目的は、従来技術の課題
を解決し、流量計測のダイナミックレンジが広く、ノイ
ズが小さく、さらには、耐塵埃信頼性の高い熱式空気流
量計を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する熱式
空気流量計は、上面を電気絶縁膜で塞がれて下面に開口
している空洞を有する半導体基板と、前記空洞上の部位
の前記電気絶縁膜上に形成された測温抵抗体および該測
温抵抗体を中に被測定流体の上下流側に振り分けられて
いる一対の発熱抵抗体と、前記空洞部上以外の部位の前
記電気絶縁膜上に形成された流体温度測温抵抗体とを有
する測定素子と、前記測温抵抗体と前記流体温度測温抵
抗体の温度差を一定に保つように前記各発熱抵抗体に加
熱電流を流す加熱制御手段と、前記各発熱抵抗体の温度
差に基づいて前記被測定流体の流れ方向を検知する方向
検知手段と、前記各発熱抵抗体の温度差または前記各発
熱抵抗体に流す電流値に基づいて前記被測定流体の流量
を検知する流量検知手段とから構成するものである。

【００１０】本発明によれば、一個の測温抵抗体を一対
の発熱抵抗体で挟み、該測温抵抗体の温度を基準温度と
して一対の発熱抵抗体が成す温度差を大きく検出できる
ようにしたので、流量計測時のダイナミックレンジ及び
対ノイズの改善が図られる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図１は、本発明による一
実施例の測定素子(熱式空気流量計用)を示す平面図であ
る。熱式空気流量計に用いられる測定素子を示してい
る。図２は、図１のＡ−Ａ’断面を示す図である。図
１，２において、測定素子１は、シリコン等からなる半
導体基板２と、半導体基板２の上面に被膜形成されて後
述する空洞３の上面側を塞いでいる形になっている電気
絶縁膜１０ａと、電気絶縁膜１０ａ上に形成された、測
温抵抗体４，該測温抵抗体４を中に挟みかつ近傍に隣接
して空気流９に対する上流側と下流側とに振り分けられ
て配置形成された一対の発熱抵抗体５及び６，空気温度
を計測するための空気温度測温抵抗体７，測定素子１と
しての各抵抗体からの信号を外部回路に引き出すための
端子電極８と、各抵抗体や端子電極８等を保護するため
に被覆形成されている電気絶縁膜１０ｂと、測温抵抗体
４と発熱抵抗体５及び６とが形成されている部位を、半
導体基板２の下面側(開口部３ａ)より異方性エッチング
により電気絶縁膜１０ａの境界面まで穿ち半導体基板２
に設けられた空洞３とから構成される。

【００１２】ここで、一対の発熱抵抗体５，６は、電気
絶縁膜１０ａ上で電気的に直列に接続されて引き出され
た２つの端子電極８(，)と、中間接続点Ｍから引き
出された中間端子電極としての端子電極８()とを有す
る。すなわち、図１では、発熱抵抗体５，６を直列で接
続し、途中(中間接続点Ｍ)から端子電極８()を引き出
している。しかし、場合によっては、端子電極８が１個
増えて多くなる繁雑さはあるが、それぞれ独立に端子電
極８を取り出し外部回路にて直列接続することも可能で
ある。

【００１３】そして、空気流９に接する面積(検出有効
面積)が広い電気絶縁膜１０ａ上に形成された、一対の
発熱抵抗体５，６には、測温抵抗体４の温度が空気流９
の流路先端に配置された空気温度測温抵抗体７の温度よ
り一定温度高くなるように、加熱(傍熱)電流が流されて
いる。

【００１４】また、空気流９の方向は、空洞３上の部位
にあって電気絶縁膜１０ａ上のほぼ中央の位置に形成さ
れた測温抵抗体４を中にして、被測定流体の上下流側に
振り分けられている、望ましくは、測温抵抗体４に対し
て対称に形成されている発熱抵抗体５および６の、各温
度(温度に対応した各抵抗値)を比較することにより検知
される。つまり、発熱抵抗体５，６は、被測定流体の空
気流が零のときは、測温抵抗体４の温度とほぼ同じ温度
を示し、温度差が生じない。

【００１５】空気流がある場合、図１の空気流９の方向
(順流)では、主に上流側に配置された発熱抵抗体５の方
が、下流側に配置された発熱抵抗体６より、空気流９に
よる冷却効果が大きいことから、加えて、発熱抵抗体
５，６は直列接続であり同じ加熱電流が流れて両方の発
熱量がほぼ同一であることから、上流側の発熱抵抗体５
の温度が発熱抵抗体６の温度より低い値となる。また、
空気流が図１の矢印方向と反対(逆流)のときには、今度
は下流側の発熱抵抗体６の温度方が上流側の発熱抵抗体
５の温度より低くなる。このように、発熱抵抗体５，６
の各温度(各抵抗値)を比較することにより空気流９の方
向が検知できる。

【００１６】一方、空気流量の計測は、上記の発熱抵抗
体５，６の温度差が空気流量の増大に対して大きくなる
ことを利用して、温度差より空気流の方向と空気流量を
同時に計測する。あるいは、測温抵抗体４を空気温度測
温抵抗体７より一定温度高く制御するために、発熱抵抗
体５，６に流す加熱(傍熱)電流値が、空気流量の増大に
ともない増加することを利用して計測する。

【００１７】ところで、発熱抵抗体５，６は、空洞３上
の電気絶縁膜１０ａ上に形成されており、本実施例の発
熱抵抗体面積(２個の発熱抵抗体の面積)は、従来例の発
熱抵抗体面積(１個の発熱抵抗体の面積)に比較して広い
(検出有効面積が広い)構成とすることになるので、空気
流量信号が大きく取り出せて、ダイナミックレンジが広
く取れる。かつ、空気流の局所的な乱れに対して平均的
な出力になる、換言すれば出力に対するノイズ比(Ｎ／
Ｓ)が小さくなることから、ノイズに強い構成となって
いる。

【００１８】更に、図１に示すように、空気温度測温抵
抗体７は基板２の先端に位置し、空気流９の流路に突き
出て配置されており、空気流９が順流または逆流のいず
れの場合においても、発熱抵抗体５，６の加熱された空
気流の影響を受けない位置に配設されており、精度の高
い空気流量の計測が可能となっている。

【００１９】図３は、図１の測定素子を実装した本発明
による一実施例の熱式空気流量計を示す断面図である。
例えば、自動車等の内燃機関の吸気通路に実装した熱式
空気流量計の実施例を示す断面図である。熱式空気流量
計は、図のように、測定素子１と支持体１３と外部回路
１４とを含み構成される。そして吸気通路１１の内部に
ある副通路１２に測定素子１が配置される。外部回路１
４は支持体１３を介して測定素子１の端子電極８に電気
的に接続されている。ここで、通常では被測定流体とし
ての吸入空気は空気流９で示された方向に流れており、
ある内燃機関の条件によって空気流９とは逆の方向(逆
流)に吸入空気が流れる。

【００２０】図４は、図３の測定素子部を示す拡大図で
ある。図３の測定素子１および支持体１３の拡大図であ
る。図５は、図４のＢ−Ｂ’断面を示す図である。図６
は、図４のＣ−Ｃ’断面を示す図である。図４〜図６に
おいて、測定素子１は、空気温度測温抵抗体７の表裏面
が空気流９に直接晒されるように支持体１３ｂ上に固定
され、更に、端子電極１５および信号処理回路を有しア
ルミナ等の電気絶縁基板上に形成された外部回路１４
が、同じく支持体１３ｂ上に固定されている。

【００２１】この測定素子１と外部回路１４は、端子電
極８および１５間を金線１６等でワイヤボンディングに
より電気的に接続された後、前記の金線１６、電極端子
８、１５や外部回路１４を保護するために支持体１３ａ
により密封保護される。このように実装された測定素子
１では、図４〜６に示すように、空洞３は、下面が支持
体１３ｂにより大部分が塞がれており、また上面が電気
絶縁膜１０により、空気流９に対してほぼ隔離(閉塞)さ
れている。従って、上記したような本実施例を採用すれ
ば、従来例のように空洞３が空気流９に対して開口して
いる部分がなくなるので、自動車等の内燃機関の空気流
量を計測する際に問題となる塵埃等が、空洞部あるいは
開口部に蓄積することがなく信頼性の高い計測が可能と
なる。

【００２２】また、自動車等の内燃機関では、内燃機関
の熱により図３に示す吸気通路１１および支持体１３の
温度が上昇し、さらに、この熱が測定素子１に伝わり、
空気流量の計測に誤差を生じさせ温度特性を悪くするこ
とがある。これに対して、本実施例では、図４に示すよ
うに、空気温度測温抵抗体７は、支持体１３より最も遠
い場所に配設され、更に、支持体１３から突き出して配
置されている。このように配設するにとにより、空気流
９により表裏面ともに晒され放熱が十分されることか
ら、上記吸気通路１１および支持体１３の温度上昇によ
る影響を殆ど受けない温度特性の優れた構成となってい
る。

【００２３】更には、図５のＢ−Ｂ’断面図に示したよ
うに、空気流９に対して支持体１３ｂの先端形状を流線
型にしたことにより、空気流９が測定素子１に至った位
置においても、空気流の乱れがなく一様に流れることか
ら、更にノイズの少ない計測が可能となる。

【００２４】次に、図７、図８および図９を参照し、本
発明による熱式空気流量計の動作について説明する。図
７は、本発明による一実施例の熱式空気流量計を示す回
路構成図である。図１に示す各抵抗体４，５，６，７な
どからなる測定素子１と、測定素子１からの信号を処理
するための外部回路１４(加熱制御手段と方向検知手段
と流量検知手段としての回路)との構成を示したもので
ある。

【００２５】図中、１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄは
差動増幅噐、１８は発熱抵抗体５，６に加熱(傍熱)電流
を流すためのトランジスタ、１９は電源、２２ａ，２２
ｂ，２２ｃは抵抗、２０は、発熱抵抗体５，６に流す加
熱電流に比例する抵抗２２ａの電位より得られた空気流
量に対応する信号出力Ｃから、差動増幅噐１７ｄより得
られる空気流の方向信号Ｆに基づいて、プラス(順流)ま
たはマイナス(逆流)に変換した出力信号Ｇを得るため
の、切り替え回路である。

【００２６】ここで、測温抵抗体４、空気温度測温抵抗
体７、抵抗２２ｂ，２２ｃよりなるブリッジ回路は、測
温抵抗体４の温度(抵抗値)が空気温度に対応する空気温
度測温抵抗体７の温度(抵抗値)よりある一定値(例えば
１５０℃)高くなるよう各抵抗値が設定される。測温抵
抗体４の温度が、設定値より低い場合にはブリッジ回路
の中点の電位ＨとＩ間に差が生じ、差動増幅噐１７ａの
出力Ｊによりトランジスタ１８がオンし、発熱抵抗体
５，６に加熱電流が流れる。発熱抵抗体５，６により傍
熱された測温抵抗体４の温度が設定値に達すると、差動
増幅噐１７ａの出力Ｊによりトランジスタ１８がオフ
し、加熱電流が遮断される。このように、測温抵抗体４
の温度が設定値に一定になるようにフィードバック制御
されており、このときの発熱抵抗体５，６に流す加熱電
流値(抵抗２２ａの電位Ｃに対応)が空気流量となる。

【００２７】一方、空気流の方向は、発熱抵抗体５，６
の温度差より検出する。図９には、発熱抵抗体５，６と
測温抵抗体４の温度分布を、空気流が順流および逆流の
場合について摸式的に示している。図において、前記し
たように測温抵抗体４はある一定の基準温度に設定され
ている。発熱抵抗体５，６は直列接続されており同じ加
熱電流が流れる構成であることから、空気流が順流の場
合には、上流側の発熱抵抗体５がより空気流により熱を
奪われることから温度が低くなる。一方、空気流が逆流
の場合には、逆に発熱抵抗体６の温度が低くなる。つま
り、図９に示したように、発熱抵抗体５，６の温度(抵
抗値)を比較することにより、空気流の方向が検知でき
る。これについて、以下、さらに詳説する。

【００２８】図９は、図１の測定素子のＡ−Ａ’断面お
よび動作原理を示す図である。図９に示したように、一
個の測温抵抗体４を一対の発熱抵抗体５，６で挟むよう
にし測温抵抗体４の温度を基準温度に設定する本発明の
構成にしたことにより、発熱抵抗体５および６が成す温
度差を十分に大きくして検出できる。これに対して、図
１０に示した従来例では、逆に一個の発熱抵抗体を一対
の測温抵抗体で挟んでおり、中心の発熱抵抗体が基準温
度に設定される構成であることから、図９の従来例の温
度分布に示すように、一対の測温抵抗体の温度は基準温
度より共に低くなり、従って、温度差があまり大きくな
らない。本発明のように、温度差を大きく検出できるこ
とは、信号レベルが大きくなり、広いダイナミックレン
ジが得られ、かつ、対ノイズ特性に関して有利になる。

【００２９】図７に戻り、外部回路１４では、発熱抵抗
体５，６の両温度(両抵抗値)の比較を、直列接続された
各抵抗体の両端の電位により行う。上流側の発熱抵抗体
５の温度に対応するのは図７のＡ−Ｂ点間の電位差であ
り、下流側の発熱抵抗体６の温度に対応するのはＢ−Ｃ
間の電位差である。従って、差動増幅噐１７ｂの出力Ｄ
が発熱抵抗体５の温度に、差動増幅噐１７ｃの出力Ｅが
発熱抵抗体６の温度に各々対応し、差動増幅器１７ｄに
より出力ＤおよびＥを比較することにより、空気流の方
向が出力Ｆとして検知できる。上記した空気流量に対応
した抵抗２２ａの出力信号Ｃと、空気流の方向信号であ
る差動増幅器１７ｄの出力Ｆで作動する切り替え回路２
０とにより、空気流の方向を加味した空気流量信号Ｇ
(順流は正逆流は負)が出力される。

【００３０】図８は、本発明による他の実施例の熱式空
気流量計を示す回路構成図である。別の方式の抵抗体
４，５，６，７と信号処理のための外部回路１４を示し
たものである。図７の構成と異なるのは、切り替え回路
２０の代わりに除算回路２１を設けたことである。この
方式は、空気流の方向および流量として、発熱抵抗体
５，６の温度差そのものを出力しようとするものであ
る。図９に示したように、発熱抵抗体５，６の温度差
(ΔＴ)は、その正負により空気流の方向が検知できると
共に、絶対値は空気流量に対応するものである。従っ
て、発熱抵抗体５，６の温度差(ΔＴ)は抵抗値差(ΔＲ)
と同等なので、この抵抗値差(ΔＲ)が出力される構成に
すれば、空気流量が計測される。

【００３１】即ち、図８において、差動増幅噐１７ｄに
は、図７での動作と同じように発熱抵抗体５，６の両端
の電位が入力され、その電位差がＦとして除算回路２１
に出力される。電位差Ｆは、発熱抵抗体５，６の抵抗値
差(ΔＲ)と発熱抵抗体５，６に流れる加熱電流値の積と
なっているので、電位差Ｆを加熱電流値に対応する抵抗
２２ａの電位Ｃで除算することにより、抵抗値差(ΔＲ)
が除算回路２１の出力Ｇとして得られる。この出力Ｇの
正負から空気流の方向が、そしてまた、出力Ｇの絶対値
から空気流量が計測される。

【００３２】次に、本発明による熱式空気流量計の測定
素子の具体例について、図１，２を参照して説明する。
まず、シリコン半導体基板２上に電気絶縁体１０ａとし
て、熱酸化あるいはＣＶＤ等の方法で、約０．５ミクロ
ンの厚さの二酸化ケイ素、窒化ケイ素等を形成する、更
に、抵抗体４，５，６，７として、スパッタ等の方法
で、約０．２ミクロンの厚さの白金を形成する。その
後、公知のホトリソグラフィ技術により、所定の形状に
レジストを形成した後、イオンミリング等の方法により
白金をパターニングする。

【００３３】次に、端子電極８を金メッキ等で形成した
後、端子電極８以外の部分を保護膜として、先と同様に
約０．５ミクロンの厚さの電気絶縁体１０ｂを形成す
る。最後に、シリコン基板２の裏面より二酸化ケイ素等
をマスク材として、異方性エッチングすることにより空
洞３を形成し、チップに切断することにより、測定素子
１が得られる。

【００３４】ここで、空洞３上の電気絶縁膜１０は、従
来例の検出有効面積(約０．２ｍｍ×１ｍｍ：特開平７
−１７４６００号公報の明細書「００２８」項に記載)に
対して、本実施例では１．５ｍｍ×１．５ｍｍの検出有
効面積とし、従来例の約１０倍の大きさにした。また、
測温抵抗体４を囲むように発熱抵抗体５，６を形成した
ことから、発熱抵抗体の占有面積が大きくとれる。

【００３５】このことにより、空洞３上の発熱抵抗体
５，６の空気流量信号のダイナミックレンジおよび対ノ
イズが、従来例に比較して大幅に改善した。なお、空洞
３を大きくした場合でも、本実施例の測定素子１の大き
さは、約２．５ｍｍ×５ｍｍであり、従来例(約３ｍｍ
×３ｍｍ：特開平７−１７４６００号公報の明細書「０
０２８」項に記載)の約１．４倍に過ぎない。また、従来
例のように空気流９に晒される開口部がないことにより
耐塵埃信頼性が向上した。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、測温抵抗体４の上下流
に一対の発熱抵抗体５，６を半導体基板に形成した検出
有効面積の大きい空洞３上の電気絶縁体１０に形成し、
且つ、発熱抵抗体５，６を直列接続し上記発熱抵抗体
５，６の温度差および加熱電流から、空気流の方向と流
量を計測する構成としたことにより、空気流量の計測時
のダイナミックレンジおよび対ノイズの改善が図られ
る。

【００３７】また、空気流９に対して開口している所が
ない構成にすることから、耐塵埃信頼性が向上し、更に
は、空気温度測温抵抗体７を空気流に突き出す構成とす
ることにより、温度特性の改善を図った熱式空気流量計
が提供できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による一実施例の測定素子(熱式空気流
量計用)を示す平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ’断面を示す図である。

【図３】図１の測定素子を実装した本発明による一実施
例の熱式空気流量計を示す断面図である。

【図４】図３の測定素子部を示す拡大図である。

【図５】図４のＢ−Ｂ’断面を示す図である。

【図６】図４のＣ−Ｃ’断面を示す図である。

【図７】本発明による一実施例の熱式空気流量計を示す
回路構成図である。

【図８】本発明による他の実施例の熱式空気流量計を示
す回路構成図である。

【図９】図１の測定素子のＡ−Ａ’断面および動作原理
を示す図である。

【図１０】従来の熱式空気流量計の測定素子を説明する
平面図である。

【図１１】従来の他の熱式空気流量計の測定素子を説明
する平面図である。

【符号の説明】

１…測定素子、２…半導体基板、３…空洞、３ａ…開口
部、４…測温抵抗体、５，６…発熱抵抗体、７…空気温
度測温抵抗体、８，１５…端子電極、９…空気流、１０
ａ，１０ｂ…電気絶縁膜、１１…吸気通路、１２…副通
路、１３，１３ａ，１３ｂ…支持体、１４…外部回路、
１６…金線、１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ…差動増
幅器、１８…トランジスタ、１９…電源、２０…切り替
え回路、２１…除算回路、２２ａ，２２ｂ，２２ｃ…抵
抗

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01F 1/68 - 1/699 G01P 5/12

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】上面を電気絶縁膜で塞がれて下面に開口し
   ている空洞を有する半導体基板と、前記空洞上の部位の
   前記電気絶縁膜上に形成された測温抵抗体および該測温
   抵抗体を中に被測定流体の上下流側に振り分けられてい
   る一対の発熱抵抗体と、前記空洞部上以外の部位の前記
   電気絶縁膜上に形成された流体温度測温抵抗体とを有す
   る測定素子と、 前記測温抵抗体と前記流体温度測温抵抗体の温度差を一
   定に保つように前記各発熱抵抗体に加熱電流を流す加熱
   制御手段と、前記各発熱抵抗体の温度差に基づいて前記
   被測定流体の流れ方向を検知する方向検知手段と、前記
   各発熱抵抗体の温度差または前記各発熱抵抗体に流す電
   流値に基づいて前記被測定流体の流量を検知する流量検
   知手段とから構成することを特徴とする熱式空気流量
   計。
2. 【請求項２】請求項１において、前記一対の発熱抵抗体
   は、前記電気絶縁膜上で電気的に直列に接続されて引き
   出された２つの端子電極と、中間接続点から引き出され
   た中間端子電極とを有することを特徴とする熱式空気流
   量計。