JP3189690B2 - 導電性ボールの搭載装置 - Google Patents
導電性ボールの搭載装置Info
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- JP3189690B2 JP3189690B2 JP18034496A JP18034496A JP3189690B2 JP 3189690 B2 JP3189690 B2 JP 3189690B2 JP 18034496 A JP18034496 A JP 18034496A JP 18034496 A JP18034496 A JP 18034496A JP 3189690 B2 JP3189690 B2 JP 3189690B2
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- conductive ball
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、バンプ付きワーク
の製造工程で用いられる導電性ボールの搭載装置に関す
るものである。
の製造工程で用いられる導電性ボールの搭載装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】フリップチップなどのバンプ付きワーク
の製造工程において、ワークの電極にパンプ(突出電
極)を形成する方法として、半田ボールなどの導電性ボ
ールを用いる方法が知られている。この方法は、導電性
ボールの供給部に備えられた導電性ボールを、搭載ヘッ
ドの下面に形成された吸着孔に真空吸着してピックアッ
プし、基板などのワークの電極上に搭載するようになっ
ている。このような方法によれば、多数個の導電性ボー
ルを一括してワークに搭載できるので、生産性が良いな
どの利点がある。
の製造工程において、ワークの電極にパンプ(突出電
極)を形成する方法として、半田ボールなどの導電性ボ
ールを用いる方法が知られている。この方法は、導電性
ボールの供給部に備えられた導電性ボールを、搭載ヘッ
ドの下面に形成された吸着孔に真空吸着してピックアッ
プし、基板などのワークの電極上に搭載するようになっ
ている。このような方法によれば、多数個の導電性ボー
ルを一括してワークに搭載できるので、生産性が良いな
どの利点がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】近年、導電性ボールは
微小化しており、直径が300μmあるいはそれ以下の
ものもあらわれている。一方、導電性ボールが搭載され
る基板などのワークの上面には反りがあり、その上面は
完全なフラット面ではない。搭載ヘッドは、その下面に
真空吸着した導電性ボールをワークの電極に位置合わせ
したうえで、真空吸着状態を解除して、導電性ボールを
電極上に搭載するのであるが、ワークの上面に反りがあ
ると、すべての導電性ボールは電極に着地できず、電極
よりも浮き上がった状態(導電性ボールとワークの電極
の間にギャップがある状態)で真空吸着を解除されるた
め、導電性ボールは電極上に自然落下することとなり、
その結果、導電性ボールは電極上に正しく搭載されず、
電極から位置ずれしやすいという問題点があった。
微小化しており、直径が300μmあるいはそれ以下の
ものもあらわれている。一方、導電性ボールが搭載され
る基板などのワークの上面には反りがあり、その上面は
完全なフラット面ではない。搭載ヘッドは、その下面に
真空吸着した導電性ボールをワークの電極に位置合わせ
したうえで、真空吸着状態を解除して、導電性ボールを
電極上に搭載するのであるが、ワークの上面に反りがあ
ると、すべての導電性ボールは電極に着地できず、電極
よりも浮き上がった状態(導電性ボールとワークの電極
の間にギャップがある状態)で真空吸着を解除されるた
め、導電性ボールは電極上に自然落下することとなり、
その結果、導電性ボールは電極上に正しく搭載されず、
電極から位置ずれしやすいという問題点があった。
【0004】したがって本発明は、ワークの上面に反り
があっても、搭載ヘッドの下面に真空吸着された多数個
の導電ボールをワークの電極上に正しく搭載することが
できる導電性ボールの搭載装置を提供することを目的と
する。
があっても、搭載ヘッドの下面に真空吸着された多数個
の導電ボールをワークの電極上に正しく搭載することが
できる導電性ボールの搭載装置を提供することを目的と
する。
【0005】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、導
電性ボールの供給部に備えられた導電性ボールを搭載ヘ
ッドの下面に真空吸着してピックアップし、位置決め部
に位置決めされたワークの電極上に搭載するようにした
導電性ボールの搭載装置であって、前記搭載ヘッドが、
真空吸引手段により真空吸引される本体と、この本体の
下面に開口された開口部に首振り自在に装着された吸着
ツールとを備え、この吸着ツールの下面に導電性ボール
を真空吸着する吸着孔を形成した。
電性ボールの供給部に備えられた導電性ボールを搭載ヘ
ッドの下面に真空吸着してピックアップし、位置決め部
に位置決めされたワークの電極上に搭載するようにした
導電性ボールの搭載装置であって、前記搭載ヘッドが、
真空吸引手段により真空吸引される本体と、この本体の
下面に開口された開口部に首振り自在に装着された吸着
ツールとを備え、この吸着ツールの下面に導電性ボール
を真空吸着する吸着孔を形成した。
【0006】
【発明の実施の形態】本発明によれば、搭載ヘッドを下
降させて、吸着ツールの下面の吸着孔に真空吸着された
導電性ボールをワークの電極上に搭載する際、ワークの
上面に反りがあっても、吸着ツールはワークの上面にな
らって首振りできるので、すべての導電性ボールをワー
クの電極上に確実に着地させて正しく搭載することがで
きる。
降させて、吸着ツールの下面の吸着孔に真空吸着された
導電性ボールをワークの電極上に搭載する際、ワークの
上面に反りがあっても、吸着ツールはワークの上面にな
らって首振りできるので、すべての導電性ボールをワー
クの電極上に確実に着地させて正しく搭載することがで
きる。
【0007】次に、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。図1は、本発明の一実施の形態の導電性ボ
ールの搭載装置の斜視図、図2は同搭載ヘッドの断面
図、図3は同搭載ヘッドの吸着ツールの断面図である。
て説明する。図1は、本発明の一実施の形態の導電性ボ
ールの搭載装置の斜視図、図2は同搭載ヘッドの断面
図、図3は同搭載ヘッドの吸着ツールの断面図である。
【0008】図1において、11はワークであり、ガイ
ドレール13に載置されている。ガイドレール13は、
ワーク11をクランプして位置決めする位置決め部とな
っている。ワーク11の上面には導電性ボールとしての
半田ボール1が搭載される電極12が多数個形成されて
いる。ガイドレール13の側方には、半田ボール1の供
給部14と、ピックアップミス検出用の光源15と、フ
ラックスの貯溜部としての容器16が設置されている。
17はフラックスの液面を平滑するスキージである。供
給部14はボックスから成り、その内部に半田ボール1
が貯溜されている。
ドレール13に載置されている。ガイドレール13は、
ワーク11をクランプして位置決めする位置決め部とな
っている。ワーク11の上面には導電性ボールとしての
半田ボール1が搭載される電極12が多数個形成されて
いる。ガイドレール13の側方には、半田ボール1の供
給部14と、ピックアップミス検出用の光源15と、フ
ラックスの貯溜部としての容器16が設置されている。
17はフラックスの液面を平滑するスキージである。供
給部14はボックスから成り、その内部に半田ボール1
が貯溜されている。
【0009】ガイドレール13の上方には搭載ヘッド3
0が設けられている。搭載ヘッド30は昇降ユニット4
0の前面に設けられたガイドレール41に装着されてい
る。昇降ユニット40の上面に設けられたモータ42が
駆動すると、搭載ヘッド30はガイドレール41に沿っ
て昇降する。昇降ユニット40はガイドシャフト21に
沿ってX方向へ移動する。またガイドシャフト21の両
端部はスライダ22を介してガイドシャフト23に結合
されており、ガイドシャフト21はガイドシャフト23
に沿ってY方向へ移動する。すなわち、ガイドシャフト
21、23は、搭載ヘッド30をX方向やY方向へ移動
させる移動手段となっている。なお搭載ヘッド30をガ
イドシャフト21、23に沿って移動させるための動力
系の説明は省略している。
0が設けられている。搭載ヘッド30は昇降ユニット4
0の前面に設けられたガイドレール41に装着されてい
る。昇降ユニット40の上面に設けられたモータ42が
駆動すると、搭載ヘッド30はガイドレール41に沿っ
て昇降する。昇降ユニット40はガイドシャフト21に
沿ってX方向へ移動する。またガイドシャフト21の両
端部はスライダ22を介してガイドシャフト23に結合
されており、ガイドシャフト21はガイドシャフト23
に沿ってY方向へ移動する。すなわち、ガイドシャフト
21、23は、搭載ヘッド30をX方向やY方向へ移動
させる移動手段となっている。なお搭載ヘッド30をガ
イドシャフト21、23に沿って移動させるための動力
系の説明は省略している。
【0010】次に、図2および図3を参照して搭載ヘッ
ド30の構造を説明する。図2において、31は本体と
してのボックスである。ボックス31の下面には開口部
32が複数個開口されている。またこの下面には保持枠
33が装着されている。保持枠33に開口された開口3
4には箱形の吸着ツール35が嵌着されている。吸着ツ
ール35は開口部32の直下に位置している。本実施の
形態のワーク11は多面取りの基板であり、したがって
吸着ツール35は面取り数に応じて複数個ボックス31
の下面に装着されている。
ド30の構造を説明する。図2において、31は本体と
してのボックスである。ボックス31の下面には開口部
32が複数個開口されている。またこの下面には保持枠
33が装着されている。保持枠33に開口された開口3
4には箱形の吸着ツール35が嵌着されている。吸着ツ
ール35は開口部32の直下に位置している。本実施の
形態のワーク11は多面取りの基板であり、したがって
吸着ツール35は面取り数に応じて複数個ボックス31
の下面に装着されている。
【0011】吸着ツール35にはつば部36が突設され
ており、つば部36とボックス31の下面の間には弾性
体37が介装されている。したがって吸着ツール35
は、弾性体37を圧縮しながら若干の首振り(図3の矢
印N参照)をすることができる。吸着ツール35の下面
には、半田ボール1を真空吸着する吸着孔38が複数開
孔されている。図2において、ボックス31にはチュー
ブ39が接続されている。チューブ39は真空吸引手段
(図外)に接続されている。したがって真空吸引手段が
駆動することにより、半田ボール1は吸着孔38に真空
吸着される。
ており、つば部36とボックス31の下面の間には弾性
体37が介装されている。したがって吸着ツール35
は、弾性体37を圧縮しながら若干の首振り(図3の矢
印N参照)をすることができる。吸着ツール35の下面
には、半田ボール1を真空吸着する吸着孔38が複数開
孔されている。図2において、ボックス31にはチュー
ブ39が接続されている。チューブ39は真空吸引手段
(図外)に接続されている。したがって真空吸引手段が
駆動することにより、半田ボール1は吸着孔38に真空
吸着される。
【0012】この導電性ボールの搭載装置は上記のよう
に構成されており、次にその動作を説明する。図1にお
いて、搭載ヘッド30は供給部14の上方へ移動し、そ
こで下降・上昇動作を行うことにより、吸着ツール35
の吸着孔38に半田ボール1を真空吸着してピックアッ
プする。次に搭載ヘッド30は容器16の上方へ移動
し、そこで再度下降・上昇動作を行って、半田ボール1
の下面にフラックス2を付着させる。
に構成されており、次にその動作を説明する。図1にお
いて、搭載ヘッド30は供給部14の上方へ移動し、そ
こで下降・上昇動作を行うことにより、吸着ツール35
の吸着孔38に半田ボール1を真空吸着してピックアッ
プする。次に搭載ヘッド30は容器16の上方へ移動
し、そこで再度下降・上昇動作を行って、半田ボール1
の下面にフラックス2を付着させる。
【0013】次に搭載ヘッド30はワーク11の上方へ
移動し、そこで下降動作を行うことにより、半田ボール
1をワーク11の電極12上に着地させる。図3はこの
ときの状態を示している。ワーク11の上面には反りが
あり、したがって図3において左側の半田ボール1は電
極12に着地しているが、右側の半田ボール1は電極1
2に着地できず、ギャップGがある。しかしながら搭載
ヘッド30が下降動作を行うことにより、吸着ツール3
5は弾性体37を圧縮しながら、ワーク11の上面にな
らって矢印N方向へ首振りし、この右側の半田ボール1
も電極12に着地できる(鎖線で示す半田ボール1を参
照)。この首振り動作は、各吸着ツール毎に独立して行
われる。そこで半田ボール1の真空吸着状態を解除した
うえで、搭載ヘッド30を上昇させれば、すべての半田
ボール1はワーク11の電極12上に搭載される。この
ようにして半田ボール1が搭載されたワーク11は、次
の工程へ送られる。
移動し、そこで下降動作を行うことにより、半田ボール
1をワーク11の電極12上に着地させる。図3はこの
ときの状態を示している。ワーク11の上面には反りが
あり、したがって図3において左側の半田ボール1は電
極12に着地しているが、右側の半田ボール1は電極1
2に着地できず、ギャップGがある。しかしながら搭載
ヘッド30が下降動作を行うことにより、吸着ツール3
5は弾性体37を圧縮しながら、ワーク11の上面にな
らって矢印N方向へ首振りし、この右側の半田ボール1
も電極12に着地できる(鎖線で示す半田ボール1を参
照)。この首振り動作は、各吸着ツール毎に独立して行
われる。そこで半田ボール1の真空吸着状態を解除した
うえで、搭載ヘッド30を上昇させれば、すべての半田
ボール1はワーク11の電極12上に搭載される。この
ようにして半田ボール1が搭載されたワーク11は、次
の工程へ送られる。
【0014】
【発明の効果】本発明によれば、搭載ヘッドを下降させ
て、吸着ツールの下面の吸着孔に真空吸着された導電性
ボールをワークの電極上に搭載する際、ワークの上面に
反りがあっても、吸着ツールはワークの上面にならって
首振りできるので、すべての導電性ボールをワークの電
極上に確実に着地させて正しく搭載することができる。
て、吸着ツールの下面の吸着孔に真空吸着された導電性
ボールをワークの電極上に搭載する際、ワークの上面に
反りがあっても、吸着ツールはワークの上面にならって
首振りできるので、すべての導電性ボールをワークの電
極上に確実に着地させて正しく搭載することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の斜視図
置の斜視図
【図2】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の搭載ヘッドの断面図
置の搭載ヘッドの断面図
【図3】本発明の一実施の形態の導電性ボールの搭載装
置の搭載ヘッドの吸着ツールの断面図
置の搭載ヘッドの吸着ツールの断面図
1 半田ボール 11 ワーク 12 電極 14 半田ボールの供給部 30 搭載ヘッド 31 ボックス(本体) 32 開口部 35 吸着ツール 37 弾性体 38 吸着孔
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/60 H01L 21/60 311
Claims (1)
- 【請求項1】導電性ボールの供給部に備えられた導電性
ボールを搭載ヘッドの下面に真空吸着してピックアップ
し、位置決め部に位置決めされたワークの電極上に搭載
するようにした導電性ボールの搭載装置であって、前記
搭載ヘッドが、真空吸引手段により真空吸引される本体
と、この本体の下面に開口された開口部に首振り自在に
装着された吸着ツールとを備え、この吸着ツールの下面
に導電性ボールを真空吸着する吸着孔を形成したことを
特徴とする導電性ボールの搭載装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18034496A JP3189690B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | 導電性ボールの搭載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18034496A JP3189690B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | 導電性ボールの搭載装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1027800A JPH1027800A (ja) | 1998-01-27 |
JP3189690B2 true JP3189690B2 (ja) | 2001-07-16 |
Family
ID=16081591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18034496A Expired - Fee Related JP3189690B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | 導電性ボールの搭載装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3189690B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102320988B1 (ko) * | 2017-06-16 | 2021-11-04 | 엘지전자 주식회사 | 공기조화기 및 그 제어방법 |
KR102342252B1 (ko) * | 2017-06-02 | 2021-12-23 | 엘지전자 주식회사 | 공기조화기 및 그 제어방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102509642B1 (ko) * | 2018-09-27 | 2023-03-16 | 삼성전자주식회사 | 도전성 볼 부착 장치 |
-
1996
- 1996-07-10 JP JP18034496A patent/JP3189690B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102342252B1 (ko) * | 2017-06-02 | 2021-12-23 | 엘지전자 주식회사 | 공기조화기 및 그 제어방법 |
KR102320988B1 (ko) * | 2017-06-16 | 2021-11-04 | 엘지전자 주식회사 | 공기조화기 및 그 제어방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1027800A (ja) | 1998-01-27 |
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