JP3182603U - Semiconductor wafer storage case - Google Patents

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Abstract

【課題】直径が４５０ｍｍやそれ以上の大型の半導体ウェーハであっても、安価で軽量、低発塵であり、保管や輸送の際のケースの落下や積み重ねも考慮して耐落下性能、耐荷重性能に優れたウェーハ収納ケースを提供する。
【解決手段】本考案の半導体ウェーハ収納ケース１０は、半導体ウェーハＷを複数枚重ねて収納するための内装部と該内装部を挿入するための外装部とを有し、内装部は、ポリエチレンで形成された内箱７と該内箱にかぶせる内蓋２で構成され、内箱７は、半導体ウェーハＷを出し入れするための切りかき部６を有し、外装部は、紙製ダンボールで形成された外箱８と該外箱にかぶせる外蓋１で構成され、外箱８は、該外箱の側面に取っ手１１を有するものであることを特徴とする半導体ウェーハ収納ケース。
【選択図】図１An object of the present invention is to provide a large-sized semiconductor wafer having a diameter of 450 mm or more, which is inexpensive, lightweight and low in dust generation, and has a drop-proof performance and a load-proof in consideration of case dropping and stacking during storage and transportation. Provide a wafer storage case with excellent performance.
A semiconductor wafer storage case 10 of the present invention has an interior part for storing a plurality of semiconductor wafers W and an exterior part for inserting the interior part, and the interior part is made of polyethylene. The inner box 7 is formed with an inner lid 2 that covers the inner box. The inner box 7 has a notch 6 for taking in and out the semiconductor wafer W, and the outer part is made of paper cardboard. A semiconductor wafer storage case comprising an outer box 8 and an outer lid 1 covering the outer box, the outer box 8 having a handle 11 on a side surface of the outer box.
[Selection] Figure 1

Description

本考案は、半導体ウェーハ収納ケースに関し、特には、半導体ウェーハを水平にスタックして収納した状態で安全に輸送、保管、取り扱うことができる半導体ウェーハ収納ケースに関する。   The present invention relates to a semiconductor wafer storage case, and more particularly to a semiconductor wafer storage case that can be safely transported, stored and handled in a state where semiconductor wafers are stacked and stored horizontally.

半導体ウェーハは年々大直径化しており、現在では直径３００ｍｍの半導体ウェーハが主流である。このような半導体ウェーハを収納するための容器は、従来から様々な形態のものが開発されている。   The diameter of semiconductor wafers is increasing year by year, and currently, semiconductor wafers with a diameter of 300 mm are the mainstream. Various types of containers for storing such semiconductor wafers have been developed.

例えば、特許文献１では、縦置き横置き自由であり、容器本体と蓋体との着脱作業が迅速容易であって、帯電した静電気の除去が容易な半導体ウェーハ収納容器を提供するため、円盤状の半導体ウェーハを多数枚重ねて収納可能な有底円筒状の容器本体と、この容器本体の円筒部外周を覆う筒部を有する蓋体とで構成された半導体ウェーハ収納容器が開示されている。   For example, in Patent Document 1, a disk-like shape is provided to provide a semiconductor wafer storage container that can be placed vertically and horizontally, can be quickly and easily attached to and detached from the container body, and can easily remove charged static electricity. There is disclosed a semiconductor wafer storage container comprising a bottomed cylindrical container main body capable of storing a large number of semiconductor wafers and a lid having a cylindrical part covering the outer periphery of the cylindrical part of the container main body.

また、特許文献２では、ディバイダが介在された状態のウェハー積み重ね体を運搬するため、円形形状のベースと上部カバーとを有するウェハーシッパが開示されている。このような積み重ね式のウェハーシッパは手で取り扱われるか、ロボットで扱われるか、あるいはその両方で、そうした容器を開閉するための手段は手及びロボットの両方で操作可能であることが必要であり、手で扱うには、直感的であるとともに簡単で信頼性があり迅速でなければならないことが開示されている。   Further, Patent Document 2 discloses a wafer shipper having a circular base and an upper cover in order to transport a wafer stack in a state where a divider is interposed. Such stacked wafer shippers must be handled by hand, robot, or both, and the means for opening and closing such containers must be operable by both hand and robot, It is disclosed that it must be intuitive, simple, reliable and quick to handle by hand.

特開平６−６９３２８号公報JP-A-6-69328 特表２００５−５０８８０２号公報JP 2005-508802 Gazette

次世代の半導体ウェーハとしては、直径４５０ｍｍの半導体ウェーハの開発が始まっている。従って、このような新世代の大直径半導体ウェーハをスタックし、輸送したり保管したりするのに適したウェーハ収納ケースを準備する必要がある。これは、単に半導体ウェーハの直径の大きさに合わせてウェーハ収納ケースを大きくすればよいということでは適応することができない。   As a next-generation semiconductor wafer, development of a semiconductor wafer having a diameter of 450 mm has begun. Therefore, it is necessary to prepare a wafer storage case suitable for stacking, transporting and storing such a new generation of large-diameter semiconductor wafers. This cannot be applied simply by enlarging the wafer storage case in accordance with the diameter of the semiconductor wafer.

半導体ウェーハは割れやすい材料であるため、収納ケースはかなりの強度を満たす必要があり、重量物となる。その上、近年の直径が４５０ｍｍやそれ以上といった大面積の半導体ウェーハに適応するために、ウェーハ収納ケースはさらなる強度を考慮しなければならなく、ウェーハ収納ケースの重量がさらに重くなるという問題が発生し、高価となることも避けられない。さらに、半導体ウェーハは数多くの工程を経るため、塵などの汚れが多く付着することにも注意が必要である。   Since the semiconductor wafer is a fragile material, the storage case needs to satisfy a considerable strength and is heavy. In addition, in order to adapt to large-scale semiconductor wafers with a diameter of 450 mm or more in recent years, the wafer storage case has to take into account further strength, and there is a problem that the weight of the wafer storage case further increases. However, it is inevitable that the cost will be high. Furthermore, since semiconductor wafers go through many processes, it is necessary to pay attention to the fact that a lot of dirt such as dust adheres.

本考案は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、直径が４５０ｍｍやそれ以上の大型の半導体ウェーハであっても、安価で軽量、低発塵であり、保管や輸送の際のケースの落下や積み重ねも考慮して耐落下性能、耐荷重性能に優れたウェーハ収納ケースを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and is inexpensive, lightweight, and low in dust generation even in the case of a large semiconductor wafer having a diameter of 450 mm or more, and a case for storage and transportation. It is an object of the present invention to provide a wafer storage case that is excellent in drop resistance and load resistance in consideration of dropping and stacking.

上記目的を達成するために、本考案は、半導体ウェーハを複数枚重ねて収納するため、前記半導体ウェーハを保持するための内装部と該内装部を挿入するための外装部とを有する半導体ウェーハ収納ケースであって、前記内装部は、ポリエチレンで形成された内箱と該内箱にかぶせる内蓋で構成され、前記内箱は、前記半導体ウェーハを出し入れするための切りかき部を有し、前記外装部は、紙製ダンボールで形成された外箱と該外箱にかぶせる外蓋で構成され、前記外箱は、該外箱の側面に取っ手を有するものであることを特徴とする半導体ウェーハ収納ケースを提供する。   In order to achieve the above object, the present invention provides a semiconductor wafer storage having an interior portion for holding the semiconductor wafer and an exterior portion for inserting the interior portion in order to accommodate a plurality of semiconductor wafers. The inner part is composed of an inner box made of polyethylene and an inner lid that covers the inner box, and the inner box has a notch for taking in and out the semiconductor wafer, The exterior portion is composed of an outer box formed of paper cardboard and an outer lid that covers the outer box, and the outer box has a handle on a side surface of the outer box. Provide a case.

このように、半導体ウェーハと接触する内箱がポリエチレンで形成されていることにより、ポリエチレンはクッション性がよいため緩衝材としての役目を果たし、且つ、クッション性のよい発泡スチロールと異なり屑が出にくい。また、内箱が切りかき部を有することで、スタックされた半導体ウェーハが出し入れし易い。さらに、外蓋と外箱から構成される外装部が紙製ダンボールで形成されていることにより、半導体ウェーハ収納ケースは軽量且つ安価となり、ダンボールを複数枚貼り合わせれば、耐荷重の面においても条件を満たすことができる。外箱は側面に取っ手を有することで、手での搬送時に持ちやすい。   Thus, since the inner box which contacts the semiconductor wafer is formed of polyethylene, polyethylene has a cushioning property and thus serves as a cushioning material. Unlike foamed polystyrene having a good cushioning property, it is difficult to produce debris. Further, since the inner box has the cut-out portion, the stacked semiconductor wafers can be easily taken in and out. Furthermore, the exterior part composed of the outer lid and the outer box is made of paper cardboard, which makes the semiconductor wafer storage case lighter and cheaper. Can be met. The outer box has a handle on the side surface, so that it can be easily held by hand.

また本考案は、内箱は、直径４５０ｍｍの円形状の半導体ウェーハを水平に保持するものであることが好ましい。
このように、本考案の半導体ウェーハ収納ケースは、直径４５０ｍｍの円形状の半導体ウェーハを水平に保持するものであることにより、近年開発されている直径４５０ｍｍの大型の半導体ウェーハであっても、安価で軽量、低発塵であり、保管や輸送の際のケースの落下や積み重ねも考慮して耐落下性能、耐荷重性能に優れたウェーハ収納ケースを提供することができる。 In the present invention, the inner box preferably holds a circular semiconductor wafer having a diameter of 450 mm horizontally.
As described above, the semiconductor wafer storage case of the present invention horizontally holds a circular semiconductor wafer having a diameter of 450 mm, so that even a large-sized semiconductor wafer having a diameter of 450 mm that has been developed recently is inexpensive. In addition, it is possible to provide a wafer storage case that is light and low in dust generation and excellent in drop resistance and load resistance in consideration of case dropping and stacking during storage and transportation.

以上のように、本考案によれば、直径が４５０ｍｍやそれ以上の大型の半導体ウェーハであっても、安価で軽量、低発塵であり、且つ、半導体ウェーハが出し入れし易く、持ち運びも便利で、保管や輸送の際のケースの落下や積み重ねも考慮して耐落下性能、耐荷重性能に優れたウェーハ収納ケースを提供することができる。   As described above, according to the present invention, even a large semiconductor wafer having a diameter of 450 mm or more is inexpensive, lightweight, low dust generation, easy to carry in and out of the semiconductor wafer, and convenient to carry. Considering dropping and stacking of cases during storage and transportation, it is possible to provide a wafer storage case having excellent drop resistance and load resistance.

本考案の実施形態を模式的に示す分解斜視説明図である。1 is an exploded perspective view schematically showing an embodiment of the present invention.

以下、本考案の実施形態について図１を参照しながらより詳細に説明するが、本考案はこれらに限定されるものではない。
本考案の半導体ウェーハ収納ケース１０は、半導体ウェーハＷを複数枚重ねて（スタックして）収納するためのもので、内箱７と内蓋２を有する内装部と、該内装部を挿入するための、外箱８と外蓋１を有する外装部とから構成される。
収納する半導体ウェーハＷは、例えば、円形状のシリコンウェーハである。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to FIG. 1, but the present invention is not limited thereto.
A semiconductor wafer storage case 10 according to the present invention is for storing a plurality of semiconductor wafers W in a stack (stacked), and for inserting an interior portion having an inner box 7 and an inner lid 2 and inserting the interior portion. The outer casing 8 and the exterior portion having the outer lid 1 are configured.
The semiconductor wafer W to be stored is, for example, a circular silicon wafer.

内装部の内箱７と内蓋２は、ポリエチレンで形成されたものである。これにより、内箱７と内蓋２は半導体ウェーハと接触するので、クッション性のよいポリエチレンは緩衝材となり、一般的に使用されるクッション性のよい発泡スチロールと異なって、発塵の懸念が少ない。また、ポリエチレンは加工性が良く、安価で軽量である。   The inner box 7 and the inner lid 2 of the interior part are made of polyethylene. Thereby, since the inner box 7 and the inner lid 2 are in contact with the semiconductor wafer, the polyethylene having a good cushioning property becomes a cushioning material, and unlike the foamed polystyrene having a good cushioning property that is generally used, there is less concern about dust generation. Polyethylene has good processability, is inexpensive and lightweight.

内箱７は、１つの略正方形に切りかき部６が形成された台座５と４つのフレーム４から構成されている。台座５はフレーム４と接着剤により接着され内箱７を形成している。内箱７には台座５の中央に半導体ウェーハＷが積み重ねて入れられることで保持できるように、フレーム４によって円形の凹部が形成されている。
このフレーム４によって形成されている円形の凹部は、半導体ウェーハＷの直径より少し大きい直径を有していることで、内箱７は、円形状の半導体ウェーハを水平に保持することができる。 The inner box 7 includes a pedestal 5 and four frames 4 each having a notch 6 formed in a substantially square shape. The pedestal 5 is bonded to the frame 4 with an adhesive to form an inner box 7. In the inner box 7, a circular recess is formed by the frame 4 so that the semiconductor wafer W can be held by being stacked in the center of the base 5.
Since the circular recess formed by the frame 4 has a diameter slightly larger than the diameter of the semiconductor wafer W, the inner box 7 can hold the circular semiconductor wafer horizontally.

本考案では半導体ウェーハＷは具体的には直径４５０ｍｍのものを例えば８０枚程度積み重ねて収納が可能である。また内箱７には対辺に２組の切りかき部６を設けてあるため、円形の半導体ウェーハＷを出し入れし易い構造となっている。尚、切りかき部は１組であってもよい。   In the present invention, specifically, for example, about 80 semiconductor wafers having a diameter of 450 mm can be stacked and stored. In addition, since the inner box 7 is provided with two sets of notch portions 6 on the opposite side, it has a structure in which a circular semiconductor wafer W can be easily taken in and out. In addition, one set may be sufficient as a notch part.

内蓋２は内箱７と同様ポリエチレン製で、略正方形の対角に三角の欠け部３を１対設けた形状である。これにより、外箱８から内蓋２を出し入れし易くなる。ただし、耐荷重をより向上させるため該内蓋２は外箱８に完全に埋没しないようにすることが好ましい。   The inner lid 2 is made of polyethylene like the inner box 7 and has a shape in which a pair of triangular notches 3 are provided at substantially diagonal corners. Thereby, it becomes easy to take in and out the inner lid 2 from the outer box 8. However, it is preferable that the inner lid 2 is not completely buried in the outer box 8 in order to further improve the load resistance.

以上のような構造の内箱７と内蓋２は外箱８と外蓋１からなる外装部に挿入されて使用される。
外装部の外箱８と外蓋１は紙製ダンボールで形成されたものであり、内装部をぎりぎり挿入することができる大きさがよい。形状は例えば図１のように略正方形の升形状とすることができ、外箱８が外蓋１よりも底面積を少し小さくすることで、外蓋１が外箱８に側面で重なる様に蓋をすることができる。これにより、半導体ウェーハ収納ケースは軽量且つ安価となり、輸送や保管時にケースごと積み重ねる際の耐荷重も保障することができる。 The inner box 7 and the inner lid 2 having the above-described structure are used by being inserted into an exterior portion composed of the outer box 8 and the outer lid 1.
The outer box 8 and the outer lid 1 of the exterior part are made of paper corrugated cardboard and have a size that allows the interior part to be inserted at the last minute. The shape can be, for example, a substantially square bowl shape as shown in FIG. 1, and the outer box 8 has a slightly smaller bottom area than the outer lid 1 so that the outer lid 1 overlaps the outer box 8 on the side surface. Can be covered. As a result, the semiconductor wafer storage case becomes light and inexpensive, and it is possible to guarantee a load resistance when the case is stacked together during transportation and storage.

また、外箱８と外蓋１は、所望の耐荷重に合うように複数枚のダンボールを貼り合わせて構成することもできる。これにより、直径が４５０ｍｍやそれ以上の直径の半導体ウェーハを収納する場合であっても、耐荷重の面においても基準をクリアすることができる。   Further, the outer box 8 and the outer lid 1 can be configured by bonding a plurality of cardboards so as to meet a desired load resistance. Thereby, even when a semiconductor wafer having a diameter of 450 mm or more is stored, the standard can be cleared in terms of load resistance.

外箱８の側面には、取っ手１１を対面に一組、外蓋１が被らない位置に２ヶ所取り付ける。これにより、輸送時にケースを持ち運び、積み下ろしもし易くなる。外箱８の内側において取っ手１１の裏側に位置する場所には、座板１２を設けることで取っ手１１を補強することができる。
取っ手１１はポリプロピレン製のひもを使用することができ、座板１２は一般的な紙を複数枚貼り合わせたものからなるもので、例えばホチキス等で外箱８に簡単に取り付けることが可能である。 On the side surface of the outer box 8, a pair of handles 11 are attached facing each other, and two places are attached at positions where the outer lid 1 is not covered. As a result, the case can be easily carried and unloaded during transportation. The handle 11 can be reinforced by providing a seat plate 12 in a place located on the back side of the handle 11 inside the outer box 8.
The handle 11 can use a string made of polypropylene, and the seat plate 12 is made of a laminate of a plurality of general papers, and can be easily attached to the outer box 8 with, for example, a staple. .

上記の本考案の半導体ウェーハ収納ケース１０に半導体ウェーハＷを収納するには、直接半導体ウェーハＷを図１のように水平に重ね、内箱７のフレーム４内に収まる様に台座５の上に水平に載置することで、内箱７に複数枚の円形状の半導体ウェーハＷを水平に保持することができる。次に、内箱７に内蓋２をかぶせて外箱８に挿入して外蓋１をかぶせることで、半導体ウェーハ収納ケース１０に半導体ウェーハＷを収納することができる。   In order to store the semiconductor wafer W in the semiconductor wafer storage case 10 of the present invention, the semiconductor wafers W are directly stacked horizontally as shown in FIG. 1 and placed on the pedestal 5 so as to fit in the frame 4 of the inner box 7. By mounting horizontally, a plurality of circular semiconductor wafers W can be held horizontally in the inner box 7. Next, the semiconductor wafer W can be stored in the semiconductor wafer storage case 10 by covering the inner box 7 with the inner lid 2 and inserting it into the outer box 8 to cover the outer lid 1.

以下、実施例を示して本考案をより具体的に説明するが、本考案はこれらに限定されるものではない。
図１のような形状の半導体ウェーハ収納ケース１０を用意した。条件は以下の通りである。
外蓋１ 縦：横：高さ＝６２０ｍｍ：６１０ｍｍ：１１５ｍｍ
外箱８ 縦：横：高さ＝５８８ｍｍ：５７６ｍｍ：２４０ｍｍ
内蓋２ 縦：横：高さ＝５５６ｍｍ：５５６ｍｍ： ５０ｍｍ
内箱７ 縦：横：高さ＝５５６ｍｍ：５５６ｍｍ：１８０ｍｍ
内箱７の４つのフレーム４が形成する凹部の直径＝４５６ｍｍ
内箱７の４つのフレーム４が形成する凹部の深さ＝１３０ｍｍ
外蓋１と外箱８は、紙製ダンボールを２枚貼り合わせて作製した。内蓋２と内箱７は、ポリエチレン製である。 Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to these examples.
A semiconductor wafer storage case 10 having a shape as shown in FIG. 1 was prepared. The conditions are as follows.
Outer lid 1 Vertical: Horizontal: Height = 620 mm: 610 mm: 115 mm
Outer box 8 length: width: height = 588mm: 576mm: 240mm
Inner lid 2 Vertical: Horizontal: Height = 556 mm: 556 mm: 50 mm
Inner box 7 length: width: height = 556mm: 556mm: 180mm
Diameter of the recess formed by the four frames 4 of the inner box 7 = 456 mm
Depth of recess formed by four frames 4 of inner box 7 = 130 mm
The outer lid 1 and the outer box 8 were produced by bonding two paper cardboards together. The inner lid 2 and the inner box 7 are made of polyethylene.

以上により構成された本考案のウェーハ収納ケース１０に対して耐荷重試験を行ったところ、約１トンの重量物を約２時間乗せて放置したが、損壊や目立った変形は観察されなかった。実際はウェーハ収納ケースの積み重ねによる保管や輸送状態を目的としているため、該ウェーハ収納ケース１個あたりの重量は、ウェーハＷの収納量によるが、５０ｋｇ以下であるため、使用上の積み重ね個数５個程度であれば耐荷重性能も十分であることが明らかとなった。   When a load resistance test was performed on the wafer storage case 10 of the present invention constructed as described above, a heavy article of about 1 ton was left on the plate for about 2 hours, but no damage or noticeable deformation was observed. Actually, it is intended for storage and transportation by stacking wafer storage cases, so the weight per wafer storage case is 50 kg or less, depending on the storage capacity of wafers W. Then, it was revealed that the load bearing performance is sufficient.

また、落下試験においては、直径４５０ｍｍ、厚さ１．２ｍｍのシリコンウェーハを１００枚入れた本考案のウェーハ収納ケースを、人が持つより若干高い約１．５ｍの高さから複数回落下させ、内容物のシリコンウェーハと該ケース外観を観察したが、シリコンウェーハに損傷はなく、該ケースにも目立った変形は観察されなかった。このように通常使用時の耐落下性能も十分であることが分かった。   In the drop test, the wafer storage case of the present invention containing 100 silicon wafers having a diameter of 450 mm and a thickness of 1.2 mm was dropped several times from a height of about 1.5 m, which is slightly higher than a person has, The contents of the silicon wafer and the appearance of the case were observed, but the silicon wafer was not damaged, and no noticeable deformation was observed in the case. Thus, it was found that the drop resistance performance during normal use is sufficient.

なお、本考案は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本考案の実用新案登録請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本考案の技術的範囲に包含される。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment. The above-described embodiment is an example, and has any configuration that is substantially the same as the technical idea described in the claims of the utility model registration of the present invention and that exhibits the same operational effects. Are also included in the technical scope of the present invention.

例えば、本考案では、収納する半導体ウェーハはシリコンウェーハに限られず、また、直径は現在開発中の４５０ｍｍを例に説明したが、それ以上の直径、あるいは、これよりも小さい直径の半導体ウェーハを収納することも可能である。   For example, in the present invention, the semiconductor wafer to be stored is not limited to a silicon wafer, and the diameter has been described as an example of 450 mm currently under development, but a semiconductor wafer having a diameter larger than that or smaller than this is accommodated. It is also possible to do.

１…外蓋、 ２…内蓋、 ３…欠け部、 ４…フレーム、 ５…台座、
６…切りかき部、 ７…内箱、 ８…外箱、 １０…半導体ウェーハ収納ケース、
１１…取っ手、 １２…座板、 Ｗ…半導体ウェーハ。 1 ... outer lid, 2 ... inner lid, 3 ... chipped part, 4 ... frame, 5 ... pedestal,
6 ... notch, 7 ... inner box, 8 ... outer box, 10 ... semiconductor wafer storage case,
11 ... handle, 12 ... seat plate, W ... semiconductor wafer.

Claims (2)

半導体ウェーハを複数枚重ねて収納するため、前記半導体ウェーハを保持するための内装部と該内装部を挿入するための外装部とを有する半導体ウェーハ収納ケースであって、
前記内装部は、ポリエチレンで形成された内箱と該内箱にかぶせる内蓋で構成され、
前記内箱は、前記半導体ウェーハを出し入れするための切りかき部を有し、
前記外装部は、紙製ダンボールで形成された外箱と該外箱にかぶせる外蓋で構成され、
前記外箱は、該外箱の側面に取っ手を有するものであることを特徴とする半導体ウェーハ収納ケース。 A semiconductor wafer storage case having an interior part for holding the semiconductor wafer and an exterior part for inserting the interior part for storing a plurality of semiconductor wafers,
The interior portion is composed of an inner box made of polyethylene and an inner lid that covers the inner box.
The inner box has a notch for taking in and out the semiconductor wafer,
The exterior part is composed of an outer box made of paper cardboard and an outer lid that covers the outer box,
A semiconductor wafer storage case, wherein the outer box has a handle on a side surface of the outer box. 前記内箱は、直径４５０ｍｍの円形状の半導体ウェーハを水平に保持するものであることを特徴とする請求項１に記載の半導体ウェーハ収納ケース。   2. The semiconductor wafer storage case according to claim 1, wherein the inner box holds a circular semiconductor wafer having a diameter of 450 mm horizontally.
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