JP3181199B2 - Pressure leak measurement method - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、被測定物内に加
圧気体源から加圧気体を導入して、被測定物内の圧力変
化を測定することによって、被測定物からの圧力洩れを
測定する圧力洩れ測定方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for measuring a pressure change in a device under test by introducing a pressurized gas into the device under test from a pressurized gas source. The present invention relates to a method for measuring pressure leak.
【０００２】[0002]
【従来の技術】自動車エンジン用鋳造ブロック等の密閉
性を検査するために、被測定物の内部にエアコンプレッ
サ等の加圧気体源から圧縮空気等の加圧気体を導入し
て、被測定物からの圧力洩れを測定する方法が用いられ
る。この際、単に圧力センサによって被測定物からの圧
力洩れに伴う気圧の絶対値の変化を測定する方式では、
圧力センサの測定精度の制約があるため精度の良い圧力
洩れ測定ができない。そこで、高精度の圧力洩れ測定を
行うための方法として、被測定物とは独立した密閉空間
である測定用マスタ（以下、単に「マスタ」ともい
う。）を用意して、このマスタと被測定物とを差圧検出
器を介して接続し、差圧の変化を検出することによって
被測定物からの圧力洩れを測定する方法が開発されてい
る。かかる差圧測定による圧力洩れ測定方法の具体例と
しては、例えば、特開平４−２２１７３３号公報に記載
された圧力洩れ測定装置の発明がある。この公報に記載
された技術においては、被測定物とほぼ同一形状・同一
容積の測定用マスタと被測定物とが差圧検出器を介して
接続されている。そして、被測定物及びマスタ内に圧縮
空気が導入されて測定圧力に達した時点から差圧値の経
時変化を測定することによって、被測定物からの圧力洩
れの測定が行われる。2. Description of the Related Art A pressurized gas such as compressed air is introduced from a pressurized gas source such as an air compressor into an object to be inspected in order to inspect the hermeticity of a casting block for an automobile engine or the like. A method of measuring pressure leakage from a pipe is used. At this time, in the method of simply measuring the change in the absolute value of the atmospheric pressure due to pressure leak from the measured object by the pressure sensor,
Due to the limitation of the measurement accuracy of the pressure sensor, accurate pressure leak measurement cannot be performed. Therefore, as a method for performing high-precision pressure leak measurement, a measurement master (hereinafter, also simply referred to as “master”), which is a closed space independent of an object to be measured, is prepared. A method has been developed in which an object is connected via a differential pressure detector and a change in the differential pressure is detected to measure a pressure leak from the object to be measured. As a specific example of such a pressure leak measuring method by differential pressure measurement, there is, for example, an invention of a pressure leak measuring device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 4-221733. In the technique described in this publication, a measurement master having substantially the same shape and the same volume as an object to be measured is connected to the object to be measured via a differential pressure detector. Then, by measuring the change over time of the differential pressure value from the time when the compressed air is introduced into the measured object and the master to reach the measured pressure, the pressure leak from the measured object is measured.
【０００３】また、被測定物とほぼ同一形状・同一容積
の測定用マスタを用いる代わりに、配管の一部を密閉し
て、この密閉部分と被測定物との差圧を比較することに
よって、圧力洩れの測定を行う方法も開発されている。
かかる圧力洩れ測定方法においては、マスタとして配管
の一部を密閉して、この密閉配管内の圧力と被測定物内
の圧力とを比較する方式を採っている。すなわち、密閉
される配管部分と被測定物とが差圧検出器を介して接続
されている。そして、被測定物及び密閉配管部分に圧縮
空気が導入されて測定圧力に達した時点から差圧値の経
時変化を測定することによって、被測定物からの圧力洩
れの測定が行われる。In addition, instead of using a measurement master having substantially the same shape and the same volume as an object to be measured, a part of a pipe is sealed and a differential pressure between the sealed portion and the object to be measured is compared. Methods for measuring pressure leaks have also been developed.
In such a pressure leak measuring method, a method is adopted in which a part of a pipe is sealed as a master, and the pressure in the sealed pipe is compared with the pressure in an object to be measured. That is, the pipe portion to be hermetically sealed and the object to be measured are connected via the differential pressure detector. Then, the pressure leak from the measured object is measured by measuring the change with time of the differential pressure value from the point in time when compressed air is introduced into the measured object and the sealed pipe to reach the measured pressure.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、いずれ
の圧力洩れ測定方法においても、被測定物内に圧縮空気
が導入される際の断熱圧縮に起因する温度変化等によっ
て圧力変動が生ずるため、差圧値の時間当たりの変化量
から圧力洩れ量を算出するためには、圧力が安定するま
で待たねばならない。このように、従来の測定方法は、
いずれも被測定物内に圧縮空気が導入される際の温度変
化等による圧力変動がなくなって圧力が確実に安定する
まで待たなければならないため、測定時間の短縮に限界
があるという問題点があった。However, in any of the pressure leak measurement methods, pressure fluctuation occurs due to a temperature change or the like caused by adiabatic compression when compressed air is introduced into the object to be measured. In order to calculate the pressure leak amount from the change amount of the value per time, it is necessary to wait until the pressure is stabilized. Thus, the conventional measurement method is
In any case, there is a problem that the measurement time is limited because the pressure fluctuation due to the temperature change when the compressed air is introduced into the object to be measured has to be eliminated and the pressure has to be reliably stabilized. Was.
【０００５】そこで、本出願の請求項１乃至請求項３に
係る発明においては、被測定物内の圧力変動が生じてい
る時点においても圧力洩れの大きさの測定を可能にする
ことによって、測定時間を大幅に短縮することができる
圧力洩れ測定方法を提供することを目的とする。また、
本出願の請求項２に係る発明においては、差圧測定によ
る圧力洩れ測定方法において、被測定物及びマスタ内の
圧力変動が生じている時点においても圧力洩れの大きさ
の測定を可能にすることによって、測定時間を大幅に短
縮することができる圧力洩れ測定方法を提供することを
目的とする。また、本出願の請求項３に係る発明におい
ては、測定環境が変動しても短時間で正確な測定をする
ことができる圧力洩れ測定方法を提供することを目的と
する。Therefore, in the inventions according to claims 1 to 3 of the present application, the magnitude of the pressure leak can be measured even at the time when the pressure fluctuation in the object to be measured occurs. It is an object of the present invention to provide a pressure leak measurement method capable of significantly reducing time. Also,
In the invention according to claim 2 of the present application, in the method for measuring pressure leak by differential pressure measurement, it is possible to measure the magnitude of pressure leak even at the time when the pressure fluctuation occurs in the workpiece and the master. Accordingly, an object of the present invention is to provide a pressure leak measurement method capable of greatly shortening the measurement time. Another object of the invention according to claim 3 of the present application is to provide a pressure leak measurement method capable of performing accurate measurement in a short time even if the measurement environment fluctuates.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】そこで、上記の課題を解
決するために、請求項１に係る発明においては、被測定
物に加圧気体を導入し、前記被測定物内の圧力を測定す
ることによって前記被測定物からの圧力洩れ量を算出す
る圧力洩れ測定方法であって、前記被測定物からの圧力
洩れがない場合の前記被測定物内の圧力の経時変化を求
めてマスタデータとして記憶する工程と、測定データ
を、該測定データの測定時刻と同一時刻における前記マ
スタデータと比較することによって前記被測定物からの
圧力洩れ量を算出する工程とを有する圧力洩れ測定方法
を創出した。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1 is directed to a method of measuring
A pressurized gas is introduced into the object to measure the pressure inside the object.
To calculate the amount of pressure leak from the object to be measured.
A pressure leak measuring how the steps of storing as a master data asking the temporal change in pressure in the measuring object when there is no pressure leakage from the object to be measured, the measurement data
At the same time as the measurement time of the measurement data.
Calculating a pressure leak amount from the measured object by comparing the pressure leak amount with the measured data .
【０００７】また、上記の課題を解決するために、請求
項２に係る発明においては、被測定物と該被測定物とは
独立した密閉空間とに加圧気体を導入し、前記被測定物
と前記独立した密閉空間との差圧を測定することによっ
て前記被測定物からの圧力洩れ量を算出する圧力洩れ測
定方法であって、前記被測定物からの圧力洩れがない場
合の前記差圧の経時変化を求めてマスタデータとして記
憶する工程と、測定データを、該測定データの測定時刻
と同一時刻における前記マスタデータと比較することに
よって前記被測定物からの圧力洩れ量を算出する工程と
を有する圧力洩れ測定方法を創出した。In order to solve the above-mentioned problems, in the invention according to claim 2, a pressurized gas is introduced into an object to be measured and a closed space independent of the object to be measured, and And a pressure leak measurement method for calculating a pressure leak amount from the object to be measured by measuring a pressure difference between the object and the independent closed space, wherein the pressure difference is measured when there is no pressure leak from the object to be measured. Obtaining the time-dependent change of the measurement data and storing the same as master data ; and
To compare with the master data at the same time
Therefore , a pressure leak measuring method including the step of calculating the amount of pressure leak from the object to be measured is created.
【０００８】さらに、上記の課題を解決するために、請
求項３に係る発明においては、請求項１または請求項２
に記載された圧力洩れ測定方法であって、前記被測定物
からの圧力洩れ量を算出する工程では、前記マスタデー
タに前記測定データから推定される測定環境の変化に起
因する圧力変化量を加味したものを前記測定データと比
較する圧力洩れ測定方法を創出した。Further, in order to solve the above-mentioned problem, in the invention according to claim 3, claim 1 or claim 2 is provided.
The pressure leak measurement method according to the above , wherein the measured object
In the step of calculating the amount of pressure leakage from the
Changes in the measurement environment estimated from the measurement data.
Of the measured data and the amount of pressure change
A pressure leak measurement method for comparison was created.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】請求項１に係る発明においては、
測定データを、被測定物からの圧力洩れがない場合の被
測定物内の圧力の経時変化であるマスタデータと比較す
ることによって、被測定物からの圧力洩れ量を算出して
いる。ここで、被測定物内において断熱圧縮等に起因す
る圧力変動が生じている時点においても、圧力洩れによ
る内圧の経時変化は直線的であり、この内圧の経時変化
は測定データをマスタデータと比較することによって求
めることができる。従って、圧力変動が生じている時点
においても、こうして求められた内圧の直線的な経時変
化を用いて、被測定物からの圧力洩れ量を算出すること
ができる。このようにして、被測定物内の圧力変動が生
じている時点においても圧力洩れの大きさの測定を可能
にすることによって、測定時間を大幅に短縮することが
できる圧力洩れ測定方法となる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the invention according to claim 1,
The amount of pressure leakage from the measured object is calculated by comparing the measured data with master data which is a temporal change in pressure in the measured object when there is no pressure leakage from the measured object. Here, even when pressure fluctuations due to adiabatic compression and the like occur in the object to be measured, the temporal change of the internal pressure due to pressure leakage is linear, and the temporal change of the internal pressure is obtained by comparing the measured data with the master data. It can be obtained by doing. Therefore, even at the time when the pressure fluctuation occurs, it is possible to calculate the pressure leak amount from the measured object by using the thus-obtained linear change of the internal pressure with time. In this way, a pressure leak measurement method is provided in which the magnitude of the pressure leak can be measured even at the time when the pressure fluctuation in the object to be measured occurs, thereby greatly reducing the measurement time.
【００１０】また、請求項２に係る発明においては、被
測定物と独立した密閉空間との差圧を測定することによ
って被測定物からの圧力洩れ量が算出される。そして、
測定データを、被測定物からの圧力洩れがない場合の差
圧の経時変化であるマスタデータと比較することによっ
て、被測定物からの圧力洩れ量を算出している。ここ
で、被測定物及び独立した密閉空間（マスタ）内におい
て断熱圧縮等に起因する圧力変動が生じている時点にお
いても、圧力洩れによる差圧の経時変化は直線的であ
り、この差圧の経時変化は測定データをマスタデータと
比較することによって求めることができる。従って、圧
力変動が生じている時点においても、こうして求められ
た差圧の直線的な経時変化を用いて、被測定物からの圧
力洩れ量を算出することができる。このようにして、差
圧測定による圧力洩れ測定方法において、被測定物及び
マスタ内の圧力変動が生じている時点においても圧力洩
れの大きさの測定を可能にすることによって、圧力洩れ
の測定時間を大幅に短縮することができる、極めて実用
的な圧力洩れ測定方法となる。In the invention according to claim 2, the amount of pressure leakage from the measured object is calculated by measuring the pressure difference between the measured object and the independent enclosed space. And
The amount of pressure leakage from the measured object is calculated by comparing the measured data with master data which is a temporal change of the differential pressure when there is no pressure leakage from the measured object. Here, even when the pressure fluctuation due to the adiabatic compression or the like occurs in the object to be measured and the independent enclosed space (master), the time-dependent change of the differential pressure due to the pressure leakage is linear, and The change over time can be obtained by comparing the measured data with the master data. Therefore, even at the time when the pressure fluctuation occurs, the pressure leak amount from the measured object can be calculated using the linear change with time of the differential pressure thus obtained. In this way, in the pressure leak measurement method using the differential pressure measurement, the magnitude of the pressure leak can be measured even when the pressure fluctuations occur in the DUT and the master, so that the pressure leak measurement time can be measured. Is a very practical method for measuring pressure leaks.
【００１１】また、請求項３に係る発明においては、測
定環境の変化に起因する圧力変化量をマスタデータに加
味したものを測定データと比較することによって被測定
物からの圧力洩れ量を算出している。従って、測定環境
の変化に応じてマスタデータが補正されるため、測定環
境の変化に起因する測定誤差を生ずることなく、マスタ
データを用いた圧力洩れ量の算出を安定して正確に行う
ことができる。このようにして、測定環境が変動しても
短時間で正確な測定をすることができる、極めて実用的
な圧力洩れ測定方法となる。In the invention according to claim 3, the amount of pressure leakage from the object to be measured is calculated by comparing the master data with the pressure change caused by the change of the measurement environment and the measured data. ing. Therefore, since the master data is corrected according to the change in the measurement environment, it is possible to stably and accurately calculate the pressure leak amount using the master data without causing a measurement error due to the change in the measurement environment. it can. In this manner, an extremely practical pressure leak measurement method that can perform accurate measurement in a short time even if the measurement environment fluctuates.
【００１２】[0012]
実施例１ 次に、本発明を具現化した実施例１について、図１乃至
図４を参照して説明する。まず、本実施例の圧力洩れ測
定方法の基本的な原理について、図１及び図２を参照し
て説明する。図１は、本実施例の圧力洩れ測定方法によ
る測定における差圧の変化を示すグラフである。実線は
被測定物の圧力洩れがない場合であり、破線は被測定物
の圧力洩れが有る場合を示している。図１に示されるよ
うに、時刻ｔ０において電磁弁が切り替えられて被測定
物とマスタとが遮断されると、これに伴って差圧が発生
する。発生した差圧は、圧力変動を伴いながら次第に変
化していく。ここで、断熱圧縮等に起因して実際に被測
定物の内圧が変動するのは時刻ｔ０から時刻ｔ１までの
範囲であり、この範囲においては被測定物からの圧力洩
れに起因する差圧ΔＰに、圧力変動に起因する差圧ΔＰ
０が加わった値が差圧値として検出される。時刻ｔ１以
降においては、被測定物からの圧力洩れに起因する差圧
ΔＰのみが差圧値として検出される。First Embodiment Next, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. First, the basic principle of the pressure leak measurement method according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a graph showing a change in differential pressure in measurement by the pressure leak measurement method of the present embodiment. The solid line indicates the case where there is no pressure leak of the device under test, and the broken line indicates the case where there is pressure leak of the device under test. As shown in FIG. 1, when the solenoid valve is switched at time t0 to cut off the object to be measured and the master, a differential pressure is generated accordingly. The generated differential pressure gradually changes with pressure fluctuation. Here, the internal pressure of the measured object actually fluctuates due to adiabatic compression or the like in a range from time t0 to time t1, and in this range, the differential pressure ΔP caused by pressure leakage from the measured object is used. The differential pressure ΔP caused by the pressure fluctuation
The value to which 0 has been added is detected as the differential pressure value. After time t1, only the differential pressure ΔP caused by pressure leak from the measured object is detected as the differential pressure value.
【００１３】ここで、被測定物の容積，測定圧力や被測
定物の温度及び外部温度等の検査条件が同一であれば、
複数回の測定を行っても、圧力変動に起因する差圧ΔＰ
０は毎回同じ値をとるはずである。すなわち、圧力洩れ
がない被測定物についての時刻ｔ０から時刻ｔ１までの
差圧曲線（実線）は、検査条件が同一であれば同一とな
る。また、圧力洩れが有る被測定物についての時刻ｔ０
から時刻ｔ１までの差圧曲線（破線）は、このΔＰ０の
曲線に圧力洩れに起因する差圧ΔＰが加わったものとな
っている。そして、この圧力洩れに起因する差圧ΔＰ
は、圧力変動の有るなしに関わらず、単位時間当たりの
変化量は一定となるはずである。従って、図１の破線か
ら実線を差し引くことによって、図２に示されるように
圧力洩れに起因する差圧ΔＰの経時変化が求められ、こ
の差圧ΔＰは時刻ｔ１以降のみならず、時刻ｔ０から時
刻ｔ１までの間においても直線的に変化する。故に、特
定の検査条件における圧力洩れがない被測定物について
の差圧曲線を予め求めておいて、同一の検査条件におけ
る被測定物についての差圧曲線から差し引く処理を行え
ば、図２のように差圧ΔＰの単位時間当たり変化量が求
められ、これから被測定物の圧力洩れの大きさを算出す
ることができる。かかる算出方法を用いることによっ
て、圧力変動のある時刻ｔ０から時刻ｔ１までの範囲内
においても、圧力洩れの大きさを算出することが可能と
なる。Here, if inspection conditions such as the volume of the object to be measured, the measured pressure, the temperature of the object to be measured, and the external temperature are the same,
Even if measurement is performed a plurality of times, the differential pressure ΔP caused by pressure fluctuation
0 should take the same value every time. That is, the differential pressure curve (solid line) from time t0 to time t1 for the DUT without pressure leakage is the same if the inspection conditions are the same. Also, the time t0 for the device under test with pressure leakage
From time t1 to the time t1 is a curve obtained by adding the pressure difference ΔP caused by pressure leakage to the curve of ΔP0. Then, the differential pressure ΔP caused by the pressure leakage
, The amount of change per unit time should be constant regardless of the presence or absence of pressure fluctuation. Accordingly, by subtracting the solid line from the dashed line in FIG. 1, the temporal change of the differential pressure ΔP caused by the pressure leak is obtained as shown in FIG. 2, and this differential pressure ΔP is not only from the time t1 but also from the time t0. It also changes linearly until time t1. Therefore, if a differential pressure curve for a device under test with no pressure leak under a specific test condition is determined in advance, and a process of subtracting the differential pressure curve from the device under test under the same test condition is performed, as shown in FIG. Then, the amount of change in the differential pressure ΔP per unit time is obtained, and from this, the magnitude of the pressure leak of the measured object can be calculated. By using such a calculation method, it is possible to calculate the magnitude of the pressure leak even in the range from time t0 to time t1 where there is a pressure fluctuation.
【００１４】この「特定の検査条件における圧力洩れが
ない被測定物についての差圧曲線」（図１の実線）を、
以下「マスタデータ」と呼ぶ。マスタデータを求めるに
は、まず被測定物について時刻ｔ１以降の圧力変動がな
い範囲で差圧ΔＰの単位時間当たり変化量（図２の直
線）を求め、これを被測定物についての差圧曲線（図１
の破線）から差し引くという手順による。この時刻ｔ１
は、被測定物からの圧力洩れのあるなしに関わらず、差
圧の単位時間当たりの変化量が一定になる点、すなわち
差圧センサによる差圧の測定値が描く曲線の二回微分値
が零になる点として求めることができる。本実施例にお
いては、差圧の単位時間当たりの変化量が一定になる点
を求めるに当たって、差圧センサによる測定値そのもの
ではなく、その移動平均値を用いている。これは、測定
データのばらつきによる誤差をなくするためである。This “differential pressure curve for the measured object without pressure leak under specific inspection conditions” (solid line in FIG. 1)
Hereinafter, it is referred to as “master data”. In order to obtain the master data, the amount of change in the differential pressure ΔP per unit time (the straight line in FIG. 2) is determined for the DUT within a range where there is no pressure fluctuation after time t1, and this is calculated as the differential pressure curve for the DUT. (Figure 1
(Dashed line). This time t1
Is the point at which the amount of change in differential pressure per unit time becomes constant, regardless of whether there is pressure leak from the measured object, that is, the second derivative of the curve drawn by the measured value of differential pressure by the differential pressure sensor is It can be obtained as a zero point. In the present embodiment, a moving average value is used for obtaining a point at which the amount of change in the differential pressure per unit time becomes constant, instead of the measurement value itself by the differential pressure sensor. This is to eliminate errors due to variations in measurement data.
【００１５】具体的には、差圧センサからの測定信号
が、予め設定されたサンプリング時間ごとに測定値Ｘと
して取り込まれる。この測定値Ｘの移動平均算出個数Ｎ
P ごとに移動平均値Ｐが算出され、算出された移動平均
値Ｐが検出値ＸP として取り込まれる。この検出値ＸP
を用いて、予め設定された変化量算出単位時間Ｃ１ごと
に、一回微分値Ｄ１が次式（１）によって算出される。 Ｄ１(N) ＝ＸP(N)−ＸP(N-C1) …（１） そして、二回微分値Ｄ２が次式（２）によって算出され
る。 Ｄ２(N) ＝Ｄ１(N) −Ｄ１(N-C1) …（２） さらに、加重移動平均法によって、二回微分値Ｄ２から
加重平均値Ｄ２AVE を算出して、この加重平均値Ｄ２
AVE が零になる点をもって、時刻ｔ１とする。このよう
にして時刻ｔ１に到達したことが判別されたら、その時
点から差圧ΔＰの測定値の時間当たりの変化量（図２の
直線の傾き）を求める。そして、これを被測定物につい
ての差圧曲線（図１の破線）から差し引くことによっ
て、マスタデータ（図１の実線）が求められ、このマス
タデータはそのときの検査条件とともに記憶される。More specifically, a measurement signal from the differential pressure sensor is taken in as a measurement value X at every preset sampling time. The moving average calculation number N of the measured value X
Moving average P is calculated for each P, moving average P calculated is taken as the detection value X P. This detection value X P
Is used, the one-time differential value D1 is calculated by the following equation (1) for each preset change amount calculation unit time C1. D1 (N) = XP (N) -XP (N-C1) (1) Then, the second derivative D2 is calculated by the following equation (2). D2 (N) = D1 (N) -D1 (N-C1) (2) Further, a weighted average value D2AVE is calculated from the second derivative D2 by a weighted moving average method, and the weighted average value D2 is calculated.
The point at which AVE becomes zero is defined as time t1. When it is determined that the time t1 has been reached in this way, the amount of change per hour (the slope of the straight line in FIG. 2) of the measured value of the differential pressure ΔP is determined from that time. Then, master data (solid line in FIG. 1) is obtained by subtracting this from the differential pressure curve (dashed line in FIG. 1) for the DUT, and the master data is stored together with the inspection conditions at that time.
【００１６】さて、このようにして記憶されたマスタデ
ータを用いて、図１の時刻ｔ０から時刻ｔ１の間におい
て圧力洩れ量の算出が行われる。まず、被測定物につい
ての差圧曲線を測定し、このときの検査条件がマスタデ
ータを求めた際の検査条件と同一と見做せるか否かを判
定する。もし、検査条件が同一と見做せないならば、こ
の新しい検査条件について、上述の手順によって新たな
マスタデータを求める。検査条件が同一と見做せる場合
には、被測定物についての差圧曲線からマスタデータを
差し引く処理を行って、図２のように差圧ΔＰの単位時
間当たり変化量を求める。そして、この差圧ΔＰの時間
当たり変化量を用いて被測定物の圧力洩れ量ＶL が算出
される。この算出の具体的な方法としては、種々の方法
を用いることができる。例えば、時刻ｔ１ともう一点の
二点間の差圧測定値Ｘあるいは検出値ＸP から求める方
法、単位時間の移動平均による方法、単位時間当たりの
変化量（例えば、一回微分値Ｄ１）の移動平均による方
法等である。Now, using the master data thus stored, the pressure leak amount is calculated between time t0 and time t1 in FIG. First, a differential pressure curve is measured for an object to be measured, and it is determined whether or not the inspection conditions at this time can be regarded as the same as the inspection conditions when the master data was obtained. If the inspection conditions cannot be regarded as the same, new master data is obtained for the new inspection conditions by the above-described procedure. If the inspection conditions can be considered to be the same, a process of subtracting the master data from the differential pressure curve of the measured object is performed, and a change amount of the differential pressure ΔP per unit time is obtained as shown in FIG. Then, the pressure leak amount VL of the measured object is calculated using the amount of change per time of the differential pressure ΔP. Various methods can be used as a specific method of this calculation. For example, a method of obtaining a differential pressure measurement X or the detection value X P between two points of one more point at time t1, the process according to the moving average unit time, the amount of change per unit time (for example, first derivative value D1) For example, a moving average method is used.
【００１７】次に、本実施例の圧力洩れ測定方法の測定
手順のより具体的な内容について、図３及び図４を参照
して説明する。図３及び図４は、本実施例の圧力洩れ測
定方法の測定手順を示すフローチャートであり、図３は
マスタデータを求める手順を示し、図４はマスタデータ
を用いて圧力洩れ量を求める手順を示している。図３の
ステップＳ１０で測定が開始されると、まず、被測定物
及びマスタについてのパラメータが入力される（ステッ
プＳ１２）。パラメータとしては、被測定物の大きさ，
形状等、マスタの大きさ，形状等がある。次に、差圧セ
ンサによる差圧の測定値Ｘが入力される（ステップＳ１
４）。続いて、移動平均Ｐを算出して良いか否かの判定
が行われる（ステップＳ１６）。測定値Ｘが移動平均算
出に必要な個数ＮP だけ入力されるまではこの判定はＹ
ＥＳにならず、ステップＳ１４に戻って測定値Ｘの入力
が繰り返される。測定値Ｘが移動平均算出に必要な個数
ＮP だけ入力された時点でステップＳ１８へ進んで、移
動平均Ｐが算出される。こうして算出された移動平均Ｐ
の値が、検出値ＸP として入力される（ステップＳ２
０）。Next, more specific contents of the measurement procedure of the pressure leak measurement method of the present embodiment will be described with reference to FIGS. 3 and 4 are flowcharts showing a measurement procedure of the pressure leak measurement method of the present embodiment. FIG. 3 shows a procedure for obtaining master data, and FIG. 4 shows a procedure for obtaining a pressure leak amount using the master data. Is shown. When the measurement is started in step S10 of FIG. 3, first, parameters for the device under test and the master are input (step S12). The parameters are the size of the DUT,
There are the size and shape of the master such as the shape. Next, the measured value X of the differential pressure by the differential pressure sensor is input (step S1).
4). Subsequently, it is determined whether or not the moving average P can be calculated (step S16). This determination is Y until the measured value X is inputted by the number N P necessary for calculating the moving average.
The flow returns to step S14 without entering ES, and the input of the measurement value X is repeated. Measured value X proceeds to step S18 as it is entered by the number N P required moving average calculation, the moving average P is calculated. Moving average P thus calculated
Value is input as the detection value X P (step S2
0).
【００１８】次に、変化量を演算して良いか否かの判定
が行われる（ステップＳ２２）。予め設定された変化量
算出単位時間Ｃ１の時間が経過するとこの判定はＹＥＳ
となり、検出値ＸP を用いて上記の式（１）及び式
（２）に従って、一回微分値Ｄ１及び二回微分値Ｄ２が
算出される（ステップＳ２４）。続いて、加重平均値Ｄ
２AVE を算出して良いか否かの判定が行われる（ステッ
プＳ２６）。二回微分値Ｄ２が移動加重平均算出に必要
な個数だけ算出されるまではこの判定はＹＥＳになら
ず、ステップＳ１４に戻って上述した工程が繰り返され
る。二回微分値Ｄ２が移動加重平均算出に必要な個数だ
け算出された時点でステップＳ２８へ進んで、加重平均
値Ｄ２AVE が算出される。こうして算出された加重平均
値Ｄ２AVE が零であるか否かによって、圧力が安定した
か否かの判断が行われる（ステップＳ３０）。加重平均
値Ｄ２AVE が零であればこの判定はＹＥＳとなり、ステ
ップＳ３２の判定もＹＥＳとなって、リーク差圧ΔＰの
算出が行われる（ステップＳ３４）。そして、このリー
ク差圧ΔＰのデータを被測定物についての差圧曲線から
差し引くことによって、マスタデータΔＰＭが求めら
れ、検査条件とともに記憶される（ステップＳ３６）。
これによって、マスタデータの算出手順は終了する（ス
テップＳ３８）。Next, it is determined whether or not the amount of change may be calculated (step S22). This determination is YES if the preset change amount calculation unit time C1 has elapsed.
The first derivative D1 and the second derivative D2 are calculated using the detected value XP in accordance with the above equations (1) and (2) (step S24). Subsequently, the weighted average value D
It is determined whether 2AVE can be calculated (step S26). This determination is not YES until the second derivative D2 is calculated for the number required for the moving weighted average calculation, and the process returns to step S14 to repeat the above-described steps. When the second derivative D2 has been calculated by the number required for calculating the moving weighted average, the process proceeds to step S28, where the weighted average D2AVE is calculated. It is determined whether the pressure has stabilized based on whether the weighted average value D2 AVE calculated in this way is zero (step S30). If the weighted average value D2 AVE is zero, the determination is YES, the determination in step S32 is also YES, and the leak differential pressure ΔP is calculated (step S34). Then, by subtracting the data of the leak differential pressure ΔP from the differential pressure curve of the device under test, master data ΔPM is obtained and stored together with the inspection conditions (step S36).
Thus, the master data calculation procedure ends (step S38).
【００１９】次に、こうして算出したマスタデータを用
いて圧力洩れ量を求める手順について、図４を参照して
説明する。図４のステップＳ４０で測定が開始される
と、まず、被測定物及びマスタについてのパラメータが
入力される（ステップＳ４２）。パラメータとしては、
被測定物の大きさ，形状等、マスタの大きさ，形状等が
ある。次に、今回被測定物についての差圧曲線を測定し
たときの検査条件がマスタデータを求めた際の検査条件
と同一と見做せるか否かを判定する（ステップＳ４
４）。もし、検査条件が同一と見做せないならば、この
新しい検査条件について、図３に示される手順によって
新たなマスタデータを求める（ステップＳ４６）。一
方、検査条件が同一と見做せる場合には、差圧センサに
よる差圧の測定値Ｘが入力される（ステップＳ４８）。
続いて、移動平均Ｐを算出して良いか否かの判定が行わ
れる（ステップＳ５０）。測定値Ｘが移動平均算出に必
要な個数ＮPだけ入力されるまではこの判定はＹＥＳに
ならず、ステップＳ４８に戻って測定値Ｘの入力が繰り
返される。測定値Ｘが移動平均算出に必要な個数ＮP だ
け入力された時点でステップＳ５２へ進んで、移動平均
Ｐが算出される。こうして算出された移動平均Ｐの値
が、検出値ＸP として入力される（ステップＳ５４）。Next, a procedure for obtaining the pressure leak amount using the master data calculated in this manner will be described with reference to FIG. When the measurement is started in step S40 of FIG. 4, first, parameters for the DUT and the master are input (step S42). The parameters are
There are the size and shape of the master, such as the size and shape of the measured object. Next, it is determined whether or not the inspection conditions when the differential pressure curve of the DUT is measured can be regarded as the same as the inspection conditions when the master data is obtained (step S4).
4). If the inspection conditions cannot be regarded as the same, new master data is obtained for the new inspection conditions by the procedure shown in FIG. 3 (step S46). On the other hand, when the inspection conditions can be regarded as the same, the measured value X of the differential pressure by the differential pressure sensor is input (step S48).
Subsequently, it is determined whether the moving average P can be calculated (step S50). This determination is to measure X is input by the number N P required moving average calculation not to YES, the input of the measurement X is repeated returning to step S48. Measured value X proceeds to step S52 as it is entered by the number N P required moving average calculation, the moving average P is calculated. The value of the moving average P thus calculated is inputted as a detection value X P (step S54).
【００２０】上述の如く、こうして求められた検出値Ｘ
P の値から同一時刻におけるマスタデータの値ΔＰＭを
差し引く処理を行うことによって、次式（３）に従っ
て、リーク差圧ΔＰの値が算出される（ステップＳ５
６）。 ΔＰ＝ＸP −ΔＰＭ … （３） このリーク差圧ΔＰの値を二以上求めることによって、
図２の破線の傾きすなわち変化量を求めることができ
る。続いて、変化量を演算して良いか否かの判定が行わ
れる（ステップＳ５８）。予め設定された変化量算出単
位時間Ｃ１の時間が経過するとこの判定はＹＥＳとな
り、二つのリーク差圧ΔＰの値を用いて次式（４）に従
って、一回微分値Ｄ１ΔＰが算出される（ステップＳ６
０）。 Ｄ１(N) ΔＰ＝ΔＰ(N) −ΔＰ(N-C1) …（４） 続いて、リーク量を算出して良いか否かの判定が行われ
る（ステップＳ６２）。一回微分値Ｄ１ΔＰが移動加重
平均算出に必要な個数だけ算出されるまではこの判定は
ＹＥＳにならず、ステップＳ４８に戻って上述した工程
が繰り返される。一回微分値Ｄ１ΔＰが移動加重平均算
出に必要な個数だけ算出された時点でステップＳ６４へ
進んで、リーク量ＶL が算出される。これによって、マ
スタデータを用いた圧力洩れの測定の手順は終了する
（ステップＳ６６）。As described above, the detected value X thus obtained is
By performing a process of subtracting the value ΔPM of the master data at the same time from the value of P, the value of the leak differential pressure ΔP is calculated according to the following equation (3) (Step S5)
6). ΔP = X P −ΔPM (3) By obtaining two or more values of the leak differential pressure ΔP,
The inclination of the broken line in FIG. 2, that is, the amount of change can be obtained. Subsequently, it is determined whether or not the change amount can be calculated (step S58). When the preset change amount calculation unit time C1 has elapsed, this determination is YES, and the one-time differential value D1ΔP is calculated using the two values of the leak differential pressure ΔP according to the following equation (4) (step S1). S6
0). D1 (N) ΔP = ΔP (N) −ΔP (N−C1) (4) Subsequently, it is determined whether or not the leak amount can be calculated (step S62). This determination is not YES until the one-time differential value D1ΔP is calculated for the number required for the moving weighted average calculation, and the process returns to step S48 to repeat the above-described steps. When the first derivative D1ΔP is calculated by the number necessary for calculating the moving weighted average, the process proceeds to step S64, and the leak amount VL is calculated. Thus, the procedure for measuring pressure leaks using the master data ends (step S66).
【００２１】このように、本実施例の圧力洩れ測定方法
においては、被測定物についての差圧曲線から予め求め
たマスタデータを差し引く処理を行って差圧ΔＰの単位
時間当たり変化量を求め、この差圧ΔＰの時間当たり変
化量を用いて被測定物の圧力洩れ量ＶL を算出してい
る。従って、圧力変動のある時間帯（図１の時刻ｔ０か
ら時刻ｔ１までの範囲）内においても、圧力洩れの大き
さを算出することが可能となる。このようにして、被測
定物及びマスタ内の圧力変動が生じている時点において
も圧力洩れの大きさの測定を可能にすることによって、
測定時間を大幅に短縮することができる圧力洩れ測定方
法となる。As described above, in the pressure leak measuring method of the present embodiment, a process of subtracting the master data obtained in advance from the differential pressure curve of the object to be measured is performed to obtain the amount of change in the differential pressure ΔP per unit time. The amount of pressure leak VL of the measured object is calculated using the amount of change per hour of the differential pressure ΔP. Therefore, it is possible to calculate the magnitude of the pressure leak even in a time zone where the pressure fluctuates (the range from time t0 to time t1 in FIG. 1). In this way, by enabling measurement of the magnitude of the pressure leak even at the time when the pressure fluctuation occurs in the DUT and the master,
This is a pressure leak measurement method that can significantly reduce the measurement time.
【００２２】実施例２ 次に、本発明を具現化した実施例２について説明する。
実施例１においては、図４のステップＳ４４に示される
ように、検査条件がマスタデータを求めた際の検査条件
と同一と見做せるか否かを判定し、同一と見做せる場合
のみマスタデータを用いた圧力洩れ量ＶL の算出を行っ
ていた。一方、検査条件が同一でなければ新たなマスタ
データの算出を行わなければならず（ステップＳ４
６）、圧力変動が生じている時点において早期の測定が
可能になるという利点を生かすことができない。ここ
で、検査条件としては、被測定物の形状及び容量、
測定圧力，加圧時間等の加圧条件、外気温，被測定物
及びマスタの温度等の測定環境、が挙げられる。このう
ち、，については同一か否かの判定が容易であり、
多くのマスタデータを収集することによって、検査条件
が同一と見做せるマスタデータをピックアップして圧力
洩れ量ＶL の算出を行うことが可能である。しかしなが
ら、の測定環境については、同一か否かの測定・判定
が困難であるとともに、変動を予測することができない
ため、マスタデータを用いた圧力洩れ量ＶL の算出に誤
差を生ずる原因となる。Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described.
In the first embodiment, as shown in step S44 of FIG. 4, it is determined whether or not the inspection condition can be regarded as the same as the inspection condition when the master data is obtained. The pressure leak amount VL was calculated using the data. On the other hand, if the inspection conditions are not the same, new master data must be calculated (step S4).
6) It is not possible to take advantage of the advantage that the measurement can be performed early at the time when the pressure fluctuation occurs. Here, the inspection conditions include the shape and capacity of the measured object,
Pressurization conditions such as measurement pressure and pressurization time, and measurement environment such as the outside air temperature, the temperature of the object to be measured and the temperature of the master are listed. Of these, it is easy to determine whether or not they are the same,
By collecting a large amount of master data, it is possible to pick up master data that can be regarded as having the same inspection conditions and calculate the pressure leak amount VL . However, it is difficult to measure and judge whether or not the measurement environments are the same, and it is not possible to predict fluctuations, which causes an error in the calculation of the pressure leak amount VL using the master data. .
【００２３】そこで、本実施例の圧力洩れ測定方法にお
いては、測定環境が変動した場合においても、マスタデ
ータを用いて正確な圧力洩れ量ＶL の算出を行うことが
できるようにしている。具体的には、測定環境の変化が
マスタデータに及ぼす影響を環境変化量ΔＥとして求
め、この環境変化量ΔＥでマスタデータを補正すること
によって、測定環境の変動の影響を打ち消して正確な測
定を可能としている。この環境変化量ΔＥは、次式
（５）によって算出される。 ΔＥ＝ΔＰ（リーク差圧）−ΔＰL （理論値のリーク差圧） … （５） ここで、リーク差圧ΔＰは上記の式（３）によって算出
される値であり、理論値のリーク差圧ΔＰL は、リーク
差圧ΔＰを回帰処理や移動平均によって算出しなおすこ
とによって誤差を取り除いた値である。こうして算出さ
れた環境変化量ΔＥによって、次式（６）に従って補正
されたマスタデータΔＰＭN の値が算出される。 ΔＰＭN ＝ΔＰＭ（補正前のマスタデータ）＋ΔＥ … （６） この補正されたマスタデータΔＰＭN の値を用いて、次
回の被測定物について圧力洩れ量ＶL の算出を行うこと
によって、測定環境が変動した場合においても正確な算
出を行うことができる。Therefore, in the pressure leak measuring method of this embodiment, even if the measurement environment fluctuates, the accurate pressure leak amount VL can be calculated using the master data. Specifically, the influence of a change in the measurement environment on the master data is obtained as an environment change amount ΔE, and the master data is corrected with the environment change amount ΔE, thereby canceling the influence of the change in the measurement environment and performing accurate measurement. It is possible. This environmental change amount ΔE is calculated by the following equation (5). ΔE = ΔP (leak differential pressure) −ΔP L (theoretical leak pressure) (5) Here, the leak differential pressure ΔP is a value calculated by the above equation (3), and The pressure ΔP L is a value from which an error has been removed by recalculating the leak differential pressure ΔP by regression processing or moving average. The environmental variation ΔE thus calculated, the value of the corrected master data .DELTA.PM N is calculated according to the following equation (6). ΔPM N = ΔPM (master data before correction) + ΔE (6) By using the corrected master data ΔPM N to calculate the pressure leak amount VL for the next measured object, the measurement environment is obtained. Can be accurately calculated even when the value fluctuates.
【００２４】ただし、上記の式（５）で算出された環境
変化量ΔＥの値が大きい場合には、測定環境が急激に変
化したことによるものか、検出精度が一時的に低下した
ことによる誤差によるものと考えられる。かかる場合に
も一律に式（６）に従ってマスタデータの補正を行うこ
とは、却って測定精度を悪化させることになる。そこ
で、本実施例においては、環境変化量ΔＥについて予め
一定のしきい値を決めておき、ΔＥの値がこのしきい値
より大きい場合にはマスタデータの補正を行わないこと
としている。さらに、マスタデータの補正を行う場合に
も、式（６）に従って求められたΔＰＭN の値をそのま
ま用いるのではなく、補正前のマスタデータΔＰＭとの
加重平均をとることによって補正後のマスタデータの値
を算出している。このようにして、測定環境が急激に変
化した場合における測定精度の低下を防止している。However, if the value of the environmental change ΔE calculated by the above equation (5) is large, the error may be due to a sudden change in the measurement environment or a temporary decrease in the detection accuracy. It is thought to be due to. Even in such a case, performing the correction of the master data according to the equation (6) uniformly degrades the measurement accuracy. Therefore, in the present embodiment, a predetermined threshold value is determined in advance for the environmental change amount ΔE, and when the value of ΔE is larger than this threshold value, the master data is not corrected. Further, also when correcting the master data, instead of using the value of ΔPM N obtained according to equation (6) as it is, a weighted average with the master data ΔPM before correction is used to obtain the master data after correction. Is calculated. In this way, a decrease in measurement accuracy when the measurement environment changes suddenly is prevented.
【００２５】本実施例の圧力洩れ測定方法の測定手順の
具体的な内容について、図５乃び図６を参照して説明す
る。図５及び図６は、本実施例の圧力洩れ測定方法の測
定手順を示すフローチャートである。まず、測定手順の
全体的な流れについて、図５を参照して説明する。図５
のステップＳ７０で測定が開始されると、まず、被測定
物及びマスタについての設定の読み込み（パラメータの
入力）が行われる（ステップＳ７２）。パラメータとし
ては、被測定物の大きさ，形状等、マスタの大きさ，形
状等がある。次に、今回被測定物についての差圧曲線を
測定したときの検査条件がマスタデータを求めた際の検
査条件と同一と見做せるか否かを判定する（ステップＳ
７４）。検査条件が同一と見做せる場合には、実施例１
の図４と同様の手順に従って、マスタデータを用いた演
算（測定）が行われる（ステップＳ７６）。これに対し
て検査条件が同一と見做せない場合は、この新しい検査
条件について、図３に示される手順によって新たなマス
タデータが求められる（ステップＳ７８）。このように
して、ステップＳ７６，Ｓ７８のいずれかのルートによ
って、圧力洩れ量が算出される（ステップＳ８０）。The specific contents of the measurement procedure of the pressure leak measurement method of this embodiment will be described with reference to FIGS. FIGS. 5 and 6 are flowcharts showing the measurement procedure of the pressure leak measurement method of the present embodiment. First, the overall flow of the measurement procedure will be described with reference to FIG. FIG.
When the measurement is started in step S70, first, the settings for the device under test and the master are read (input of parameters) (step S72). The parameters include the size and shape of the measured object and the size and shape of the master. Next, it is determined whether or not the inspection conditions when the differential pressure curve of the DUT is measured can be regarded as the same as the inspection conditions when the master data is obtained (step S).
74). If the inspection conditions can be considered the same,
According to the same procedure as that of FIG. 4, calculation (measurement) using the master data is performed (step S76). On the other hand, when the inspection conditions cannot be considered to be the same, new master data is obtained for the new inspection condition by the procedure shown in FIG. 3 (step S78). Thus, the pressure leak amount is calculated by one of the routes of steps S76 and S78 (step S80).
【００２６】続いて、環境変化量ΔＥの算出が行われ
（ステップＳ８２）、この結果に基づいてマスタデータ
を更新するか否かが判断され（ステップＳ８４）、一定
の条件下にマスタデータが更新される（ステップＳ８
６）。この一連の処理の詳細について、図６を参照して
説明する。図６のステップＳ１００で処理が開始される
と、まず、上記の式（３）に従ってリーク差圧ΔＰが算
出される（ステップＳ１０２）。続いて、リーク差圧Δ
Ｐを回帰処理や移動平均によって算出しなおして誤差を
取り除いた理論値のリーク差圧ΔＰL が算出される（ス
テップＳ１０４）。そして、上記の式（５）に従ってΔ
ＰからΔＰL を差し引くことによって、環境変化量ΔＥ
が算出される（ステップＳ１０６）。この環境変化量Δ
Ｅの値に基づいて、補正されたマスタデータΔＰＭN の
算出を行うか否かが判断される（ステップＳ１０８）。
すなわち、上述の如く、環境変化量ΔＥが予め定められ
たしきい値より大きい場合には補正を行わないこととし
て、そのまま処理を終了する（ステップＳ１１８）。環
境変化量ΔＥがしきい値以下の場合には、上記の式
（６）に従って、補正されたマスタデータΔＰＭN の算
出が行われる（ステップＳ１１０）。Subsequently, the amount of environmental change ΔE is calculated (step S82), and based on the result, it is determined whether or not to update the master data (step S84), and the master data is updated under certain conditions. (Step S8
6). Details of this series of processing will be described with reference to FIG. When the process is started in step S100 in FIG. 6, first, the leak differential pressure ΔP is calculated according to the above equation (3) (step S102). Subsequently, the leak differential pressure Δ
P is recalculated by a regression process or a moving average, and a theoretical differential pressure difference ΔP L from which an error has been removed is calculated (step S104). Then, according to the above equation (5), Δ
By subtracting ΔP L from P, the environmental change ΔE
Is calculated (step S106). This environmental change Δ
Based on the value of E, whether to calculate the corrected master data .DELTA.PM N is determined (step S108).
That is, as described above, when the environmental change amount ΔE is larger than the predetermined threshold value, no correction is performed, and the process ends (step S118). If environmental variation ΔE of less than or equal to the threshold value, according to the above equation (6), the calculation of the corrected master data .DELTA.PM N is performed (step S110).
【００２７】次に、マスタデータの更新に際して安定化
処理が必要か否かが判断される（ステップＳ１１２）。
ここで、安定化処理とは、式（６）に従って求められた
ΔＰＭN の値をそのまま用いずに、補正前のマスタデー
タΔＰＭとの加重平均をとることによって更新するマス
タデータの値を算出することをいう。安定化処理が必要
でないと判断されれば、そのままステップＳ１１６に進
んで補正されたマスタデータΔＰＭN の値が新しいマス
タデータとして更新される。安定化処理が必要であると
判断されれば、ステップＳ１１４で安定化処理が行われ
た後に、ステップＳ１１６でマスタデータの値が更新さ
れる。こうしてマスタデータの更新処理が終了すると
（ステップＳ１１８）、図５のステップＳ８８に進み、
次の被測定物の測定を行うか否かが判断される。この判
断がＹＥＳの場合には、ステップＳ７４に戻って、更新
された（ΔＥの値が大きくて更新されない場合もある
が）マスタデータの値を用いて、次の被測定物の測定が
行われる。ステップＳ８８の判断がＮＯの場合には、測
定を終了する（ステップＳ９０）。Next, it is determined whether a stabilization process is required when updating the master data (step S112).
Here, the stabilization processing is to calculate a master data value to be updated by taking a weighted average with the master data ΔPM before correction without using the value of ΔPM N obtained according to the equation (6) as it is. That means. If it is determined not require stabilization treatment, the value of the master data .DELTA.PM N which is directly corrected proceeds to step S116 is updated as a new master data. If it is determined that the stabilization process is necessary, the value of the master data is updated in step S116 after the stabilization process is performed in step S114. When the master data updating process is completed (step S118), the process proceeds to step S88 in FIG.
It is determined whether or not to perform the next measurement of the device under test. If this determination is YES, the process returns to step S74, and the next measurement of the DUT is performed using the updated master data value (although the value of ΔE may be large and may not be updated). . If the determination in step S88 is NO, the measurement ends (step S90).
【００２８】このように、本実施例の圧力洩れ測定方法
においては、測定環境の変化がマスタデータに及ぼす影
響を環境変化量ΔＥとして求め、この環境変化量ΔＥで
マスタデータを補正することによって、測定環境の変動
の影響を打ち消して正確な測定を可能としている。これ
によって、測定環境が変動しても短時間で正確な測定を
することができる圧力洩れ測定方法となる。As described above, in the pressure leak measuring method according to the present embodiment, the influence of the change of the measurement environment on the master data is obtained as the environment change ΔE, and the master data is corrected by the environment change ΔE. Accurate measurement is possible by canceling out the influence of the fluctuation of the measurement environment. This provides a pressure leak measurement method capable of performing accurate measurement in a short time even if the measurement environment fluctuates.
【００２９】上記の各実施例においては、演算処理に当
たって移動平均法や加重平均法を用いているが、必ずし
もこれらの算出方法に限られるものではない。また、上
記の各実施例の圧力洩れ測定方法は、配管の一部を密閉
して独立空間とする等の他の測定方式にも適用すること
ができる。圧力洩れ測定方法のその他の工程の内容につ
いても、上記の各実施例に限定されるものではない。In each of the above embodiments, the moving average method and the weighted average method are used in the arithmetic processing, but the present invention is not necessarily limited to these calculation methods. Further, the pressure leak measuring method of each of the above embodiments can be applied to other measuring methods such as sealing a part of a pipe to form an independent space. The contents of the other steps of the pressure leak measuring method are not limited to the above embodiments.
【図１】本発明に係る圧力洩れ測定方法の実施例１にお
ける測定の原理を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing the principle of measurement in Example 1 of a pressure leak measurement method according to the present invention.
【図２】圧力洩れ測定方法の実施例１における測定の原
理を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing the principle of measurement in Example 1 of the pressure leak measurement method.
【図３】圧力洩れ測定方法の実施例１における測定の手
順を示すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart showing a measurement procedure in a first embodiment of the pressure leak measurement method.
【図４】圧力洩れ測定方法の実施例１における測定の手
順を示すフローチャートである。FIG. 4 is a flowchart illustrating a measurement procedure in a first embodiment of the pressure leak measurement method.
【図５】圧力洩れ測定方法の実施例２における測定の手
順を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart illustrating a measurement procedure according to a second embodiment of the pressure leak measurement method.
【図６】圧力洩れ測定方法の実施例２における測定の手
順を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart illustrating a measurement procedure according to a second embodiment of the pressure leak measurement method.
Ｓ１０〜Ｓ３８ マスタデータ記憶工程 Ｓ４０〜Ｓ６６ 圧力洩れ量算出工程 S10 to S38 Master data storage process S40 to S66 Pressure leak amount calculation process
フロントページの続き (72)発明者 山川 芳彦 愛知県豊田市堤町東住吉50番地 豊通エ ンジニアリング株式会社ＰＥ第２部営業 技術課内 (72)発明者 小野田 貴 愛知県豊田市細谷町５丁目16番地 鬼頭 工業株式会社内 審査官 本郷 徹 (56)参考文献 特開 昭50−104080（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−174661（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 3/26 G01M 3/00 Continued on the front page (72) Inventor Yoshihiko Yamakawa 50, Higashi-Sumiyoshi, Tsutsumi-cho, Toyota-shi, Aichi Pref. Toyotsu Engineering Co., Ltd. PE 2nd Division Sales Engineering Section (72) Inventor Takashi Onoda 5--16 Hosoyacho, Toyota-shi, Aichi Prefecture Address Kito Kogyo Co., Ltd. Examiner Toru Hongo (56) References JP-A-50-104080 (JP, A) JP-A-7-174661 (JP, A) (58) Fields studied (Int. Cl. 7 , (DB name) G01M 3/26 G01M 3/00
Claims (3)
定物内の圧力を測定することによって前記被測定物から
の圧力洩れ量を算出する圧力洩れ測定方法であって、 前記被測定物からの圧力洩れがない場合の前記被測定物
内の圧力の経時変化を求めてマスタデータとして記憶す
る工程と、測定データを、該測定データの測定時刻と同一時刻にお
ける前記マスタデータと比較することによって 前記被測
定物からの圧力洩れ量を算出する工程、 とを有する圧力洩れ測定方法。A pressurized gas introduced into an object to be measured;
By measuring the pressure in the material,
A pressure leak measuring method for calculating the pressure leak amount of, the step of obtaining a time-dependent change of the pressure in the object to be measured when there is no pressure leak from the object to be measured and storing as master data, measurement data At the same time as the measurement time of the measurement data.
Calculating the amount of pressure leak from the measured object by comparing the master data with the master data .
空間とに加圧気体を導入し、前記被測定物と前記独立し
た密閉空間との差圧を測定することによって前記被測定
物からの圧力洩れ量を算出する圧力洩れ測定方法であっ
て、 前記被測定物からの圧力洩れがない場合の前記差圧の経
時変化を求めてマスタデータとして記憶する工程と、測定データを、該測定データの測定時刻と同一時刻にお
ける前記マスタデータと比較することによって 前記被測
定物からの圧力洩れ量を算出する工程、 とを有する圧力洩れ測定方法。2. The method according to claim 1, further comprising introducing a pressurized gas into the object to be measured and an enclosed space independent of the object to be measured, and measuring a differential pressure between the object to be measured and the independent enclosed space. A pressure leak measurement method for calculating an amount of pressure leak from an object, a step of obtaining a time-dependent change in the differential pressure when there is no pressure leak from the object to be measured and storing it as master data, and measuring data. At the same time as the measurement time of the measurement data
Calculating the amount of pressure leak from the measured object by comparing the master data with the master data .
力洩れ測定方法であって、前記被測定物からの圧力洩れ
量を算出する工程では、前記マスタデータに前記測定デ
ータから推定される測定環境の変化に起因する圧力変化
量を加味したものを前記測定データと比較する圧力洩れ
測定方法。3. The pressure leak measuring method according to claim 1, wherein the pressure leak from the object is measured.
In the step of calculating the amount, the measured data is added to the master data.
Pressure changes due to changes in the measurement environment estimated from data
A method for measuring pressure leaks, in which a volume-added value is compared with the measurement data .
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