JP3171182U - プラズマ処理チャンバ用のc字形閉じ込めリング - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 容量結合プラズマ処理チャンバの部品として有用な閉じ込めリングであって、前記閉じ込めリングの内側面は、上部電極と、前記チャンバ内におけるプラズマ処理中に半導体基板をその上に支持する下部電極との間の隙間を取り巻く拡張プラズマ閉じ込め領域を提供し、前記閉じ込めリングは、
水平方向に延びるとともに、その内側端部において、前記プラズマチャンバの前記上部電極の外縁の下にあるように適応された環状フランジを含む環状の上壁と、
前記上壁の外端から下向きに垂直方向に延びる側壁と、
前記側壁の下端から内向きに水平方向に延びる環状の下壁であって、円周方向に相隔たれた半径方向に延びる複数のスロットを含む環状の下壁と、各前記スロットは、少なくとも1.0インチ(およそ2.5cm)の長さと、0.05〜0.2インチ(およそ0.1〜0.5cm)の均一幅とを有し、前記各スロットは、最大で2°ずらされた等間隔で半径方向位置に配置されることと、
を備える閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記側壁は、水平に5列をなして配置されている、約0.030インチ(およそ0.076cm)の直径を有する等間隔の一群の通り穴を除いて開口を持たない、閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記下壁は、約14.880インチ(およそ37.795cm)の内径と、約0.25インチ(およそ0.64cm)の厚さとを有する、閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記上壁は、約16.792インチ(およそ42.652cm)の内径と、約0.31インチ(およそ0.79cm)の厚さとを有する、閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記側壁は、約20.500インチ(およそ52.070cm)の外径と、約20.000インチ(およそ50.800cm)の内径と、約0.25インチ(およそ0.64cm)の厚さとを有する、閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記上壁の水平下面は、前記下壁の水平上面から約0.850インチ(およそ2.159cm)隔たれる、閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記各スロットは、約1.892インチ(およそ4.806cm)の長さと、約0.08インチ(およそ0.2cm)の幅とを有し、前記各スロットの両端は、丸められ、前記各スロットは、そのすぐ隣のスロットから約1.25°ずらされ、前記各スロットは、前記閉じ込めリングの中心軸から約7.97インチ(およそ20.2cm)の位置から約9.862インチ(およそ25.05cm)の位置にわたって半径方向に延びる、閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記下壁は、その内周において、下向きに延びる環状突出を含み、前記環状突出は、約0.365インチ(およそ0.927cm)の幅を有し、前記下壁の下面の下方に約0.2インチ(およそ0.5cm)にわたって延びる、閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記環状フランジは、前記上壁の上部内端における環状凹部によって形成され、前記環状凹部は、前記上壁の内周から約0.1245インチ(およそ0.3162cm)にわたって延びる水平面と、前記上壁の上面から0.165インチ(およそ0.419cm)にわたって延びる垂直面とによって形成される、閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、更に、
前記上壁の上面内に、8つの7/16−28ネジ穴を備え、前記ネジ穴の中心は、前記閉じ込めリングの中心軸から約9.315インチ(およそ23.66cm)に位置し、互いに45°ずらされ、各前記ネジ穴は、約0.2インチ(およそ0.5cm)の深さを有する、閉じ込めリング。 - 請求項10に記載の閉じ込めリングであって、更に、
第1、第2、及び第2の位置合わせピン穴を備え、
前記位置合わせピン穴は、ネジ切りされておらず、
前記位置合わせピン穴の各自は、約0.116インチ(およそ0.295cm)の直径と、約0.2インチ(およそ0.5cm)の深さとを有し、
前記位置合わせピン穴の中心は、前記閉じ込めリングの中心軸から約9.5インチ(およそ24cm)に位置し、
前記第3の位置合わせピン穴は、前記ネジ穴の1つから反時計回りに約34.5°ずらされ、
前記第2の位置合わせピン穴は、前記第3の位置合わせピン穴から反時計回りに約115°ずらされ、
前記第1の位置合わせピン穴は、前記第2の位置合わせピン穴から反時計回りに約125°ずらされる、閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記閉じ込めリングは、単一の一体パーツである、または水平面若しくは垂直面に沿って機械的に取り付けられた若しくは接合された2つ若しくは3つ以上の部位を備える、閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記閉じ込めリングは、導電性の材料で作成されている閉じ込めリング。 - 請求項1に記載の閉じ込めリングであって、
前記閉じ込めリングは、アルミニウム製である閉じ込めリング。
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