JP3170733B2 - ステージ装置 - Google Patents
ステージ装置Info
- Publication number
- JP3170733B2 JP3170733B2 JP28101392A JP28101392A JP3170733B2 JP 3170733 B2 JP3170733 B2 JP 3170733B2 JP 28101392 A JP28101392 A JP 28101392A JP 28101392 A JP28101392 A JP 28101392A JP 3170733 B2 JP3170733 B2 JP 3170733B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- guide surface
- retainer
- base
- moves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はステージ装置に関するも
のである。なかでも防塵機構が取付けられ、又リテーナ
に保持される転動体を利用した直線運動機構を有するス
テージ装置に関するものである。
のである。なかでも防塵機構が取付けられ、又リテーナ
に保持される転動体を利用した直線運動機構を有するス
テージ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光学測定機に使用されているリテーナを
用いた直線運動機構を有するステージ装置には、防塵機
構を取付けないと外部からゴミが侵入し、基台の案内面
の上に落下して潤滑油に付着する。そしてゴミがテーブ
ルの円滑な直進運動を妨げるから、直進運動が円滑に行
われず、真直性が悪化し、測定の精度を低下させる虞れ
がある。
用いた直線運動機構を有するステージ装置には、防塵機
構を取付けないと外部からゴミが侵入し、基台の案内面
の上に落下して潤滑油に付着する。そしてゴミがテーブ
ルの円滑な直進運動を妨げるから、直進運動が円滑に行
われず、真直性が悪化し、測定の精度を低下させる虞れ
がある。
【０００３】このために従来、各種の防塵機構が取付け
られていた。図４及び図５にその断面を示す従来例は、
基台１に形成された案内面３の上にコロ５を備えたリテ
ーナ４が直動可能に載置され、テーブル２はリテーナ４
に支持され直進可能である。そしてテーブル２の進行方
向に突出して設置されたカバー８がテーブル２移動した
時に基台１の案内面３を覆うことにより、防塵を行って
いた。
られていた。図４及び図５にその断面を示す従来例は、
基台１に形成された案内面３の上にコロ５を備えたリテ
ーナ４が直動可能に載置され、テーブル２はリテーナ４
に支持され直進可能である。そしてテーブル２の進行方
向に突出して設置されたカバー８がテーブル２移動した
時に基台１の案内面３を覆うことにより、防塵を行って
いた。
【０００４】又、図６及び図７にその断面を示す従来例
は、基台１に形成された案内面３の上にコロ５を備えた
リテーナ４が直動可能に載置され、テーブル２はリテー
ナ４に支持され直進可能である。そしてテーブル２の進
行方向の両端にそれぞれ布製のカバー９の一端が固定さ
れ、他端が基台１に固設された巻取り機１０に連絡し
て、テーブル２の進行に応じて巻取られるようになって
いた。
は、基台１に形成された案内面３の上にコロ５を備えた
リテーナ４が直動可能に載置され、テーブル２はリテー
ナ４に支持され直進可能である。そしてテーブル２の進
行方向の両端にそれぞれ布製のカバー９の一端が固定さ
れ、他端が基台１に固設された巻取り機１０に連絡し
て、テーブル２の進行に応じて巻取られるようになって
いた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図４及び図５にその断
面を示すカバー８を使用する例は、カバー８がテーブル
２の進行方向に突出して設置されており、テーブル２よ
り大きいからそのためのステージ装置回りの場所的余裕
が必要となり、又突出してかさばった部分が光学測定機
自体の操作性を悪くするものであった。
面を示すカバー８を使用する例は、カバー８がテーブル
２の進行方向に突出して設置されており、テーブル２よ
り大きいからそのためのステージ装置回りの場所的余裕
が必要となり、又突出してかさばった部分が光学測定機
自体の操作性を悪くするものであった。
【０００６】又、図６及び図７にその断面を示す布製の
カバー９を使用する例は、布製のカバー９の一端がテー
ブル２に固定され、他端が基台１に固定された巻取り機
１０に巻取られるようになっているので、張力が大き
く、そのために直進運動の真直性が悪化し、測定の精度
を低下させるという問題点を有している。
カバー９を使用する例は、布製のカバー９の一端がテー
ブル２に固定され、他端が基台１に固定された巻取り機
１０に巻取られるようになっているので、張力が大き
く、そのために直進運動の真直性が悪化し、測定の精度
を低下させるという問題点を有している。
【０００７】本発明は上記の課題に鑑み、かさばらず、
操作性が良く、測定精度を低下させる虞れのない防塵機
構の取付けられたステージ装置を提供することを目的と
する。
操作性が良く、測定精度を低下させる虞れのない防塵機
構の取付けられたステージ装置を提供することを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、案内面が形成
された基台と、案内面に載置され、リテーナに保持され
る転動体と、転動体に支持され、基台上を移動するテー
ブルとを備えたステージ装置において、記案内面上を移
動可能に設けられ、テーブルの移動に伴って露出する案
内面を覆うカバー部と、テーブルの移動方向の両端部に
設けられた当接部材とを有し、テーブルが一方に移動す
る際、リテーナによりカバー部を押し、また、テーブル
が他方に移動する際、リテーナに押されたカバー部を当
接部材により押し戻すステージ装置である。
された基台と、案内面に載置され、リテーナに保持され
る転動体と、転動体に支持され、基台上を移動するテー
ブルとを備えたステージ装置において、記案内面上を移
動可能に設けられ、テーブルの移動に伴って露出する案
内面を覆うカバー部と、テーブルの移動方向の両端部に
設けられた当接部材とを有し、テーブルが一方に移動す
る際、リテーナによりカバー部を押し、また、テーブル
が他方に移動する際、リテーナに押されたカバー部を当
接部材により押し戻すステージ装置である。
【０００９】
【作用】カバーが基台の案内面を覆っていて、ゴミが案
内面上に落ちて付着することを防ぐ。即ちテーブルが駆
動されて、基台がテーブルに覆われない状態が生じて
も、その部分の案内面の表面は常にカバーに覆われるこ
とによって露出しない。
内面上に落ちて付着することを防ぐ。即ちテーブルが駆
動されて、基台がテーブルに覆われない状態が生じて
も、その部分の案内面の表面は常にカバーに覆われるこ
とによって露出しない。
【００１０】
【実施例】本発明の一実施例を図１〜図３により説明す
る。図１〜図３は本実施例の案内面を含みテーブルの直
進運動方向に切断した、それぞれテーブルと基台との相
対的位置の異なる断面図である。基台１に形成された１
対の案内面３の上にはそれぞれコロ５を備えたリテーナ
４が直動可能に載置され、又カバー６がリテーナ４の進
行方向前後両側にそれぞれ直動可能に載置されている。
る。図１〜図３は本実施例の案内面を含みテーブルの直
進運動方向に切断した、それぞれテーブルと基台との相
対的位置の異なる断面図である。基台１に形成された１
対の案内面３の上にはそれぞれコロ５を備えたリテーナ
４が直動可能に載置され、又カバー６がリテーナ４の進
行方向前後両側にそれぞれ直動可能に載置されている。
【００１１】カバー６は案内面３の上を摺動する摺動部
６ａと、それから垂直に突起しフック７及びリテーナ４
に当接する突起部６ｂから構成されている。
６ａと、それから垂直に突起しフック７及びリテーナ４
に当接する突起部６ｂから構成されている。
【００１２】テーブル２はその下面に形成された案内面
２ａにおいてリテーナ４に支持され、直進可能である。
そして又フック７が案内面２ａに対応した位置でテーブ
ル２の進行方向前後両側にそれぞれ固設されている。フ
ック７はテーブル２の下面より下まで伸び、カバー６の
突起部６ｂに当接するようになっている。
２ａにおいてリテーナ４に支持され、直進可能である。
そして又フック７が案内面２ａに対応した位置でテーブ
ル２の進行方向前後両側にそれぞれ固設されている。フ
ック７はテーブル２の下面より下まで伸び、カバー６の
突起部６ｂに当接するようになっている。
【００１３】次に本実施例の動作に付いて説明する。テ
ーブル２が不図示の駆動装置により駆動され、基台１に
対して図１の位置から図２の位置に、即ち図中右側に移
動すると、リテーナ４がテーブル２の移動量の２分の１
移動して、先ずリテーナ４の右側の先端部４ｂが右側の
カバー６の突起部６ｃに当接する。カバー６はリテーナ
４の移動に従って同じ距離移動し、カバー６の摺動部６
ａの一部が案内面３の右側の端部からはみでるようにな
る。次いで左側のフック７が左側のカバー６の突起部６
ｄに当接し、カバー６を案内面３上を右方に移動させ
る。図２においては左側のカバー６の摺動部６ａの左側
の端部が案内面３の端部と丁度一致しているが、テーブ
ル２が制限一杯右側に移動したときでも、カバー６の摺
動部６ａは常に案内面３を充分に覆い得るような長さに
なっている。
ーブル２が不図示の駆動装置により駆動され、基台１に
対して図１の位置から図２の位置に、即ち図中右側に移
動すると、リテーナ４がテーブル２の移動量の２分の１
移動して、先ずリテーナ４の右側の先端部４ｂが右側の
カバー６の突起部６ｃに当接する。カバー６はリテーナ
４の移動に従って同じ距離移動し、カバー６の摺動部６
ａの一部が案内面３の右側の端部からはみでるようにな
る。次いで左側のフック７が左側のカバー６の突起部６
ｄに当接し、カバー６を案内面３上を右方に移動させ
る。図２においては左側のカバー６の摺動部６ａの左側
の端部が案内面３の端部と丁度一致しているが、テーブ
ル２が制限一杯右側に移動したときでも、カバー６の摺
動部６ａは常に案内面３を充分に覆い得るような長さに
なっている。
【００１４】左側に移動する時も同様である。図２の状
態からテーブル２が左側に駆動されると、先ずリテーナ
４が移動し、左側のフック７が左側のカバー６の突起部
６ｄから、及びリテーナ４の右側の先端部４ｂがカバー
６の突起部６ｃから離れる。やがてリテーナ４の左側の
先端部４ｃがカバ−６の突起部６ｄに当接し、左側のカ
バー６をリテ−ナ４の左側の先端部４ｃとカバ−６の突
起部６ｄと当接後のテーブル２の移動量の２分の１移動
させる。次いで右側のフック７が右側のカバー６の突起
部６ｃに当接し、右側のカバー６をフック７とカバ−６
の突起６ｃとの当接後のテーブル２の移動量と同じ距離
移動させる。図３に示すように、テーブル２が制限一杯
左側に移動したときでも、カバー６の摺動部６ａが常に
必ず案内面３を充分に覆い得るような長さになってい
る。
態からテーブル２が左側に駆動されると、先ずリテーナ
４が移動し、左側のフック７が左側のカバー６の突起部
６ｄから、及びリテーナ４の右側の先端部４ｂがカバー
６の突起部６ｃから離れる。やがてリテーナ４の左側の
先端部４ｃがカバ−６の突起部６ｄに当接し、左側のカ
バー６をリテ−ナ４の左側の先端部４ｃとカバ−６の突
起部６ｄと当接後のテーブル２の移動量の２分の１移動
させる。次いで右側のフック７が右側のカバー６の突起
部６ｃに当接し、右側のカバー６をフック７とカバ−６
の突起６ｃとの当接後のテーブル２の移動量と同じ距離
移動させる。図３に示すように、テーブル２が制限一杯
左側に移動したときでも、カバー６の摺動部６ａが常に
必ず案内面３を充分に覆い得るような長さになってい
る。
【００１５】本実施例によると、テーブルが駆動され
て、基台がテーブルに覆われない状態が生じても、その
部分の案内面の表面は常にカバーに覆われているからゴ
ミが案内面に付着する虞れがなくなる。カバーは基台と
テーブルとの間に摺動可能にかさばらずに小さく設置さ
れていて、基台とテーブルの移動面積よりはみ出すこと
はない。カバーは平滑な案内面の表面で軽快に移動し、
又移動量が小さいから、摩擦等により直進運動の真直性
が悪化し、測定の精度を低下させることがない。
て、基台がテーブルに覆われない状態が生じても、その
部分の案内面の表面は常にカバーに覆われているからゴ
ミが案内面に付着する虞れがなくなる。カバーは基台と
テーブルとの間に摺動可能にかさばらずに小さく設置さ
れていて、基台とテーブルの移動面積よりはみ出すこと
はない。カバーは平滑な案内面の表面で軽快に移動し、
又移動量が小さいから、摩擦等により直進運動の真直性
が悪化し、測定の精度を低下させることがない。
【００１６】尚、カバーの摺動部の一部が案内面の端部
からはみでたときに、カバーを支持する補助的延長案内
面を設けると、カバーが安定するのは言うまでもない。
からはみでたときに、カバーを支持する補助的延長案内
面を設けると、カバーが安定するのは言うまでもない。
【００１７】又、フックをやや水平方向に延在する形状
にして、案内面を覆う機能を分担させることが可能なこ
とも言うまでもない。
にして、案内面を覆う機能を分担させることが可能なこ
とも言うまでもない。
【００１８】又、本実施例ではコロを備えたリテーナを
使用しているが、球を備えたリテーナを使用することが
できるのは言うまでもない。
使用しているが、球を備えたリテーナを使用することが
できるのは言うまでもない。
【００１９】
【発明の効果】本発明によるステージ装置は、かさばら
ず、操作性が良い防塵機構が取付けられて、テーブルが
真直性の良い直進運動を行い高い精度で測定ができる。
ず、操作性が良い防塵機構が取付けられて、テーブルが
真直性の良い直進運動を行い高い精度で測定ができる。
【図１】本発明の一実施例のテーブルの直進運動方向に
断った断面図である。
断った断面図である。
【図２】本発明の一実施例のテーブルの直進運動方向に
断った断面図である。
断った断面図である。
【図３】本発明の一実施例のテーブルの直進運動方向に
断った断面図である。
断った断面図である。
【図４】従来例のテーブルの直進運動方向に切断した断
面図である。
面図である。
【図５】従来例のテーブルの直進運動方向に切断した断
面図である。
面図である。
【図６】従来例のテーブルの直進運動方向に切断した断
面図である。
面図である。
【図７】従来例のテーブルの直進運動方向に切断した断
面図である。
面図である。
１ 基台 ２ テーブル ２ａ、３ 案内面 ４ リテーナ ５ コロ ６ カバー ６ａ 摺動部 ６ｂ 突起部 ７ フック
Claims (1)
- 【請求項１】 案内面が形成された基台と、前記案内面
に載置され、リテーナに保持される転動体と、前記転動
体に支持され、前記基台上を移動するテーブルとを備え
たステージ装置において、 前記案内面上を移動可能に設けられ、前記テーブルの移
動に伴って露出する前記案内面を覆うカバー部と、前記
テーブルの移動方向の両端部に設けられた当接部材とを
有し、前記テーブルが一方に移動する際、前記リテーナ
が前記カバー部を押し、また、前記テーブルが他方に移
動する際、前記リテーナに押された前記カバー部を前記
当接部材が押し戻すことを特徴とするステージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28101392A JP3170733B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28101392A JP3170733B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | ステージ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109879A JPH06109879A (ja) | 1994-04-22 |
| JP3170733B2 true JP3170733B2 (ja) | 2001-05-28 |
Family
ID=17633070
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28101392A Expired - Lifetime JP3170733B2 (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | ステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3170733B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4808590B2 (ja) * | 2006-10-26 | 2011-11-02 | 東芝機械株式会社 | リテーナの位置ずれ防止装置 |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP28101392A patent/JP3170733B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06109879A (ja) | 1994-04-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100323 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130323 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130323 Year of fee payment: 12 |