JP3163016B2 - Electromagnetic noise measuring device - Google Patents
Electromagnetic noise measuring deviceInfo
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- JP3163016B2 JP3163016B2 JP27095996A JP27095996A JP3163016B2 JP 3163016 B2 JP3163016 B2 JP 3163016B2 JP 27095996 A JP27095996 A JP 27095996A JP 27095996 A JP27095996 A JP 27095996A JP 3163016 B2 JP3163016 B2 JP 3163016B2
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は作動中のプリント配
線基板などの被電磁雑音測定体から発生する電磁雑音を
測定する電磁雑音測定装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electromagnetic noise measuring apparatus for measuring electromagnetic noise generated from an electromagnetic noise measuring object such as a printed circuit board in operation.
【０００２】電子機器において１００ＭＨｚを超えるク
ロック周波数のコンピュータに代表されるように、電子
機器のデジタル化、高速化が進んでいる。これら２値の
デジタル信号からは偶数・奇数次を含む高周波雑音が発
生するため、ＧＨｚ帯をカバーする電磁雑音の測定が望
まれている。2. Description of the Related Art In electronic equipment, as represented by a computer having a clock frequency exceeding 100 MHz, digitization and speeding up of electronic equipment are progressing. Since high frequency noise including even and odd orders is generated from these binary digital signals, measurement of electromagnetic noise covering the GHz band is desired.
【０００３】かかる電磁雑音を測定する電磁雑音測定装
置としては、例えば特開平６−５８９６９号公報、特開
平６−５８９７０号公報に開示されたものがある。これ
らは、不要輻射の多い電子部品が実装されたプリント配
線基板に近磁界プローブを対向させ、プリント配線基板
に対して近磁界プローブをＸ−Ｙ−Ｚ軸方向に移動させ
て、近磁界プローブの出力によって電磁雑音を測定して
いる。As an electromagnetic noise measuring device for measuring such electromagnetic noise, there are those disclosed in, for example, JP-A-6-58969 and JP-A-6-58970. In these, a near-field probe is opposed to a printed circuit board on which electronic components with a large amount of unnecessary radiation are mounted, and the near-field probe is moved in the XYZ axis direction with respect to the printed circuit board, so that the near-field probe is The electromagnetic noise is measured by the output.
【０００４】また、特開平６−５８９７０号公報に開示
されたものでは、電子部品が実装されたプリント配線基
板を妨害測定用のアンテナの上に乗せてプリント配線基
板の裏面側の電磁雑音も含めて測定している。[0004] Further, in Japanese Unexamined Patent Publication No. 6-58970, a printed wiring board on which electronic components are mounted is placed on an antenna for interference measurement, and electromagnetic noise on the back side of the printed wiring board is included. Measuring.
【０００５】一方、不要輻射の磁界を検出するための妨
害測定用アンテナとしては、特開平６−５８９７０号公
報に開示されたものがある。この妨害測定用アンテナ
は、多層のプリント配線基板上の同一位置にパターンに
よって構成したコイルを直列接続して複数ターンのコイ
ルを形成し、表面実装型のコンデンサをプリント配線基
板に内蔵させ、複数ターンのコイルとコンデンサとを接
続してＬＣ共振回路をプリント配線基板にマトリックス
上に配置したものが開示されている。On the other hand, as an interference measuring antenna for detecting a magnetic field of unnecessary radiation, there is an antenna disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-58970. This antenna for interference measurement uses a pattern of coils connected in series at the same position on a multilayer printed wiring board to form a multi-turn coil, and incorporates a surface-mount type capacitor into the printed wiring board. And a capacitor and a capacitor connected to each other to dispose an LC resonance circuit on a printed wiring board in a matrix.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような従来の電磁雑音測定装置による電磁雑音の測定
ではＧＨｚ帯をカバーする電磁雑音の測定が困難である
という問題点のほか、近磁界プローブをＸ−Ｙ−Ｚ軸方
向に駆動しながら測定するために、電気的な測定時間は
短いにもかかわらず、近磁界プローブの機械的移動に時
間がかかり、高速の測定が困難であるという問題点があ
った。However, it is difficult to measure the electromagnetic noise covering the GHz band by the above-described conventional electromagnetic noise measuring apparatus, and it is difficult to measure the near-magnetic field probe. Since the measurement is performed while driving in the X, Y, and Z axes, the electrical measurement time is short, but the mechanical movement of the near-field probe takes time, and it is difficult to perform high-speed measurement. was there.
【０００７】また、上記した従来の電磁雑音測定装置に
よる電磁雑音の測定では近磁界プローブを移動させるた
めの駆動モータが常時動作しているために、駆動モータ
の電磁雑音を排除する必要が生じ、近磁界プローブから
離さなければならず、装置が複雑になるという問題点も
あった。In the measurement of electromagnetic noise by the above-described conventional electromagnetic noise measuring apparatus, since the drive motor for moving the near-magnetic field probe is constantly operating, it is necessary to eliminate the electromagnetic noise of the drive motor. There is also a problem that the apparatus has to be separated from the near-field probe and the apparatus becomes complicated.
【０００８】また、上記した従来の妨害測定用アンテナ
を用いるときは、共振回路構成にすることによって感度
は向上するものの狭帯域の電磁雑音しか測定できないと
いう問題点があり、広帯域化するためには共振周波数を
上げる必要が生ずるが、小型になって数ＭＨｚの周波数
帯域では感度が低下するという問題点があった。Further, when the above-mentioned conventional interference measuring antenna is used, the sensitivity is improved by using a resonance circuit configuration, but there is a problem that only a narrow band of electromagnetic noise can be measured. It is necessary to increase the resonance frequency, but there is a problem that the sensitivity is reduced in a frequency band of several MHz due to miniaturization.
【０００９】さらに、上記した従来の妨害測定用アンテ
ナを用いるときに、コイル数を増加させるとアンテナ面
が被測定電磁雑音をシールドすることになって、電磁雑
音である磁界成分の方向を曲げてしまって、正確な測定
が行えないという問題点もあった。Further, when the above-mentioned conventional interference measuring antenna is used, if the number of coils is increased, the antenna surface shields the measured electromagnetic noise, and the direction of the magnetic field component which is the electromagnetic noise is bent. As a result, there was a problem that accurate measurement could not be performed.
【００１０】さらに、従来の電磁雑音測定装置には、電
磁雑音レベルのほかに電磁雑音の発生方向も合わせて測
定できるようなものはなかった。Further, there is no conventional electromagnetic noise measuring device capable of measuring not only the electromagnetic noise level but also the direction in which the electromagnetic noise is generated.
【００１１】本発明は、広帯域でＧＨｚ帯をカバーで
き、かつ発生方向も合わせて正確な測定が行えて電磁雑
音発生源の特定が可能な電磁雑音測定装置を提供するこ
とを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an electromagnetic noise measuring apparatus which can cover a GHz band in a wide band, can perform accurate measurement in accordance with a generation direction, and can specify an electromagnetic noise generating source.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明の電磁雑音測定装
置は、Ｘ軸方向に所定間隔隔てて隣合う電磁雑音センサ
の挾角がほぼ９０度の角度をなすように配置された電磁
雑音センサからなる第１行の電磁雑音センサと第１行の
電磁雑音センサに対してＹ軸方向に所定間隔隔てて対向
しかつ対向する第１行の電磁雑音センサが配置されてい
る角度とほぼ９０度の角度をなすようにＸ軸方向に配置
された電磁雑音センサからなる第２行の電磁雑音センサ
とが表面に直立して設けられ、かつ被電磁雑音測定体が
載置される板状体に対向して所定距離離して設けられる
ベース基板と、第１および第２行の各電磁雑音センサか
ら出力される誘起電圧を順次選択的に導出するためのス
イッチ手段と、第１行の電磁雑音センサと第２行の電磁
雑音センサとのＹ軸方向の間隔に対応する距離に基づく
距離ずつベース基板を少なくともＹ軸方向に駆動させる
駆動手段と、駆動手段によって駆動されて該駆動前にお
ける第１行の電磁雑音センサの位置にまで駆動されたと
きにおける第２行の電磁雑音センサから導出される誘起
電圧と前記駆動前における第１行の電磁雑音センサから
導出された誘起電圧とにより、第１および第２行の電磁
雑音センサのＹ軸方向において互いに対向する電磁雑音
センサから導出された誘起電圧に基づいて電磁雑音レベ
ルおよび電磁雑音発生方向を求める演算手段と、演算手
段によって求めた電磁雑音レベルと電磁雑音発生方向と
を、電磁雑音レベルと電磁雑音発生方向の演算時におけ
る第２行の電磁雑音センサ位置に対応する表示位置に表
示させる表示手段と、を備えたことを特徴とする。According to the present invention, there is provided an electromagnetic noise measuring apparatus comprising: an electromagnetic noise sensor arranged so that an included angle between adjacent electromagnetic noise sensors at a predetermined interval in the X-axis direction is substantially 90 degrees; The first row of electromagnetic noise sensors and the first row of electromagnetic noise sensors are spaced apart by a predetermined distance in the Y-axis direction, and the angle at which the opposed first row of electromagnetic noise sensors is arranged is approximately 90 degrees. A second row of electromagnetic noise sensors, which are arranged in the X-axis direction so as to form an angle with each other, is provided upright on the surface, and is mounted on a plate-like body on which the object to be measured is placed. A base substrate provided at a predetermined distance in opposition, switch means for sequentially and selectively deriving an induced voltage output from each of the electromagnetic noise sensors in the first and second rows, and an electromagnetic noise sensor in the first row And Y of the electromagnetic noise sensor in the second row Driving means for driving the base substrate at least in the Y-axis direction by a distance based on the distance corresponding to the direction, and when driven by the driving means to the position of the electromagnetic noise sensor in the first row before the driving. In the Y-axis direction of the electromagnetic noise sensors in the first and second rows by the induced voltage derived from the electromagnetic noise sensor in the second row and the induced voltage derived from the electromagnetic noise sensor in the first row before the driving. Calculating means for obtaining an electromagnetic noise level and a direction in which electromagnetic noise is generated based on induced voltages derived from mutually facing electromagnetic noise sensors; and calculating the electromagnetic noise level and the direction in which the electromagnetic noise is generated by the calculating means. Display means for displaying at a display position corresponding to the position of the electromagnetic noise sensor in the second row when calculating the noise generation direction. And it features.
【００１３】本発明の電磁雑音測定装置によれば、駆動
手段によってベース基板がＹ軸方向に駆動されて該駆動
前における第１行の電磁雑音センサの位置にまで第２行
の電磁雑音センサが駆動されたときにおける第２行の電
磁雑音センサから導出される誘起電圧と前記駆動前にお
ける第１行の電磁雑音センサから導出された誘起電圧と
によって、第１および第２行の電磁雑音センサのＹ軸方
向において互いに対向する電磁雑音センサから導出され
た誘起電圧に基づいて電磁雑音レベルおよび電磁雑音発
生方向が演算手段によって求められる。演算手段によっ
て求められた電磁雑音レベルと電磁雑音発生方向とが、
電磁雑音レベルと電磁雑音発生方向の演算時における第
２行の電磁雑音センサの位置に対応する表示手段上の表
示位置に表示させられる。According to the electromagnetic noise measuring apparatus of the present invention, the base substrate is driven in the Y-axis direction by the driving means, and the electromagnetic noise sensor in the second row is moved to the position of the electromagnetic noise sensor in the first row before the driving. By the induced voltage derived from the electromagnetic noise sensor in the second row when driven and the induced voltage derived from the electromagnetic noise sensor in the first row before the driving, the electromagnetic noise sensors in the first and second rows are driven. Based on the induced voltages derived from the electromagnetic noise sensors facing each other in the Y-axis direction, the electromagnetic noise level and the direction in which the electromagnetic noise is generated are obtained by the calculating means. The electromagnetic noise level and the direction of electromagnetic noise generation obtained by the arithmetic means are:
The information is displayed at a display position on the display means corresponding to the position of the electromagnetic noise sensor in the second row at the time of calculating the electromagnetic noise level and the direction in which the electromagnetic noise is generated.
【００１４】したがって、板状体上に載置された被電磁
雑音測定体から発生している電磁雑音レベルおよび電磁
雑音発生方向が表示手段上に表示されることになる。Therefore, the electromagnetic noise level and the electromagnetic noise generation direction generated from the object to be measured placed on the plate-like body are displayed on the display means.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明にかかる電磁雑音測
定装置を実施の一形態によって説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An electromagnetic noise measuring device according to the present invention will be described below with reference to an embodiment.
【００１６】図１は本発明の実施の一形態にかかる電磁
雑音測定装置の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an electromagnetic noise measuring device according to an embodiment of the present invention.
【００１７】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測
定装置１は、表面に複数の電磁雑音センサＥＮが直立し
て設けられ、かつ裏面に各電磁雑音センサＥＮに対応す
ると共に電磁雑音センサＥＮからの出力を各別に選択的
に導出するスイッチ２ａ、２ｂ、…からなるスイッチ回
路群２が設けられたベース基板３と、ベース基板３をＹ
軸方向とＸ軸方向に駆動するベース基板駆動装置４と、
スイッチ回路群２を介して出力され電磁雑音センサＥＮ
から出力される誘起電圧を制御回路６にて読み取ること
ができる信号に変換するインタフェースを構成する例え
ばネットワークアナライザからなる信号変換器５と、制
御回路６と協働するＲＡＭ７と、制御回路６からの出力
に基づいて電磁雑音レベルおよび方向を表示する表示器
８とを備えている。なお、図１においてスイッチ回路群
２は説明のためベース基板３から離して示してある。In the electromagnetic noise measuring apparatus 1 according to one embodiment of the present invention, a plurality of electromagnetic noise sensors EN are provided upright on the front surface, and the electromagnetic noise sensors EN correspond to the respective electromagnetic noise sensors EN on the back surface. And a base substrate 3 provided with a switch circuit group 2 composed of switches 2a, 2b,.
A base substrate driving device 4 driven in the axial direction and the X-axis direction,
Electromagnetic noise sensor EN output via switch circuit group 2
A signal converter 5 composed of, for example, a network analyzer, which constitutes an interface for converting an induced voltage output from the control circuit 6 into a signal that can be read by the control circuit 6, a RAM 7 cooperating with the control circuit 6, A display 8 for displaying an electromagnetic noise level and a direction based on the output. In FIG. 1, the switch circuit group 2 is shown apart from the base substrate 3 for explanation.
【００１８】ここで、信号変換器５を用いる理由は、電
磁雑音センサＥＮから出力される誘起電圧の周波数はＧ
Ｈｚ帯の周波数であるためであって、かかる周波数の高
い電圧を制御回路６において読み取り可能な信号に変換
するためである。The reason for using the signal converter 5 is that the frequency of the induced voltage output from the electromagnetic noise sensor EN is G
This is because the frequency is in the Hz band, and the voltage having such a high frequency is converted into a signal readable by the control circuit 6.
【００１９】なお、少なくともベース基板３、ベース基
板駆動装置４、制御回路６およびＲＡＭ７は電磁雑音測
定装置１の筐体１０内に設けてある。It should be noted that at least the base substrate 3, the base substrate driving device 4, the control circuit 6 and the RAM 7 are provided in a housing 10 of the electromagnetic noise measuring device 1.
【００２０】本実施の一形態にかかる電磁雑音測定装置
１では、電磁雑音測定装置１の筐体１０の上面に被電磁
雑音測定体としての作動中のプリント基板などが載置さ
れる被電磁雑音測定体載置板としての曇りガラス板９が
装着してある。曇りガラス板９に代わってアクリル樹脂
からなる板状体などを用いてもよい。In the electromagnetic noise measuring apparatus 1 according to the present embodiment, an operating printed circuit board or the like as an electromagnetic noise measuring object is mounted on the upper surface of the housing 10 of the electromagnetic noise measuring apparatus 1. A frosted glass plate 9 as a measurement object mounting plate is mounted. Instead of the frosted glass plate 9, a plate-like body made of an acrylic resin may be used.
【００２１】ベース基板３は曇りガラス板９の裏面に所
定間隔離して対向するように設けられている。The base substrate 3 is provided on the back surface of the frosted glass plate 9 so as to face the rear surface of the frosted glass plate 9 at a predetermined interval.
【００２２】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測
定装置１では曇りガラス９の実効表面積を日本工業規格
Ａ列４番のサイズとし、電磁雑音センサを４行で構成
し、各行を構成する電磁雑音センサＥＮの数を２４個に
設定してある。したがって、電磁雑音センサＥＮの総数
は９６個である。In the electromagnetic noise measuring apparatus 1 according to one embodiment of the present invention, the effective surface area of the frosted glass 9 is set to the size of the Japanese Industrial Standard A column No. 4, the electromagnetic noise sensor is composed of four rows, and each row is composed. The number of electromagnetic noise sensors EN is set to 24. Therefore, the total number of the electromagnetic noise sensors EN is 96.
【００２３】曇りガラス板９の裏面側に対向するベース
基板３の表面上には図２（ａ）の平面図および（ｂ）の
斜視図に示すように、交互にほぼ１３５度の角度とほぼ
４５度の角度に配置され、かつＸ軸方向に中心間の距離
ａ（ａ＝２ｂ、ｂは正の実数）隔てて電磁雑音センサＥ
Ｎがベース基板３上に直立して設けてある。この行の電
磁雑音センサを第１電磁雑音センサ行と記し、ＥＮ１ｆ
（ｆ＝１、……、２４）で示す。同様に、交互にほぼ２
２５度の角度とほぼ−４５度の角度に配置され、第１電
磁雑音センサ行のＸ軸方向中心線と中心線の距離ａ隔て
かつ第１電磁雑音センサ行の電磁雑音センサＥＮと対向
して電磁雑音センサＥＮがベース基板３上に直立して設
けてある。この行の電磁雑音センサを第２電磁雑音セン
サ行と記し、ＥＮ２ｇ（ｇ＝２５、……、４８）で示
す。なお、図２（ｂ）の斜視図において説明のための各
電磁雑音センサＥＮは距離を離して示してある。As shown in the plan view of FIG. 2 (a) and the perspective view of FIG. 2 (b), an angle of about 135 ° is alternately formed on the surface of the base substrate 3 facing the back side of the frosted glass plate 9. The electromagnetic noise sensor E is arranged at an angle of 45 degrees and separated by a distance a (a = 2b, b is a positive real number) between centers in the X-axis direction.
N is provided upright on the base substrate 3. The electromagnetic noise sensor in this row is referred to as a first electromagnetic noise sensor row, and EN1f
(F = 1,..., 24). Similarly, alternately approximately 2
It is arranged at an angle of 25 degrees and substantially at an angle of -45 degrees, is spaced apart from the center line in the X-axis direction of the first electromagnetic noise sensor row by a distance a, and faces the electromagnetic noise sensor EN of the first electromagnetic noise sensor row. An electromagnetic noise sensor EN is provided upright on the base substrate 3. The electromagnetic noise sensor in this row is referred to as a second electromagnetic noise sensor row, and is indicated by EN2g (g = 25,..., 48). In addition, in the perspective view of FIG. 2B, each electromagnetic noise sensor EN for explanation is shown apart from each other.
【００２４】すなわち、第１および第２電磁雑音センサ
行を構成する電磁雑音センサＥＮは、それぞれの挟角が
ほぼ９０度に設定され、かつ中心間の間隔を距離ａ離し
てＸ字状に配置された４個を１対とする電磁雑音センサ
ＥＮが複数対Ｘ軸方向に各対の中心の間距離２ａ離し
て、ベース基板３上に直立して設けられている。That is, the electromagnetic noise sensors EN forming the first and second electromagnetic noise sensor rows have their included angles set to approximately 90 degrees, and are arranged in an X-shape with their centers being separated by a distance a. A plurality of the electromagnetic noise sensors EN, each of which is a pair, are provided upright on the base substrate 3 with a distance 2a between the centers of each pair in the X-axis direction.
【００２５】また同様に、交互にほぼ１３５度の角度と
ほぼ４５度の角度に配置され、第２電磁雑音センサ行の
中心線と中心線間の距離ａ隔て、かつ第２電磁雑音セン
サ行の電磁雑音センサＥＮに対して−Ｘ軸方向に間隔ｂ
ずらして電磁雑音センサＥＮがベース基板３上に直立し
て設けてある。この行の電磁雑音センサＥＮを第３電磁
雑音センサ行と記し、ＥＮ３ｈ（ｈ＝４９、……、７
２）で示す。同様に、交互にほぼ２２５度の角度とほぼ
−４５度の角度に配置され、第３電磁雑音センサ行のＸ
軸方向中心線と中心線の距離ａ隔て、かつ第３電磁雑音
センサ行の電磁雑音センサＥＮと対向して電磁雑音セン
サＥＮがベース基板３上に直立して設けてある。この行
の電磁雑音センサＥＮを第４電磁雑音センサ行と記し、
ＥＮ４ｉ（ｉ＝７３、……、９６）で示す。Similarly, the antennas are alternately arranged at an angle of about 135 degrees and an angle of about 45 degrees, at a distance a between the center lines of the second electromagnetic noise sensor row, and at a distance a between the center lines. Interval b in the −X axis direction with respect to electromagnetic noise sensor EN
A staggered electromagnetic noise sensor EN is provided on the base substrate 3. The electromagnetic noise sensor EN in this row is referred to as a third electromagnetic noise sensor row, and EN3h (h = 49,..., 7)
Shown in 2). Similarly, alternately arranged at an angle of about 225 degrees and an angle of about -45 degrees, the X of the third electromagnetic noise sensor row
An electromagnetic noise sensor EN is provided upright on the base substrate 3 at a distance a between the axial center lines and opposed to the electromagnetic noise sensors EN of the third electromagnetic noise sensor row. The electromagnetic noise sensor EN in this row is referred to as a fourth electromagnetic noise sensor row,
This is indicated by EN4i (i = 73,..., 96).
【００２６】すなわち、第３および第４電磁雑音センサ
行を構成する電磁雑音センサＥＮは、それぞれの挟角が
ほぼ９０度に設定され、かつ中心間の間隔を距離ａ離し
てＸ字状に配置された４個を１対とする電磁雑音センサ
ＥＮが複数対Ｘ軸方向に各対の中心間の距離を２ａ離す
とともに、第２電磁雑音センサ行を構成する電磁雑音セ
ンサＥＮに対して−Ｘ軸方向に距離ｂずらして、ベース
基板３上に直立して設けられている。In other words, the electromagnetic noise sensors EN constituting the third and fourth electromagnetic noise sensor rows have their included angles set to approximately 90 degrees, and are arranged in an X-shape with their centers being separated by a distance a. The pair of four electromagnetic noise sensors EN separates the distance between the centers of the pairs by 2a in the direction of the plurality of pairs in the X-axis direction, and sets -X with respect to the electromagnetic noise sensors EN forming the second electromagnetic noise sensor row. It is provided upright on the base substrate 3 at a distance b in the axial direction.
【００２７】各電磁雑音センサＥＮは図３に示したシー
ルディッドループコイルＳＣで構成してある。すなわ
ち、シールディッドループコイルＳＣで構成された各電
磁雑音センサＥＮは、ほぼ中央に貫通孔２６が設けら
れ、かつ貫通孔２６を外部に連通させる切欠き部Ｇが設
けられてほぼＣ字状に形成されたテフロン基板またはガ
ラスエポキシ樹脂基板などからなる誘電体基板２２−１
と２２−２とを、互いの貫通孔２６と切欠き部Ｇを一致
させて相対向して積層し、誘電体基板２２−１と２２−
２のそれぞれの外表面に接地導体２３−１と２３−２を
各別に形成し、貫通孔２６を挟んで切欠き部Ｇに対向す
る所定位置を始端位置Ｐとし、Ｃ字状の一方の半周部に
おける所定位置を終端位置Ｅとして、始端位置Ｐにおい
て接地導体２３−１と２３−２とを同軸ケーブル２５の
外導体に電気的に接続し、始端位置ＰからＣ字状の他方
の半周部に沿い、切欠き部Ｇをわたって、Ｃ字状の一方
の半周部に沿って終端位置Ｅにまで一方の誘電体基板２
２−１の内表面に特性インピーダンスが５０Ωに設定さ
れたほぼ半ターンのストリップ導体２４を形成し、終端
位置Ｅにおいてそれぞれの接地導体２３−１と２３−２
とストリップ導体２４とを電気的に接続し、ストリップ
導体２４の始端位置Ｐ側を同軸ケーブル２５の内導体に
電気的に接続して、ストリップ導体２４と接地導体２３
−１および２３−２との間の誘起電圧を取り出してスイ
ッチ回路群２に導出する。Each electromagnetic noise sensor EN is constituted by a shielded loop coil SC shown in FIG. That is, each of the electromagnetic noise sensors EN constituted by the shielded loop coils SC is provided with a through-hole 26 substantially at the center, and a cutout G for communicating the through-hole 26 to the outside. Dielectric substrate 22-1 made of Teflon substrate or glass epoxy resin substrate formed
And 22-2 are laminated so as to face each other with the through-hole 26 and the notch G coincident with each other, and the dielectric substrates 22-1 and 22-
2, ground conductors 23-1 and 23-2 are separately formed, and a predetermined position facing the notch G with the through hole 26 interposed therebetween is defined as a start end position P, and one half of the C-shaped half circumference The ground conductors 23-1 and 23-2 are electrically connected to the outer conductor of the coaxial cable 25 at the start end position P, with the predetermined position in the portion as the end position E, and the other half of the C-shape from the start end position P Along one of the C-shaped half-peripheries to the end position E along the notch G,
A strip conductor 24 having a characteristic impedance of about 50 Ω and having a characteristic impedance of 50Ω is formed on the inner surface of 2-1.
And the strip conductor 24 is electrically connected, and the start end position P side of the strip conductor 24 is electrically connected to the inner conductor of the coaxial cable 25 so that the strip conductor 24 and the ground conductor 23 are connected.
The induced voltage between -1 and 23-2 is extracted and led out to the switch circuit group 2.
【００２８】各電磁雑音センサＥＮを上記のようにシー
ルディッドループコイルＳＣで構成することによって、
ストリップ導体２４は接地導体２３−１および２３−２
によってサンドイッチ状に挾まれることになって外部電
界からシールドされて外部電界の影響を受けることはな
く、また接地導体２３−１および２３−２によるそれぞ
れの接地導体面が切欠き部Ｇとストリップ導体２４の始
端位置Ｐとを結ぶ線に対して上下線対称となっているた
め電界による誘起電圧が差動的に抑制されて、電界によ
る誘起電圧は打ち消されて、電磁雑音センサＥＮから主
に磁界による誘起電圧が取り出せ、かつその測定周波数
の範囲は２ＧＨｚまでカバーできる。By configuring each electromagnetic noise sensor EN with the shielded loop coil SC as described above,
Strip conductor 24 is connected to ground conductors 23-1 and 23-2.
And is shielded from an external electric field, so that the ground conductors are not affected by the external electric field. Since it is vertically symmetrical with respect to the line connecting the starting position P of the conductor 24, the induced voltage due to the electric field is suppressed differentially, the induced voltage due to the electric field is canceled, and the electromagnetic noise sensor EN mainly The induced voltage due to the magnetic field can be extracted, and the range of the measurement frequency can be covered up to 2 GHz.
【００２９】各電磁雑音センサＥＮとしてシールディッ
ドループコイルＳＣに代わって、特開平８−１２９０５
８号公報に示されている図４に示すマイクロストリップ
コイルＭＣで構成してもよい。マイクロストリップコイ
ルＭＣで構成された電磁雑音センサＥＮは、誘電体基板
３１の表面にほぼ１ターンであってかつ特性インピーダ
ンスが５０Ωのマイクロストリップ導体３２を形成し、
マイクロストリップ導体３２の終端部を誘電体基板３１
の裏面に形成した接地導体３３と特性インピーダンス５
０Ωのチップ抵抗３４によって電気的に接続し、マイク
ロストリップ導体３２の始端からの誘起電圧をスイッチ
回路群２へ導出する。Each electromagnetic noise sensor EN is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No.
The microstrip coil MC shown in FIG. The electromagnetic noise sensor EN composed of the microstrip coil MC forms a microstrip conductor 32 having approximately one turn and a characteristic impedance of 50Ω on the surface of the dielectric substrate 31,
Terminate the end portion of the microstrip conductor 32 to the dielectric substrate 31
Conductor 33 and characteristic impedance 5
The microstrip conductor 32 is electrically connected by a chip resistor 34 of 0Ω, and an induced voltage from the start end of the microstrip conductor 32 is led out to the switch circuit group 2.
【００３０】ベース基板３の裏面には各電磁雑音センサ
ＥＮに対応しかつ対応する電磁雑音センサＥＮからの誘
起電圧を各別に選択的に導出するスイッチであるリレー
によって構成されたスイッチ回路群２が装着してある。
ここで、スイッチ回路群２を構成するリレーは特性イン
ピーダンスが５０Ωに設定された広帯域のメカニカルリ
レーである。メカニカルリレーを用いるのはオフ抵抗が
ほぼ無限大のためである。オフ抵抗について多少の低下
を認めるときはメカニカルリレーに代わって、ダイオー
ドスイッチ回路を用いてもよい。On the back surface of the base substrate 3, a switch circuit group 2 constituted by relays corresponding to the respective electromagnetic noise sensors EN and selectively deriving induced voltages from the corresponding electromagnetic noise sensors EN is separately provided. It is attached.
Here, the relays constituting the switch circuit group 2 are wideband mechanical relays whose characteristic impedance is set to 50Ω. The mechanical relay is used because the off-resistance is almost infinite. When a slight decrease in off-resistance is recognized, a diode switch circuit may be used instead of the mechanical relay.
【００３１】次に、ベース基板駆動装置４は図５に示す
ように構成されている。ベース基板駆動装置４には、筐
体１０に適宜手段によって固定されたメインベース４１
と、メインベース４１に固定されたＸ軸方向駆動パルス
モータ４２と、メインベース４１上に設けられかつＸ軸
方向駆動パルスモータ４２のロータの回転によりタイミ
ングベルト４３を介して回転駆動されるボールねじ４４
と、ボールねじ４４と噛合する噛合部を備えてボールね
じ４４の回転によりガイド４５および４６によって案内
されてメインベース４１上でＸ軸方向に移動させられる
Ｘ軸方向移動テーブル４７とを備えており、Ｘ軸方向駆
動パルスモータ４２の回転によってＸ軸方向にステップ
状にＸ軸方向移動テーブル４７が駆動される。Next, the base substrate driving device 4 is configured as shown in FIG. The base substrate driving device 4 includes a main base 41 fixed to the housing 10 by appropriate means.
An X-axis direction driving pulse motor 42 fixed to the main base 41, and a ball screw provided on the main base 41 and driven to rotate via the timing belt 43 by rotation of a rotor of the X-axis direction driving pulse motor 42 44
And an X-axis direction moving table 47 provided with a meshing portion that meshes with the ball screw 44 and guided by guides 45 and 46 by the rotation of the ball screw 44 and moved in the X-axis direction on the main base 41. The rotation of the X-axis direction drive pulse motor 42 drives the X-axis direction moving table 47 stepwise in the X-axis direction.
【００３２】さらにベース基板駆動装置４には、Ｘ軸方
向移動テーブル４７に固定されたＹ軸方向駆動パルスモ
ータ４８と、Ｘ軸方向移動テーブル４７上に設けられか
つＹ軸方向駆動パルスモータ４８のロータの回転により
タイミングベルト４９を介して回転駆動されるボールね
じ５０と、ボールねじ５０と噛合する噛合部を備えてボ
ールねじ５０の回転によりガイド５１および５２によっ
て案内されてＸ軸方向移動テーブル４７上でＹ軸方向に
移動させられるＹ軸方向移動テーブル５３とを備えてお
り、Ｙ軸方向駆動パルスモータ４８の回転によってＹ軸
方向にステップ状にＹ軸方向移動テーブル５３が駆動さ
れる。The base substrate driving device 4 further includes a Y-axis direction driving pulse motor 48 fixed to an X-axis direction moving table 47, and a Y-axis direction driving pulse motor 48 provided on the X-axis direction moving table 47. A ball screw 50 that is rotationally driven by a rotation of the rotor via a timing belt 49; and a meshing portion that meshes with the ball screw 50. The X-axis direction moving table 47 is guided by guides 51 and 52 by the rotation of the ball screw 50. And a Y-axis direction moving table 53 which is moved in the Y-axis direction. The rotation of the Y-axis direction driving pulse motor 48 drives the Y-axis direction moving table 53 stepwise in the Y-axis direction.
【００３３】Ｙ軸方向移動テーブル５３の表面とスイッ
チ回路群２とが当接しないように、Ｙ軸方向移動テーブ
ル５３の表面側にスペーサ５５および５６を介してベー
ス基板３が固定してある。The base substrate 3 is fixed to the front side of the Y-axis direction moving table 53 via spacers 55 and 56 so that the surface of the Y-axis direction moving table 53 does not contact the switch circuit group 2.
【００３４】上記のようにベース基板駆動装置４を構成
した結果、Ｙ軸方向駆動パルスモータ４８の駆動によっ
てベース基板３がＹ軸方向に駆動され、Ｘ軸方向駆動パ
ルスモータ４２の駆動によってベース基板３がＸ軸方向
に駆動されることになる。As a result of configuring the base substrate driving device 4 as described above, the base substrate 3 is driven in the Y-axis direction by driving the Y-axis driving pulse motor 48, and the base substrate is driven by the X-axis driving pulse motor 42. 3 will be driven in the X-axis direction.
【００３５】制御回路６はマイクロコンピュータからな
り、Ｘ軸方向駆動パルスモータ４２を駆動するための駆
動パルスとＹ軸方向駆動パルスモータ４８を駆動するた
めのＹ軸方向駆動パルスとを出力する駆動パルス生成手
段６１と、各電磁雑音センサＥＮからの誘起電圧を選択
的に順次導出するべくスイッチ回路群２のスイッチ２
ａ、２ｂ…に切り換え信号を送出する切り換え信号生成
手段６２と、電磁雑音センサＥＮから出力された誘起電
圧に基づいて電磁雑音レベルおよび電磁雑音発生方向を
演算により求める演算手段６３と、演算手段６３によっ
て求めた電磁雑音レベルと電磁雑音発生方向を測定領域
上における位置に対応して表示器８に表示させる表示制
御手段６４とを機能的に備えている。The control circuit 6 comprises a microcomputer, and outputs a driving pulse for driving the X-axis driving pulse motor 42 and a Y-axis driving pulse for driving the Y-axis driving pulse motor 48. Generating means 61 and a switch 2 of the switch circuit group 2 for selectively sequentially inducing an induced voltage from each electromagnetic noise sensor EN.
a switching signal generating means 62 for transmitting a switching signal to a, 2b,..., an arithmetic means 63 for calculating an electromagnetic noise level and an electromagnetic noise generation direction based on the induced voltage output from the electromagnetic noise sensor EN, and an arithmetic means 63 And a display control means 64 for displaying on the display 8 the electromagnetic noise level and the direction in which the electromagnetic noise is generated, determined in accordance with the position on the measurement area.
【００３６】上記のように構成された本発明の実施の一
形態にかかる電磁雑音測定装置１の作用を図６〜図１０
に基づいて説明する。FIGS. 6 to 10 show the operation of the electromagnetic noise measuring apparatus 1 according to the embodiment of the present invention configured as described above.
It will be described based on.
【００３７】曇りガラス板９上に被電磁雑音測定体であ
る例えば動作中のコンピュータのプリント配線基板等の
被電磁雑音測定体が載置された状態で本発明の実施の一
形態にかかる電磁雑音測定装置１が動作させられると、
Ｘ軸方向駆動パルスモータ４２およびＹ軸方向駆動パル
スモータ４８が駆動パルス生成手段６１から出力される
駆動パルスによって駆動されてベース基板３が予め定め
らた原点位置、例えば第１電磁雑音センサ行の電磁雑音
センサＥＮ１ｆの下端位置がＡ列４番のサイズの下端に
位置に達するまで移動させられ、さらに第３電磁雑音セ
ンサ行の左端の電磁雑音センサＥＮ３ｈ（ｈ＝１）の左
端位置の延長線がＡ列４番の左端に位置するまで移動さ
せられる（ステップＳ１）。An electromagnetic noise measuring object such as a printed circuit board of an operating computer, which is an electromagnetic noise measuring object, is mounted on the frosted glass plate 9 according to an embodiment of the present invention. When the measuring device 1 is operated,
The X-axis direction drive pulse motor 42 and the Y-axis direction drive pulse motor 48 are driven by the drive pulse output from the drive pulse generation means 61, and the base substrate 3 is positioned at a predetermined origin position, for example, the first electromagnetic noise sensor row. The lower end position of the electromagnetic noise sensor EN1f is moved until it reaches the lower end of the size of column A, No. 4, and an extension of the left end position of the electromagnetic noise sensor EN3h (h = 1) at the left end of the third electromagnetic noise sensor row. Is moved until it is positioned at the left end of column A No. 4 (step S1).
【００３８】ベース基板３が上記原点位置に位置してか
ら順次Ｙ軸方向に移動して第４電磁雑音センサ行の電磁
雑音センサＥＮ４ｉがＡ列４番サイズの上端側から外に
出るまでが測定領域である。The measurement is performed until the base substrate 3 is moved to the Y-axis direction after the base substrate 3 is located at the origin position and the electromagnetic noise sensor EN4i of the fourth electromagnetic noise sensor row goes out from the upper end side of the column A, No. 4, size. Area.
【００３９】ベース基板３が原点位置にまで駆動される
と、ステップＳ１に続いてＹ軸方向へのシフト最大回数
Ｎ（＝Ｙｍａｘ÷ａ＋３）が求められる。ここで、Ｙｍ
ａｘはＹ軸方向の長さを意味し、Ａ列４番のサイズの場
合２１０ｍｍであり、ａはＹ軸方向において隣合う電磁
雑音センサＥＮの中心間の距離であり、“３”は第４電
磁雑音センサ行の電磁雑音センサＥＮ４ｉが測定領域の
上端内での測定ができるようにするための値である。Ｙ
ｍａｘ÷ａの商が整数でないときは、商を「Ｙｍａｘ÷
ａ」＋１とする。ここで、記号「 」はガウスの記号を
示す。When the base substrate 3 is driven to the origin position, the maximum number of shifts N (= Ymax ÷ a + 3) in the Y-axis direction is obtained following step S1. Where Ym
ax means the length in the Y-axis direction, which is 210 mm in the case of the size of row A No. 4, a is the distance between the centers of the adjacent electromagnetic noise sensors EN in the Y-axis direction, and "3" is the fourth This is a value that enables the electromagnetic noise sensor EN4i in the electromagnetic noise sensor row to perform measurement within the upper end of the measurement area. Y
When the quotient of max {a is not an integer, the quotient is expressed as “Ymax ÷
a "+1. Here, the symbol “” indicates a Gaussian symbol.
【００４０】ステップＳ２に続いて、Ｙ軸方向シフト回
数ｎをｎ＝１に設定し（ステップＳ３）、次いで電磁雑
音センサＥＮの数ｍをｍ＝１に設定する（ステップＳ
４）。ここで、電磁雑音センサＥＮの数ｍは最大でｍ＝
９６（＝行の電磁雑音センサＥＮの数２４×行数４）で
ある。Subsequent to step S2, the number of shifts n in the Y-axis direction is set to n = 1 (step S3), and then the number m of electromagnetic noise sensors EN is set to m = 1 (step S3).
4). Here, the number m of the electromagnetic noise sensors EN is at most m =
96 (= the number of electromagnetic noise sensors EN in a row 24 × the number of rows 4).
【００４１】ステップＳ４に続いてｍ番目の電磁雑音セ
ンサＥＮが測定領域内に位置しているか否かがチェック
され（ステップＳ５）、ステップＳ５においてｍ番目の
電磁雑音センサＥＮが測定領域内に位置していると判別
されたときは、ステップＳ５に続いてｍ番目の電磁雑音
センサＥＮに対応するスイッチ回路群２内のスイッチ２
ｍが、切り換え信号生成手段６２から出力される切り換
え信号によってオン状態にされてｍ番目の電磁雑音セン
サＥＮの誘起電圧が測定される（ステップＳ６）。After step S4, it is checked whether or not the m-th electromagnetic noise sensor EN is located in the measurement area (step S5). In step S5, the m-th electromagnetic noise sensor EN is located in the measurement area. If it is determined that the switch 2 has been turned on, the switch 2 in the switch circuit group 2 corresponding to the m-th electromagnetic noise sensor EN follows step S5.
m is turned on by the switching signal output from the switching signal generating means 62, and the induced voltage of the m-th electromagnetic noise sensor EN is measured (step S6).
【００４２】ステップＳ６に続いて、ｍ番目の電磁雑音
センサＥＮの測定領域内における位置に対応させたＲＡ
Ｍ７のアドレス位置に既に測定データが格納されている
か否かがチェックされる（ステップＳ７）。後記するよ
うにステップＳ７において、奇数電磁雑音センサ行の電
磁雑音センサＥＮからの誘起電圧についてはステップＳ
６において既に測定データが格納されていないと判別さ
れ、偶数電磁雑音センサ行の電磁雑音センサＥＮからの
誘起電圧についてはステップＳ６において既に測定デー
タが格納されていると判別される。Subsequent to step S6, the RA corresponding to the position of the m-th electromagnetic noise sensor EN in the measurement area.
It is checked whether measurement data has already been stored at the address position of M7 (step S7). As described later, in step S7, the induced voltage from the electromagnetic noise sensor EN in the odd-numbered electromagnetic noise sensor row is determined in step S7.
In step S6, it is determined that the measurement data has not been stored, and it is determined in step S6 that the measurement data has already been stored for the induced voltage from the electromagnetic noise sensor EN in the even-numbered electromagnetic noise sensor row.
【００４３】ｍ番目の電磁雑音センサＥＮが奇数電磁雑
音センサ行の電磁雑音センサＥＮであるときは、ｍ番目
の電磁雑音センサＥＮから出力される誘起電圧はｍ番目
の電磁雑音センサ位置に対応させたＲＡＭ７のアドレス
位置に測定データとして格納され（ステップＳ８）、次
いでｍがインクリメント（ｍ＝ｍ＋１）される（ステッ
プＳ９）。続いてｍが９６以下であるか否かがチェック
される（ステップＳ１０）。ステップＳ１０を実行する
のは全電磁雑音センサＥＮにわたってステップＳ５〜ス
テップＳ９を実行したか否かをチェックするためであ
る。When the m-th electromagnetic noise sensor EN is the electromagnetic noise sensor in the odd-numbered electromagnetic noise sensor row, the induced voltage output from the m-th electromagnetic noise sensor EN corresponds to the position of the m-th electromagnetic noise sensor. The measured data is stored in the address position of the RAM 7 as the measurement data (step S8), and then m is incremented (m = m + 1) (step S9). Subsequently, it is checked whether m is 96 or less (step S10). The step S10 is executed to check whether the steps S5 to S9 have been executed for all the electromagnetic noise sensors EN.
【００４４】ステップＳ１０においてｍが９６以下であ
ると判別されたときはステップＳ５から再び繰り返して
実行される。この繰り返しての実行中において、ｍ＝２
５に達したときは、この状態のときには、ステップＳ５
においてｍ番目の電磁雑音センサＥＮが測定範囲内に入
っていないために、ステップＳ６からステップＳ８がス
キップされて、ステップＳ５からステップＳ９が直接実
行される。ステップＳ５からステップＳ９が直接実行さ
れるのは第２５番目の電磁雑音センサＥＮから第９６番
目の電磁雑音センサＥＮに至るまでである。すなわち第
１電磁雑音センサ行のみが測定領域に入ったときには、
第２、第３および第４電磁雑音センサ行の電磁雑音セン
サＥＮについてステップＳ５からステップＳ９が直接実
行されることになる。When it is determined in step S10 that m is 96 or less, the processing is repeated from step S5. During this repeated execution, m = 2
5 has been reached, and in this state, step S5
Since the m-th electromagnetic noise sensor EN does not fall within the measurement range, steps S6 to S8 are skipped, and steps S5 to S9 are directly executed. Steps S5 to S9 are directly executed from the 25th electromagnetic noise sensor EN to the 96th electromagnetic noise sensor EN. That is, when only the first electromagnetic noise sensor line enters the measurement area,
Steps S5 to S9 are directly executed for the electromagnetic noise sensors EN in the second, third and fourth electromagnetic noise sensor rows.
【００４５】ステップＳ１０においてｍが９６を超えて
いると判別されたときはステップＳ１０に続いてｎがイ
ンクリメント（ｎ＝ｎ＋１）されて（ステップＳ１
１）、ｎがＮ以下であるか否かがチェックされる（ステ
ップＳ１２）。ステップＳ１２においてｎがＮ以下であ
ると判別されたとき、すなわち第４電磁雑音センサ行の
電磁雑音センサＥＮ４ｉが測定領域外に出ていないと判
別されたときは、駆動パルス生成手段６１から出力され
る駆動パルスによってＹ軸方向駆動パルスモータ４８が
駆動されて、ベース基板３が距離ａだけＹ軸方向に駆動
され（ステップＳ１３）、続いてステップＳ４から繰り
返して実行される。If it is determined in step S10 that m is greater than 96, n is incremented (n = n + 1) following step S10 (step S1).
1) It is checked whether n is equal to or less than N (step S12). When it is determined in step S12 that n is equal to or less than N, that is, when it is determined that the electromagnetic noise sensor EN4i of the fourth electromagnetic noise sensor row is not out of the measurement area, the signal is output from the drive pulse generation unit 61. The Y-axis direction drive pulse motor 48 is driven by the drive pulse, and the base substrate 3 is driven in the Y-axis direction by a distance a (step S13), and is repeatedly executed from step S4.
【００４６】ステップＳ１３が最初に実行される直前に
おける測定領域ｒと第１電磁雑音センサ行の電磁雑音セ
ンサＥＮ１ｆとの位置関係は図８（ａ）に示すごとくで
あり、第１電磁雑音センサ行の各電磁雑音センサＥＮ１
ｆが測定領域ｒ内に入っており、この位置にある第１電
磁雑音センサ行の各電磁雑音センサＥＮ１ｆに対して左
からＥＮａ１ｆ（ｆ＝１、２、…、２４）とも示す。The positional relationship between the measurement area r and the electromagnetic noise sensor EN1f in the first electromagnetic noise sensor row immediately before step S13 is first executed is as shown in FIG. Each electromagnetic noise sensor EN1
f is within the measurement region r, and ENa1f (f = 1, 2,..., 24) is also shown from the left with respect to each electromagnetic noise sensor EN1f of the first electromagnetic noise sensor row at this position.
【００４７】ステップＳ１３が実行されたことによっ
て、測定領域ｒと第１および第２電磁雑音センサ行との
位置関係は図８（ｂ）に示すごとくであって、第１およ
び第２電磁雑音センサ行の電磁雑音センサＥＮが測定領
域ｒ内に入ることになり（ステップＳ５）、再び第１番
目の電磁雑音センサＥＮから誘起電圧の測定がなされる
（ステップＳ６）。この位置にある第１電磁雑音センサ
行の各電磁雑音センサＥＮｆに対して左からＥＮｂ１ｆ
（ｆ＝１、…、２４）とも示し、第２電磁雑音センサ行
の各電磁雑音センサＥＮの位置を左からＥＮｂ２ｇ（ｇ
＝２５、…、４８）と示す。図８（ｂ）の位置にあるた
め符号ｂを付加したのである。As a result of the execution of step S13, the positional relationship between the measurement region r and the first and second electromagnetic noise sensor rows is as shown in FIG. The electromagnetic noise sensor EN in the row enters the measurement area r (step S5), and the induced voltage is measured again from the first electromagnetic noise sensor EN (step S6). ENb1f from the left with respect to each electromagnetic noise sensor ENf of the first electromagnetic noise sensor row at this position.
(F = 1,..., 24), and the position of each electromagnetic noise sensor EN in the second electromagnetic noise sensor row is indicated by ENb2g (g) from the left.
= 25,..., 48). Since it is located at the position shown in FIG. 8B, the code b is added.
【００４８】ステップＳ６において、再び第１番目の電
磁雑音センサＥＮから順次、誘起電圧の測定がなされ
る。この実行時において第１電磁雑音センサ行の各電磁
雑音センサ（ＥＮｂ１ｆ）の位置はＹ軸方向に距離ａだ
け移動しているために、ステップＳ７において測定位置
にデータが記憶されていないと判別されて（ステップＳ
７）、ステップＳ７に続いてステップＳ８が実行される
ことになる。ステップＳ８においてｍ番目の電磁雑音セ
ンサＥＮから出力される誘起電圧は測定データとしてＲ
ＡＭに格納され、ステップＳ９、Ｓ１０、Ｓ５、Ｓ６、
Ｓ７が繰り返して実行される。In step S6, the induced voltage is measured again sequentially from the first electromagnetic noise sensor EN. At the time of this execution, since the position of each electromagnetic noise sensor (ENb1f) in the first electromagnetic noise sensor row has moved by the distance a in the Y-axis direction, it is determined in step S7 that no data is stored at the measurement position. (Step S
7) Step S8 is executed following step S7. In step S8, the induced voltage output from the m-th electromagnetic noise sensor EN is R
Stored in the AM, steps S9, S10, S5, S6,
S7 is repeatedly executed.
【００４９】この実行途中においてｍ番目の電磁雑音セ
ンサＥＮが電磁雑音センサＥＮｂ２ｇ（ｇ＝２５）にな
ったときから第２電磁雑音センサ行の電磁雑音センサＥ
Ｎｂ２ｇに入る。しかるに、図８（ｂ）からも明らかな
ように第２電磁雑音センサ行の電磁雑音センサＥＮｂ２
ｇの測定位置には既に第１電磁雑音センサ行の電磁雑音
センサＥＮａ１ｆから出力された誘起電圧が測定データ
として格納されているため、第２電磁雑音センサ行の電
磁雑音センサＥＮｂ２ｇから出力される誘起電圧はＲＡ
Ｍ７に測定データとして格納されず、ステップＳ７に続
いて第１電磁雑音センサ行の対応する電磁雑音センサＥ
Ｎａ１ｆの測定データと第２電磁雑音センサ行の対応す
る電磁雑音センサＥＮｂ２ｇの測定データとに基づいて
演算手段６３によって、電磁雑音レベルおよび電磁雑音
発生方向θの演算がなされる（ステップＳ１４）。ここ
で、電磁雑音レベルは、電磁雑音センサＥＮに誘起され
る電圧は電磁雑音センサＥＮに鎖交する磁束数の変化に
基づき、かつ電磁雑音の発生方向は電磁雑音センサに対
する磁束の向きに基づく。During the execution, the electromagnetic noise sensor E in the second electromagnetic noise sensor row starts when the m-th electromagnetic noise sensor EN becomes the electromagnetic noise sensor ENb2g (g = 25).
Enter Nb2g. However, as is clear from FIG. 8B, the electromagnetic noise sensor ENb2 in the second electromagnetic noise sensor row
Since the induced voltage output from the electromagnetic noise sensor ENa1f of the first electromagnetic noise sensor row is already stored as measurement data at the measurement position of g, the induced voltage output from the electromagnetic noise sensor ENb2g of the second electromagnetic noise sensor row is already stored. The voltage is RA
M7 is not stored as measurement data, and after step S7, the corresponding electromagnetic noise sensor E in the first electromagnetic noise sensor row
Based on the measured data of Na1f and the measured data of the corresponding electromagnetic noise sensor ENb2g in the second electromagnetic noise sensor row, the calculating means 63 calculates the electromagnetic noise level and the electromagnetic noise generation direction θ (step S14). Here, the electromagnetic noise level is such that the voltage induced in the electromagnetic noise sensor EN is based on a change in the number of magnetic fluxes linked to the electromagnetic noise sensor EN, and the direction in which the electromagnetic noise is generated is based on the direction of the magnetic flux with respect to the electromagnetic noise sensor.
【００５０】この状態におけるステップＳ１４におい
て、例えば対応する第１電磁雑音センサ行の電磁雑音セ
ンサＥＮａ１ｆの測定データと第２電磁雑音センサ行の
電磁雑音センサＥＮｂ２ｇの測定データとが演算される
のであって、演算に供される対応する測定データを出力
した電磁雑音センサ位置は実質的にそれぞれ直交して重
なり合った状態であって、ほぼ４５度の方向に設けられ
ている電磁雑音センサの測定データをα、対応する電磁
雑音センサすなわち−４５度の方向に設けられている電
磁雑音センサの測定データをβとしたとき、電磁雑音レ
ベルは√（α2 ＋β2 ）の演算によって求められ、電磁
雑音発生方向θはａｒｃｔａｎ（α／β）の演算によっ
て求められ、求められた電磁雑音レベルと電磁雑音発生
方向θとが記憶される。In step S14 in this state, for example, the measurement data of the corresponding electromagnetic noise sensor ENa1f of the first electromagnetic noise sensor row and the measurement data of the electromagnetic noise sensor ENb2g of the second electromagnetic noise sensor row are calculated. The positions of the electromagnetic noise sensors that output the corresponding measurement data to be used for the operation are substantially orthogonal to each other and overlap each other, and the measurement data of the electromagnetic noise sensor provided in a direction of approximately 45 degrees is represented by α. When the measurement data of the corresponding electromagnetic noise sensor, that is, the electromagnetic noise sensor provided in the direction of -45 degrees is β, the electromagnetic noise level is obtained by the calculation of √ (α 2 + β 2 ) θ is obtained by the operation of arctan (α / β), and the obtained electromagnetic noise level and the electromagnetic noise generation direction θ are stored.
【００５１】ステップＳ１４に続いて記憶した電磁雑音
レベルと電磁雑音発生方向θに基づいて画面表示位置処
理がなされる（ステップＳ１５）。ステップＳ１５にお
ける画面表示位置処理は、電磁雑音レベルデータと電磁
雑音発生方向データとを画面表示するための位置変数
（Ｘ、Ｙ）に対応させたＲＡＭ７のアドレス位置に、ス
テップＳ１４において求められた電磁雑音レベルデータ
と電磁雑音発生方向データとを格納させる処理である。
Ｘは電磁雑音センサ行中における電磁雑音センサの位置
に対応した値を示し、ＹはＹ軸方向駆動回数を示す。After step S14, a screen display position process is performed based on the stored electromagnetic noise level and electromagnetic noise generation direction θ (step S15). The screen display position processing in step S15 is performed by setting the electromagnetic noise level data and the electromagnetic noise generation direction data to the address position of the RAM 7 corresponding to the position variable (X, Y) for displaying the screen in step S14. This is a process of storing noise level data and electromagnetic noise generation direction data.
X indicates a value corresponding to the position of the electromagnetic noise sensor in the electromagnetic noise sensor row, and Y indicates the number of times of driving in the Y-axis direction.
【００５２】ステップＳ１５に続いてステップＳ９、ス
テップＳ１０が実行される。ステップＳ１５において第
２電磁雑音センサ行の最後の電磁雑音センサＥＮｂ２ｇ
（ｇ＝４８）から出力される測定データに対する演算処
理が終了したときは、ステップＳ１０に続くステップＳ
５において測定領域ｒ外と判別されて、第３および第４
電磁雑音センサ行の電磁雑音センサＥＮについてはステ
ップＳ５からステップＳ９が直接実行されることにな
り、ステップＳ１０においてｍ＝９６以上と判別された
ときは、ステップＳ１３が実行される。After step S15, steps S9 and S10 are executed. In step S15, the last electromagnetic noise sensor ENb2g of the second electromagnetic noise sensor row
When the arithmetic processing on the measurement data output from (g = 48) is completed, step S10 following step S10 is performed.
In 5, it is determined that the region is outside the measurement region r, and the third and fourth regions are determined.
Steps S5 to S9 are directly executed for the electromagnetic noise sensor EN in the electromagnetic noise sensor row, and if it is determined in step S10 that m = 96 or more, step S13 is executed.
【００５３】この状態においてステップＳ１３が実行さ
れたことによって、測定領域ｒと第１、第２および第３
電磁雑音センサ行の電磁雑音センサＥＮとの位置関係は
図８（ｃ）に示すごとくになり、ステップＳ４およびス
テップＳ５が実行される。この状態においては第１、第
２および第３電磁雑音センサ行の各電磁雑音センサＥＮ
が測定領域ｒ内に入ることになり（ステップＳ５）、再
び第１番目の電磁雑音センサＥＮから誘起電圧の測定が
なされる（ステップＳ６）。この位置にある第１電磁雑
音センサ行の各電磁雑音センサＥＮに対して左からＥＮ
ｃ１ｆ（ｆ＝１、…、２４）と示し、第２電磁雑音セン
サ行の各電磁雑音センサＥＮの位置を左からＥＮｃ２ｇ
（ｇ＝２５、…、４８）と示し、第３電磁雑音センサ行
の各電磁雑音センサＥＮの位置を左からＥＮｃ２ｈ（ｈ
＝４９、…、７２）と示す。By executing step S13 in this state, the measurement region r and the first, second, and third
The positional relationship between the electromagnetic noise sensor row and the electromagnetic noise sensor EN is as shown in FIG. 8C, and steps S4 and S5 are executed. In this state, each electromagnetic noise sensor EN of the first, second and third electromagnetic noise sensor rows
In the measurement area r (step S5), and the induced voltage is measured again from the first electromagnetic noise sensor EN (step S6). EN from the left for each electromagnetic noise sensor EN in the first electromagnetic noise sensor row at this position.
c1f (f = 1,..., 24), and the position of each electromagnetic noise sensor EN in the second electromagnetic noise sensor row is ENc2g from the left.
(G = 25,..., 48), and the position of each electromagnetic noise sensor EN in the third electromagnetic noise sensor row is ENc2h (h
= 49,..., 72).
【００５４】ステップＳ６において、再び第１番目の電
磁雑音センサＥＮから順次、誘起電圧の測定がなされ
る。この実行時において第１電磁雑音センサ行の各電磁
雑音センサＥＮｃ１ｆの測定データはＲＡＭ７に格納さ
れ、第２電磁雑音センサ行の各電磁雑音センサＥＮｃ２
ｇの測定データは対応する第１電磁雑音センサ行の各電
磁雑音センサＥＮｃ１ｆの測定データとに基づいて電磁
雑音レベルおよび電磁雑音発生方向θが求められ（ステ
ップＳ１４）、続いて画面表示位置処理がなされる（ス
テップＳ１５）。続く第３電磁雑音センサ行の電磁雑音
センサＥＮｃ３ｈの測定データはＲＡＭ７に格納され
る。第３電磁雑音センサ行の最後の電磁雑音センサＥＮ
ｃ３ｈ（ｈ＝７２）の測定データがＲＡＭ７に格納され
たときに続いて実行されるステップＳ９、ステップＳ１
０の実行によって、第４電磁雑音センサ行の電磁雑音セ
ンサＥＮについては測定領域ｒ外であるため、ステップ
Ｓ５から直接ステップＳ９が実行されて、ステップＳ１
０においてｍ＝９６以上と判別されたときはステップＳ
１２、ステップＳ１３が実行される。In step S6, the induced voltage is measured again sequentially from the first electromagnetic noise sensor EN. At the time of this execution, the measurement data of each electromagnetic noise sensor ENc1f in the first electromagnetic noise sensor row is stored in the RAM 7, and each electromagnetic noise sensor ENc2 in the second electromagnetic noise sensor row.
From the measurement data of g, the electromagnetic noise level and the electromagnetic noise generation direction θ are obtained based on the measurement data of each electromagnetic noise sensor ENc1f of the corresponding first electromagnetic noise sensor row (step S14), and then the screen display position processing is performed. This is performed (step S15). The measurement data of the electromagnetic noise sensor ENc3h in the subsequent third electromagnetic noise sensor row is stored in the RAM 7. The last electromagnetic noise sensor EN in the third electromagnetic noise sensor row
Steps S9 and S1 to be executed subsequently when the measurement data of c3h (h = 72) is stored in the RAM 7.
By executing 0, since the electromagnetic noise sensor EN of the fourth electromagnetic noise sensor row is outside the measurement region r, step S9 is directly executed from step S5, and step S1 is executed.
If it is determined that m is equal to or greater than 96 at step S0, step S
12. Step S13 is executed.
【００５５】この状態においてステップＳ１３が実行さ
れたことによって、測定領域ｒと第１〜第４電磁雑音セ
ンサ行との位置関係は図８（ｄ）に示すごとくになり、
ステップＳ４およびステップＳ５が実行される。この状
態においては第１〜第４電磁雑音センサ行の各電磁雑音
センサＥＮが測定領域ｒ内に入ることになり（ステップ
Ｓ５）、再び第１番目の電磁雑音センサＥＮから誘起電
圧の測定がなされる（ステップＳ６）。この位置にある
第１電磁雑音センサ行の各電磁雑音センサＥＮに対して
左からＥＮｄ１ｆ（ｆ＝１、…、２４）と示し、第２電
磁雑音センサ行の各電磁雑音センサＥＮに対して左から
ＥＮｄ２ｇ（ｇ＝２５、…、４８）と示し、第３電磁雑
音センサ行の各電磁雑音センサＥＮに対して左からＥＮ
ｄ２ｈ（ｈ＝４９、…、７２）と示し、第４電磁雑音セ
ンサ行の各電磁雑音センサＥＮに対して左からＥＮｄ２
ｉ（ｉ＝７３、…、９６）と示す。By executing step S13 in this state, the positional relationship between the measurement region r and the first to fourth electromagnetic noise sensor rows becomes as shown in FIG.
Steps S4 and S5 are executed. In this state, each of the electromagnetic noise sensors EN in the first to fourth electromagnetic noise sensor rows enters the measurement area r (step S5), and the induced voltage is measured again from the first electromagnetic noise sensor EN. (Step S6). ENd1f (f = 1,..., 24) is shown from the left for each electromagnetic noise sensor EN in the first electromagnetic noise sensor row at this position, and left for each electromagnetic noise sensor EN in the second electromagnetic noise sensor row. To ENd2g (g = 25,..., 48), and EN from the left for each electromagnetic noise sensor EN in the third electromagnetic noise sensor row.
d2h (h = 49,..., 72), and ENd2 from the left for each electromagnetic noise sensor EN in the fourth electromagnetic noise sensor row.
i (i = 73,..., 96).
【００５６】ステップＳ６において、再び第１番目の電
磁雑音センサＥＮから順次、誘起電圧の測定がなされ
る。この実行時において第１電磁雑音センサ行の各電磁
雑音センサＥＮｄ１ｆの測定データはＲＡＭ７に格納さ
れ、第２電磁雑音センサ行の各電磁雑音センサＥＮｄ２
ｇの測定データは対応する第１電磁雑音センサ行の各電
磁雑音センサＥＮｄ１ｆの測定データとに基づいて電磁
雑音レベルおよび電磁雑音発生方向θが求められ（ステ
ップＳ１４）、続いて画面表示位置処理がなされる。続
く第３電磁雑音センサ行の電磁雑音センサＥＮｄ３ｈの
測定データはＲＡＭ７に格納され、第４電磁雑音センサ
行の各電磁雑音センサＥＮｄ４ｉの測定データは対応す
る第３電磁雑音センサ行の各電磁雑音センサＥＮｄ３ｈ
の測定データとに基づいて電磁雑音レベルおよび電磁雑
音発生方向θが求められ（ステップＳ１４）、続いて画
面表示位置処理がなされる。続くステップＳ９、ステッ
プＳ１０の実行によって、第４電磁雑音センサ行の電磁
雑音センサＥＮについては測定領域ｒ内であるため、第
４電磁雑音センサ行の最後の電磁雑音センサＥＮｄ４ｉ
（ｉ＝９６）に対応する処理が終了したとき、ステップ
Ｓ９、ステップＳ１０、ステップＳ１１およびステップ
Ｓ１２が実行されて、次いでステップＳ１３が実行され
る。In step S6, the measurement of the induced voltage is again performed sequentially from the first electromagnetic noise sensor EN. At the time of this execution, the measurement data of each electromagnetic noise sensor ENd1f in the first electromagnetic noise sensor row is stored in the RAM 7, and each electromagnetic noise sensor ENd2 in the second electromagnetic noise sensor row.
Based on the measurement data of g, the electromagnetic noise level and the electromagnetic noise generation direction θ are obtained based on the measurement data of each electromagnetic noise sensor ENd1f of the corresponding first electromagnetic noise sensor row (step S14), and then the screen display position processing is performed. Done. The measurement data of the electromagnetic noise sensors ENd3h of the subsequent third electromagnetic noise sensor row is stored in the RAM 7, and the measurement data of each electromagnetic noise sensor ENd4i of the fourth electromagnetic noise sensor row is stored in the corresponding electromagnetic noise sensor row of the corresponding third electromagnetic noise sensor row. ENd3h
The electromagnetic noise level and the electromagnetic noise generation direction θ are obtained based on the measured data (step S14), and then the screen display position processing is performed. By performing the subsequent steps S9 and S10, since the electromagnetic noise sensor EN of the fourth electromagnetic noise sensor row is within the measurement region r, the last electromagnetic noise sensor ENd4i of the fourth electromagnetic noise sensor row.
When the process corresponding to (i = 96) ends, steps S9, S10, S11, and S12 are performed, and then step S13 is performed.
【００５７】この状態におけるステップＳ１３が実行さ
れたことによって、測定領域ｒと第１〜第４電磁雑音セ
ンサ行との位置関係は図８（ｅ）に示すごとくになり、
ステップＳ４およびステップＳ５が実行される。この状
態においては第１〜第４電磁雑音センサ行の各電磁雑音
センサＥＮが測定領域ｒ内に入ることになり、図８
（ｄ）に基づく場合と同様に順次ステップが実行される
ことになる。By executing step S13 in this state, the positional relationship between the measurement region r and the first to fourth electromagnetic noise sensor rows becomes as shown in FIG.
Steps S4 and S5 are executed. In this state, each of the electromagnetic noise sensors EN in the first to fourth electromagnetic noise sensor rows enters the measurement area r, and FIG.
Steps are sequentially executed as in the case of (d).
【００５８】以下同様に作用し第４電磁雑音センサ行の
電磁雑音センサＥＮが測定領域ｒ外に出るまで継続され
る。ステップＳ１２においてｎがＮを超えたと判別され
たとき、すなわち第４電磁雑音センサ行の電磁雑音セン
サＥＮが測定領域ｒ外に出たと判別されたときは、ステ
ップＳ１２に続いて画面表示ルーチン（ステップＳ１
６）が実行される。Thereafter, the same operation is performed until the electromagnetic noise sensor EN of the fourth electromagnetic noise sensor row goes out of the measurement area r. When it is determined in step S12 that n has exceeded N, that is, when it is determined that the electromagnetic noise sensor EN of the fourth electromagnetic noise sensor row has moved out of the measurement region r, a screen display routine (step S12) is performed after step S12. S1
6) is executed.
【００５９】ステップＳ１６における表示は、求められ
た電磁雑音レベルに対応する色表示にて行われ、求めら
れた電磁雑音発生方向θの表示は図９に示すように、求
められた電磁雑音発生方向θに対応する予め定めた方向
の線分にて表示する。The display in step S16 is performed in a color display corresponding to the obtained electromagnetic noise level, and the display of the obtained electromagnetic noise generation direction θ is as shown in FIG. It is indicated by a line segment in a predetermined direction corresponding to θ.
【００６０】次に、ステップＳ１６における画面表示ル
ーチンについて図７のフローチャートに基づき説明す
る。Next, the screen display routine in step S16 will be described with reference to the flowchart of FIG.
【００６１】画面表示ルーチンに入ると表示制御手段６
４の制御のもとに表示制御がなされる。画面表示ルーチ
ンに入ると、Ｙ軸方向駆動回数を示す位置変数ＹがＹ＝
１に設定され（ステップＳ１６１）、続いて各電磁雑音
センサ行中の電磁雑音センサＥＮの位置を示す位置変数
ＸがＸ＝１に設定される（ステップＳ１６２）。電磁雑
音センサ行中の電磁雑音センサＥＮの数は２４であるた
めＸｍａｘは２４であり、行方向にも列方向にも隣合う
電磁雑音センサＥＮ間の距離はａであるため、Ａ列４番
のサイズに対応してＹｍａｘは１６である。Upon entering the screen display routine, the display control means 6
Display control is performed under the control of (4). When entering the screen display routine, the position variable Y indicating the number of driving in the Y-axis direction is set to Y =
It is set to 1 (step S161), and subsequently, a position variable X indicating the position of the electromagnetic noise sensor EN in each electromagnetic noise sensor row is set to X = 1 (step S162). Since the number of the electromagnetic noise sensors EN in the electromagnetic noise sensor row is 24, Xmax is 24, and the distance between the adjacent electromagnetic noise sensors EN in both the row direction and the column direction is a. Ymax is 16 corresponding to the size of.
【００６２】ステップＳ１６２に続いて表示器８の画面
上の位置変数Ｘ、Ｙの位置に電磁雑音レベルと電磁雑音
発生方向とが表示される（ステップＳ１６３）。ステッ
プＳ１６３に続いて位置変数Ｘの値がインクリメントさ
れて（ステップＳ１６４）、続いてインクリメントされ
た位置変数Ｘの値がＸｍａｘ以下であるか否かがチェッ
クされ、Ｘｍａｘ以下であると判別されたときはステッ
プＳ１６３から、インクリメントされた位置変数Ｘの値
がＸｍａｘを超えるまで繰り返される（ステップＳ１６
５）。インクリメントされた位置変数Ｘの値がＸｍａｘ
を超えるまで繰り返されることによって表示器８におい
て電磁雑音センサ１行分の電磁雑音レベル表示および電
磁雑音発生方向表示が左からなされる。After step S162, the electromagnetic noise level and the direction in which the electromagnetic noise is generated are displayed at the positions of the position variables X and Y on the screen of the display 8 (step S163). Subsequent to step S163, the value of the position variable X is incremented (step S164). Subsequently, it is checked whether or not the incremented value of the position variable X is equal to or smaller than Xmax, and when it is determined that the value is equal to or smaller than Xmax. Are repeated from step S163 until the value of the incremented position variable X exceeds Xmax (step S16).
5). The value of the incremented position variable X is Xmax
, The display of the electromagnetic noise level for one line of the electromagnetic noise sensor and the direction of the electromagnetic noise generation direction are performed on the display 8 from the left.
【００６３】ステップＳ１６５においてインクリメント
された位置変数Ｘの値がＸｍａｘを超えたと判別された
ときは位置変数Ｙの値がインクリメントされて（ステッ
プＳ１５６）、続いてインクリメントされた位置変数Ｙ
の値がＹｍａｘ以下であるか否かがチェックされ、Ｙｍ
ａｘ以下であると判別されたときは、インクリメントさ
れた位置変数Ｙの値がＹｍａｘを超えるまで繰り返され
る（ステップＳ１６７）。インクリメントされた位置変
数Ｙの値がＹｍａｘを超えるまで繰り返されることによ
って、表示器８の画面上に、電磁雑音センサ１行分の表
示が、（Ｙｍａｘ−１行分）測定範囲の下端から上端ま
で順次なされる。この結果、表示器８の画面上に測定範
囲の全範囲にわたって電磁雑音レベル表示および電磁雑
音発生方向表示がなされる。If it is determined in step S165 that the value of the incremented position variable X has exceeded Xmax, the value of the position variable Y is incremented (step S156), and then the incremented position variable Y
Is checked to see if the value of
If it is determined that the value is not more than ax, the process is repeated until the incremented value of the position variable Y exceeds Ymax (step S167). By repeating until the incremented value of the position variable Y exceeds Ymax, the display of one line of the electromagnetic noise sensor is displayed on the screen of the display 8 from the lower end to the upper end of the (Ymax-1 line) measurement range. It is done sequentially. As a result, the electromagnetic noise level display and the electromagnetic noise generation direction are displayed on the screen of the display 8 over the entire measurement range.
【００６４】図１０（ａ）は電磁雑音レベル表示のみの
模式的表示を示し、図１０（ｂ）は電磁雑音発生方向表
示のみの模式的表示を示し、図１０（ｃ）は電磁雑音レ
ベル表示と電磁雑音発生方向表示とが重畳して表示され
た場合を模式的に表示したものであって、図１０（ｃ）
に示した型式の表示が表示器８の画面上に表示される。FIG. 10A shows a schematic display of only the electromagnetic noise level display, FIG. 10B shows a schematic display of only the electromagnetic noise generation direction display, and FIG. 10C shows the electromagnetic noise level display. FIG. 10 (c) schematically shows a case where the display is superimposed with the electromagnetic noise generation direction display.
Is displayed on the screen of the display 8.
【００６５】なお、上記した本発明の実施の一形態にか
かる電磁雑音測定装置１ではベース基板３上に第１〜第
４電磁雑音センサ行の４行を設けた場合を例示したが、
第３および第４電磁雑音センサ行の２行を省略して、第
１および第２電磁雑音センサ行の２行を設けるのみでも
よい。また、第１〜第４電磁雑音センサ行を形成する電
磁雑音センサＥＮは、Ｘ軸方向にほぼ１３５度の角度と
ほぼ４５度の角度、ほぼ２２５度の角度とほぼ−４５度
の角度に配置されている場合を例示したが、互いに隣合
う電磁雑音センサＥＮを上記した図２に示す状態からほ
ぼ４５度以内の角度回転させた状態に配置してもよい。In the above-described electromagnetic noise measuring apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, the case where four rows of the first to fourth electromagnetic noise sensor rows are provided on the base substrate 3 is exemplified.
Two rows of the third and fourth electromagnetic noise sensor rows may be omitted, and only two rows of the first and second electromagnetic noise sensor rows may be provided. Further, the electromagnetic noise sensors EN forming the first to fourth electromagnetic noise sensor rows are arranged at an angle of approximately 135 degrees and approximately 45 degrees, and at an angle of approximately 225 degrees and approximately -45 degrees in the X-axis direction. Although the case has been exemplified, the electromagnetic noise sensors EN adjacent to each other may be arranged in a state where the electromagnetic noise sensors EN are rotated by an angle of approximately 45 degrees or less from the state shown in FIG.
【００６６】さらにまた、Ｙ軸方向の１回の移動長さを
（ａ／整数）とした場合、Ｙ軸方向の測定位置の分解能
を向上させることができる。また、Ｘ軸方向に駆動して
Ｘ軸方向の測定位置の分解能を向上させることもでき
る。Further, when the length of one movement in the Y-axis direction is (a / integer), the resolution of the measurement position in the Y-axis direction can be improved. Further, the resolution of the measurement position in the X-axis direction can be improved by driving in the X-axis direction.
【００６７】[0067]
【発明の効果】以上説明したように本発明にかかる電磁
雑音測定装置によれば、電磁雑音のレベルと電磁雑音の
発生方向とが測定でき、かつ表示することができるとい
う効果が得られる。As described above, according to the electromagnetic noise measuring apparatus of the present invention, it is possible to measure and display the level of the electromagnetic noise and the direction in which the electromagnetic noise is generated.
【００６８】また、本発明にかかる電磁雑音測定装置に
よれば、広帯域でＧＨｚ帯の電磁雑音の測定も可能とな
るという効果が得られる。Further, according to the electromagnetic noise measuring apparatus of the present invention, there is obtained an effect that the electromagnetic noise in the GHz band can be measured in a wide band.
【００６９】さらにまた、本発明にかかる電磁雑音測定
装置によれば、複数の電磁雑音センサを備えたベース基
板を駆動するために機械的移動の時間が短縮できるほ
か、さらに測定中は駆動源が停止させられているため駆
動源からの電磁雑音の排除に特別の装置を必要としない
という効果も得られる。Further, according to the electromagnetic noise measuring apparatus of the present invention, the time for mechanical movement can be reduced in order to drive the base substrate provided with a plurality of electromagnetic noise sensors. Since it is stopped, no special device is required for eliminating electromagnetic noise from the driving source.
【図１】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置の概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an electromagnetic noise measuring device according to an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置における電磁雑音センサの配置の説明に供する表面図
および斜視図模式図である。FIGS. 2A and 2B are a front view and a schematic perspective view illustrating an arrangement of an electromagnetic noise sensor in the electromagnetic noise measuring device according to the embodiment of the present invention. FIGS.
【図３】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置における電磁雑音センサとしてのシールディッドルー
プコイルの構成説明に供する一部破断斜視図である。FIG. 3 is a partially broken perspective view for explaining the configuration of a shielded loop coil as an electromagnetic noise sensor in the electromagnetic noise measuring device according to one embodiment of the present invention.
【図４】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置における電磁雑音センサとしてのマイクロストリップ
コイルの構成説明に供する斜視図である。FIG. 4 is a perspective view for explaining the configuration of a microstrip coil as an electromagnetic noise sensor in the electromagnetic noise measuring device according to one embodiment of the present invention.
【図５】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置におけるベース基板駆動装置の構成説明に供する斜視
図である。FIG. 5 is a perspective view for explaining a configuration of a base substrate driving device in the electromagnetic noise measuring device according to the embodiment of the present invention.
【図６】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置における作用の説明に供するフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart for explaining an operation of the electromagnetic noise measuring device according to the embodiment of the present invention;
【図７】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置における画面表示の作用の説明に供するフローチャー
トである。FIG. 7 is a flowchart for explaining an operation of a screen display in the electromagnetic noise measuring device according to the embodiment of the present invention.
【図８】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置におけるＹ軸方向のステップ移動による電磁雑音セン
サと測定領域との関係の説明に供する模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram for explaining a relationship between an electromagnetic noise sensor and a measurement area by a step movement in the Y-axis direction in the electromagnetic noise measuring device according to one embodiment of the present invention.
【図９】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定装
置における演算により求めた電磁雑音発生方向と表示と
の関係を示す模式図である。FIG. 9 is a schematic diagram showing a relationship between an electromagnetic noise generation direction obtained by calculation and a display in the electromagnetic noise measurement device according to one embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の実施の一形態にかかる電磁雑音測定
装置における表示の説明に供する模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram for explaining a display in the electromagnetic noise measuring device according to one embodiment of the present invention.
１ 電磁雑音測定装置 ２ スイッチ回路群 ３ ベース基板 ４ ベース基板駆動装置 ５ 信号変換器 ６ 制御回路 ７ ＲＡＭ ８ 表示器 ９ 曇りガラス板 ４１ メインベース ４２ Ｘ軸方向駆動パルスモータ ４７ Ｘ軸方向移動テーブル ４８ Ｙ軸方向駆動パルスモータ ５３ Ｙ軸方向移動テーブル ６１ 駆動パルス生成手段 ６２ 切り換え信号生成手段 ６３ 演算手段 ６４ 表示制御手段 ＥＮ 電磁雑音センサ Reference Signs List 1 electromagnetic noise measuring device 2 switch circuit group 3 base substrate 4 base substrate driving device 5 signal converter 6 control circuit 7 RAM 8 display 9 frosted glass plate 41 main base 42 X-axis driving pulse motor 47 X-axis moving table 48 Y-axis direction drive pulse motor 53 Y-axis direction movement table 61 drive pulse generation means 62 switching signal generation means 63 arithmetic means 64 display control means EN electromagnetic noise sensor
フロントページの続き (72)発明者 板垣 喜一 宮城県仙台市太白区富沢４丁目８番29号 株式会社東栄科学産業内 (72)発明者 斉藤 昇 宮城県柴田郡大河原町大谷字西原前140 −２ 大洋電子株式会社内 (72)発明者 布田 孝一 宮城県仙台市泉区七北田字念仏27番地 産電工業株式会社 泉営業所内 (72)発明者 桜田 幸雄 宮城県仙台市泉区七北田字念仏27番地 協同組合ジョイント・ラボ・仙台内 (56)参考文献 特開 平10−104294（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−304456（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−240624（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−225251（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−129058（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−82845（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−29468（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 29/08 G01R 33/02 - 33/10 Continuing from the front page (72) Inventor Kiichi Itagaki 4-8-29 Tomizawa, Taishiro-ku, Sendai-shi, Miyagi Pref. Toei Science Industry Co., Ltd. (72) Inventor Noboru Saito 140-2 Nishiharamae, Otani, Ogawara-machi, Shibata-gun, Miyagi Prefecture Taiyo Denshi Co., Ltd. (56) References JP-A-10-104294 (JP, A) JP-A-9-304456 (JP, A) JP-A 8-240624 (JP, A) JP-A 7-104 225251 (JP, A) Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-12958 (JP, A) Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-82845 (JP, A) Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-29468 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. 7 , DB name) G01R 29/08 G01R 33/02-33/10
Claims (7)
センサの挾角がほぼ９０度の角度をなすように配置され
た電磁雑音センサからなる第１行の電磁雑音センサと第
１行の電磁雑音センサに対してＹ軸方向に所定間隔隔て
て対向しかつ対向する第１行の電磁雑音センサが配置さ
れている角度とほぼ９０度の角度をなすようにＸ軸方向
に配置された電磁雑音センサからなる第２行の電磁雑音
センサとが表面に直立して設けられ、かつ被電磁雑音測
定体が載置される板状体に対向して所定距離離して設け
られるベース基板と、 第１および第２行の各電磁雑音センサから出力される誘
起電圧を順次選択的に導出するためのスイッチ手段と、 第１行の電磁雑音センサと第２行の電磁雑音センサとの
Ｙ軸方向の間隔に対応する距離に基づく距離ずつベース
基板を少なくともＹ軸方向に駆動させる駆動手段と、 駆動手段によって駆動されて該駆動前における第１行の
電磁雑音センサの位置にまで駆動されたときにおける第
２行の電磁雑音センサから導出される誘起電圧と前記駆
動前における第１行の電磁雑音センサから導出された誘
起電圧とにより、第１および第２行の電磁雑音センサの
Ｙ軸方向において互いに対向する電磁雑音センサから導
出された誘起電圧に基づいて電磁雑音レベルおよび電磁
雑音発生方向を求める演算手段と、 演算手段によって求めた電磁雑音レベルと電磁雑音発生
方向とを、電磁雑音レベルと電磁雑音発生方向の演算時
における第２行の電磁雑音センサ位置に対応する表示位
置に表示させる表示手段と、 を備えたことを特徴とする電磁雑音測定装置。1. An electromagnetic noise sensor in a first row and an electromagnetic noise sensor in a first row comprising electromagnetic noise sensors arranged so that an included angle between adjacent electromagnetic noise sensors at a predetermined interval in the X-axis direction forms an angle of about 90 degrees. Are arranged in the X-axis direction so as to face the electromagnetic noise sensor at a predetermined interval in the Y-axis direction and to form an angle of substantially 90 degrees with the angle at which the electromagnetic noise sensor of the first row facing the electromagnetic noise sensor is arranged. A second row of electromagnetic noise sensors comprising an electromagnetic noise sensor and a base substrate provided upright on the surface, and provided a predetermined distance away from the plate-like body on which the object to be measured is placed; Switch means for sequentially and selectively deriving an induced voltage output from each of the electromagnetic noise sensors in the first and second rows; and a Y-axis direction between the electromagnetic noise sensor in the first row and the electromagnetic noise sensor in the second row. Distance based on the distance corresponding to the distance of A driving means for driving the base substrate at least in the Y-axis direction, and a driving means for driving the base substrate at least in the Y-axis direction; And the induced voltage derived from the electromagnetic noise sensor in the first row before the driving, the electromagnetic noise sensors in the first and second rows are derived from the electromagnetic noise sensors facing each other in the Y-axis direction. Calculating means for obtaining an electromagnetic noise level and a direction in which the electromagnetic noise is generated based on the induced voltage; and a second line for calculating the electromagnetic noise level and the direction in which the electromagnetic noise is generated. And a display means for displaying at a display position corresponding to the position of the electromagnetic noise sensor.
て、第１行の電磁雑音センサはＸ軸方向に所定間隔隔て
て交互にほぼ１３５度の角度とほぼ４５度の角度をなす
ように配置された電磁雑音センサからなることを特徴と
する電磁雑音測定装置。2. The electromagnetic noise measuring apparatus according to claim 1, wherein the electromagnetic noise sensors in the first row are alternately arranged at predetermined intervals in the X-axis direction at an angle of approximately 135 degrees and an angle of approximately 45 degrees. An electromagnetic noise measuring device, comprising: an electromagnetic noise sensor.
て、電磁雑音センサはほぼ中央に貫通孔が設けられ、か
つ貫通孔を外部に連通させる切欠き部が設けられてほぼ
Ｃ字状に形成された一対の誘電体基板を互いの貫通孔と
切欠き部を一致させて相対向して積層し、一対の誘電体
基板のそれぞれの外表面に接地導体を各別に形成し、貫
通孔を挟んで切欠き部に対向する所定位置を始端位置と
し、Ｃ字状の一方の半周部における所定位置を終端位置
として、始端位置において接地導体を同軸ケーブルの外
導体に電気的に接続し、始端位置からＣ字状の他方の半
周部に沿い切欠き部をわたってＣ字状の一方の半周部に
沿って終端位置にまで一方の誘電体基板の内表面に特性
インピーダンスが所定値に設定されたほぼ半ターンのス
トリップ導体を形成し、終端位置においてそれぞれの接
地導体とストリップ導体とを電気的に接続し、ストリッ
プ導体の始端位置側を同軸ケーブルの内導体に電気的に
接続して、ストリップ導体と接地導体との間の誘起電圧
を取り出してスイッチ回路に導出するシールディッドル
ープコイルであることを特徴とする電磁雑音測定装置。3. The electromagnetic noise measuring device according to claim 1, wherein the electromagnetic noise sensor is formed in a substantially C-shape with a through hole provided substantially at the center and a cutout portion connecting the through hole to the outside. The paired dielectric substrates are laminated so as to face each other with the through holes and the notch portions coincident with each other, ground conductors are separately formed on the outer surfaces of the pair of dielectric substrates, and the through holes are sandwiched. A predetermined position facing the notch is defined as a starting position, a predetermined position in one half of the C-shape is defined as an end position, and a ground conductor is electrically connected to the outer conductor of the coaxial cable at the starting position. The characteristic impedance is set to a predetermined value on the inner surface of one of the dielectric substrates from the notch along the other half of the C-shape to the end position along one half of the C-shape. Forms almost half-turn strip conductor In the terminal position, each ground conductor and the strip conductor are electrically connected, and the start position side of the strip conductor is electrically connected to the inner conductor of the coaxial cable, so that an induced voltage between the strip conductor and the ground conductor is obtained. An electromagnetic noise measuring device, characterized in that the device is a shielded loop coil that takes out the lead and leads it to a switch circuit.
て、電磁雑音センサは誘電体基板の表面にほぼ１ターン
であってかつ特性インピーダンスが所定値のマイクロス
トリップ導体を形成し、マイクロストリップ導体の終端
部を誘電体基板の裏面に形成した接地導体と特性インピ
ーダンスが所定値のチップ抵抗によって電気的に接続
し、マイクロストリップ導体の始端からの誘起電圧をス
イッチ回路へ導出するマイクロストリップコイルである
ことを特徴とする電磁雑音測定装置。4. The electromagnetic noise measuring device according to claim 1, wherein the electromagnetic noise sensor forms a microstrip conductor having a predetermined value and a characteristic impedance of approximately one turn on the surface of the dielectric substrate. A microstrip coil in which the termination is electrically connected to a ground conductor formed on the back surface of the dielectric substrate by a chip resistor having a characteristic impedance of a predetermined value, and an induced voltage from the start end of the microstrip conductor is led to a switch circuit. An electromagnetic noise measuring device characterized by the above-mentioned.
て、スイッチ手段はベース基板の裏面に装着されたリレ
ーであることを特徴とする電磁雑音測定装置。5. An electromagnetic noise measuring apparatus according to claim 1, wherein said switch means is a relay mounted on a back surface of said base substrate.
て、スイッチ手段は特性インピーダンスが所定値に設定
された広帯域のメカニカルリレーであることを特徴とす
る電磁雑音測定装置。6. An electromagnetic noise measuring apparatus according to claim 1, wherein said switch means is a wide-band mechanical relay whose characteristic impedance is set to a predetermined value.
て、演算手段は一方の方向に設けられている電磁雑音セ
ンサから導出される誘起電圧をα、他方の方向に設けら
れている電磁雑音センサから導出される誘起電圧をβと
したとき、電磁雑音レベルは√（α2 ＋β2 ）の演算に
よって求め、電磁雑音発生方向はａｒｃｔａｎ（α／
β）の演算によって求める演算手段であることを特徴と
する電磁雑音測定装置。7. An electromagnetic noise measuring device according to claim 1, wherein the arithmetic means comprises an induced voltage derived from the electromagnetic noise sensor provided in one direction, α, and an electromagnetic noise sensor provided in the other direction. , The electromagnetic noise level is obtained by the calculation of √ (α 2 + β 2 ), and the electromagnetic noise generation direction is arctan (α /
An electromagnetic noise measuring device, which is a calculating means obtained by calculating β).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27095996A JP3163016B2 (en) | 1996-10-14 | 1996-10-14 | Electromagnetic noise measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27095996A JP3163016B2 (en) | 1996-10-14 | 1996-10-14 | Electromagnetic noise measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10115645A JPH10115645A (en) | 1998-05-06 |
| JP3163016B2 true JP3163016B2 (en) | 2001-05-08 |
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ID=17493414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27095996A Expired - Fee Related JP3163016B2 (en) | 1996-10-14 | 1996-10-14 | Electromagnetic noise measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3163016B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6882144B2 (en) | 2003-02-28 | 2005-04-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electromagnetic wave measuring apparatus and method |
| EP3100060A4 (en) * | 2014-01-30 | 2017-09-13 | Emscan Corporation | Scanner system and method for high-resolution spatial scanning of an electromagnetic field radiated by an electronic device under test |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020148736A (en) * | 2019-03-15 | 2020-09-17 | オムロン株式会社 | Insulation resistance monitoring device |
-
1996
- 1996-10-14 JP JP27095996A patent/JP3163016B2/en not_active Expired - Fee Related
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| EP3100060A4 (en) * | 2014-01-30 | 2017-09-13 | Emscan Corporation | Scanner system and method for high-resolution spatial scanning of an electromagnetic field radiated by an electronic device under test |
| US9880210B2 (en) | 2014-01-30 | 2018-01-30 | Emscan Corporation | Scanner system and method for high-resolution spatial scanning of an electromagnetic field radiated by an electronic device under test |
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| Publication number | Publication date |
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| JPH10115645A (en) | 1998-05-06 |
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