JP3150866B2 - Signal applying device for display panel inspection - Google Patents
Signal applying device for display panel inspectionInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶表示パネル
等のディスプレイパネルの欠陥を検査する欠陥検査装置
や、欠陥を修正する欠陥修正装置に供され、ディスプレ
イパネルの各信号入力端子へ検査用の電気信号を印加す
るディスプレイパネル検査用の信号印加装置に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a defect inspection apparatus for inspecting a defect of a display panel such as a liquid crystal display panel and a defect repair apparatus for correcting a defect. The present invention relates to a signal applying device for inspecting a display panel, which applies the electric signal of FIG.
【０００２】[0002]
【従来の技術】液晶の電気光学効果をテレビ画像に利用
した表示素子として、液晶表示パネルが提供されてい
る。この液晶表示パネルは、行列状に配列された多数の
絵素電極とそれに印加された電圧に応じて光を変調する
液晶層を備えている。近年、このような液晶表示パネル
の高品位化に伴い、各絵素電極にスイッチング素子を付
加し、このスイッチング素子を介して絵素電極に映像信
号を印加する方法が用いられている。2. Description of the Related Art Liquid crystal display panels have been provided as display elements utilizing the electro-optic effect of liquid crystal for television images. This liquid crystal display panel includes a large number of picture element electrodes arranged in a matrix and a liquid crystal layer that modulates light according to a voltage applied thereto. In recent years, with such a high-quality liquid crystal display panel, a method of adding a switching element to each picture element electrode and applying a video signal to the picture element electrode via the switching element has been used.
【０００３】ところが、スイッチング素子の製造工程は
複雑であるため、絵素不良や、走査線及び信号線の断線
或いはショート、さらにスイッチング素子不良等の各種
不良が発生し易く、この種の不良状態の検査及び解析
が、最終製品の表示品位向上を目指す上で特に重要とな
っている。不良検査の方法としては、今日、被検査体で
ある液晶表示パネルの多数の信号入力端子に、検査用の
電気信号、つまり検査信号をブローブピンを接触させて
印加する方法が主流となっている。However, since the manufacturing process of the switching element is complicated, various defects such as defective picture elements, disconnection or short circuit of scanning lines and signal lines, and defective switching elements are likely to occur. Inspection and analysis are particularly important for improving the display quality of final products. As a method of the defect inspection, a method of applying an electric signal for inspection, that is, an inspection signal to a plurality of signal input terminals of a liquid crystal display panel, which is an object to be inspected, by bringing a probe pin into contact with the signal input terminal is mainly used today.
【０００４】以下に、本発明の説明図である図２ないし
図４を参照して、プローブによる不良検査を説明する。
図２は、液晶表示パネルの点灯検査を行なうときに使用
される点灯検査装置等に供される、液晶表示パネルの信
号入力端子に検査信号を印加する検査信号印加装置の構
成図であり、ステージ３上に液晶表示パネル１が載置さ
れる。液晶表示パネル１における端部側に形成された信
号入力端子部２ａ・２ｂには、図４に示すように、複数
の信号入力端子Ｔ1 ，Ｔ2 ，…が形成されている。Hereinafter, a defect inspection using a probe will be described with reference to FIGS. 2 to 4 which are explanatory views of the present invention.
FIG. 2 is a configuration diagram of a test signal applying device for applying a test signal to a signal input terminal of the liquid crystal display panel, which is provided to a lighting test device used when performing a lighting test of the liquid crystal display panel, The liquid crystal display panel 1 is placed on the display 3. As shown in FIG. 4, a plurality of signal input terminals T 1 , T 2 ,... Are formed in the signal input terminal portions 2a and 2b formed on the end side of the liquid crystal display panel 1.
【０００５】ステージ３の上方には、ステージ３に載置
された液晶表示パネル１の信号入力端子部２ａ・２ｂと
対応する位置に、プローブ５ａ・５ｂをそれぞれ備えた
プローブ支持部材４が配されている。上記プローブ５ａ
・５ｂには、図３にも示すように、液晶表示パネル１の
信号入力端子部２ａ・２ｂに形成された個々の信号入力
端子の配列に対応した複数のプローブピンＷ1 ，Ｗ2 ，
…がそれぞれ備えられている。そして、プローブ５ａ・
５ｂには、検査信号生成回路８にて生成された検査信号
が、信号入力ピン７ａ・７ｂから、フレキシブル基板か
らなる信号入力基板６ａ・６ｂを介して入力される。A probe support member 4 having probes 5a and 5b is disposed above the stage 3 at a position corresponding to the signal input terminals 2a and 2b of the liquid crystal display panel 1 mounted on the stage 3. ing. Probe 5a
5b, as shown in FIG. 3, a plurality of probe pins W 1 , W 2 , W 2 , W 2 , corresponding to the arrangement of the individual signal input terminals formed on the signal input terminal portions 2a, 2b of the liquid crystal display panel 1.
... are provided respectively. And the probe 5a
5b, the test signal generated by the test signal generation circuit 8 is input from the signal input pins 7a and 7b via the signal input boards 6a and 6b made of a flexible board.
【０００６】上記信号入力基板６ａ・６ｂには、液晶表
示パネル１の各信号入力端子Ｔｎ（ｎ＝１，２，３，
…）に、検査信号が偶数・奇数毎にグループ化されて入
力されるように、プローブ接続用の配線パターン（以
下、プローブ接続用パターンと称する）が形成されてい
る。The signal input terminals Tn (n = 1, 2, 3, 3) of the liquid crystal display panel 1 are provided on the signal input substrates 6a and 6b.
..), A wiring pattern for probe connection (hereinafter, referred to as a probe connection pattern) is formed so that test signals are grouped and input for even and odd numbers.
【０００７】これにより、液晶表示パネル１の各信号入
力端子Ｔｎにおける奇数端子（Ｔ1，Ｔ3 ，…）・偶数
端子（Ｔ2 ，Ｔ4 ，…）毎に異なる検査信号を入力し、
点灯表示検査を行なうことで、ソースライン、或いはゲ
ートライン間の短絡を検出できる。また、奇数端子（Ｔ
1 ，Ｔ3 ，…）・偶数端子（Ｔ2 ，Ｔ4 ，…）毎に接続
し、両者間の抵抗値の測定を行なうことで液晶表示パネ
ル１における複数並列の電極間の短絡を検出することが
できる。As a result, different test signals are input to each of the odd-numbered terminals (T 1 , T 3 ,...) And even-numbered terminals (T 2 , T 4 ,...) Of each signal input terminal Tn of the liquid crystal display panel 1.
By performing the lighting display inspection, a short circuit between the source line or the gate line can be detected. In addition, odd terminals (T
1 , T 3 ,...) And even terminals (T 2 , T 4 ,...) Are connected to each other, and the resistance between them is measured to detect a short circuit between a plurality of parallel electrodes in the liquid crystal display panel 1. be able to.
【０００８】図５に、従来の検査信号印加装置におい
て、信号入力基板に形成されているプローブ接続用パタ
ーン２０を示す。プローブ接続用パターン２０は、各々
櫛型を成す奇数端子側パターン２０ａと偶数端子側パタ
ーン２０ｂとからなり、奇数端子側パターン２０ａにお
ける櫛歯部分と偶数端子側パターン２０ｂにおける櫛歯
部分のパターンピッチＰ3 は、プローブピンの信号出力
側に配される液晶表示パネルの信号入力端子の端子ピッ
チと同じピッチで形成されている。FIG. 5 shows a probe connection pattern 20 formed on a signal input board in a conventional test signal applying apparatus. The probe connection pattern 20 is composed of a comb-shaped odd-terminal-side pattern 20a and an even-terminal-side pattern 20b. Reference numeral 3 is formed at the same pitch as the terminal pitch of the signal input terminals of the liquid crystal display panel arranged on the signal output side of the probe pins.
【０００９】ところで、現在、大型液晶表示パネルが最
もよく使用されているノートタイプのパーソナルコンピ
ュータ等の製品においては、液晶モジュールサイズの縮
小、すなわち表示部以外の外周占有率の削減が要望され
ている。したがって、現在は液晶表示パネルの２辺に信
号入力端子部が形成された２辺信号入力方式が主流とな
っており、また、１辺の信号入力端子部からソース信号
及びゲート信号を入力する１辺信号入力方式も提案され
ている。このような２辺信号入力方式や１辺信号入力方
式では、必要な端子数を少ない領域に形成するため、信
号入力端子の端子ピッチが微細化される。また、表示画
面の高精細化も要望されており、現在主流のＶＧＡ（vi
deo graphics array) 方式から、Ｓ(super) −ＶＧＡ、
ＸＧＡ(extended graphics array) 方式の需要が高まっ
ている。このような方式では、何れも端子ピッチが微細
化される方向にある。その結果、５５〜７５μｍピッチ
で設計された信号入力端子に検査信号を入力するプロー
ブ技術、つまり、プローブ線径の微細化やピッチの微細
化が必要となっている。Meanwhile, in products such as notebook type personal computers in which large liquid crystal display panels are most frequently used at present, there is a demand for a reduction in the size of the liquid crystal module, that is, a reduction in the occupancy of the outer periphery other than the display portion. . Therefore, a two-sided signal input system in which signal input terminal portions are formed on two sides of a liquid crystal display panel is now mainstream, and a source signal and a gate signal are input from one side of the signal input terminal portion. An edge signal input method has also been proposed. In such a two-sided signal input method and a one-sided signal input method, the required number of terminals is formed in a small area, so that the terminal pitch of the signal input terminals is reduced. There is also a demand for higher definition display screens.
deo graphics array) method, S (super) -VGA,
The demand for the XGA (extended graphics array) system is increasing. In such systems, the terminal pitch tends to be reduced. As a result, a probe technology for inputting an inspection signal to a signal input terminal designed at a pitch of 55 to 75 μm, that is, a finer probe wire diameter and finer pitch is required.
【００１０】そこで、本願出願人は、特願平６−１４３
５３１号において、端子ピッチがプローブ作成の限界ピ
ッチよりさらに小さいピッチであってもプローブによる
パネル検査が可能な液晶表示パネルの端子構造を提案し
ている。これにおいては、液晶表示パネルにおける隣合
う信号入力端子の、プローブピンとの各コンタクト位置
を千鳥状に配することによって、別々に作成した２枚の
プローブを完成後に２段重ね等の手法で位置をずらせて
一体化している。これにより、プローブピンは千鳥状を
成し、現在のプローブ技術で充分目的のピッチをもつプ
ローブを作成できる。前述した図５に、従来のプローブ
接続用パターン２０と共に、千鳥状に配されたプローブ
ピンのコンタクト位置をＳ1 ，Ｓ2 ，…にて示す。Therefore, the applicant of the present application has filed Japanese Patent Application No. 6-143.
No. 531 proposes a terminal structure of a liquid crystal display panel capable of performing a panel inspection with a probe even if the terminal pitch is smaller than the limit pitch for producing a probe. In this case, by arranging the contact positions of the adjacent signal input terminals on the liquid crystal display panel with the probe pins in a staggered manner, after completing two separately created probes, the positions are determined by a method such as a two-stage overlap. They are shifted and integrated. As a result, the probe pins are staggered, and a probe having a sufficiently desired pitch can be formed by the current probe technology. In FIG. 5 described above, the contact positions of the probe pins arranged in a staggered manner are shown by S 1 , S 2 ,... Together with the conventional probe connection pattern 20.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のプロ
ーブの千鳥構造により、微細なピッチの信号入力端子に
プローブピンを接触させて個別に信号を入力することは
可能であるが、前述したように、検査信号生成回路から
の検査信号を信号入力ピンより信号入力基板を介してプ
ローブに入力するため、信号入力端子の端子ピッチの微
細化に伴い、信号入力基板に形成されたプローブ接続用
パターンの櫛歯部分のピッチの微細化が必要となる。By the way, according to the above-mentioned staggered structure of the probe, it is possible to input a signal individually by bringing a probe pin into contact with a signal input terminal having a fine pitch. Since the test signal from the test signal generating circuit is input to the probe from the signal input pin via the signal input board, the probe connection pattern formed on the signal input board is formed with the miniaturization of the terminal pitch of the signal input terminal. It is necessary to reduce the pitch of the comb teeth.
【００１２】しかしながら、信号入力基板として用いら
れるフレキシブル基板の現在のパターン生成技術の限界
ピッチは、液晶表示パネルの信号入力端子の限界ピッチ
より大きく、そのため、信号入力端子の端子ピッチが、
フレキシブル基板のパターン生成技術の限界ピッチ以下
になると、前述の図５のようなプローブ接続用パターン
２０では対応できないといった問題が生じてくる。However, the limit pitch of the current pattern generation technology of the flexible substrate used as the signal input substrate is larger than the limit pitch of the signal input terminals of the liquid crystal display panel.
If the pitch is smaller than the limit pitch of the flexible substrate pattern generation technology, a problem arises that the probe connection pattern 20 as shown in FIG.
【００１３】つまり、端子ピッチが広い液晶表示パネル
に対しては、フレキシブル基板上に、プローブピッチに
対応した並列パターンを形成することで対応できるが、
微細化され、信号入力端子の端子ピッチが例えば１００
μｍの液晶表示パネルでは、現在のフレキシブル基板の
パターン生成技術の限界ピッチが１５０μｍであるた
め、信号入力基板にプローブピッチに対応した並列パタ
ーンを形成することができないわけである。That is, a liquid crystal display panel having a wide terminal pitch can be handled by forming a parallel pattern corresponding to the probe pitch on a flexible substrate.
It is miniaturized, and the terminal pitch of the signal input terminals is 100, for example.
In a liquid crystal display panel of μm, the limit pitch of the current flexible substrate pattern generation technology is 150 μm, so that a parallel pattern corresponding to the probe pitch cannot be formed on the signal input substrate.
【００１４】また、仮に現在の技術で製作可能な限界ピ
ッチで並列パターンを生成できたとしても、パターン幅
が極めて狭くなるため、今度はプローブとの位置合わせ
が困難となり、信号入力基板としての信頼性低下が招来
されることとなる。Even if a parallel pattern can be generated at the limit pitch that can be manufactured by the current technology, the pattern width becomes extremely narrow, so that it becomes difficult to align the probe with the probe, and the reliability as a signal input board is reduced. This will lead to a drop in sex.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
ディスプレイパネル検査用の信号印加装置は、上記の課
題を解決するために、検査信号生成手段にて生成された
ディスプレイパネル検査用の電気信号を、ディスプレイ
パネルの各信号入力端子に、各信号入力端子それぞれに
接触する複数の針状部材を介して印加するもので、上記
の複数の針状部材は千鳥状に配列されている一方、複数
の針状部材の信号入力側には、櫛歯状を成す配線パター
ンが形成された信号入力基板が配されており、この信号
入力基板に形成された配線パターンは、櫛歯部分が針状
部材の他方に配される上記信号入力端子の端子方向に対
して傾きを有し、一本の櫛歯部分が同じ信号を印加すべ
き複数本の針状部材を結んでいることを特徴としてい
る。According to a first aspect of the present invention, there is provided a signal applying apparatus for inspecting a display panel, wherein the signal applying apparatus for inspecting a display panel generated by an inspection signal generating means is provided. An electric signal is applied to each signal input terminal of the display panel through a plurality of needle-shaped members that are in contact with each of the signal input terminals, and the plurality of needle-shaped members are arranged in a staggered manner. On the signal input side of the plurality of needle-shaped members, a signal input board on which a comb- shaped wiring pattern is formed is disposed, and the wiring pattern formed on the signal input board has The signal input terminal disposed on the other side of the member has an inclination with respect to the terminal direction, and one comb tooth portion connects a plurality of needle members to which the same signal is to be applied. I have.
【００１６】本発明の請求項２記載のディスプレイパネ
ル検査用の信号印加装置は、上記の課題を解決するため
に、請求項１の構成において、上記信号入力基板に形成
された配線パターンは、奇数番目の針状部材に信号を入
力する櫛歯部分同士、及び偶数番目の針状部材に信号を
入力する櫛歯部分同士がそれぞれ結ばれていることを特
徴としている。According to a second aspect of the present invention, there is provided a signal applying apparatus for inspecting a display panel, wherein the wiring pattern formed on the signal input substrate is an odd number in the configuration of the first aspect. It is characterized in that the comb-tooth portions for inputting a signal to the third needle-shaped member and the comb-tooth portions for inputting the signal to the even-numbered needle-shaped members are connected to each other.
【００１７】[0017]
【作用】請求項１の構成によれば、信号入力基板に設け
られた櫛歯状を成す配線パターンは、櫛歯部分が針状部
材の他方に配されるディスプレイパネルの信号入力端子
の端子方向に対して傾きを有し、一本の櫛歯部分が同じ
信号を印加すべき複数本の針状部材を結ぶように形成さ
れているので、従来の、個々の針状部材に対して一本の
櫛歯部分が形成されていた配線パターンに比べて、同じ
信号を印加すべき複数の針状部材に対して一本の櫛歯部
分にて対応でき、櫛歯部分のパターンピッチを大きくと
れ、それに伴いパターン幅も太くとれる。According to the first aspect of the present invention, the comb-shaped wiring pattern provided on the signal input board has a terminal direction of the signal input terminal of the display panel in which the comb-shaped portion is arranged on the other of the needle-shaped members. , And one comb tooth portion is formed so as to connect a plurality of needle-shaped members to which the same signal is to be applied. In comparison with the wiring pattern in which the comb-tooth portion was formed, a single comb-tooth portion can cope with a plurality of needle-like members to which the same signal is to be applied, and the pattern pitch of the comb-tooth portion can be increased. Accordingly, the pattern width can be made large.
【００１８】そのため、ディスプレイパネルの信号入力
端子の端子ピッチが、信号入力基板を構成する例えばフ
レキシブル基板に配線パターンをパターニングする際の
限界ピッチより小さいピッチであったとしても、現在の
フレキシブル基板へのパターニング技術を用いて、複数
の針状部材の個々に所望の信号を入力できることとな
る。例えば請求項２に記載のように、奇数番目の針状部
材に信号を入力する櫛歯部分同士、及び偶数番目の針状
部材に信号を入力する櫛歯部分同士をそれぞれ結んだ構
成とし、ディスプレイパネルの信号入力端子を奇数番目
と偶数番目とに電気的に組分けすることで、ディスプレ
イパネルのソースライン、或いはゲートライン間の短絡
の検出や、複数並列の電極間の短絡を検出することがで
きる。Therefore, even if the terminal pitch of the signal input terminals of the display panel is smaller than the limit pitch at the time of patterning the wiring pattern on the flexible substrate constituting the signal input substrate, for example, the present flexible substrate is A desired signal can be input to each of the plurality of needle-shaped members by using the patterning technique. For example, as described in claim 2, the display device has a configuration in which comb-tooth portions for inputting signals to odd-numbered needle-shaped members and comb-tooth portions for inputting signals to even-numbered needle-shaped members are connected to each other. By electrically dividing the signal input terminals of the panel into odd-numbered and even-numbered ones, it is possible to detect a short circuit between a source line or a gate line of a display panel and a short circuit between a plurality of parallel electrodes. it can.
【００１９】また、パターン幅を太くすることができる
ので、プローブとの位置合わせを容易にし、信号入力基
板としての信頼性が向上する。Further, since the pattern width can be increased, the alignment with the probe is facilitated, and the reliability as a signal input substrate is improved.
【００２０】[0020]
【実施例】本発明の一実施例を図１ないし図４を用いて
説明すれば、以下の通りである。本実施例に係る液晶表
示パネルの検査信号印加装置は、液晶表示パネル（ディ
スプレイパネル）の点灯表示検査を行なうときに使用さ
れる点灯検査装置等に供されるもので、図２に示すよう
に、液晶表示パネル１を載置するステージ３を備えてい
る。液晶表示パネル１における端部側に形成された信号
入力端子部２ａ・２ｂには、図４に示すように、互いに
平行に併置された複数本の短冊状の信号入力端子Ｔ1 ，
Ｔ2 ，…がそれぞれ形成されている。本実施例における
液晶表示パネル１は各信号入力端子Ｔｎ（ｎ＝１，２，
３，…）が微細化されたものであり、各信号入力端子Ｔ
ｎの端子ピッチＰ1 は、僅か１００μｍである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. The inspection signal application device for a liquid crystal display panel according to the present embodiment is provided for a lighting inspection device or the like used when performing a lighting display inspection of a liquid crystal display panel (display panel), as shown in FIG. And a stage 3 on which the liquid crystal display panel 1 is mounted. As shown in FIG. 4, a plurality of strip-like signal input terminals T 1 , T 1 , and T 2 , which are arranged in parallel with each other, are provided on signal input terminal portions 2 a and 2 b formed on the end side of the liquid crystal display panel 1.
T 2 ,... Are respectively formed. The liquid crystal display panel 1 according to the present embodiment has each signal input terminal Tn (n = 1, 2, 2).
, ...) are miniaturized, and each signal input terminal T
terminal pitch P 1 of n is only 100 [mu] m.
【００２１】上記ステージ３の上方には、図２に示すよ
うに、プローブ支持部材４が配されている。プローブ支
持部材４には、ステージ３に載置された液晶表示パネル
１の信号入力端子部２ａ・２ｂと対応する位置に、プロ
ーブ５ａ・５ｂが備えられている。そして、これらプロ
ーブ５ａ・５ｂには、液晶表示パネル１の信号入力端子
部２ａ・２ｂにそれぞれ形成された各信号入力端子Ｔｎ
の配列に対応したプローブピン（針状部材）Ｗ1 ，
Ｗ2 ，…がそれぞれ備えられている。Above the stage 3, a probe support member 4 is arranged as shown in FIG. The probe support member 4 is provided with probes 5a and 5b at positions corresponding to the signal input terminals 2a and 2b of the liquid crystal display panel 1 mounted on the stage 3. Each of the probes 5a and 5b has a signal input terminal Tn formed on each of the signal input terminals 2a and 2b of the liquid crystal display panel 1.
Probe pins (needle-shaped members) W 1 ,
W 2 ,... Are provided respectively.
【００２２】各プローブピンＷｎ（ｎ＝１，２，３，
…）は、図４にプローブピンＷｎと信号入力端子Ｔｎと
のコンタクト位置をＳ1 ，Ｓ2 ，…で示すように、同一
直線上に一列に配列されたものではなく、３段の千鳥状
に配列されている。このようなプローブ構成は、別々に
作成した３枚のプローブ部材を完成後に３段重ね等の手
法で位置をずらせて一体化することで得られる。このよ
うな千鳥構造とすることで、各プローブピンＷｎのピン
間隔であるプローブピッチも、プローブ部材としての作
製限界を超えた１００μｍとなっており、液晶表示パネ
ル１の各信号入力端子Ｔｎ（端子ピッチ１００μｍ）に
信号を入力し得るようになっている。Each probe pin Wn (n = 1, 2, 3,
..) Are not arranged in a line on the same straight line as the contact positions of the probe pins Wn and the signal input terminals Tn as S 1 , S 2 ,. Are arranged. Such a probe configuration can be obtained by integrating three probe members that have been separately prepared by shifting their positions by a method such as three-tiering after completion. With such a staggered structure, the probe pitch, which is the pin interval between the probe pins Wn, is 100 μm, which exceeds the manufacturing limit as a probe member, and each signal input terminal Tn (terminal A signal can be input at a pitch of 100 μm).
【００２３】また、検査信号印加装置には、検査信号を
生成するための検査信号生成回路（検査信号生成手段）
８が搭載されており、この検査信号生成回路８にて生成
された検査信号（電気信号）が、図３にも示すように、
プローブ５ａ・５ｂに、信号入力ピン７ａ・７ｂ、及び
信号入力基板６ａ・６ｂを介して入力されるようになっ
ている。The test signal applying device includes a test signal generating circuit (test signal generating means) for generating a test signal.
The inspection signal (electric signal) generated by the inspection signal generation circuit 8 is provided as shown in FIG.
The signals are input to the probes 5a and 5b via the signal input pins 7a and 7b and the signal input boards 6a and 6b.
【００２４】上記信号入力基板６ａ・６ｂは、フレキシ
ブル基板等からなり、液晶表示パネル１における各信号
入力端子Ｔｎが電気的にグループ化、例えば奇数端子
（Ｔ1，Ｔ3 ，…）・偶数端子（Ｔ2 ，Ｔ4 ，…）毎に
検査信号を入力するように、図１に示すような各々櫛歯
型を成す奇数端子側パターン９ａと偶数端子側パターン
９ｂとからなるプローブ接続用パターン９が形成されて
いる。The signal input substrates 6a and 6b are made of a flexible substrate or the like, and each signal input terminal Tn in the liquid crystal display panel 1 is electrically grouped, for example, odd terminals (T 1 , T 3 ,...) And even terminals. A probe connection pattern 9 composed of an odd-numbered terminal-side pattern 9a and an even-numbered terminal-side pattern 9b, each having a comb shape as shown in FIG. 1, so that a test signal is input for each (T 2 , T 4 ,...). Are formed.
【００２５】これら奇数端子側パターン９ａ及び偶数端
子側パターン９ｂにおける櫛歯部分は、液晶表示パネル
１における各信号入力端子Ｔｎの端子方向に対して斜め
に傾きを持たせて、同じ信号を印加すべき３つのプロー
ブピンを一本の櫛歯部分のパターンにて結んでいる。The comb-like portions of the odd-numbered terminal side pattern 9a and the even-numbered terminal side pattern 9b are inclined with respect to the terminal direction of each signal input terminal Tn in the liquid crystal display panel 1 to apply the same signal. Three probe pins to be connected are connected in a pattern of a single comb tooth portion.
【００２６】図５に示すように、従来のプローブ接続用
パターン２０は、奇数端子側パターン２０ａ及び偶数端
子側パターン２０ｂの各櫛歯部分が、液晶表示パネルの
信号入力端子の端子ピッチと同じピッチで信号入力端子
と平行に並列して形成された構成であった。そのため、
本実施例の液晶表示パネル１のように微細な信号入力端
子Ｔｎに応じてパターニングしようとすると、櫛歯部分
をピッチ１００μｍで形成しなければならないが、１０
０μｍは現在のフレキシブル基板へのパターニングの限
界ピッチ１５０μｍを超えているため、作製できなかっ
た。As shown in FIG. 5, in the conventional probe connection pattern 20, the odd-numbered terminal side pattern 20a and the even-numbered terminal side pattern 20b have the same pitch as the terminal pitch of the signal input terminals of the liquid crystal display panel. , And formed in parallel with the signal input terminal. for that reason,
When the patterning is performed in accordance with the fine signal input terminal Tn as in the liquid crystal display panel 1 of the present embodiment, the comb-tooth portions must be formed at a pitch of 100 μm.
Since 0 μm exceeded the current limit pitch of 150 μm for patterning on a flexible substrate, it could not be produced.
【００２７】これに対し、本実施例のプローブ接続用パ
ターン９は、上述したように櫛歯部分を信号入力端子Ｔ
ｎの端子方向に対して斜めに形成し、一本の櫛歯部分の
パターンで、三本のプローブピンＷｎを結んで信号を入
力させている。したがって、奇数端子側パターン９ａ及
び偶数端子側パターン９ｂの各櫛歯部分のパターンピッ
チＰ2 を液晶表示パネル１における信号入力端子Ｔｎの
端子ピッチＰ1 よりも大きくとることが可能となってい
る。On the other hand, in the probe connection pattern 9 of the present embodiment, as described above, the comb-tooth portion is connected to the signal input terminal T.
The signal is formed obliquely to the terminal direction of n, and a signal is inputted by connecting three probe pins Wn in a pattern of one comb tooth portion. Therefore, it is possible to take a pattern pitch P 2 of the tooth portions of the odd-terminal side pattern 9a and the even terminal side pattern 9b greater than the terminal pitch P 1 of the signal input terminal Tn of the liquid crystal display panel 1.
【００２８】本実施例の検査信号印加装置で採用されて
いる信号入力基板６ａ・６ｂのプローブ接続用パターン
９における設計数値を具体的に挙げると、液晶表示パネ
ル１の信号入力端子Ｔｎの端子ピッチは１００μｍ、こ
れに伴い千鳥構造のプローブ５ａ・５ｂのプローブピン
Ｗｎのプローブピッチも１００μｍで、端子長手方向の
ピッチが５００μｍである場合、プローブ接続用パター
ン９における櫛歯部分は、信号入力端子Ｔｎの端子方向
と直角をなす方向に対して６８．２°の傾きを持たせて
形成されている。これにより、奇数端子側パターン９ａ
及び偶数端子側パターン９ｂの各櫛歯部分のパターンピ
ッチＰ2 は、現在のパターン生成技術で問題なく製作で
きる２７９μｍとなっている。The design numerical values in the probe connection pattern 9 of the signal input substrates 6a and 6b employed in the test signal applying apparatus of the present embodiment are specifically described as follows: The terminal pitch of the signal input terminals Tn of the liquid crystal display panel 1 Is 100 μm. Accordingly, when the probe pitch of the probe pins Wn of the staggered structure probes 5 a and 5 b is also 100 μm and the pitch in the terminal longitudinal direction is 500 μm, the comb-tooth portion in the probe connection pattern 9 has the signal input terminal Tn Is formed so as to have an inclination of 68.2 ° with respect to a direction perpendicular to the terminal direction. Thereby, the odd-numbered terminal side pattern 9a
And the pattern pitch P 2 of the tooth portions of the even terminal side pattern 9b has a 279μm which can be manufactured without problems current pattern generation technique.
【００２９】上記構成の検査信号印加装置においては、
ソースライン、或いはゲートライン間の短絡を検出する
には、液晶表示パネル１の各信号入力端子Ｔｎにおける
奇数端子（Ｔ1 ，Ｔ3 ，…）・偶数端子（Ｔ2 ，Ｔ4 ，
…）毎に異なる検査信号が入力されるように、検査信号
生成回路８にて検査信号を生成し、その信号を信号入力
ピン７ａ・７ｂ及び信号入力基板６ａ・６ｂを介してプ
ローブ５ａ・５ｂの各プローブピンＷｎに印加して液晶
表示パネル１の各信号入力端子Ｔｎに信号入力し、点灯
表示検査を行なうことで検出できる。In the inspection signal applying device having the above configuration,
In order to detect a short circuit between a source line or a gate line, the odd terminals (T 1 , T 3 ,...) And the even terminals (T 2 , T 4 ,...) Of each signal input terminal Tn of the liquid crystal display panel 1 are detected.
...), A test signal is generated by the test signal generation circuit 8 and the signals are transmitted to the probes 5a and 5b via the signal input pins 7a and 7b and the signal input substrates 6a and 6b so that different test signals are input for each of the test signals. The signal can be detected by applying a signal to each signal input terminal Tn of the liquid crystal display panel 1 by applying a voltage to each probe pin Wn.
【００３０】また、奇数端子（Ｔ1 ，Ｔ3 ，…）・偶数
端子（Ｔ2 ，Ｔ4 ，…）毎に接続し、両者間の抵抗値の
測定を行なうことで液晶表示パネル１における複数並列
の電極間の短絡を検出することができる。Further, by connecting each odd-numbered terminal (T 1 , T 3 ,...) And even-numbered terminal (T 2 , T 4 ,. A short circuit between the parallel electrodes can be detected.
【００３１】以上のように、本実施例においては、信号
入力基板６ａ・６ｂに設けられた櫛歯状を成すプローブ
接続用パターン９は、奇数端子側パターン９ａ及び偶数
端子側パターン９ｂにおける櫛歯部分がプローブピンＷ
ｎの他方に配される液晶表示パネル１の信号入力端子Ｔ
ｎの端子方向に対して傾きを有し、一本の櫛歯部分が同
じ信号を印加すべき三本のプローブピンＷｎを結ぶよう
に形成されているので、従来の、個々のプローブピンＷ
ｎに対して一本の櫛歯部分が形成されていたプローブ接
続用パターンに比べて、同じ信号を印加すべき複数のプ
ローブピンＷｎに対して一本の櫛歯部分にて対応でき、
櫛歯部分のパターンピッチＰ2 を大きくとれる。As described above, in this embodiment, the comb-like probe connection patterns 9 provided on the signal input boards 6a and 6b are the comb-tooth-like patterns in the odd-numbered terminal side pattern 9a and the even-numbered terminal side pattern 9b. Part is probe pin W
n signal input terminal T of the liquid crystal display panel 1
n has a slope with respect to the terminal direction, and one comb tooth portion is formed so as to connect three probe pins Wn to which the same signal is to be applied.
As compared with the probe connection pattern in which one comb tooth portion is formed for n, a single comb tooth portion can cope with a plurality of probe pins Wn to which the same signal is to be applied,
Made large pattern pitch P 2 of the tooth portions.
【００３２】したがって、液晶表示パネル１の各信号入
力端子Ｔｎの端子ピッチＰ1 が、フレキシブル基板に配
線パターンをパターニングする際の限界ピッチより小さ
いピッチであったとしても、現在のフレキシブル基板へ
のパターニング技術を用いて、複数のプローブピンＷｎ
の個々に所望の信号を入力できる信号入力基板６ａ・６
ｂを構成でき、このような検査信号印加装置を点灯検査
装置や欠陥修正装置に搭載することで、微細化された液
晶表示パネル１に対する検査や修正が可能となる。尚、
本実施例ではプローブ５ａ・５ｂを３段の千鳥構造とし
たが、もちろん２段或いはそれ以外の段数でも可能であ
る。[0032] Thus, the patterning of the terminal pitch P 1 of each signal input terminal Tn of the liquid crystal display panel 1, even though a smaller pitch than the limit pitch for patterning the wiring pattern on the flexible substrate, the current of the flexible substrate Using a plurality of probe pins Wn
Signal input boards 6a and 6 that can individually input desired signals
b can be configured, and by mounting such an inspection signal applying device in a lighting inspection device or a defect repair device, inspection and repair of the miniaturized liquid crystal display panel 1 can be performed. still,
In this embodiment, the probes 5a and 5b have a three-stage staggered structure. However, two or other stages may be used.
【００３３】また、例えば信号入力端子の端子ピッチが
１５０μｍの液晶表示パネルについて考えてみると、確
かに、液晶表示パネルの端子ピッチが１５０μｍの場合
は、現在のフレキシブル基板へのパターニング技術で、
従来の図５に示したプローブ接続用パターン２０を形成
できる。Considering, for example, a liquid crystal display panel in which the terminal pitch of signal input terminals is 150 μm, it is true that when the terminal pitch of the liquid crystal display panel is 150 μm, the patterning technology for the current flexible substrate is used.
The conventional probe connection pattern 20 shown in FIG. 5 can be formed.
【００３４】しかしながら、その場合、パターン幅をパ
ターンピッチの１／２とした場合、７５μｍとなってし
まいプローブピンとの位置合わせが困難となる。このよ
うな場合も、本発明の構成を採用し、プローブピンの端
子長手方向のピッチが５００μｍの場合、プローブ接続
用パターンにおける櫛歯部分は、信号入力端子の端子方
向と直角をなす方向に対して５９．０°の傾きを持たせ
て形成することで、奇数端子側パターン及び偶数端子側
パターンの各櫛歯部分のパターンピッチは３８６μｍ、
パターン幅は１９３μｍとなり、信号入力基板としての
信頼性を向上できる。However, in this case, if the pattern width is set to の of the pattern pitch, the pattern width becomes 75 μm, which makes it difficult to align with the probe pins. Even in such a case, when the configuration of the present invention is adopted and the pitch of the probe pins in the terminal longitudinal direction is 500 μm, the comb-tooth portion in the probe connection pattern is perpendicular to the terminal direction of the signal input terminal. The odd-terminal-side pattern and the even-terminal-side pattern have a pattern pitch of 386 μm,
The pattern width becomes 193 μm, and the reliability as a signal input substrate can be improved.
【００３５】[0035]
【発明の効果】本発明の請求項１記載のディスプレイパ
ネル検査用の信号印加装置は、以上のように、検査信号
生成手段にて生成されたディスプレイパネル検査用の電
気信号を、ディスプレイパネルの各信号入力端子に、各
信号入力端子それぞれに接触する複数の針状部材を介し
て印加するもので、上記の複数の針状部材は千鳥状に配
列されている一方、複数の針状部材の信号入力側には、
櫛歯状を成す配線パターンが形成された信号入力基板が
配されており、この信号入力基板に形成された配線パタ
ーンは、櫛歯部分が針状部材の他方に配される上記信号
入力端子の端子方向に対して傾きを有し、一本の櫛歯部
分が同じ信号を印加すべき複数本の針状部材を結んでい
る構成である。According to the first aspect of the present invention, as described above, the display panel inspection signal applying apparatus converts the display panel inspection electrical signal generated by the inspection signal generation means into each of the display panels. The signal input terminal is applied through a plurality of needle-shaped members that are in contact with each of the signal input terminals. The plurality of needle-shaped members are arranged in a staggered manner, while the signals of the plurality of needle-shaped members are arranged. On the input side ,
A signal input board on which a comb- shaped wiring pattern is formed is provided, and the wiring pattern formed on the signal input board has a comb-shaped portion of the signal input terminal on which the comb-shaped portion is provided on the other of the needle-shaped members. In this configuration, the plurality of needle-shaped members are inclined with respect to the terminal direction, and one comb-tooth portion connects a plurality of needle-shaped members to which the same signal is to be applied.
【００３６】また、請求項２記載のディスプレイパネル
検査用の信号印加装置は、以上のように、請求項１の構
成において、上記信号入力基板に形成された配線パター
ンは、奇数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部分同
士、及び偶数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部分
同士がそれぞれ結ばれている構成である。According to a second aspect of the present invention, in the signal applying device for inspecting a display panel according to the first aspect of the present invention, the wiring pattern formed on the signal input board is an odd-numbered needle-shaped member. In this configuration, the comb-tooth portions for inputting a signal to each other and the comb-tooth portions for inputting a signal to an even-numbered needle-shaped member are connected to each other.
【００３７】これによれば、従来の、個々の針状部材に
対して一本の櫛歯部分が形成されていた配線パターンに
比べて、同じ信号を印加すべき複数の針状部材に対して
一本の櫛歯部分にて対応できるので、櫛歯部分のパター
ンピッチを大きくとれ、これに伴いパターン幅も太くと
れる。According to this, compared to the conventional wiring pattern in which one comb-shaped portion is formed for each needle-shaped member, the same signal is applied to a plurality of needle-shaped members to which the same signal is to be applied. Since a single comb-tooth portion can be used, the pattern pitch of the comb-tooth portion can be increased, and accordingly, the pattern width can be increased.
【００３８】したがって、ディスプレイパネルの信号入
力端子の端子ピッチが、信号入力基板を構成する例えば
フレキシブル基板に配線パターンをパターニングする際
の限界ピッチより小さいピッチであったとしても、現在
のフレキシブル基板へのパターニング技術を用いて、複
数の針状部材の個々に所望の信号を入力できる。また、
パターン幅を太くすることができるので、プローブとの
位置合わせを容易にし、信号入力基板としての信頼性を
向上させることができる。Therefore, even if the terminal pitch of the signal input terminals of the display panel is smaller than the limit pitch at the time of patterning the wiring pattern on the flexible substrate constituting the signal input substrate, for example, the current flexible substrate is not A desired signal can be input to each of the plurality of needle-shaped members by using the patterning technique. Also,
Since the pattern width can be increased, the alignment with the probe can be facilitated, and the reliability as a signal input substrate can be improved.
【００３９】そしてこの場合、例えば請求項２に記載の
ように、奇数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部分
同士、及び偶数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部
分同士をそれぞれ結んだ構成とし、ディスプレイパネル
の信号入力端子を奇数番目と偶数番目とに電気的に組分
けすることで、ディスプレイパネルのソースライン、或
いはゲートライン間の短絡の検出や、複数並列の電極間
の短絡を検出することができる。In this case, for example, the comb-tooth portions for inputting signals to the odd-numbered needle-like members and the comb-tooth portions for inputting signals to the even-numbered needle-like members are connected to each other. By connecting the signal input terminals of the display panel electrically to odd-numbered and even-numbered ones, it is possible to detect short-circuits between the source lines or gate lines of the display panel and to connect multiple parallel electrodes. Can be detected.
【００４０】これらの結果、このようなディスプレイパ
ネルの検査信号印加装置を搭載することで、今後さらに
微細化されるディスプレイパネルの検査を充分に、かつ
正確に行ない得る欠陥検査装置や欠陥修正装置を提供で
きるという効果を奏する。As a result, by mounting such a display panel inspection signal applying apparatus, a defect inspection apparatus and a defect repair apparatus capable of sufficiently and accurately inspecting a display panel, which will be further miniaturized in the future, can be provided. It has the effect that it can be provided.
【図１】本発明の一実施例を示すもので、検査信号印加
装置に供される信号入力基板に形成されたプローブ接続
用パターンを示す説明図である。FIG. 1, showing an embodiment of the present invention, is an explanatory view showing a probe connection pattern formed on a signal input substrate provided for an inspection signal applying device.
【図２】液晶表示パネルの点灯表示検査を行なう際に用
いられる検査信号印加装置の概略の構成を示す斜視図で
ある。FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of an inspection signal application device used when performing a lighting display inspection of a liquid crystal display panel.
【図３】上記検査信号印加装置における、信号入力ピン
と、信号入力基板と、プローブと、液晶表示パネルとの
接続関係を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a connection relationship among a signal input pin, a signal input board, a probe, and a liquid crystal display panel in the test signal applying device.
【図４】液晶表示パネルの信号入力端子部に形成された
複数の信号入力端子と、各信号入力端子におけるプロー
ブピンの接触位置を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a plurality of signal input terminals formed in a signal input terminal portion of a liquid crystal display panel and contact positions of probe pins in each signal input terminal.
【図５】従来技術を示すもので、検査信号印加装置に供
される信号入力基板に形成された従来のプローブ接続用
パターンを示す説明図である。FIG. 5 is a view showing a conventional technique, and is an explanatory view showing a conventional probe connection pattern formed on a signal input substrate provided to an inspection signal applying device.
１ 液晶表示パネル（ディスプレイパネル） ２ａ 信号入力端子部 ２ｂ 信号入力端子部 ５ａ プローブ ５ｂ プローブ ６ａ 信号入力基板 ６ｂ 信号入力基板 ７ａ 信号入力ピン ７ｂ 信号入力ピン ８ 検査信号生成回路（検査信号生成手段） Ｔｎ 信号入力端子 Ｗｎ プローブピン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal display panel (display panel) 2a Signal input terminal part 2b Signal input terminal part 5a Probe 5b Probe 6a Signal input board 6b Signal input board 7a Signal input pin 7b Signal input pin 8 Test signal generation circuit (test signal generation means) Tn Signal input terminal Wn Probe pin
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴田 和宏 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (72)発明者 中沢 清 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (56)参考文献 特開 平８−6057（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 31/00 G01R 1/06 G02F 1/13 G02F 1/136 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kazuhiro Shibata 22-22, Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (72) Inventor Kiyoshi Nakazawa 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Sharp Corporation (56) References JP-A-8-6057 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01R 31/00 G01R 1/06 G02F 1/13 G02F 1/136
Claims (2)
レイパネル検査用の電気信号を、ディスプレイパネルの
各信号入力端子に、各信号入力端子それぞれに接触する
複数の針状部材を介して印加するもので、 上記の複数の針状部材は千鳥状に配列されている一方、 複数の針状部材の信号入力側には、櫛歯状を成す配線パ
ターンが形成された信号入力基板が配されており、 この信号入力基板に形成された配線パターンは、櫛歯部
分が針状部材の他方に配される上記信号入力端子の端子
方向に対して傾きを有し、一本の櫛歯部分が同じ信号を
印加すべき複数本の針状部材を結んでいることを特徴と
するディスプレイパネル検査用の信号印加装置。An electric signal for display panel inspection generated by an inspection signal generating means is applied to each signal input terminal of the display panel via a plurality of needle-shaped members which come into contact with each signal input terminal. The plurality of needle-shaped members are arranged in a staggered manner, while the signal input side of the plurality of needle-shaped members is provided with a signal input board on which a comb- shaped wiring pattern is formed. The wiring pattern formed on the signal input board has a comb-tooth portion inclined with respect to the terminal direction of the signal input terminal provided on the other of the needle-like members, and one comb-tooth portion is the same. A signal applying device for inspecting a display panel, wherein a plurality of needle-shaped members to which a signal is to be applied are connected.
ンは、奇数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部分同
士、及び偶数番目の針状部材に信号を入力する櫛歯部分
同士がそれぞれ結ばれていることを特徴とする上記請求
項１記載のディスプレイパネル検査用の信号印加装置。2. The wiring pattern formed on the signal input substrate includes a plurality of comb-shaped portions for inputting signals to odd-numbered needle-shaped members and a plurality of comb-shaped portions for inputting signals to even-numbered needle-shaped members. The signal applying device for inspecting a display panel according to claim 1, wherein the signal applying device is connected to each other.
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