JP3134102U - Bottle cap - Google Patents
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Abstract
【課題】余った原料を原料ボトル内へ回収して使用することができるボトル用キャップを提供すること。
【解決手段】原料ボトルの口を閉鎖するキャップ本体11に、圧力供給源に接続可能な加圧ジョイント111と、原料ボトル内の原料を取り出す原料供給ジョイント112と、原料ボトルへ原料を回収する原料回収ジョイント113とを設けてある。加圧ジョイント111、原料供給ジョイント112、及び、原料回収ジョイント113を高圧管ジョイントとし、原料回収ジョイント113に、その流路を開閉する手動又は電動のバルブを設けても良い。
【選択図】図3An object of the present invention is to provide a bottle cap that can recover and use surplus raw material in a raw material bottle.
A cap body that closes a mouth of a raw material bottle, a pressure joint that can be connected to a pressure supply source, a raw material supply joint that takes out the raw material in the raw material bottle, and a raw material that recovers the raw material into the raw material bottle. A recovery joint 113 is provided. The pressure joint 111, the material supply joint 112, and the material recovery joint 113 may be high-pressure pipe joints, and the material recovery joint 113 may be provided with a manual or electric valve that opens and closes the flow path.
[Selection] Figure 3
Description
本考案は、化学薬品等を収納した原料ボトルの口を封止するのに好適なボトル用キャップに関する。 The present invention relates to a bottle cap suitable for sealing a mouth of a raw material bottle containing a chemical or the like.
半導体集積回路、TFT−LCD等の製造過程において、露光現像、エッチングを行って回路を形成する技術が知られている。
この技術を説明すると、まず、ウェハ或いはガラス基板上に設けた絶縁層又は導電層上に、ポリマー樹脂、感光化合物、溶剤を含んだフォトレジスト剤を予め定めた図案に沿って塗布する。
次いで、フォトレジスト剤を塗布したウェハ又はガラス基板を加熱ベーキングして溶剤を蒸発させた後、紫外線、電子線、X線等の光線に露出させ、露光後の基板をさらにベーキングして、ウェハ又はガラス基板上に現像された図案を形成する。
さらに、現像したウェア又はガラス基板にエッチングを施して、フォトレジスト剤が塗布されていない部分の絶縁層又は導線層を除去し、残ったフォトレジスト剤を取り除くと、ウェハ或いはガラス基板上に図案が移しこまれる。
A technique for forming a circuit by performing exposure development and etching in the manufacturing process of a semiconductor integrated circuit, a TFT-LCD, or the like is known.
To explain this technique, first, a photoresist agent containing a polymer resin, a photosensitive compound, and a solvent is applied along a predetermined design on an insulating layer or a conductive layer provided on a wafer or a glass substrate.
Next, the wafer or glass substrate coated with the photoresist agent is heated and baked to evaporate the solvent, and then exposed to light rays such as ultraviolet rays, electron beams, and X-rays, and the exposed substrate is further baked to obtain the wafer or A developed pattern is formed on a glass substrate.
Further, the developed wear or glass substrate is etched to remove the insulating layer or the conductor layer where the photoresist agent is not applied, and when the remaining photoresist agent is removed, the design on the wafer or glass substrate is removed. Moved in.
このような製造工程では、ボトルに収納されたフォトレジスト剤を、供給路を通して塗布装置へ供給しなければならない。また、フォトレジスト内の気泡を除去するための薬品を、供給路を介してボトルから塗布装置へ供給することもある。
従来の原料供給路では、図1に示すように、原料ボトル10に第1管路61及び第2管路62が接続されている。第1管路61は不活性ガス(例えば窒素)供給源に連結され、第2管路62は、原料貯蔵部20、ポンプ30及び生産加工装置(塗布装置)40に順次連結されている。
In such a manufacturing process, the photoresist agent stored in the bottle must be supplied to the coating apparatus through the supply path. In addition, a chemical for removing bubbles in the photoresist may be supplied from the bottle to the coating device via the supply path.
In the conventional raw material supply path, as shown in FIG. 1, a
また、図2に示すように、原料ボトル10の口を閉鎖するキャップ本体11には、第1管路61を接続するための加圧ジョイント111と、第2管路62を接続するための原料供給ジョイント112が設けられている。
原料貯蔵部20には、第2管路62内の空気を排出するための排気管21が接続され、第1管路61を通して原料ボトル10へ不活性ガスを送り込み、原料ボトル10内の圧力が高まると、第2管路62内の空気が排気管21を通して排出されて、第2管路62は原料ボトル10から送り出された原料(フォトレジスト剤、或いは、フォトレジスト内の気泡を除去する薬品)で充満する。
As shown in FIG. 2, a
An
第2管路62へ進入した原料は、ポンプ30の作用により、原料が生産加工装置40へ送られる。ポンプ30は、加工手順、加工に要する時間等に応じて、自動的に一定量の原料を送り込むように設定されている。
しかし、従来のボトル用キャップは、原料を供給路から原料ボトル10内へ回収するための構造を有していないので、余った原料はポンプ30の前端の排出口を通して廃液容器50へと排出され、廃棄物として処理される。これでは、原料が無駄になるだけでなく、廃液の処理にも費用がかかってしまう。
The raw material that has entered the
However, since the conventional bottle cap does not have a structure for collecting the raw material from the supply path into the
本考案が解決しようとする課題は、余った原料をボトル内へ回収して使用することができるボトル用キャップを提供することにある。 The problem to be solved by the present invention is to provide a bottle cap that can recover and use surplus raw materials in a bottle.
本考案のボトル用キャップは、原料ボトルの口を閉鎖するキャップ本体に、圧力供給源に接続可能な加圧ジョイントと、前記原料ボトル内の原料を取り出す原料供給ジョイントと、前記原料ボトルへ原料を回収する原料回収ジョイントとを設けて成る。
前記原料供給ジョイントに、前記原料ボトルの内部へ延びる吸引管を設けると良い。
前記加圧ジョイント、原料供給ジョイント、及び、原料回収ジョイントを高圧管ジョイントとするのが望ましい。
前記原料回収ジョイントに、その流路を開閉する手動又は電動のバルブを設けても良い。
The bottle cap according to the present invention includes: a cap body that closes a mouth of a raw material bottle; a pressure joint that can be connected to a pressure supply source; a raw material supply joint that takes out the raw material in the raw material bottle; A material recovery joint for recovery is provided.
The raw material supply joint may be provided with a suction pipe extending into the raw material bottle.
The pressure joint, the raw material supply joint, and the raw material recovery joint are preferably high-pressure pipe joints.
A manual or electric valve that opens and closes the flow path may be provided in the raw material recovery joint.
本考案によれば、原料ボトルから取り出されて使用されなかった原料を、原料ボトルへ戻して回収使用することができるので、原料が無駄にならず、廃棄処理に要する手間と費用を削減することが可能で、環境リスクを低減することもできる。 According to the present invention, the raw material taken out from the raw material bottle and not used can be returned to the raw material bottle and recovered and used, so that the raw material is not wasted and the labor and cost required for disposal are reduced. It is possible to reduce environmental risks.
以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の説明において、従来のものと共通する部分には共通の符号を付す。
本考案のボトル用キャップは、図3に示すように、キャップ本体11に加圧ジョイント111、原料供給ジョイント112及び原料回収ジョイント113を設けて成る。
図4に示すように、キャップ本体11は化学薬品等の原料が収納された原料ボトル10の口を閉鎖し、原料ボトル10は収納された原料を生産加工装置40へ供給する原料供給システムに組み込まれる。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the following description, parts common to those in the related art are denoted by common reference numerals.
As shown in FIG. 3, the bottle cap of the present invention comprises a
As shown in FIG. 4, the
原料供給システムは、従来のものと同様に、不活性ガスボンベ等の圧力供給源に接続された第1管路61と、原料貯蔵部20及びポンプ30を通過して生産加工装置40に達する第2管路62とを備え、第1管路61が加圧ジョイント111に接続され、第2管路62が原料供給ジョイント112に接続されるようになっている。
加圧ジョイント111、原料供給ジョイント112及び原料回収ジョイント113は、原料ボトル10が原料供給システムから受ける圧力に耐えられるように高圧管ジョイントより成る。
The raw material supply system, like the conventional one, passes through the
The
原料供給ジョイント112には、原料ボトル10の内部へ延びて底部に達する吸引管が設けられる。
また、原料回収ジョイント113は、第3管路63を介してポンプ30の排出口に接続可能であり、原料貯蔵部20には排気管21が接続されている。
The raw
The raw material recovery joint 113 can be connected to the discharge port of the
原料ボトル10内に収納された原料を供給するには、第1管路61及び加圧ジョイント111を介して原料ボトル10内の圧力を高め、原料供給ジョイント112及び第2管路62を通して原料を原料貯蔵部20へ送り出し、第2管路62内の空気を排気管21から排出する。
第2管路62に原料が充満すると、不活性ガスの圧力及びポンプ30の働きによって、原料が生産加工装置40へ送られる。
また、生産加工装置40において使用されず余った原料は、ポンプ30で第3管路63及び原料回収ジョイント113を通り原料ボトル10内に戻される。ポンプ30は、設定されたタイミングに基づいて、自動的に原料の供給と回収を行うこともできる。
In order to supply the raw material stored in the
When the raw material fills the
Further, the remaining raw material that is not used in the
なお、図示しないが、原料回収ジョイント113に手動のバルブを設け、作業者がタイミングを見計らって原料を原料ボトル10へ戻すこともできるし、電動のバルブを設けて、原料を原料ボトル10へ回収するタイミングを制御回路により制御しても良い。
勿論、原料回収ジョイント113にバルブを設けず、圧力供給原からの圧力供給を停止してポンプ30を回収方向へ駆動させることにより、原料を原料ボトル10へ回収することもできる。
Although not shown, a manual valve is provided at the raw material recovery joint 113 so that an operator can return the raw material to the
Of course, the raw material can be recovered into the
10 原料ボトル
11 キャップ本体
111 加圧ジョイント
112 原料供給ジョイント
113 原料回収ジョイント
20 原料貯蔵部
21 排気管
30 ポンプ
40 生産加工装置
61 第1管路
62 第2管路
63 第3管路
DESCRIPTION OF
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