JP3131174B2 - Fluidic flow meter - Google Patents
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- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、フルイディック型
流量計、より詳細には、主にＬＰＧや都市ガス等の流量
測定に使用されるフルイディック型流量計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluidic flow meter, and more particularly, to a fluidic flow meter mainly used for measuring a flow rate of LPG, city gas and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、都市ガスやＬＰＧなどの流量を計
測する流量計として、膜式ガスメータに変わるものとし
てフルイディック型流量計が開発されている。このフル
イディック型流量計とは、フルイディック素子に流体振
動検知用センサを接続したもので、既に開示された技術
として、例えば、特許第２５９５３０６号，特開平６−
４３９０７号公報，特許第２５８３４５２号，特開平３
−５３１２４号公報などに示されるものがある。2. Description of the Related Art Conventionally, as a flow meter for measuring a flow rate of city gas, LPG, or the like, a fluidic flow meter has been developed as an alternative to a membrane gas meter. This fluidic type flowmeter is a fluidic element in which a fluid vibration detecting sensor is connected to a fluidic element. As a technique already disclosed, for example, Japanese Patent No. 2595306, Japanese Unexamined Patent Publication No.
No. 43907, Japanese Patent No. 2583452, Japanese Unexamined Patent Application Publication No.
No. 53124, for example.
【０００３】特許第２５９５３０６号に開示された技術
は、フルイディック素子を用いた気体流量計において、
流体振動検知用センサの電気信号の周波数が一定値以上
か以下かにより、低流量域をフローセンサ，中高流量域
をフルイディック素子の各信号により流量を求め、ま
た、フローセンサをフルイディック素子を構成するノズ
ルの上部に配置したものである。[0003] The technique disclosed in Japanese Patent No. 2595306 discloses a gas flow meter using a fluidic element.
Depending on whether the frequency of the electric signal of the fluid vibration detection sensor is above or below a certain value, the flow rate is obtained by the flow sensor in the low flow rate range and the fluidic element in the middle and high flow rate range. It is arranged above the nozzle to be configured.
【０００４】特公平６−４３９０７号公報に開示された
技術は、熱式流速センサを用いた流量計において、流路
内に整流用金網を配置し、該金網後方部の直ぐ後にセン
サを配置したり、その配置位置などを示したものであ
る。The technique disclosed in Japanese Patent Publication No. 6-43907 discloses a flow meter using a thermal type flow velocity sensor, in which a rectifying wire mesh is arranged in a flow path and a sensor is arranged immediately behind the wire mesh rear portion. Or the position of the arrangement.
【０００５】また、特許２５８３４５２号に開示された
技術は、フルイディック流量計において、ノズルの長方
形断面の長辺側々壁にフローセンサを配置し、所定の流
量範囲においてセンサ出力から流量を算出するようにし
たものである。In the technique disclosed in Japanese Patent No. 2583452, in a fluidic flow meter, a flow sensor is arranged on each long side wall of a rectangular cross section of a nozzle, and a flow rate is calculated from a sensor output in a predetermined flow rate range. It is like that.
【０００６】さらに、特公平３−５３１２４号公報に開
示された技術は、フルイディック流量計の蓋部に、ノズ
ルの上部と下流に設けられた圧力取り出し孔と、それら
を接続するバイパス流路を設け、このバイパス流路にフ
ローセンサを取り付け、差圧により生じる流れを検知し
て流量を求めるようにしたものである。[0006] Further, the technique disclosed in Japanese Patent Publication No. 3-53124 discloses a technique in which a lid for a fluidic flow meter is provided with pressure extraction holes provided above and downstream of a nozzle, and a bypass flow path connecting them. A flow sensor is attached to the bypass flow path, and a flow generated by a differential pressure is detected to obtain a flow rate.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】従来技術は、フローセ
ンサ設置部に流入する被測定流体の圧力波の重畳した流
れを緩衝すると共に、流体の流れを２次元的に整流して
いないので、フローセンサの出力が安定しないという問
題点があった。また、フローセンサを流速の大きな位
置、かつ、流速のばらつきの小さい位置に設置していな
いので、低流量域で正確な流量計測ができない、さら
に、フローセンサ設置による流体の流れの乱れを考慮し
ていないので、フルイディック振動に悪影響を及ぼすな
どの問題点があった。According to the prior art, the flow of the pressure wave of the fluid to be measured flowing into the flow sensor installation portion is buffered and the flow of the fluid is not two-dimensionally rectified. There has been a problem that the output of the sensor is not stable. In addition, since the flow sensor is not installed at a position where the flow velocity is large and the position where the variation of the flow velocity is small, accurate flow rate measurement cannot be performed in a low flow rate area. However, there were problems such as adversely affecting fluidic vibration.
【０００８】本発明は、上述のように実情に鑑みてなさ
れたもので、流入する流体の圧力波が重畳した流れを緩
衝し、流体の流れを２次元的に整流すると共に、フロー
センサを流速が大きく、ばらつきの小さい位置に配置
し、この配置によりフローセンサの出力を安定させ、流
路下流部の絞り部をジェットノズルに連通させることに
よりフルイディック振動への影響をなくすようにしたフ
ルイディック型流量計を提供するものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and buffers a flow in which a pressure wave of an inflowing fluid is superimposed, rectifies the flow of the fluid two-dimensionally, and controls the flow sensor to flow through the flow sensor. Fluidic that is located at a position with large variation and small variation, stabilizes the output of the flow sensor by this arrangement, and eliminates the influence on fluidic vibration by connecting the throttle part downstream of the flow path to the jet nozzle The present invention provides a type flow meter.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、被測
定気体の小流量を検出するフローセンサが配設されるフ
ローセンサ設置流路部と、該フローセンサ設置流路部か
ら流入する前記被測定気体の大流量を検出するフルイデ
ィック素子部とを有するフルイディック型流量計におい
て、前記フローセンサ設置流路部は、前記被測定気体の
流れの垂直方向の断面形状が矩形形状の流路を構成し、
該流路は、前記流れを整流する整流器が前記流れの垂直
方向に該流路全域を横切るように備えられた上流直管部
と、該上流直管部に連続し、前記流路の上流側から下流
側の方向に向って直線状に絞り込まれている絞り込み面
を形成する左右の側壁面と前記流路の上下方向の中心線
と平行な平面からなり絞り込み面を形成しない上下の側
壁面とを有する縮小管部と、該縮小管部に連続する下流
直管部とから成り、前記縮小管部の下流方向にあって、
前記絞り込み面を形成しない上側壁面の前記流路側の面
上であって、且つ、前記流路の左右の幅方向の中心線上
に位置する該上側壁面上に前記フローセンサを設置した
ことを特徴とし、もって、流路に流入する３次元的な流
れを２次元的な流れに整流し、流速分布を安定化したも
のである。また、フローセンサは絞り込みによる流速の
ばらつきの影響を受けることが少なく、且つ、左右の両
側壁面が直線状に絞り込まれているので、フローセンサ
が配置された左右の幅方向の中心線上の流速が大きくな
り、フローセンサの流速検出感度を向上させたものであ
る。 According to a first aspect of the present invention, there is provided a flow sensor-installed flow channel portion provided with a flow sensor for detecting a small flow rate of a gas to be measured, and a flow-in flow from the flow sensor installed flow channel portion. wherein the fluidic flow meter and a fluidic element for detecting a large flow rate of gas to be measured, the flow sensor installation channel portion, the flow of the gas to be measured is vertical cross-section a rectangular shape of Configure the flow path,
Flow path is vertical rectifier of the flow rectifying the flow
An upstream straight pipe section provided so as to cross the flow path throughout the direction, continuous to the upstream straight pipe section, downstream from the upstream side of the flow path
Refinement surface that is narrowed down linearly toward the side
Left and right side wall surfaces and a vertical center line of the flow path
Upper and lower sides that are formed of planes parallel to
A reduction pipe portion having a wall surface, and a downstream straight pipe portion continuous with the reduction pipe portion, and in a downstream direction of the reduction pipe portion,
Surface of the flow path side of the upper wall surface that does not form formed surface narrowing down the
And on the center line in the width direction of the left and right of the flow path
Characterized in that the flow sensor is installed on the upper wall surface located at the position (1), whereby the three-dimensional flow flowing into the flow path is rectified into a two-dimensional flow, and the flow velocity distribution is stabilized. . In addition, the flow sensor is
Less affected by variation and both left and right
Since the side wall surface is narrowed down linearly, the flow sensor
The flow velocity on the center line in the width direction on the left and right where
This improves the flow rate detection sensitivity of the flow sensor.
You.
【００１０】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記フローセンサは、四辺形状のセンサチップから
成り、該四辺形の対角線上に流速センサが配設され、該
センサチップの中心が、前記絞り込み面を形成しない上
側壁面の前記流路側の面上で、前記流路の左右の幅方向
の中心線上であって、且つ、前記縮小管部と連通される
前記下流直管部の始点に位置し、該始点の上流側及び下
流側にそれぞれ前記センサチップの前記対角線の長さの
２分の１の範囲内に前記センサチップが配設されている
ことを特徴とし、もって、流速のばらつきの最も小さい
位置にフローセンサを設置し、安定したセンサ出力を得
たものである。According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the present invention, the flow sensor comprises a quadrilateral sensor chip.
Made, the flow velocity sensor is disposed on a diagonal line of the quadrangle, the center of the <br/>Sensachi' flops, on that does not form the narrowing surface
On the surface of the flow path side wall surface, a center line in the width direction of the left and right of the channel, one 且, communicates with the reduced tube portion
Was located at the beginning of the downstream straight pipe section, said sensor chip is disposed within one-half the length of the diagonal line of each of the sensor chip on the upstream side and downstream side of the above start point Characteristically, the flow sensor is installed at the position where the variation of the flow velocity is the smallest, and a stable sensor output is obtained.
【００１１】請求項３の発明は、請求項１の発明におい
て、前記フローセンサ設置流路部は、前記フローセンサ
設置流路部の上下方向の流路深さよりも深い流路深さを
有する緩衝空間部と天井面を同一平面とし、前記緩衝空
間部の空間内に突出して設置したことを特徴とし、もっ
て、流速分布の偏った流れや圧力波の重畳した流れに対
し、整流，緩衝効果を得たものである。 [0011] The invention of claim 3 is the invention according to claim 1.
The flow sensor installation flow path section is provided with the flow sensor
Make the flow path depth deeper than the vertical flow depth of the installation flow path.
The buffer space and the ceiling surface are flush with each other.
It is characterized by being installed protruding into the space between the
Of the flow with uneven flow velocity distribution and the flow with superposed pressure wave
Thus, a rectifying and buffering effect is obtained.
【００１２】請求項４の発明は、請求項１又は２の発明
において、前記フローセンサは、前記流路の壁面に、前
記フローセンサを構成するセンサチップが前記流路に突
出するように配置したことを特徴とし、もって、境界層
を避け、より大きな流速の位置にフローセンサを配置
し、大きなセンサ出力を得たものである。 The invention of claim 4 is the invention of claim 1 or 2.
In the above, the flow sensor is provided on a wall surface of the flow path,
The sensor chip constituting the flow sensor projects from the flow path.
It is characterized by being arranged to emit
And place the flow sensor at the position of the larger flow velocity
Then, a large sensor output was obtained.
【００１３】請求項５の発明は、請求項４の発明におい
て、前記下流直管部の下流部に絞り部を設け、該絞り部
の終点が前記フルイディック素子部のジェットノズルに
連通したことを特徴とし、もって、フローセンサ設置に
よる流れの乱れを整流し、下流部（フルイディック振
動）への影響をなくしたものである。 [0013] The invention of claim 5 is the invention according to claim 4.
A throttle section is provided downstream of the downstream straight pipe section;
End point of the jet nozzle of the fluidic element section
The feature of communication is that it can be used
Rectification of the flow disturbance caused by the
) Has been eliminated.
【００１４】請求項６の発明は、被測定気体の小流量を
検出するフローセンサが配設されるフローセンサ設置流
路部と、該フローセンサ設置流路部から流入する前記被
測定気体の大流量を検出するフルイディック素子部とを
有し、前記フローセンサ設置流路部は、前記被測定気体
の流れの垂直方向の断面形状が矩形形状の流路を構成
し、該流路は前記流れを整流する整流器と、前記フロー
センサを設置する側壁面と、フルイディック素子部へ前
記流れを噴出させるジェットノズルと連通した直管部と
を有するフルイディック型流量計において、前記フロー
センサは、前記流路の断面形状を矩形形状に形成する側
壁面のうち上側壁面の前記流路側の面上であって、且
つ、前記流路の左右の幅方向の中心線上に位置する該上
側壁面上に設置され、前記流れの垂直方向に前記矩形形
状の流路全域を横切るように備えられた前記整流器が、
前記フローセンサの設置側壁面と平行な方向を短辺とす
る矩形形状により前記流路を左右の幅方向に奇数個に等
分割するものであることを特徴とし、もって、流路中心
線上に前記整流器の壁が位置することをなくし、その下
流部の同一線上に設置されるフローセンサへの影響をな
くしたものである。 According to a sixth aspect of the present invention, the small flow rate of the gas to be measured is reduced.
Flow sensor installation flow where the flow sensor to be detected is installed
Path and the flow-in member from the flow sensor installation flow path.
Fluidic element for detecting large flow rate of measurement gas
The flow sensor installation flow path section has the gas to be measured
The cross section in the vertical direction of the flow forms a rectangular flow path
A flow rectifier for rectifying the flow;
Front to the side wall surface where the sensor is installed and the fluidic element
A straight pipe communicating with the jet nozzle for jetting the flow
In the fluidic type flow meter having
The sensor is a side on which the cross-sectional shape of the flow path is formed in a rectangular shape
On the flow path side surface of the upper wall surface among the wall surfaces, and
The upper surface located on the center line in the width direction on the left and right of the flow path.
Installed on the side wall surface, the rectangular shape in the vertical direction of the flow
The rectifier provided to traverse the entire flow path of the shape,
A direction parallel to the installation side wall surface of the flow sensor is defined as a short side.
The number of the flow paths is equal to an odd number in the left and right width directions due to the rectangular shape
It is characterized by being divided, so that the center of the flow path
Eliminate the rectifier wall on the line, and
Do not affect the flow sensor installed on the same line
That's bad.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施例を概念的
に説明するためのフルイディック流量計の平面図で、図
中、１は被測定気体が導入される緩衝空間部、２はフロ
ーセンサ設置流路部、３はフローセンサ設置流路部２に
設置された整流器、４はフルイディック素子部、５はフ
ローセンサ、７はジェットノズルである。FIG. 1 is a plan view of a fluidic flow meter for conceptually explaining an embodiment of the present invention. In the drawing, reference numeral 1 denotes a buffer space into which a gas to be measured is introduced; Is a flow sensor installation channel section, 3 is a rectifier installed in the flow sensor installation channel section 2, 4 is a fluidic element section, 5 is a flow sensor, and 7 is a jet nozzle.
【００１６】前記緩衝空間部１に導入された被測定気体
は、フローセンサ設置流路部２の整流器３で整流され、
フルイディック素子部４に導入される。フルイディック
素子部４には、図示されない圧力検出口が形成されてお
り、該圧力検出口には圧力センサを有する流体振動検知
用センサ（図示せず）が接続されているので、被測定気
体の流量を測定することができる。フルイディック素子
部４で検出困難な低流量域は、フローセンサ設置流路部
２に設置された熱式フローセンサ５で流速を測定するこ
とにより流量を求めている。The gas to be measured introduced into the buffer space 1 is rectified by the rectifier 3 of the flow sensor installation flow path 2,
It is introduced into the fluidic element unit 4. A pressure detection port (not shown) is formed in the fluidic element section 4 and a fluid vibration detection sensor (not shown) having a pressure sensor is connected to the pressure detection port. The flow rate can be measured. In the low flow rate region where it is difficult to detect by the fluidic element section 4, the flow rate is obtained by measuring the flow velocity with the thermal flow sensor 5 installed in the flow sensor installation flow path section 2.
【００１７】（請求項１の発明） 図２（Ａ）は、請求項１の発明が適用されるフローセン
サ設置流路部２の概略構成図、図２（Ｂ）は、図２
（Ａ）のフローセンサ設置流路部２のＡ−Ａ断面図であ
る。図２（Ａ）において、２′は、流れの垂直方向に対
し断面形状が２次元形状（矩形形状）の流路、２ａは、
フローセンサ設置流路部２に設けられた上流直管部、２
ａ′は、該上流直管部２ａの流路入口部、２ｂは、上流
直管部２ａに連続して設けられた縮小管部、２ｃは、縮
小管部２ｂに連続して設けられた下流直管部、２ｄは下
流直管部２ｃに連続して設けられた絞り部である。した
がって、前記流路２′は、上記上流直管部２ａ、縮小管
部２ｂ、下流直管部２ｃから構成される。(Invention of Claim 1) FIG. 2A is a schematic configuration diagram of a flow sensor installation flow path section 2 to which the invention of Claim 1 is applied, and FIG.
FIG. 2A is a cross-sectional view of the flow sensor installation channel section 2 taken along line AA of FIG. In FIG. 2 (A), 2 ', the flow path cross-sectional shape dimensional shape relative to the vertical direction of the flow (rectangular shape), 2a is
An upstream straight pipe section provided in the flow sensor installation channel section 2;
a 'is a flow passage inlet portion of the upstream straight pipe portion 2a, 2b is a reduced pipe portion provided continuously with the upstream straight pipe portion 2a, and 2c is a downstream pipe provided continuously with the reduced pipe portion 2b. The straight pipe section 2d is a throttle section provided continuously to the downstream straight pipe section 2c. Accordingly, the flow path 2 'is composed of the upstream straight pipe section 2a, the reduced pipe section 2b, and the downstream straight pipe section 2c.
【００１８】前記縮小管部２ｂは、流路の上流側から下
流側の方向に向って、直線状に絞り込まれている絞り込
み面を形成する左右の側壁面と、前記流路の上下方向の
中心線と平行な平面からなり絞り込み面を形成しない上
下の側壁面とからなっている。また、該縮小管部２ｂ
は、該縮小管部２ｂの上流側及び上流側で連通されてい
る上流直管部２ａ及び下流直管部２ｃとは、それぞれ適
当な曲面により滑らかに接続される。[0018] The reduction tube portion 2b, I toward the direction of the downstream side from the upstream side of the flow path, the aperture is narrowed linearly write
Left and right side wall surfaces forming the only
Consists of a plane parallel to the center line and does not form a narrowing surface
It consists of a lower side wall. In addition, the reduction tube portion 2b
Are communicated upstream and downstream of the reduction tube section 2b.
The upstream straight pipe portion 2a and the downstream straight pipe portion 2c are smoothly connected by appropriate curved surfaces.
【００１９】上流直管部２ａには整流器３が設置され、
また、該上流直管部２ａの流路入口部２ａ′は流路の上
側壁面を形成する流路蓋６（図２（Ｂ））を除く３面に
適当な曲面を設ける。図２（Ｂ）において、５は、前記
縮小管部２ｂの下流方向にあって、前記絞り面を形成し
ない上側壁面である流路蓋６の流路側の面上であって、
且つ、前記流路の左右の幅方向の中心線上に位置する該
上側壁面上に設置されたフローセンサである。A rectifier 3 is installed in the upstream straight pipe section 2a.
The flow path inlet 2a 'of the upstream straight pipe 2a is located above the flow path.
Appropriate curved surfaces are provided on three surfaces except for the flow path lid 6 (FIG. 2B) which forms a side wall surface . In FIG. 2 (B), 5, the
In the downstream direction of the reduced pipe portion 2b, a the flow path side surface of the channel cover 6 is a top wall which does not form formed the stop surface,
And the channel located on the center line in the width direction on the left and right of the flow path.
It is a flow sensor installed on the upper wall surface .
【００２０】流量計の上流部の配管形状はさまざまであ
り、流量計に流入する流れは、一般的に３次元的な流れ
である。本発明の流量計に流入した３次元的な流れは、
上流直管部２ａに設けられた整流器３により複数の流れ
に分割される。整流器３がある程度の抵抗となるため整
流器３を出た流れは、それぞれ、ほぼ等しい流速分布を
持ち合流し、流路中心線にほぼ垂直な流速分布となる。
さらに、下流部の縮小管部２ｂで流れは加速される。ま
た、流路を、絞り込み面を形成する左右の側壁面でのみ
直線状に２次元的に絞り込む（流路側壁面で絞り込む）
ことにより、絞り面を形成していない上下の側壁面での
境界層の発達を抑えることができ、ほとんど均一な流速
分布を得ることができる。絞り面を形成していない上側
壁面にフローセンサ５を設置し、流速を検出し演算によ
り流量を測定する。この結果、絞り込みにより加速され
た流れの流速のばらつきの影響を受けない状態で流速を
的確に検出することが可能になる。なお、図２（Ａ）に
示す流路の中心線Ｓと縮小管部２ｂの絞り面との角度θ
は３０°≦θ≦４５°において良好な特性を得ることが
できた。The piping at the upstream of the flow meter has various shapes, and the flow flowing into the flow meter is generally a three-dimensional flow. The three-dimensional flow that has flowed into the flow meter of the present invention is
The stream is divided into a plurality of streams by the rectifier 3 provided in the upstream straight pipe section 2a. Since the rectifier 3 has a certain degree of resistance, the flows exiting the rectifier 3 have almost the same flow velocity distribution and merge, and have a flow velocity distribution substantially perpendicular to the flow channel center line.
Further, the flow is accelerated in the downstream reduction section 2b. In addition, the flow path is formed only on the left and right side walls that form the narrowing surface.
Narrow down two-dimensionally in a straight line (narrow down at the side wall of the flow channel)
It can suppress the development of boundary layers on the side walls of the upper and lower do not form a stop surface, it is possible to obtain almost uniform flow velocity distribution. The flow sensor 5 is installed on the upper wall surface where the throttle surface is not formed , the flow velocity is detected, and the flow rate is measured by calculation. As a result, acceleration
Flow velocity without being affected by fluctuations in flow velocity
It becomes possible to detect accurately. In addition, FIG.
Angle θ between the center line S of the flow path shown and the throttle surface of the reduction tube portion 2b
Showed good characteristics at 30 ° ≦ θ ≦ 45 °.
【００２１】（請求項２の発明） フローセンサは、四辺形状のセンサチップから成り、該
四辺形の対角線上に熱式流速センサが配設されている。
フローセンサ５の設置位置を実験により最適化した結
果、該センサチップの中心が、前記絞り込み面を形成し
ない上側壁面の流路側の面上で、前記流路の左右の幅方
向の中心線Ｓ上であり、かつ、前記縮小管部２ｂと連通
されている下流直管部２ｃの始点Ｔと一致する位置に配
置することが最適であると判明した。また、下流直管部
２ｃの始点Ｔを基準に、この始点Ｔの上流側及び下流側
にそれぞれセンサチップの前記対角線の長さの２分の１
の範囲内に前記センサチップを配置することにより良好
な特性が得られた。(Invention of Claim 2) The flow sensor comprises a quadrilateral sensor chip.
A thermal flow sensor is disposed on the diagonal of the quadrilateral .
Optimized results by the installation position of the experiments of the flow sensor 5, the center of the sensor chip, forming said narrowing surfaces
On the flow path side surface of the upper wall surface, on the center line S in the width direction of the flow path on the left and right sides , and communicate with the reduction pipe section 2b
At the same position as the starting point T of the downstream straight pipe section 2c.
It was found to be optimal for location. Further, based on the starting point T of the downstream straight tube portion 2c, of 2 minutes, respectively upstream and downstream of the diagonal of the sensor chip length of the start point T 1
By arranging the sensor chip within the range, good characteristics were obtained.
【００２２】（請求項３の発明）図５は、フルイディック型流量計の緩衝空間部１にフロ
ーセンサ設置流路部２が取り付けられる例を示す図であ
り、図中、Ｄ 1 は緩衝空間部１の上下方向の流路深さ、
Ｄ 2 はフローセンサ設置流路部２の流路深さである。 FIG. 5 shows a flow chart in the buffer space 1 of a fluidic flow meter.
FIG. 3 is a diagram showing an example in which a sensor installation channel section 2 is attached.
In the drawing, D 1 is the vertical depth of the flow path of the buffer space 1,
D 2 is the channel depth of the flow sensor installation channel portion 2.
【００２３】図５において、緩衝空間部１の流路深さＤ
1 は、フローセンサ設置流路部２の流路深さＤ 2 より深く
なっている。また、フローセンサ設置流路部２は、緩衝
空間部１と天井面（或いは底面）を同一平面とし、緩衝
空間部１の空間内に突出して設置される。 In FIG . 5, the flow path depth D of the buffer space 1 is shown.
1 is deeper than the flow path depth D 2 of the flow sensor installation flow path unit 2
Has become. In addition, the flow sensor installation channel section 2 is provided with a buffer.
The space 1 and the ceiling (or bottom) are flush with each other,
It protrudes and is installed in the space of the space part 1.
【００２４】流量計の緩衝空間部１に流入した被測定気
体の流れは、緩衝空間において流速が急激に減速され
る。また、フローセンサ設置流路部２の流路は、ある程
度の抵抗を持つため、緩衝空間との間に圧力差が生じ
る。このため、圧力波の重畳した流れが流入した場合、
緩衝空間において圧力波が減衰することになる。次に、
フローセンサ設置流路部２において流れは加速され、整
流器３を通過し、縮小管部２ｂでさらに加速される。な
お、緩衝空間部１への流入口の位置、緩衝空間の形状は
流量計のレイアウトにより適宜変更することができるも
のである。 The air to be measured flowing into the buffer space 1 of the flow meter
The flow of the body is rapidly reduced in the buffer space.
You. The flow path of the flow sensor installation flow path unit 2 is
Pressure resistance creates a pressure difference with the buffer space.
You. For this reason, when the flow on which the pressure wave is superimposed flows,
The pressure wave will be attenuated in the buffer space. next,
The flow is accelerated in the flow sensor installation channel section 2 and is regulated.
After passing through the flow device 3, it is further accelerated in the reduction tube portion 2b. What
The position of the inlet to the buffer space 1 and the shape of the buffer space
Can be changed as appropriate depending on the layout of the flow meter
It is.
【００２５】（請求項４の発明） 前記縮小管部２ｂでは、上流直管部２ａなどの直管流路
と比較すると、境界層の発達を飛躍的に抑えることがで
きたが、流路壁面の極近傍では依然として境界層が存在
する。そこで、流路壁面に設置したフローセンサ５を構
成する前記センサチップを流路２′に突出するようにし
た。 (Invention of Claim 4) In the reduction pipe section 2b, a straight pipe flow path such as an upstream straight pipe section 2a
The development of the boundary layer can be dramatically suppressed compared to
But a boundary layer still exists very close to the channel wall
I do. Therefore, the flow sensor 5 installed on the flow path wall is configured.
The formed sensor chip is projected into the flow path 2 '.
Was.
【００２６】（請求項５の発明）図１に示したように、フローセンサ設置流路部２の下流
部にジェットノズル７を有するフルイディック素子部４
が設置される。図２（Ａ）に示すように、フローセンサ
設置流路部２の下流直管部２ｃの下流部に絞り部２ｄを
設け、該絞り部２ｄの終点Ｕがフルイディック素子部４
のジェットノズル７に連通するようにする。また、フロ
ーセンサ設置流路部２とフルイディック素子部４に至る
気体の流れ方向の中心線は同一とし、流路深さも同一と
する。 (Invention of claim 5 ) As shown in FIG.
Element section 4 having jet nozzle 7 in section
Is installed. As shown in FIG.
A throttle portion 2d is provided downstream of the downstream straight pipe portion 2c of the installation flow channel portion 2.
And the end point U of the aperture 2d is the fluidic element 4
To the jet nozzle 7. Also,
-To the sensor installation channel section 2 and the fluidic element section 4
The center line in the gas flow direction is the same, and the channel depth is the same.
I do.
【００２７】図２（Ｂ）に示したように、フローセンサ
５は流路２′に突出して設置されるため、フローセンサ
５の下流部において気体の流れが乱れることになる。し
かし、該下流部に絞り部２ｄが設けられているため、こ
こで整流され、整流された流れが、ジェットノズル７か
らフルイディック素子部４へ流入する。 As shown in FIG . 2B, the flow sensor
5 is provided so as to protrude into the flow path 2 ', so that the flow sensor
5, the gas flow will be disturbed downstream. I
However, since the throttle portion 2d is provided in the downstream portion,
The rectified flow is rectified by the jet nozzle 7
Flows into the fluidic element unit 4.
【００２８】（請求項６の発明） 図３は、整流器の壁が流路の左右の幅方向の中心線から
はずれる状況を説明するための図である。また、図４
（Ａ）は、流路の短辺方向の流速分布図であり、図４
（Ｂ）は、流路の長辺方向の流速分布図である。 (Invention of Claim 6) FIG. 3 shows that the wall of the rectifier is positioned from the center line in the width direction on the left and right sides of the flow path.
It is a figure for explaining a situation which comes off. FIG.
(A) is a flow velocity distribution diagram in the short side direction of the flow path, and FIG.
(B) is a flow velocity distribution diagram in the long side direction of the flow path.
【００２９】断面形状が長方形の矩形流路の場合、短辺
方向は流路の中心線上で流速が最大となり、壁面に向う
にしたがって流速が小さくなる流速分布（図４（Ａ））
であり、また長辺方向はほとんど均一な流速分布（図４
（Ｂ））である。そして、上流部では、流路に流入する
気体は、３次元的な流れを含む。このような傾向がある
ため、前記断面形状を矩形形状に形成する側壁面のうち
上側壁面の前記流路側の面上であって、且つ、前記流路
の左右の幅方向の中心線上に位置する該上側壁面にフロ
ーセンサ５を設置する場合において、整流器３の形状が
フローセンサ５の設置側壁面と平行な方向を短辺とする
矩形形状３ａにより流路を左右の幅方向に奇数個に等分
割して、流路２′に流入する３次元的な流れを２次元的
な流れに整流するようにした。 In the case of a rectangular channel having a rectangular cross section, the short side
In the direction, the flow velocity is maximum on the center line of the flow path, and it faces the wall
(Fig. 4 (A))
And a substantially uniform flow velocity distribution in the long side direction (FIG. 4).
(B)). And in the upstream part, it flows into the channel
Gas includes a three-dimensional flow. Like this
Therefore, among the side wall surfaces that form the cross-sectional shape into a rectangular shape,
An upper wall surface on the flow path side, and the flow path
On the upper wall surface located on the center line in the width direction of the
-When the sensor 5 is installed, the shape of the rectifier 3
The direction parallel to the installation side wall surface of the flow sensor 5 is defined as the short side.
The flow path is equally divided in the left and right width directions by the rectangular shape 3a.
The three-dimensional flow flowing into the channel 2 '
The flow was rectified.
【００３０】ここで、整流器３の左右の幅方向の分割を
偶数個にて構成すると、流路の左右の幅方向の中心線上
に整流器３の壁が位置することになる。その下流部の同
一中心線上にフローセンサ５が設置されるため、流量が
増加すると整流器３の壁の影響を多少受け、流速変動が
増加することが分かった。そのため整流器３の左右の幅
方向の分割を奇数個に分割する構成とした。図３は、こ
のような構成により、流路の左右の幅方向の中心線から
整流器３の壁がはずれる状況を模式的に示している。な
お、流路の深さ方向の分割個数については、特に規定し
ない。 Here, the division of the rectifier 3 in the left and right width directions will be described.
If configured with an even number, it will be on the center line in the width direction on the left and right of the flow path.
The wall of the rectifier 3 is located at the position. Downstream of the same
Since the flow sensor 5 is installed on one center line, the flow rate
When it increases, it is affected by the wall of the rectifier 3 to some extent,
It was found to increase. Therefore, the left and right width of the rectifier 3
The direction is divided into an odd number. Fig. 3
From the center line in the width direction on the left and right of the flow path
The situation where the wall of the rectifier 3 comes off is schematically shown. What
Note that the number of divisions in the depth direction of the flow path is not specified.
Absent.
【００３１】[0031]
【発明の効果】請求項１の発明によれば、被測定気体の
小流量を検出するフローセンサが配設されるフローセン
サ設置流路部と、該フローセンサ設置流路部から流入す
る前記被測定気体の大流量を検出するフルイディック素
子部とを有するフルイディック型流量計において、前記
フローセンサ設置流路部は、前記被測定気体の流れの垂
直方向の断面形状が矩形形状の流路を構成し、該流路
は、前記流れを整流する整流器が前記流れの垂直方向に
該流路全域を横切るように備えられた上流直管部と、該
上流直管部に連続し、前記流路の上流側から下流側の方
向に向って直線状に絞り込まれている絞り込み面を形成
する左右の側壁面と前記流路の上下方向の中心線と平行
な平面からなり絞り込み面を形成しない上下の側壁面と
を有する縮小管部と、該縮小管部に連続する下流直管部
とから成り、前記縮小管部の下流方向にあって、前記絞
り込み面を形成しない上側壁面の前記流路側の面上であ
って、且つ、前記流路の左右の幅方向の中心線上に位置
する該上側壁面上に前記フローセンサを設置したので、
フローセンサは絞り込みによる流速のばらつきの影響を
受けることが少なく、且つ、左右の両側壁面が直線状に
絞り込まれているので、フローセンサが配置された左右
の幅方向の中心線上の流速が大きくなり、フローセンサ
の流速検出感度を向上できる。 According to the first aspect of the present invention, a flow sensor installation flow path section in which a flow sensor for detecting a small flow rate of a gas to be measured is disposed, and the flow path flowing from the flow sensor installation flow path section is provided. in a fluidic flow meter and a fluidic element for detecting a large flow rate measurement gas, the flow sensor installation channel section, vertical flow path cross-sectional shape of the rectangular shape of the flow of the gas to be measured configure, flow channel is vertically rectifier of the flow rectifying the flow
An upstream straight pipe portion provided so as to traverse the entire flow channel, and an upstream straight line portion connected to the upstream straight pipe portion from the upstream side to the downstream side of the flow channel.
Forming narrowing surface that is narrowed down linearly toward
Parallel to the left and right side wall surfaces and the vertical center line of the flow path
A reduced pipe portion having upper and lower side walls that do not form a narrowed surface, and a downstream straight pipe portion that is continuous with the reduced pipe portion. , the surface on der of the flow path side of the upper wall surface that does not form formed the diaphragm <br/> Ri included surface
And on the center line in the width direction on the left and right of the flow path
Since the flow sensor was installed on the upper wall surface ,
The flow sensor detects the influence of flow rate variation
It is less affected and the left and right side walls are straight
Because it is narrowed down, the left and right where the flow sensor is located
The flow velocity on the center line in the width direction of the
Can improve the flow rate detection sensitivity.
【００３２】請求項２の発明によれば、請求項１の発明
の効果に加えて、前記フローセンサは、四辺形状のセン
サチップから成り、該四辺形の対角線上に流速センサが
配設され、該センサチップの中心が、前記絞り込み面を
形成しない上側壁面の前記流路側の面上で、前記流路の
左右の幅方向の中心線上であって、且つ、前記縮小管部
と連通される前記下流直管部の始点に位置し、該始点の
上流側及び下流側にそれぞれ前記センサチップの前記対
角線の長さの２分の１の範囲内に前記センサチップが配
設されているので、流速のばらつきが最も小さい位置に
フローセンサを設置したことになり、安定したセンサ出
力が得ることができる。According to the invention of claim 2, in addition to the effect of the invention of claim 1, the flow sensor has a quadrilateral sensor.
Consists Sachippu, flow sensor is disposed on a diagonal line of the quadrangle, the center of the Sensachi' flop, said narrowing surfaces
On the flow path side surface of the upper wall surface that is not formed, the flow path
A center line of the left and right width direction, one 且, the reduced pipe portion
The communicates located at the starting point of the downstream straight pipe section, in the range 1 to 2 minutes the length of said pair <br/> angle line of each of the sensor chip on the upstream side and downstream side of the above start point and Since the sensor chip is provided , the flow sensor is installed at a position where the variation in the flow velocity is the smallest, and a stable sensor output can be obtained.
【００３３】請求項３の発明によれば、請求項１の発明
の効果に加えて、前記フローセンサ設置流路部は、前記
フローセンサ設置流路部の上下方向の流路深さよりも深
い流路深さを有する緩衝空間部と天井面を同一平面と
し、前記緩衝空間部の空間内に突出して設置したので、
流速分布の偏った流れや、圧力波の重畳した流れに対し
て整流，緩衝効果を得ることができる。 According to the third aspect of the present invention, in addition to the effect of the first aspect of the present invention, the flow sensor installation flow path section includes
Deeper than the vertical flow path depth of the flow sensor installation flow path
The buffer space with a large channel depth and the ceiling surface are flush
And, since it was installed protruding into the space of the buffer space,
For flows with uneven flow velocity distribution or flows with pressure waves superimposed
As a result, a rectifying and buffering effect can be obtained.
【００３４】請求項４の発明によれば、請求項１又は２
の発明の効果に加えて、前記フローセンサは、前記流路
の壁面に、前記フローセンサを構成するセンサチップが
前記流路に突出するように配置したので、境界層を避け
ることができ、より大きな流速（センサ出力）を得るこ
とができる。 According to the invention of claim 4, according to claim 1 or 2,
In addition to the effects of the present invention, the flow sensor may be configured such that the flow path
On the wall of the sensor chip that constitutes the flow sensor
Since it is arranged to protrude into the flow channel, avoid the boundary layer
To obtain a higher flow rate (sensor output).
Can be.
【００３５】請求項５の発明によれば、請求項４の発明
の効果に加えて、前記下流直管部の下流部に絞り部を設
け、該絞り部の終点が前記フルイディック素子のジェッ
トノズルに連通したので、フローセンサ設置による流れ
の乱れを整流し、下流部（フルイディック振動）への影
響がなくすことができる。 According to the fifth aspect of the present invention, in addition to the effect of the fourth aspect , a throttle section is provided downstream of the downstream straight pipe section.
When the end point of the aperture portion is the jet of the fluidic element,
Flow through the flow sensor
Rectifies the turbulence of the air and shadows the downstream part (fluidic vibration)
The sound can be eliminated.
【００３６】請求項６の発明によれば、被測定気体の小
流量を検出するフローセンサが配設されるフローセンサ
設置流路部と、該フローセンサ設置流路部から流入する
前記被測定気体の大流量を検出するフルイディック素子
部とを有し、前記フローセンサ設置流路部は、前記被測
定気体の流れの垂直方向の断面形状が矩形形状の流路を
構成し、該流路は前記流れを整流する整流器と、前記フ
ローセンサを設置する側壁面とフルイディック素子部へ
前記流れを噴出させるジェットノズルと連通した直管部
とを有するフルイディック型流量計において、前記フロ
ーセンサは、前記流路の断面形状を矩形形状に形成する
側壁面のうち上側壁面の前記流路側の面上であって、且
つ、前記流路の左右の幅方向の中心線上に位置する該側
壁面上に設置され、前記流れの垂直方向に前記矩形形状
の流路全域を横切るように備えられた前記整流器が、前
記フローセンサの設置側壁面と平行な方向を短辺とする
矩形形状により前記流路を左右の幅方向に奇数個に等分
割するものであるので、流路の左右の幅方向の中心線上
に整流器の壁が位置することがなくなり、その下流部の
同一線上に設置されるフローセンサに対して流速変動の
影響をなくすことができる。そのため、広範囲の流量測
定が可能となる。 According to the sixth aspect of the present invention, the amount of the gas to be measured is small.
Flow sensor provided with a flow sensor for detecting flow rate
Inflow from the installation channel section and the flow sensor installation channel section
Fluidic element for detecting a large flow rate of the gas to be measured
The flow sensor installation flow path section has the
A flow path with a rectangular cross section in the vertical direction of the constant gas flow
A flow rectifier for rectifying the flow;
To the side wall surface where the low sensor is installed and the fluidic element
A straight pipe section that communicates with the jet nozzle that ejects the flow
In the fluidic flow meter having
-The sensor forms the cross-sectional shape of the flow path into a rectangular shape
An upper wall surface of the side wall surface on the flow path side, and
The side positioned on the center line in the width direction on the left and right of the flow path
It is installed on a wall and has the rectangular shape in the vertical direction of the flow.
The rectifier provided to traverse the entire flow path of
The short side is the direction parallel to the installation side wall surface of the flow sensor
Equally divides the flow path into an odd number in the left and right width directions by a rectangular shape
On the center line in the width direction on the left and right sides of the flow path.
The rectifier wall is no longer located at
For flow sensors installed on the same line,
The effect can be eliminated. Therefore, a wide range of flow measurement
Can be determined.
【図１】 本発明の実施例を概念的に説明するためのフ
ルイディック型流量計の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a fluidic flow meter for conceptually explaining an embodiment of the present invention.
【図２】 本発明のフローセンサ設置流路部の概略構成
図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a flow sensor installation channel section of the present invention.
【図３】 本発明の整流器の壁が流路中心からはずれる
状況を説明するための図である。FIG. 3 is a view for explaining a situation in which the wall of the rectifier of the present invention deviates from the center of the flow channel.
【図４】 長方形状流路内の流速分布を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a flow velocity distribution in a rectangular flow path.
【図５】 本発明の緩衝空間部とフローセンサ設置流路
部との位置関係を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a positional relationship between a buffer space section and a flow sensor installation flow path section of the present invention.
１…緩衝空間部、２…フローセンサ設置流路部、２′…
流路、２ａ…上流直管部、２ａ′…流路入口部、２ｂ…
縮小管部、２ｃ…下流直管部、２ｄ…絞り部、３…整流
器、３ａ…フローセンサの設置面を短辺とする長方形、
４…フルイディック素子部、５…フローセンサ、６…流
路蓋、７…ジェットノズル、Ｄ1…緩衝空間部の流路深
さ、Ｄ2…フローセンサ設置流路部の深さ、Ｓ…流路幅
方向の中心線、Ｔ…下流直管部の始点、Ｕ…絞り部の終
点。1 ... buffer space, 2 ... flow sensor installation channel, 2 '...
Channel, 2a ... upstream straight pipe portion, 2a '... channel inlet portion, 2b ...
Reduced pipe section, 2c ... downstream straight pipe section, 2d ... throttle section, 3 ... rectifier, 3a ... rectangle having short side for installation surface of flow sensor,
4: Fluidic element part, 5: Flow sensor, 6: Flow path cover, 7: Jet nozzle, D 1 : Flow path depth of buffer space, D 2 : Depth of flow sensor installation flow path, S ... The center line in the flow channel width direction, T: the starting point of the downstream straight pipe portion, U: the ending point of the throttle portion.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01F 1/20 G01F 7/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) G01F 1/20 G01F 7/00
Claims (6)
ンサが配設されるフローセンサ設置流路部と、該フロー
センサ設置流路部から流入する前記被測定気体の大流量
を検出するフルイディック素子部とを有するフルイディ
ック型流量計において、前記フローセンサ設置流路部
は、前記被測定気体の流れの垂直方向の断面形状が矩形
形状の流路を構成し、該流路は、前記流れを整流する整
流器が前記流れの垂直方向に該流路全域を横切るように
備えられた上流直管部と、該上流直管部に連続し、前記
流路の上流側から下流側の方向に向って直線状に絞り込
まれている絞り込み面を形成する左右の側壁面と前記流
路の上下方向の中心線と平行な平面からなり絞り込み面
を形成しない上下の側壁面とを有する縮小管部と、該縮
小管部に連続する下流直管部とから成り、前記縮小管部
の下流方向にあって、前記絞り込み面を形成しない上側
壁面の前記流路側の面上であって、且つ、前記流路の左
右の幅方向の中心線上に位置する該上側壁面上に前記フ
ローセンサを設置したことを特徴とするフルイディック
型流量計。1. A flow sensor installation flow path portion provided with a flow sensor for detecting a small flow rate of a measurement target gas, and a screen detecting a large flow rate of the measurement target gas flowing from the flow sensor installation flow passage portion. in a fluidic flow meter and a dick element portion, the flow sensor installation channel section, vertical cross-section of flow of the gas to be measured is rectangular
Configure shape of the flow path, the flow path includes an upstream straight pipe section rectifier for rectifying the flow provided <br/> across the flow path throughout the vertical direction of the flow, the upstream continuously straight pipe section, said
Narrow down linearly from upstream to downstream of the flow path
The left and right side wall surfaces forming the narrowed down surface and the flow
A narrowing surface consisting of a plane parallel to the vertical center line of the road
A reduction pipe portion having upper and lower side walls that do not form a pipe, and a downstream straight pipe portion that is continuous with the reduction pipe portion.
Which are in the downstream direction, even on the surface of the flow path side of the upper <br/> wall not form formed surface narrowing down the and left of the channel
A fluidic flow meter , wherein the flow sensor is installed on the upper wall surface located on the center line in the right width direction .
チップから成り、該四辺形の対角線上に流速センサが配
設され、該センサチップの中心が、前記絞り込み面を形
成しない上側壁面の前記流路側の面上で、前記流路の左
右の幅方向の中心線上であって、且つ、前記縮小管部と
連通される前記下流直管部の始点に位置し、該始点の上
流側及び下流側にそれぞれ前記センサチップの前記対角
線の長さの２分の１の範囲内に前記センサチップが配設
されていることを特徴とする請求項１に記載のフルイデ
ィック型流量計。2. The flow sensor according to claim 1, wherein the flow sensor has a quadrilateral shape.
Made chip, the flow velocity sensor is disposed on a diagonal line of the quadrangle, the center of the Sensachi' flops, forms the narrowing surface
On the flow path side surface of the upper wall is not formed, the left of the channel
A center line of the right in the width direction, one 且, and the reduced pipe portion
Was located at the beginning of the downstream straight pipe portion communicated, the sensor in the upstream and scope one half the length of the diagonal <br/> lines respectively downstream the sensor chip of above start point The fluidic type flowmeter according to claim 1, wherein a tip is provided.
ローセンサ設置流路部の上下方向の流路深さよりも深い
流路深さを有する緩衝空間部と天井面を同一平面とし、
前記緩衝空間部の空間内に突出して設置したことを特徴
とする請求項１に記載のフルイディック型流量計。 3. The flow sensor installation flow path section, wherein
Deeper than the vertical channel depth of the low sensor installation channel section
The buffer space having the flow path depth and the ceiling surface are flush with each other,
It is characterized by being installed protruding into the space of the buffer space.
The fluidic flow meter according to claim 1, wherein
に、前記フローセンサを構成するセンサチップが前記流
路に突出するように配置したことを特徴とする請求項１
又は２に記載のフルイディック型流量計。 4. The flow sensor according to claim 1, wherein the flow sensor has a wall surface.
The sensor chip constituting the flow sensor is
2. The device according to claim 1, wherein the device is disposed so as to protrude into a road.
Or the fluidic flow meter according to 2.
け、該絞り部の終点が 前記フルイディック素子部のジェ
ットノズルに連通したことを特徴とする請求項４に記載
のフルイディック型流量計。 5. A throttle section is provided downstream of said downstream straight pipe section.
In this case, the end point of the aperture portion is the jewel of the fluidic element portion.
5. The nozzle according to claim 4, wherein the nozzle communicates with the nozzle.
Fluidic flow meter.
ンサが配設されるフローセンサ設置流路部と、該フロー
センサ設置流路部から流入する前記被測定気体の大流量
を検出するフルイディック素子部とを有し、前記フロー
センサ設置流路部は、前記被測定気体の流れの垂直方向
の断面形状が矩形形状の流路を構成し、該流路は、前記
流れを整流する整流器と、前記フローセンサを設置する
側壁面と、フルイディック素子部へ前記流れを噴出させ
るジェットノズルと連通した直管部とを有するフルイデ
ィック型流量計において、前記フローセンサは、前記流
路の断面形状を矩形形状に形成する側壁面のうち上側壁
面の前記流路側の面上であって、且つ、前記流路の左右
の幅方向の中心線上に位置する該上側壁面上に設置さ
れ、前記流れの垂直方向に前記矩形形状の流路全域を横
切るように備えられた前記整流器が、前記フローセンサ
の設置側壁面と平行な方向を短辺とする矩形形状により
前記流路を左右の幅方向に奇数個に等分割するものであ
ることを特徴とするフルイディック型流量計。 6. A flow cell for detecting a small flow rate of a gas to be measured.
A flow sensor installation flow passage where the sensor is disposed,
Large flow rate of the gas to be measured flowing from the sensor installation channel
And a fluidic element section for detecting
The sensor installation flow path is in the vertical direction of the flow of the gas to be measured.
The cross-sectional shape of the channel constitutes a rectangular flow path, the flow path,
Install a rectifier that rectifies the flow and the flow sensor
The flow is ejected to the side wall surface and the fluidic element part.
Fluid having a straight pipe portion communicating with a jet nozzle
In the flow meter of the first embodiment,
The upper side wall among the side walls that form the cross section of the road into a rectangular shape
Surface on the flow path side, and the left and right of the flow path
Installed on the upper wall surface located on the center line in the width direction of the
Across the entire rectangular flow path in the vertical direction of the flow.
The rectifier provided to turn off the flow sensor;
The rectangular shape with the short side in the direction parallel to the installation side wall surface
The flow path is equally divided into an odd number in the left and right width directions.
Fluidic flow meter characterized by the following.
Priority Applications (1)
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| JP09235088A JP3131174B2 (en) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | Fluidic flow meter |
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| JP09235088A JP3131174B2 (en) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | Fluidic flow meter |
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| JPH1172362A JPH1172362A (en) | 1999-03-16 |
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| DE102017012066A1 (en) * | 2017-12-29 | 2019-07-04 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Flow meter according to the vortex meter principle, measuring tube therefor and method for measuring the flow or the flow velocity of a medium |
| CN108318090B (en) * | 2018-01-22 | 2023-11-07 | 重庆市生态环境科学研究院 | Flowmeter suitable for large-caliber pipeline flow measurement |
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1997
- 1997-08-29 JP JP09235088A patent/JP3131174B2/en not_active Expired - Fee Related
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