JP3117417B2 - 高周波洗浄用ノズル - Google Patents
高周波洗浄用ノズルInfo
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- JP3117417B2 JP3117417B2 JP09134985A JP13498597A JP3117417B2 JP 3117417 B2 JP3117417 B2 JP 3117417B2 JP 09134985 A JP09134985 A JP 09134985A JP 13498597 A JP13498597 A JP 13498597A JP 3117417 B2 JP3117417 B2 JP 3117417B2
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- nozzle
- frequency
- passages
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Nozzles (AREA)
Description
洗浄装置に使用され、半導体ウエハ、磁気ディスク、光
学レンズ、ガラス基板などの被洗浄物を高周波洗浄する
ための高周波洗浄用ノズルに関する。
ズ、ガラス基板等の表面を綺麗に洗浄するため、数10
0kHz以上の高周波が与えられた洗浄液を噴射すると
効果的であることは知られており、この種のスプレー式
高周波洗浄装置では高周波洗浄用ノズルを通じて被洗浄
物に洗浄液を噴射するようになっている。
す通り、ノズルボディ31に吐出口体32を取付け、こ
れらノズルボディ31と吐出口体32とで噴射室33を
構成してある。この噴射室33の下端には上記吐出口体
32に形成した吐出口34が連通している。また噴射室
33の一側は、上記ノズルボディ31の側壁に突設した
洗浄液導入筒35の導入通路36が連通している。ノズ
ルボディ31の上端には、シール材39を介して振動板
37が取付けられており、この振動板37の下面は上記
噴射室33に臨んでいる。振動板37には高周波振動子
38が取付けられており、この振動子38は図示しない
外部の高周波発振器により高周波振動するように駆動さ
れる。
筒35に洗浄液が送られてくると、この洗浄液は噴射室
33内に流れ込み、吐出口34より噴射される。この場
合、振動板37が高周波振動して噴射室33内の洗浄液
に高周波振動を付与する。この高周波エネルギーは洗浄
液中を伝播して吐出口34から噴射される洗浄液を伝わ
って被洗浄物に伝えられる。したがって、被洗浄物は上
記洗浄用ノズルから噴射された洗浄液の噴射圧に加え
て、洗浄液中を伝播される高周波エネルギーを受けるこ
とにより付着物や汚染物が除去される。
ズルは、被洗浄物の上方に設置されて吐出口34を下向
きにした姿勢で使用するようになっている。このため、
高周波洗浄装置の使用開始時には噴射室33内に空気が
残り易く、気泡として滞留することがある。
は、振動板37よりも低い位置で導入通路36が噴射室
33に連通しているから噴射室33の天井近く、つまり
振動板37に近いところに空気が残留すること、および
導入通路36から噴射室33に流れ込む洗浄液の流れに
は偏心流が発生し易く、噴射室33内で旋回流が生じる
などの理由が考えられる。
と、気泡と洗浄液の音響インピーダンスの違いにより振
動板37から供給される高周波振動が気泡で反射されて
しまい、高周波振動子38が空運転するようになった
り、また高周波の伝播不良が生じ、洗浄液による高周波
伝播が行われなくなり、洗浄性能が著しく低下する不具
合がある。
防止するため、従来、高周波洗浄装置の起動時に多量の
洗浄液を供給して噴射室33の空気を洗浄液とともに吐
出口34から強制的に押し出したり、洗浄液が気泡を巻
き込んだ状態で高周波振動子38を運転し、洗浄液とと
もに気泡を吐出口34から排出したり、または振動板3
7よりも高い位置にオーバーフロー口を設け、洗浄液の
供給によりこのオーバーフロー口から空気を追い出すな
どの手段がとられていた。
は、空気を追い出すために多量の洗浄液を消費し、しか
も空気の排出に長い時間を要する不具合がある。また、
洗浄液に気泡を巻き込んだ状態で高周波振動子38を運
転して排出する方法は、高周波振動子38を軽負荷状態
で運転するので空運転に近い状態で運転することにな
り、高価な高周波振動子38の寿命が短くなる。さら
に、オーバーフロー口を形成したものは、構造が複雑に
なり、このオーバーフロー口の開閉操作も面倒であり、
さらに洗浄液に消費も大きい等の欠点がある。
は、使用開始時ばかりでなく、洗浄液供給装置から洗浄
液導入筒35に送られてくる洗浄液が発泡性をもってい
たり、気泡を含んだ状態で送られてくることもあり、こ
のような場合は高周波洗浄装置の運転中に気泡を排除す
ることができず、装置を止めて空気を排出する作業が必
要であった。
特開平5−129266号公報にはノズル口がスリット
状である、いわゆるバー型の超音波洗浄用ノズル装置が
開示されている。このノズル装置は、ノズル口がスリッ
ト状に形成されたノズル本体と、このノズル本体に上記
ノズル口と対向して設けられた超音波振動する振動体
と、この振動体を超音波振動させる発振器と、上記ノズ
ル口に洗浄液を供給するスリット状の洗浄液流通部とを
具備した構造を有する。また、上記洗浄液流通部の一端
部は上記振動体に向かって傾斜している。
浄用ノズル装置では細長状のノズル本体の貯液部にスリ
ット状の洗浄液流通部を通して洗浄液を直接供給するた
め、前記貯液部の長手方向の箇所において洗浄液の流速
にばらつきが生じる。その結果、前記貯液部内の空気の
残留に起因して細長状の振動板表面に気泡が発生した場
合、前記振動板の表面全体の気泡を除去することが困難
になる。
噴射室に残留する空気を迅速にかつ確実に排出すること
ができる高周波洗浄用ノズルを提供しようとするもので
ある。
に本発明に係る高周波洗浄用ノズルは、内部に噴射室を
長手方向に有し、かつこの噴射室と連通したスリット状
の吐出口を長手方向に開口した長尺形状のノズルボディ
と、上記吐出口と対向する上記ノズルボディに取り付け
られた振動板と、上記噴射室を挟んでその両側の上記ノ
ズルボディにそのボディの長手方向に沿ってそれぞれ設
けられた上記噴射室に洗浄液を供給するための一対の導
入通路と、上記ノズルボディに上記各導入通路の複数箇
所と上記噴射室の複数箇所とをそれぞれ連通するように
設けられた複数の整流通路と、上記振動板を高周波振動
させる高周波駆動手段とを備え、複数の上記整流通路
は、これら整流通路より噴射された洗浄液が上記噴射室
内上部の上記振動板の中心線上で合流する方向に向けて
形成されていることを特徴とするものである。
上記複数の整流通路は上記導入通路に沿って等間隔に形
成されていることが好ましい。
された洗浄液が複数の整流通路を通じて噴射室内上部の
振動板の中心線上で合流するため、圧力分布のバランス
がよくなるとともにジェット噴射が合流することにより
噴射室内の洗浄液および空気を吐出口に向けて押し出す
働きが効果的になされ、上記振動板に滞留し勝ちな空気
や気泡を押し出して吐出口から排除することができる。
また、上記噴射室内の気泡を砕いて微細化し、洗浄液と
一緒に運ばれ易くなり、しかも上記中心線上で下向きに
反射されるようになるから、空気や気泡を洗浄液と一緒
に効果的に排出することができる。よって、噴射室内に
空気や気泡が滞留するのを防止することができる。
に形成することによって、洗浄液を上記導入通路から前
記整流通路を通して噴射室内に噴射した時に発生するジ
ェット噴射の分布を等間隔にすることができ、広い範囲
に分散する方向から噴射室上部の振動板に滞留しようと
する空気を押し出すようになるから、空気や気泡が滞留
するデッドスペースを作る割合を少なくすることができ
る。
とづき詳細に説明する。 (第1の実施例)図1および図2は、この第1の実施例に係るバー形の高
周波洗浄用ノズルを示す図である。
形状のノズルボディ21内に、長手方向に沿って長形の
噴射室23が形成されており、この噴射室23の下端に
は長いスリット状の吐出口24が形成されている。噴射
室23の上端は振動板27により閉塞されており、この
振動板27には高周波振動子28が取付けられている。
すように、噴射室23を挟んで左右に位置して一対の導
入通路25a、25bが形成されており、これら導入通
路25a、25bは図示しない洗浄液供給装置に連結さ
れるようになっている。そして、これら導入通路25
a、25bと、噴射室23はそれぞれ多数の整流通路2
6a、26bにより連通されている。各整流通路26
a、26bは噴射室23の左右内面にそれぞれ長手方向
に等間隔を存して配置されており、互いに向かい合う側
面では整流通路26aと26bが対向している。そし
て、これら各整流通路26a、26bは噴射室23の図
2における中心線O−Oに向かって形成されており、本
実施例の場合も振動板27の中央下面に合流するように
形成されている。
ズルの場合は、図示しない洗浄液供給装置より洗浄液が
2本の導入通路25a、25bに供給され、これら導入
通路25a、25bからそれぞれ複数の整流通路26
a、26bを通じて噴射室23に送り込まれる。噴射室
23内では、左右それぞれの側面に等間隔で開口した整
流通路26a、26bから洗浄液が送り込まれるので長
手方向の圧力分布がほぼ均等になり、しかも各整流通路
26a、26bから流速の早いジェット噴流が発せられ
て中心線O−Oに合流するので、空気や気泡が中心に集
められ、洗浄液と一緒に吐出口24から噴射されるよう
になる。
射室23の上部の中心点に向けて形成すると、各整流通
路26a、26bから噴射された洗浄液は、振動板27
の下面で反射されるから反射によって流速が一層早くな
り、吐出口24から効率よく噴出される。したがって、
噴射室23内に空気や気泡が残留するのを防止すること
ができる。
い。この第2の実施例はバー形の高周波洗浄用ノズルに
適用した場合であり、図1および図2の例では整流通路
26a、26bを、噴射室23の左右の内側面にそれぞ
れ等間隔で形成したが、図3の例は噴射室23のいずれ
か一方の内側面に、複数個の整流通路26(図では1個
のみ図示されている)を等間隔で形成してあり、これら
整流通路26は導入通路25に連通している。
26は噴射室23の上部に向けて開口しており、よって
ジェット噴射を噴射室23の天井部に向けて噴射する。
このため洗浄液の流れが複数のジェット噴射に分かれ、
これら複数のジェット噴射により複数の方向から噴射室
23内の洗浄液および空気が押し出される。しかも、こ
れらジェット噴射は噴射室23内の上部に向かうから、
噴射室23の上部(天井近傍)に滞留し勝ちな空気や気
泡を押し出して吐出口24より排除することができる。
入通路から導入された洗浄液が複数の整流通路を通じて
噴射室に送り込まれるので、洗浄液の流れが複数のジェ
ット噴射に分かれるようになり、複数の方向から噴射室
内の洗浄液および空気を押し出すようになる。しかも、
これらジェット噴射は噴射室内の上部に向かうから噴射
室上部の圧力を高めることができ、噴射室内の上部(天
井近傍)に滞留し勝ちな空気や気泡を押し出して吐出口
から排除するようになる。よって、噴射室内に空気や気
泡が滞留するのを防止することができ、常に噴射室の空
気を迅速にかつ確実に排出することができる。このこと
から高周波振動子の空運転を防止して長寿命を保ち、ま
た、高周波の伝播不良を防止して洗浄性能を高く維持す
ることができる。
浄用ノズルの断面図。
図。
浄用ノズルの断面図。
図。
5a、25b…導入通路、27…振動板、28…高周波
振動子、26,26a,26b…整流通路。
Claims (2)
- 【請求項1】 内部に噴射室を長手方向に有し、かつこ
の噴射室と連通したスリット状の吐出口を長手方向に開
口した長尺形状のノズルボディと、 上記吐出口と対向する上記ノズルボディに取り付けられ
た振動板と、 上記噴射室を挟んでその両側の上記ノズルボディにその
ボディの長手方向に沿ってそれぞれ設けられた上記噴射
室に洗浄液を供給するための一対の導入通路と、 上記ノズルボディに上記各導入通路の複数箇所と上記噴
射室の複数箇所とをそれぞれ連通するように設けられた
複数の整流通路と、 上記振動板を高周波振動させる高周波駆動手段とを備
え、 複数の上記整流通路は、これら整流通路より噴射された
洗浄液が上記噴射室内上部の上記振動板の中心線上で合
流する方向に向けて形成されていることを特徴とする高
周波洗浄用ノズル。 - 【請求項2】 上記複数の整流通路は、上記導入通路に
沿って等間隔に形成されていることを特徴とする請求項
1記載の高周波洗浄用ノズル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09134985A JP3117417B2 (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 高周波洗浄用ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP09134985A JP3117417B2 (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 高周波洗浄用ノズル |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27424293A Division JPH0811202B2 (ja) | 1993-11-02 | 1993-11-02 | 高周波洗浄用ノズル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1052653A JPH1052653A (ja) | 1998-02-24 |
JP3117417B2 true JP3117417B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=15141237
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP09134985A Expired - Lifetime JP3117417B2 (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 高周波洗浄用ノズル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3117417B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2788706B1 (fr) * | 1999-01-27 | 2001-03-09 | Air Refreshing Control | Dispositif de pulverisation de gouttelettes d'eau et buse pour un tel dispositif |
CN109013544A (zh) * | 2018-08-30 | 2018-12-18 | 咸威 | 一种喷淋式高频超声波清洗装置 |
-
1997
- 1997-05-26 JP JP09134985A patent/JP3117417B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1052653A (ja) | 1998-02-24 |
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