JP3116481B2 - 光素子モジュールの組立装置 - Google Patents
光素子モジュールの組立装置Info
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- JP3116481B2 JP3116481B2 JP03321765A JP32176591A JP3116481B2 JP 3116481 B2 JP3116481 B2 JP 3116481B2 JP 03321765 A JP03321765 A JP 03321765A JP 32176591 A JP32176591 A JP 32176591A JP 3116481 B2 JP3116481 B2 JP 3116481B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は半導体レーザや発光ダ
イオード等の発光素子と光ファィバーを結合する発光モ
ジュールの光軸の調整と接合を行う組立装置に関するも
のである。
イオード等の発光素子と光ファィバーを結合する発光モ
ジュールの光軸の調整と接合を行う組立装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】図２は対象とする光素子モジュールの構
造の一例を示す図である。図において、１は光素子ホル
ダ、２はレンズを保持するためのレンズホルダ、３は光
ファイバー、４は半導体レーザや発光ダイオード等の発
光素子、５は形状として球状や柱状や凸状のものがある
が集光する機能を持っているレンズ、６は光ファイバー
端末、７は光ファイバーを保持するための光ファイバー
ホルダ、８は光素子ホルダ１とレンズホルダ２を溶接し
て固定するための溶接ケ所である。
造の一例を示す図である。図において、１は光素子ホル
ダ、２はレンズを保持するためのレンズホルダ、３は光
ファイバー、４は半導体レーザや発光ダイオード等の発
光素子、５は形状として球状や柱状や凸状のものがある
が集光する機能を持っているレンズ、６は光ファイバー
端末、７は光ファイバーを保持するための光ファイバー
ホルダ、８は光素子ホルダ１とレンズホルダ２を溶接し
て固定するための溶接ケ所である。
【０００３】組立装置が対象とする作業は光素子ホルダ
１とレンズホルダ２と光ファィバーホルダ７との３部品
を最適な位置に調整し固定することをいう。発光素子４
から出た光はレンズ５により集光されて光ファィバー端
末６で保持された光ファィバー３へ入射して外部機器へ
出射される。
１とレンズホルダ２と光ファィバーホルダ７との３部品
を最適な位置に調整し固定することをいう。発光素子４
から出た光はレンズ５により集光されて光ファィバー端
末６で保持された光ファィバー３へ入射して外部機器へ
出射される。
【０００４】光ファィバー端末６の位置を移動しなが
ら、光ファィバー３での光の量をモニタすると、パワー
が最大になる位置が存在するが、その状態で溶接ケ所８
ａと溶接ケ所８ｂから同時にＹＡＧレーザを発射して光
素子ホルダ１とレンズホルダ２を固定する。
ら、光ファィバー３での光の量をモニタすると、パワー
が最大になる位置が存在するが、その状態で溶接ケ所８
ａと溶接ケ所８ｂから同時にＹＡＧレーザを発射して光
素子ホルダ１とレンズホルダ２を固定する。
【０００５】従来の光素子モジュールの組立装置は以上
のように構成されているので、光素子ホルダ１、及びレ
ンズホルダ２の接合面との間の位置決めは水平方向でし
かできないため溶接のために必要な光素子ホルダ１とレ
ンズホルダ２の接合面の平行度が保てず溶接時に軸ずれ
を起こすことが多く、これを回避するためには部品及び
保持治具の直角度を高精度で加工しなければならず、さ
らに作業時には保持治具間の平行度を極力角度を持たな
いようにセッティングすることが必要であり、部品の価
格が高価になるとともに、熟練作業者でも光素子モジュ
ールの組立作業が難しく長時間を要し、製品の生産コス
トが高くつくという問題点があった。
のように構成されているので、光素子ホルダ１、及びレ
ンズホルダ２の接合面との間の位置決めは水平方向でし
かできないため溶接のために必要な光素子ホルダ１とレ
ンズホルダ２の接合面の平行度が保てず溶接時に軸ずれ
を起こすことが多く、これを回避するためには部品及び
保持治具の直角度を高精度で加工しなければならず、さ
らに作業時には保持治具間の平行度を極力角度を持たな
いようにセッティングすることが必要であり、部品の価
格が高価になるとともに、熟練作業者でも光素子モジュ
ールの組立作業が難しく長時間を要し、製品の生産コス
トが高くつくという問題点があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、かかる課
題を解決するためになされたものであり、光素子から発
光された光の軸と光ファィバの光軸を合わせる光軸調整
作業と光素子ホルダとレンズホルダをＹＡＧレーザで溶
接する接合作業を行えるようにし、従来は熟練作業者が
長時間をかけていた光素子モジュールの組立作業を簡単
に行えるような組立装置を提供することを目的としてい
る。
題を解決するためになされたものであり、光素子から発
光された光の軸と光ファィバの光軸を合わせる光軸調整
作業と光素子ホルダとレンズホルダをＹＡＧレーザで溶
接する接合作業を行えるようにし、従来は熟練作業者が
長時間をかけていた光素子モジュールの組立作業を簡単
に行えるような組立装置を提供することを目的としてい
る。
【０００７】光ファィバー３と光ファィバー端末６が生
産しようとする製品の一部であるピグテール構造の物
と、製品ではなく、製造設備の治具である光コネクタ式
のものがあるが、この発明の光素子モジュールの組立装
置としては基本的にはどちらの場合にも対応できるの
で、以下ではピグテール構造のものについて説明する。
産しようとする製品の一部であるピグテール構造の物
と、製品ではなく、製造設備の治具である光コネクタ式
のものがあるが、この発明の光素子モジュールの組立装
置としては基本的にはどちらの場合にも対応できるの
で、以下ではピグテール構造のものについて説明する。
【０００８】光素子ホルダ１と光ファィバホルダ７との
２部品を最適な位置に調整し固定する組立方法及び装置
については別途出願しており、ここではレンズホルダ２
を加えての３部品を最適な位置に調整し固定する組立装
置について提案する。
２部品を最適な位置に調整し固定する組立方法及び装置
については別途出願しており、ここではレンズホルダ２
を加えての３部品を最適な位置に調整し固定する組立装
置について提案する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】光ファイバホルダとレン
ズホルダと光素子ホルダを別々に保持し、このレンズホ
ルダを光ファイバホルダの下方で光素子ホルダの上方に
配置し、この光ファイバホルダとレンズホルダと光素子
ホルダの相対位置を調整する機構を持ち、レンズホルダ
と光素子ホルダを接触させた状態で、その接触部分にレ
ーザ光を照射してレンズホルダと光素子ホルダを組立て
るための光素子モジュールの組立装置において、光素子
ホルダを水平方向で移動させた時の光素子から発光され
た光を光ファィバで受光し光の強さを測定し、レンズホ
ルダと光素子ホルダとの相対位置を調整するために光素
子ホルダを水平方向で２軸方向に移動する手段と、光の
強度を測定しながら光素子ホルダを水平方向でモータ駆
動の直進ステージを２軸方向に移動して光素子ホルダを
最適な位置へ調整し、レンズホルダが光素子ホルダのあ
おり手段に追従して上下方向にスライドできる機構と、
レンズホルダの上下方向の変位量を測定し、レンズホル
ダと光素子ホルダとの相対傾き角を調整するために光素
子ホルダを２軸方向に傾斜ステージであおり、上下方向
の変位量を測定しながら光素子ホルダを２軸方向にあお
り、光素子ホルダを最適な相対傾き角を調整できる機構
を具備したものである。
ズホルダと光素子ホルダを別々に保持し、このレンズホ
ルダを光ファイバホルダの下方で光素子ホルダの上方に
配置し、この光ファイバホルダとレンズホルダと光素子
ホルダの相対位置を調整する機構を持ち、レンズホルダ
と光素子ホルダを接触させた状態で、その接触部分にレ
ーザ光を照射してレンズホルダと光素子ホルダを組立て
るための光素子モジュールの組立装置において、光素子
ホルダを水平方向で移動させた時の光素子から発光され
た光を光ファィバで受光し光の強さを測定し、レンズホ
ルダと光素子ホルダとの相対位置を調整するために光素
子ホルダを水平方向で２軸方向に移動する手段と、光の
強度を測定しながら光素子ホルダを水平方向でモータ駆
動の直進ステージを２軸方向に移動して光素子ホルダを
最適な位置へ調整し、レンズホルダが光素子ホルダのあ
おり手段に追従して上下方向にスライドできる機構と、
レンズホルダの上下方向の変位量を測定し、レンズホル
ダと光素子ホルダとの相対傾き角を調整するために光素
子ホルダを２軸方向に傾斜ステージであおり、上下方向
の変位量を測定しながら光素子ホルダを２軸方向にあお
り、光素子ホルダを最適な相対傾き角を調整できる機構
を具備したものである。
【００１０】
【作用】上記のように構成された機構により、光素子か
らの光のパワーを光ファィバへ供給される光の量が最大
になるように光ファィバホルダとレンズホルダと光素子
ホルダとの相対位置を調整する動作に加え、下方の光素
子ホルダに追従して上下する上方のレンズホルダのＺ方
向で最も下がった状態を検出できるようにし、溶接され
る２つの部品の接触面間での隙間をなくし極めて高精度
に平行を保つことができ、レーザ溶接した後も軸ずれが
生じることなく組み立てることができ、光パワーの調整
作業とレーザ溶接器による接合作業を行えるようにして
いる。
らの光のパワーを光ファィバへ供給される光の量が最大
になるように光ファィバホルダとレンズホルダと光素子
ホルダとの相対位置を調整する動作に加え、下方の光素
子ホルダに追従して上下する上方のレンズホルダのＺ方
向で最も下がった状態を検出できるようにし、溶接され
る２つの部品の接触面間での隙間をなくし極めて高精度
に平行を保つことができ、レーザ溶接した後も軸ずれが
生じることなく組み立てることができ、光パワーの調整
作業とレーザ溶接器による接合作業を行えるようにして
いる。
【００１１】
【実施例】実施例１． 図１はこの発明のステージ構成の一実施例を示す図であ
り、図におい、９はモータ駆動の直線ステージ、１０は
水平定盤、１１は垂直定盤、１２は光素子ホルダ１とレ
ンズホルダ２の接合面に回転中心を持つモータ駆動の傾
斜ステージ、１４は垂直スライド、１５は上記垂直スラ
イド１４の移動量を検出するためのマグネスケール、１
６は上記垂直スライド１４の落下防止のためのストッパ
ー、１７は発光器用保持部、１８は水平定盤１０の上に
配置された、ステージ９とは別の直進ステージ（２）、
１９は垂直ステージ、２０は光ファイバー端末６を保持
するための光ファィバー端末保持具、２１はレンズホル
ダ２を保持するためのレンズホルダ保持具である。１〜
８は上記製品構造の説明と全く同一のものである。
り、図におい、９はモータ駆動の直線ステージ、１０は
水平定盤、１１は垂直定盤、１２は光素子ホルダ１とレ
ンズホルダ２の接合面に回転中心を持つモータ駆動の傾
斜ステージ、１４は垂直スライド、１５は上記垂直スラ
イド１４の移動量を検出するためのマグネスケール、１
６は上記垂直スライド１４の落下防止のためのストッパ
ー、１７は発光器用保持部、１８は水平定盤１０の上に
配置された、ステージ９とは別の直進ステージ（２）、
１９は垂直ステージ、２０は光ファイバー端末６を保持
するための光ファィバー端末保持具、２１はレンズホル
ダ２を保持するためのレンズホルダ保持具である。１〜
８は上記製品構造の説明と全く同一のものである。
【００１２】図１のステージのように構成され、ステー
ジ９ａはモータ駆動で直線上に移動する。ステージ９ｂ
はステージ９ａに直角方向へ移動する。ステージ９ａは
ステージ９ｂを重ね、平面上でＸＹ２軸方向で移動でき
るように構成し、水平定盤１０の上に置かれている。光
素子ホルダ１はステージ９ｂの上に保持され、レンズホ
ルダ２は光素子ホルダ１の上に載せられ垂直定盤１１に
連結されて固定されている。光素子ホルダ１とレンズホ
ルダ２を光軸調整した後その接触部分に光素子ホルダ１
とレンズホルダ２との相対傾き角を調整するために光素
子ホルダ１を２軸方向にあおる傾斜ステージ１２が設け
られている。傾斜ステージ１２の上に載せられた発光器
用保持部１３は光素子ホルダ１を機械的に保持し、光素
子４へ電気的に接続されている。光素子ホルダ１のあお
り動作に追従してレンズホルダ２が上下方向にスライド
できるようにレンズホルダ２をレンズホルダ保持具２１
を介して保持する垂直スライド１４の機構が設けられて
いる。マグネスケール１５はレンズホルダ２の上下方向
の変位量を測定する。なお、垂直ステージ１４、マグネ
スケール１５、ストッパー１６は垂直定盤１１上に固定
されている。また、レンズホルダ保持具２１と垂直スラ
イド１４及び垂直定盤１１により第１の手段が構成さ
れ、傾斜ステージ１２とマグネスケール１５により第２
の手段が構成され、ステージ９ａ、９ｂにより第３の手
段が構成されている。さらに光軸調整後の光素子ホルダ
１とレンズホルダ２との固定は従来と同様にＹＡＧレー
ザ溶接器によるもので、この溶接器は第４の手段を構成
する。
ジ９ａはモータ駆動で直線上に移動する。ステージ９ｂ
はステージ９ａに直角方向へ移動する。ステージ９ａは
ステージ９ｂを重ね、平面上でＸＹ２軸方向で移動でき
るように構成し、水平定盤１０の上に置かれている。光
素子ホルダ１はステージ９ｂの上に保持され、レンズホ
ルダ２は光素子ホルダ１の上に載せられ垂直定盤１１に
連結されて固定されている。光素子ホルダ１とレンズホ
ルダ２を光軸調整した後その接触部分に光素子ホルダ１
とレンズホルダ２との相対傾き角を調整するために光素
子ホルダ１を２軸方向にあおる傾斜ステージ１２が設け
られている。傾斜ステージ１２の上に載せられた発光器
用保持部１３は光素子ホルダ１を機械的に保持し、光素
子４へ電気的に接続されている。光素子ホルダ１のあお
り動作に追従してレンズホルダ２が上下方向にスライド
できるようにレンズホルダ２をレンズホルダ保持具２１
を介して保持する垂直スライド１４の機構が設けられて
いる。マグネスケール１５はレンズホルダ２の上下方向
の変位量を測定する。なお、垂直ステージ１４、マグネ
スケール１５、ストッパー１６は垂直定盤１１上に固定
されている。また、レンズホルダ保持具２１と垂直スラ
イド１４及び垂直定盤１１により第１の手段が構成さ
れ、傾斜ステージ１２とマグネスケール１５により第２
の手段が構成され、ステージ９ａ、９ｂにより第３の手
段が構成されている。さらに光軸調整後の光素子ホルダ
１とレンズホルダ２との固定は従来と同様にＹＡＧレー
ザ溶接器によるもので、この溶接器は第４の手段を構成
する。
【００１３】光素子ホルダ１の内部にある半導体レーザ
や発光ダイオード等の発光素子４から出た光は光ファィ
バー端末６で保持された光ファィバー３へ入射して光フ
ァィバー３から光の量を電気信号へ変換した後に制御装
置へ送られる。レンズホルダ２と光素子ホルダ１との相
対位置を調整するために光素子ホルダ１を水平方向で移
動する手段としてステージ９が用いられる。レンズホル
ダ２が光素子ホルダ１のあおり動作に追従して上下方向
にスライドできる機構として垂直ステージ１４が用いら
れる。光ファィバホルダ２の上下方向の変位量を測定す
る手段としてマグネスケール１５が用いられている。レ
ンズホルダ２と光素子ホルダ１との相対傾き角を調整す
るために光素子ホルダ１を２軸方向にモータ駆動の傾斜
ステージ１２であおり、上下方向の変位量をマグネスケ
ール１５で検出しマグネスケール測定器で測定すること
により光素子ホルダ１を２軸方向にあおる手段を駆動し
て光素子ホルダ１を最適な相対傾き角を調整する。ま
た、光素子ホルダ１に追従して上下するレンズホルダ２
のＺ方向で最も下がった状態をマグネスケール１５で検
出する。
や発光ダイオード等の発光素子４から出た光は光ファィ
バー端末６で保持された光ファィバー３へ入射して光フ
ァィバー３から光の量を電気信号へ変換した後に制御装
置へ送られる。レンズホルダ２と光素子ホルダ１との相
対位置を調整するために光素子ホルダ１を水平方向で移
動する手段としてステージ９が用いられる。レンズホル
ダ２が光素子ホルダ１のあおり動作に追従して上下方向
にスライドできる機構として垂直ステージ１４が用いら
れる。光ファィバホルダ２の上下方向の変位量を測定す
る手段としてマグネスケール１５が用いられている。レ
ンズホルダ２と光素子ホルダ１との相対傾き角を調整す
るために光素子ホルダ１を２軸方向にモータ駆動の傾斜
ステージ１２であおり、上下方向の変位量をマグネスケ
ール１５で検出しマグネスケール測定器で測定すること
により光素子ホルダ１を２軸方向にあおる手段を駆動し
て光素子ホルダ１を最適な相対傾き角を調整する。ま
た、光素子ホルダ１に追従して上下するレンズホルダ２
のＺ方向で最も下がった状態をマグネスケール１５で検
出する。
【００１４】光素子モジュールは円筒形でできているの
で、ＸＹ面の固定はつき合わせ部分の円周上で数点回転
ステージを回転させて溶接を行って組み立てる。なお、
上記説明において「あおり」、「あおり動作」という表
現があるが、これらは図１の１２ｂに示すようにXY２軸
方向（紙面の前後、左右の方向）で１２ｂの凹曲面上を
光素子ホルダ１側が移動する、いわゆる「回動」、「回
動動作」を意味するものである。
で、ＸＹ面の固定はつき合わせ部分の円周上で数点回転
ステージを回転させて溶接を行って組み立てる。なお、
上記説明において「あおり」、「あおり動作」という表
現があるが、これらは図１の１２ｂに示すようにXY２軸
方向（紙面の前後、左右の方向）で１２ｂの凹曲面上を
光素子ホルダ１側が移動する、いわゆる「回動」、「回
動動作」を意味するものである。
【００１５】ステージ１８の上に配置された光ファィバ
ホルダ６を３次元で動かすための垂直ステージ１９、垂
直ステージ１９から光ファィバー端末６を固定するため
の光ファィバー端末保持具２０、垂直ステージ１４から
レンズホルダ５を固定するためのレンズホルダ保持具２
１を有する。
ホルダ６を３次元で動かすための垂直ステージ１９、垂
直ステージ１９から光ファィバー端末６を固定するため
の光ファィバー端末保持具２０、垂直ステージ１４から
レンズホルダ５を固定するためのレンズホルダ保持具２
１を有する。
【００１６】光素子モジュールは円筒形でできているの
で、ＸＹ面の固定はつき合わせ部分の円周上で数点（例
えば３点×２回）行って引っ張り強度等に耐えられるよ
うに組み立てる。よって、全周が溶接完了が満足される
まで溶接角度回転を行って溶接作業を終了し、最終的に
パワーレベルの確認を行い、規格内に入っていることを
確認して光素子モジュールの調整作業と接合作業からな
る組立を完了する。
で、ＸＹ面の固定はつき合わせ部分の円周上で数点（例
えば３点×２回）行って引っ張り強度等に耐えられるよ
うに組み立てる。よって、全周が溶接完了が満足される
まで溶接角度回転を行って溶接作業を終了し、最終的に
パワーレベルの確認を行い、規格内に入っていることを
確認して光素子モジュールの調整作業と接合作業からな
る組立を完了する。
【００１７】また、上記実施例では光素子として発光素
子を例にとり説明したが、受光素子の場合も同様の方法
及び装置で光の向きを逆にして生産できることが容易に
推察できる。
子を例にとり説明したが、受光素子の場合も同様の方法
及び装置で光の向きを逆にして生産できることが容易に
推察できる。
【００１８】
【発明の効果】この発明は以上説明したとおり、光素子
モジュールの組立装置において、レンズホルダと光素子
ホルダとの水平方向での相対位置を調整することと、光
素子ホルダに追従して上下するレンズホルダのＺ方向で
最も下がった状態を検出できるようにし、光結合位置の
調整作業と光素子ホルダとレンズホルダの接合作業を行
えるようにしたことにより、従来は熟練作業者が長時間
をかけて行っていた光素子モジュールの組立作業が簡単
に行えるようになった。
モジュールの組立装置において、レンズホルダと光素子
ホルダとの水平方向での相対位置を調整することと、光
素子ホルダに追従して上下するレンズホルダのＺ方向で
最も下がった状態を検出できるようにし、光結合位置の
調整作業と光素子ホルダとレンズホルダの接合作業を行
えるようにしたことにより、従来は熟練作業者が長時間
をかけて行っていた光素子モジュールの組立作業が簡単
に行えるようになった。
【図１】この発明の一実施例であるステージの構成を示
す図である。
す図である。
【図２】対象とする光素子モジュールの構造の一例を示
す図である。
す図である。
【符号の説明】１ 光素子ホルダ、２ レンズホルダ、３ 光ファィバ
ー、４ 発光素子、５ レンズ、６ 光ファィバー端末、
７ 光ファイバホルダ、８ 溶接箇所、９ ステージ、１
０ 水平定盤、１１ 垂直定盤、１２ モータ駆動の傾斜
ステージ、１４ 垂直スライド、１５ マグネスケール、
１６ ストッパー、１７ 発光器用保持部、１８ 直進ス
テージ（２）、１９ 垂直ステージ、２０ 光ファィバー
端末保持具、２１ レンズホルダ保持具。
ー、４ 発光素子、５ レンズ、６ 光ファィバー端末、
７ 光ファイバホルダ、８ 溶接箇所、９ ステージ、１
０ 水平定盤、１１ 垂直定盤、１２ モータ駆動の傾斜
ステージ、１４ 垂直スライド、１５ マグネスケール、
１６ ストッパー、１７ 発光器用保持部、１８ 直進ス
テージ（２）、１９ 垂直ステージ、２０ 光ファィバー
端末保持具、２１ レンズホルダ保持具。
Claims (1)
- 【請求項１】 レンズホルダと光素子ホルダを光軸調整
し、前記レンズホルダと光素子ホルダとを固定する組立
装置において、前記レンズホルダを保持し、Ｚ方向に移
動させる第１の手段と、前記光素子ホルダに追従して上
下する前記レンズホルダのＺ方向での変位を検出しなが
ら前記光素子ホルダを２軸方向に回動し、最も下がった
状態を検出する第２の手段と、前記光素子ホルダと前記
レンズホルダとを、前記光素子ホルダ内部の光素子と光
ファイバ側が光結合するようにＸＹ平面内に相対的に移
動させる第３の手段と、前記光素子ホルダと前記レンズ
ホルダとを固定する第４の手段とを具備したことを特徴
とする光素子モジュールの組立装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03321765A JP3116481B2 (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | 光素子モジュールの組立装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03321765A JP3116481B2 (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | 光素子モジュールの組立装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157947A JPH05157947A (ja) | 1993-06-25 |
| JP3116481B2 true JP3116481B2 (ja) | 2000-12-11 |
Family
ID=18136191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03321765A Expired - Fee Related JP3116481B2 (ja) | 1991-12-05 | 1991-12-05 | 光素子モジュールの組立装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3116481B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002063357A1 (fr) * | 2001-02-02 | 2002-08-15 | Japan Science And Technology Corporation | Dispositif et procede d"alignement d"axe optique |
| US7663836B2 (en) | 2004-11-17 | 2010-02-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Disk drive base/cover plate with push pin hole having enlarged portion |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002044785A2 (en) | 2000-11-28 | 2002-06-06 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of and apparatus for adjusting optical component, and optical unit |
| CN102508344B (zh) * | 2011-11-30 | 2014-07-16 | 成都储翰科技有限公司 | 半导体激光二极管自动耦合装置的实现方法 |
| CN111193182B (zh) * | 2020-01-08 | 2021-06-01 | 联耀光学(深圳)有限公司 | 一种多单管半导体激光器耦合单芯光纤装调装置 |
-
1991
- 1991-12-05 JP JP03321765A patent/JP3116481B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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